JP2001093421A

JP2001093421A - シャドウマスクの欠陥修正方法および装置

Info

Publication number: JP2001093421A
Application number: JP26667099A
Authority: JP
Inventors: Takumi Karasawa; 工唐澤; Kiyoto Tomiyama; 清人富山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-09-21
Filing date: 1999-09-21
Publication date: 2001-04-06

Abstract

(57)【要約】【課題】シャドウマスクの欠陥開口を修正して歩留りを
向上する。【解決手段】水平微偏向回路１７、垂直微偏向回路１
８、カソードドライバ１６を備え、制御装置１の制御の
基に偏向ヨークの水平コイル８および垂直コイル１５の
それぞれに直流電流に両極性のパルス電流を重畳した微
偏向電流を流して、異物が付着した欠陥開口を探索して
検出し、カソードドライバ１６が電子銃のカソードに高
エネルギーのパルス電流を印加して異物を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスクの
欠陥を修正する方法およびその装置に係り、特に完成し
たカラー陰極線管に備えるシャドウマスクの電子ビーム
通過孔の詰まりを電子ビームの照射で除去して良品率を
向上するシャドウマスクの欠陥修正方法および装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】テレビ受像機やコンピュータなどの情報
処理装置のモニターとして多用されているカラー陰極線
管は、画面を形成するパネルと電子銃を収容するネック
を形成した漏斗状のファンネルとを低融点硝子を用いて
接合し、ネック内に電子銃を設置した後、真空排気して
密閉した真空外囲器で構成される。

【０００３】パネルの内面には複数色（一般には、赤、
緑、青の３色）の蛍光体を区分して塗り分けた蛍光膜を
有し、この蛍光膜に近接して色選択電極であるシャドウ
マスクが設置されている。

【０００４】また、ファンネルの内面には、電子銃と蛍
光膜に高電圧を導入するための内部導電膜を形成してあ
る。

【０００５】図９はシャドウマスクを有するカラー陰極
線管の構造例を説明する模式断面図である。このカラー
陰極線管は、３種の蛍光体（一般には、赤：Ｒ、緑：
Ｇ、青：Ｂ）をモザイク状に有する蛍光面３３を構成す
るパネル部３０と、各蛍光体に対応した３本の電子ビー
ム４３をインラインに生成するカソードおよび生成した
３本の電子ビームを加速集束する複数の格子電極で構成
した電子銃（インライン電子銃）４２を収納するネック
部３１と、パネル部３０とネック部３１を連接する漏斗
状のファンネル部３２とからなる真空外囲器を有してい
る。

【０００６】この真空外囲器の前記ファンネル部３２の
ネック部３１側には電子ビーム４３を水平と垂直に偏向
するための磁界を発生する水平偏向コイルと垂直偏向コ
イルを備えた偏向ヨーク４１が外装され、また前記ネッ
ク部３１の外周には、カラーピュリテイ補正用リングマ
グネットやコンバーゼンス補正用リングマグネットから
なる磁気補正ユニット４４が設置されている。

【０００７】前記パネル部３０には、その蛍光面３３に
近接して多数の電子ビーム通過孔を有するシャドウマス
ク３４が設置されている。このシャドウマスク３４は、
３本の電子ビーム４３のそれぞれを蛍光面３３に形成さ
れた３種の蛍光体のそれぞれに射突させる色選択電極と
して機能する。

【０００８】シャドウマスク３４はマスクフレーム３５
に架張されてスプリング３６を介してパネル部のスカー
ト内壁に懸架されている。

【０００９】電子銃４２から出射した３本の電子ビーム
４３は、管軸を含むほぼ同一平面上にあって、外側２本
の電子ビーム（サイドビーム）の通路は中央の電子ビー
ム（センタービーム）の通路に関して対称になるように
配置されている。３本の電子ビーム４３のそれぞれは、
一般的には電子銃の前方に配置した蛍光面で一点（Ｒ，
Ｇ，Ｂの蛍光体で構成される１画素）に集中し、所定の
蛍光体を射突して良好なコンバーゼンスとカラーピュテ
ィ（色純度）が得られるように構成されている。このコ
ンバーゼンスとカラーピュティは、磁気補正ユニット４
４で微調整される。

【００１０】この種のカラー陰極線管の製造工程のう
ち、特にコンピュータ等の画像情報の表示を目的とする
製品では、パネルに近接して設置したシャドウマスク
は、例えば、径が０．１ｍｍといった極微細な開口（電
子ビーム通過孔）を二次元に配列してある。その数は、
全体で数１００万個にも及んでいる。

【００１１】カラー陰極線管の製造では、十分に清浄化
した環境で組立て、加工等を施しているが、それでも、
製造工程中でしばしばシャドウマスクの開口に異物が付
着する事態が発生する。このような異物は、製品として
見ると、画像を表示した際に対応する蛍光体が発光しな
い表示欠陥のもととなる。

【００１２】このような表示欠陥は、カラー陰極線管と
して完成した後の検査で発見されるため、その修正は著
しく困難であり、不良品となって製造原価を上昇させ
る。

【００１３】この種の欠陥を修正する従来の装置は、カ
ラー陰極線管の偏向ヨークに通常供給するノコギリ波電
流に代えて、直流電流を印加して輝点を表示し、この輝
点を欠陥部位に位置合わせし、電子銃から高エネルギー
の電子ビームを照射して当該欠陥部位の異物を加熱、蒸
散させて修復するものである。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の欠
陥修正装置では、欠陥部位の殆どは異物が開口を閉塞し
た状態にあり、輝点をこの欠陥部位（異物が付着した開
口）に正確に位置合わせすることが困難であった。

【００１５】そのため、高エネルギーの電子ビームが開
口の近傍を加熱してしまい、局部的な熱変形による色純
度の劣化をもたらす。

【００１６】さらに、開口から異物が除去されて欠陥が
修正された後にも高エネルギーの電子ビームが蛍光体に
照射され続けるため、当該蛍光体が損傷したり、パネル
を構成するガラス（パネルガラス）の損傷をもたらす場
合がある。

【００１７】本発明の目的は、上記従来技術の諸問題を
解消したシャドウマスクの欠陥修正方法およびその装置
を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、偏向ヨークに直流電流の重畳した両極性
のパルス電流を流し、このパルス電流に同期して電子銃
のカソードにパルス電流を印加することで異物が付着し
た開口すなわち欠陥部位を探索して当該開口位置を正確
に検出した後、上記カソード電流を増加して当該異物の
付着部位（電子銃側か、蛍光体側か）に応じたエネルギ
ーの電子ビームを照射して異物を蒸散するようにした。

【００１９】本発明の代表的な構成を記述すれば、下記
のとおりである。すなわち、本発明によるシャドウマス
クの欠陥修正方法は、（１）：偏向ヨークの水平コイルおよび垂直コイルのそ
れぞれに直流電流に両極性のパルス電流を重畳した微偏
向電流を流し、このパルス電流に同期して電子銃のカソ
ードにパルス電流を印加することで異物が付着した欠陥
開口を探索して検出し、検出した欠陥開口の異物を除去
する方法とした。

【００２０】（２）：（１）の方法における前記欠陥開
口に、高エネルギーの電子ビームを照射して異物を除去
する。ここで言う高エネルギーの電子ビームとは、欠陥
開口の探索と位置設定時の電子ビームの電流値（電子銃
のカソードに供給する電流：カソード電流）よりも電流
値が大きい電子ビームを意味する。

【００２１】（３）：（２）の方法における前記高エネ
ルギーの電子ビームの当該エネルギーの大きさ（強度）
を前記異物の付着部位により変化させる。

【００２２】（４）：（２）または（３）における前記
欠陥開口の異物が除去されたことによる対応する蛍光体
の発光（輝点）を検出して前記電子ビームの照射を停止
する。

【００２３】この方法では、シャドウマスクの表面に水
平方向と垂直方向に交叉する十字形の微小走査を行うこ
とで、欠陥開口を探索して検出する。この検出では、電
子ビームの射突で上記十字形に発光する蛍光体の配列の
中心に欠陥開口すなわち発光しない、または発光が微弱
な蛍光体を位置させる。

【００２４】そして、検出した欠陥開口に（２）（３）
の方法で高エネルギーの電子ビームを照射し、当該欠陥
開口にある異物を蒸散させる。高エネルギーの電子ビー
ムは上記したように、上記微小偏向時のエネルギーより
も大なる電流を電子銃のカソードに供給することで得ら
れる。

【００２５】また、この高エネルギーの電子ビームは、
パルス状に印加して蛍光体あるいはパネルの損傷を防止
すると共に、異物が除去された後は、即座に上記高エネ
ルギーの電子ビームの照射を停止することで、蛍光体あ
るいはパネルの損傷を防止する。

【００２６】本発明によるシャドウマスクの欠陥修正装
置は、（５）：複数色の蛍光体を塗布してなる蛍光面を有する
と共に当該蛍光面に近接してシャドウマスクを設置した
パネルと、一端に電子銃を収容するネックを有する漏斗
状のファンネルとで形成した真空外囲器と、前記真空外
囲器を構成するファンネルのネック寄りに水平偏向コイ
ルと垂直偏向コイルからなる偏向ヨークを外装したカラ
ー陰極線管におけるシャドウマスクの欠陥修正装置であ
って、直流電流に３値のパルス電流を重畳した水平微偏
向電流を水平偏向コイルに供給する水平微偏向回路と、
直流電流に３値のパルス電流を重畳した微偏向電流を垂
直コイルに供給する垂直微偏向回路と、前記各直流電流
の大きさを変化させて水平位置調整および垂直位置調整
を行うための水平位置調整回路および垂直位置調整回路
と、前記値のパルス電流を生成するためのデジタル信号
を発生すると共に、前記パルス電流に同期して電子銃の
カソード駆動回路にパルス電流を印加する制御装置とを
具備し、前記電子銃から発射される電子ビームを前記水
平位置調整回路および垂直位置調整回路を調整して異物
が付着した欠陥開口を検出し、検出した欠陥開口の異物
を除去することを特徴とする。

【００２７】（６）：（５）における前記カソード駆動
回路により電子ビームに高エネルギーを与え、この電子
ビームの照射で前記欠陥開口の異物を除去することを特
徴とする。

【００２８】（７）：（６）における前記カソード駆動
回路が前記カソードに印加するエネルギーの大きさを変
化させる機能を有することを特徴とする。

【００２９】（８）：（６）または（７）における前記
パネルの外面に、前記電子ビームの照射で異物が除去さ
れた開口を通過した当該電子ビームによる蛍光体の発光
による蛍光面の輝度の増大を検出する光検出器を設け、
この光検出器が検出した輝度の増大情報で前記カソード
駆動回路を制御して前記カソードの駆動を停止または低
減することを特徴とする。

【００３０】この構成の装置では、直流電流に３値のパ
ルス電流を重畳した水平微偏向電流を水平偏向コイルに
流して電子ビームを水平方向に微偏向させ、これを水平
線上で移動する。この走査線上での微偏向位置の移動
は、水平位置調整回路で制御される。

【００３１】これと同時に、直流電流に３値のパルス電
流を重畳した垂直微偏向電流を垂直偏向コイルに流して
電子ビームを垂直方向に微偏向させ、これを垂直線上で
移動する。この垂直線上での微偏向の移動は、垂直位置
調整回路で制御される。

【００３２】上記水平と垂直の各微偏向を同期させるこ
とで、画面上で十字形の蛍光体発光パターンを得ること
ができる。そして、当該十字形の中央に欠陥開口を位置
させた状態で、高エネルギーの電子ビームを照射し、当
該欠陥開口にある異物を蒸散させる。十字形の微偏向パ
ターンの移動は、上記の３値パルスを重畳する直流電流
の電圧値を調整させることで行うが、この調整は手作業
でもよいが、当該直流電流の電圧値を欠陥探索サイクル
毎に自動的に増加させるようにし、かつ（８）の光検出
器の出力を利用して欠陥開口位置で微偏向の位置を停止
させるように自動化することもできる。

【００３３】そして、検出した欠陥開口に（６）（７）
のにより高エネルギーの電子ビームを照射し、当該欠陥
開口にある異物を蒸散させる。高エネルギーの電子ビー
ムは上記微小走査時のエネルギーよりも大なる電流を電
子銃のカソードに供給するようにカソードドライバで制
御される。

【００３４】また、この高エネルギーの電子ビームは、
パルス状に印加して蛍光体あるいはパネルの損傷を防止
すると共に、光検出器に入射する高量の増大で異物が除
去されたことを検知する。この光検出器の検知情報で、
即座に上記高エネルギーの電子ビームの照射を停止す
る。

【００３５】上記した一連の操作は、制御装置に格納し
たシーケンスプログラムで実行させるように構成するこ
とができる。

【００３６】本発明は、上記の構成および後述する実施
例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想
を逸脱することなく、種々の変更が可能である。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。

【００３８】図１は本発明によるシャドウマスクの欠陥
修正装置の回路構成の１実施例を説明するブロック図で
ある。この回路はカラー陰極線管の画面上に形成した輝
点の位置を制御してシャドウマスクの欠陥開口（電子ビ
ーム通過孔）を探索し、検出するものである。

【００３９】シャドウマスクの欠陥修正装置は、ＣＰＵ
を備えた制御装置１と、Ｄ／Ａ変換器２、電圧バッファ
アンプ３、混合器６、出力アンプ７、混合器６、出力ア
ンプ７、水平位置調整器４、電圧バッファアンプ５で構
成される水平微偏向回路１７と、Ｄ／Ａ変換器９、電圧
バッファアンプ１０、混合器１３、出力アンプ１４、垂
直位置調整器１１、電圧バッファアンプ１２で構成され
る垂直微偏向回路１８とで構成される。

【００４０】水平微偏向回路１７の出力は偏向ヨークを
構成する水平偏向コイル８に接続され、垂直微偏向回路
１８は同垂直偏向コイル１５に接続されている。また、
符号１６は電子銃のカソードに印加する駆動電流を制御
するカソードドライバを示す。

【００４１】この回路において、制御装置１から水平方
向の微小走査データがＤ／Ａ変換器２に、また垂直方向
の微小走査データがＤ／Ａ変換器９に供給される。Ｄ／
Ａ変換器２は水平方向の微小走査データをアナログ信号
に変換し、電圧バッファアンプ３を通して混合器６の一
方の入力ｈ１に与える。また、水平位置調整器４で設定
した電圧は電圧バッファアンプ５を通して混合器６の一
方の入力ｈ２に与えられる。混合器６で合成された水平
微偏向信号は出力アンプ７で電流増幅した後、水平偏向
コイル８に供給される。

【００４２】一方、Ｄ／Ａ変換器９は垂直方向の微小走
査データをアナログ信号に変換し、電圧バッファアンプ
１０を通して混合器１３の一方の入力ｖ１に与える。

【００４３】また、垂直位置調整器１１で設定した電圧
は電圧バッファアンプ１２を通して混合器１３の他方の
入力ｖ２に与えられる。混合器１３で合成された垂直微
偏向信号は出力アンプ１４で電流増幅した後、垂直偏向
コイル１５に供給される。

【００４４】上記の構成において、シャドウマスクの欠
陥開口を探索し、検出する動作を説明する。

【００４５】図２は図１のＤ／Ａ変換器から出力される
水平方向と垂直方向の微小走査信号の波形図であり、
（ａ）はＤ／Ａ変換器２から出力される水平方向の微小
走査信号Ａ１を、（ｂ）は垂直方向の微小走査信号Ａ２
の各波形を示す。図示したように、微小走査信号Ａ１，
Ａ２は、正（＋）、ゼロ（０）、負（−）の３値の信号
である。この３値の信号の正（＋）と負（−）の大きさ
Ｒ，Ｒ’、Ｓ，Ｓ’はシャドウマスクの開口ピッチの整
数倍とするのが好ましく、ここでは、１ピッチに対応さ
せた大きさとしてある。

【００４６】この欠陥開口の探索と修正を目視で行う場
合は、目に対する負荷軽減と見易さを考慮して、その周
期Ｔを１０ｍｓ以下とするのが好適である。

【００４７】そして、この欠陥開口の探索と検出モード
におけるカソード電流は、蛍光体を劣化させないよう
に、パルス又は微小な直流値とする。まず、欠陥開口の
探索と検出について説明する。欠陥開口の探索モードで
は、次のような操作を行う。

【００４８】図３は水平偏向コイルと垂直偏向コイルに
それぞれ微小走査信号を流したときの蛍光体の発光によ
る画面上での輝点パターンを示す模式図であり、シャド
ウマスクに欠陥開口がない部分での様子を、図４は同じ
く画面上での輝点パターンを示す模式図であり、シャド
ウマスクに欠陥開口がある部分での様子を示す。

【００４９】図３における１００〜１０４は蛍光体の発
光による輝点であり、このうちの輝点１０１を水平位置
調整器４および垂直位置調整器１１で調整し、４点の輝
点１００，１０２，１０３，１０４の中心に来るように
設定する。

【００５０】図４は欠陥開口が輝点２０１に対応する部
分にある場合の輝点パターンであり、輝点が消失した欠
陥開口２０１に対応する蛍光体を中心として輝点２０
０，２０２，２０３，２０４が位置するパターンを形成
している。

【００５１】この実施例では、欠陥開口に隣接する輝点
の個数を水平と垂直の各方向に２個、計４個としてある
が、上記隣接する輝点の個数を水平と垂直の各方向に同
数とすることで、水平位置調整器４と垂直位置調整器１
１で各輝点の中心を合致させ、当該中心位置にある輝点
の消失した欠陥開口の位置設定が行われる。このような
微小範囲では、偏向コイルの電流対画面位置の直線性な
どの影響は無視できるので、正負のパルスの大きさを合
致させるだけで十分である。

【００５２】本発明者の実験によれば、公称１９インチ
〜２１インチ程度のカラー陰極線管でも、画面位置に依
存せずに、同一のパルスの大きさ（振幅）を用いて所期
の目的を達成できることが確認された。

【００５３】次に、欠陥開口の修正（修正モード）につ
いて説明する。修正すべき欠陥開口の位置は前記の欠陥
探索モードで検出され、その位置が決定されている。

【００５４】まず、制御装置１からＤ／Ａ変換器２，９
に与えていた微小走査データを０とする。そして、制御
装置１はカソードドライバ１６を制御して電子銃のカソ
ードにパルス状の電流を印加する。

【００５５】図５は欠陥修正モードでカソードに印加す
るカソード電流の波形図と大きさの説明図であり、
（ａ）はカソード電流波形、（ｂ）は大きさ（波高値）
と周期の関係を示す。

【００５６】カソードに印加するカソード電流Ｉｋ（μ
Ａ）の大きさと印加周期（パルス幅）ｔ₁およびパルス
周期ｔ₂は概ね図５（ｂ）に示したものが代表例である
が、これらは欠陥開口にある異物の材質、付着量に応じ
て設定すればよい。例えば、画面に表示された欠陥開口
の輝点が全くの暗点である場合は当該異物が金属材であ
る場合が殆どであるので、カソード電流Ｉｋは５０〜３
００μＡの範囲とし、画面に表示された欠陥開口の輝点
が若干の明るさを有している場合は、当該異物が有機物
であるか、あるいは金属材ではあるがその付着量が少な
いことを示すため、カソード電流Ｉｋは０．１〜０．５
μＡの範囲として連続的に、すなわち直流電流とする。
また、当該異物の付着部位が電子銃側と蛍光面側とで異
なるエネルギーの電子ビームを照射するようにすること
もできる。この点については後述する。

【００５７】なお、この修正モードでカソードに与える
電流値は探索モード時でのカソード電流値よりもかなり
大きいので、ここでは高エネルギー電子ビームと称す
る。

【００５８】このカソード電流を供給することによる電
子銃から出射する高エネルギーの電子ビームは前記した
輝点パターンの中央部に位置する欠陥開口に集中して当
該開口に付着した異物を加熱し、蒸散させて除去が行わ
れる。異物が除去されたか否か、すなわち欠陥開口が修
正されたかどうかは、輝点を目視で判定する。したがっ
て、上記修正モードは、制御装置１に手動のスイッチを
備えて、カソード電流の印加と停止（オンとオフ）をマ
ニュアル制御するか、カソード電流を印加する１セット
周期を事前にサンプルを用いて検証した結果で設定して
おき、１セット毎の操作開始をマニュアル制御するよう
にして、異物が除去された後にも高エネルギーの電子ビ
ームが蛍光面を照射するのを抑制するようにすることが
望ましい。

【００５９】本実施例により、完成管のシャドウマスク
の欠陥開口を当該シャドウマスクの局部的な熱変形によ
る色純度の劣化や、蛍光体もしくはパネルの損傷を招く
ことなく正確に修正できる。

【００６０】図６は本発明によるシャドウマスクの欠陥
開口修正装置の他の実施例を説明する概略構成図であ
る。本実施例では、カソード陰極線管２０のパルス外面
に光検出器２２を設置してある。カラー陰極線管２０の
ファンネル−ネック遷移領域に外装された偏向ヨークを
構成する水平偏向コイル８と垂直偏向コイル１５には、
前記図１で説明した回路を有する水平微偏向回路１７、
垂直微偏向回路１８から、それぞれ微偏向電流が供給さ
れる。

【００６１】制御装置１は上記の水平微偏向回路１７と
垂直微偏向回路１８に微偏向データを供給すると共に、
カソードドライバ１６を制御してドライバアンプ２１か
らカソードに供給されるカソード電流の大きさ、周期、
およびそのオン・オフを制御する。

【００６２】光検出器２２は、画面上の輝点の光量を検
出するもので、欠陥開口の異物が除去されたことによる
当該蛍光体の発光による蛍光面の輝度の増大を検出す
る。光量増大を検出した信号は制御装置１に印加され、
カソードドライバ１６を制御してカソード電流の供給を
停止する。

【００６３】図７は本発明における欠陥開口の探索とそ
の修正動作の説明図である。同図（ａ）は水平方向の微
小走査信号の波形、（ｂ）は垂直方向の微小走査信号の
波形、（ｃ）は欠陥修正時のカソード電流波形、（ｄ）
は光検出器の修正検知出力を説明する概略波形を示す。

【００６４】探索モードでは、カラー陰極線管の電子銃
を構成するカソードから通常の管球動作時と同等の低エ
ネルギーの電子ビームを出射させ、微小走査信号（ａ）
（ｂ）で前記図３、図４で説明した輝点パターンを表示
させる。この輝点パターンに基づいて欠陥開口の位置を
設定する（時刻Ｔ₀）。

【００６５】欠陥開口の位置設定後、（ｃ）の高エネル
ギーの電子ビームを当該欠陥開口に照射して異物を除去
する。異物が除去されると、（ｄ）に示したように光検
出器の出力がΔＶだけ増大する。このとき、当該欠陥開
口に対応する輝点の状態に応じて高エネルギー電子ビー
ムの強さ（カソード電流の大きさ）を調整するようにす
ることで、過剰な電子ビームで蛍光体やパネルガラスが
損傷するのを回避できる。

【００６６】この制御は、目視での作業では、当該輝点
の状態を作業者が判断し、自動化した場合には、光検出
器の出力（ｄ）の大きさでカソードドライバを制御して
高エネルギー電子ビームを生成するためのカソード電流
を増減するように構成する。

【００６７】したがって、異物が除去されたシャドウマ
スクの開口を通して高エネルギーの電子ビームが蛍光体
に射突することを抑制でき、蛍光体の劣化あるいはパネ
ルガラスの損傷を防止できる。

【００６８】制御装置１には、上記した欠陥開口の探索
・検出、修正を行う一連の動作をシーケンスプログラム
として内蔵させ、自動的に欠陥開口の修正を実行させる
ように構成することもできる。この場合、このシーケン
スプログラムは、上記の各操作に基づいて容易に記述で
きる程度のものであるので、ここでは、特に例示しな
い。

【００６９】上記の操作を蛍光面の全域で実行すること
により、画面全域に対応するシャドウマスクの欠陥開口
の修正を行うことができる。すなわち、微偏向信号を重
畳する直流電流の値を変化させ、例えば水平方向の画面
の全域の修正作業を垂直方向に順次移動させることで前
記十字形の輝点を画面全域で移動させる。

【００７０】図８はシャドウマスクの開口に異物が付着
して欠陥開口となっている状態の説明図である。同図
（ａ）はシャドウマスク３４の開口３４Ａの電子銃側に
異物３４Ｂが付着している状態を、（ｂ）は蛍光面側に
異物３４Ｃが入り込んでいる状態を示す。

【００７１】なお、蛍光面側に異物が付着した（ｂ）の
場合、特に当該開口の内部に異物が充填されているよう
な場合には当該異物を蒸散するための電子ビームの積算
両が大きくなり、電子ビームの射突による発熱が異物よ
りもシャドウマスク側に多く発生する。このときは、カ
ソード電流を少なくして細い電子ビームとして異物のみ
を加熱するようにすることで良好な結果が得られる。

【００７２】一方、電子銃側に異物が付着した（ａ）の
場合は、大きなカソード電流で当該欠陥開口部分を広範
囲に加熱して異物を蒸散させても、シャドウマスク側は
それ程多く加熱されることがない。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
シャドウマスクの開口に異物が付着したことによる欠陥
を修正でき、特に、開口の内部に異物が充填されたよう
な場合でも当該異物を効果的に除去できるため、前記本
発明の課題を解決して歩留りを大幅に向上できる。その
結果、信頼性の高いカラー陰極線管を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるシャドウマスクの欠陥修正装置の
回路構成の１実施例を説明するブロック図である。

【図２】図１のＤ／Ａ変換器から出力される水平方向と
垂直方向の微小走査信号の波形図である。

【図３】シャドウマスクに欠陥開口がない場合の水平偏
向コイルと垂直偏向コイルにそれぞれ微小走査信号を流
したときの蛍光体の発光による画面上での輝点パターン
を示す模式図である。

【図４】シャドウマスクに欠陥開口がある場合の水平偏
向コイルと垂直偏向コイルにそれぞれ微小走査信号を流
したときの蛍光体の発光による画面上での輝点パターン
を示す模式図である。

【図５】欠陥修正モードでカソードに印加するカソード
電流の波形図と大きさの説明図である。

【図６】本発明によるシャドウマスクの欠陥開口修正装
置の他の実施例を説明する概略構成図である。

【図７】本発明における欠陥開口の探索とその修正動作
の説明図である。

【図８】シャドウマスクの開口に異物が付着して欠陥開
口となっている状態の説明図である。

【図９】シャドウマスクを有するカラー陰極線管の構造
例を説明する模式断面図である。

【符号の説明】

１制御装置２Ｄ／Ａ変換器３電圧バッファアンプ４水平位置調整器５電圧バッファアンプ６混合器７出力アンプ８水平偏向コイル９Ｄ／Ａ変換器１０電圧バッファアンプ１１垂直位置調整器１２電圧バッファアンプ１３混合器１４出力アンプ１５垂直偏向コイル１６カソードドライバ１７水平微偏向回路１８垂直微偏向回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】偏向ヨークの水平コイルおよび垂直コイル
のそれぞれに直流電流に両極性のパルス電流を重畳した
微偏向電流を流し、このパルス電流に同期して電子銃の
カソードにパルス電流を印加することで異物が付着した
欠陥開口を探索して検出し、検出した欠陥開口の異物を
除去することを特徴とするシャドウマスクの欠陥修正方
法。
【請求項２】前記欠陥開口に高エネルギーの電子ビーム
を照射して異物を除去することを特徴とする請求項１に
記載のシャドウマスクの欠陥修正方法。
【請求項３】前記電子ビームのエネルギーを、前記異物
の付着部位に応じて変化させることを特徴とする請求項
２に記載のシャドウマスクの欠陥修正方法。
【請求項４】前記欠陥開口の異物が除去されたことによ
る対応する蛍光体の発光を検出して前記電子ビームの照
射を停止することを特徴とする請求項２または３の何れ
かに記載のシャドウマスクの欠陥修正方法。
【請求項５】複数色の蛍光体を塗布してなる蛍光面を有
すると共に当該蛍光面に近接してシャドウマスクを設置
したパネルと、一端に電子銃を収容するネックを有する
漏斗状のファンネルとで形成した真空外囲器と、前記真
空外囲器を構成するファンネルのネック寄りに水平偏向
コイルと垂直偏向コイルからなる偏向ヨークを外装した
カラー陰極線管におけるシャドウマスクの欠陥修正装置
であって、直流電流に３値のパルス電流を重畳した水平微偏向電流
を水平偏向コイルに供給する水平微偏向回路と、直流電流に３値のパルス電流を重畳した微偏向電流を垂
直コイルに供給する垂直微偏向回路と、前記各直流電流の大きさを変化させて水平位置調整およ
び垂直位置調整を行うための水平位置調整回路および垂
直位置調整回路と、前記値のパルス電流を生成するためのデジタル信号を発
生すると共に、前記パルス電流に同期して電子銃のカソ
ード駆動回路にパルス電流を印加する制御装置とを具備
し、前記電子銃から発射される電子ビームを前記水平位置調
整回路および垂直位置調整回路を調整して異物が付着し
た欠陥開口を検出し、検出した欠陥開口の異物を除去す
ることを特徴とするシャドウマスクの欠陥修正装置。
【請求項６】前記カソード駆動回路により電子ビームに
高エネルギーを与え、この電子ビームの照射で前記欠陥
開口の異物を除去することを特徴とする請求項５に記載
のシャドウマスクの欠陥修正装置。
【請求項７】前記カソード駆動回路が前記カソードに印
加するエネルギーの大きさを変化させる機能を有するこ
とを特徴とする請求項６に記載のシャドウマスクの欠陥
修正装置。
【請求項８】前記パネルの外面に、前記電子ビームの照
射で異物が除去された開口を通過した当該電子ビームに
よる蛍光体の発光による蛍光面の輝度の増大を検出する
光検出器を設け、この光検出器が検出した輝度の増大情
報で前記カソード駆動回路を制御して前記カソードの駆
動を停止または低減することを特徴とする請求項６また
は７の何れかに記載のシャドウマスクの欠陥修正装置。