JP2001077436A - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
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- JP2001077436A JP2001077436A JP24534899A JP24534899A JP2001077436A JP 2001077436 A JP2001077436 A JP 2001077436A JP 24534899 A JP24534899 A JP 24534899A JP 24534899 A JP24534899 A JP 24534899A JP 2001077436 A JP2001077436 A JP 2001077436A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高信頼性、長寿命の積層型圧電アクチュエータ
を提供すること。 【解決手段】圧電体層１３と内部電極層１５とを交互に
積層してなるアクチュエータ本体１１と、該アクチュエ
ータ本体１１の側面に形成された外部電極１７とを具備
するとともに、アクチュエータ本体１１の側面に露出し
た第１または第２内部電極層１５ａ、ｂの端部間に、第
１または第２内部電極層１５ａ、ｂ間に位置する第２ま
たは第１内部電極層１５ａ、ｂの端部が底面に露出する
凹溝１９を形成し、該凹溝１９に絶縁体２１を充填して
なり、凹溝１９が圧電体層１３の積層方向に平行な平坦
状底面２３を有しており、該平坦状底面２３の積層方向
における長さをＬ、内部電極層１５の厚さをｔ1 、圧電
体層１３の厚みをｔ2 とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）
／ｔ2 ＜１を満足する。
を提供すること。 【解決手段】圧電体層１３と内部電極層１５とを交互に
積層してなるアクチュエータ本体１１と、該アクチュエ
ータ本体１１の側面に形成された外部電極１７とを具備
するとともに、アクチュエータ本体１１の側面に露出し
た第１または第２内部電極層１５ａ、ｂの端部間に、第
１または第２内部電極層１５ａ、ｂ間に位置する第２ま
たは第１内部電極層１５ａ、ｂの端部が底面に露出する
凹溝１９を形成し、該凹溝１９に絶縁体２１を充填して
なり、凹溝１９が圧電体層１３の積層方向に平行な平坦
状底面２３を有しており、該平坦状底面２３の積層方向
における長さをＬ、内部電極層１５の厚さをｔ1 、圧電
体層１３の厚みをｔ2 とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）
／ｔ2 ＜１を満足する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電アクチ
ュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め
装置や振動防止用の駆動素子、自動車エンジンの燃料噴
射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエー
タに関するものである。
ュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め
装置や振動防止用の駆動素子、自動車エンジンの燃料噴
射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエー
タに関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電体層と内部電極層を交互に
複数枚積層し、各圧電体層を挟む電極間に電圧を印加
し、圧電体層に生じる逆圧電効果を利用して、大きな変
位を得る積層型圧電アクチュエータが提案され、アクチ
ュエータとして利用されている。
複数枚積層し、各圧電体層を挟む電極間に電圧を印加
し、圧電体層に生じる逆圧電効果を利用して、大きな変
位を得る積層型圧電アクチュエータが提案され、アクチ
ュエータとして利用されている。
【０００３】積層型圧電アクチュエータを作製する方法
としては、同時焼成による方法がある。この同時焼成に
よる方法では、圧電体層の厚みを薄くすることが比較的
容易であり、低電圧で印加電界を高くできるため、大き
な変位量が得られる。
としては、同時焼成による方法がある。この同時焼成に
よる方法では、圧電体層の厚みを薄くすることが比較的
容易であり、低電圧で印加電界を高くできるため、大き
な変位量が得られる。
【０００４】このような積層型圧電アクチュエータの構
造としては、内部電極層が圧電体層の面積より小さい、
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータが知られてい
る。
造としては、内部電極層が圧電体層の面積より小さい、
部分電極構造の積層型圧電アクチュエータが知られてい
る。
【０００５】図７は、このような部分電極構造の積層型
圧電アクチュエータを示すもので、複数の圧電体層１と
内部電極層２とを交互に積層してアクチュエータ本体３
が形成され、その側面には一対の外部電極４が形成され
ている。
圧電アクチュエータを示すもので、複数の圧電体層１と
内部電極層２とを交互に積層してアクチュエータ本体３
が形成され、その側面には一対の外部電極４が形成され
ている。
【０００６】即ち、内部電極層２は交互に第１内部電極
層２ａまたは第２内部電極層２ｂとされ、該第１内部電
極層２ａ、第２内部電極層２ｂの端部がそれぞれアクチ
ュエータ本体３の異なる側面に露出しており、第１内部
電極層２ａおよび第２内部電極層２ｂの端部が露出した
側面には、それぞれ外部電極４ａ、４ｂが形成され、電
気的に接続されている。圧電体層１は、それぞれ図示の
矢印の方向に分極処理されている。
層２ａまたは第２内部電極層２ｂとされ、該第１内部電
極層２ａ、第２内部電極層２ｂの端部がそれぞれアクチ
ュエータ本体３の異なる側面に露出しており、第１内部
電極層２ａおよび第２内部電極層２ｂの端部が露出した
側面には、それぞれ外部電極４ａ、４ｂが形成され、電
気的に接続されている。圧電体層１は、それぞれ図示の
矢印の方向に分極処理されている。
【０００７】また、他の積層型圧電アクチュエータとし
て、例えば、特開平１−１４７８８０号公報に開示され
たものがある。この積層型圧電アクチュエータでは、圧
電アクチュエータ本体の異なる側面に外部電極を形成し
て構成されている。
て、例えば、特開平１−１４７８８０号公報に開示され
たものがある。この積層型圧電アクチュエータでは、圧
電アクチュエータ本体の異なる側面に外部電極を形成し
て構成されている。
【０００８】アクチュエータ本体は、複数の圧電体層と
複数の内部電極層とを交互に積層して構成され、内部電
極層が交互に第１内部電極層または第２内部電極層とさ
れ、第１内部電極層、第２内部電極層の端部が異なる側
面に露出し、外部電極とそれぞれ接続されている。
複数の内部電極層とを交互に積層して構成され、内部電
極層が交互に第１内部電極層または第２内部電極層とさ
れ、第１内部電極層、第２内部電極層の端部が異なる側
面に露出し、外部電極とそれぞれ接続されている。
【０００９】そして、アクチュエータ本体の側面に露出
した内部電極層の端部間に凹溝が形成されており、該凹
溝には絶縁体が充填されている。この凹溝の断面形状
は、矩形又は、底部が円弧状など形状は問わないとされ
ている。
した内部電極層の端部間に凹溝が形成されており、該凹
溝には絶縁体が充填されている。この凹溝の断面形状
は、矩形又は、底部が円弧状など形状は問わないとされ
ている。
【００１０】このような積層型圧電アクチュエータで
は、凹溝に絶縁体を充填することにより、アクチュエー
タ本体の側面に露出した内部電極層と、凹溝の底面に露
出した内部電極層との導通を防止することができる。
は、凹溝に絶縁体を充填することにより、アクチュエー
タ本体の側面に露出した内部電極層と、凹溝の底面に露
出した内部電極層との導通を防止することができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示したような部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
においては、第１内部電極層２ａと第２内部電極層２ｂ
が相互に重なり合う部分（圧電体層１が内部電極層２に
より挟持された部分）では逆圧電効果によって歪みが発
生するが、アクチュエータ本体の側面近傍では、圧電体
層１が内部電極層２により挟持されていないため逆圧電
効果が発生せず、積層型圧電アクチュエータ全体として
の変位量が低いという問題があった。
示したような部分電極構造の積層型圧電アクチュエータ
においては、第１内部電極層２ａと第２内部電極層２ｂ
が相互に重なり合う部分（圧電体層１が内部電極層２に
より挟持された部分）では逆圧電効果によって歪みが発
生するが、アクチュエータ本体の側面近傍では、圧電体
層１が内部電極層２により挟持されていないため逆圧電
効果が発生せず、積層型圧電アクチュエータ全体として
の変位量が低いという問題があった。
【００１２】さらに、同一圧電体層１中にて、逆圧電効
果によって発生する歪みが不均一になることより、内部
電極層２の先端付近に大きな応力集中が発生する。この
ような応力集中により、内部電極層２先端から圧電体層
１にクラックが進展して、圧電体層１の破壊に至るとい
う問題があった（例えば、Destruction Mechanisms in
Ceramic Multilayer Actuators(Japan Journal Appl. P
hysics Vol.33(1994)pp.3091-3094) 。
果によって発生する歪みが不均一になることより、内部
電極層２の先端付近に大きな応力集中が発生する。この
ような応力集中により、内部電極層２先端から圧電体層
１にクラックが進展して、圧電体層１の破壊に至るとい
う問題があった（例えば、Destruction Mechanisms in
Ceramic Multilayer Actuators(Japan Journal Appl. P
hysics Vol.33(1994)pp.3091-3094) 。
【００１３】また、特開平１−１４７８８０号公報に開
示された圧電アクチュエータでは、溝の形状、寸法の効
果により生じる圧電体層内での電界集中、および応力集
中が定量的に測定または評価されていなかったため、溝
の形状、寸法が最適なものとされておらず、電界集中に
起因する応力集中、および形状に起因する応力集中を充
分に低く抑えることができない。
示された圧電アクチュエータでは、溝の形状、寸法の効
果により生じる圧電体層内での電界集中、および応力集
中が定量的に測定または評価されていなかったため、溝
の形状、寸法が最適なものとされておらず、電界集中に
起因する応力集中、および形状に起因する応力集中を充
分に低く抑えることができない。
【００１４】特に、外部電極と凹溝内の絶縁体で絶縁さ
れている内部電極層先端付近では電界分布が大きく集中
し、圧電体層や圧電体層と内部電極層との界面で応力集
中が発生し機械的破壊が生じたり、凹溝内の絶縁体が絶
縁破壊し、寿命が短くなるという問題があった。
れている内部電極層先端付近では電界分布が大きく集中
し、圧電体層や圧電体層と内部電極層との界面で応力集
中が発生し機械的破壊が生じたり、凹溝内の絶縁体が絶
縁破壊し、寿命が短くなるという問題があった。
【００１５】本発明は、絶縁破壊、機械的破壊が生じに
くく高信頼性で寿命が長い、積層型圧電アクチュエータ
を提供することを目的とする。
くく高信頼性で寿命が長い、積層型圧電アクチュエータ
を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電アク
チュエータは、複数の圧電体層と複数の内部電極層とを
交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第１内部
電極層または第２内部電極層とされ、該第１内部電極
層、第２内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出
する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエー
タ本体の第１または第２内部電極層の端部が露出した側
面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するととも
に、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第１また
は第２内部電極層の端部間に、第１または第２内部電極
層間に位置する第２または第１内部電極層の端部が底面
に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してな
る積層型圧電アクチュエータにおいて、前記凹溝が前記
圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、
該平坦状底面の積層方向における長さをＬ、前記内部電
極層の厚みをｔ1 、前記圧電体層の厚みをｔ2 とした
時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１の関係を満足する
ものである。
チュエータは、複数の圧電体層と複数の内部電極層とを
交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第１内部
電極層または第２内部電極層とされ、該第１内部電極
層、第２内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出
する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエー
タ本体の第１または第２内部電極層の端部が露出した側
面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するととも
に、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第１また
は第２内部電極層の端部間に、第１または第２内部電極
層間に位置する第２または第１内部電極層の端部が底面
に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してな
る積層型圧電アクチュエータにおいて、前記凹溝が前記
圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、
該平坦状底面の積層方向における長さをＬ、前記内部電
極層の厚みをｔ1 、前記圧電体層の厚みをｔ2 とした
時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１の関係を満足する
ものである。
【００１７】このような構成を採用することにより、凹
溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部電極層の先端
付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、その
圧電体層内および凹溝内の絶縁体の絶縁破壊を防止でき
るとともに、内部電極層先端付近での電界集中に起因す
る圧電体層および内部電極層における応力集中を抑制す
ることができ、機械的破壊を防止して積層型圧電アクチ
ュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることができ
る。
溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部電極層の先端
付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、その
圧電体層内および凹溝内の絶縁体の絶縁破壊を防止でき
るとともに、内部電極層先端付近での電界集中に起因す
る圧電体層および内部電極層における応力集中を抑制す
ることができ、機械的破壊を防止して積層型圧電アクチ
ュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることができ
る。
【００１８】ここで、圧電体層の分極方向誘電率ε1 と
絶縁体の誘電率ε2 との比が、ε2／ε1 ＜１の関係を
満足することが望ましい。このような構成を採用するこ
とにより、凹溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部
電極層先端付近での電界集中をさらに抑制できる。
絶縁体の誘電率ε2 との比が、ε2／ε1 ＜１の関係を
満足することが望ましい。このような構成を採用するこ
とにより、凹溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部
電極層先端付近での電界集中をさらに抑制できる。
【００１９】また、アクチュエータ本体が、四角柱の２
つの側面角部を面取りして形成され、他の側面よりも面
積が狭い２つの外部電極形成用側面を有する六角柱とさ
れていることが望ましい。このような構成を採用するこ
とにより、一対の外部電極が形成される部分を、四角柱
状のアクチュエータ本体の側面の２つの角部を面取りす
ることにより形成でき、その面に凹溝を形成することに
より、外部電極の形成面積に応じて外部電極形成用側面
の面積を増減することができるとともに、他の側面の面
積より充分に小さい最小限の外部電極形成用側面とする
ことができ、加工が容易になり加工コストが低減される
のみならず、内部電極層先端付近で発生する応力集中を
低下することができ、寿命の向上に寄与する。
つの側面角部を面取りして形成され、他の側面よりも面
積が狭い２つの外部電極形成用側面を有する六角柱とさ
れていることが望ましい。このような構成を採用するこ
とにより、一対の外部電極が形成される部分を、四角柱
状のアクチュエータ本体の側面の２つの角部を面取りす
ることにより形成でき、その面に凹溝を形成することに
より、外部電極の形成面積に応じて外部電極形成用側面
の面積を増減することができるとともに、他の側面の面
積より充分に小さい最小限の外部電極形成用側面とする
ことができ、加工が容易になり加工コストが低減される
のみならず、内部電極層先端付近で発生する応力集中を
低下することができ、寿命の向上に寄与する。
【００２０】さらに、凹溝の底面隅部の曲率半径Ｒが、
０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2 の関係を満足することが
望ましい。このような構成を採用することにより、凹溝
の底面隅部付近での電界集中を低くでき、圧電体層の絶
縁破壊を防止でき、凹溝の平坦状底面の長さも充分に確
保できる。
０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2 の関係を満足することが
望ましい。このような構成を採用することにより、凹溝
の底面隅部付近での電界集中を低くでき、圧電体層の絶
縁破壊を防止でき、凹溝の平坦状底面の長さも充分に確
保できる。
【００２１】また、凹溝に充填される絶縁体の縦弾性率
Ｙ2 が、圧電体層の分極方向縦弾性率Ｙ1 に対して、Ｙ
2 ／Ｙ1 ＜１であることが望ましい。このような構成を
採用することにより、内部電極層先端付近および凹溝の
底面隅部付近での応力集中を更に抑制できる。
Ｙ2 が、圧電体層の分極方向縦弾性率Ｙ1 に対して、Ｙ
2 ／Ｙ1 ＜１であることが望ましい。このような構成を
採用することにより、内部電極層先端付近および凹溝の
底面隅部付近での応力集中を更に抑制できる。
【００２２】凹溝の深さＤを圧電体層の厚みｔ2 よりも
深く形成すれば、内部電極層先端と外部電極との間隔が
隣り合う内部電極層の間隔よりも大きくなり、電気的絶
縁性を向上することができ、絶縁体の絶縁破壊を防止で
きる。
深く形成すれば、内部電極層先端と外部電極との間隔が
隣り合う内部電極層の間隔よりも大きくなり、電気的絶
縁性を向上することができ、絶縁体の絶縁破壊を防止で
きる。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の積層型圧電アクチ
ュエータを示すもので、（ａ）が平面図を示し、（ｂ）
が（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面の一部を示す図である。
ュエータを示すもので、（ａ）が平面図を示し、（ｂ）
が（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面の一部を示す図である。
【００２４】図において、符号１１は六角柱状のアクチ
ュエータ本体を示すもので、このアクチュエータ本体１
１は、複数の圧電体層１３と複数の内部電極層１５を交
互に積層して構成されている。
ュエータ本体を示すもので、このアクチュエータ本体１
１は、複数の圧電体層１３と複数の内部電極層１５を交
互に積層して構成されている。
【００２５】内部電極層１５の端部はアクチュエータ本
体１１の六側面に露出しており、また、内部電極層１５
の上下両側に位置する圧電体層１３は、向きが反対とな
るように分極処理され、図２（ｂ）に示す矢印の方向に
分極処理されている。
体１１の六側面に露出しており、また、内部電極層１５
の上下両側に位置する圧電体層１３は、向きが反対とな
るように分極処理され、図２（ｂ）に示す矢印の方向に
分極処理されている。
【００２６】内部電極層１５は積層順に交互に第１内部
電極層１５ａまたは第２内部電極層１５ｂとされ、第１
内部電極層１５ａと第２内部電極層１５ｂに異なる電位
を与えることによって、圧電体層１３に厚さ方向の電界
を印加できる。
電極層１５ａまたは第２内部電極層１５ｂとされ、第１
内部電極層１５ａと第２内部電極層１５ｂに異なる電位
を与えることによって、圧電体層１３に厚さ方向の電界
を印加できる。
【００２７】アクチュエータ本体１１は、四角柱の２つ
の側面角部を面取りして、他の側面よりも面積が狭い２
つの対向する外部電極形成用側面１６ａ、１６ｂを有す
る六角柱とされており、これらの外部電極形成用側面１
６ａ、１６ｂに外部電極１７ａ、１７ｂがそれぞれ形成
されている。外部電極１７ａには第１内部電極層１５ａ
の端部が接続され、第２内部電極層１５ｂの端部とは絶
縁され、また外部電極１７ｂには第２内部電極層１５ｂ
が接続され、第１内部電極層１５ａの端部とは絶縁され
ている。
の側面角部を面取りして、他の側面よりも面積が狭い２
つの対向する外部電極形成用側面１６ａ、１６ｂを有す
る六角柱とされており、これらの外部電極形成用側面１
６ａ、１６ｂに外部電極１７ａ、１７ｂがそれぞれ形成
されている。外部電極１７ａには第１内部電極層１５ａ
の端部が接続され、第２内部電極層１５ｂの端部とは絶
縁され、また外部電極１７ｂには第２内部電極層１５ｂ
が接続され、第１内部電極層１５ａの端部とは絶縁され
ている。
【００２８】即ち、第１内部電極層１５ａの端部は外部
電極形成用側面１６ａに露出し、第２内部電極層１５ｂ
の端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、
外部電極形成用側面１６ａには露出していない。このた
め、外部電極形成用側面１６ａに外部電極１７ａを形成
した際には、第１内部電極層１５ａの端部のみが外部電
極１７ａと接続されることになる。
電極形成用側面１６ａに露出し、第２内部電極層１５ｂ
の端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、
外部電極形成用側面１６ａには露出していない。このた
め、外部電極形成用側面１６ａに外部電極１７ａを形成
した際には、第１内部電極層１５ａの端部のみが外部電
極１７ａと接続されることになる。
【００２９】一方、第２内部電極層１５ｂの端部は外部
電極形成用側面１６ｂに露出し、第１内部電極層１５ａ
の端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、
外部電極形成用側面１６ｂには露出していない。このた
め、外部電極形成用側面１６ｂに外部電極１７ｂを形成
した際には、第２内部電極層１５ｂの端部のみが外部電
極１７ｂと接続されることになる。
電極形成用側面１６ｂに露出し、第１内部電極層１５ａ
の端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、
外部電極形成用側面１６ｂには露出していない。このた
め、外部電極形成用側面１６ｂに外部電極１７ｂを形成
した際には、第２内部電極層１５ｂの端部のみが外部電
極１７ｂと接続されることになる。
【００３０】即ち、外部電極形成用側面１６ａに形成さ
れた凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第２内部
電極層１５ｂの端部が露出し、外部電極１７ａとは絶縁
体２１により絶縁され、外部電極形成用側面１６ｂに形
成された凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第１
内部電極層１５ａの端部が露出し、外部電極１７ｂとは
絶縁体２１を介して絶縁されている。
れた凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第２内部
電極層１５ｂの端部が露出し、外部電極１７ａとは絶縁
体２１により絶縁され、外部電極形成用側面１６ｂに形
成された凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第１
内部電極層１５ａの端部が露出し、外部電極１７ｂとは
絶縁体２１を介して絶縁されている。
【００３１】そして、本発明の積層型圧電アクチュエー
タでは、図２に示すように、凹溝１９が圧電体層１３の
積層方向に平行な平坦状底面２３を有しており、平坦状
底面２３の積層方向における長さをＬ、内部電極層１５
の厚みをｔ1 、圧電体層１３の厚みをｔ2 とした時、
０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足している。
タでは、図２に示すように、凹溝１９が圧電体層１３の
積層方向に平行な平坦状底面２３を有しており、平坦状
底面２３の積層方向における長さをＬ、内部電極層１５
の厚みをｔ1 、圧電体層１３の厚みをｔ2 とした時、
０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足している。
【００３２】このように０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜
１を満足せしめたのは、（Ｌ−ｔ1）／ｔ2 の値が０．
２よりも小さい場合には、凹溝１９の平坦状底面２３に
露出する内部電極層１５先端部近傍の圧電体層１３に応
力が集中し、この部分にクラック等が入り、破損し易く
なるからである。
１を満足せしめたのは、（Ｌ−ｔ1）／ｔ2 の値が０．
２よりも小さい場合には、凹溝１９の平坦状底面２３に
露出する内部電極層１５先端部近傍の圧電体層１３に応
力が集中し、この部分にクラック等が入り、破損し易く
なるからである。
【００３３】一方、凹溝１９の開口部の積層方向長さＫ
と内部電極層の厚さｔ1 の差Ｋ−ｔ1 が圧電体層１３の
厚さｔ2 以上であると、圧電体層１３の側面において、
凹溝加工により除去される部分の方が残される部分より
大きくなり、強度が低くなり、凹溝加工の際に破壊し易
くなるため、Ｋ−ｔ1 ＜ｔ2 である必要がある。従っ
て、凹溝１９の平坦状底面２３の長さＬは凹溝１９の開
口部の積層方向の長さＫ以下であるので、Ｌ−ｔ1 ＜ｔ
2 となる。
と内部電極層の厚さｔ1 の差Ｋ−ｔ1 が圧電体層１３の
厚さｔ2 以上であると、圧電体層１３の側面において、
凹溝加工により除去される部分の方が残される部分より
大きくなり、強度が低くなり、凹溝加工の際に破壊し易
くなるため、Ｋ−ｔ1 ＜ｔ2 である必要がある。従っ
て、凹溝１９の平坦状底面２３の長さＬは凹溝１９の開
口部の積層方向の長さＫ以下であるので、Ｌ−ｔ1 ＜ｔ
2 となる。
【００３４】（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 の値は、応力集中を抑
制するという点から、０．４以上、特には０．６以上で
あることが望ましい。
制するという点から、０．４以上、特には０．６以上で
あることが望ましい。
【００３５】また、圧電体層１３の分極方向の誘電率ε
1 と絶縁体２１の誘電率ε2 との比は、ε2 ／ε1 ＜１
とされており、これにより、凹溝１９の平坦状底面２３
に露出した内部電極層先端付近の圧電体層１３における
集中電界値を低下させることができる。内部電極層の電
界集中を防止するという点から、ε2 ／ε1 ≦０．１で
あることが望ましい。
1 と絶縁体２１の誘電率ε2 との比は、ε2 ／ε1 ＜１
とされており、これにより、凹溝１９の平坦状底面２３
に露出した内部電極層先端付近の圧電体層１３における
集中電界値を低下させることができる。内部電極層の電
界集中を防止するという点から、ε2 ／ε1 ≦０．１で
あることが望ましい。
【００３６】さらに、凹溝１９の底面隅部の曲率半径Ｒ
は、０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2を満足することが望
ましい。これは、この範囲では、圧電体層に凹溝の底面
隅部からクラックが発生し難くなり、また凹溝の平坦状
底面２３の長さＬを０．４ｔ2 以上にできるからであ
る。
は、０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2を満足することが望
ましい。これは、この範囲では、圧電体層に凹溝の底面
隅部からクラックが発生し難くなり、また凹溝の平坦状
底面２３の長さＬを０．４ｔ2 以上にできるからであ
る。
【００３７】絶縁体２１は、例えばシリコンゴムなどの
弾性部材からなり、絶縁体２１の剛性による圧電体層１
３の変形の拘束を小さくするためには、この絶縁体２１
の縦弾性率Ｙ2 は圧電体層１３の縦弾性率Ｙ1 より極め
て低いものがよく、Ｙ2 ／Ｙ1 ＜１、特には、Ｙ2 ／Ｙ
1 ≦０．１となることが望ましい。
弾性部材からなり、絶縁体２１の剛性による圧電体層１
３の変形の拘束を小さくするためには、この絶縁体２１
の縦弾性率Ｙ2 は圧電体層１３の縦弾性率Ｙ1 より極め
て低いものがよく、Ｙ2 ／Ｙ1 ＜１、特には、Ｙ2 ／Ｙ
1 ≦０．１となることが望ましい。
【００３８】このような積層型圧電アクチュエータは、
例えば、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等の圧電セラミックス
の仮焼粉末と、所定のバインダーと、可塑剤とを混合し
たスラリーを作製し、ドクターブレード方により、厚み
７０〜３００μｍのセラミックシートを作製する。
例えば、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等の圧電セラミックス
の仮焼粉末と、所定のバインダーと、可塑剤とを混合し
たスラリーを作製し、ドクターブレード方により、厚み
７０〜３００μｍのセラミックシートを作製する。
【００３９】このグリーンシートの片面に内部電極とな
る銀、銀−白金、銀−パラジウム等を主成分とする導電
性ペーストをスクリーン印刷に印刷し、導電性ペースト
が塗布されたグリーンシートを金型内に積層し、加熱加
圧して積層一体化する。これを所定の寸法に切断した
後、所定温度で脱バインダー、焼成を行い、アクチュエ
ータ本体１１となる四角柱状の積層焼結体を作製する。
この積層焼結体の４つの側面には内部電極１５の端部が
露出している。
る銀、銀−白金、銀−パラジウム等を主成分とする導電
性ペーストをスクリーン印刷に印刷し、導電性ペースト
が塗布されたグリーンシートを金型内に積層し、加熱加
圧して積層一体化する。これを所定の寸法に切断した
後、所定温度で脱バインダー、焼成を行い、アクチュエ
ータ本体１１となる四角柱状の積層焼結体を作製する。
この積層焼結体の４つの側面には内部電極１５の端部が
露出している。
【００４０】この後、積層焼結体の外周加工を行い、対
角線上に位置する２つの側面角部を面取りし、六角柱形
状とした。面取りした外部電極形成用側面１６におい
て、内部電極端部を含む圧電体を、対向する外部電極形
成用側面１６で互い違いになるように、一層おきに深さ
２５０μｍの凹溝１１９を形成し、該溝部にシリコンゴ
ム等の絶縁体２１を充填する。
角線上に位置する２つの側面角部を面取りし、六角柱形
状とした。面取りした外部電極形成用側面１６におい
て、内部電極端部を含む圧電体を、対向する外部電極形
成用側面１６で互い違いになるように、一層おきに深さ
２５０μｍの凹溝１１９を形成し、該溝部にシリコンゴ
ム等の絶縁体２１を充填する。
【００４１】次に、これらの外部電極形成用側面１６に
導電性樹脂を塗布することにより外部電極１７を形成す
る。そして、外部電極１７に所定の電圧を印加し、分極
処理することにより、本発明の積層型圧電アクチュエー
タを作製する。
導電性樹脂を塗布することにより外部電極１７を形成す
る。そして、外部電極１７に所定の電圧を印加し、分極
処理することにより、本発明の積層型圧電アクチュエー
タを作製する。
【００４２】尚、凹溝１９の加工は、ダイヤモンド円板
砥石やレーザー等を用いれば良く、各圧電体層１３と内
部電極層１５の厚さのばらつきを小さくしておけば、予
め多数のダイヤモンド砥石などを所望の間隔でセットし
て、同時に多数の凹溝１９を加工することが可能となる
ので望ましい。そして、本発明では、平坦状底面が上記
した関係式を満足するように、例えば、ダイヤモンド円
板砥石を用いる場合には砥石の状態を調製する必要があ
る。
砥石やレーザー等を用いれば良く、各圧電体層１３と内
部電極層１５の厚さのばらつきを小さくしておけば、予
め多数のダイヤモンド砥石などを所望の間隔でセットし
て、同時に多数の凹溝１９を加工することが可能となる
ので望ましい。そして、本発明では、平坦状底面が上記
した関係式を満足するように、例えば、ダイヤモンド円
板砥石を用いる場合には砥石の状態を調製する必要があ
る。
【００４３】図３は、凹溝１９の平坦状底面２３の長さ
Ｌと内部電極層１５の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 を圧電体層
１３の厚さｔ2 で規格化した値と、発生する最大主応力
を圧電材料の静的強度で規格化した値の関係を解析した
結果である。解析は、有限要素法による圧電振動解析で
あり、振動の周波数は６０Ｈｚである。また、用いた物
性値は、圧電体層がＰＺＴ、内部電極が銀、絶縁体がシ
リコンゴムである。また圧電体層の厚みｔ2 は１００μ
ｍ、内部電極層の厚みｔ1 は３μｍとした。
Ｌと内部電極層１５の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 を圧電体層
１３の厚さｔ2 で規格化した値と、発生する最大主応力
を圧電材料の静的強度で規格化した値の関係を解析した
結果である。解析は、有限要素法による圧電振動解析で
あり、振動の周波数は６０Ｈｚである。また、用いた物
性値は、圧電体層がＰＺＴ、内部電極が銀、絶縁体がシ
リコンゴムである。また圧電体層の厚みｔ2 は１００μ
ｍ、内部電極層の厚みｔ1 は３μｍとした。
【００４４】図３によると、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．
２未満のとき、急激に最大主応力値が上昇している。
（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．２０以上の範囲においては、
緩やかに最大主応力値は減少し、しかも最大主応力の圧
電体層強度に対する比率が３０％以下となっており、繰
り返し駆動を行うアクチュエータの疲労寿命を長くでき
ることが判る。
２未満のとき、急激に最大主応力値が上昇している。
（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．２０以上の範囲においては、
緩やかに最大主応力値は減少し、しかも最大主応力の圧
電体層強度に対する比率が３０％以下となっており、繰
り返し駆動を行うアクチュエータの疲労寿命を長くでき
ることが判る。
【００４５】特に、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．４０以上
であれば、最大主応力の圧電体強度に対する比率が２５
％以下になり、疲労寿命を向上できるため望ましい。
であれば、最大主応力の圧電体強度に対する比率が２５
％以下になり、疲労寿命を向上できるため望ましい。
【００４６】更に、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．６以上で
あれば、凹溝１９の形成位置と絶縁すべき内部電極層１
５の積層方向の位置が、０．１ｔ2 だけずれても最大主
応力の圧電体強度に対する比率が２５％以下にすること
ができ、凹溝１９の位置が積層方向に少々ずれても所望
の機能が得られるので、加工が容易になり望ましい。
あれば、凹溝１９の形成位置と絶縁すべき内部電極層１
５の積層方向の位置が、０．１ｔ2 だけずれても最大主
応力の圧電体強度に対する比率が２５％以下にすること
ができ、凹溝１９の位置が積層方向に少々ずれても所望
の機能が得られるので、加工が容易になり望ましい。
【００４７】同時に（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．９未満で
あれば、凹溝の底面隅部に曲率半径０．０５ｔ2 以上の
Ｒを設けることができるので、凹溝の底面隅部での応力
集中の緩和が期待できることが判る。
あれば、凹溝の底面隅部に曲率半径０．０５ｔ2 以上の
Ｒを設けることができるので、凹溝の底面隅部での応力
集中の緩和が期待できることが判る。
【００４８】図４はε2 ／ε1 と内部電極層先端付近の
圧電体層１３において発生する大きな電界値の、アクチ
ュエータ本体の側面より充分内部の圧電体層１３に発生
する一様な電界値に対する比を、上記と同様の条件で解
析して得た結果であり、内部電極層先端で生じる電界集
中はε2 ／ε1 ＝０．１を境に急激に上昇することか
ら、ε2 ／ε1 ≦０．１であることが望ましいことが判
る。
圧電体層１３において発生する大きな電界値の、アクチ
ュエータ本体の側面より充分内部の圧電体層１３に発生
する一様な電界値に対する比を、上記と同様の条件で解
析して得た結果であり、内部電極層先端で生じる電界集
中はε2 ／ε1 ＝０．１を境に急激に上昇することか
ら、ε2 ／ε1 ≦０．１であることが望ましいことが判
る。
【００４９】図５は凹溝底面隅部のＲ半径の圧電体層厚
さｔ2 に対する比率を横軸に、圧電体層１３に発生する
最大電界値をＲが０であるときの最大電界値にて規格化
した値を縦軸にとったグラフである。図５より、Ｒが大
きくなるにつれて、最大電界値が低下する傾向が見ら
れ、Ｒが圧電体層厚さｔ2 の５％以上であるとき、最大
電界値はＲ＝０の場合の値の９５％以下に低下する。
さｔ2 に対する比率を横軸に、圧電体層１３に発生する
最大電界値をＲが０であるときの最大電界値にて規格化
した値を縦軸にとったグラフである。図５より、Ｒが大
きくなるにつれて、最大電界値が低下する傾向が見ら
れ、Ｒが圧電体層厚さｔ2 の５％以上であるとき、最大
電界値はＲ＝０の場合の値の９５％以下に低下する。
【００５０】一方、Ｒが０．３ｔ2 以上になると、最大
電界値の低下の度合いは緩やかになり、またＲが０．３
ｔ2 以上よりも大きくなると凹溝１９の平坦状底面２３
の長さＬが十分にとれなくなることから、Ｒ≦０．３ｔ
2 であることが望ましい。更にＲ≧０．１ｔ2 であれ
ば、最大電界値がＲ＝０の場合の９０％以下となり、Ｒ
≦０．２ｔ2 であれば凹溝の平坦状底面２３の長さＬと
内部電極層の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 がｔ2 の６０％以上
にすることが可能となるので、一層望ましい。
電界値の低下の度合いは緩やかになり、またＲが０．３
ｔ2 以上よりも大きくなると凹溝１９の平坦状底面２３
の長さＬが十分にとれなくなることから、Ｒ≦０．３ｔ
2 であることが望ましい。更にＲ≧０．１ｔ2 であれ
ば、最大電界値がＲ＝０の場合の９０％以下となり、Ｒ
≦０．２ｔ2 であれば凹溝の平坦状底面２３の長さＬと
内部電極層の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 がｔ2 の６０％以上
にすることが可能となるので、一層望ましい。
【００５１】図２（ｂ）には、理想的な凹溝の平坦状底
面２３の断面形状を実線で示し、凹溝加工によって得ら
れる実際の凹溝の底面の断面形状の例を破線で示した。
そして、図２（ｂ）の凹溝の底部拡大図において、実線
で示した凹溝の平坦状底面の設計値と、破線で示した実
際の凹溝の底面形状との誤差をＥとし、Ｅは溝が設計値
より深く加工される場合が正値であると定め、上記と同
様の条件で解析を行った。図６に示す解析結果より、凹
溝の平坦状底面長さＬに対する加工誤差Ｅの相対値Ｅ／
Ｌが±１７％に収まっていれば、溝の底部が理想的に平
坦である場合と比べて電界集中は２０％悪化するに過ぎ
ないことから、加工誤差Ｅ／Ｌ≦±１７％であれば、凹
溝底部の平坦部が充分に平坦であると見なしてよいこと
が判る。
面２３の断面形状を実線で示し、凹溝加工によって得ら
れる実際の凹溝の底面の断面形状の例を破線で示した。
そして、図２（ｂ）の凹溝の底部拡大図において、実線
で示した凹溝の平坦状底面の設計値と、破線で示した実
際の凹溝の底面形状との誤差をＥとし、Ｅは溝が設計値
より深く加工される場合が正値であると定め、上記と同
様の条件で解析を行った。図６に示す解析結果より、凹
溝の平坦状底面長さＬに対する加工誤差Ｅの相対値Ｅ／
Ｌが±１７％に収まっていれば、溝の底部が理想的に平
坦である場合と比べて電界集中は２０％悪化するに過ぎ
ないことから、加工誤差Ｅ／Ｌ≦±１７％であれば、凹
溝底部の平坦部が充分に平坦であると見なしてよいこと
が判る。
【００５２】さらにＥ／Ｌ≦±８％とすれば、電界集中
の悪化は１０％以下にできるので一層望ましいことが判
る。
の悪化は１０％以下にできるので一層望ましいことが判
る。
【００５３】尚、外部電極は、四角柱状アクチュエータ
本体の側面角部を、積層方向に面取りして形成された対
向する面上に配置されることが望ましいが、アクチュエ
ータ本体の形状は円柱状、多角柱状など任意の柱状でも
よく、外部電極は対向する面に形成する必要はない。ま
た図１（ａ）に示すように、面取り長さＣは、４角柱状
アクチュエータ本体の一辺の長さＷよりも充分小さく、
かつ外部電極の形成に支障が無い程度に大きいことが望
ましい。
本体の側面角部を、積層方向に面取りして形成された対
向する面上に配置されることが望ましいが、アクチュエ
ータ本体の形状は円柱状、多角柱状など任意の柱状でも
よく、外部電極は対向する面に形成する必要はない。ま
た図１（ａ）に示すように、面取り長さＣは、４角柱状
アクチュエータ本体の一辺の長さＷよりも充分小さく、
かつ外部電極の形成に支障が無い程度に大きいことが望
ましい。
【００５４】また、圧電体層１３の厚さｔ2 は、同時焼
成法を採用すれば１００μｍ前後と非常に薄くできる
が、予め焼結された圧電材料板を一層毎に電極板や電極
ペーストなどを介して積層してアクチュエータ本体とし
てもよい。
成法を採用すれば１００μｍ前後と非常に薄くできる
が、予め焼結された圧電材料板を一層毎に電極板や電極
ペーストなどを介して積層してアクチュエータ本体とし
てもよい。
【００５５】以上のように、本発明の積層型圧電アクチ
ュエータでは、内部電極の端部が露出する凹溝の形状、
寸法、凹溝に充填する絶縁体の誘電率と圧電体層の誘電
率の比を最適化することにより、圧電体層に発生する電
界集中、および電界集中と構造に起因して発生する応力
集中を低減し、最大主応力値を材料の静的強度に対して
３０％以下に抑制することができ、機械的疲労破壊が発
生し難くできる。
ュエータでは、内部電極の端部が露出する凹溝の形状、
寸法、凹溝に充填する絶縁体の誘電率と圧電体層の誘電
率の比を最適化することにより、圧電体層に発生する電
界集中、および電界集中と構造に起因して発生する応力
集中を低減し、最大主応力値を材料の静的強度に対して
３０％以下に抑制することができ、機械的疲労破壊が発
生し難くできる。
【００５６】また、積層体側面より充分内部で発生する
一様な電界に対して、内部電極層先端付近および凹溝の
底面隅部で電界集中が生じることは避け難いが、凹溝を
本発明の形状の範囲にすることにより、電界集中を少な
くできることより、絶縁破壊が生じ難くなり、かつ、電
界集中に起因する応力集中も抑制できる。
一様な電界に対して、内部電極層先端付近および凹溝の
底面隅部で電界集中が生じることは避け難いが、凹溝を
本発明の形状の範囲にすることにより、電界集中を少な
くできることより、絶縁破壊が生じ難くなり、かつ、電
界集中に起因する応力集中も抑制できる。
【００５７】
【発明の効果】本発明の積層型圧電アクチュエータで
は、アクチュエータ本体の側面に形成された凹溝が、圧
電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該
平坦状底面の積層方向における長さをＬ、内部電極層の
厚みをｔ1 、圧電体層の厚みをｔ2 とした時、０．２≦
（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足するため、内部電極層先
端付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、内
部電極層先端付近での電界集中に起因する応力集中を抑
制することができ、機械的破壊を防止して積層型圧電ア
クチュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることがで
きる。
は、アクチュエータ本体の側面に形成された凹溝が、圧
電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該
平坦状底面の積層方向における長さをＬ、内部電極層の
厚みをｔ1 、圧電体層の厚みをｔ2 とした時、０．２≦
（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足するため、内部電極層先
端付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、内
部電極層先端付近での電界集中に起因する応力集中を抑
制することができ、機械的破壊を防止して積層型圧電ア
クチュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることがで
きる。
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータを示すもの
で、（ａ）平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断
面の一部を示す図である。
で、（ａ）平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断
面の一部を示す図である。
【図２】図１の凹溝およびその近傍を拡大して示す断面
図である。
図である。
【図３】凹溝の平坦状底面の長さと、発生する最大主応
力の圧電体層強度との比の関係を示すグラフである。
力の圧電体層強度との比の関係を示すグラフである。
【図４】絶縁体の誘電率ε2 と圧電体層の分極方向誘電
率ε1 の比ε2 ／ε1 と、アクチュエータ側面より充分
内部で発生する一様な電界値に対する内部電極層先端付
近にて集中する電界の値との比の関係を示すグラフであ
る。
率ε1 の比ε2 ／ε1 と、アクチュエータ側面より充分
内部で発生する一様な電界値に対する内部電極層先端付
近にて集中する電界の値との比の関係を示すグラフであ
る。
【図５】凹溝の底面隅部のＲ寸法と、Ｒ＝０の場合の最
大電界値で規格化した最大電界値の関係を示すグラフで
ある。
大電界値で規格化した最大電界値の関係を示すグラフで
ある。
【図６】凹溝の平坦状底面の相対的な加工誤差Ｅ／Ｌと
理想的な形状の最大電界値を基準とした最大電界値の増
大量の関係を示すグラフである。
理想的な形状の最大電界値を基準とした最大電界値の増
大量の関係を示すグラフである。
【図７】従来の積層型圧電アクチュエータの一部の断面
図である。
図である。
１１・・・アクチュエータ本体 １３・・・圧電体層 １５ａ、１５ｂ・・・内部電極層 １６ａ、１６ｂ・・・外部電極形成用側面 １７ａ、１７ｂ・・・外部電極 １９・・・凹溝 ２１・・・絶縁体 ２３・・・平坦状底面 ｔ1 ・・・内部電極層の厚さ ｔ2 ・・・圧電体層の厚さ Ｒ・・・凹溝の底面隅部のＲ半径 Ｌ・・・凹溝の平坦状底面の長さ
Claims (4)
- 【請求項１】複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交
互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第１内部電
極層または第２内部電極層とされ、該第１内部電極層、
第２内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出する
多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本
体の第１または第２内部電極層の端部が露出した側面に
それぞれ形成された外部電極とを具備するとともに、前
記アクチュエータ本体の側面に露出した第１または第２
内部電極層の端部間に、該第１または第２内部電極層間
に位置する第２または第１内部電極層の端部が底面に露
出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなる積
層型圧電アクチュエータにおいて、前記凹溝が前記圧電
体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平
坦状底面の積層方向における長さをＬ、前記内部電極層
の厚みをｔ1 、前記圧電体層の厚みをｔ2 とした時、
０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１の関係を満足すること
を特徴とする積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】圧電体層の分極方向誘電率ε1 と絶縁体の
誘電率ε2 との比が、ε2 ／ε1 ＜１の関係を満足する
ことを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項３】アクチュエータ本体が、四角柱の２つの側
面角部を面取りして形成され、他の側面よりも面積が狭
い２つの外部電極形成用側面を有する六角柱とされてい
ることを特徴とする請求項１または２記載の積層型圧電
アクチュエータ。 - 【請求項４】凹溝の底面隅部の曲率半径Ｒが、０．０５
ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2の関係を満足することを特徴とす
る請求項１乃至３のうちいずれかに記載の積層型圧電ア
クチュエータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24534899A JP3688946B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 積層型圧電アクチュエータ |
| US09/653,091 US6414417B1 (en) | 1999-08-31 | 2000-08-31 | Laminated piezoelectric actuator |
| DE10042893A DE10042893A1 (de) | 1999-08-31 | 2000-08-31 | Laminiertes piezoelektrisches Stellglied |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24534899A JP3688946B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001077436A true JP2001077436A (ja) | 2001-03-23 |
| JP3688946B2 JP3688946B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=17132346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24534899A Expired - Fee Related JP3688946B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3688946B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7061162B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-06-13 | Denso Corporation | Laminated piezoelectric element |
| JP2007300140A (ja) * | 2001-09-11 | 2007-11-15 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪デバイス |
| JP2008010529A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子 |
-
1999
- 1999-08-31 JP JP24534899A patent/JP3688946B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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