JP2001081593A - メッキ用マスク材及びメッキ方法 - Google Patents

メッキ用マスク材及びメッキ方法

Info

Publication number
JP2001081593A
JP2001081593A JP25699199A JP25699199A JP2001081593A JP 2001081593 A JP2001081593 A JP 2001081593A JP 25699199 A JP25699199 A JP 25699199A JP 25699199 A JP25699199 A JP 25699199A JP 2001081593 A JP2001081593 A JP 2001081593A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
plated
materials
mask
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP25699199A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisashi Tsuge
久司 柘植
Hiroshi Yanagida
浩 柳田
Atsushi Tatsuta
淳 立田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP25699199A priority Critical patent/JP2001081593A/ja
Publication of JP2001081593A publication Critical patent/JP2001081593A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被メッキ材のメッキが必要な部分のみに、選
択的にメッキをすることができるメッキ用マスク材及
び、被メッキ材の各部分のメッキの厚さを、夫々所望の
厚さにすることができるメッキ方法を提供する。 【解決手段】 被メッキ材3を入れる投入口が上方に形
成され、下方に被メッキ材の一部が露出する露出口が形
成された、被メッキ材3を上下方向に複数個重ねて保持
できるメッキ用治具4を備え、最上部にある被メッキ材
3に陰極電極5を接触させ複数の被メッキ材3に通電
し、被メッキ材3の表面にメッキを施すメッキ装置に取
り付けられる被メッキ材3の表面の、メッキが不要な部
分を覆うメッキ用マスク材1、2において、被メッキ材
3とマスク材1、2との間に、略平板状の柔軟な材料1
b、2bを固着させる。また、被メッキ材3の表面の、
メッキをさらに付着させたくない部分を、メッキ用マス
ク材1、2で覆って、さらにメッキを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被メッキ材のメッ
キが必要な部分のみに、選択的にメッキをすることがで
きるメッキ用マスク材及び、被メッキ材の各部分のメッ
キの厚さを、夫々所望の厚さにすることができるメッキ
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】本願の発明者らは、被メッキ材を治具
(メッキ用治具)に装着する作業及び、治具からの取り
外し作業の能率を飛躍的に向上させる発明「被メッキ材
の治具への装脱方法、メッキ治具、電解メッキ方法及び
その装置(特開平11−209897号)」を提案して
いる。
【0003】特開平11−209897号に記載された
発明について、図3又は図4に基づいて説明する。図3
は、被メッキ材を内部に保持するメッキ用治具の構成を
示す図であり、(a)は上面図で、(b)、(c)は夫
々、A方向側面、B方向側面図である。図4は、該治具
の斜視図である。
【0004】図3及び図4に示すメッキ用治具4は、略
箱状のPVC(ポリ塩化ビニール)の樹脂成形品であっ
て、上下面に開口を備え、一方の両側壁4Bには、上下
方向に長い長孔4Baが複数個穿設されている。
【0005】また、他方の両側壁4Cにも、上下方向に
長い長孔4Caが穿設されている。従って、メッキ用治
具4を電解メッキ液中に浸漬させると、電解メッキ液が
メッキ用治具4の内部に入りやすくなり、内部に装着さ
れた被メッキ材3を速やかに電解メッキ液中に浸漬する
ことができる。
【0006】両側壁4Bの内部の隣接する長孔4Ba間
には、上下方向に渡って溝4Bdが形成されている。溝
4Bdの下端は底壁で閉塞され下方には開口していない
が、溝4Bdの上端は上方に開口するように構成されて
おり、メッキ用治具4の内部で、一方の側壁4Bに形成
された溝4Bdが、他方の側壁4Bに形成された溝4B
dと対向し、対を為すように構成されている。
【0007】溝4Bdは、被メッキ材3をメッキ用治具
4の内部に収納するとき、若しくは取り出すときに、ガ
イド及び装着時の保持するための手段となるもので、被
メッキ材3の両端部を、対向する溝4Bdの上端部の開
口から挿入して、スライドさせながらメッキ用治具4内
部に落とし込むことにより、溝4Bdの下端閉塞部に被
メッキ材3の側端下部が当接して安定し、メッキ用治具
4に装着することができる。
【0008】また、装着された被メッキ材3をメッキ用
治具4から取り外すときには、被メッキ材3を溝4Bd
に沿ってスライドさせながら上方に引き上げれば、容易
に取り外すことができる。
【0009】溝4Bdの底面には、両側壁4Bの外側に
貫通する小孔4Beが等間隔に形成されており、溝4B
d内部にも小孔4Beを介して、十分に電解メッキ液が
回り込むように構成されている。
【0010】また、メッキ用治具4の両端壁4Cの上部
には、メッキ用治具4の上面の開口位置より上方に延設
された延設片4Cbを備え、その延設片4Cbの上部の
外側の壁面から、該壁面に対して直交する方向に、略直
方体の吊り下げ片4Aを突設してあり、吊り下げ片4A
でメッキ用治具4を、図5に示すメッキ槽7に吊り下げ
るようになっている。
【0011】図3(c)に示すように、該延設片4Cb
の側端には、図4に示す陰極電極5の導電性支持棒6が
当接する、斜め下向きの切欠形状の挿通孔4Dが形成さ
れている。
【0012】また、図4に示すように、陰極電極5は、
略くの字状に折り曲げられた板ばねからなり、陰極電極
5の上端と導電性支持棒6とは溶着等により接合されて
いる。導電性支持棒6は、金属性の棒体からなり、メッ
キ用治具4の被メッキ材3の装着位置に対応する所定の
間隔で、複数の陰極電極5が固定されている。そして、
電解メッキを行うときに、陰極電極5の下端は、被メッ
キ材3の上端部に接触して電気的に接続される。
【0013】次に、該発明に係るメッキ装置について、
図5及び図6に基づいて説明する。図5は、該発明に係
るメッキ槽の構成を示す図、図6は、該発明に係るメッ
キ装置の構成を示す図である。
【0014】電解メッキに用いるメッキ槽7は、電解メ
ッキ液を注入したり、排出するためのポンプ(図示せ
ず)に一端が接続された、管体8及び9が底部に配設さ
れている。また、管体8及び9の他端には、流入口8a
及び排出口9aを備えている。さらに、メッキ槽7の周
縁部のフランジ7aには、メッキ用治具4の吊り下げ片
4Aを挟み込んで、メッキ用治具4を吊り下げ支持する
支持部10が設けられている。
【0015】そして、図6に示すように、電源装置11
からの陽極電源線12を、メッキ槽7内部に設けた陽極
電極14に対してクリップ13で接続し、陰極電源線1
5をクリップ(図示せず)により導電性支持棒6に接続
することにより、メッキ用治具4に取付けを終了した
後、メッキ槽7に電解メッキ液を入れて電源装置11を
オンすれば電解メッキが行うことができる。
【0016】次に、該発明に係る治具を用いて、実際に
メッキを行う場合に用いる、電解メッキ工程について説
明する。ここでは一例として、被メッキ材3に対して電
解ニッケルメッキを行う場合について説明する。
【0017】まず、メッキ用治具4ごと被メッキ材3を
純水によって水洗した後に、メッキ用治具4ごと被メッ
キ材3の酸洗浄を行う。次に、硫酸銅液に浸漬して硫酸
銅メッキを行った後、水洗を行って、更に純水による水
洗を行う。
【0018】この工程の終了後、メッキ用治具4より被
メッキ材3を取り外して、メッキ膜の厚さ測定を行った
後、再びメッキ用治具4に装着し酸性脱脂を行って、更
に水洗を行う。この水洗工程後、ソフトエッチング工
程、水洗工程、純水水洗工程、酸洗浄工程を経て、電解
銅メッキ工程の各工程を順次行う。
【0019】この電解銅メッキ工程の終了後、水洗、純
水洗浄、酸洗浄の各工程を経て、電解ニッケルメッキ工
程を行い、さらにメッキ終了後水洗工程を経て、電解金
メッキを行う。このメッキ工程後、純水洗浄した後、メ
ッキ用治具4から被メッキ材3を外し、湯洗、窒素乾燥
の各工程を経て、被メッキ材3にニッケルメッキをする
ことができる。
【0020】以上のようにして、該発明では、被メッキ
材3の装着及び取り外しが極めて簡単に行なえ、作業効
率の向上が図れるため、メッキ工程の生産性を高めるこ
とが可能であるとされる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な構成では、メッキが不必要な部分にもメッキがされる
ので、メッキ材料費が嵩むと共に、メッキ終了後に切断
を行う場合、切断部位にもメッキが施されてしまい、切
断カッタへの負荷が増加して寿命が短くなり、製造コス
トが嵩むという問題点があった。
【0022】また、被メッキ材3の各部分のメッキの厚
さを、夫々所望の厚さにするためには、被メッキ材3の
表面を所定の厚さに一様にメッキをした後、グラインダ
ーなどの研削機による研削加工又は、レーザー加工機な
どによる除去加工によって、各部分毎に所望の厚さにな
るように加工しており、加工時間と加工によって除去さ
れたメッキ材のが無駄になるという問題点があった。
【0023】さらに、被メッキ材に金メッキを施し、そ
の上に半田付けをしなければならない場合、半田付けを
した部分に、金−スズ合金ができてメッキ膜が脆化する
ので、被メッキ材の全ての表面の金メッキの厚さを、半
田付けをする部分に合わせて、0.6μm以下に押えな
ければならず、0.6μm以上の金メッキができないと
いう問題点があった。
【0024】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであり、その目的とするところは、所望の部分以外
にメッキが付着するのを著しく減少させるメッキ用マス
ク材及び、被メッキ材の各部分のメッキ厚を、所望の厚
さに制御できるメッキ方法を提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明にあ
っては、被メッキ材を入れる投入口が上方に形成され、
下方に被メッキ材の一部が露出する露出口が形成され
た、前記被メッキ材を上下方向に複数個重ねて保持でき
るメッキ治具を備え、最上部にある前記被メッキ材に電
極を接触させ複数の前記被メッキ材に通電し、前記被メ
ッキ材の表面にメッキを施すメッキ装置に取り付けられ
る被メッキ材の表面の、メッキが不要な部分を覆うメッ
キ用マスク材において、前記被メッキ材と前記マスク材
との間に、略平板状の柔軟な材料を固着させる。
【0026】請求項2記載の発明にあっては、前記被メ
ッキ材の表面の、メッキをさらに付着させたくない部分
を、前記メッキ用マスク材で覆って、さらにメッキを行
う。
【0027】
【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]以下、本発
明に係る第1の実施の形態について、図1、図2に基づ
き詳細に説明する。図1は、本発明に係るメッキ用マス
ク材の一実施形態を示す図であり、(a)、(b)はマ
スク体1、2の正面図、(c)、(d)は夫々マスク体
1、2の側面図である。図2は、本発明に係る一実施の
形態のメッキ用マスク材の使用形態を示す図である。
【0028】図2に示す被メッキ材3は、破線で両側が
囲まれた部分3aがメッキ加工後、破線に沿って切断さ
れることにより、個々の部品として切り離されるもの
で、破線の部分(切断箇所)にメッキがされると、切断
時にカッタに大きな負担をかけるため、上記3aにはメ
ッキをしないことが望ましい。
【0029】そこで、略板状のPVC、PP(ポリプロ
ピレン)等の樹脂成形品から為り、上記の部分3aの位
置に対応して開口部1a形成されたマスク体1及び、開
口部なしのマスク体2を夫々被メッキ材3の両側面に当
接させることにより、上下端面及び両側端面を除き、そ
の他の部分はマスク体1、2で覆われるように構成す
る。また、マスク体1、2は、被メッキ材3と接触する
面に、シリコン、ウレタン、ゴム等の柔軟な材料1b、
2bを固着するように構成する。
【0030】このようにすることで、マスク体1の開口
部1aを介してメッキ液が入り、露出している被メッキ
材3の表面、つまり上記の部分3aにメッキがされ、マ
スク体1の開口部1a以外の露出していない部分及びマ
スク体2で覆った部分は、被メッキ材3と柔軟な材料1
b、2bとの間が略密着して、メッキ液が入るのを抑制
できるので、所望の部分以外にメッキが付着するのを著
しく減少させることができる。
【0031】そして、マスク体1、2を重ねた状態の被
メッキ材3を、図3に示すメッキ用治具4の溝4Bdに
両側端をスライドさせて挿入し、マスク体1、2と共に
メッキ用治具4内に装着して使用する。
【0032】尚、本実施形態で用いるメッキ用治具4
は、上記溝4Bdの幅を被メッキ材3の両側面にマスク
体1、2を重ねたままで、マスク体1、2と共にスライ
ド挿入できるようにしている点で、図3に示すものと相
違するが、その他の構成は同じであるので、ここでは特
に図示しない。
【0033】また、被メッキ材3の一端にマスク体2を
当接させるとして説明したが、マスク体1を2枚用いて
も良く、マスク体1とマスク体2との組み合わせに限定
されるものではない。
【0034】[第2の実施の形態]本発明に係る第2の
実施の形態は、被メッキ材の表面にメッキを施した後
に、第1の実施形態で述べたマスク体1、2を用い、メ
ッキをさらに付着させたくない箇所を覆って、さらにメ
ッキを行うことにより、被メッキ材3の各部分のメッキ
の厚さを局所的に変える方法である。
【0035】つまり、被メッキ材3にメッキをして、所
望の厚さのメッキ層が形成された部分から、順次、マス
ク体1、2で覆っていくことにより、被メッキ材3に施
されたメッキの厚さを、各部分毎に所望の厚さにするこ
とができる。
【0036】尚、第1の実施形態で述べたマスク体1、
2を用いても、極めて薄いメッキ膜が付着するので、柔
軟な材料、メッキ液の濃度、メッキ処理の時間等によっ
て、どの程度メッキが付着するのかを予め実験して調べ
ておき、マスク体1、2を用いても付着するメッキを考
慮に入れてメッキ加工を行えば、被メッキ材3の各部分
毎に精度の高いメッキの厚さを実現することができる。
【0037】[第3の実施の形態]本発明に係る第3の
実施形態は、被メッキ材3に金メッキを施し、該メッキ
上に半田付けをする場合に、半田付けを行なう箇所のメ
ッキ厚のみを意図的に薄くすることによって、半田付け
によるメッキ膜の脆化を防止した例である。
【0038】本実施形態によれば、被メッキ材3の表面
に、一様に0.1μm以下のメッキをした後、半田付け
をする部分をマスク材1、2で覆うことにより、半田付
けをする部分のメッキ厚を0.1μm以下に薄く保った
ままで、半田付けをする部分以外の部分に、より厚い
0.6μm以上の金メッキをすることができる。
【0039】尚、第2の実施の形態と同様に、柔軟な材
料、メッキ液の濃度、時間等によって、どの程度メッキ
が付着するのかを予め実験して調べておき、マスク体2
を用いても付着するメッキ厚を考慮に入れて、半田付け
をする部分がメッキの厚さが0.1μm以下になるよう
にメッキ加工をする。
【0040】ここで、半田付けをする部分のメッキの厚
さを0.1μm以下としたのは、メッキ膜が薄い方が半
田付け性(濡れ性)が良いからである。但し、半田付け
をしたときに、メッキ膜が脆化しない厚さであればよい
ので、これに限定されるものではない。
【0041】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明にあ
っては、被メッキ材とマスク体との間に、シリコン、ウ
レタン、ゴム等の柔軟な材料を設けたことにより、被メ
ッキ材とマスク体との間にメッキ液が入るのを抑制する
ことができるので、メッキが必要な部分だけに、選択的
にメッキを行うことができ、メッキ材料費の低減が図れ
る。
【0042】また、メッキ終了後に切断を行う場合に、
切断部位にメッキが施されないので、切断カッタへの負
荷を軽減して、その寿命を延ばすことができ、製造コス
トの低減が図れる。
【0043】さらに、金メッキに用いられるメッキ液等
の均一電着性の良好なメッキ液の場合においても、マス
ク体で覆ったメッキを付着させたくない被メッキ材の表
面に、メッキが付着するのを著しく抑制できると共に、
不要なメッキが付着しないことによる、コストの削減を
図ることができるという効果を奏する。
【0044】請求項2記載の発明にあっては、被メッキ
材にメッキをして、所望の厚さのメッキ層が形成された
部分から、順次、マスク体で覆っていくことにより、被
メッキ材に施されたメッキの厚さを、各部分毎に所望の
厚さにすることができる。
【0045】これにより、従来の技術で用いられてい
た、グラインダーなどの研削機による研削加工又は、レ
ーザー加工機などによる除去加工が必要無いので、加工
時間が著しく減少すると共に、不要なメッキ材が生じな
いので、コストパフォーマンスが向上する。
【0046】さらに、被メッキ材の表面に一律に、半田
付けによる脆化が生じない程度に薄くメッキをした後、
半田付けをする部分をマスク材で覆うことにより、メッ
キの厚さを薄く保つことができるので、半田付けをする
部分以外の部分のメッキの厚さを、従来のように、半田
付けをする部分に合わせて薄くすることなく、0.6μ
m以上の所望の厚さの金メッキをすることができるとい
う効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る一実施の形態の、メッキ用マスク
材の一実施形態を示す図であり、(a)、(b)はマス
ク体1、2の正面図、(c)、(d)は夫々マスク体
1、2の側面図である。
【図2】本発明に係る一実施の形態のメッキ用マスク材
の使用形態を示す図である。
【図3】従来の技術に係るメッキ用治具の構成を示す図
である。
【図4】従来の技術に係るメッキ用治具の構成を示す斜
視図である。
【図5】従来の技術に係るメッキ槽を示す斜視図であ
る。
【図6】従来の技術に係るメッキ装置の構成を示す斜視
図である。
【符号の説明】
1 マスク体(メッキ用マスク材) 1b 柔軟な材料 2 開口部なしのマスク体(メッキ用マスク材) 2b 柔軟な材料 3 被メッキ材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立田 淳 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 4K024 AA01 AA11 AA24 AB01 AB08 FA15 FA17

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被メッキ材を入れる投入口が上方に形成
    され、下方に被メッキ材の一部が露出する露出口が形成
    された、前記被メッキ材を上下方向に複数個重ねて保持
    できるメッキ治具を備え、最上部にある前記被メッキ材
    に電極を接触させ複数の前記被メッキ材に通電し、前記
    被メッキ材の表面にメッキを施すメッキ装置に取り付け
    られる被メッキ材の表面の、メッキが不要な部分を覆う
    メッキ用マスク材において、前記被メッキ材と前記マス
    ク材との間に、略平板状の柔軟な材料を固着させること
    を特徴とするメッキ用マスク材。
  2. 【請求項2】 前記被メッキ材の表面の、メッキをさら
    に付着させたくない部分を、前記メッキ用マスク材で覆
    って、さらにメッキを行うことを特徴とするメッキ方
    法。
JP25699199A 1999-09-10 1999-09-10 メッキ用マスク材及びメッキ方法 Withdrawn JP2001081593A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25699199A JP2001081593A (ja) 1999-09-10 1999-09-10 メッキ用マスク材及びメッキ方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25699199A JP2001081593A (ja) 1999-09-10 1999-09-10 メッキ用マスク材及びメッキ方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001081593A true JP2001081593A (ja) 2001-03-27

Family

ID=17300213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25699199A Withdrawn JP2001081593A (ja) 1999-09-10 1999-09-10 メッキ用マスク材及びメッキ方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001081593A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI531418B (zh) 在流體處理系統中使工件表面潤濕的方法及裝置
JP7296832B2 (ja) めっき装置
JPH0774300A (ja) 孔あきの金属製品又は金属被覆製品を選択的に電気メッキする方法及び装置
US20060070883A1 (en) Fixtureless vertical paddle electroplating cell
KR20020047236A (ko) 전기 절연 포일 재료의 표면상에 상호 절연된 전기 전도성구조체들을 전해 처리하는 방법, 장치, 및 이 방법의 응용
US6544391B1 (en) Reactor for electrochemically processing a microelectronic workpiece including improved electrode assembly
JP2001081593A (ja) メッキ用マスク材及びメッキ方法
JP2022118256A (ja) 基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び記憶媒体
US20040262164A1 (en) Method and apparatus for managing plating interruptions
JP4436802B2 (ja) 成膜装置用構成部品およびその洗浄方法
JP4104465B2 (ja) 電解めっき装置
JP7058209B2 (ja) 基板ホルダに基板を保持させる方法
JP2000199099A (ja) プリント基板の電解メッキ用治具
US3645855A (en) Ultrasonic repair plating of microscopic interconnections
KR100865448B1 (ko) 전기화학적 도금 장치 및 그 방법
JP4724926B2 (ja) 成膜用治具、これに用いる磁石、成膜装置および成膜方法
JP6740428B1 (ja) 電解剥離装置
JPH11209898A (ja) メッキ用アノード電極
JP2006307253A (ja) 電解めっき用治具及び電解めっき方法
JPH07292498A (ja) 自動めっき装置
KR100660343B1 (ko) 전기화학 도금 방법
JP3884150B2 (ja) 高速メッキ装置及び高速メッキ方法
JP2002266098A (ja) めっき装置、及び半導体装置の製造方法
JPH11269697A (ja) 電気メッキ用治具
KR200466385Y1 (ko) 기판도금방법 및 이를 채용한 기판도금장치

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20061205