JP2001089661A - Curable composition and production thereof - Google Patents

Curable composition and production thereof

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JP2001089661A
JP2001089661A JP2000007385A JP2000007385A JP2001089661A JP 2001089661 A JP2001089661 A JP 2001089661A JP 2000007385 A JP2000007385 A JP 2000007385A JP 2000007385 A JP2000007385 A JP 2000007385A JP 2001089661 A JP2001089661 A JP 2001089661A
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JP
Japan
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bis
curable composition
group
compound
acid
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JP2000007385A
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Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Suzuki
秀紀 鈴木
Katsuyuki Kakigi
克之 柿木
Yoshihisa Nakase
吉久 中瀬
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Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an electronic material that does not deteriorate the electric properties of an electronic device. SOLUTION: This curable composition is treated by a filter material on which a zeta potential is applied and comprises sodium, lithium, potassium and calcium in an amount of at most 50 ppb of the total content of the metal elements contained in the composition.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は組成物中に含有され
ているナトリウム、鉄などの金属が特定の濾材により除
去された硬化性組成物およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a curable composition in which metals such as sodium and iron contained in the composition have been removed by a specific filter medium, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】硬化性組成物はエレクトロニクス分野に
多くの用途があるが、これらのエレクトロニクス分野の
デバイスにおいてはその構造が近年益々微細化し、電気
特性の高性能化のために使用される素材中の金属不純物
の含有量を著しく低く抑制することが求められている。
従って、硬化性組成物をエレクトロニクス分野の素材と
して使用する場合にも金属不純物が極く少量に抑制され
ていることが重要である。
2. Description of the Related Art Curable compositions have many uses in the field of electronics, but in these devices in the field of electronics, their structures have been increasingly miniaturized in recent years, and materials used for improving the electrical properties of materials have been used. It is required that the content of metallic impurities be extremely low.
Therefore, even when the curable composition is used as a material in the field of electronics, it is important that the metal impurities be suppressed to an extremely small amount.

【0003】従来知られている硬化性組成物中の金属不
純物を除去、低減する方法として、イオン交換樹脂に金
属イオンを吸着させる方法がある。しかし、イオン交換
樹脂は粒状のものが多いため取り扱いにくく、しかも金
属イオンを吸着させた後、アルカリ性(または酸性)の
溶液による逆再生処理、水洗および酸性(またはアルカ
リ性)の溶液による再生処理と、多くの処理段階が必要
であるという問題点がある。
[0003] As a conventionally known method of removing and reducing metal impurities in a curable composition, there is a method of adsorbing metal ions to an ion exchange resin. However, the ion-exchange resin is difficult to handle because it is often granular, and after adsorbing metal ions, reverse regeneration treatment with an alkaline (or acidic) solution, washing with water and regeneration treatment with an acidic (or alkaline) solution, There is a problem that many processing steps are required.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、硬化性組成物中の金属を高効率で低減した硬化性組
成物およびその製造方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a curable composition in which the amount of metal in the curable composition is reduced with high efficiency, and a method for producing the same.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記のよう
な従来の技術の問題点を解決すべく研究を行った結果、
硬化性組成物およびその原料もしくはいずれか一方を特
定の濾材処理することによって、上記の目的を達成する
ことができ、本発明を完成させた。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted research to solve the problems of the conventional technology as described above, and as a result,
The above object can be achieved by treating the curable composition and / or its raw material with a specific filter medium, thereby completing the present invention.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の硬化性組成物はゼータ電
位が作用する濾材で処理されてなり、ナトリウム、リチ
ウム、カリウム、カルシウムおよび銅の含有量の総量が
50ppb以下、好ましくは40ppb以下である。 [機能性濾材]本発明の方法に使用されるゼータ電位が
作用する濾材(以下「機能性濾材」という)としては、
濾過される濾液にゼータ電位が作用するものが選ばれ
る。このような機能性濾材としては、通常の濾材、例え
ば木綿、パルプ、セルロース、ポリエステル、ケイソウ
土、パーライト、活性炭、ゼオライト等にカチオン電荷
調節剤が添加されたものが挙げられる。これらの中で好
ましいものは、木綿、セルロース、ポリエステル、活性
炭、およびゼオライトからなる濾材である。上記カチオ
ン電荷調節剤により濾材にカチオン電荷が付与され、濾
過過程で該濾材を通過する前記濾液の荷電している物
質、即ち金属成分、との間でゼータ電位が生じる。カチ
オン電荷調節剤としては、米国特許第2802820号
公報に記載されているジシアンジアミド、モノエタノー
ルアミンおよびホルムアルデヒドの反応物、米国特許第
2839506号公報に記載されているアミノトリアジ
ン樹脂、米国特許第4007113号公報に記載されて
いるメラミン−ホルムアルデヒドカチオン樹脂、特公昭
36−20045号公報に記載されているN、N’−ジ
エタノールピペラジン、メラミン、ホルマリンおよびグ
リセリンフタル酸エステルを反応させた樹脂、特公昭6
3−17486号公報に記載されているポリアミドポリ
アミンエピクロロヒドリンカチオン樹脂等が挙げられ、
中でもポリアミドポリアミンエピクロロヒドリンカチオ
ン樹脂が安定したカチオン電荷を与えるので好ましい。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The curable composition of the present invention is treated with a zeta-potential filter medium and has a total content of sodium, lithium, potassium, calcium and copper of 50 ppb or less, preferably 40 ppb or less. is there. [Functional Filter Media] Examples of the filter media on which the zeta potential acts (hereinafter referred to as “functional filter media”) used in the method of the present invention include:
Those which have a zeta potential acting on the filtrate to be filtered are selected. Examples of such a functional filter medium include a conventional filter medium such as cotton, pulp, cellulose, polyester, diatomaceous earth, perlite, activated carbon, zeolite, and the like, to which a cationic charge control agent is added. Preferred among these are filter media consisting of cotton, cellulose, polyester, activated carbon, and zeolites. The cationic charge control agent imparts a cationic charge to the filter medium, and generates a zeta potential between a charged substance of the filtrate, that is, a metal component, which passes through the filter medium in a filtration process. Examples of the cationic charge control agent include a reaction product of dicyandiamide, monoethanolamine and formaldehyde described in U.S. Pat. No. 2,802,820, an aminotriazine resin described in U.S. Pat. No. 2,839,506, and U.S. Pat. A melamine-formaldehyde cationic resin described in JP-B-36-20045, a resin obtained by reacting N, N'-diethanolpiperazine, melamine, formalin and glycerin phthalate;
And polyamide polyamine epichlorohydrin cation resin described in JP-A-3-17486.
Among them, a polyamide polyamine epichlorohydrin cation resin is preferable because it gives a stable cation charge.

【0007】上記の特公昭63−17486号公報に
は、ポリアミドポリアミンエピクロロヒドリンカチオン
樹脂をカチオン電荷調節剤として用い、セルロース、ケ
イソウ土、パーライトを機能性濾材化した濾材からなる
フィルタの製造方法が記載されている。本発明で使用さ
れる機能性濾材の厚さは10cm以下であることが好まし
く、0.01〜10cmであることがより好ましい。
Japanese Patent Publication No. Sho 63-17486 discloses a method for producing a filter comprising a filter material obtained by using a polyamide polyamine epichlorohydrin cation resin as a cationic charge control agent and using cellulose, diatomaceous earth and perlite as a functional filter material. Is described. The thickness of the functional filter medium used in the present invention is preferably 10 cm or less, and more preferably 0.01 to 10 cm.

【0008】本発明で使用される機能性濾材の好ましい
一形態として、イオン交換体およびキレート形成体もし
くはとともに用いることが挙げられる。ここで、イオン
交換体およびキレート形成体は、重合体、例えばスチレ
ン系重合体、アクリル系重合体、メタクリル系重合体、
ビニルアルコール系重合体、ポリエステル、セルロース
等にイオン交換機能ないしキレート形成機能を持つ官能
基が導入されたものである。これらのイオン交換体また
はキレート形成体の形態は特に限定されず、粒状、繊維
状あるいは多孔性の膜状(以下、単に「膜状」と示す)
等いかなる形状でも良いが、通常、粒状で使用される。
[0008] One preferred form of the functional filter medium used in the present invention is to use it together with an ion exchanger and a chelate former. Here, the ion exchanger and the chelate former are polymers, for example, a styrene polymer, an acrylic polymer, a methacrylic polymer,
A functional group having an ion exchange function or a chelate forming function introduced into a vinyl alcohol polymer, polyester, cellulose or the like. The form of these ion exchangers or chelate formers is not particularly limited, and may be granular, fibrous, or porous film (hereinafter, simply referred to as “film”).
Although any shape may be used, it is usually used in a granular form.

【0009】より具体的には、イオン交換体としては、
強酸性カチオン交換体、弱酸性カチオン交換体、強塩基
性アニオン交換体、あるいは弱塩基性アニオン交換体か
らなる粒状、繊維状あるいは膜状の物が用いられる。こ
こで、強酸性カチオン交換体としては、例えばジビニル
ベンゼンで架橋したスチレン重合体をスルホン化したも
のやメタクリル系重合体をカルボン化したものが挙げら
れ、弱酸性カチオン交換体としては、例えばジビニルベ
ンゼンで架橋したアクリル酸、メタクリル酸の共重合体
が例示される。また、強塩基性アニオン交換体として
は、例えばジビニルベンゼンで架橋したスチレン重合体
をアミノメチル化した後、4級化したものが挙げられ、
弱塩基性アニオン交換体としては、例えばジビニルベン
ゼンで架橋したスチレン重合体をアミノメチル化したも
の、あるいはジビニルベンゼンで架橋したアミノメチル
基を有するアクリルアミド重合体等が示される。
More specifically, as the ion exchanger,
Granular, fibrous, or membrane-like materials composed of a strongly acidic cation exchanger, a weakly acidic cation exchanger, a strongly basic anion exchanger, or a weakly basic anion exchanger are used. Here, examples of the strongly acidic cation exchanger include those obtained by sulfonating a styrene polymer cross-linked with divinylbenzene and those obtained by carboxylating a methacrylic polymer. Examples of the weakly acidic cation exchanger include divinylbenzene. And a copolymer of acrylic acid and methacrylic acid. Examples of the strong basic anion exchanger include, for example, those obtained by aminomethylating a styrene polymer crosslinked with divinylbenzene and then quaternizing the styrene polymer.
Examples of the weakly basic anion exchanger include an aminomethylated styrene polymer cross-linked with divinylbenzene, and an acrylamide polymer having an aminomethyl group cross-linked with divinylbenzene.

【0010】キレート形成体としては、例えばジビニル
ベンゼンで架橋したスチレン重合体にイミノジ酢酸型構
造を有する基が導入された樹脂、あるいはジビニルベン
ゼンで架橋したスチレン重合体にポリアミン構造を有す
る基が導入された樹脂等の粒状、繊維状あるいは膜状の
物が挙げられる。これら種々のイオン交換体あるいはキ
レート形成体は1種類だけでなく、2種類以上が同一の
機能性濾材に含まれていても良い。上記のイオン交換体
およびキレート形成体は一緒に機能性濾材を形成する
が、そのとき前記の機能性濾材と一様に混合した状態で
もよいし、イオン交換体およびキレート形成体の層と機
能性濾材層とが隣接した形で配置ないしは接合されてい
てもよいし、さらにはこのように配置もしくは接合され
た二層がその境界において部分的に混合した状態であっ
てもよい。
Examples of the chelate former include a resin in which a group having an iminodiacetic acid structure is introduced into a styrene polymer cross-linked with divinylbenzene, or a group having a polyamine structure is introduced into a styrene polymer cross-linked with divinylbenzene. Granular, fibrous, or film-like materials such as resin. These various ion exchangers or chelate formers are not limited to one type, and two or more types may be contained in the same functional filter medium. The above-mentioned ion exchanger and the chelate former together form a functional filter medium.At this time, the functional filter medium may be uniformly mixed, or the layer of the ion exchanger and the chelate former may be functionally mixed. The filter medium layer may be arranged or joined adjacently, or the two layers arranged or joined in this manner may be partially mixed at the boundary.

【0011】上記の機能性濾材の、あるいは機能性濾材
により形成される孔径は、通常、0.05〜10.0μmであ
り、好ましくは0.1〜1.0μmである。機能性濾材では、
通液したときに発生する電位差によって液中に存在して
いる荷電した粒子が機能性濾材に吸着されるので、機能
性濾材の孔径に比べて小さい金属不純物も機能性濾材に
捕捉される。微量金属のある部分は、ミクロゲル等の微
粒子の状態で存在しているので、ゼータ電位を生じるフ
ィルターによって捕捉される。一方、イオン交換体やキ
レート形成体は主として液中の遊離のイオンを捕集す
る。その結果、本発明の方法によって存在形態の異なる
種々の金属を幅広く除去することができる。したがっ
て、イオン交換体および/キレート形成体を併用するこ
とによって硬化性組成物およびその原料に含まれる金属
分をより効率よく低減することができる。
The pore size of the above-mentioned functional filter medium or formed by the functional filter medium is generally 0.05 to 10.0 μm, preferably 0.1 to 1.0 μm. In functional filter media,
Since the charged particles present in the liquid are adsorbed by the functional filter medium due to the potential difference generated when the liquid passes through, the metal impurities smaller than the pore diameter of the functional filter medium are also captured by the functional filter medium. Since a certain portion of the trace metal exists in the form of fine particles such as a microgel, it is captured by a filter that generates a zeta potential. On the other hand, ion exchangers and chelate formers mainly capture free ions in the liquid. As a result, various metals having different forms can be widely removed by the method of the present invention. Therefore, the metal content contained in the curable composition and its raw material can be reduced more efficiently by using the ion exchanger and / or the chelate former together.

【0012】本発明方法に用いられる機能性濾材として
は、市販されているものを広く用いることができ、例え
ばイオン交換樹脂あるいはキレート樹脂を含み、かつゼ
ータ電位を生じる濾材としては、キュノ株式会社のゼー
タプラスSHシリーズ(商品名)、またイオン交換樹脂
あるいはキレート樹脂を含まず、ゼータ電位を生じる濾
材としては、同社のゼータプラスGNシリーズおよびLAシ
リーズが好ましく用いられる。
As the functional filter media used in the method of the present invention, commercially available functional media can be widely used. As a zeta-plus SH series (trade name) and a filter medium which does not contain an ion exchange resin or a chelate resin and generates a zeta potential, zeta-plus GN series and LA series of the company are preferably used.

【0013】[硬化性組成物]本発明の組成物は(A)
(A−1)下記一般式(1)で表される化合物 R1 aSi(OR24-a ・・・・・(1) (R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示
し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表
す。)および(A−2)下記一般式(2) で表される化
合物 R3 b(R4O)3-bSi−(R7d−Si(OR53-c6 c ・・・・・(2) (R3,R4,R5およびR6は、同一でも異なっていても
よく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同
一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7
酸素原子または−(CH2n−で表される基を示し、n
は1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より
選ばれる少なくとも1種の化合物の加水分解物および縮
合物もしくはいずれか一方ならびに(B)有機溶媒を含
むものである。
[Curable composition] The composition of the present invention comprises (A)
(A-1) a compound represented by the following general formula (1): R 1 a Si (OR 2 ) 4-a (1) (R 1 is a hydrogen atom, a fluorine atom, or a monovalent organic group) Wherein R 2 represents a monovalent organic group, a represents an integer of 0 to 2) and (A-2) a compound R 3 b (R 4 O) represented by the following general formula (2) 3-b Si- (R 7) d -Si (oR 5) 3-c R 6 c ····· (2) (R 3, R 4, R 5 and R 6 may be the same or different Each represents a monovalent organic group, b and c may be the same or different, each represents a number of 0 to 2, and R 7 represents an oxygen atom or a group represented by — (CH 2 ) n —. And n
Represents 1 to 6, and d represents 0 or 1. ), And / or a hydrolyzate and / or condensate of at least one compound selected from the group consisting of: and (B) an organic solvent.

【0014】(A)成分 (A−1)成分 上記一般式(1)において、R1およびR2の1価の有機
基としては、アルキル基、アリール基、アリル基、グリ
シジル基などを挙げることができる。また、一般式
(1)において、R1は1価の有機基、特にアルキル基
またはフェニル基であることが好ましい。ここで、アル
キル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブ
チル基などが挙げられ、好ましくは炭素数1〜5であ
り、これらのアルキル基は鎖状でも、分岐していてもよ
く、さらに水素原子がフッ素原子などに置換されていて
もよい。一般式(1)において、アリール基としては、
フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフ
ェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、フル
オロフェニル基などを挙げることができる。
Component (A) Component (A-1) In the general formula (1), examples of the monovalent organic group represented by R 1 and R 2 include an alkyl group, an aryl group, an allyl group, and a glycidyl group. Can be. Further, in the general formula (1), R 1 is preferably a monovalent organic group, particularly an alkyl group or a phenyl group. Here, examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group and the like, preferably having 1 to 5 carbon atoms, and these alkyl groups may be chain-like or branched, Further, a hydrogen atom may be substituted with a fluorine atom or the like. In the general formula (1), as the aryl group,
Examples include a phenyl group, a naphthyl group, a methylphenyl group, an ethylphenyl group, a chlorophenyl group, a bromophenyl group, and a fluorophenyl group.

【0015】一般式(1)で表される化合物の具体例と
しては、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、ト
リ−n−プロポキシシラン、トリ−iso−プロポキシ
シラン、トリ−n−ブトキシシラン、トリ−sec−ブ
トキシシラン、トリ−tert−ブトキシシラン、トリ
フェノキシシラン、フルオロトリメトキシシラン、フル
オロトリエトキシシラン、フルオロトリ−n−プロポキ
シシラン、フルオロトリ−iso−プロポキシシラン、
フルオロトリ−n−ブトキシシラン、フルオロトリ−s
ec−ブトキシシラン、フルオロトリ−tert−ブト
キシシラン、フルオロトリフェノキシシラン、テトラメ
トキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プ
ロポキシシラン、テトラ−iso−プロポキシシラン、
テトラ−n−ブトキシラン、テトラ−sec−ブトキシ
シラン、テトラ−tert−ブトキシシラン、テトラフ
ェノキシシランなど;メチルトリメトキシシラン、メチ
ルトリエトキシシラン、メチルトリ−n−プロポキシシ
ラン、メチルトリ−iso−プロポキシシラン、メチル
トリ−n−ブトキシシラン、メチルトリ−sec−ブト
キシシラン、メチルトリ−tert−ブトキシシラン、
メチルトリフェノキシシラン、エチルトリメトキシシラ
ン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリ−n−プロ
ポキシシラン、エチルトリ−iso−プロポキシシラ
ン、エチルトリ−n−ブトキシシラン、エチルトリ−s
ec−ブトキシシラン、エチルトリ−tert−ブトキ
シシラン、エチルトリフェノキシシラン、ビニルトリメ
トキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ
−n−プロポキシシラン、ビニルトリ−iso−プロポ
キシシラン、ビニルトリ−n−ブトキシシラン、ビニル
トリ−sec−ブトキシシラン、ビニルトリ−tert
−ブトキシシラン、ビニルトリフェノキシシラン、n−
プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキ
シシラン、n−プロピルトリ−n−プロポキシシラン、
n−プロピルトリ−iso−プロポキシシラン、n−プ
ロピルトリ−n−ブトキシシラン、n−プロピルトリ−
sec−ブトキシシラン、n−プロピルトリ−tert
−ブトキシシラン、n−プロピルトリフェノキシシラ
ン、i−プロピルトリメトキシシラン、i−プロピルト
リエトキシシラン、i−プロピルトリ−n−プロポキシ
シラン、i−プロピルトリ−iso−プロポキシシラ
ン、i−プロピルトリ−n−ブトキシシラン、i−プロ
ピルトリ−sec−ブトキシシラン、i−プロピルトリ
−tert−ブトキシシラン、i−プロピルトリフェノ
キシシラン、n−ブチルトリメトキシシラン、n−ブチ
ルトリエトキシシラン、n−ブチルトリ−n−プロポキ
シシラン、n−ブチルトリ−iso−プロポキシシラ
ン、n−ブチルトリ−n−ブトキシシラン、n−ブチル
トリ−sec−ブトキシシラン、n−ブチルトリ−te
rt−ブトキシシラン、n−ブチルトリフェノキシシラ
ン、sec−ブチルトリメトキシシラン、sec−ブチ
ル−i−トリエトキシシラン、sec−ブチル−トリ−
n−プロポキシシラン、sec−ブチル−トリ−iso
−プロポキシシラン、sec−ブチル−トリ−n−ブト
キシシラン、sec−ブチル−トリ−sec−ブトキシ
シラン、sec−ブチル−トリ−tert−ブトキシシ
ラン、sec−ブチル−トリフェノキシシラン、t−ブ
チルトリメトキシシラン、t−ブチルトリエトキシシラ
ン、t−ブチルトリ−n−プロポキシシラン、t−ブチ
ルトリ−iso−プロポキシシラン、t−ブチルトリ−
n−ブトキシシラン、t−ブチルトリ−sec−ブトキ
シシラン、t−ブチルトリ−tert−ブトキシシラ
ン、t−ブチルトリフェノキシシラン、フェニルトリメ
トキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニル
トリ−n−プロポキシシラン、フェニルトリ−iso−
プロポキシシラン、フェニルトリ−n−ブトキシシラ
ン、フェニルトリ−sec−ブトキシシラン、フェニル
トリ−tert−ブトキシシラン、フェニルトリフェノ
キシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルトリエトキシシラン、γ−トリフロロプロピ
ルトリメトキシシラン、γ−トリフロロプロピルトリエ
トキシシランなど;ジメチルジメトキシシラン、ジメチ
ルジエトキシシラン、ジメチル−ジ−n−プロポキシシ
ラン、ジメチル−ジ−iso−プロポキシシラン、ジメ
チル−ジ−n−ブトキシシラン、ジメチル−ジ−sec
−ブトキシシラン、ジメチル−ジ−tert−ブトキシ
シラン、ジメチルジフェノキシシラン、ジエチルジメト
キシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチル−ジ
−n−プロポキシシラン、ジエチル−ジ−iso−プロ
ポキシシラン、ジエチル−ジ−n−ブトキシシラン、ジ
エチル−ジ−sec−ブトキシシラン、ジエチル−ジ−
tert−ブトキシシラン、ジエチルジフェノキシシラ
ン、ジ−n−プロピルジメトキシシラン、ジ−n−プロ
ピルジエトキシシラン、ジ−n−プロピル−ジ−n−プ
ロポキシシラン、ジ−n−プロピル−ジ−iso−プロ
ポキシシラン、ジ−n−プロピル−ジ−n−ブトキシシ
ラン、ジ−n−プロピル−ジ−sec−ブトキシシラ
ン、ジ−n−プロピル−ジ−tert−ブトキシシラ
ン、ジ−n−プロピル−ジ−フェノキシシラン、ジ−i
so−プロピルジメトキシシラン、ジ−iso−プロピ
ルジエトキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−n−
プロポキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−iso
−プロポキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−n−
ブトキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−sec−
ブトキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−tert
−ブトキシシラン、ジ−iso−プロピル−ジ−フェノ
キシシラン、ジ−n−ブチルジメトキシシラン、ジ−n
−ブチルジエトキシシラン、ジ−n−ブチル−ジ−n−
プロポキシシラン、ジ−n−ブチル−ジ−iso−プロ
ポキシシラン、ジ−n−ブチル−ジ−n−ブトキシシラ
ン、ジ−n−ブチル−ジ−sec−ブトキシシラン、ジ
−n−ブチル−ジ−tert−ブトキシシラン、ジ−n
−ブチル−ジ−フェノキシシラン、ジ−sec−ブチル
ジメトキシシラン、ジ−sec−ブチルジエトキシシラ
ン、ジ−sec−ブチル−ジ−n−プロポキシシラン、
ジ−sec−ブチル−ジ−iso−プロポキシシラン、
ジ−sec−ブチル−ジ−n−ブトキシシラン、ジ−s
ec−ブチル−ジ−sec−ブトキシシラン、ジ−se
c−ブチル−ジ−tert−ブトキシシラン、ジ−se
c−ブチル−ジ−フェノキシシラン、ジ−tert−ブ
チルジメトキシシラン、ジ−tert−ブチルジエトキ
シシラン、ジ−tert−ブチル−ジ−n−プロポキシ
シラン、ジ−tert−ブチル−ジ−iso−プロポキ
シシラン、ジ−tert−ブチル−ジ−n−ブトキシシ
ラン、ジ−tert−ブチル−ジ−sec−ブトキシシ
ラン、ジ−tert−ブチル−ジ−tert−ブトキシ
シラン、ジ−tert−ブチル−ジ−フェノキシシラ
ン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニル−ジ−エ
トキシシラン、ジフェニル−ジ−n−プロポキシシラ
ン、ジフェニル−ジ−iso−プロポキシシラン、ジフ
ェニル−ジ−n−ブトキシシラン、ジフェニル−ジ−s
ec−ブトキシシラン、ジフェニル−ジ−tert−ブ
トキシシラン、ジフェニルジフェノキシシラン、ジビニ
ルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−トリフロロ
プロピルトリメトキシシラン、γ−トリフロロプロピル
トリエトキシシランなど;を挙げることができる。好ま
しくは、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラ−iso−
プロポキシシラン、テトラフェノキシシラン、メチルト
リメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチル
トリ−n−プロポキシシラン、メチルトリ−iso−プ
ロポキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルト
リエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニル
トリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フ
ェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラ
ン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジメトキシシ
ラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキ
シシラン、ジフェニルジエトキシシラン、トリメチルモ
ノメトキシシラン、トリメチルモノエトキシシラン、ト
リエチルモノメトキシシラン、トリエチルモノエトキシ
シラン、トリフェニルモノメトキシシラン、トリフェニ
ルモノエトキシシランである。これらは、1種あるいは
2種以上を同時に使用してもよい。
Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include trimethoxysilane, triethoxysilane, tri-n-propoxysilane, tri-iso-propoxysilane, tri-n-butoxysilane, tri- sec-butoxysilane, tri-tert-butoxysilane, triphenoxysilane, fluorotrimethoxysilane, fluorotriethoxysilane, fluorotri-n-propoxysilane, fluorotri-iso-propoxysilane,
Fluorotri-n-butoxysilane, fluorotri-s
ec-butoxysilane, fluorotri-tert-butoxysilane, fluorotriphenoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-iso-propoxysilane,
Tetra-n-butoxysilane, tetra-sec-butoxysilane, tetra-tert-butoxysilane, tetraphenoxysilane, etc .; methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltri-n-propoxysilane, methyltri-iso-propoxysilane, methyltrimethylsilane -N-butoxysilane, methyltri-sec-butoxysilane, methyltri-tert-butoxysilane,
Methyltriphenoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, ethyltri-n-propoxysilane, ethyltri-iso-propoxysilane, ethyltri-n-butoxysilane, ethyltri-s
ec-butoxysilane, ethyltri-tert-butoxysilane, ethyltriphenoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltri-n-propoxysilane, vinyltri-iso-propoxysilane, vinyltri-n-butoxysilane, vinyltri- sec-butoxysilane, vinyl tri-tert
-Butoxysilane, vinyltriphenoxysilane, n-
Propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, n-propyltri-n-propoxysilane,
n-propyltri-iso-propoxysilane, n-propyltri-n-butoxysilane, n-propyltri-
sec-butoxysilane, n-propyltri-tert
-Butoxysilane, n-propyltriphenoxysilane, i-propyltrimethoxysilane, i-propyltriethoxysilane, i-propyltri-n-propoxysilane, i-propyltri-iso-propoxysilane, i-propyltri- n-butoxysilane, i-propyltri-sec-butoxysilane, i-propyltri-tert-butoxysilane, i-propyltriphenoxysilane, n-butyltrimethoxysilane, n-butyltriethoxysilane, n-butyltri- n-propoxysilane, n-butyltri-iso-propoxysilane, n-butyltri-n-butoxysilane, n-butyltri-sec-butoxysilane, n-butyltri-te
rt-butoxysilane, n-butyltriphenoxysilane, sec-butyltrimethoxysilane, sec-butyl-i-triethoxysilane, sec-butyl-tri-
n-propoxysilane, sec-butyl-tri-iso
-Propoxysilane, sec-butyl-tri-n-butoxysilane, sec-butyl-tri-sec-butoxysilane, sec-butyl-tri-tert-butoxysilane, sec-butyl-triphenoxysilane, t-butyltrimethoxy Silane, t-butyltriethoxysilane, t-butyltri-n-propoxysilane, t-butyltri-iso-propoxysilane, t-butyltri-
n-butoxysilane, t-butyltri-sec-butoxysilane, t-butyltri-tert-butoxysilane, t-butyltriphenoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltri-n-propoxysilane, phenyltrisilane -Iso-
Propoxysilane, phenyltri-n-butoxysilane, phenyltri-sec-butoxysilane, phenyltri-tert-butoxysilane, phenyltriphenoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-trifluoropropyltrimethoxysilane, γ-trifluoropropyltriethoxysilane, etc .; dimethyldimethoxysilane , Dimethyldiethoxysilane, dimethyl-di-n-propoxysilane, dimethyl-di-iso-propoxysilane, dimethyl-di-n-butoxysilane, dimethyl-di-sec
-Butoxysilane, dimethyl-di-tert-butoxysilane, dimethyldiphenoxysilane, diethyldimethoxysilane, diethyldiethoxysilane, diethyl-di-n-propoxysilane, diethyl-di-iso-propoxysilane, diethyl-di-n -Butoxysilane, diethyl-di-sec-butoxysilane, diethyl-di-
tert-butoxysilane, diethyldiphenoxysilane, di-n-propyldimethoxysilane, di-n-propyldiethoxysilane, di-n-propyl-di-n-propoxysilane, di-n-propyl-di-iso- Propoxysilane, di-n-propyl-di-n-butoxysilane, di-n-propyl-di-sec-butoxysilane, di-n-propyl-di-tert-butoxysilane, di-n-propyl-di- Phenoxysilane, di-i
so-propyldimethoxysilane, di-iso-propyldiethoxysilane, di-iso-propyl-di-n-
Propoxysilane, di-iso-propyl-di-iso
-Propoxysilane, di-iso-propyl-di-n-
Butoxysilane, di-iso-propyl-di-sec-
Butoxysilane, di-iso-propyl-di-tert
-Butoxysilane, di-iso-propyl-di-phenoxysilane, di-n-butyldimethoxysilane, di-n
-Butyldiethoxysilane, di-n-butyl-di-n-
Propoxysilane, di-n-butyl-di-iso-propoxysilane, di-n-butyl-di-n-butoxysilane, di-n-butyl-di-sec-butoxysilane, di-n-butyl-di- tert-butoxysilane, di-n
-Butyl-di-phenoxysilane, di-sec-butyldimethoxysilane, di-sec-butyldiethoxysilane, di-sec-butyl-di-n-propoxysilane,
Di-sec-butyl-di-iso-propoxysilane,
Di-sec-butyl-di-n-butoxysilane, di-s
ec-butyl-di-sec-butoxysilane, di-se
c-butyl-di-tert-butoxysilane, di-se
c-butyl-di-phenoxysilane, di-tert-butyldimethoxysilane, di-tert-butyldiethoxysilane, di-tert-butyl-di-n-propoxysilane, di-tert-butyl-di-iso-propoxy Silane, di-tert-butyl-di-n-butoxysilane, di-tert-butyl-di-sec-butoxysilane, di-tert-butyl-di-tert-butoxysilane, di-tert-butyl-di-phenoxy Silane, diphenyldimethoxysilane, diphenyl-di-ethoxysilane, diphenyl-di-n-propoxysilane, diphenyl-di-iso-propoxysilane, diphenyl-di-n-butoxysilane, diphenyl-di-s
ec-butoxysilane, diphenyl-di-tert-butoxysilane, diphenyldiphenoxysilane, divinyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ
-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-trifluoropropyltrimethoxysilane, γ-trifluoropropyltriethoxysilane, and the like. Preferably, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-iso-
Propoxysilane, tetraphenoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltri-n-propoxysilane, methyltri-iso-propoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane , Phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldimethoxysilane, diethyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, trimethylmonomethoxysilane, trimethylmonoethoxysilane, triethylmono Methoxysilane, triethylmonoethoxysilane, triphenylmonomethoxysilane, triphenylmonoethoxysila It is. These may be used alone or in combination of two or more.

【0016】(A−2)成分 上記一般式(2)において、1価の有機基としては、先
の一般式(1)と同様な有機基を挙げることができる。
また、一般式(2)のR7である2価の有機基として
は、メチレン基、炭素数2〜6のアルキレン基などを挙
げることができる。一般式(2)のうち、R7が酸素原
子の化合物としては、ヘキサメトキシジシロキサン、ヘ
キサエトキシジシロキサン、ヘキサフェノキシジシロキ
サン、1,1,1,3,3−ペンタメトキシ−3−メチ
ルジシロキサン、1,1,1,3,3−ペンタエトキシ
−3−メチルジシロキサン、1,1,1,3,3−ペン
タメトキシ−3−フェニルジシロキサン、1,1,1,
3,3−ペンタエトキシ−3−フェニルジシロキサン、
1,1,3,3−テトラメトキシ−1,3−ジメチルジ
シロキサン、1,1,3,3−テトラエトキシ−1,3
−ジメチルジシロキサン、1,1,3,3−テトラメト
キシ−1,3−ジフェニルジシロキサン、1,1,3,
3−テトラエトキシ−1,3−ジフェニルジシロキサ
ン、1,1,3−トリメトキシ−1,3,3−トリメチ
ルジシロキサン、1,1,3−トリエトキシ−1,3,
3−トリメチルジシロキサン、1,1,3−トリメトキ
シ−1,3,3−トリフェニルジシロキサン、1,1,
3−トリエトキシ−1,3,3−トリフェニルジシロキ
サン、1,3−ジメトキシ−1,1,3,3−テトラメ
チルジシロキサン、1,3−ジエトキシ−1,1,3,
3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ジメトキシ−
1,1,3,3−テトラフェニルジシロキサン、1,3
−ジエトキシ−1,1,3,3−テトラフェニルジシロ
キサンなどを挙げることができる。これらのうち、ヘキ
サメトキシジシロキサン、ヘキサエトキシジシロキサ
ン、1,1,3,3−テトラメトキシ−1,3−ジメチ
ルジシロキサン、1,1,3,3−テトラエトキシ−
1,3−ジメチルジシロキサン、1,1,3,3−テト
ラメトキシ−1,3−ジフェニルジシロキサン、1,3
−ジメトキシ−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン、1,3−ジエトキシ−1,1,3,3−テトラメ
チルジシロキサン、1,3−ジメトキシ−1,1,3,
3−テトラフェニルジシロキサン、1,3−ジエトキシ
−1,1,3,3−テトラフェニルジシロキサンなど
を、好ましい例として挙げることができる。一般式
(2)においてdが0の化合物としては、ヘキサメトキ
シジシラン、ヘキサエトキシジシラン、ヘキサフェニキ
シジシラン、1,1,1,2,2−ペンタメトキシ−2
−メチルジシラン、1,1,1,2,2−ペンタエトキ
シ−2−メチルジシラン、1,1,1,2,2−ペンタ
メトキシ−2−フェニルジシラン、1,1,1,2,2
−ペンタエトキシ−2−フェニルジシラン、1,1,
2,2−テトラメトキシ−1,2−ジメチルジシラン、
1,1,2,2−テトラエトキシ−1,2−ジメチルジ
シラン、1,1,2,2−テトラメトキシ−1,2−ジ
フェニルジシラン、1,1,2,2−テトラエトキシ−
1,2−ジフェニルジシラン、1,1,2−トリメトキ
シ−1,2,2−トリメチルジシラン、1,1,2−ト
リエトキシ−1,2,2−トリメチルジシラン、1,
1,2−トリメトキシ−1,2,2−トリフェニルジシ
ラン、1,1,2−トリエトキシ−1,2,2−トリフ
ェニルジシラン、1,2−ジメトキシ−1,1,2,2
−テトラメチルジシラン、1,2−ジエトキシ−1,
1,2,2−テトラメチルジシラン、1,2−ジメトキ
シ−1,1,2,2−テトラフェニルジシラン、1,2
−ジエトキシ−1,1,2,2−テトラフェニルジシラ
ンなどを、一般式(2)においてR7が−(CH2n
で表される基の化合物としては、ビス(ヘキサメトキシ
シリル)メタン、ビス(ヘキサエトキシシリル)メタ
ン、ビス(ヘキサフェノキシシリル)メタン、ビス(ジ
メトキシメチルシリル)メタン、ビス(ジエトキシメチ
ルシリル)メタン、ビス(ジメトキシフェニルシリル)
メタン、ビス(ジエトキシフェニルシリル)メタン、ビ
ス(メトキシジメチルシリル)メタン、ビス(エトキシ
ジメチルシリル)メタン、ビス(メトキシジフェニルシ
リル)メタン、ビス(エトキシジフェニルシリル)メタ
ン、ビス(ヘキサメトキシシリル)エタン、ビス(ヘキ
サエトキシシリル)エタン、ビス(ヘキサフェノキシシ
リル)エタン、ビス(ジメトキシメチルシリル)エタ
ン、ビス(ジエトキシメチルシリル)エタン、ビス(ジ
メトキシフェニルシリル)エタン、ビス(ジエトキシフ
ェニルシリル)エタン、ビス(メトキシジメチルシリ
ル)エタン、ビス(エトキシジメチルシリル)エタン、
ビス(メトキシジフェニルシリル)エタン、ビス(エト
キシジフェニルシリル)エタン、1,3−ビス(ヘキサ
メトキシシリル)プロパン、1,3−ビス(ヘキサエト
キシシリル)プロパン、1,3−ビス(ヘキサフェノキ
シシリル)プロパン、1,3−ビス(ジメトキシメチル
シリル)プロパン、1,3−ビス(ジエトキシメチルシ
リル)プロパン、1,3−ビス(ジメトキシフェニルシ
リル)プロパン、1,3−ビス(ジエトキシフェニルシ
リル)プロパン、1,3−ビス(メトキシジメチルシリ
ル)プロパン、1,3−ビス(エトキシジメチルシリ
ル)プロパン、1,3−ビス(メトキシジフェニルシリ
ル)プロパン、1,3−ビス(エトキシジフェニルシリ
ル)プロパンなどを挙げることができる。これらのう
ち、ヘキサメトキシジシラン、ヘキサエトキシジシラ
ン、ヘキサフェニキシジシラン、1,1,2,2−テト
ラメトキシ−1,2−ジメチルジシラン、1,1,2,
2−テトラエトキシ−1,2−ジメチルジシラン、1,
1,2,2−テトラメトキシ−1,2−ジフェニルジシ
ラン、1,1,2,2−テトラエトキシ−1,2−ジフ
ェニルジシラン、1,2−ジメトキシ−1,1,2,2
−テトラメチルジシラン、1,2−ジエトキシ−1,
1,2,2−テトラメチルジシラン、1,2−ジメトキ
シ−1,1,2,2−テトラフェニルジシラン、1,2
−ジエトキシ−1,1,2,2−テトラフェニルジシラ
ン、ビス(ヘキサメトキシシリル)メタン、ビス(ヘキ
サエトキシシリル)メタン、ビス(ジメトキシメチルシ
リル)メタン、ビス(ジエトキシメチルシリル)メタ
ン、ビス(ジメトキシフェニルシリル)メタン、ビス
(ジエトキシフェニルシリル)メタン、ビス(メトキシ
ジメチルシリル)メタン、ビス(エトキシジメチルシリ
ル)メタン、ビス(メトキシジフェニルシリル)メタ
ン、ビス(エトキシジフェニルシリル)メタンを、好ま
しい例として挙げることができる。本発明において、
(A)成分としては、上記(A−1)成分および(A−
2)成分、もしくはいずれか一方を用い、(A−1)成
分および(A−2)成分はそれぞれ2種以上用いること
もできる。
(A-2) Component In the above general formula (2), examples of the monovalent organic group include the same organic groups as those in the above general formula (1).
Examples of the divalent organic group represented by R 7 in the general formula (2) include a methylene group and an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms. In the general formula (2), as the compound in which R 7 is an oxygen atom, hexamethoxydisiloxane, hexaethoxydisiloxane, hexaphenoxydisiloxane, 1,1,1,3,3-pentamethoxy-3-methyldimethyl Siloxane, 1,1,1,3,3-pentaethoxy-3-methyldisiloxane, 1,1,1,3,3-pentamethoxy-3-phenyldisiloxane, 1,1,1,
3,3-pentaethoxy-3-phenyldisiloxane,
1,1,3,3-tetramethoxy-1,3-dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetraethoxy-1,3
-Dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetramethoxy-1,3-diphenyldisiloxane, 1,1,3,
3-tetraethoxy-1,3-diphenyldisiloxane, 1,1,3-trimethoxy-1,3,3-trimethyldisiloxane, 1,1,3-triethoxy-1,3,3
3-trimethyldisiloxane, 1,1,3-trimethoxy-1,3,3-triphenyldisiloxane, 1,1,
3-triethoxy-1,3,3-triphenyldisiloxane, 1,3-dimethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3,
3-tetramethyldisiloxane, 1,3-dimethoxy-
1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane, 1,3
-Diethoxy-1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane and the like. Of these, hexamethoxydisiloxane, hexaethoxydisiloxane, 1,1,3,3-tetramethoxy-1,3-dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetraethoxy-
1,3-dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetramethoxy-1,3-diphenyldisiloxane, 1,3
Dimethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-dimethoxy-1,1,3,3
Preferred examples include 3-tetraphenyldisiloxane and 1,3-diethoxy-1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane. Compounds in which d is 0 in the general formula (2) include hexamethoxydisilane, hexaethoxydisilane, hexaphenixidisilane, 1,1,1,2,2-pentamethoxy-2
-Methyldisilane, 1,1,1,2,2-pentaethoxy-2-methyldisilane, 1,1,1,2,2-pentamethoxy-2-phenyldisilane, 1,1,1,2,2
-Pentaethoxy-2-phenyldisilane, 1,1,
2,2-tetramethoxy-1,2-dimethyldisilane,
1,1,2,2-tetraethoxy-1,2-dimethyldisilane, 1,1,2,2-tetramethoxy-1,2-diphenyldisilane, 1,1,2,2-tetraethoxy-
1,2-diphenyldisilane, 1,1,2-trimethoxy-1,2,2-trimethyldisilane, 1,1,2-triethoxy-1,2,2-trimethyldisilane, 1,
1,2-trimethoxy-1,2,2-triphenyldisilane, 1,1,2-triethoxy-1,2,2-triphenyldisilane, 1,2-dimethoxy-1,1,2,2
-Tetramethyldisilane, 1,2-diethoxy-1,
1,2,2-tetramethyldisilane, 1,2-dimethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane, 1,2
-Diethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane or the like, wherein R 7 in the general formula (2) is-(CH 2 ) n-
Examples of the compound having the group represented by are bis (hexamethoxysilyl) methane, bis (hexaethoxysilyl) methane, bis (hexaphenoxysilyl) methane, bis (dimethoxymethylsilyl) methane, and bis (diethoxymethylsilyl) methane , Bis (dimethoxyphenylsilyl)
Methane, bis (diethoxyphenylsilyl) methane, bis (methoxydimethylsilyl) methane, bis (ethoxydimethylsilyl) methane, bis (methoxydiphenylsilyl) methane, bis (ethoxydiphenylsilyl) methane, bis (hexamethoxysilyl) ethane , Bis (hexaethoxysilyl) ethane, bis (hexaphenoxysilyl) ethane, bis (dimethoxymethylsilyl) ethane, bis (diethoxymethylsilyl) ethane, bis (dimethoxyphenylsilyl) ethane, bis (diethoxyphenylsilyl) ethane , Bis (methoxydimethylsilyl) ethane, bis (ethoxydimethylsilyl) ethane,
Bis (methoxydiphenylsilyl) ethane, bis (ethoxydiphenylsilyl) ethane, 1,3-bis (hexamethoxysilyl) propane, 1,3-bis (hexaethoxysilyl) propane, 1,3-bis (hexaphenoxysilyl) Propane, 1,3-bis (dimethoxymethylsilyl) propane, 1,3-bis (diethoxymethylsilyl) propane, 1,3-bis (dimethoxyphenylsilyl) propane, 1,3-bis (diethoxyphenylsilyl) Propane, 1,3-bis (methoxydimethylsilyl) propane, 1,3-bis (ethoxydimethylsilyl) propane, 1,3-bis (methoxydiphenylsilyl) propane, 1,3-bis (ethoxydiphenylsilyl) propane, etc. Can be mentioned. Among them, hexamethoxydisilane, hexaethoxydisilane, hexaphenixidisilane, 1,1,2,2-tetramethoxy-1,2-dimethyldisilane, 1,1,2,2
2-tetraethoxy-1,2-dimethyldisilane, 1,
1,2,2-tetramethoxy-1,2-diphenyldisilane, 1,1,2,2-tetraethoxy-1,2-diphenyldisilane, 1,2-dimethoxy-1,1,2,2
-Tetramethyldisilane, 1,2-diethoxy-1,
1,2,2-tetramethyldisilane, 1,2-dimethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane, 1,2
-Diethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane, bis (hexamethoxysilyl) methane, bis (hexaethoxysilyl) methane, bis (dimethoxymethylsilyl) methane, bis (diethoxymethylsilyl) methane, bis ( Preferred examples include dimethoxyphenylsilyl) methane, bis (diethoxyphenylsilyl) methane, bis (methoxydimethylsilyl) methane, bis (ethoxydimethylsilyl) methane, bis (methoxydiphenylsilyl) methane, and bis (ethoxydiphenylsilyl) methane. It can be mentioned as. In the present invention,
As the component (A), the components (A-1) and (A-
2) Component or any one of them can be used, and two or more of each of the component (A-1) and the component (A-2) can be used.

【0017】本発明において、加水分解とは、上記
(A)成分に含まれるR2O−基、R4O−基、およびR
5O−基すべてが加水分解されている必要はなく、例え
ば1個だけが加水分解されているもの、2個以上が加水
分解されているもの、あるいは、これらの混合物が生成
することである。本発明において縮合とは(A)成分の
加水分解物のシラノール基が縮合してSi−O−Si結
合を形成したものであるが、本発明では、シラノール基
がすべて縮合している必要はなく、僅かな一部のシラノ
ール基が縮合したもの、縮合の程度が異なっているもの
の混合物などをも生成することを包含した概念である。
なお、(A)成分の加水分解縮合物のポリスチレン換算
重量平均分子量は、通常、1,000〜1,000万で
ある。
In the present invention, the term “hydrolysis” refers to R 2 O—, R 4 O—, and R 2 O—
It is not necessary that all the 5 O-groups be hydrolyzed, for example, only one is hydrolyzed, two or more are hydrolyzed, or a mixture thereof. In the present invention, condensation refers to condensation of a silanol group of the hydrolyzate of the component (A) to form a Si—O—Si bond. In the present invention, however, it is not necessary that all of the silanol groups are condensed. The concept encompasses the formation of a mixture of a small amount of silanol groups and a mixture of those having different degrees of condensation.
In addition, the weight average molecular weight in terms of polystyrene of the hydrolysis-condensation product of the component (A) is usually from 10 to 10,000,000.

【0018】(B)有機溶媒 本発明に使用する有機溶剤としては、例えばn−ペンタ
ン、i−ペンタン、n−ヘキサン、i−ヘキサン、n−
ヘプタン、i−ヘプタン、2,2,4−トリメチルペン
タン、n−オクタン、i−オクタン、シクロヘキサン、
メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;ベン
ゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチ
ルベンゼン、メチルエチルベンゼン、n−プロピルベン
セン、i−プロピルベンセン、ジエチルベンゼン、i−
ブチルベンゼン、トリエチルベンゼン、ジ−i−プロピ
ルベンセン、n−アミルナフタレン、トリメチルベンゼ
ン等の芳香族炭化水素系溶媒;メタノール、エタノー
ル、n−プロパノール、i−プロパノール、n−ブタノ
ール、i−ブタノール、sec−ブタノール、t−ブタ
ノール、n−ペンタノール、i−ペンタノール、2−メ
チルブタノール、sec−ペンタノール、t−ペンタノ
ール、3−メトキシブタノール、n−ヘキサノール、2
−メチルペンタノール、sec−ヘキサノール、2−エ
チルブタノール、sec−ヘプタノール、ヘプタノール
−3、n−オクタノール、2−エチルヘキサノール、s
ec−オクタノール、n−ノニルアルコール、2,6−
ジメチルヘプタノール−4、n−デカノール、sec−
ウンデシルアルコール、トリメチルノニルアルコール、
sec−テトラデシルアルコール、sec−ヘプタデシ
ルアルコール、フェノール、シクロヘキサノール、メチ
ルシクロヘキサノール、3,3,5−トリメチルシクロ
ヘキサノール、ベンジルアルコール、フェニルメチルカ
ルビノール、ジアセトンアルコール、クレゾール等のモ
ノアルコール系溶媒;エチレングリコール、1,2−プ
ロピレングリコール、1,3−ブチレングリコール、ペ
ンタンジオール−2,4、2−メチルペンタンジオール
−2,4、ヘキサンジオール−2,5、ヘプタンジオー
ル−2,4、2−エチルヘキサンジオール−1,3、ジ
エチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエ
チレングリコール、トリプロピレングリコール、グリセ
リン等の多価アルコール系溶媒;アセトン、メチルエチ
ルケトン、メチル−n−プロピルケトン、メチル−n−
ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル−i−ブチルケ
トン、メチル−n−ペンチルケトン、エチル−n−ブチ
ルケトン、メチル−n−ヘキシルケトン、ジ−i−ブチ
ルケトン、トリメチルノナノン、シクロヘキサノン、メ
チルシクロヘキサノン、2,4−ペンタンジオン、アセ
トニルアセトン、ジアセトンアルコール、アセトフェノ
ン、フェンチョン等のケトン系溶媒;エチルエーテル、
i−プロピルエーテル、n−ブチルエーテル、n−ヘキ
シルエーテル、2−エチルヘキシルエーテル、エチレン
オキシド、1,2−プロピレンオキシド、ジオキソラ
ン、4−メチルジオキソラン、ジオキサン、ジメチルジ
オキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコ
ールジエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−
ブチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ヘキシ
ルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテ
ル、エチレングリコールモノ−2−エチルブチルエーテ
ル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレン
グリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコール
モノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジ−n−ブチルエーテル、ジ
エチレングリコールモノ−n−ヘキシルエーテル、エト
キシトリグリコール、テトラエチレングリコールジ−n
−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プ
ロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレン
グリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコー
ルモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエ
チルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、テトラヒドロフラン、2−メチルテトラヒドロ
フラン等のエーテル系溶媒;ジエチルカーボネート、酢
酸メチル、酢酸エチル、γ−ブチロラクトン、γ−バレ
ロラクトン、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢
酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、酢酸sec−ブチル、
酢酸n−ペンチル、酢酸sec−ペンチル、酢酸3−メ
トキシブチル、酢酸メチルペンチル、酢酸2−エチルブ
チル、酢酸2−エチルヘキシル、酢酸ベンジル、酢酸シ
クロヘキシル、酢酸メチルシクロヘキシル、酢酸n−ノ
ニル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、酢酸エチ
レングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリ
コールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコール
モノメチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ−n−ブ
チルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、酢酸プロピレングリコールモノプロピルエーテル、
酢酸プロピレングリコールモノブチルエーテル、酢酸ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジプロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、ジ酢酸グリコー
ル、酢酸メトキシトリグリコール、プロピオン酸エチ
ル、プロピオン酸n−ブチル、プロピオン酸i−アミ
ル、シュウ酸ジエチル、シュウ酸ジ−n−ブチル、乳酸
メチル、乳酸エチル、乳酸n−ブチル、乳酸n−アミ
ル、マロン酸ジエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジ
エチル等のエステル系溶媒;N−メチルホルムアミド、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホル
ムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、
N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルプロピオン
アミド、N−メチルピロリドン等の含窒素系溶媒;硫化
ジメチル、硫化ジエチル、チオフェン、テトラヒドロチ
オフェン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、1,3
−プロパンスルトン等の含硫黄系溶媒等を挙げることが
できる。これらは1種あるいは2種以上を混合して使用
することができる。本発明においては、沸点が250℃
未満の有機溶媒を使用することが特に好ましく、具体的
にはメタノール、エタノール、イソプロパノール等のア
ルコール、エチレングリコール、グリセリン等の多価ア
ルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエ
チルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエー
テル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等の
グリコールエーテル溶媒、エチレングリコールモノメチ
ルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロ
ピレングリコールメチルエーテルアセテート等のグリコ
ールアセテートエーテル溶媒、N、N−ジメチルアセト
アミド、N、N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−
2−ピロリドン等のアミド系溶媒、アセトン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセト
ン、メチルアミルケトン等のケトン系溶媒、乳酸エチ
ル、メトキシメチルプロピオネート、エトキシエチルプ
ロピオネート等のカルボン酸エステル系溶媒等の1種単
独または2種以上の組み合わせを挙げることができる。
(B) Organic Solvent As the organic solvent used in the present invention, for example, n-pentane, i-pentane, n-hexane, i-hexane, n-pentane
Heptane, i-heptane, 2,2,4-trimethylpentane, n-octane, i-octane, cyclohexane,
Aliphatic hydrocarbon solvents such as methylcyclohexane; benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, trimethylbenzene, methylethylbenzene, n-propylbenzene, i-propylbenzene, diethylbenzene, i-
Aromatic hydrocarbon solvents such as butylbenzene, triethylbenzene, di-i-propylbenzene, n-amylnaphthalene, trimethylbenzene; methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, i-butanol, sec -Butanol, t-butanol, n-pentanol, i-pentanol, 2-methylbutanol, sec-pentanol, t-pentanol, 3-methoxybutanol, n-hexanol,
-Methylpentanol, sec-hexanol, 2-ethylbutanol, sec-heptanol, heptanol-3, n-octanol, 2-ethylhexanol, s
ec-octanol, n-nonyl alcohol, 2,6-
Dimethylheptanol-4, n-decanol, sec-
Undecyl alcohol, trimethyl nonyl alcohol,
Mono-alcohol solvents such as sec-tetradecyl alcohol, sec-heptadecyl alcohol, phenol, cyclohexanol, methylcyclohexanol, 3,3,5-trimethylcyclohexanol, benzyl alcohol, phenylmethyl carbinol, diacetone alcohol, cresol Ethylene glycol, 1,2-propylene glycol, 1,3-butylene glycol, pentanediol-2,4,2-methylpentanediol-2,4, hexanediol-2,5, heptanediol-2,4,2 Polyhydric alcohol solvents such as ethylhexanediol-1,3, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, tripropylene glycol, glycerin; acetone, methyl ethyl ketone, methyl n- propyl ketone, methyl -n-
Butyl ketone, diethyl ketone, methyl-i-butyl ketone, methyl-n-pentyl ketone, ethyl-n-butyl ketone, methyl-n-hexyl ketone, di-i-butyl ketone, trimethylnonanone, cyclohexanone, methylcyclohexanone, 2,4- Ketone solvents such as pentanedione, acetonylacetone, diacetone alcohol, acetophenone, fenchone; ethyl ether;
i-propyl ether, n-butyl ether, n-hexyl ether, 2-ethylhexyl ether, ethylene oxide, 1,2-propylene oxide, dioxolan, 4-methyldioxolan, dioxane, dimethyldioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether , Ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol mono-n-
Butyl ether, ethylene glycol mono-n-hexyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol mono-2-ethyl butyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether , Diethylene glycol di-n-butyl ether, diethylene glycol mono-n-hexyl ether, ethoxytriglycol, tetraethylene glycol di-n
-Butyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tetrahydrofuran, 2-methyltetrahydrofuran Ether solvents such as diethyl carbonate, methyl acetate, ethyl acetate, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, sec-butyl acetate;
N-pentyl acetate, sec-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methylpentyl acetate, 2-ethylbutyl acetate, 2-ethylhexyl acetate, benzyl acetate, cyclohexyl acetate, methylcyclohexyl acetate, n-nonyl acetate, methyl acetoacetate, acetoacetate Ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene acetate Glycol monopropyl ether,
Propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl acetate acetate, dipropylene glycol monoethyl ether acetate, glycol diacetate, methoxytriglycol acetate, ethyl propionate, n-butyl propionate, i-amyl propionate, diethyl oxalate, Ester solvents such as di-n-butyl oxalate, methyl lactate, ethyl lactate, n-butyl lactate, n-amyl lactate, diethyl malonate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate; N-methylformamide;
N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, acetamide, N-methylacetamide,
Nitrogen-containing solvents such as N, N-dimethylacetamide, N-methylpropionamide, N-methylpyrrolidone; dimethyl sulfide, diethyl sulfide, thiophene, tetrahydrothiophene, dimethyl sulfoxide, sulfolane, 1,3
-Sulfur-containing solvents such as propane sultone. These can be used alone or in combination of two or more. In the present invention, the boiling point is 250 ° C.
It is particularly preferable to use less than an organic solvent, specifically, methanol, ethanol, alcohols such as isopropanol, ethylene glycol, polyhydric alcohols such as glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, Glycol ether solvents such as diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monopropyl ether and dipropylene glycol monoethyl ether; glycol acetate ether solvents such as ethylene glycol monomethyl acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol diacetate and propylene glycol methyl ether acetate; N , N-dimethylacetamide, N, N- Methylformamide, N- methyl -
Amide solvents such as 2-pyrrolidone, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetylacetone and methyl amyl ketone; carboxylic acid ester solvents such as ethyl lactate, methoxymethyl propionate and ethoxyethyl propionate; May be used alone or in combination of two or more.

【0019】本発明において有機溶媒の使用量は、
(A)成分(完全加水分解縮合物換算)および(B)成
分の総和量の0.3〜25倍量(重量)の範囲である。
In the present invention, the amount of the organic solvent used is
It is in the range of 0.3 to 25 times (weight) the total amount of the component (A) (in terms of complete hydrolysis condensate) and the component (B).

【0020】本発明においては、上記(A)〜(B)成
分以外に触媒を使用することもできる。触媒としては、
有機酸、無機酸、有機塩、無機塩、金属キレートなどを
挙げることができる。有機酸としては、例えば酢酸、プ
ロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプ
タン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、シュウ酸、
マレイン酸、メチルマロン酸、アジピン酸、セバシン
酸、没食子酸、酪酸、メリット酸、アラキドン酸、シキ
ミ酸、2−エチルヘキサン酸、オレイン酸、ステアリン
酸、リノール酸、リノレイン酸、サリチル酸、安息香
酸、p−アミノ安息香酸、p−トルエンスルホン酸、ベ
ンゼンスルホン酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、ト
リクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ギ酸、マロン酸、ス
ルホン酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、酒石酸等を
挙げることができる。無機酸としては、例えば塩酸、硝
酸、硫酸、フッ酸、リン酸等を挙げることができる。有
機塩としては、例えばピリジン、ピロール、ピペラジ
ン、ピロリジン、ピペリジン、ピコリン、トリメチルア
ミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエ
タノールアミン、ジメチルモノエタノールアミン、モノ
メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジ
アザビシクロオクラン、ジアザビシクロノナン、ジアザ
ビシクロウンデセン、テトラメチルアンモニウムハイド
ロオキサイド等を挙げることができる。無機塩として
は、例えばアンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水酸化バリウム、水酸化カルシウム等を挙げるこ
とができる。また、本発明の組成物には金属キレート化
合物を使用することもできる。金属キレート化合物とし
ては、例えばトリエトキシ・モノ(アセチルアセトナー
ト)チタン、トリ−n−プロポキシ・モノ(アセチルア
セトナート)チタン、トリ−i−プロポキシ・モノ(ア
セチルアセトナート)チタン、トリ−n−ブトキシ・モ
ノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−sec−ブ
トキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−
t−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、
ジエトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ
−n−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタ
ン、ジ−i−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナー
ト)チタン、ジ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセト
ナート)チタン、ジ−sec−ブトキシ・ビス(アセチ
ルアセトナート)チタン、ジ−t−ブトキシ・ビス(ア
セチルアセトナート)チタン、モノエトキシ・トリス
(アセチルアセトナート)チタン、モノ−n−プロポキ
シ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−i
−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタ
ン、モノ−n−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナー
ト)チタン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(アセチ
ルアセトナート)チタン、モノ−t−ブトキシ・トリス
(アセチルアセトナート)チタン、テトラキス(アセチ
ルアセトナート)チタン、トリエトキシ・モノ(エチル
アセトアセテート)チタン、トリ−n−プロポキシ・モ
ノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−i−プロ
ポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ
−n−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタ
ン、トリ−sec−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセ
テート)チタン、トリ−t−ブトキシ・モノ(エチルア
セトアセテート)チタン、ジエトキシ・ビス(エチルア
セトアセテート)チタン、ジ−n−プロポキシ・ビス
(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−i−プロポキ
シ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−
ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ
−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)
チタン、ジ−t−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテ
ート)チタン、モノエトキシ・トリス(エチルアセトア
セテート)チタン、モノ−n−プロポキシ・トリス(エ
チルアセトアセテート)チタン、モノ−i−プロポキシ
・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−n
−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタ
ン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(エチルアセトア
セテート)チタン、モノ−t−ブトキシ・トリス(エチ
ルアセトアセテート)チタン、テトラキス(エチルアセ
トアセテート)チタン、モノ(アセチルアセトナート)
トリス(エチルアセトアセテート)チタン、ビス(アセ
チルアセトナート)ビス(エチルアセトアセテート)チ
タン、トリス(アセチルアセトナート)モノ(エチルア
セトアセテート)チタン、等のチタンキレート化合物;
トリエトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニ
ウム、トリ−n−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナ
ート)ジルコニウム、トリ−i−プロポキシ・モノ(ア
セチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−n−ブトキ
シ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ
−sec−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジ
ルコニウム、トリ−t−ブトキシ・モノ(アセチルアセ
トナート)ジルコニウム、ジエトキシ・ビス(アセチル
アセトナート)ジルコニウム、ジ−n−プロポキシ・ビ
ス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−i−プ
ロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウ
ム、ジ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)
ジルコニウム、ジ−sec−ブトキシ・ビス(アセチル
アセトナート)ジルコニウム、ジ−t−ブトキシ・ビス
(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノエトキシ
・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ
−n−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジ
ルコニウム、モノ−i−プロポキシ・トリス(アセチル
アセトナート)ジルコニウム、モノ−n−ブトキシ・ト
リス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−s
ec−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジル
コニウム、モノ−t−ブトキシ・トリス(アセチルアセ
トナート)ジルコニウム、テトラキス(アセチルアセト
ナート)ジルコニウム、トリエトキシ・モノ(エチルア
セトアセテート)ジルコニウム、トリ−n−プロポキシ
・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ
−i−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジ
ルコニウム、トリ−n−ブトキシ・モノ(エチルアセト
アセテート)ジルコニウム、トリ−sec−ブトキシ・
モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−
t−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコ
ニウム、ジエトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)
ジルコニウム、ジ−n−プロポキシ・ビス(エチルアセ
トアセテート)ジルコニウム、ジ−i−プロポキシ・ビ
ス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−n−
ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウ
ム、ジ−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテ
ート)ジルコニウム、ジ−t−ブトキシ・ビス(エチル
アセトアセテート)ジルコニウム、モノエトキシ・トリ
ス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−n
−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジル
コニウム、モノ−i−プロポキシ・トリス(エチルアセ
トアセテート)ジルコニウム、モノ−n−ブトキシ・ト
リス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−
sec−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)
ジルコニウム、モノ−t−ブトキシ・トリス(エチルア
セトアセテート)ジルコニウム、テトラキス(エチルア
セトアセテート)ジルコニウム、モノ(アセチルアセト
ナート)トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウ
ム、ビス(アセチルアセトナート)ビス(エチルアセト
アセテート)ジルコニウム、トリス(アセチルアセトナ
ート)モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、
等のジルコニウムキレート化合物;トリス(アセチルア
セトナート)アルミニウム、トリス(エチルアセトアセ
テート)アルミニウム等のアルミニウムキレート化合
物;などを挙げることができる。触媒の使用量は、一般
式(1)で表される化合物および一般式(2)で表され
る化合物の総量1モルに対して通常0.0001〜1モ
ル、好ましくは0.001〜0.1モルである。
In the present invention, a catalyst can be used in addition to the above components (A) and (B). As a catalyst,
Organic acids, inorganic acids, organic salts, inorganic salts, metal chelates and the like can be mentioned. Examples of organic acids include acetic acid, propionic acid, butanoic acid, pentanoic acid, hexanoic acid, heptanoic acid, octanoic acid, nonanoic acid, decanoic acid, oxalic acid,
Maleic acid, methylmalonic acid, adipic acid, sebacic acid, gallic acid, butyric acid, melitic acid, arachidonic acid, shikimic acid, 2-ethylhexanoic acid, oleic acid, stearic acid, linoleic acid, linoleic acid, salicylic acid, benzoic acid, p-Aminobenzoic acid, p-toluenesulfonic acid, benzenesulfonic acid, monochloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, formic acid, malonic acid, sulfonic acid, phthalic acid, fumaric acid, citric acid, tartaric acid, etc. be able to. Examples of the inorganic acid include hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrofluoric acid, phosphoric acid and the like. Examples of the organic salt include pyridine, pyrrole, piperazine, pyrrolidine, piperidine, picoline, trimethylamine, triethylamine, monoethanolamine, diethanolamine, dimethylmonoethanolamine, monomethyldiethanolamine, triethanolamine, diazabicyclooctane, and diazabicyclononane. , Diazabicycloundecene, tetramethylammonium hydroxide and the like. Examples of the inorganic salt include ammonia, sodium hydroxide, potassium hydroxide, barium hydroxide, calcium hydroxide and the like. Further, a metal chelate compound can be used in the composition of the present invention. Examples of the metal chelate compound include triethoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-i-propoxy mono (acetylacetonate) titanium, and tri-n-butoxy.・ Mono (acetylacetonato) titanium, tri-sec-butoxy ・ Mono (acetylacetonato) titanium, tri-
t-butoxy mono (acetylacetonate) titanium,
Diethoxybis (acetylacetonato) titanium, di-n-propoxybis (acetylacetonato) titanium, di-i-propoxybis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxybis (acetylacetonate) Titanium, di-sec-butoxybis (acetylacetonato) titanium, di-t-butoxybis (acetylacetonato) titanium, monoethoxytris (acetylacetonato) titanium, mono-n-propoxytris (acetyl) Acetonate) titanium, mono-i
-Propoxy-tris (acetylacetonato) titanium, mono-n-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, mono-sec-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, mono-t-butoxytris (acetylacetonate) ) Titanium, tetrakis (acetylacetonate) titanium, triethoxymono (ethylacetoacetate) titanium, tri-n-propoxymono (ethylacetoacetate) titanium, tri-i-propoxymono (ethylacetoacetate) titanium, tri -N-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-sec-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-t-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, diethoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium Emissions, di -n- propoxy bis (ethylacetoacetate) titanium, di -i- propoxy bis (ethylacetoacetate) titanium, di -n-
Butoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate)
Titanium, di-t-butoxybis (ethylacetoacetate) titanium, monoethoxytris (ethylacetoacetate) titanium, mono-n-propoxytris (ethylacetoacetate) titanium, mono-i-propoxytris (ethyl) Acetoacetate) titanium, mono-n
-Butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-sec-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-t-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, tetrakis (ethyl acetoacetate) titanium, mono (acetyl) Acetonate)
Titanium chelate compounds such as tris (ethylacetoacetate) titanium, bis (acetylacetonate) bis (ethylacetoacetate) titanium, tris (acetylacetonate) mono (ethylacetoacetate) titanium;
Triethoxy mono (acetylacetonate) zirconium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonate) zirconium, tri-i-propoxy mono (acetylacetonate) zirconium, tri-n-butoxy mono (acetylacetonate) Zirconium, tri-sec-butoxy mono (acetylacetonate) zirconium, tri-t-butoxy mono (acetylacetonate) zirconium, diethoxybis (acetylacetonate) zirconium, di-n-propoxybis (acetylacetonate) Nate) zirconium, di-i-propoxybis (acetylacetonate) zirconium, di-n-butoxybis (acetylacetonate)
Zirconium, di-sec-butoxybis (acetylacetonate) zirconium, di-t-butoxybis (acetylacetonate) zirconium, monoethoxytris (acetylacetonate) zirconium, mono-n-propoxytris (acetyl) Acetonato) zirconium, mono-i-propoxy tris (acetylacetonato) zirconium, mono-n-butoxytris (acetylacetonato) zirconium, mono-s
ec-butoxy tris (acetylacetonate) zirconium, mono-t-butoxy tris (acetylacetonate) zirconium, tetrakis (acetylacetonate) zirconium, triethoxy mono (ethylacetoacetate) zirconium, tri-n-propoxy. Mono (ethyl acetoacetate) zirconium, tri-i-propoxy mono (ethyl acetoacetate) zirconium, tri-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) zirconium, tri-sec-butoxy.
Mono (ethylacetoacetate) zirconium, tri-
t-butoxy mono (ethyl acetoacetate) zirconium, diethoxy bis (ethyl acetoacetate)
Zirconium, di-n-propoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, di-i-propoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, di-n-
Butoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, di-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, di-t-butoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, monoethoxy tris (ethyl acetoacetate) zirconium, mono -N
-Propoxy tris (ethyl acetoacetate) zirconium, mono-i-propoxy tris (ethyl acetoacetate) zirconium, mono-n-butoxy tris (ethyl acetoacetate) zirconium, mono-
sec-butoxy tris (ethyl acetoacetate)
Zirconium, mono-t-butoxy tris (ethylacetoacetate) zirconium, tetrakis (ethylacetoacetate) zirconium, mono (acetylacetonate) tris (ethylacetoacetate) zirconium, bis (acetylacetonate) bis (ethylacetoacetate) Zirconium, tris (acetylacetonate) mono (ethylacetoacetate) zirconium,
And the like; aluminum chelate compounds such as aluminum tris (acetylacetonate) and aluminum tris (ethylacetoacetate); and the like. The amount of the catalyst to be used is generally 0.0001 to 1 mol, preferably 0.001 to 0.1 mol, per 1 mol of the total amount of the compound represented by the general formula (1) and the compound represented by the general formula (2). 1 mole.

【0021】本発明において硬化性組成物は(C)沸点
または分解温度が250〜450℃である化合物を含有
することができ、この化合物の具体例としてはポリア
ルキレンオキサイド構造を有する化合物、(メタ)ア
クリレート系重合体、ポリエステル、ポリカーボネ
ート、ポリアンハイドライドなどを挙げることができ
る。本発明において、沸点および分解温度とは1気圧下
での温度を示す。 ポリアルキレンオキサイド構造を有する化合物 ここで、ポリアルキレンオキサイド構造としてはポリエ
チレンオキサイド構造、ポリプロピレンオキサイド構
造、ポリテトラメチレンオキサイド構造、ポリブチレン
オキシド構造などが挙げられる。具体的には、ポリオキ
シエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエテチレンア
ルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンステロー
ルエーテル、ポリオキシエチレンラノリン誘導体、アル
キルフェノールホルマリン縮合物の酸化エチレン誘導
体、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロック
コポリマー、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレン
アルキルエーテルなどのエーテル型化合物、ポリオキシ
エチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレ
ンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソル
ビトール脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸ア
ルカノールアミド硫酸塩などのエーテルエステル型化合
物、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、エチレン
グリコール脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド、ポ
リグリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステ
ル、プロピレングリコール脂肪酸エステル、ショ糖脂肪
酸エステルなどのエーテルエステル型化合物などを挙げ
ることができる。ポリオキシチレンポリオキシプロピレ
ンブロックコポリマーとしては下記のようなブロック構
造を有する化合物が挙げられる。 −(A)n−(B)m− −(A)n−(B)m−(A)l- (式中、Aは−CH2CH2O−で表される基を、Bは−
CH2CH(CH3)O−で表される基を示し、nは1〜
90、mは10〜99、lは0〜90の数を示す)
In the present invention, the curable composition may contain (C) a compound having a boiling point or a decomposition temperature of 250 to 450 ° C. Specific examples of the compound include a compound having a polyalkylene oxide structure, ) Acrylate polymers, polyesters, polycarbonates, polyanhydrides, and the like. In the present invention, the boiling point and the decomposition temperature refer to the temperature at 1 atm. Compound having a polyalkylene oxide structure Here, examples of the polyalkylene oxide structure include a polyethylene oxide structure, a polypropylene oxide structure, a polytetramethylene oxide structure, and a polybutylene oxide structure. Specifically, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkylphenyl ether, polyoxyethylene sterol ether, polyoxyethylene lanolin derivative, ethylene oxide derivative of alkylphenol formalin condensate, polyoxyethylene polyoxypropylene block copolymer, polyoxyethylene polyoxypropylene block copolymer Ether-type compounds such as oxyethylene polyoxypropylene alkyl ether, ether-type compounds such as polyoxyethylene glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid alkanolamide sulfate, polyethylene Glycol fatty acid esters, ethylene glycol fatty acid esters, fatty acid monoglycerides, It can be mentioned Li glycerol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, propylene glycol fatty acid esters, ether-ester type compounds such as sucrose fatty acid esters and the like. Examples of the polyoxyethylene polyoxypropylene block copolymer include compounds having the following block structures. -(A) n- (B) m--(A) n- (B) m- (A) l- (where A is a group represented by -CH2CH2O-, and B is-
A group represented by CH2CH (CH3) O-, wherein n is 1 to
90, m is a number from 10 to 99, and l is a number from 0 to 90)

【0022】(メタ)アクリル系重合体 本発明において(メタ)アクリル系重合体を構成するア
クリル酸エステルおよびメタクリル酸エステルとして
は、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキ
ルエステル、アクリル酸アルコキシアルキルエステル、
メタクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルコキ
シアルキルエステルなどを挙げることができる。アクリ
ル酸アルキルエステルとしては、アクリル酸メチル、ア
クリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、アクリル酸
イソプロピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソ
ブチル、アクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシルなど
の炭素数1〜6のアルキルエステル、メタクリル酸アル
キルエステルとしては、メタクリル酸メチル、メタクリ
ル酸エチル、メタクリル酸n-プロピル、メタクリル酸イ
ソプロピル、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸イソ
ブチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ペンチル、
メタクリル酸ヘキシルなどの炭素数1〜6のアルキルエ
ステル、アクリル酸アルコキシアルキルエステルとして
は、アクリル酸メトキシメチル、アクリル酸エトキシエ
チル、メタクリル酸アルコキシアルキルエステルとして
は、メタクリル酸メトキシメチル、メタクリル酸エトキ
シエチルなどを挙げることができる。これらの中でも、
メタクリル酸アルキルエステルを使用することが好まし
く、特にメタクリル酸エチル、メタクリル酸イソブチル
などを使用することが好ましい。
(Meth) acrylic polymer In the present invention, the acrylate and methacrylate constituting the (meth) acrylic polymer include alkyl acrylate, alkyl methacrylate, alkoxyalkyl acrylate,
Examples thereof include methacrylic acid alkyl esters and methacrylic acid alkoxyalkyl esters. Examples of the alkyl acrylate include those having 1 to 6 carbon atoms such as methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, pentyl acrylate, and hexyl acrylate. Alkyl esters, alkyl methacrylates, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, butyl methacrylate, pentyl methacrylate,
Alkyl esters having 1 to 6 carbon atoms such as hexyl methacrylate, alkoxyalkyl acrylates include methoxymethyl acrylate, ethoxyethyl acrylate, and alkoxyalkyl methacrylates include methoxymethyl methacrylate and ethoxyethyl methacrylate. Can be mentioned. Among these,
It is preferable to use an alkyl methacrylate, and particularly preferable to use ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, or the like.

【0023】本発明において、(メタ)アクリル系重合
体は上記モノマーにアルコキシシリル基を有するモノマ
ーを共重合してなることが好ましい。アルコキシシル基
を有するモノマーとしては、メタクリル酸3−(トリメ
トキシシリル)プロピル、メタクリル酸3−(トリエト
キシシリル)プロピル、メタクリル酸3−[トリ(メト
キシエトキシ)シリル]プロピル、メタクリル酸3−
(メチルジメトキシシリル)プロピル、メタクリル酸3
−(メチルジエトキシシリル)プロピルなどを挙げるこ
とができる。アルコキシシリル基を有するモノマーはア
クリル系重合体を構成する全モノマーに通常、0.5〜
10モル%、好ましくは1〜7モル%の割合で含まれ
る。本発明においてアクリル系重合体は、上記アクリル
酸エステル、メタクリル酸エステルおよびアルコキシシ
リル基を有するモノマー以外のラジカル重合性モノマー
を40モル%以下共重合していてもよい。ラジカル重合
性モノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸などの
不飽和カルボン酸、N,N−ジメチルアクリルアミド、
N,N−ジメチルメタクリルアミドなどの不飽和アミ
ド、アクリロニトリルなどの不飽和ニトリル、メチルビ
ニルケトンなどの不飽和ケトン、スチレン、α-メチル
スチレンなどの芳香族化合物などを挙げることができ
る。本発明において、(メタ)アクリル系重合体のポリ
スチレン換算数平均分子量は1000〜100000、
好ましくは1000〜20,000である。 ポリエステル ヒドロキシカルボン酸の重縮合物、ラクトンの開環重合
物、脂肪族ポリオールと脂肪族ポリカルボン酸との重縮
合物などを挙げることができる。 ポリカーボネート ポリエチレンカーボネート、ポリプロピレンカーボネー
ト、ポリトリメチレンカーボネート、ポリテトラメチレ
ンカーボネート、ポリペンタメチレンカーボネート、ポ
リヘキサメチレンカーボネートなどの炭酸とアルキレン
グリコールの重縮合物を挙げることができる。 ポリアンハイドライド ポリマロニルオキシド、ポリアジポイルオキシド、ポリ
ピメロイルオキシド、ポリスベロイルオキシド、ポリア
ゼライルオキシド、ポリセバコイルオキシドなどのジカ
ルボン酸の重縮合物などを挙げることができる。また、
その他にも、ポリ(N−ビニルアセトアミド)、ポリ
(N−ビニルピロリドン、ポリ(2−メチル−2−オキ
サゾリン)、ポリ(N、N−ジメチルアクリルアミド)
などのビニルアミド系重合体、ポリスチレン、ポリメチ
ルスチレン、ポリα−メチルスチレンなどのスチレン系
重合体なども挙げることができる。
In the present invention, the (meth) acrylic polymer is preferably formed by copolymerizing the above monomer with a monomer having an alkoxysilyl group. Examples of the monomer having an alkoxysyl group include 3- (trimethoxysilyl) propyl methacrylate, 3- (triethoxysilyl) propyl methacrylate, 3- [tri (methoxyethoxy) silyl] propyl methacrylate, and 3- (methmethoxysilyl) propyl methacrylate.
(Methyldimethoxysilyl) propyl, methacrylic acid 3
-(Methyldiethoxysilyl) propyl and the like. The monomer having an alkoxysilyl group is usually from 0.5 to all monomers constituting the acrylic polymer.
It is contained in a proportion of 10 mol%, preferably 1 to 7 mol%. In the present invention, the acrylic polymer may be copolymerized with not more than 40 mol% of a radical polymerizable monomer other than the above-mentioned acrylate, methacrylate and monomer having an alkoxysilyl group. Examples of the radical polymerizable monomer include unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid, N, N-dimethylacrylamide,
Examples include unsaturated amides such as N, N-dimethylmethacrylamide, unsaturated nitriles such as acrylonitrile, unsaturated ketones such as methyl vinyl ketone, and aromatic compounds such as styrene and α-methylstyrene. In the present invention, the (meth) acrylic polymer has a polystyrene reduced number average molecular weight of 1,000 to 100,000,
Preferably it is 1000-20,000. Polycondensates of polyester hydroxycarboxylic acids, ring-opening polymers of lactones, polycondensates of aliphatic polyols and aliphatic polycarboxylic acids and the like can be mentioned. Polycarbonate Polycondensates of carbonic acid and alkylene glycol, such as polyethylene carbonate, polypropylene carbonate, polytrimethylene carbonate, polytetramethylene carbonate, polypentamethylene carbonate, and polyhexamethylene carbonate, can be given. Examples include polycondensates of dicarboxylic acids such as polyanhydride polymalonyl oxide, polyadipoyl oxide, polypimeloyl oxide, polysuberoyl oxide, polyazelayl oxide, and polysebacoil oxide. Also,
In addition, poly (N-vinylacetamide), poly (N-vinylpyrrolidone, poly (2-methyl-2-oxazoline), poly (N, N-dimethylacrylamide)
And styrene-based polymers such as polystyrene, polymethylstyrene and poly-α-methylstyrene.

【0024】(A)成分に相溶または分散し、沸点また
は分解温度が250〜450℃である化合物は、(A)
成分(完全加水分解縮合物換算)に対して通常1〜80
重量%、好ましくは5〜65重量%である。なお、本発
明において完全加水分解縮合物とは、(A)成分中の−
OR2および−OR4、−OR5で表される基が100%加
水加水分解してOH基となり、完全に縮合したものを示
す。
Compounds which are compatible or dispersed in component (A) and have a boiling point or decomposition temperature of from 250 to 450 ° C.
Usually 1 to 80 with respect to the component (complete hydrolytic condensate conversion)
% By weight, preferably 5 to 65% by weight. In the present invention, the completely hydrolyzed condensate is defined as-in component (A).
The group represented by OR 2, —OR 4 and —OR 5 is hydrolyzed to 100% to form an OH group, which is completely condensed.

【0025】さらに本発明の硬化性組成物には、(D)
沸点または分解温度が450℃を超える化合物を含有す
ることもできる。ここで沸点または分解温度が450℃
を超える化合物としては、ポリアミック酸及び/又はカ
ルボン酸無水物基を有するポリイミド(これらをまとめ
て「ポリイミド等」という)、ポリアリーレンなどを挙
げることができる。ポリアミド等は、カルボン酸無水物
基や加水分解性オルガノシリル基などを有することが好
ましい。また、本願発明において、ポリアミック酸は一
部イミド化していなくてもよく、ポリイミドのイミド化
率は、50%以上、好ましくは90%以上である。
The curable composition of the present invention further comprises (D)
Compounds having a boiling point or decomposition temperature exceeding 450 ° C. can also be contained. Where the boiling point or decomposition temperature is 450 ° C
Examples of the compound exceeding the above include polyimide having a polyamic acid and / or carboxylic acid anhydride group (these are collectively referred to as “polyimide or the like”), polyarylene, and the like. The polyamide or the like preferably has a carboxylic acid anhydride group, a hydrolyzable organosilyl group, or the like. In the present invention, the polyamic acid may not be partially imidized, and the imidation ratio of the polyimide is 50% or more, preferably 90% or more.

【0026】上記ポリイミド等は、テトラカルボン酸二
無水物とジアミン化合物とを、過剰量のテトラカルボン
酸二無水物が存在する条件下、有機溶媒中で重縮合させ
て、ポリアミック酸の溶液を得る方法、(ロ)前記
(イ)の方法により得られたポリアミック酸を、有機溶
媒中で熱的方法あるいは化学的方法により脱水閉環反応
させて、カルボン酸無水物基を有するポリイミドの溶液
を得る方法等などにより得られる。これらの方法のう
ち、特に(ロ)の方法が好ましい。
The above-mentioned polyimide and the like are subjected to polycondensation of a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in an organic solvent under the condition that an excess amount of tetracarboxylic dianhydride is present to obtain a polyamic acid solution. And (b) a method of subjecting the polyamic acid obtained by the method (a) to a dehydration ring-closing reaction in an organic solvent by a thermal method or a chemical method to obtain a polyimide solution having a carboxylic acid anhydride group. And the like. Among these methods, the method (b) is particularly preferable.

【0027】前記(イ)の方法に使用されるテトラカル
ボン酸二無水物の具体例としては、2,3,2',3'-ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、3,4, 3',4'-ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、9,9-ビス(2,3-ジカルボキシフ
ェニル)フルオレン二無水物、9,9-ビス(3,4-ジカルボ
キシフェニル)フルオレン二無水物、2,2-ビス(2,3-ジ
カルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプ
ロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニ
ル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、
9,9-ビス[4-(2,3-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]フ
ルオレン二無水物、9,9-ビス[4-(3,4-ジカルボキシフェ
ノキシ)フェニル]フルオレン二無水物、2,2-ビス[4-(2,
3-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘ
キサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス[4-(3,4-ジカ
ルボキシフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフ
ルオロプロパン二無水物等を挙げることができる。
Specific examples of the tetracarboxylic dianhydride used in the above method (a) include 2,3,2 ', 3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis (2,3-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, 9, 9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride , 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride,
9,9-bis [4- (2,3-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluorene dianhydride, 2, 2-bis [4- (2,
3-Dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] -1, 1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride and the like can be mentioned.

【0028】また、前記(イ)の方法に使用されるジアミ
ン化合物の具体例としては、9,9-ビス(2-アミノフェニ
ル)フルオレン、9,9-ビス(3-アミノフェニル)フルオ
レン、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、9,9-
ビス[4-(2-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、9,
9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、
9,9-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレ
ン、2,2-ビス(2-アミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキ
サフルオロプロパン、2,2-ビス(3-アミノフェニル)-
1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス(4-ア
ミノフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2-ビス[4-(2-アミノフェノキシ)フェニル]-1,1,
1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス[4-(3-アミ
ノフェノキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロ
プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]
-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2'-ジアミノ
ジフェニルエーテル、2,3'-ジアミノジフェニルエーテ
ル、2,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノ
ジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテ
ル、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、2,2'-ジアミノ
ビフェニル、2,3'-ジアミノビフェニル、2,4'-ジアミノ
ビフェニル、 3,3'-ジアミノビフェニル、3,4'-ジアミ
ノビフェニル、4,4'-ジアミノビフェニル、4,4'-ジアミ
ノ-2,2'-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、2,2'
-ジアミノ-4,4'-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニ
ル、2-(3-アミノフェニル)-3'-アミノフェニル、2,2'-
ビス(3-アミノフェニル)ビフェニル、9,9-ビス[3-フ
ェニル-4-(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキ
シ)フェニル]フルオレン等を挙げることができる。さ
らに、ジアミン化合物とともに一分子中にアミノ基を3
以上有するアミン化合物を併用することもできる。アミ
ノ基を3個以上有する化合物としては、例えば、1,
3,5−トリアミノベンゼン、3,3’,5−トリアミ
ノビフェニル、3,3’,5−トリアミノジフェニルエ
ーテル、1,1−ビス(4−アミノフェニル)−1−
(4−アミノフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ア
ミノフェニル)−1−(4−アミノフェニル)−2,
2,2−トリフルオロエタン、2−アミノ−9,9−ビ
ス(4−アミノフェニル)フルオレン、2−アミノ−
9,9−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕フルオレン等のトリアミン、9,9−ビス(3,4
−ジアミノフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3,
5−ジアミノフェニル)フルオレン、2,7−ジアミノ
−9,9−ビス(2−アミノフェニル)フルオレン、
2,7−ジアミノ−9,9−ビス(3−アミノフェニ
ル)フルオレン、2,7−ジアミノ−9,9−ビス(4
−アミノフェニル)フルオレン、3,6−ジアミノ−
9,9−ビス(2−アミノフェニル)フルオレン、3,
6−ジアミノ−9,9−ビス(3−アミノフェニル)フ
ルオレン、3,6−ジアミノ−9,9−ビス(4−アミ
ノフェニル)フルオレン、4,5−ジアミノ−9,9−
ビス(2−アミノフェニル)フルオレン、4,5−ジア
ミノ−9,9−ビス(3−アミノフェニル)フルオレ
ン、4,5−ジアミノ−9,9−ビス(4−アミノフェ
ニル)フルオレン、1,2,4,5−テトラアミノベン
ゼン、3,3’,4,4’−テトラアミノビフェニル、
ビス(3,4−ジアミノフェニル)メタン、ビス(3,
5−ジアミノフェニル)メタン、2,2−ビス(3,4
−ジアミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4
−ジアミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキ
サフルオロプロパン、ビス(3,5−ジアミノフェニ
ル)エーテル、2,7−ジアミノ−9,9−ビス〔3−
(2−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、2,
7−ジアミノ−9,9−ビス〔3−(3−アミノフェノ
キシ)フェニル〕フルオレン、2,7−ジアミノ−9,
9−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フ
ルオレン、3,6−ジアミノ−9,9−ビス〔3−(2
−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、3,6−
ジアミノ−9,9−ビス〔3−(3−アミノフェノキ
シ)フェニル〕フルオレン、3,6−ジアミノ−9,9
−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フル
オレン、4,5−ジアミノ−9,9−ビス〔3−(2−
アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、4,5−ジ
アミノ−9,9−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)
フェニル〕フルオレン、4,5−ジアミノ−9,9−ビ
ス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレ
ン、2,7−ジアミノ−9,9−ビス〔4−(2−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、2,7−ジアミ
ノ−9,9−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕フルオレン、2,7−ジアミノ−9,9−ビス
〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレ
ン、3,6−ジアミノ−9,9−ビス〔4−(2−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、3,6−ジアミ
ノ−9,9−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕フルオレン、3,6−ジアミノ−9,9−ビス
〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレ
ン、4,5−ジアミノ−9,9−ビス〔4−(2−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、4,5−ジアミ
ノ−9,9−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕フルオレン、4,5−ジアミノ−9,9−ビス
〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレ
ン、9,9−ビス〔4−(3,5−ジアミノフェノキ
シ)フェニル〕フルオレン、1,3−ビス(3,5−ジ
アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3,5−
ジアミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス〔4−
(3,5−ジアミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、
2,2−ビス〔4−(3,5−ジアミノフェノキシ)フ
ェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプ
ロパン等のテトラアミンなどを挙げることができる。
Specific examples of the diamine compound used in the above method (a) include 9,9-bis (2-aminophenyl) fluorene, 9,9-bis (3-aminophenyl) fluorene, , 9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 9,9-
Bis [4- (2-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 9,
9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene,
9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,2-bis (2-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2- Bis (3-aminophenyl)-
1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [ 4- (2-aminophenoxy) phenyl] -1,1,
1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl]
-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2′-diaminodiphenyl ether, 2,3′-diaminodiphenyl ether, 2,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3 , 4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2'-diaminobiphenyl, 2,3'-diaminobiphenyl, 2,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,4 '-Diaminobiphenyl, 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 2,2'
-Diamino-4,4'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 2- (3-aminophenyl) -3'-aminophenyl, 2,2'-
Bis (3-aminophenyl) biphenyl, 9,9-bis [3-phenyl-4- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl] fluorene and the like can be mentioned. Further, together with the diamine compound, three amino groups are contained in one molecule.
The amine compounds having the above can be used in combination. Examples of the compound having three or more amino groups include, for example, 1,
3,5-triaminobenzene, 3,3 ', 5-triaminobiphenyl, 3,3', 5-triaminodiphenyl ether, 1,1-bis (4-aminophenyl) -1-
(4-aminophenyl) ethane, 1,1-bis (4-aminophenyl) -1- (4-aminophenyl) -2,
2,2-trifluoroethane, 2-amino-9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 2-amino-
Triamines such as 9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene and 9,9-bis (3,4
-Diaminophenyl) fluorene, 9,9-bis (3,
5-diaminophenyl) fluorene, 2,7-diamino-9,9-bis (2-aminophenyl) fluorene,
2,7-diamino-9,9-bis (3-aminophenyl) fluorene, 2,7-diamino-9,9-bis (4
-Aminophenyl) fluorene, 3,6-diamino-
9,9-bis (2-aminophenyl) fluorene, 3,
6-diamino-9,9-bis (3-aminophenyl) fluorene, 3,6-diamino-9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,5-diamino-9,9-
Bis (2-aminophenyl) fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis (3-aminophenyl) fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 1,2 , 4,5-tetraaminobenzene, 3,3 ', 4,4'-tetraaminobiphenyl,
Bis (3,4-diaminophenyl) methane, bis (3
5-diaminophenyl) methane, 2,2-bis (3,4
-Diaminophenyl) propane, 2,2-bis (3,4
-Diaminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (3,5-diaminophenyl) ether, 2,7-diamino-9,9-bis [3-
(2-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,
7-diamino-9,9-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,7-diamino-9,
9-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,6-diamino-9,9-bis [3- (2
-Aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,6-
Diamino-9,9-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,6-diamino-9,9
-Bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [3- (2-
Aminophenoxy) phenyl] fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [3- (3-aminophenoxy)
Phenyl] fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,7-diamino-9,9-bis [4- (2-aminophenoxy) phenyl] Fluorene, 2,7-diamino-9,9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,7-diamino-9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,6-diamino-9,9-bis [4- (2-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3,6-diamino-9,9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 3, 6-diamino-9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [4- (2-aminophenoxy) phenyl] Fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 4,5-diamino-9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [4- (3,5-diaminophenoxy) phenyl] fluorene, 1,3-bis (3,5-diaminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3,5-
Diaminophenoxy) benzene, 2,2-bis [4-
(3,5-diaminophenoxy) phenyl] propane,
Examples thereof include tetraamines such as 2,2-bis [4- (3,5-diaminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane.

【0029】前記(イ)及び(ロ)の方法に使用される
有機溶媒としては、反応原料および得られる(B)成分
に対して不活性であり、かつそれらを溶解しうるもので
あれば特に限定されるものではなく、例えば、ジメチル
ホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリ
ドン等のアミド系溶媒;ジメチルスルホキシド等の非プ
ロトン性極性溶媒;フェノール、クレゾール等のフェノ
ール系溶媒等を挙げることができる。これらの有機溶媒
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。これらの有機溶媒は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。前記(イ)の方法による
ポリアミック酸の合成に際しては、テトラカルボン酸二
無水物とジアミン化合物との合計濃度を、全溶液重量に
対して、通常、1〜50重量%、好ましくは2〜30重量%と
し、通常、150℃以下、好ましくは0〜120℃で反応させ
る。また、前記(ロ)の方法において、ポリイミドを合
成する際の熱的イミド化反応の温度は、通常、50〜400
℃、好ましくは100〜350℃であり、化学的イミド化反応
の温度は、通常、0〜200℃である。
The organic solvent used in the above methods (a) and (b) is not particularly limited as long as it is inert to the reaction raw materials and the component (B) obtained and can dissolve them. It is not limited, and examples thereof include amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; aprotic polar solvents such as dimethylsulfoxide; and phenol solvents such as phenol and cresol. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more. When synthesizing the polyamic acid by the method (a), the total concentration of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is usually 1 to 50% by weight, preferably 2 to 30% by weight based on the total solution weight. %, Usually at 150 ° C. or lower, preferably at 0 to 120 ° C. In the method (b), the temperature of the thermal imidization reaction when synthesizing the polyimide is usually 50 to 400.
° C, preferably 100 to 350 ° C, and the temperature of the chemical imidization reaction is usually 0 to 200 ° C.

【0030】本発明における特定ポリイミド等中のカル
ボン酸無水物基は、通常、ポリアミック酸あるいはポリ
イミドの分子鎖両末端に存在するが、どちらか一方の分
子鎖末端のみに存在してもよい。本発明において、
(B)成分中のカルボン酸無水物基の含有率は、通常、
0.01〜30重量%、好ましくは0.05〜25重量%、特に好まし
くは0.1〜20重量%である。
In the present invention, the carboxylic acid anhydride group in the specific polyimide or the like is usually present at both ends of the molecular chain of polyamic acid or polyimide, but may be present at only one of the molecular chain ends. In the present invention,
The content of the carboxylic acid anhydride group in the component (B) is usually
It is 0.01 to 30% by weight, preferably 0.05 to 25% by weight, particularly preferably 0.1 to 20% by weight.

【0031】また、本発明における特定ポリイミドは、
場合により、加水分解性シリル基をさらに有することも
できる。前記加水分解性シリル基を有する特定ポリイミ
ド等の合成法としては、例えば、(ハ)前記(イ)の方
法におけるテトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物
との重縮合に際して、カルボン酸無水物基と加水分解性
基とを有するシラン化合物及び/又はカルボキシル基と
反応しうる官能基と加水分解性基とを有するシラン化合
物(以下、これらのシラン化合物をまとめて「官能性シ
ラン化合物」という。)を添加する方法、(ニ)前記
(イ)の方法におけるテトラカルボン酸ニ無水物とジア
ミン化合物との重縮合に続いて、官能性シラン化合物を
添加し、該官能性シラン化合物とポリアミック酸とを反
応させる方法、(ホ)前記(ハ)または(ニ)の方法に
より得られた加水分解性シリル基を有するポリアミック
酸を、有機溶媒中で熱的方法あるいは化学的方法により
脱水閉環反応させる方法、(ヘ)前記(ロ)の方法に続
いて、官能性シラン化合物を添加し、該官能性シラン化
合物とポリイミドとを反応させる方法、(ト)前記
(イ)の方法において、ジアミン化合物の一部として、
2個のアミノ基と加水分解性基とを有するシラン化合物
を使用する方法、(チ)前記(ト)の方法により得られ
た加水分解性シリル基を有するポリアミック酸を、有機
溶媒中で熱的方法あるいは化学的方法により脱水閉環反
応させる方法等を挙げることができる。前記(ト)の方
法における2個のアミノ基と加水分解性基とを有するシ
ラン化合物の使用割合は、全ジアミン化合物に対して、
通常、50モル%以下、好ましくは30モル%以下である。前
記(ハ)〜(チ)の方法のうち、(ニ)、(へ)あるい
は(ト)の方法が好ましく、特に(ニ)あるいは(へ)
の方法が好ましい。
In the present invention, the specific polyimide is
In some cases, it may further have a hydrolyzable silyl group. As a method for synthesizing the specific polyimide or the like having the hydrolyzable silyl group, for example, (c) the polycondensation of a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in the method (a) may be carried out with a carboxylic acid anhydride group. A silane compound having a hydrolyzable group and / or a silane compound having a functional group capable of reacting with a carboxyl group and a hydrolyzable group (hereinafter, these silane compounds are collectively referred to as “functional silane compound”). (D) Following the polycondensation of the tetracarboxylic dianhydride with the diamine compound in the method (a), a functional silane compound is added, and the functional silane compound reacts with the polyamic acid. (E) thermally treating the polyamic acid having a hydrolyzable silyl group obtained by the method (c) or (d) in an organic solvent. Or a method of performing a dehydration ring-closure reaction by a chemical method, (f) a method of adding a functional silane compound and reacting the functional silane compound with polyimide following the method of (b), In the method (a), as a part of the diamine compound,
A method using a silane compound having two amino groups and a hydrolyzable group, (h) heat-treating the polyamic acid having a hydrolyzable silyl group obtained by the method (g) in an organic solvent. And a method of causing a dehydration ring closure reaction by a chemical method or the like. The use ratio of the silane compound having two amino groups and the hydrolyzable group in the method (g) is based on the total diamine compound.
Usually, it is 50 mol% or less, preferably 30 mol% or less. Of the above methods (c) to (h), the methods (d), (v) and (v) are preferable, and particularly the methods (d) and (v)
Is preferred.

【0032】前記(ハ)、(ニ)あるいは(ヘ)の方法
に使用される官能性シラン化合物としては、例えば、3,
4-ジカルボキシフェニルトリメトキシシランの酸無水
物、3,4-ジカルボキシベンジルトリメトキシシランの酸
無水物等のカルボン酸無水物基含有シラン類;メルカプ
トエチルトリメトキシシラン、2-メルカプトエチルトリ
メトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシ
ラン、3-メルカプトプロピルジメトキシメチルシラン等
のメルカプトシラン類;3-アミノプロピルトリメトキシ
シラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アミ
ノプロピルジメトキシメチルシラン、3-アミノプロピル
ジエトキシメチルシラン、3-アミノプロピルジメチルメ
トキシシラン、3-アミノプロピルジメチルエトキシシラ
ン、(2-アミノエチルアミノ)メチルトリメトキシシラ
ン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシ
ラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルジメトキシメ
チルシラン、3-[2-(2-アミノエチルアミノ)エチルアミ
ノ]プロピルトリメトキシシラン、N-(3-トリメトキシシ
リルプロピル)ウレア、N-(3-トリエトキシシリルプロピ
ル)ウレア、2-(2-アミノエチルチオ)エチルトリメトキ
シシラン、2-(2-アミノエチルチオ)エチルトリエトキシ
シラン、2-(2-アミノエチルチオ)エチルジメトキシメチ
ルシラン、2-アミノフェニルトリエトキシシラン、3-ア
ミノフェニルトリメトキシシラン、3-アミノフェニルト
リエトキシシラン、4-アミノフェニルトリメトキシシラ
ン、4-アミノフェニルトリエトキシシラン等のアミノシ
ラン類;ビス(3-トリメトキシシリルプロピル)アミ
ン、ビス(3-トリエトキシシリルプロピル)アミン、3-
シクロヘキシルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-
シクロヘキシルアミノプロピルジメトキシメチルシラ
ン、3-フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-
フェニルアミノプロピルジメトキシメチルシラン、3-ベ
ンジルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-ベンジル
アミノプロピルジメトキシメチルシラン、3-(p-ビニル
ベンジルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-(p-ビ
ニルベンジルアミノ)プロピルジメトキシメチルシラ
ン、3-アリルアミノプロピルトリメトキシシラン、3-ア
リルアミノプロピルジメトキシメチルシラン、3-ピペラ
ジノプロピルトリメトキシシラン、3-ピペラジノプロピ
ルジメトキシメチルシラン等のイミノシラン類;3-グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシ
プロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピル
ジメトキシメチルシラン、3-グリシドキシプロピルジエ
トキシメチルシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)
エチルトリメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘ
キシル)エチルジメトキシメチルシラン等のエポキシシ
ラン類、3-イソシアネートプロピルトリメトキシシラ
ン、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3-
イソシアネートプロピルジメトキシメチルシラン、3-イ
ソシアネートプロピルジエトキシメチルシラン等のイソ
シアネートシラン類等を挙げることができる。これらの
官能性シラン化合物は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。
The functional silane compound used in the above method (c), (d) or (f) includes, for example, 3,3
Carboxylic anhydride group-containing silanes such as acid anhydride of 4-dicarboxyphenyltrimethoxysilane and acid anhydride of 3,4-dicarboxybenzyltrimethoxysilane; mercaptoethyltrimethoxysilane, 2-mercaptoethyltrimethoxy Mercaptosilanes such as silane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyldimethoxymethylsilane; 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyldimethoxymethylsilane, 3-amino Propyldiethoxymethylsilane, 3-aminopropyldimethylmethoxysilane, 3-aminopropyldimethylethoxysilane, (2-aminoethylamino) methyltrimethoxysilane, 3- (2-aminoethylamino) propyltrimethoxysilane, 3- (2-aminoethylamino) Ropirdimethoxymethylsilane, 3- [2- (2-aminoethylamino) ethylamino] propyltrimethoxysilane, N- (3-trimethoxysilylpropyl) urea, N- (3-triethoxysilylpropyl) urea, 2- (2-aminoethylthio) ethyltrimethoxysilane, 2- (2-aminoethylthio) ethyltriethoxysilane, 2- (2-aminoethylthio) ethyldimethoxymethylsilane, 2-aminophenyltriethoxysilane, Aminosilanes such as 3-aminophenyltrimethoxysilane, 3-aminophenyltriethoxysilane, 4-aminophenyltrimethoxysilane, and 4-aminophenyltriethoxysilane; bis (3-trimethoxysilylpropyl) amine, bis (3 -Triethoxysilylpropyl) amine, 3-
Cyclohexylaminopropyltrimethoxysilane, 3-
Cyclohexylaminopropyldimethoxymethylsilane, 3-phenylaminopropyltrimethoxysilane, 3-
Phenylaminopropyldimethoxymethylsilane, 3-benzylaminopropyltrimethoxysilane, 3-benzylaminopropyldimethoxymethylsilane, 3- (p-vinylbenzylamino) propyltrimethoxysilane, 3- (p-vinylbenzylamino) propyldimethoxy Iminosilanes such as methylsilane, 3-allylaminopropyltrimethoxysilane, 3-allylaminopropyldimethoxymethylsilane, 3-piperazinopropyltrimethoxysilane, 3-piperazinopropyldimethoxymethylsilane; 3-glycidoxy Propyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyldimethoxymethylsilane, 3-glycidoxypropyldiethoxymethylsilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl)
Epoxysilanes such as ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyldimethoxymethylsilane, 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-
Examples include isocyanate silanes such as isocyanate propyl dimethoxymethyl silane and 3-isocyanate propyl diethoxymethyl silane. These functional silane compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0033】本発明における特定ポリイミド等の対数粘
度[η](N-メチルピロリドン、30℃、0.5g/dl)は、通
常、0.05〜5dl/g、好ましくは0.1〜3dl/gである。本発
明において、特定ポリイミド等は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。本発明における特
定ポリイミドの配合割合は、前記(A)成分(完全加水分
解縮合物換算)100重量部に対して、通常、5〜1000重量
部、好ましくは10〜800重量部、さらに好ましくは15〜6
00重量部である。
The logarithmic viscosity [η] (N-methylpyrrolidone, 30 ° C., 0.5 g / dl) of the specific polyimide or the like in the present invention is usually 0.05 to 5 dl / g, preferably 0.1 to 3 dl / g. In the present invention, the specific polyimide and the like can be used alone or in combination of two or more. The compounding ratio of the specific polyimide in the present invention is usually 5 to 1000 parts by weight, preferably 10 to 800 parts by weight, more preferably 15 to 100 parts by weight of the component (A) (in terms of completely hydrolyzed condensate). ~ 6
00 parts by weight.

【0034】その他の添加剤 本発明で得られる膜形成用組成物には、さらにコロイド
状シリカ、コロイド状アルミナ、界面活性剤などの成分
を添加してもよい。コロイド状シリカとは、例えば、高
純度の無水ケイ酸を前記親水性有機溶媒に分散した分散
液であり、通常、平均粒径が5〜30mμ、好ましくは
10〜20mμ、固形分濃度が10〜40重量%程度の
ものである。このような、コロイド状シリカとしては、
例えば、日産化学工業(株)製、メタノールシリカゾル
およびイソプロパノールシリカゾル;触媒化成工業
(株)製、オスカルなどが挙げられる。コロイド状アル
ミナとしては、日産化学工業(株)製のアルミナゾル5
20、同100、同200;川研ファインケミカル
(株)製のアルミナクリアーゾル、アルミナゾル10、
同132などが挙げられる。界面活性剤としては、例え
ば、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、カ
チオン系界面活性剤、両性界面活性剤などが挙げられ、
さらには、シリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオ
キシド系界面活性剤、ポリ(メタ)アクリレート系界面
活性剤などを挙げることができる。
Other Additives Components such as colloidal silica, colloidal alumina, and a surfactant may be further added to the film-forming composition obtained in the present invention. The colloidal silica is, for example, a dispersion in which high-purity silicic anhydride is dispersed in the hydrophilic organic solvent, and usually has an average particle size of 5 to 30 mμ, preferably 10 to 20 mμ, and a solid content of 10 to 10 μm. It is about 40% by weight. As such colloidal silica,
Examples thereof include methanol silica sol and isopropanol silica sol manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd .; Examples of the colloidal alumina include alumina sol 5 manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.
20, 100 and 200; alumina clear sol, alumina sol 10, manufactured by Kawaken Fine Chemical Co., Ltd.
132 and the like. Examples of the surfactant include a nonionic surfactant, an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant, and the like.
Furthermore, a silicone-based surfactant, a polyalkylene oxide-based surfactant, a poly (meth) acrylate-based surfactant, and the like can be given.

【0035】本発明の硬化性組成物の全固形分濃度は、
好ましくは、2〜30重量%であり、使用目的に応じて
適宜調整される。組成物の全固形分濃度が2〜30重量
%であると、塗膜の膜厚が適当な範囲となり、保存安定
性もより優れるものである。本発明で使用される硬化性
組成物中の沸点100℃以下のアルコールの含量は、2
0重量%以下、特に5重量%以下であることが好まし
い。沸点100℃以下のアルコールは、化合物(1)お
よび化合物(2)の加水分解および/またはその縮合の
際に生じる場合があり、その含量が20重量%以下、好
ましくは5重量%以下になるように蒸留などにより除去
することが好ましい。さらに本発明では、一般式R18COC
H2COR19 (但し、R18及びR19は、それぞれ(C)成分の金属キレー
ト化合物を表す前記一般式におけるR18及びR19と同義で
あるが、両者のR18及びR19は、それぞれ同一でも異なっ
てもよい。)で表されるβ-ジケトン類及び/又はβ-ケ
トエステル類を含むこともできる。
The total solid content of the curable composition of the present invention is as follows:
Preferably, it is 2 to 30% by weight, which is appropriately adjusted according to the purpose of use. When the total solid content of the composition is 2 to 30% by weight, the thickness of the coating film is in an appropriate range, and the storage stability is more excellent. The content of alcohol having a boiling point of 100 ° C. or less in the curable composition used in the present invention is 2%.
It is preferably 0% by weight or less, particularly preferably 5% by weight or less. The alcohol having a boiling point of 100 ° C. or less may be generated during hydrolysis and / or condensation of the compound (1) and the compound (2), and the content thereof is adjusted to 20% by weight or less, preferably 5% by weight or less. It is preferable to remove by distillation or the like. Furthermore, in the present invention, the general formula R 18 COC
H2COR 19 (where, R 18 and R 19 is the same meaning as R 18 and R 19 in the general formula representing the metal chelate compound of each component (C), both of R 18 and R 19, in each of the same Β-diketones and / or β-ketoesters represented by the following formula:

【0036】本発明においては、前記硬化性組成物およ
びその原料もしくはその一方を機能性濾材を通液させる
ことにより金属を除去できる。硬化性組成物の原料とな
るモノマー類、水、有機溶媒、触媒類などのうち液体状
のものはそのまま、あるいは溶剤で希釈して、また固形
状のものは溶液に溶解して機能性濾材で処理する。重合
体を通液させるときの処理液中の固形分濃度は、通常、
0〜70重量%の範囲が好ましい。機能性櫨材に通液させる
ときの通液速度は、金属の分離効率にほとんど影響はな
く、0.0001〜100kg/(m2・min)の範囲が好ましい。機能
性濾材を通液させるときの温度は、高過ぎると機能性濾
材の溶出、劣化、溶媒の分解などがあるため、処理液に
悪い影響を与え、また、温度が低すぎると、処理液中の
固形分濃度が高くなるため、通液が非常に困難になる。
そのため、温度範囲は0〜80℃、好ましくは10〜50℃が
範囲として適当である。
In the present invention, metals can be removed by passing the curable composition and / or its raw material through a functional filter medium. Among the monomers, water, organic solvents, catalysts, etc., which are the raw materials of the curable composition, liquid ones are used as they are or diluted with a solvent, and solid ones are dissolved in a solution and dissolved in a functional filter medium. To process. The solids concentration in the treatment liquid when passing the polymer is usually
A range from 0 to 70% by weight is preferred. The liquid passing speed when passing through the functional wax material has almost no effect on the metal separation efficiency, and is preferably in the range of 0.0001 to 100 kg / (m 2 · min). If the temperature at which the functional filter medium is passed is too high, the functional filter medium may be eluted, deteriorated, or the solvent may be decomposed, which may adversely affect the processing liquid. Since the solid content concentration of the solution increases, it becomes very difficult to pass the solution.
Therefore, the temperature range is suitably 0 to 80 ° C, preferably 10 to 50 ° C.

【0037】本発明の硬化性組成物が塗布できる基板と
しては、シリコンウエハ、SiO2ウエハ、SiNウエ
ハなどのが挙げられ、スピンコート、浸漬法、ロールコ
ート法、スプレー法などの塗布手段が用いられる。
The substrate on which the curable composition of the present invention can be applied includes a silicon wafer, a SiO 2 wafer, a SiN wafer and the like, and application means such as spin coating, dipping, roll coating, and spraying are used. .

【0038】[0038]

【実施例】本発明をさらに詳細に説明するために、以下
に実施例と比較例を示すが、本発明はこれら実施例と比
較例によって特に限定されるものではない。尚、以下に
記されている割合とパーセントは重量基準である。
EXAMPLES In order to explain the present invention in more detail, examples and comparative examples are shown below, but the present invention is not particularly limited by these examples and comparative examples. The percentages and percentages described below are based on weight.

【0039】実施例1 (1) アルキルアルコキシシランとしてメチルトリメ
トキシシラン(MTMSi)203部(縮合物換算10
0部)と、金属キレート化合物としてジイソプロポキシ
チタンビスエチルアセチルアセテート(DIPTiEA
A、純度78%)0.7部(1.3mmol)と、有機
溶媒としてプロピレングリコールモノプロピルエーテル
(PFG)250部とを混合した後、60℃に加温し
た。イオン交換水40部(メチルトリメトキシシランに
おけるメトキシ基1molに対して0.5molに相
当)とPFG50部との混合物を、スターラーで以て反
応溶液を撹拌しながら、60℃、1時間で添加した。さ
らに、60℃、10時間の条件で反応させた。次いで、
アセチルアセトン(AcAc)27部を添加した後、減
圧下、40℃で、メタノールを含む溶剤145部を除去
することにより、硬化性組成物を得た。 (2)上記(1)で得られた組成物500mlをカチオ
ン電荷調節剤中にイオン交換体として、ジビニルベンゼ
ンで架橋したポリスチレンのスルホン化物からなるカチ
オン交換樹脂を含む機能性濾材、キュノ(株)製ゼータ
プラスSHフィルター(材質:セルロース、ケイソウ土
およびパーライトを含む。カチオン電荷調節剤:ポリア
ミドポリアミンエピクロロヒドリン樹脂。直径47mm、厚
さ3mmの円形状)に20℃で、0.45kg/(m2・min)の流速
で通液させた。処理前のと処理後の硬化性組成物の金属
濃度を原子吸光分析計で測定したところ、機能性濾材で
処理する前が248ppb、鉄が35.5ppb、リチウムが4.2pp
b、カリウムが3.2ppb、カルシウムが25ppb、銅が5.3ppb
およびアルミニウムが4.7ppbであり、処理後の金属濃度
は、ナトリウムが15ppb、鉄が5.5ppb、カリウムが2.2pp
b、カルシウムが3.2ppbおよび銅が2.2ppbであった。
Example 1 (1) 203 parts of methyltrimethoxysilane (MTMSi) as alkylalkoxysilane (condensate conversion: 10 parts)
0 parts) and diisopropoxytitanium bisethylacetyl acetate (DIPTiEA) as a metal chelate compound.
A, 78 parts (purity: 78%), 0.7 parts (1.3 mmol) and 250 parts of propylene glycol monopropyl ether (PFG) as an organic solvent were mixed, and then heated to 60 ° C. A mixture of 40 parts of ion-exchanged water (corresponding to 0.5 mol per 1 mol of methoxy group in methyltrimethoxysilane) and 50 parts of PFG was added at 60 ° C. for 1 hour while stirring the reaction solution with a stirrer. . Further, the reaction was carried out at 60 ° C. for 10 hours. Then
After adding 27 parts of acetylacetone (AcAc), 145 parts of a solvent containing methanol was removed at 40 ° C. under reduced pressure to obtain a curable composition. (2) A functional filter medium containing a cation exchange resin consisting of a sulfonated polystyrene cross-linked with divinylbenzene as an ion exchanger in 500 ml of the composition obtained in the above (1), Cuno Corporation 0.45 kg / (m2) at 20 ° C. on a Zetaplus SH filter (containing materials: cellulose, diatomaceous earth and perlite. Cationic charge regulator: polyamide polyamine epichlorohydrin resin; 47 mm in diameter and 3 mm in thickness) (Min). When the metal concentration of the curable composition before and after the treatment was measured by an atomic absorption spectrometer, 248 ppb before treatment with a functional filter medium, 35.5 ppb of iron, 4.2 pp of lithium
b, potassium 3.2ppb, calcium 25ppb, copper 5.3ppb
And aluminum is 4.7 ppb, and the metal concentration after treatment is 15 ppb for sodium, 5.5 ppb for iron, and 2.2 pp for potassium.
b, calcium was 3.2 ppb and copper was 2.2 ppb.

【0040】実施例2 (1)メチルトリメトキシシランを、 ゼータ電位が作
用しイオン交換体およびキレート成形体を含まないキュ
ノ(株)製ゼータプラスGNフィルター(材質:セルロ
ース、ケイソウ土およびパーライトを含有。カチオン電
荷調節剤:ポリアミドポリアミンエピクロロヒドリン樹
脂、直径47mm、厚さ3mmの円形状)をステンレス製カラ
ム(直径50mm、長さ20cm)に充填したものに20℃で0.
45kg/(m2・min)の流速で通液させた。 (2)上記(1)で処理した(MTMSi)203部
(縮合物換算100部)と、を用いた以外は実施例1
(1)と同様にして硬化性組成物を製造した。得られた
硬化性組成物の金属濃度は、ナトリウムが3ppb、鉄が2.
1ppb、鉄が5.5ppb、カリウムが2.0ppb、カルシウムが1.
9ppbおよび銅が1.5ppbであった。
Example 2 (1) Zeta potential was applied to a methyltrimethoxysilane, and a zeta-plus GN filter manufactured by Kyuno Co., Ltd., which did not contain an ion exchanger or a chelate molded product (material: containing cellulose, diatomaceous earth and perlite) A cationic charge control agent: a polyamide polyamine epichlorohydrin resin, a circle having a diameter of 47 mm and a thickness of 3 mm) packed in a stainless steel column (diameter 50 mm, length 20 cm) at 20 ° C.
The liquid was passed at a flow rate of 45 kg / (m2 · min). (2) Example 1 except that (MTMSi) treated in (1) above was used in an amount of 203 parts (condensate equivalent: 100 parts).
A curable composition was produced in the same manner as in (1). The metal concentration of the obtained curable composition was 3 ppb for sodium and 2.
1 ppb, iron 5.5 ppb, potassium 2.0 ppb, calcium 1.
9 ppb and 1.5 ppb for copper.

【0041】実施例3 (1)テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラ
ン、プロピレングリコールモノメチルエーテルおよびポ
リオキシエチレン−ポリオキシプロピレン−ポリオキシ
エチレンブロックコポリマー〔三洋化成(株)製、ニュ
ーポール62(HO−PEO5 −PPO30−PEO
5 −OH相当)〕、水をそれぞれ別個にカチオン交換
樹脂を含む機能性濾材、キュノ(株)製ゼータプラスS
Hフィルター(材質:セルロース、ケイソウ土およびパ
ーライトを含む。カチオン電荷調節剤:ポリアミドポリ
アミンエピクロロヒドリン樹脂。直径47mm、厚さ3mmの
円形状)に20℃で、0.45kg/(m2・min)の流速で通液さ
せた。 (2)シュウ酸1.0gを水157.7gに溶かした水
溶液を上記(1)とどうようの機能性濾材に20℃で、
0.45kg/(m2・min)の流速で通液させた。 (3)上記(1)で処理した テトラメトキシシシラン
152.0g(完全加水分解縮合物換算:60.0
g)、同メチルトリメトキシシラン284.1g(完全
加水分解縮合物換算:140.0g)、同プロピレング
リコールモノメチルエーテル798.8gの混合溶液
に、上記(2)で処理したシュウ酸水溶液158gを室
温で1時間かけて滴下した。混合物の滴下終了後、さら
に60℃で2時間反応させたのち、減圧下で全溶液量
1,000gとなるまで濃縮し、固形分含有量20%の
ポリシロキサンゾルを得た。 (4) 上記(3)で得たポリシロキサンゾル100g
(固形分20g)に、上記(1)で処理したポリオキシ
エチレン−ポリオキシプロピレン−ポリオキシエチレン
ブロックコポリマー〔三洋化成(株)製、ニューポール
62(HO−PEO5 −PPO30−PEO5 −O
H相当)〕8.6gを添加し硬化性組成物を得た。得ら
れた硬化性組成物の金属濃度は、ナトリウムが4ppb、
鉄が3.3ppb、鉄が5.1ppb、カリウムが1.8ppb、カルシウ
ムが1.8ppbおよび銅が1.2ppbであった。
Example 3 (1) Tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, propylene glycol monomethyl ether and polyoxyethylene-polyoxypropylene-polyoxyethylene block copolymer [Newpole 62 (HO- PEO5-PPO30-PEO
5-OH)], a functional filter medium containing a cation exchange resin separately from water, Zetaplus S manufactured by Cuno Corporation
0.45 kg / (m2 · min) at 20 ° C in H filter (material: including cellulose, diatomaceous earth and perlite. Cationic charge control agent: polyamide polyamine epichlorohydrin resin. Circular shape of 47 mm in diameter and 3 mm in thickness) The solution was passed at a flow rate of (2) An aqueous solution prepared by dissolving 1.0 g of oxalic acid in 157.7 g of water was added to a functional filter medium as described in (1) above at 20 ° C.
The liquid was passed at a flow rate of 0.45 kg / (m2 · min). (3) 152.0 g of tetramethoxysilane treated in the above (1) (in terms of complete hydrolysis condensate: 60.0 g)
g), 284.1 g of the same methyltrimethoxysilane (equivalent to 140.0 g in terms of a completely hydrolyzed condensate) and 798.8 g of the same propylene glycol monomethyl ether, and 158 g of the oxalic acid aqueous solution treated in (2) above at room temperature. For 1 hour. After the addition of the mixture was completed, the mixture was further reacted at 60 ° C. for 2 hours, and then concentrated under reduced pressure until the total solution amount reached 1,000 g, to obtain a polysiloxane sol having a solid content of 20%. (4) 100 g of the polysiloxane sol obtained in (3) above
(Solid content: 20 g), the polyoxyethylene-polyoxypropylene-polyoxyethylene block copolymer treated by the above (1) [Newpole 62 (HO-PEO5-PPO30-PEO5-O, manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.)
8.6 g was added to obtain a curable composition. The resulting curable composition had a metal concentration of 4 ppb sodium,
Iron was 3.3 ppb, iron was 5.1 ppb, potassium was 1.8 ppb, calcium was 1.8 ppb and copper was 1.2 ppb.

【0042】実施例4 (1) 撹拌機、還流冷却器、窒素導入管を備えた容器
内に窒素ガスを流し、N,N−ジメチルホルムアミド7
7.28gを仕込んだのち、9,9−ビス〔4−(4−
アミノフェノキシ)−フェニル〕フルオレン7.99g
(15ミリモル)、2,7−ジアミノ−9,9−ビス
〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレン
0.293g(0.52ミリモル)を添加して十分溶解
した。その後、2,2,3,3−ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物5.36g(18ミリモル)を添加した
のち、室温で5時間撹拌しつつ反応させて、ポリアミッ
ク酸の溶液を得た。次いで、前記ポリアミック酸の溶液
にN,N−ジメチルホルムアミド77.28g、ピリジ
ン8.8mL、無水酢酸6.9mLを添加し、室温で1
時間、100℃で4時間撹拌した。その後、ジエチルエ
ーテル800mLに反応液を添加し、析出した固体をろ
過し、乾燥して、ポリイミド13.50gを得た。 (2)上記(1)で得たポリイミド1.57g、3−メ
トキシプロピオン酸メチル19.09g、γ−ブチロラ
クトン16.57gの混合物を、60℃で1時間反応さ
せたのち、メチルトリメトキシシラン6.36gを添加
した。次いで、反応液を60℃に保持しながら、マレイ
ン酸0.016g、イオン交換水1.26gおよびγ−
ブチロラクトン2.52gの混合液を、6回に分けて1
時間かけて添加したのち、さらに60℃で1時間反応さ
せて、硬化性組成物を得た。 (3)上記(2)で得られた硬化性組成物カチオン交換
樹脂を含む機能性濾材、キュノ(株)製ゼータプラスS
Hフィルター(材質:セルロース、ケイソウ土およびパ
ーライトを含む。カチオン電荷調節剤:ポリアミドポリ
アミンエピクロロヒドリン樹脂。直径47mm、厚さ3mmの
円形状)に20℃で、0.35kg/(m2・min)の流速で通液さ
せた。得られた硬化性組成物の金属濃度は、ナトリウム
が8ppb、鉄が4ppb、鉄が6.5ppb、カリウムが2.8ppb、カ
ルシウムが2.6ppbおよび銅が3.3ppbであった。
Example 4 (1) A nitrogen gas was flowed into a vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube, and N, N-dimethylformamide
After charging 7.28 g, 9,9-bis [4- (4-
Aminophenoxy) -phenyl] fluorene 7.99 g
(15 mmol) and 0.293 g (0.52 mmol) of 2,7-diamino-9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene were added and sufficiently dissolved. Thereafter, 5.36 g (18 mmol) of 2,2,3,3-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was reacted with stirring at room temperature for 5 hours to obtain a polyamic acid solution. Next, 77.28 g of N, N-dimethylformamide, 8.8 mL of pyridine and 6.9 mL of acetic anhydride were added to the solution of the polyamic acid, and the solution was added at room temperature.
And stirred at 100 ° C. for 4 hours. Thereafter, the reaction solution was added to 800 mL of diethyl ether, and the precipitated solid was filtered and dried to obtain 13.50 g of a polyimide. (2) A mixture of 1.57 g of the polyimide obtained in (1) above, 19.09 g of methyl 3-methoxypropionate, and 16.57 g of γ-butyrolactone was reacted at 60 ° C. for 1 hour, and then methyltrimethoxysilane 6 was added. .36 g was added. Next, while maintaining the reaction solution at 60 ° C., 0.016 g of maleic acid, 1.26 g of ion-exchanged water and γ-
The mixed solution of 2.52 g of butyrolactone was divided into 6 portions to give 1
After the addition over time, the mixture was further reacted at 60 ° C. for 1 hour to obtain a curable composition. (3) A functional filter medium containing the cation exchange resin of the curable composition obtained in the above (2), Zetaplus S manufactured by Cuno Corporation
0.35kg / (m2 · min) at 20 ° C in H filter (material: including cellulose, diatomaceous earth and perlite. Cationic charge control agent: polyamide polyamine epichlorohydrin resin. Circular shape of 47mm in diameter and 3mm in thickness) The solution was passed at a flow rate of The metal concentration of the obtained curable composition was 8 ppb for sodium, 4 ppb for iron, 6.5 ppb for iron, 2.8 ppb for potassium, 2.6 ppb for calcium, and 3.3 ppb for copper.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明の硬化性組成物は、アルカリ金
属、重金属の含有濃度が非常に低いため、電子材料用途
に好適に使用することができる。
The curable composition of the present invention has a very low content of alkali metals and heavy metals, and thus can be suitably used for electronic materials.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // C08G 77/34 C08L 101/00 Fターム(参考) 4D017 AA03 BA12 CA13 CA14 CA17 CA20 DA01 DB02 4J002 BG052 BG054 BG072 CD034 CF182 CF192 CG002 CH022 CH024 CJ002 CM043 CP031 CP051 DE056 DE066 DE096 FD314 GQ00 4J035 AA03 BA03 BA06 BA16 CA01N CA022 CA152 EA01 EB04 EB10 LA03 LB20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme coat ゛ (reference) // C08G77 / 34 C08L 101/00 F term (reference) 4D017 AA03 BA12 CA13 CA14 CA17 CA20 DA01 DB02 4J002 BG052 BG054 BG072 CD034 CF182 CF192 CG002 CH022 CH024 CJ002 CM043 CP031 CP051 DE056 DE066 DE096 FD314 GQ00 4J035 AA03 BA03 BA06 BA16 CA01N CA022 CA152 EA01 EB04 EB10 LA03 LB20

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ゼータ電位が作用する濾材により処理さ
れてなり、ナトリウム、リチウム、カリウム、カルシウ
ムおよび銅の含有量の総量が50ppb以下であることを
特徴とする硬化性組成物。
1. A curable composition which has been treated with a filter medium on which zeta potential acts and has a total content of sodium, lithium, potassium, calcium and copper of 50 ppb or less.
【請求項2】 ゼータ電位が作用する濾材が、イオン交
換体およびキレート形成体もしくはいずれか一方ととも
に用いられることを特徴とする請求項1記載の硬化性組
成物。
2. The curable composition according to claim 1, wherein the filter medium on which zeta potential acts is used together with an ion exchanger and / or a chelate former.
【請求項3】 硬化性組成物が(A)(A−1)下記一
般式(1)で表される化合物 R1 aSi(OR24-a ・・・・・(1) (R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示
し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表
す。)および(A−2)下記一般式(2) で表される化
合物 R3 b(R4O)3-bSi−(R7d−Si(OR53-c6 c ・・・・・(2) (R3,R4,R5およびR6は、同一でも異なっていても
よく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同
一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7
酸素原子または−(CH2n−で表される基を示し、n
は1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より
選ばれる少なくとも1種の化合物の加水分解物および縮
合物もしくはいずれか一方ならびに(B)有機溶媒を含
むことを特徴とする請求項1記載の硬化性組成物。
3. The curable composition is (A) (A-1) a compound represented by the following general formula (1): R 1 a Si (OR 2 ) 4-a (1) (R) 1 represents a hydrogen atom, a fluorine atom or a monovalent organic group, R 2 represents a monovalent organic group, a represents an integer of 0 to 2) and (A-2) the following general formula (2) a compound represented by R 3 b (R 4 O) 3-b Si- (R 7) d -Si (OR 5) 3-c R 6 c ····· (2) (R 3, R 4, R 5 and R 6 may be the same or different and each represents a monovalent organic group, b and c may be the same or different, each represents a number of 0 to 2, and R 7 represents an oxygen atom Or a group represented by-(CH 2 ) n- ;
Represents 1 to 6, and d represents 0 or 1. 2. The curable composition according to claim 1, comprising a hydrolyzate and / or a condensate of at least one compound selected from the group consisting of (B) and (B) an organic solvent.
【請求項4】 硬化性組成物がさらに(C)沸点または
分解温度が250〜450℃である化合物を含むことを
特徴とする請求項3記載の硬化性組成物。
4. The curable composition according to claim 3, wherein the curable composition further comprises (C) a compound having a boiling point or a decomposition temperature of 250 to 450 ° C.
【請求項5】 硬化性組成物がさらに(D)沸点または
分解温度が450℃を超える化合物を含むことを特徴と
する請求項3記載の硬化性組成物。
5. The curable composition according to claim 3, wherein the curable composition further comprises (D) a compound having a boiling point or a decomposition temperature exceeding 450 ° C.
【請求項6】 硬化性組成物がさらに(E)界面活性剤
を含むことを特徴とする請求項3記載の硬化性組成物。
6. The curable composition according to claim 3, wherein the curable composition further comprises (E) a surfactant.
【請求項7】 (A)(A−1)下記一般式(1)で表
される化合物 R1 aSi(OR24-a ・・・・・(1) (R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示
し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表
す。)および(A−2)下記一般式(2) で表される化
合物 R3 b(R4O)3-bSi−(R7d−Si(OR53-c6 c ・・・・・(2) (R3,R4,R5およびR6は、同一でも異なっていても
よく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同
一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7
酸素原子または−(CH2n−で表される基を示し、n
は1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より
選ばれる少なくとも1種の化合物の加水分解物および縮
合物もしくはいずれか一方ならびに(B)有機溶媒を含
む硬化性組成物をゼータ電位が作用する濾材で処理する
ことを特徴とする請求項2記載の硬化性組成物の製造方
法。
7. (A) (A-1) a compound represented by the following general formula (1): R 1 a Si (OR 2 ) 4-a (1) (R 1 is a hydrogen atom, A fluorine atom or a monovalent organic group, R 2 represents a monovalent organic group, a represents an integer of 0 to 2) and (A-2) a compound represented by the following general formula (2) R 3 b (R 4 O) 3-b Si- (R 7) d -Si (oR 5) 3-c R 6 c ····· (2) (R 3, R 4, R 5 and R 6 May be the same or different and each represents a monovalent organic group, b and c may be the same or different and each represents a number of 0 to 2, and R 7 represents an oxygen atom or — (CH 2 ) n - represents a group represented by, n
Represents 1 to 6, and d represents 0 or 1. A) treating a curable composition containing at least one of a hydrolyzate and a condensate of at least one compound selected from the group consisting of) and (B) an organic solvent with a filter medium on which zeta potential acts. A method for producing the curable composition according to claim 2.
【請求項8】 (A−1)下記一般式(1)で表される
化合物 R1 aSi(OR24-a ・・・・・(1) (R1は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示
し、R2は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表
す。)および(A−2)下記一般式(2) で表される化
合物 R3 b(4O)3-bSi−(R7d−Si(OR53-c6 c ・・・・・(2) (R3,R4,R5およびR6は、同一でも異なっていても
よく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同
一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7
酸素原子または−(CH2n−で表される基を示し、n
は1〜6を、dは0または1を示す。)からなる群より
選ばれる少なくとも1種の化合物、(B)有機溶媒、
(C)沸点または分解温度が250〜450℃である化
合物、(D)沸点または分解温度が450℃を超える化
合物ならびに(E)界面活性剤の少なくとも1種をゼー
タ電位が作用する濾材で処理することを特徴とする請求
項6記載の硬化性組成物の製造方法。
(A-1) A compound represented by the following general formula (1): R 1 a Si (OR 2 ) 4-a (1) (R 1 is a hydrogen atom, a fluorine atom or A monovalent organic group, R 2 represents a monovalent organic group, a represents an integer of 0 to 2) and (A-2) a compound R 3 b represented by the following general formula (2) (R 4 O) 3-b Si- (R 7) d -Si (oR 5) 3-c R 6 c ····· (2) (R 3, R 4, R 5 and R 6 are the same And each may represent a monovalent organic group, b and c may be the same or different, represent a number of 0 to 2, and R 7 represents an oxygen atom or — (CH 2 ) n − Represents a group represented by the formula:
Represents 1 to 6, and d represents 0 or 1. At least one compound selected from the group consisting of: (B) an organic solvent,
(C) a compound having a boiling point or decomposition temperature of 250 to 450 ° C., (D) a compound having a boiling point or decomposition temperature of more than 450 ° C., and (E) at least one of surfactants are treated with a filter medium on which zeta potential acts. The method for producing a curable composition according to claim 6, wherein:
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