JP2001094389A - Surface acoustic wave device - Google Patents

Surface acoustic wave device

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JP2001094389A
JP2001094389A JP26636299A JP26636299A JP2001094389A JP 2001094389 A JP2001094389 A JP 2001094389A JP 26636299 A JP26636299 A JP 26636299A JP 26636299 A JP26636299 A JP 26636299A JP 2001094389 A JP2001094389 A JP 2001094389A
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JP
Japan
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resin
acoustic wave
surface acoustic
cap
resin base
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JP26636299A
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Japanese (ja)
Inventor
Reiko Kobayashi
玲子 小林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface acoustic wave(SAW) device improving adhesive in spite of being resin. SOLUTION: In a resin cap 33, an SAW element 21 is positioned in its hollow and a bonding wire 25 is positioned. In a state where a lead frame 23 and a lead frame 24 are made to correspond with the electrode insertion part 36 of a resin base 32 and the electrode insertion recess part 41 of the cap 33 and the projecting part 35 of the base 32 is fitted into the recess part 40 of the cap 33, the base 32 and the cap 33 are connected with adhesives 42 and 43. The base 32 and the frames 23 and 24 are adhered with the adhesive 42 and the cap 33 and the frames 23 and 24 are adhered with the adhesive 43. An SAW device is formed by sealing the element 21 by adhering with the adhesives 42 and 43.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂ケースに弾性
表面波素子が収納された弾性表面波デバイスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave device in which a surface acoustic wave element is housed in a resin case.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、弾性表面波デバイスは、圧電性
基板上に設けられた櫛歯状電極(Inter Digital Transd
ucer)により電気信号を弾性表面波(SAW)に変換
し、圧電性基板上を伝搬してくる弾性表面波を同様に圧
電性基板上に設けられた櫛歯状電極により弾性表面波を
受信し、電気信号と弾性表面波との変換に関わる周波数
特性を利用するものであり、弾性表面波フィルタ、弾性
表面波共振子あるいは遅延回路をはじめとして幅広く用
いられている。
2. Description of the Related Art Generally, a surface acoustic wave device is a comb-shaped electrode (Inter Digital Transd
ucer) to convert an electric signal into a surface acoustic wave (SAW), and the surface acoustic wave propagating on the piezoelectric substrate is similarly received by a comb-shaped electrode provided on the piezoelectric substrate. It utilizes frequency characteristics related to conversion between an electric signal and a surface acoustic wave, and is widely used, including a surface acoustic wave filter, a surface acoustic wave resonator, or a delay circuit.

【0003】このため、近年、特にテレビジョン用など
の分野で、薄型化、小型化できるため、弾性表面波フィ
ルタが広く用いられており、また、弾性表面波素子を収
納するケースは、従来の金属パッケージから樹脂パッケ
ージヘと移行しつつある。
[0003] For this reason, in recent years, especially in the field of television and the like, since it can be made thinner and smaller, a surface acoustic wave filter is widely used, and a case for accommodating a surface acoustic wave element is a conventional case. The transition from metal packages to resin packages is in progress.

【0004】従来、この種の弾性表面波デバイスは、た
とえば図7ないし図10に示す製造工程に従って形成さ
れている。
Conventionally, this type of surface acoustic wave device is formed, for example, according to the manufacturing steps shown in FIGS.

【0005】まず、図7に示すように、圧電性基板上に
櫛歯状電極が形成された弾性表面波素子1を接着剤2に
てリードフレーム3上に配設する。
First, as shown in FIG. 7, a surface acoustic wave element 1 having a comb-shaped electrode formed on a piezoelectric substrate is disposed on a lead frame 3 with an adhesive 2.

【0006】次に、図8に示すように、弾性表面波素子
1とリードフレーム3とのボンデイングパッドをワイヤ
ボンディング4にて接続する。
Next, as shown in FIG. 8, a bonding pad between the surface acoustic wave element 1 and the lead frame 3 is connected by wire bonding 4.

【0007】さらに、図9に示すように、平板状の樹脂
ベース5と下面が開口した中空薄箱状の樹脂キャップ6
を対向させ、樹脂ベース5および樹脂キャップ6間にリ
ードフレーム3を位置させ、樹脂ベース5の周囲に接着
剤7を塗布するとともに、樹脂キャップ6の接合する部
分に接着剤8を塗布する。
Further, as shown in FIG. 9, a resin cap 5 in the form of a flat plate and a resin cap 6 in the form of a hollow thin box having an open lower surface.
, The lead frame 3 is positioned between the resin base 5 and the resin cap 6, an adhesive 7 is applied around the resin base 5, and an adhesive 8 is applied to a portion where the resin cap 6 is joined.

【0008】そして、図10に示すように、樹脂キャッ
プ6内に弾性表面波素子1を中空に位置させるととも
に、ワイヤボンディング4を位置させ、樹脂ベース5を
リードフレーム3の弾性表面波素子1が装着されていな
い面に接着剤7で接着するとともに、樹脂キャップ6を
リードフレーム3の弾性表面波素子1が装着されている
面に接着剤8で接着し、樹脂ベース5および樹脂キャッ
プ6で樹脂パッケージ9を形成し、弾性表面波素子1を
封止し、弾性表面波デバイスを形成している。
Then, as shown in FIG. 10, the surface acoustic wave element 1 is positioned hollow in the resin cap 6, the wire bonding 4 is positioned, and the resin base 5 is connected to the surface acoustic wave element 1 of the lead frame 3. The resin cap 6 is adhered to the surface on which the surface acoustic wave element 1 of the lead frame 3 is mounted with an adhesive 8 while the resin cap 6 is adhered to the surface where the surface acoustic wave element 1 is not mounted. A package 9 is formed, the surface acoustic wave element 1 is sealed, and a surface acoustic wave device is formed.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
7ないし図10に示す構成の場合、樹脂ベース5の接着
面および樹脂キャップ6の接着面のいずれもが平面であ
るため、接合面積が狭く、樹脂ベース5および樹脂キャ
ップ6の材質によっては接着強度が得られない。
However, in the structure shown in FIGS. 7 to 10, since the bonding surface of the resin base 5 and the bonding surface of the resin cap 6 are both flat, the bonding area is small. Depending on the material of the resin base 5 and the resin cap 6, an adhesive strength cannot be obtained.

【0010】このため、成形時間が短く、成型時にバリ
が発生せず、材料がリサイクルでき、耐熱性が高いもの
の、難接着性であるためポリフェニレンサルファイド
(PPS)や液晶ポリマを使用することができない。
Therefore, the molding time is short, burrs are not generated at the time of molding, the material can be recycled, and although heat resistance is high, polyphenylene sulfide (PPS) and liquid crystal polymer cannot be used because of poor adhesion. .

【0011】さらに、接着剤7,8は封止の役割も果た
さねばならないが、信頼性試験などの高温高湿雰囲気下
では、樹脂ベース5およびリードフレーム3と、樹脂キ
ャップ6およびリードフレーム3との接合する部分から
水分が樹脂パッケージ9内に浸入しやすく、弾性表面波
素子1の櫛歯状電極の電極パターンを腐食してしまうな
どのおそれがある問題を有している。
Further, the adhesives 7 and 8 must also play a role of sealing, but in a high-temperature and high-humidity atmosphere such as a reliability test, the resin base 5 and the lead frame 3 and the resin cap 6 and the lead frame 3 However, there is a problem that moisture easily enters the resin package 9 from the joint portion of the surface acoustic wave element and the electrode pattern of the comb-like electrode of the surface acoustic wave element 1 may be corroded.

【0012】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、樹脂でも接着性を向上した弾性表面波デバイスを提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a surface acoustic wave device having improved adhesion even with resin.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電性基板お
よびこの圧電性基板上に設けられた櫛歯状電極を有する
弾性表面波素子と、この弾性表面波素子が装着されるリ
ードフレームと、樹脂ベースおよびこの樹脂ベースに取
り付けられる樹脂キャップを備え、これら樹脂ベースお
よび樹脂キャップを接合する部分に互いに対応する凹部
および突部を有し、これら樹脂ベースおよび樹脂キャッ
プ内に前記弾性表面波素子およびリードフレームを収容
する樹脂パッケージとを具備したもので、樹脂ベースお
よび樹脂キャップを接合する部分に互いに対抗する凹凸
を形成することにより、接着する際に接着面積を増加さ
せることができるため、接着性が向上するとともに封止
性も向上し、位置決めも容易になる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a surface acoustic wave device having a piezoelectric substrate, a comb-like electrode provided on the piezoelectric substrate, and a lead frame on which the surface acoustic wave device is mounted. , A resin base and a resin cap attached to the resin base, and a portion where the resin base and the resin cap are joined to each other. And a resin package for accommodating the lead frame, and by forming irregularities opposed to each other at a portion where the resin base and the resin cap are joined, it is possible to increase the bonding area when bonding. As a result, the sealing performance is improved, and the positioning is facilitated.

【0014】また、弾性表面波素子に電気的に接続され
樹脂ベースおよび樹脂キャップ間から外部に導出される
電極と、樹脂ベースおよび樹脂キャップの接合される部
分のうち電極が導出される部分には突部が形成されない
電極挿通部とを具備したもので、樹脂パッケージから容
易に電極を導出できる。
An electrode which is electrically connected to the surface acoustic wave element and is led out from between the resin base and the resin cap, and a part where the electrode is led out of a portion where the resin base and the resin cap are joined to each other. An electrode insertion portion having no projection is provided, so that the electrode can be easily led out of the resin package.

【0015】さらに、樹脂ベースおよび樹脂キャップ
は、ポリフェニレンサルファイドを含む樹脂であるもの
で、成形時間が短く、成型時にバリが発生せず、材料が
リサイクルできる。
Further, the resin base and the resin cap are made of a resin containing polyphenylene sulfide, and the molding time is short, burrs are not generated at the time of molding, and the material can be recycled.

【0016】またさらに、樹脂ベースおよび樹脂キャッ
プは、液晶ポリマを含む樹脂であるもので、成形時間が
短く、成型時にバリが発生せず、材料がリサイクルで
き、耐熱性を高くできる。
Further, the resin base and the resin cap are made of a resin containing a liquid crystal polymer. The molding time is short, no burrs are generated at the time of molding, the material can be recycled, and the heat resistance can be increased.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の弾性表面波デバイ
スの一実施の形態を図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図に示すように、圧電基板上にInter digi
tal Transducerである櫛歯状電極が形成された弾性表面
波素子21が接着剤22で電極を兼ねた突部23a を有するリ
ードフレーム23上に取り付けられている。また、リード
フレーム23はグランドとして用いられ、さらに、強度保
持用吊りバーを兼ねた入出力電極となるリードフレーム
24が設けられ、弾性表面波素子21とリードフレーム23お
よびリードフレーム24のボンディングパッドとの間は、
ボンディングワイヤ25にて電気的に接続されている。
As shown in FIG.
A surface acoustic wave element 21 having a comb-shaped electrode, which is a tal transducer, is mounted on a lead frame 23 having a projection 23a also serving as an electrode with an adhesive 22. The lead frame 23 is used as a ground, and furthermore, a lead frame serving as an input / output electrode also serving as a suspension bar for maintaining strength.
24 is provided, between the surface acoustic wave element 21 and the bonding pads of the lead frame 23 and the lead frame 24,
They are electrically connected by bonding wires 25.

【0019】さらに、31はポリフェニレンサルファイド
あるいは液晶ポリマを含む樹脂パッケージで、この樹脂
パッケージ31は、樹脂ベース32とこの樹脂ベース32を覆
う樹脂キャップ33を有している。
Reference numeral 31 denotes a resin package containing polyphenylene sulfide or a liquid crystal polymer. The resin package 31 has a resin base 32 and a resin cap 33 covering the resin base 32.

【0020】そして、樹脂ベース32は、矩形状の平板状
の基板34にこの基板34の周囲から樹脂キャップ33の厚さ
分内方に上方に向けて突出し、ほぼ基板34の外縁に沿っ
た突部35が形成され、この突部35にはリードフレーム23
の突部23a およびリードフレーム24が外部に導出される
電極挿通部36を有している。
The resin base 32 projects upward from the periphery of the rectangular plate-shaped substrate 34 inward by the thickness of the resin cap 33 toward the rectangular flat plate-shaped substrate 34, and extends substantially along the outer edge of the substrate 34. A portion 35 is formed.
The projection 23a and the lead frame 24 have an electrode insertion portion 36 which is led out.

【0021】一方、樹脂キャップ33は、樹脂ベース32の
基板34の矩形と同形状の平板状の蓋部37を有し、この蓋
部37の周囲には周壁部38が形成され、下面が開口してい
る。また、周壁部38の先端側には、樹脂ベース32の突部
35の幅よりやや幅広の間隙を介して周壁部38と平行に内
壁部39が形成され、周壁部38および内壁部39の間、すな
わち周壁部38の厚さ方向の内側に樹脂ベース32の突部35
が嵌合される凹部40が形成されている。さらに、樹脂キ
ャップ33の周壁部38に、樹脂ベース32の電極挿通部36が
形成されている部分に対応し高さがリードフレーム23,
24の厚みに対応した電極挿通凹部41が形成されている。
On the other hand, the resin cap 33 has a flat lid 37 having the same shape as the rectangle of the substrate 34 of the resin base 32. A peripheral wall 38 is formed around the lid 37, and the lower surface is opened. are doing. In addition, a protruding portion of the resin base 32 is provided on the distal end side of the peripheral wall portion 38.
An inner wall portion 39 is formed in parallel with the peripheral wall portion 38 with a gap slightly wider than the width of 35, and the resin base 32 projects between the peripheral wall portion 38 and the inner wall portion 39, that is, inside the thickness direction of the peripheral wall portion 38. Part 35
A concave portion 40 into which is fitted is formed. Further, the height corresponding to the portion of the resin base 32 where the electrode insertion portion 36 is formed on the peripheral wall portion 38 of the resin cap 33,
An electrode insertion recess 41 corresponding to the thickness of 24 is formed.

【0022】そして、リードフレーム23およびリードフ
レーム24を樹脂ベース32の電極挿通部36および樹脂キャ
ップ33の電極挿通凹部41に対応させて、樹脂ベース32の
突部35が樹脂キャップ33の凹部40に嵌合された状態で、
樹脂ベース32とリードフレーム23および樹脂ベース32と
樹脂キャップ33とが接着剤42で接着されるとともに、樹
脂キャップ33とリードフレーム23および樹脂ベース32と
樹脂キャップ33とが接着剤43で接着されている。
The protrusions 35 of the resin base 32 correspond to the electrode insertion portions 36 of the resin base 32 and the electrode insertion recesses 41 of the resin cap 33 so that the lead frames 23 and 24 correspond to the recesses 40 of the resin cap 33. In the mated state,
The resin base 32 and the lead frame 23 and the resin base 32 and the resin cap 33 are bonded with an adhesive 42, and the resin cap 33 and the lead frame 23 and the resin base 32 and the resin cap 33 are bonded with an adhesive 43. I have.

【0023】次に、この実施の形態の弾性表面波デバイ
スの製造方法を図1ないし図4に示す製造工程に従って
説明する。
Next, a method of manufacturing the surface acoustic wave device according to this embodiment will be described with reference to the manufacturing steps shown in FIGS.

【0024】まず、図2に示すように、圧電性基板上に
櫛歯状電極が形成された弾性表面波素子21を接着剤22に
てリードフレーム23上に配設する。
First, as shown in FIG. 2, a surface acoustic wave element 21 having a comb-shaped electrode formed on a piezoelectric substrate is disposed on a lead frame 23 with an adhesive 22.

【0025】次に、図3に示すように、弾性表面波素子
21とリードフレーム23,24のボンデイングパッドとをボ
ンディングワイヤ25にて接続する。
Next, as shown in FIG.
21 and the bonding pads of the lead frames 23 and 24 are connected by bonding wires 25.

【0026】さらに、図4に示すように、リードフレー
ム23およびリードフレーム24を樹脂ベース32の電極挿通
部36および樹脂キャップ33の電極挿通凹部41に対応させ
た状態で樹脂ベース32と樹脂キャップ33を対向させ、樹
脂ベース32の突部35の周囲に接着剤42を塗布するととも
に樹脂キャップ33の凹部40に接着剤43を塗布する。
Further, as shown in FIG. 4, the resin base 32 and the resin cap 33 are arranged with the lead frame 23 and the lead frame 24 corresponding to the electrode insertion portion 36 of the resin base 32 and the electrode insertion recess 41 of the resin cap 33. The adhesive 42 is applied around the protrusion 35 of the resin base 32 and the adhesive 43 is applied to the concave portion 40 of the resin cap 33.

【0027】そして、図1に示すように、樹脂キャップ
32内に弾性表面波素子21を中空に位置させるとともに、
ボンディングワイヤ25を位置させ、リードフレーム23の
突部23a およびリードフレーム24を樹脂ベース32の電極
挿通部36および樹脂キャップ33の電極挿通凹部41に対応
させて、樹脂ベース32の突部35が樹脂キャップ33の凹部
40に嵌合した状態で、樹脂ベース32と樹脂キャップ33と
を接着剤42,43で接着し、樹脂ベース32とリードフレー
ム23またはリードフレーム24を接着剤42で接着するとと
もに、樹脂キャップ33とリードフレーム23またはリード
フレーム24を接着剤43で接着し、弾性表面波素子21を封
止して弾性表面波デバイスを形成する。
Then, as shown in FIG.
While the surface acoustic wave element 21 is located in the hollow in 32,
With the bonding wire 25 positioned, the protrusion 23a of the lead frame 23 and the lead frame 24 correspond to the electrode insertion portion 36 of the resin base 32 and the electrode insertion recess 41 of the resin cap 33, and the protrusion 35 of the resin base 32 is Cap 33 recess
In a state fitted to 40, the resin base 32 and the resin cap 33 are bonded with adhesives 42 and 43, and the resin base 32 and the lead frame 23 or the lead frame 24 are bonded with the adhesive 42, and the resin cap 33 and The lead frame 23 or the lead frame 24 is bonded with an adhesive 43, and the surface acoustic wave element 21 is sealed to form a surface acoustic wave device.

【0028】また、樹脂ベース32は樹脂キャップ33の厚
さ方向に沿って突部35が形成され、樹脂キャップ33は周
壁部38に沿って内壁部39が形成され、これら周壁部38お
よび内壁部39の間、すなわち周壁部38の厚さ方向に凹部
40が形成されているので、接着面積が広くなり、接着強
度が強くなる。したがって、難接着性のポリフェニレン
サルファイドや液晶ポリマなどの樹脂で樹脂キャップ33
および樹脂ベース32を形成でき、成形時間が短く、成型
時にバリが発生せず、材料がリサイクルでき、作業性の
向上および低コスト化を図れる。
The resin base 32 has a projection 35 formed along the thickness direction of the resin cap 33, and the resin cap 33 has an inner wall 39 formed along the peripheral wall 38. Between 39, i.e., recesses in the thickness direction of the peripheral wall 38
Since 40 is formed, the bonding area increases and the bonding strength increases. Therefore, the resin cap 33 is made of a resin such as polyphenylene sulfide or liquid crystal polymer, which is hardly adhered.
In addition, the resin base 32 can be formed, the molding time is short, burrs are not generated at the time of molding, the material can be recycled, the workability can be improved, and the cost can be reduced.

【0029】さらに、樹脂ベース32の突部35および樹脂
キャップ33の凹部40を嵌合させることにより、樹脂ベー
ス32と樹脂キャップ33との位置合わせが容易になり、位
置ずれを防止できる。
Further, by fitting the projection 35 of the resin base 32 and the concave portion 40 of the resin cap 33, the alignment between the resin base 32 and the resin cap 33 becomes easy, and the displacement can be prevented.

【0030】またさらに、樹脂ベース32と樹脂キャップ
33との間の接着剤42,43の界面形状が複雑なため、高温
高湿雰囲気下においても、樹脂ベース32と樹脂キャップ
33とを接合した部分から水分が樹脂パッケージ31内に浸
入しにくく、弾性表面波素子21の櫛歯状電極などの電極
パターンの腐食を防止できる。
Further, the resin base 32 and the resin cap
Due to the complicated interface shape of the adhesives 42 and 43 between the resin base 32 and the resin base 32 and the resin cap even in a high temperature and high humidity atmosphere
Moisture hardly permeates into the resin package 31 from the portion where the surface acoustic wave element 33 is joined, and the corrosion of the electrode pattern such as the comb-like electrode of the surface acoustic wave element 21 can be prevented.

【0031】なお、上記実施の形態では、樹脂ベース32
に突部35を形成し、樹脂キャップ33に凹部40を形成した
が、樹脂ベース32に凹部を形成し、樹脂キャップ33に突
部を形成してもよく、さらには、両者を組み合わせたも
のでも同様の効果を得ることができる。
In the above embodiment, the resin base 32
Although the protrusion 35 is formed on the resin cap 33 and the recess 40 is formed on the resin cap 33, the recess may be formed on the resin base 32 and the protrusion may be formed on the resin cap 33, or a combination of the two. Similar effects can be obtained.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明によれば、樹脂ベースおよび樹脂
キャップを接合する部分に互いに対抗する凹凸を形成す
ることにより、接着する際に接着面積を増加させること
ができるため、接着性が向上するとともに封止性も向上
し、位置決めも容易にできる。
According to the present invention, by forming irregularities opposed to each other at a portion where the resin base and the resin cap are joined, the bonding area can be increased at the time of bonding, thereby improving the adhesiveness. In addition, the sealing property is improved, and the positioning can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の弾性表面波デバイスの一実施の形態を
示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention.

【図2】同上弾性表面波デバイスの一製造工程を示す断
面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing one manufacturing process of the surface acoustic wave device according to the first embodiment;

【図3】同上図2の次の製造工程を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a next manufacturing step of FIG. 2;

【図4】同上図3の次の製造工程を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a next manufacturing step of FIG. 3;

【図5】同上弾性表面波デバイスを示す分解斜視図であ
る。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing the SAW device.

【図6】同上弾性表面波デバイスを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the surface acoustic wave device according to the first embodiment;

【図7】従来例の弾性表面波デバイスの一製造工程を示
す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating one manufacturing process of a conventional surface acoustic wave device.

【図8】同上図7の次の製造工程を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 7;

【図9】同上図8の次の製造工程を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 8;

【図10】同上図9の次の製造工程を示す断面図であ
る。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing the next manufacturing step of FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 弾性表面波素子 23 リードフレーム 24 リードフレーム 31 樹脂パッケージ 32 樹脂ベース 33 樹脂キャップ 35 突部 36 電極挿通部 40 凹部 21 Surface acoustic wave element 23 Lead frame 24 Lead frame 31 Resin package 32 Resin base 33 Resin cap 35 Projection 36 Electrode insertion part 40 Concave part

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電性基板およびこの圧電性基板上に設
けられた櫛歯状電極を有する弾性表面波素子と、 この弾性表面波素子が装着されるリードフレームと、 樹脂ベースおよびこの樹脂ベースに取り付けられる樹脂
キャップを備え、これら樹脂ベースおよび樹脂キャップ
を接合する部分に互いに対応する凹部および突部を有
し、これら樹脂ベースおよび樹脂キャップ内に前記弾性
表面波素子およびリードフレームを収容する樹脂パッケ
ージとを具備したことを特徴とする弾性表面波デバイ
ス。
1. A piezoelectric substrate, a surface acoustic wave element having a comb-like electrode provided on the piezoelectric substrate, a lead frame on which the surface acoustic wave element is mounted, a resin base, and a resin base. A resin package having a resin cap to be attached, a concave portion and a projection corresponding to each other at a portion where the resin base and the resin cap are joined, and accommodating the surface acoustic wave element and the lead frame in the resin base and the resin cap And a surface acoustic wave device comprising:
【請求項2】 弾性表面波素子に電気的に接続され樹脂
ベースおよび樹脂キャップ間から外部に導出される電極
と、 樹脂ベースおよび樹脂キャップの接合される部分の突部
のうち電極が導出される部分には突部が形成されない電
極挿通部とを具備したことを特徴とする請求項1記載の
弾性表面波デバイス。
2. An electrode which is electrically connected to the surface acoustic wave element and is led out from between the resin base and the resin cap, and an electrode is led out of a protrusion at a portion where the resin base and the resin cap are joined. 2. The surface acoustic wave device according to claim 1, further comprising an electrode insertion portion having no projection formed at the portion.
【請求項3】 樹脂ベースおよび樹脂キャップは、ポリ
フェニレンサルファイドを含む樹脂であることを特徴と
する請求項1記載の弾性表面波デバイス。
3. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the resin base and the resin cap are made of a resin containing polyphenylene sulfide.
【請求項4】 樹脂ベースおよび樹脂キャップは、液晶
ポリマを含む樹脂であることを特徴とする弾性表面波デ
バイス。
4. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the resin base and the resin cap are made of a resin containing a liquid crystal polymer.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008131152A (en) * 2006-11-17 2008-06-05 Fujitsu Media Device Kk Surface acoustic wave device
US8217551B2 (en) 2008-10-21 2012-07-10 Taiyo Yuden Co., Ltd. Surface acoustic wave package with air hole that prevents thermal expansion

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