JP2001088067A - オートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、オートハンドラのデバイス搬送に
おける搬送位置ずれを自動的に補正することによって、
位置補正作業の負担を軽減し、位置ずれによるデバイス
搬送ミスを防止できるオートハンドラ、その制御方法、
及び記憶媒体を提供することを目的とする。 【解決手段】 吸着ユニット６の移動方向に沿ってリニ
アスケール１０を設け、リニアスケール１０からセンサ
１１によって吸着ユニット６の停止位置を検出する。予
め設定されている回転数だけモータ１を回転させて、リ
ニアスケール１０からセンサ１１で停止位置を読み取
り、当該停止位置と設定位置とを比較する。ずれが生じ
ている場合は、モータを再度回転させ、設定位置まで移
動させ、この位置でのモータ１の回転数を取得して回転
数を補正し、ＲＡＭ２０ｆに回転数を更新記憶する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オートハンドラ、
その制御方法、及び記憶媒体に関し、特に供給トレーか
らキャリアにデバイスを搬送あるいはキャリアから収容
トレーにデバイスを搬送するときに生ずる移送体の位置
ずれを補正する機能を備えるオートハンドラ、その制御
方法、及び記憶媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ（Integrated Circuit）等の半導体
デバイスの電気的特性を測定するＩＣ試験システムにお
いて、測定対象となるデバイスを搬送するオートハンド
ラが利用されている。

【０００３】次に、オートハンドラにおける従来のデバ
イス搬送機構２００の構成を図３により説明する。図３
に示すように、デバイス搬送機構２００は連結ブロック
５の上部がベルト２に係止し、連結ブロック５の下部に
吸着ユニット６を取り付ける。連結ブロック５は直動ベ
アリング４を内包する。直動ベアリング４とすべり結合
する直動ガイドはベルト２の走行方向と平行に配置され
る。制御装置の駆動制御部（図示省略）によってモータ
１が駆動すると、モータ１の回転軸に巻き掛けされるプ
ーリ３Ａに回転が伝動される。プーリ３Ａ・３Ｂ間に巻
き掛けされるベルト２が走行すると、吸着ユニット６は
前記直動ガイドに案内されて移動する。図３において、
吸着ユニット６はトレー７とキャリア９間を往復し、ト
レー７に載置された複数のデバイス８を逐次、キャリア
９に移載する。デバイス８が満杯となったキャリア９は
測定部に移動し、デバイスの試験後、分類収容され、空
となったキャリア９が元の位置に戻る。このように、キ
ャリア９はオートハンドラ内を循環する。なお、図３に
おいて、吸着ユニット６の移動位置を確実とするため、
ベルトは内歯を形成するタイミングベルトが使用され、
プーリは外歯をもつタイミングプーリが使用される。す
なわち、図３においては、いわゆるベルト伝動より鎖
（チェーン）伝動に等しい。

【０００４】なお、水平搬送式のオートハンドラにおい
ては、デバイス搬送機構２００は供給側及び収容側の２
系統にそれぞれ備えられている。各々の動作はトレー７
からキャリア９へデバイス８を搬送する（供給側）か、
あるいはキャリア９からトレー７へデバイス８を搬送す
る（収容側）かの違いを除けば同じものである。

【０００５】デバイス搬送機構２００の各動作は、制御
装置によって制御されている。制御装置内の記憶装置に
は、デバイス搬送位置マップが記憶されている。デバイ
ス搬送位置マップには、各キャリア９のデバイス８が載
置される位置の原点座標や、その原点座標へ到達するま
でのモータ１の回転数が設定されている。ＣＰＵは、デ
バイス搬送位置マップに予め設定されているデバイス搬
送位置までモータ１を回転させる。

【０００６】しかしながら、従来のデバイス搬送機構２
００は、組み立て初期や経年変化によるベルト２の伸び
等によって、予め設定されている回転数だけモータ１を
回転させたときにも、実際のデバイスの搬送位置にずれ
が生じることがある。

【０００７】デバイス８の搬送位置にずれが生じた場合
には、デバイス８をキャリア９に移すとき、または、キ
ャリア９からトレー７に移すときに、正常な位置にデバ
イスが載置できなくなり、挿入ミスによってデバイス８
を破損させることがある。そこで、従来は操作者が定期
的に搬送動作における吸着ユニット６の停止位置を補正
し、搬送位置のずれを補正していた。

【０００８】従来のデバイス搬送機構２００の位置補正
では、供給キャリア、または収容キャリア上に、位置補
正用の治具をセットし、また、吸着ユニット６の停止位
置をマニュアル操作できるような位置補正画面を制御装
置の表示部に表示させ、表示されている位置補正画面に
おいて「→」、「←」、「↑」、「↓」等のカーソル移
動キーを操作することにより、吸着ユニット６の吸着部
を治具の位置補正用穴の中心部に入るように縦方向、横
方向の位置を調整し、基準点からこの調整後の位置まで
の移動量を補正後の目的移動量として装置設定のパラメ
ータに追加記憶し、以降は、この追加記憶された目的移
動量に基づいて、デバイス搬送機構２００を駆動制御す
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来は
人手を介して位置を補正しており、また定期的に位置を
補正することが必要であり、操作者の労力の負担が大き
かった。

【００１０】本発明は、オートハンドラのデバイス搬送
における搬送位置ずれを自動的に補正することによっ
て、位置補正作業の負担を軽減し、位置ずれによるデバ
イス搬送ミスを防止できるオートハンドラ、その制御方
法、及び記憶媒体を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような特徴を備えている。な
お、次に示す手段の説明中、括弧書きにより実施の形態
に対応する構成を１例として例示する。

【００１２】請求項１記載の発明は、所定の設定位置へ
デバイスを搬送する搬送手段（例えば、図１に示すデバ
イス搬送機構１００）を備えるオートハンドラであっ
て、前記搬送手段による搬送体（例えば、図１に示す連
結ブロック５）の停止位置を計測する計測手段（例え
ば、図１に示すセンサ１１、リニアスケール１０）と、
前記計測手段によって計測された停止位置と前記設定位
置とのずれを補正する補正手段（例えば、図２に示すＣ
ＰＵ２０ａ）と、を備えることを特徴としている。

【００１３】この請求項１記載の発明のオートハンドラ
は、所定の設定位置へデバイスを搬送する搬送手段を備
え、計測手段によって前記搬送手段による搬送体の停止
位置を計測し、補正手段によって、計測された停止位置
と前記設定位置とのずれを補正する。

【００１４】請求項４記載の発明は、所定の設定位置へ
デバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラの
制御方法であって、前記搬送手段による搬送体の停止位
置を計測する計測工程と、計測された停止位置と前記設
定位置とのずれを補正する補正工程と、を含むことを特
徴としている。

【００１５】請求項４記載の発明のオートハンドラの制
御方法は、所定の設定位置へデバイスを搬送する搬送手
段を備えるオートハンドラの制御方法であって、前記搬
送手段による搬送体の停止位置を計測する計測工程と、
計測された停止位置と前記設定位置とのずれを補正する
補正工程とを含む。

【００１６】請求項５記載の発明は、所定の設定位置へ
デバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラを
制御するプログラムを格納した記憶媒体であって、前記
搬送手段による搬送体の停止位置を計測するプログラム
コードと、計測された停止位置と前記設定位置からのず
れを補正するプログラムコードと、を含むプログラムを
格納することを特徴としている。

【００１７】請求項５記載の発明の記憶媒体は、所定の
設定位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオート
ハンドラを制御するためのプログラムを格納した記憶媒
体であって、前記搬送手段による搬送体の停止位置を計
測するプログラムコードと、計測された停止位置と前記
設定位置とのずれを補正するプログラムコードとを含
む。

【００１８】したがって、請求項１、４、及び５記載の
発明によれば、デバイスの搬送動作における停止位置の
ずれが自動的に補正されるので操作者の作業負担が無く
なり、また、停止位置のずれによるデバイスの搬送ミス
を防止できる。また、補正時期を意識する必要がなくな
り、保守点検や管理が容易となる。

【００１９】また請求項２記載の発明は、請求項１記載
の発明のオートハンドラにおいて、前記搬送手段は搬送
体の搬送方向に沿ってスケールを備え、前記計測手段は
前記スケールから前記停止位置を検出することを特徴と
している。

【００２０】この請求項２記載の発明のオートハンドラ
によれば、搬送手段は、その搬送方向に沿ってスケール
を備えており、前記計測手段は、前記スケールから前記
停止位置を検出する。

【００２１】したがって、搬送動作における任意の停止
位置を計測できる。

【００２２】また請求項３記載の発明は、請求項１記載
の発明のオートハンドラにおいて、前記設定位置と前記
設定位置まで前記搬送体を搬送するモータの回転数とを
対応付けて記憶する記憶手段（例えば、図２に示すＲＡ
Ｍ２０ｆ）と、前記記憶手段に記憶されている設定位置
と前記計測手段によって計測された停止位置とが一致す
るか否かを判断する判断手段（例えば、図２に示すＣＰ
Ｕ２０ａ）とを備え、前記補正手段は、前記判断手段に
よって前記設定位置と前記停止位置とが一致しないと判
断された場合に、前記モータの回転数を補正し、補正し
たモータの回転数により前記記憶手段に記憶されたモー
タの回転数を更新することを特徴としている。

【００２３】この請求項３記載の発明のオートハンドラ
によれば、前記設定位置と前記設定位置まで前記搬送体
を搬送するモータの回転数とを対応付けて記憶手段に記
憶し、判断手段によって、前記記憶手段に記憶されてい
る設定位置と前記計測手段によって計測された停止位置
とが一致するか否かを判断し、前記補正手段は、前記判
断手段によって前記設定位置と前記停止位置とが一致し
ないと判断された場合に、前記モータの回転数を補正
し、補正したモータの回転数により前記記憶手段に記憶
されたモータの回転数を更新する。

【００２４】したがって、補正後はモータの回転数を更
新記憶するので、次回の搬送動作の停止位置が保証さ
れ、停止位置の精度を確保できる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図１と図２を参照して本発
明に係るオートハンドラの実施の形態を詳細に説明す
る。図１は本発明に係るオートハンドラのデバイス搬送
機構１００の構成を示す図であり、図２は、本発明に係
るオートハンドラの各部を制御する制御装置２０の構成
を示す機能ブロック図である。

【００２６】まず、構成を説明する。図１に示すよう
に、本実施の形態のオートハンドラのデバイス搬送機構
１００は、従来のデバイス搬送機構２００（図３参照）
と同様に、モータ１、ベルト２、プーリ３Ａ，３Ｂ、直
動ベアリング４、連結ブロック５、及び吸着ユニット
６、を備える他に、デバイス搬送機構１００によるデバ
イスの搬送位置を計測するリニアスケール１０及びセン
サ１１が備えられている。

【００２７】なお、図１のデバイス搬送機構１００は、
縦方向あるいは横方向のいずれかの一方向にデバイス８
を搬送する機構を例示しているが、デバイス搬送機構１
００を組み合わせ、吸着ユニット６をＸＹ方向に移動す
ることもできる。

【００２８】デバイス８の搬送方向、すなわち、直動ガ
イドに沿って、リニアスケール１０は固定されており、
吸着ユニット６の移動可能な範囲に、移動位置が計測で
きるようにリニアスケール１０には所定の刻み幅で位置
目盛が設けられている。

【００２９】センサ１１は、吸着ユニット６の備えられ
た連結ブロック５に一体的に設けられており、吸着ユニ
ット６の停止位置において、リニアスケール１０から停
止位置を読み取り、制御装置２０のＩ／Ｆ部２０ｈを介
してＣＰＵ２０ａに出力する。また、このとき、吸着ユ
ニット６の基準位置から停止位置までのモータ１の回転
量がエンコーダ１ａによってモータの回転数に変換され
て、Ｉ／Ｆ部２０ｈを介してＣＰＵ２０ａに出力され
る。

【００３０】制御装置２０の駆動制御部２０ｂによっ
て、モータ１の駆動が制御される。また、モータ１は、
モータ１の回転量からパルス数を生成するエンコーダ１
ａを備え、生成したパルス数がＩ／Ｆ部２０ｈを介して
ＣＰＵ２０ａに入力されて、デバイス搬送機構１００に
おける吸着ユニット６の移動量が計算される。

【００３１】ベルト２は、例えばタイミングベルトであ
り、モータ１の回転に連動するプーリ３Ａと従動するプ
ーリ３Ｂとに巻掛され、モータ１の回転運動を直線運動
に変換し、すべりのない確実な伝動を確保する。ベルト
２には、連結ブロック５を介して吸着ユニット６が備え
られており、直動ガイドに沿った連結ブロック５の往復
運動を直動ベアリング４によって支えている。ベルト２
の伝動によって、吸着ユニット６を移動させる。

【００３２】次に、オートハンドラの制御装置２０につ
いて図２を参照して説明する。図２に示すように、制御
装置２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０
ａ、駆動制御部２０ｂ、入力部２０ｃ、表示部２０ｄ、
ＲＯＭ（Read Only Memory）２０ｅ、ＲＡＭ（Random A
ccess Memory）２０ｆ、記憶装置２０ｇ、及びＩ／Ｆ
（InterFace）部２０ｈにより構成されており、この制
御装置２０によってデバイス搬送機構１００のモータ
１、エンコーダ１ａ、センサ１１が制御される。

【００３３】ＣＰＵ２０ａは、ＲＯＭ２０ｅあるいは記
憶装置２０ｇ内に格納されているシステムプログラム及
び当該システムに対応する各種アプリケーションプログ
ラムの中から指定されたアプリケーションプログラムを
ＲＡＭ２０ｆ内の図示しないプログラム格納領域に展開
し、入力部２０ｃから入力される各種指示あるいはデー
タをＲＡＭ２０ｆ内に一時的に格納し、入力指示及び入
力データに応じてＲＯＭ２０ｅあるいは記憶装置２０ｇ
内に格納されたアプリケーションプログラムに従って各
種処理を実行し、その処理結果をＲＡＭ２０ｆ内に格納
するとともに、表示部２０ｄに表示する。そして、ＲＡ
Ｍ２０ｆに格納した処理結果を入力部２０ｃから入力指
示される記憶装置２０ｇ内の保存先に保存する。

【００３４】また、ＣＰＵ２０ａは、デバイス搬送機構
１００を制御して、所定の設定位置までデバイス８を搬
送する際は、その設定位置に対応するモータ回転数をＲ
ＡＭ２０ｆから読み出して、このモータ回転数に応じて
モータ１を駆動制御する。モータ回転数だけモータ１を
回転させ、停止すると、その停止位置をリニアスケール
１０からセンサ１１によって読み取り、計測された停止
位置と前記設定位置とが一致するか否かを判断する。計
測された停止位置と前記設定位置とがずれている場合
は、再度モータ１を回転させ、前記設定位置まで搬送さ
せ、設定位置まで搬送した際のモータ回転数を取得し
て、この取得したモータ回転数から、記憶されているモ
ータ回転数を補正し、補正後のモータ回転数をＲＡＭ２
０ｆに更新記憶する。

【００３５】駆動制御部２０ｂは、ＣＰＵ２０ａから入
力される各種指示信号に応じて、デバイス搬送機構１０
０におけるモータ１を駆動制御する駆動制御信号を生成
して、モータ１を駆動制御する。

【００３６】入力部２０ｃは、カーソル移動キー、数字
入力キー及び各種機能キー等を備えたキーボード及びマ
ウス、及びタッチパネルを含み、押下されたキーの押下
信号やマウスの位置信号をＣＰＵ２０ａに出力する。

【００３７】表示部２０ｄは、ＣＲＴ（Cathode Ray Tu
be）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等により構成
され、ＣＰＵ２０ａから入力されるデータを表示する。

【００３８】ＲＯＭ２０ｅには、オートハンドラの制御
装置２０に対応する基本プログラムや、デバイス搬送位
置マップなどのオートハンドラに対応する各種パラメー
タが予め記憶されている。デバイス搬送位置マップに
は、トレー７上或いはキャリア９上の各デバイス８の搬
送位置情報が設定されている。

【００３９】ＲＡＭ２０ｆは、ＣＰＵ２０ａが上記各種
アプリケーションプログラムを実行する際に各種データ
を展開するプログラム格納領域を形成するとともに、所
定の設定位置までデバイス８を搬送するためのモータ回
転数がその設定位置に対応付けて記憶される。また、セ
ンサ１１によってデバイス搬送位置のずれが検出された
際には、前記設定位置まで搬送するための、ＣＰＵ２０
ａによって補正された新たなモータ回転数が更新記憶さ
れる。

【００４０】記憶装置２０ｇは、プログラムやデータ等
が予め記憶されており、磁気的、光学的記録媒体、若し
くは半導体メモリで構成されている。記憶装置２０ｇ
は、制御装置２０に固定的に設けたもの、若しくは着脱
自在に装着するものであり、この記憶装置２０ｇには上
記システムプログラム、各種アプリケーションプログラ
ム、及び各処理プログラムで処理されたデータ等を記憶
する。

【００４１】Ｉ／Ｆ２０ｈは、センサ１１によって読み
取った、デバイス搬送機構１００の各デバイス８の搬送
位置におけるリニアスケール１０による位置情報をＣＰ
Ｕ２０ａに伝達し、また、モータ１に備えられたエンコ
ーダ１ａから入力される、モータ１の回転量に対応した
モータ回転数（パルス数）をＣＰＵ２０ａに伝達する。

【００４２】次に動作を説明する。搬送動作における各
部の停止位置（設定位置）の初期設定がなされ、設定位
置に停止させるためのモータ１の回転数が設定位置と対
応付けられて、ＲＡＭ２０ｆに記憶されているものとす
る。

【００４３】ここでは搬送動作の一例として、供給側の
デバイス搬送機構１００の吸着ユニット６が、トレー７
上のデバイス８を吸着して保持した状態で搬送し、キャ
リア９へ移載する例を説明する。

【００４４】吸着ユニット６がデバイス８をトレー７か
ら吸着した状態において、ＣＰＵ２０ａは、デバイス８
の搬送先の設定位置、及びその設定位置に対応するモー
タ回転数をＲＡＭ２０ｆから読み出して、モータ回転数
を駆動制御部２０ｂに出力する。駆動制御部２０ｂで
は、入力されたモータ回転数だけモータ１を回転させ、
その後停止させる。吸着ユニット６はモータ回転数に応
じた距離だけ移動された状態となる。

【００４５】ここで、連結ブロック５に設けられている
センサ１１によって、リニアスケール１０から停止位置
を計測し、この停止位置情報をＩ／Ｆ部２０ｈを介して
ＣＰＵ２０ａへ出力する。ＣＰＵ２０ａでは、この停止
位置情報と、前記設定位置とを比較して、ずれが生じて
いるか否かを判断する。

【００４６】停止位置情報と設定位置とが一致しない場
合は、ＣＰＵ２０ａは、位置補正動作を開始する。

【００４７】位置補正動作では、ＣＰＵ２０ａは、モー
タ１を再度回転させ、正しい設定位置まで搬送させ、セ
ンサ１１によって設定位置を検出すると、この位置でモ
ータ１の回転を停止させる。そして、当該停止位置にお
けるモータ１の回転数をＩ／Ｆ部２０ｈを介してＣＰＵ
２０ａへ出力する。ＣＰＵ２０ａは、この位置補正動作
によるモータ１の回転によって、設定位置で停止させる
ための正しいモータ回転数を取得し、取得したモータ回
転数をＲＡＭ２０ｆに記憶されているモータ回転数に代
えて更新記憶する。その後、通常どおりのデバイス搬送
動作を再開する。

【００４８】次回の前記設定位置までのデバイス搬送動
作では、ＲＡＭ２０ｆに更新記憶されたモータ回転数に
したがって、モータ１を回転させ、センサ１１によって
リニアスケール１０から読み取った停止位置が、設定位
置と比較して異なる位置でなければ、位置補正の必要が
なく通常のデバイス搬送動作を続行し、位置にずれが生
じていれば、再度、上述の位置補正動作を実行して、デ
バイス搬送位置までのモータ回転数を補正する。

【００４９】この位置補正動作は、所定の設定位置に吸
着ユニット６を搬送する時、例えば、トレー７上のデバ
イス位置で停止させる時、あるいは吸着したデバイス８
をキャリア９上に搬送し、キャリア９の所定の載置位置
で停止させる時等に行われる。またデバイス８の収容側
のデバイス搬送機構でも同様の動作を実行する。

【００５０】以上説明したように、本実施の形態のオー
トハンドラのデバイス搬送機構１００は、直動ガイド
（デバイス搬送機構１００の搬送方向）に沿ってリニア
スケール１０を設け、リニアスケール１０からセンサ１
１によって停止位置を検出する。搬送動作では、予め設
定されているモータ回転数だけモータ１を回転させて、
センサ１１によってリニアスケール１０から吸着ユニッ
ト６の停止した位置を読み取り、当該停止位置と設定位
置とを比較する。前記停止位置と前記設定位置とにずれ
が生じている場合は、位置補正動作を開始し、モータ１
を再度回転させ、設定位置まで移動させ、この位置での
モータ１の回転数を取得して補正し、ＲＡＭ２０ｆに更
新記憶する。

【００５１】したがって、本実施の形態のオートハンド
ラのデバイス搬送機構１００は、自動的に停止位置を補
正するので操作者の作業負担が軽減される。また、定期
的に位置を補正するなど、補正する時期を意識しなくて
もよくなり、保守点検、管理が容易となる。さらに、デ
バイス８の搬送位置が設定位置とずれており、補正する
必要がある場合でも、デバイス８の載置前に停止位置を
補正して、その後、正常な位置にデバイス８を載置する
ので、位置がずれた状態のままデバイス８を載置すると
いうデバイスの搬送ミスがなくなり、デバイス８の破損
を無くすことができる。

【００５２】また補正後のモータ回転数は、補正される
都度、ＲＡＭ２０ｆに更新記憶されるので、搬送体の停
止位置を精度良く保持できる。

【００５３】またリニアスケール１０は、デバイス搬送
機構１００の搬送方向に沿って吸着ユニット６の移動範
囲に設置されるので、任意の停止位置でその位置を計測
することができる。すなわち、ベルト２の経年変化等の
原因によって生ずる微細なずれも検出できる。

【００５４】なお、本実施の形態では、ベルト駆動のデ
バイス搬送機構を例示したが、これに限ることはなく、
例えば、ボールねじによる移動機構や、その他の駆動機
であってもよい。また、その他の詳細な部分についても
本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

【００５５】

【発明の効果】請求項１、４、及び５記載の発明によれ
ば、デバイスの搬送動作における停止位置のずれが自動
的に補正されるので操作者の作業負担が軽減され、ま
た、停止位置のずれによるデバイスの破損を無くすこと
ができる。また、位置補正作業の時期を意識する必要が
なくなり、保守点検や管理が容易となる。

【００５６】請求項２記載の発明によれば、搬送動作に
おける任意の停止位置を精密に計測できる。

【００５７】請求項３記載の発明によれば、補正後のモ
ータ回転数を更新記憶することによって、次回の搬送動
作の停止位置が保証され、半永続的に停止位置の精度を
保持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のオートハンドラのデバイス搬送機構１
００の構成を示す図である。

【図２】オートハンドラの制御装置２０の構成を示すブ
ロック図である。

【図３】従来のオートハンドラのデバイス搬送機構２０
０の構成を示す図である。

【符号の説明】

１００ デバイス搬送機構 １ モータ ２ ベルト ３Ａ，３Ｂ プーリ ４ 直動ベアリング ５ 連結ブロック ６ 吸着ユニット ７ トレー ８ デバイス ９ キャリア １０ リニアスケール １１ センサ ２０ 制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AG11 AG16 AH01 3F059 AA01 AA11 AA14 BA09 DA08 DC08 DD01 DE01 FA08 FB16 FC15 4M106 AA04 BA20 DG02 DG08 DG16 DG20 DG21 DJ18 DJ21 DJ23 DJ24

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の設定位置へデバイスを搬送する搬送
   手段を備えるオートハンドラであって、 前記搬送手段による搬送体の停止位置を計測する計測手
   段と、 前記計測手段によって計測された停止位置と前記設定位
   置とのずれを補正する補正手段と、 を備えることを特徴とするオートハンドラ。
2. 【請求項２】前記搬送手段は搬送体の搬送方向に沿って
   スケールを備え、 前記計測手段は前記スケールから前記停止位置を検出す
   ることを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
3. 【請求項３】前記設定位置と前記設定位置まで前記搬送
   体を搬送するモータの回転数とを対応付けて記憶する記
   憶手段と、 前記記憶手段に記憶されている設定位置と前記計測手段
   によって計測された停止位置とが一致するか否かを判断
   する判断手段とを備え、 前記補正手段は、前記判断手段によって前記設定位置と
   前記停止位置とが一致しないと判断された場合に、前記
   モータの回転数を補正し、補正したモータの回転数によ
   り前記記憶手段に記憶されたモータの回転数を更新する
   ことを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
4. 【請求項４】所定の設定位置へデバイスを搬送する搬送
   手段を備えるオートハンドラの制御方法であって、 前記搬送手段による搬送体の停止位置を計測する計測工
   程と、 計測された停止位置と前記設定位置とのずれを補正する
   補正工程と、 を含むことを特徴とするオートハンドラの制御方法。
5. 【請求項５】所定の設定位置へデバイスを搬送する搬送
   手段を備えるオートハンドラを制御するプログラムを格
   納した記憶媒体であって、 前記搬送手段による搬送体の停止位置を計測するプログ
   ラムコードと、 計測された停止位置と前記設定位置とのずれを補正する
   プログラムコードと、 を含むプログラムを格納することを特徴とする記憶媒
   体。