JP2001097743A - 液体供給方法および装置 - Google Patents
液体供給方法および装置Info
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- JP2001097743A JP2001097743A JP28047299A JP28047299A JP2001097743A JP 2001097743 A JP2001097743 A JP 2001097743A JP 28047299 A JP28047299 A JP 28047299A JP 28047299 A JP28047299 A JP 28047299A JP 2001097743 A JP2001097743 A JP 2001097743A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体が供給される配管内で気泡の発生が抑制
し、かつ、脈動低下の観点、遠方または高所への送液の
観点等からも好ましい液体供給方法を提供する。 【解決手段】 あらかじめ減圧雰囲気に接触させて溶存
する気体を減じた液体を、不活性ガスを主成分とする気
体によって加圧しながら密閉した経路内を輸送して供給
することにより、この経路内における液体からの気体発
生を抑制する。
し、かつ、脈動低下の観点、遠方または高所への送液の
観点等からも好ましい液体供給方法を提供する。 【解決手段】 あらかじめ減圧雰囲気に接触させて溶存
する気体を減じた液体を、不活性ガスを主成分とする気
体によって加圧しながら密閉した経路内を輸送して供給
することにより、この経路内における液体からの気体発
生を抑制する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を配管を通じ
て供給する方法および装置に関し、さらに詳しくは、ガ
ラス板の表面に被膜を形成するための液体の供給方法お
よび装置に関する。
て供給する方法および装置に関し、さらに詳しくは、ガ
ラス板の表面に被膜を形成するための液体の供給方法お
よび装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般建築用、自動車用のコーティングガ
ラスの製造方法の一つとして、フロートガラス製造工程
中で、高温のガラス板表面にＦｅ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｔｉ等
のキレート化合物をトルエン等の有機溶媒に溶解させた
ものを吹き付けるオンラインスプレー法がある（特公昭
４９−２１４０３号公報）。かかるスプレー法において
は成膜する金属酸化物被膜の膜厚をなるべく均一にして
反射色のムラを抑えることが必要である。膜厚均一化の
方法としては、複数のスプレーノズルを使用する方法
（特開昭５１−１０１０１５号公報）が知られている。
ラスの製造方法の一つとして、フロートガラス製造工程
中で、高温のガラス板表面にＦｅ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｔｉ等
のキレート化合物をトルエン等の有機溶媒に溶解させた
ものを吹き付けるオンラインスプレー法がある（特公昭
４９−２１４０３号公報）。かかるスプレー法において
は成膜する金属酸化物被膜の膜厚をなるべく均一にして
反射色のムラを抑えることが必要である。膜厚均一化の
方法としては、複数のスプレーノズルを使用する方法
（特開昭５１−１０１０１５号公報）が知られている。
【０００３】複数のスプレーノズルへの原料液分配配管
システムは、一般には、各配管に原料液を分配するため
の分配機構を備え、さらに各配管途中には、圧損を極力
同じにして均等分配するための絞り径を均一にしたオリ
フィス、流量調節器、流量計等を備えている。そして、
この原料分配配管システムにおいて原料液を送液する方
法としては、圧縮空気により原料液を加圧する方法が一
般的である。
システムは、一般には、各配管に原料液を分配するため
の分配機構を備え、さらに各配管途中には、圧損を極力
同じにして均等分配するための絞り径を均一にしたオリ
フィス、流量調節器、流量計等を備えている。そして、
この原料分配配管システムにおいて原料液を送液する方
法としては、圧縮空気により原料液を加圧する方法が一
般的である。
【０００４】しかし、圧縮空気により原料液を送液する
と、オリフィス部などで気泡が発生するために流量計で
の計測が不正確になり、各配管における流量調節・均一
化には限界があった。その結果、製造されたガラス表面
の膜厚ムラも十分には抑制できなかった。特に、スプレ
ーノズルの本数が多い場合には、スプレーノズル１本当
たりの原料液量が少なくなるため、流量計測の不正確さ
による誤差割合が大きくなり、膜厚分布の不均一が顕著
となって、反射色のムラが目立ちやすいという問題が生
じる。
と、オリフィス部などで気泡が発生するために流量計で
の計測が不正確になり、各配管における流量調節・均一
化には限界があった。その結果、製造されたガラス表面
の膜厚ムラも十分には抑制できなかった。特に、スプレ
ーノズルの本数が多い場合には、スプレーノズル１本当
たりの原料液量が少なくなるため、流量計測の不正確さ
による誤差割合が大きくなり、膜厚分布の不均一が顕著
となって、反射色のムラが目立ちやすいという問題が生
じる。
【０００５】このようなオリフィス部等配管途中での気
泡発生を抑制して各配管への均等な送液を行うために、
原料液をあらかじめ減圧処理してから送液する方法が知
られている（特開平７−２５７９４０号公報）。この方
法では、原料液に溶存する気体量を少量に保つため、原
料液の送液にはポンプを使うことが好ましい。
泡発生を抑制して各配管への均等な送液を行うために、
原料液をあらかじめ減圧処理してから送液する方法が知
られている（特開平７−２５７９４０号公報）。この方
法では、原料液に溶存する気体量を少量に保つため、原
料液の送液にはポンプを使うことが好ましい。
【０００６】しかし、ポンプによる送液は、供給経路が
長い場合や高い場所に液体を供給する場合には送液量に
限界があり、原料液の送液方法として最適であるとは言
いがたいところもあった。
長い場合や高い場所に液体を供給する場合には送液量に
限界があり、原料液の送液方法として最適であるとは言
いがたいところもあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決し、原料液等の液体を連続的に供給
する方法であって、液体が供給される配管内で気泡の発
生が抑制され、かつ、脈動低下の観点、遠方または高所
への送液の観点等からも好ましい液体供給方法を提供す
ることを目的とする。また、本発明は、この方法を実施
するに好適な液体供給装置を提供することを目的とす
る。また、液体を供給する経路が、液体を気体に変える
気化器に接続されている場合には、配管内の気泡の発生
により間欠的に気化がおこるのを防ぐことを目的とす
る。特に、本発明は、反射色のムラを抑制した被膜形成
ガラスの製造に好ましい原料液の供給方法および装置の
提供を目的とする。
技術の問題点を解決し、原料液等の液体を連続的に供給
する方法であって、液体が供給される配管内で気泡の発
生が抑制され、かつ、脈動低下の観点、遠方または高所
への送液の観点等からも好ましい液体供給方法を提供す
ることを目的とする。また、本発明は、この方法を実施
するに好適な液体供給装置を提供することを目的とす
る。また、液体を供給する経路が、液体を気体に変える
気化器に接続されている場合には、配管内の気泡の発生
により間欠的に気化がおこるのを防ぐことを目的とす
る。特に、本発明は、反射色のムラを抑制した被膜形成
ガラスの製造に好ましい原料液の供給方法および装置の
提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る液体供給方
法は、あらかじめ減圧雰囲気に接触させて溶存する気体
を減じた液体を、不活性ガスを主成分とする気体によっ
て加圧しながら密閉した経路内を輸送して供給すること
により、この経路内における液体からの気体発生を抑制
した液体供給方法である。
法は、あらかじめ減圧雰囲気に接触させて溶存する気体
を減じた液体を、不活性ガスを主成分とする気体によっ
て加圧しながら密閉した経路内を輸送して供給すること
により、この経路内における液体からの気体発生を抑制
した液体供給方法である。
【０００９】一方、本発明に係る液体供給装置は、減圧
タンクと、このタンクに接続した減圧ポンプおよび不活
性ガスを主成分とする気体を内蔵する容器と、前記タン
クに保持した液体を輸送するための密閉された経路とを
有することを特徴とする。
タンクと、このタンクに接続した減圧ポンプおよび不活
性ガスを主成分とする気体を内蔵する容器と、前記タン
クに保持した液体を輸送するための密閉された経路とを
有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係る液体供給装置例の概
略を図１に示す。図１に示した装置では、減圧タンク２
の上方に、ロータリーポンプ９、真空計１０および圧力
計１２がそれぞれ接続されており、さらに、バルブ１１
を介してヘリウムガスボンベ８が接続されている。減圧
タンク２の下方には、液体の供給経路として１つの配管
が接続され、この配管は、液分配器３を介して複数の配
管に接続されている。これら複数の配管の先端には、そ
れぞれにスプレーノズル６が配置され、このノズルに
は、圧縮空気を供給するための配管が別途設置されてい
る。複数の配管の途中には、それぞれ、オリフィス４
と、ニードルバルブ付き面積式流量計５が配置されてい
る。なお、流量調整および流量測定手段としてはマスフ
ローコントローラー等の利用も考えられるが、ニードル
バルブ付き面積式流量計５が安価でもあり好ましい。
略を図１に示す。図１に示した装置では、減圧タンク２
の上方に、ロータリーポンプ９、真空計１０および圧力
計１２がそれぞれ接続されており、さらに、バルブ１１
を介してヘリウムガスボンベ８が接続されている。減圧
タンク２の下方には、液体の供給経路として１つの配管
が接続され、この配管は、液分配器３を介して複数の配
管に接続されている。これら複数の配管の先端には、そ
れぞれにスプレーノズル６が配置され、このノズルに
は、圧縮空気を供給するための配管が別途設置されてい
る。複数の配管の途中には、それぞれ、オリフィス４
と、ニードルバルブ付き面積式流量計５が配置されてい
る。なお、流量調整および流量測定手段としてはマスフ
ローコントローラー等の利用も考えられるが、ニードル
バルブ付き面積式流量計５が安価でもあり好ましい。
【００１１】図４に示した装置では、減圧タンク２の下
方に、液体の供給経路として１つの配管が接続され、流
量計５を経由して、この配管は気化器１５に接続されて
いる。気化器１５に接続された配管は、金属化合物を含
む気体をガラス上に供給する設備１６に接続されてい
る。流量計５は面積式流量計あるいはマスフローコント
ローラーでもかまわない。
方に、液体の供給経路として１つの配管が接続され、流
量計５を経由して、この配管は気化器１５に接続されて
いる。気化器１５に接続された配管は、金属化合物を含
む気体をガラス上に供給する設備１６に接続されてい
る。流量計５は面積式流量計あるいはマスフローコント
ローラーでもかまわない。
【００１２】次に、この装置を用いた液体供給方法につ
いて図１で説明する。液体１は、減圧タンク２に入れた
後、ロータリーポンプ９でタンク内を減圧する。減圧処
理条件は、例えば、容積が１００リットルのタンクに液
体を入れた場合には、−４０ｍｍＨｇで６時間程度が好
適である。ただし、減圧条件は、液体の種類、液体温度
等も考慮して決定する必要がある。液体を減圧処理した
後、閉じていたバルブ１１を開いてボンベより不活性ガ
スとしてヘリウムガスを供給する。なお、このときのヘ
リウムガスの圧力は、供給経路の長さ等により決定され
るが、液体が供給できる下限近辺の圧力にするのが好ま
しい。
いて図１で説明する。液体１は、減圧タンク２に入れた
後、ロータリーポンプ９でタンク内を減圧する。減圧処
理条件は、例えば、容積が１００リットルのタンクに液
体を入れた場合には、−４０ｍｍＨｇで６時間程度が好
適である。ただし、減圧条件は、液体の種類、液体温度
等も考慮して決定する必要がある。液体を減圧処理した
後、閉じていたバルブ１１を開いてボンベより不活性ガ
スとしてヘリウムガスを供給する。なお、このときのヘ
リウムガスの圧力は、供給経路の長さ等により決定され
るが、液体が供給できる下限近辺の圧力にするのが好ま
しい。
【００１３】液体１は、ヘリウムガスにより加圧されて
配管を圧送され、分配器３に供給される。この分配器３
により、液体１は、オリフィス４、流量調節用のニード
ルバルブがついた面積式流量計５を有する細管を通して
各スプレーノズル６に供給され、圧縮空気により噴霧さ
れる。液体１は、オリフィス等により、各配管を輸送さ
れる量ができるだけ均等になるように測定、調整される
ことが好ましい。
配管を圧送され、分配器３に供給される。この分配器３
により、液体１は、オリフィス４、流量調節用のニード
ルバルブがついた面積式流量計５を有する細管を通して
各スプレーノズル６に供給され、圧縮空気により噴霧さ
れる。液体１は、オリフィス等により、各配管を輸送さ
れる量ができるだけ均等になるように測定、調整される
ことが好ましい。
【００１４】減圧処理後にヘリウムガスにより加圧して
液体１を送液することにより、配管中のオリフィス４部
分などでの泡の発生が防止され、液体１の各スプレーノ
ズル６への連続、均一供給が可能となる。液体の均一供
給は、工業上多用途において有用であるが、液体１がガ
ラス板の表面に被膜を形成するための被膜形成溶液であ
る場合、特に、フロート製法により連続的に製造される
ガラスリボンの表面に供給される被膜形成溶液である場
合には、液体の噴霧量が一定となって被膜の膜厚が均一
化され、結果として反射色のムラが抑えられたコーティ
ングガラスを得ることができる。もっとも、上記実施の
態様としてヘリウムガスを用いた場合について説明した
が、本発明に使用できる気体は、ヘリウムに限定され
ず、液体への溶解量が少ない不活性ガスであればよい。
液体１を送液することにより、配管中のオリフィス４部
分などでの泡の発生が防止され、液体１の各スプレーノ
ズル６への連続、均一供給が可能となる。液体の均一供
給は、工業上多用途において有用であるが、液体１がガ
ラス板の表面に被膜を形成するための被膜形成溶液であ
る場合、特に、フロート製法により連続的に製造される
ガラスリボンの表面に供給される被膜形成溶液である場
合には、液体の噴霧量が一定となって被膜の膜厚が均一
化され、結果として反射色のムラが抑えられたコーティ
ングガラスを得ることができる。もっとも、上記実施の
態様としてヘリウムガスを用いた場合について説明した
が、本発明に使用できる気体は、ヘリウムに限定され
ず、液体への溶解量が少ない不活性ガスであればよい。
【００１５】すなわち、気体の液体に対する溶解度は気
体の種類によっても大きく異なるが、不活性ガスは溶解
量が小さい気体であり、特にヘリウムガスは加圧しても
液体には溶解しにくい。このことより、不活性ガス（特
にヘリウムガス）で加圧することで、液体が配管内でオ
リフィス部などを通過した直後に減圧状態となっても、
溶解されている気体量が少ないため、泡の発生を極力防
止することができる。
体の種類によっても大きく異なるが、不活性ガスは溶解
量が小さい気体であり、特にヘリウムガスは加圧しても
液体には溶解しにくい。このことより、不活性ガス（特
にヘリウムガス）で加圧することで、液体が配管内でオ
リフィス部などを通過した直後に減圧状態となっても、
溶解されている気体量が少ないため、泡の発生を極力防
止することができる。
【００１６】
【実施例】以下、実施例およぴ比較例を挙げて本発明を
詳細に説明する。 （実施例１）あらかじめ加熱されたガラス板に図１に示
す装置を用いて金属酸化物のコーティングを実施した。
成膜に使用したスプレーノズル６は、市販されている外
部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの流れ方向に
垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに接触する程
度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直な方向で膜
厚分布が均一になるように配置した。各スプレーノズル
６を揺動ストローク１００ｍｍ、揺動回数（往復回数）
毎分５０回のサイクルでガラスリボンの上方をこのリボ
ンの流れに対して垂直な方向に揺動させた。原料液を微
粒化してガラス表面に吹き付けるために、圧縮空気供給
配管７から圧縮空気を毎分２００Ｎリットルの割合で送
り、スプレー噴霧をおこなった。原料液としては、キシ
レンにチタンのアセチルアセトネートを溶解させたもの
を用いた。
詳細に説明する。 （実施例１）あらかじめ加熱されたガラス板に図１に示
す装置を用いて金属酸化物のコーティングを実施した。
成膜に使用したスプレーノズル６は、市販されている外
部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの流れ方向に
垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに接触する程
度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直な方向で膜
厚分布が均一になるように配置した。各スプレーノズル
６を揺動ストローク１００ｍｍ、揺動回数（往復回数）
毎分５０回のサイクルでガラスリボンの上方をこのリボ
ンの流れに対して垂直な方向に揺動させた。原料液を微
粒化してガラス表面に吹き付けるために、圧縮空気供給
配管７から圧縮空気を毎分２００Ｎリットルの割合で送
り、スプレー噴霧をおこなった。原料液としては、キシ
レンにチタンのアセチルアセトネートを溶解させたもの
を用いた。
【００１７】原料液８０リットルを１００リットルの減
圧タンク２に入れ密閉状態にして−４０ｍｍＨｇの減圧
条件で約１２時間保持した。減圧処理したタンクにヘリ
ウムガスボンベ８からバルブ１１を開けてヘリウムガス
を供給し、タンク内の圧力を４．０ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
た。この後に、原料液１を分配器３に送って各細管に分
配し、オリフィス４、ニードルバルブ付面積式流量計５
を通して、各スプレーノズル６に供給した。このような
方法で各細管に原料液を供給したところ、各配管中のオ
リフィス４での泡の発生はなく、ニードルバルブ付面積
式流量計５により原料液をスプレーノズルに一定量連続
して供給することができた。
圧タンク２に入れ密閉状態にして−４０ｍｍＨｇの減圧
条件で約１２時間保持した。減圧処理したタンクにヘリ
ウムガスボンベ８からバルブ１１を開けてヘリウムガス
を供給し、タンク内の圧力を４．０ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
た。この後に、原料液１を分配器３に送って各細管に分
配し、オリフィス４、ニードルバルブ付面積式流量計５
を通して、各スプレーノズル６に供給した。このような
方法で各細管に原料液を供給したところ、各配管中のオ
リフィス４での泡の発生はなく、ニードルバルブ付面積
式流量計５により原料液をスプレーノズルに一定量連続
して供給することができた。
【００１８】この原料液の熱分解により成膜されたチタ
ン酸化物被膜は、目視で観察したところガラスリボンの
流れ方向、および垂直方向でも反射色のムラがほとんど
認識できないものであった。
ン酸化物被膜は、目視で観察したところガラスリボンの
流れ方向、および垂直方向でも反射色のムラがほとんど
認識できないものであった。
【００１９】なお、本実施例では、加熱されたガラス板
を用いたが、この代わりに、加熱されていないガラス板
を用い、液体を均一に塗布した後にガラスを加熱して被
膜を得てもよい。また、金属の種類や溶剤の種類を変え
ても泡の発生がなく液体を供給できるため、金属の種類
や溶剤の種類を変えても本発明の有効性に変わりはな
い。
を用いたが、この代わりに、加熱されていないガラス板
を用い、液体を均一に塗布した後にガラスを加熱して被
膜を得てもよい。また、金属の種類や溶剤の種類を変え
ても泡の発生がなく液体を供給できるため、金属の種類
や溶剤の種類を変えても本発明の有効性に変わりはな
い。
【００２０】（比較例１）あらかじめ加熱されたガラス
板に図２に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。成膜に使用したスプレーノズルは、市販さ
れている外部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの
流れ方向に垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに
接触する程度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直
な方向で膜厚分布が均一になるように配置した。各スプ
レーノズル６を揺動ストローク１００ｍｍ、揺動回数
（往復回数）毎分５０回のサイクルでガラスリボンの流
れに対して垂直な方向に揺動させた。原料液を微粒化し
てガラス表面に吹き付けるために、圧縮空気供給配管７
から圧縮空気を毎分２００Ｎリットルの割合で送り、ス
プレー噴霧をおこなった。原料液としては、キシレンに
チタンのアセチルアセトネートを溶解させたものを用い
た。
板に図２に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。成膜に使用したスプレーノズルは、市販さ
れている外部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの
流れ方向に垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに
接触する程度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直
な方向で膜厚分布が均一になるように配置した。各スプ
レーノズル６を揺動ストローク１００ｍｍ、揺動回数
（往復回数）毎分５０回のサイクルでガラスリボンの流
れに対して垂直な方向に揺動させた。原料液を微粒化し
てガラス表面に吹き付けるために、圧縮空気供給配管７
から圧縮空気を毎分２００Ｎリットルの割合で送り、ス
プレー噴霧をおこなった。原料液としては、キシレンに
チタンのアセチルアセトネートを溶解させたものを用い
た。
【００２１】原料液８０リットルを１００リットルの加
圧タンク２に入れ、圧縮空気供給配管７’から２ｋｇｆ
／ｃｍ2 のコンプレスエアーにより加圧して、原料液を
分配器３に送り込み、各配管に分配し、オリフィス４、
ニードルバルブ付面積式流量計５を経由して各スプレー
ノズル６に供給した。
圧タンク２に入れ、圧縮空気供給配管７’から２ｋｇｆ
／ｃｍ2 のコンプレスエアーにより加圧して、原料液を
分配器３に送り込み、各配管に分配し、オリフィス４、
ニードルバルブ付面積式流量計５を経由して各スプレー
ノズル６に供給した。
【００２２】しかし、この方法では、各配管内のオリフ
ィスで泡が多量発生してニードルバルブ付面積式流量計
５が正常に動作しなくなり、連続して一定量の原料液を
スプレーノズルに供給することが困難となった。得られ
たチタン酸化物コーティングガラスを目視で観察したと
ころ、成膜範囲全体に斑点状の反射色のムラがみられた
り、明らかにチタン酸化物被膜が成膜されていない部分
もあった。なお、コンプレスエアーの代わりに窒素ガス
を用いても、泡の発生の程度は変わらなかった。
ィスで泡が多量発生してニードルバルブ付面積式流量計
５が正常に動作しなくなり、連続して一定量の原料液を
スプレーノズルに供給することが困難となった。得られ
たチタン酸化物コーティングガラスを目視で観察したと
ころ、成膜範囲全体に斑点状の反射色のムラがみられた
り、明らかにチタン酸化物被膜が成膜されていない部分
もあった。なお、コンプレスエアーの代わりに窒素ガス
を用いても、泡の発生の程度は変わらなかった。
【００２３】（比較例２）あらかじめ加熱されたガラス
板に図３に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。成膜に使用したスプレーノズルは、市販さ
れている外部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの
流れ方向に垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに
接触する程度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直
な方向で膜厚分布が均一になるように配置した。原料液
はキシレンにチタンのアセチルアセトネートを溶解させ
たものを次に示す方法で各スプレーノズル６に供給する
ことにした。
板に図３に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。成膜に使用したスプレーノズルは、市販さ
れている外部混合２流体ノズル２０本をガラスリボンの
流れ方向に垂直に、かつスプレー噴霧パターンが互いに
接触する程度の間隔でガラスリボンの流れに対して垂直
な方向で膜厚分布が均一になるように配置した。原料液
はキシレンにチタンのアセチルアセトネートを溶解させ
たものを次に示す方法で各スプレーノズル６に供給する
ことにした。
【００２４】原料液８０リットルを１００リットルの減
圧タンク２に入れ密閉状態にして、−４０ｍｍＨｇの減
圧条件で約１２時間保持した。減圧処理した後、開放弁
１１を開放にして大気圧状態にし、無脈動定流量ギアポ
ンプ１３を使って液体を分配器３に送り、各細管に分配
した後に、オリフィス４、ニードルバルブ付面積式流量
計５を通して、各スプレーノズル６に供給しようとし
た。ところが、ポンプの回転数を増加させても液体をス
プレーノズルに供給することができなかった。
圧タンク２に入れ密閉状態にして、−４０ｍｍＨｇの減
圧条件で約１２時間保持した。減圧処理した後、開放弁
１１を開放にして大気圧状態にし、無脈動定流量ギアポ
ンプ１３を使って液体を分配器３に送り、各細管に分配
した後に、オリフィス４、ニードルバルブ付面積式流量
計５を通して、各スプレーノズル６に供給しようとし
た。ところが、ポンプの回転数を増加させても液体をス
プレーノズルに供給することができなかった。
【００２５】（実施例２）あらかじめ加熱されたガラス
板に図４に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。気化器１５と金属化合物を含む気体をガラ
ス上に供給する設備１６との間の配管に、別の金属化合
物を含む気体を供給する配管が接続され、両方の金属化
合物が混合されて、ガラスに気体を供給する設備１６に
供給され、ガス状態の金属化合物をガラスリボン上に供
給して成膜を行った。気化器１５に送られた液体は、３
塩化アンチモンを酢酸エチルに溶解させた溶液を用い、
気化器１５で気化された後、キャリアガスとして用いら
れた窒素とともに送られた。ガラス上に気体を供給する
設備１６の前で合流した配管にはジメチル錫ジクロライ
ドの蒸気と窒素および酸素および水蒸気が混合された気
体が送られた。
板に図４に示す装置を用いて金属酸化物のコーティング
を実施した。気化器１５と金属化合物を含む気体をガラ
ス上に供給する設備１６との間の配管に、別の金属化合
物を含む気体を供給する配管が接続され、両方の金属化
合物が混合されて、ガラスに気体を供給する設備１６に
供給され、ガス状態の金属化合物をガラスリボン上に供
給して成膜を行った。気化器１５に送られた液体は、３
塩化アンチモンを酢酸エチルに溶解させた溶液を用い、
気化器１５で気化された後、キャリアガスとして用いら
れた窒素とともに送られた。ガラス上に気体を供給する
設備１６の前で合流した配管にはジメチル錫ジクロライ
ドの蒸気と窒素および酸素および水蒸気が混合された気
体が送られた。
【００２６】原料液３０リットルを４０リットルの減圧
タンク２に入れ密閉状態にして−４０ｍｍＨｇの減圧条
件で約１２時間保持した。減圧処理したタンクにヘリウ
ムガスボンベ８からバルブ１１を開けてヘリウムガスを
供給し、タンク内の圧力が４．０ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
た。マスフローコントローラー５を通して送られた液体
は間欠的になることなく連続的に気化器に供給された。
タンク２に入れ密閉状態にして−４０ｍｍＨｇの減圧条
件で約１２時間保持した。減圧処理したタンクにヘリウ
ムガスボンベ８からバルブ１１を開けてヘリウムガスを
供給し、タンク内の圧力が４．０ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
た。マスフローコントローラー５を通して送られた液体
は間欠的になることなく連続的に気化器に供給された。
【００２７】この原料液の熱分解により成膜された錫ー
アンチモン酸化物は、目視で観察したところガラスリボ
ンの流れ方向、および垂直方向でも反射色のムラおよび
透過色のムラがほとんど認識できないものであった。
アンチモン酸化物は、目視で観察したところガラスリボ
ンの流れ方向、および垂直方向でも反射色のムラおよび
透過色のムラがほとんど認識できないものであった。
【００２８】（比較例３）実施例２と同様の原料配管系
を使用したが、原料液３０リットルを４０リットルの加
圧タンク２に入れ、圧縮空気供給配管からの２ｋｇｆ／
ｃｍ2 のコンプレスエアーにより加圧して、原料液を流
量計５を経由して気化器１５に供給した。しかし、この
方法では、各配管内で泡が多量発生して気化器１５に液
体が間欠的に供給された。得られた錫−アンチモン酸化
物コーティングガラスを目視で観察したところ、成膜範
囲全体に斑点状の透過色のムラがみられた。なお、コン
プレスエアーの代わりに窒素ガスを用いても、泡の発生
の程度は変わらなかった。
を使用したが、原料液３０リットルを４０リットルの加
圧タンク２に入れ、圧縮空気供給配管からの２ｋｇｆ／
ｃｍ2 のコンプレスエアーにより加圧して、原料液を流
量計５を経由して気化器１５に供給した。しかし、この
方法では、各配管内で泡が多量発生して気化器１５に液
体が間欠的に供給された。得られた錫−アンチモン酸化
物コーティングガラスを目視で観察したところ、成膜範
囲全体に斑点状の透過色のムラがみられた。なお、コン
プレスエアーの代わりに窒素ガスを用いても、泡の発生
の程度は変わらなかった。
【００２９】
【発明の効果】本発明の液体の供給方法によれば、液体
を連続的かつ均一に細管へ供給することができる。この
液体の連続均一供給は、工業上各種の用途分野に応用可
能であるが、特に反射色のムラを抑制したコーティング
ガラスの製造に有用である。
を連続的かつ均一に細管へ供給することができる。この
液体の連続均一供給は、工業上各種の用途分野に応用可
能であるが、特に反射色のムラを抑制したコーティング
ガラスの製造に有用である。
【図１】 実施例で用いた装置の模式図である。
【図２】 比較例１で用いた装置の模式図である。
【図３】 比較例２で用いた装置の模式図である。
【図４】 実施例２で用いた装置の模式図である。
１：液体（原料液）、２：減圧タンク ３：液分配器、
４：オリフィス、５：ニードルバルブ付面積式流量計、
またはマスフローコントローラー、６：スプレーノズ
ル、７、７’：圧縮空気供給配管、８：ヘリウムガスボ
ンベ、９：ロータリーポンプ、１０：真空計、１１：バ
ルブ、１２：圧力計、１３：無脈動定流量ギヤーポン
プ、１４：開放弁 １５：気化器、１６：原料気体をガラス上に供給する装
置
４：オリフィス、５：ニードルバルブ付面積式流量計、
またはマスフローコントローラー、６：スプレーノズ
ル、７、７’：圧縮空気供給配管、８：ヘリウムガスボ
ンベ、９：ロータリーポンプ、１０：真空計、１１：バ
ルブ、１２：圧力計、１３：無脈動定流量ギヤーポン
プ、１４：開放弁 １５：気化器、１６：原料気体をガラス上に供給する装
置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０５Ｄ 3/00 Ｂ０５Ｄ 3/00 Ｃ Ｆターム(参考） 4D011 AA16 AC06 AD03 AD06 4D075 AA02 AA71 AA83 CB04 CB07 DA06 DB13 DC13 4F033 AA01 BA03 RA02 4G059 AA01 AC06 AC07 EA04 EB06 4G068 AA02 AA03 AB11 AC04 AD16 AD36 AD39 AD40 AD41 AD47 AE01 AE03 AF03 AF36
Claims (26)
- 【請求項１】 あらかじめ減圧雰囲気に接触させて溶存
する気体を減じた液体を、不活性ガスを主成分とする気
体によって加圧しながら密閉した経路内を輸送して供給
することにより、この経路内における液体からの気体発
生を抑制したことを特徴とする液体供給方法。 - 【請求項２】 液体が１つの経路に供給される、または
分岐を経由して複数の経路に同時に供給される請求項１
に記載の液体供給方法。 - 【請求項３】 前記供給される液体の流量が、経路ごと
に流量計測器により測定される請求項２に記載の液体供
給方法。 - 【請求項４】 前記流量計測器が面積式流量計である請
求項３に記載の液体供給方法。 - 【請求項５】 前記供給される液体の流量が、経路ごと
に流量調節器により調整される請求項２〜４のいずれか
一つに記載の液体供給方法。 - 【請求項６】 前記流量調節器がニードルバルブである
請求項５に記載の液体供給方法。 - 【請求項７】 前記複数の経路により供給される液体の
流量が、経路ごとにオリフィスにより調整される請求項
２〜６のいずれか一つに記載の液体供給方法。 - 【請求項８】 経路における液体出口端が液体入口端よ
りも高い位置にある請求項１〜７のいずれか一つに記載
の液体供給方法。 - 【請求項９】 前記不活性ガスがヘリウムである請求項
１〜８のいずれか一つに記載の液体供給方法。 - 【請求項１０】 前記供給される液体が、ガラス板の表
面に噴霧される請求項２〜９のいずれか一つに記載の液
体供給方法。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の方法により供給さ
れる液体に含まれる金属化合物の熱分解によって、この
金属を含む被膜を前記ガラス板の表面に形成する液体供
給方法。 - 【請求項１２】 前記被膜が熱線反射および／または吸
収性能を有する請求項１１に記載の液体供給方法。 - 【請求項１３】 前記流量計測器を通して調整された液
体が、液体を気体に変える気化器を通して気体状態で前
記ガラス板表面上に供給され、熱分解反応により金属を
含む被膜を形成する請求項１〜９のいずれか一つに記載
の液体供給方法。 - 【請求項１４】 減圧タンクと、このタンクに接続した
減圧ポンプおよび不活性ガスを主成分とする気体を内蔵
する容器と、前記タンクに保持した液体を輸送するため
の密閉された経路とを有する液体供給装置。 - 【請求項１５】 経路が分岐を介して複数の経路に接続
されている請求項１４に記載の液体供給装置。 - 【請求項１６】 前記複数の経路が、経路ごとに流量計
測器を備えた請求項１５に記載の液体供給装置。 - 【請求項１７】 前記流量計測器が面積式流量計である
請求項１６に記載の液体供給装置。 - 【請求項１８】 前記複数の経路が、経路ごとに流量調
節器を備えた請求項１５〜１７のいずれか一つに記載の
液体供給装置。 - 【請求項１９】 前記流量調節器がニードルバルブであ
る請求項１８に記載の液体供給装置。 - 【請求項２０】 前記複数の経路が、経路ごとにオリフ
ィスを備えた請求項１５〜１９のいずれか一つに記載の
液体供給装置。 - 【請求項２１】 経路における液体出口端が液体入口端
よりも高い位置にある請求項１４〜２０のいずれか一つ
に記載の液体供給装置。 - 【請求項２２】 前記複数の経路が、それぞれの液体出
口端にスプレーノズルを備えた請求項１５〜２１のいず
れか一つに記載の液体供給装置。 - 【請求項２３】 前記スプレーノズルをフロート製法に
よるガラスリボンの上方に配置した請求項２２に記載の
液体供給装置。 - 【請求項２４】 前記請求項１４に記載の密閉された経
路が、液体を気体に変える気化器に接続されている液体
供給装置。 - 【請求項２５】 前記気化器に接続した経路が、金属化
合物を含む気体をガラス上に供給する設備に接続されて
いる請求項２４に記載の液体供給装置。 - 【請求項２６】 前記気体をガラス上に供給する設備を
フロート製法によるガラスリボンの上方に配置した請求
項２５に記載の液体供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28047299A JP2001097743A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 液体供給方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28047299A JP2001097743A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 液体供給方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001097743A true JP2001097743A (ja) | 2001-04-10 |
Family
ID=17625562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28047299A Withdrawn JP2001097743A (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 液体供給方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001097743A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006272212A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Anest Iwata Corp | 多ガン塗装における塗料流量制御システム |
| JPWO2009141847A1 (ja) * | 2008-05-20 | 2011-09-22 | 株式会社島津製作所 | 大気圧イオン化質量分析装置における試料導入方法 |
-
1999
- 1999-09-30 JP JP28047299A patent/JP2001097743A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006272212A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Anest Iwata Corp | 多ガン塗装における塗料流量制御システム |
| JPWO2009141847A1 (ja) * | 2008-05-20 | 2011-09-22 | 株式会社島津製作所 | 大気圧イオン化質量分析装置における試料導入方法 |
| JP5136642B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2013-02-06 | 株式会社島津製作所 | 大気圧イオン化質量分析装置における試料導入方法 |
| US8378294B2 (en) | 2008-05-20 | 2013-02-19 | Shimadzu Corporation | Method of atmospheric pressure ionization for mass spectrometer |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060424 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080214 |