JP2001073178A - Electrode film joined body and its production - Google Patents

Electrode film joined body and its production

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JP2001073178A
JP2001073178A JP25337299A JP25337299A JP2001073178A JP 2001073178 A JP2001073178 A JP 2001073178A JP 25337299 A JP25337299 A JP 25337299A JP 25337299 A JP25337299 A JP 25337299A JP 2001073178 A JP2001073178 A JP 2001073178A
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platinum
solid polymer
polymer electrolyte
electrode
electrolyte membrane
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JP25337299A
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Japanese (ja)
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Akiko Miyake
明子 三宅
Tomoharu Maeseto
智晴 前背戸
Yutaka Ishii
豊 石井
Manabu Toyoshima
学 豊島
Seiji Hirai
清司 平井
Tsutomu Oi
勉 多井
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Shinko Pantec Co Ltd
Original Assignee
Shinko Pantec Co Ltd
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  • Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
  • Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrode film joined body of a low cost which is good in an adhesive property and lessens an increase of electrolytic voltage even if electrolysis is continued for a long time regardless of electrolytic temperature and a process for producing the same. SOLUTION: A gaseous oxygen-containing atmosphere is generated in a magnetron sputtering device. An electrode of iridium is formed as a cathode 1 and an electrode of a Nafion film as an anode 2 and a magnetic field is formed in parallel with the cathode surface. A high frequency is oscillated by using a high-frequency generator 4 in a direction orthogonal with the magnetic field, by which the particles of the iridium are jumped out of the cathode 1 and an iridium oxide layer is formed on the Nafion film of the anode 2. Platinum ions are then adsorbed by an ion exchange on the Nafion film and thereafter, the platinum ions are reduced by using a reducing agent, by which the platinum is deposited on the iridium oxide layer and the platinum layer and the iridium oxide layer are laminated on a solid-state high-polymer electrolytic film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体高分子電解質
型水電解装置等に用いることのできる電極膜接合体及び
その製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode membrane assembly which can be used in a solid polymer electrolyte type water electrolysis device and the like, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、固体高分子電解質膜を使用した高
効率の水電解が注目されている。この固体高分子を利用
した水電解法は、固体高分子電解質膜の両側に触媒電極
を接合した電極膜接合体を用いることを特徴としてお
り、電極膜接合体の製造方法としては、金属またはその
化合物を含むメッキ液を用いてイオン交換膜の表面に触
媒電極を形成する方法が提案されている。例えば、特開
平10−330979号公報には、カチオン交換樹脂膜
に白金イオンをイオン交換吸着させ、次いで、還元剤を
用いて上記膜表面に白金金属層を析出させた後、膜表面
の少なくとも片方の面上に電解メッキ法によりイリジウ
ムまたは白金−イリジウムからなる金属層を成長させる
ことからなる電極膜接合体の製造方法が開示されている
(以下「メッキ法」という)。
2. Description of the Related Art In recent years, attention has been paid to highly efficient water electrolysis using a solid polymer electrolyte membrane. This water electrolysis method using a solid polymer is characterized by using an electrode membrane assembly in which catalyst electrodes are joined to both sides of a solid polymer electrolyte membrane, and a method for producing an electrode membrane assembly includes a metal or a compound thereof. There has been proposed a method of forming a catalyst electrode on the surface of an ion exchange membrane using a plating solution containing the same. For example, JP-A-10-330979 discloses that a cation exchange resin membrane is subjected to ion exchange adsorption of platinum ions, and then a platinum metal layer is deposited on the membrane surface using a reducing agent, and then at least one of the membrane surfaces is deposited. (Hereinafter referred to as "plating method") is disclosed in which a metal layer made of iridium or platinum-iridium is grown on a surface by electrolytic plating.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、イリジウム
は酸素過電圧が低いため、上記メッキ法のようにイリジ
ウムを電極膜構成成分とすることは電解上有利である
が、イリジウムは化学的安定性に欠け、長時間にわたり
電解を実施した場合、イリジウムが溶出し、電解電圧が
上昇するという欠点がある。電解電圧の上昇傾向は、電
解温度が低い場合(室温〜約50℃)には促進されるの
で、電解温度を約60℃以上の高温に保持する必要があ
り、そのためには、ヒーターが必要である。
However, since iridium has a low oxygen overvoltage, it is advantageous in terms of electrolysis to use iridium as a component of an electrode film as in the above plating method, but iridium lacks chemical stability. However, when electrolysis is performed for a long time, iridium is eluted, and the electrolysis voltage increases. Since the tendency of increasing the electrolysis voltage is accelerated when the electrolysis temperature is low (room temperature to about 50 ° C.), it is necessary to maintain the electrolysis temperature at a high temperature of about 60 ° C. or more, and for that, a heater is required. is there.

【0004】また、固体高分子型水電解では、比抵抗が
1メガオーム以上の純水を使用するので、この純水の比
抵抗を維持するために、イオン交換樹脂を純水の循環ラ
インに設置するか又は純水中に不純物イオン(特に金属
イオン)が溶出しないように耐食性に優れた高級鋼(例
えば、チタン、SUS304、SUS316)を純水の
配管素材として用いることにより純水の純度を保つこと
ができる。ところが、イオン交換樹脂を使用した場合、
一般的にイオン交換樹脂の連続使用温度は約60℃を上
限とするため、電解温度を高くして電解を実施しようと
すれば、イオン交換樹脂に通す前に純水を一旦冷却し、
その後再びヒータを使用して純水の温度を所定の電解温
度に上げるという煩雑な工程を必要とする。また、冷却
装置および加熱装置が必要になるので、装置が高価にな
る。
Further, in the solid polymer type water electrolysis, since pure water having a specific resistance of 1 Mohm or more is used, an ion exchange resin is installed in a pure water circulation line in order to maintain the specific resistance of the pure water. Or high-grade steel (for example, titanium, SUS304, SUS316) having excellent corrosion resistance so that impurity ions (particularly metal ions) do not elute in pure water is used as a pure water piping material to maintain the purity of pure water. be able to. However, when ion exchange resin is used,
Generally, since the upper limit of the continuous use temperature of the ion exchange resin is about 60 ° C., if the electrolytic temperature is to be increased and the electrolysis is to be performed, the pure water is once cooled before passing through the ion exchange resin,
Thereafter, a complicated process of raising the temperature of the pure water to a predetermined electrolysis temperature again by using the heater is required. Further, since a cooling device and a heating device are required, the device becomes expensive.

【0005】一方、電流密度を小さくすれば電解電圧は
下がるため、電解温度を下げても電圧の上昇は少なく、
長時間電解を実施することが可能である。しかし、電流
密度を小さくすると、水電解によって同じ量のガスを発
生させるのに必要な電解面積を増やす必要があるので、
電解装置の規模が大きくなり、装置のコストが高くな
る。
On the other hand, if the current density is reduced, the electrolysis voltage is reduced.
It is possible to carry out electrolysis for a long time. However, reducing the current density requires increasing the electrolysis area required to generate the same amount of gas by water electrolysis,
The scale of the electrolysis apparatus is increased, and the cost of the apparatus is increased.

【0006】本発明は従来の技術の有するこのような問
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、密着
性が良好で、電解温度に関わらず長時間電解を継続して
も電解電圧の上昇が少ない低コストの電極膜接合体及び
その製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object the purpose of achieving good adhesion and maintaining electrolysis even when electrolysis is continued for a long time regardless of the electrolysis temperature. An object of the present invention is to provide a low-cost electrode membrane assembly with a small rise in voltage and a method for manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、マグネトロンスパッタリング法により固体
高分子電解質膜上に酸化イリジウム層を形成し、吸着還
元法により白金層を形成する方法を採用したので、従来
の方法に見られたすべての欠点が改善され、密着性が良
好で、電解温度に関わらず長時間電解を継続しても電解
電圧の上昇が少ない低コストの電極膜接合体を提供する
ことができる。
In order to achieve the above object, the present invention employs a method in which an iridium oxide layer is formed on a solid polymer electrolyte membrane by a magnetron sputtering method, and a platinum layer is formed by an adsorption reduction method. As a result, all disadvantages found in the conventional method are improved, the adhesion is good, and a low-cost electrode membrane assembly with a small increase in electrolysis voltage even when electrolysis is continued for a long time regardless of the electrolysis temperature. Can be provided.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】すなわち、本発明は、マグネトロ
ンスパッタリング装置内を酸素ガス含有雰囲気とし、イ
リジウムの電極を陰極とし、固体高分子電解質膜の電極
を陽極とし、陰極面に平行に磁場を形成し、この磁場と
直交する方向に所定電圧を印加するかまたは高周波を発
振させることにより、陰極からイリジウムの粒子を飛び
出させて陽極である固体高分子電解質膜上に酸化イリジ
ウム層を形成し、次いで、この固体高分子電解質膜に白
金イオンをイオン交換吸着せしめた後、該白金イオンを
還元剤を用いて還元して上記酸化イリジウム層の内側に
白金を析出させることにより、固体高分子電解質膜上に
白金層と酸化イリジウム層を積層することを特徴とする
電極膜接合体の製造方法を第一の発明とし、固体高分子
電解質膜に白金イオンをイオン交換吸着せしめた後、該
白金イオンを還元剤を用いて還元して上記酸化イリジウ
ム層の内側に白金を析出させることにより、固体高分子
電解質膜上に白金層を形成し、次いで、マグネトロンス
パッタリング装置内を酸素ガス含有雰囲気とし、イリジ
ウムの電極を陰極とし、上記固体高分子電解質膜の電極
を陽極とし、陰極面に平行に磁場を形成し、この磁場と
直交する方向に所定電圧を印加するかまたは高周波を発
振させて、陰極からイリジウムの粒子を飛び出させて陽
極である固体高分子電解質膜上に酸化イリジウム層を形
成することにより、固体高分子電解質膜上に白金層と酸
化イリジウム層を積層することを特徴とする電極膜接合
体の製造方法を第二の発明とし、上記第一または第二の
発明において、表面を予めブラスト処理により凹凸状に
形成した固体高分子電解質膜を使用することを特徴とす
る電極膜接合体の製造方法を第三の発明とし、上記第
一、第二または第三の発明において、マグネトロンスパ
ッタリングを間欠的に行うことを特徴とする電極膜接合
体の製造方法を第四の発明とし、固体高分子電解質膜の
表面に白金層と酸化イリジウム層が積層されてなる電極
膜接合体を第五の発明とし、上記第五の発明において、
白金層は吸着還元法により形成されたものであり、酸化
イリジウム層はマグネトロンスパッタリング法により形
成されたものであることを特徴とする電極膜接合体を第
六の発明とする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS That is, according to the present invention, a magnetron sputtering apparatus is provided with an oxygen gas-containing atmosphere, an iridium electrode is used as a cathode, a solid polymer electrolyte membrane electrode is used as an anode, and a magnetic field is formed parallel to the cathode surface. Then, by applying a predetermined voltage or oscillating a high frequency in a direction orthogonal to this magnetic field, iridium particles are ejected from the cathode to form an iridium oxide layer on the solid polymer electrolyte membrane as the anode, and then After the platinum ions are ion-exchanged and adsorbed on the solid polymer electrolyte membrane, the platinum ions are reduced using a reducing agent to deposit platinum on the inside of the iridium oxide layer. A method for manufacturing an electrode membrane assembly comprising laminating a platinum layer and an iridium oxide layer on a solid polymer electrolyte membrane according to the first invention. After the ion-exchange adsorption of the platinum ion, the platinum ion is reduced using a reducing agent to deposit platinum inside the iridium oxide layer, thereby forming a platinum layer on the solid polymer electrolyte membrane. The inside of the magnetron sputtering apparatus is set to an atmosphere containing oxygen gas, the iridium electrode is used as a cathode, the solid polymer electrolyte membrane electrode is used as an anode, and a magnetic field is formed in parallel with the cathode surface, and a predetermined voltage is applied in a direction orthogonal to the magnetic field. By applying or oscillating a high frequency, the iridium particles are ejected from the cathode to form an iridium oxide layer on the solid polymer electrolyte membrane serving as the anode, thereby forming a platinum layer and iridium oxide on the solid polymer electrolyte membrane. The second invention is a method for producing an electrode membrane assembly characterized by laminating layers, and in the first or second invention, the surface is blasted in advance. The third invention is a method for manufacturing an electrode membrane assembly, characterized by using a solid polymer electrolyte membrane formed in an uneven shape by the method, wherein in the first, second or third invention, magnetron sputtering is performed. The method for manufacturing an electrode membrane assembly characterized by performing intermittently is referred to as a fourth invention, and a fifth embodiment is an electrode membrane assembly having a platinum layer and an iridium oxide layer laminated on the surface of a solid polymer electrolyte membrane. In the fifth invention,
A sixth aspect of the present invention is an electrode film assembly, wherein the platinum layer is formed by an adsorption reduction method, and the iridium oxide layer is formed by a magnetron sputtering method.

【0009】上記のように構成される第一の発明によれ
ば、陰極面に平行に磁場を形成し、この磁場と直交する
方向に所定電圧(100〜400V)を印加するかまた
は高周波を発振させることにより、電子に働くローレン
ツ力により電子が陰極面上で高速のサイクロン運動をす
るため、陰極近傍のガスが電離してグロー放電プラズマ
が発生し、多量のイオンが生成される。かくして、高速
に加速された多くのイオンによるスパッタリングで陰極
から飛び出したイリジウムの粒子は酸素ガス含有雰囲気
中をローレンツ力によりサイクロン運動をしながら陽極
側に到達し、かくして、係るマグネトロンスパッタリン
グ法により固体高分子電解質膜上に酸化イリジウム層が
形成される。
According to the first aspect of the present invention, a magnetic field is formed parallel to the cathode surface, and a predetermined voltage (100 to 400 V) is applied in a direction orthogonal to the magnetic field or a high frequency is oscillated. By doing so, the electrons perform high-speed cyclone motion on the cathode surface due to the Lorentz force acting on the electrons, so that the gas near the cathode is ionized and glow discharge plasma is generated to generate a large amount of ions. Thus, the iridium particles that jumped out of the cathode by sputtering with many ions accelerated at high speed reach the anode side while performing cyclone motion in an oxygen gas-containing atmosphere by Lorentz force, and thus, the solid state magnetism is reduced by the magnetron sputtering method. An iridium oxide layer is formed on the molecular electrolyte membrane.

【0010】次に、この固体高分子電解質膜に白金イオ
ンをイオン交換吸着せしめる。白金イオンの形態は特に
限定されないが、アンミン錯イオンの形態で吸着させる
のが好ましい。
Next, platinum ions are ion-exchanged and adsorbed on the solid polymer electrolyte membrane. The form of the platinum ion is not particularly limited, but is preferably adsorbed in the form of an ammine complex ion.

【0011】吸着工程に引き続いて、白金イオンを還元
剤を用いて還元する還元工程を行う。白金層を固体高分
子電解質膜の表層に形成するため、穏和な条件で徐々に
液相還元することが好ましい。例えば、還元剤として
は、水素化硼素塩水溶液が好ましい。水素化硼素塩水溶
液としては、例えば、水素化硼素ナトリウム、水素化硼
素カリウム、水素化硼素アンモニウム等を挙げることが
できる。かくして、固体高分子電解質膜上に白金層と酸
化イリジウム層を積層させた電極膜接合体を製造するこ
とができる。
Subsequent to the adsorption step, a reduction step of reducing platinum ions with a reducing agent is performed. In order to form the platinum layer on the surface of the solid polymer electrolyte membrane, it is preferable to gradually reduce the liquid phase under mild conditions. For example, as the reducing agent, a borohydride aqueous solution is preferable. Examples of the aqueous borohydride solution solution include, for example, sodium borohydride, potassium borohydride, ammonium borohydride, and the like. Thus, an electrode membrane assembly in which the platinum layer and the iridium oxide layer are laminated on the solid polymer electrolyte membrane can be manufactured.

【0012】第一の発明に代えて第二の発明のように、
まず、吸着還元法により固体高分子電解質膜上に白金層
を形成し、次いで、この固体高分子電解質膜の電極を陽
極とし、イリジウムの電極を陰極とし、同上マグネトロ
ンスパッタリング法により、白金層上に酸化イリジウム
層を積層させた電極膜接合体を製造することができる。
[0012] Instead of the first invention, as in the second invention,
First, a platinum layer is formed on the solid polymer electrolyte membrane by the adsorption reduction method, and then the electrode of the solid polymer electrolyte membrane is used as an anode, the iridium electrode is used as a cathode, and the magnetron sputtering method is used to form a platinum layer on the platinum layer. An electrode film assembly in which an iridium oxide layer is stacked can be manufactured.

【0013】また、表面を予めブラスト処理により凹凸
状に形成した固体高分子電解質膜を使用することによ
り、固体高分子電解質膜と電極触媒の接合界面の面積が
増加し、電解性能が向上する。
Further, by using a solid polymer electrolyte membrane whose surface has been previously formed into an uneven shape by blasting, the area of the bonding interface between the solid polymer electrolyte membrane and the electrode catalyst is increased, and the electrolytic performance is improved.

【0014】さらに、マグネトロンスパッタリングを間
欠的に行えば、固体高分子電解質膜が過度に加熱される
ことなく、酸化イリジウム層の形成をスムーズに行え
る。
Further, if the magnetron sputtering is performed intermittently, the iridium oxide layer can be formed smoothly without excessively heating the solid polymer electrolyte membrane.

【0015】[0015]

【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図1は、マグネトロンスパッタリング装置の
概略構成図であり、外径Dは1.0m、長さLは1.7
mである。図1において、1はイリジウム製の陰極、2
はナフィオン117からなる固体高分子電解質膜の陽極
であり、陰極1と陽極2間の距離は75mmとした。イ
リジウム陰極1は、外径が120mmで、厚さが5mm
の円板体であり、純度が99.9%のものである。ナフ
ィオン117の膜(デュポン社製のフッ素樹脂系スルホ
ン酸カチオン交換膜、以下、「ナフィオン膜」という)
は、一辺の大きさが125mmで、厚さが180μmの
正方形であり、中央部に直径80mmの円形部分が露出
するように、ナフィオン膜からなる陽極2は薄鋼板3で
両面をマスキングした。また、ナフィオン膜としては、
マグネトロンスパッタリングに先だって、予め酸化イリ
ジウムの薄膜がコーティングされる部分(上記した直径
80mmの円形部分)をガラスビーズでブラスト処理し
てその表面に凹凸部が形成されるように荒らし、超音波
洗浄した後、塩酸煮沸および純水煮沸を行い、次いで、
デシケータ内で室温で自然乾燥したものを用いた。4は
高周波発振器、5aは放電ガスの通入口、5bは排気口
である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a magnetron sputtering apparatus. The outer diameter D is 1.0 m and the length L is 1.7.
m. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cathode made of iridium;
Is the anode of a solid polymer electrolyte membrane made of Nafion 117, and the distance between the cathode 1 and the anode 2 was 75 mm. The iridium cathode 1 has an outer diameter of 120 mm and a thickness of 5 mm.
And a purity of 99.9%. Nafion 117 membrane (DuPont fluororesin sulfonic acid cation exchange membrane, hereinafter referred to as "Nafion membrane")
The anode 2 made of a Nafion film was masked on both sides with a thin steel plate 3 such that a square having a size of 125 mm on one side and a thickness of 180 μm was exposed at the center and a circular portion having a diameter of 80 mm was exposed. In addition, as the Nafion membrane,
Prior to magnetron sputtering, the portion coated with a thin film of iridium oxide (the above-described circular portion having a diameter of 80 mm) is blasted with glass beads to roughen the surface so that an uneven portion is formed, and then subjected to ultrasonic cleaning. , Boiling with hydrochloric acid and boiling with pure water,
What was air-dried at room temperature in a desiccator was used. Reference numeral 4 denotes a high-frequency oscillator, 5a denotes a discharge gas inlet / outlet, and 5b denotes an exhaust outlet.

【0016】以上のように構成されるマグネトロンスパ
ッタリング装置を用いてナフィオン膜上に酸化イリジウ
ムの薄膜を形成し、その酸化イリジウムの薄膜からなる
酸化イリジウム層の内面に白金層を形成する実験を行っ
たので、以下に説明する。
An experiment was conducted in which an iridium oxide thin film was formed on a Nafion film using the magnetron sputtering apparatus configured as described above, and a platinum layer was formed on the inner surface of the iridium oxide layer formed of the iridium oxide thin film. Therefore, it will be described below.

【0017】なお、本実施例では上記の寸法のイリジウ
ム製の陰極とナフィオン117の膜からなる陽極を用い
たが、本発明はそれらの寸法に限定されるものではな
い。 (1)実施例1 装置内雰囲気をアルゴンガスと酸素の混合雰囲気とし、
装置内圧は2×10-3torrに保持し、酸素分圧は全圧の
20%とした。そして、陰極面に平行に500ガウスの
大きさの磁場を形成し、高周波発振器4により出力40
0Wの高周波を断続的に陰極1と陽極2の間に20分間
発振させた。その結果、陰極近傍に生成したグロープラ
ズマにより陰極を飛び出たイリジウム粒子はローレンツ
力によりサイクロン運動を行いながら陽極に到達し、酸
化イリジウムの薄膜6が陽極(ナフィオン膜)2上に形
成された。その結果得られたナフィオン膜の断面を走査
型電子顕微鏡で観察したところ、図2に示すように、ブ
ラスティングで荒らされたナフィオン膜7の表面の凹部
8にイリジウム粒子9が食い込み、いわゆるアンカー効
果で厚さ約1μmの酸化イリジウムの薄膜6がナフィオ
ン膜7にしっかりと固定されている様子が認められた。
しかし、ナフィオン膜7内部にイリジウム粒子は認めら
れなかった。
In this embodiment, an iridium cathode having the above dimensions and an anode made of a Nafion 117 film are used. However, the present invention is not limited to these dimensions. (1) Example 1 The atmosphere in the apparatus was a mixed atmosphere of argon gas and oxygen,
The internal pressure of the apparatus was maintained at 2 × 10 −3 torr, and the oxygen partial pressure was 20% of the total pressure. Then, a magnetic field having a magnitude of 500 Gauss is formed in parallel with the cathode surface, and an output 40
A high frequency of 0 W was intermittently oscillated between the cathode 1 and the anode 2 for 20 minutes. As a result, the iridium particles jumped out of the cathode by the glow plasma generated near the cathode reached the anode while performing cyclone motion by Lorentz force, and a thin film 6 of iridium oxide was formed on the anode (Nafion film) 2. When the cross section of the resulting Nafion film was observed with a scanning electron microscope, as shown in FIG. 2, the iridium particles 9 penetrated into the concave portions 8 on the surface of the Nafion film 7 roughened by blasting, so-called anchor effect. It was observed that the iridium oxide thin film 6 having a thickness of about 1 μm was firmly fixed to the Nafion film 7.
However, no iridium particles were found inside the Nafion film 7.

【0018】次に、図3(a)に示すように、酸化イリ
ジウムの薄膜6を片側の表面に形成したナフィオン膜7
を純水に浸漬した後、塩酸煮沸と純水煮沸処理を行い、
ナフィオン膜7を含水状態にした。その後、白金アンミ
ン錯溶液を用いて白金イオン10を飽和吸着量に達する
まで室温でイオン交換吸着させた(図3(b))。
Next, as shown in FIG. 3A, a Nafion film 7 in which a thin film 6 of iridium oxide is formed on one surface.
After immersion in pure water, boil hydrochloric acid and boil with pure water,
The Nafion membrane 7 was hydrated. Thereafter, platinum ion 10 was ion-exchanged and adsorbed at room temperature until the saturated adsorption amount was reached using a platinum ammine complex solution (FIG. 3 (b)).

【0019】次いで、白金イオンを吸着させたナフィオ
ン膜を純水で洗浄した後、温度が40℃の水素化硼素ナ
トリウムで還元処理を開始し、徐々に温度を上げるとと
もに水素化硼素ナトリウムを添加しながら、最終的に温
度を60℃まで上げて1〜1.5時間還元処理を行っ
て、図3(c)に示すように、ナフィオン膜7の片側に
おいて、酸化イリジウムの薄膜からなる酸化イリジウム
層11の内側に白金を析出させ、ナフィオン膜7上に白
金層12と酸化イリジウム層11を積層し、他方の表面
に白金を析出させて白金層12を形成した電極膜接合体
13を得た。 (2)実施例2 実施例1は、マグネトロンスパッタリング法によりナフ
ィオン膜上に酸化イリジウムの薄膜からなる酸化イリジ
ウム層を形成した後に、吸着還元法により酸化イリジウ
ム層の内側に白金層を形成したが、実施例2として、ま
ず、吸着還元法によりナフィオン膜上に白金層を形成し
た後、マグネトロンスパッタリング法によりその白金層
上に酸化イリジウムの薄膜からなる酸化イリジウム層を
形成する方法を実施した。
Next, the Nafion membrane on which the platinum ions have been adsorbed is washed with pure water, and then a reduction treatment is started with sodium borohydride at a temperature of 40 ° C., while the temperature is gradually raised and sodium borohydride is added. Finally, the temperature was raised to 60 ° C. and a reduction treatment was performed for 1 to 1.5 hours. As shown in FIG. 3C, on one side of the Nafion film 7, an iridium oxide layer formed of a thin film of iridium oxide was formed. Platinum was deposited inside 11, a platinum layer 12 and an iridium oxide layer 11 were laminated on the Nafion film 7, and platinum was deposited on the other surface to obtain an electrode membrane assembly 13 in which the platinum layer 12 was formed. (2) Example 2 In Example 1, after forming an iridium oxide layer formed of a thin film of iridium oxide on a Nafion film by magnetron sputtering, a platinum layer was formed inside the iridium oxide layer by adsorption reduction. In Example 2, a method was first performed in which a platinum layer was formed on a Nafion film by an adsorption reduction method, and then an iridium oxide layer composed of a thin film of iridium oxide was formed on the platinum layer by magnetron sputtering.

【0020】すなわち、酸化イリジウムの薄膜がコーテ
ィングされる部分を予めガラスビーズでブラスト処理し
てその表面に凹凸部が形成されるように荒らし、超音波
洗浄した後、塩酸煮沸および純水煮沸を行ったナフィオ
ン膜を、同上イオン交換吸着処理により、図4(a)に
示すように、ナフィオン膜7の内部に白金イオン10を
吸着させた。
That is, a portion to be coated with a thin film of iridium oxide is previously blasted with glass beads to roughen the surface so as to form an uneven portion, and is subjected to ultrasonic cleaning, followed by boiling with hydrochloric acid and boiling with pure water. As shown in FIG. 4A, the Nafion membrane was adsorbed with platinum ions 10 in the Nafion membrane 7 by the ion exchange adsorption treatment.

【0021】次いで、白金イオンを吸着させたナフィオ
ン膜を純水で洗浄した後、同上還元処理を行うことによ
り、図4(b)に示すように、ナフィオン膜7の表面に
白金を析出させて白金層12を形成した。
Next, the Nafion film on which the platinum ions have been adsorbed is washed with pure water, and then subjected to a reduction treatment to deposit platinum on the surface of the Nafion film 7 as shown in FIG. A platinum layer 12 was formed.

【0022】さらに、上記還元処理によって表面に白金
を析出させたナフィオン膜を純水洗浄した後、デシケー
タ内で室温で自然乾燥したものを、図1に示すマグネト
ロンスパッタリング装置の陽極として同上マグネトロン
スパッタリング法により、図4(c)に示すように、ナ
フィオン膜7の片側の面上に白金層12と酸化イリジウ
ム層11を積層し、他方の面上に白金層12を形成した
電極膜接合体14を得ることができた。
Further, the Nafion film on which platinum was deposited on the surface by the above reduction treatment was washed with pure water, and then naturally dried at room temperature in a desiccator, and used as an anode of a magnetron sputtering apparatus shown in FIG. Thereby, as shown in FIG. 4C, the electrode film assembly 14 in which the platinum layer 12 and the iridium oxide layer 11 are laminated on one surface of the Nafion film 7 and the platinum layer 12 is formed on the other surface is formed. I got it.

【0023】なお、上記実施例1、2ともに、酸化イリ
ジウム層11をナフィオン膜7の片面に形成したのは、
酸素過電圧を低くできる酸化イリジウムを陽極側に形成
すれば、電解電圧を低くすることができる効果があり、
且つ使用する酸化イリジウム量も低減できるからであ
る。しかしながら、本発明はこれに限定されるものでは
なく、ナフィオン膜7の両面に酸化イリジウム層11を
形成してもよい。 (3)本発明の適用例の説明 本発明の電極膜接合体は、例えば、図5に示すように、
固体高分子電解質型水電解装置に使用することができ
る。図5において、電解セル15は、多数の固体高分子
電解質膜ユニット16を並列させたものであり、両端に
通電用の端部電極板17、17を備えている。固体高分
子電解質膜ユニット16は、主として固体高分子電解質
膜18と、その固体高分子電解質膜18の両面に添設さ
れる多孔質給電体19、19と、その多孔質給電体1
9、19の外側に配設される複極式電極板20、20と
から構成される。固体高分子電解質膜18はプロトン導
電性材料からなる高分子膜である。複極式電極板20
は、通電により片面が陰極に、もう一方の面が陽極にな
るものである。1つの複極式電極板20をとってみれ
ば、それは左右両側の固体高分子電解質膜ユニット1
6、16に共通の構成部材となっている。
In both the first and second embodiments, the iridium oxide layer 11 was formed on one surface of the Nafion film 7 because:
Forming iridium oxide on the anode side that can lower the oxygen overvoltage has the effect of lowering the electrolysis voltage,
In addition, the amount of iridium oxide used can be reduced. However, the present invention is not limited to this, and the iridium oxide layers 11 may be formed on both surfaces of the Nafion film 7. (3) Description of Application Example of the Present Invention The electrode membrane assembly of the present invention is, for example, as shown in FIG.
It can be used for a solid polymer electrolyte type water electrolysis device. In FIG. 5, an electrolysis cell 15 is formed by arranging a large number of solid polymer electrolyte membrane units 16 in parallel, and is provided with end electrode plates 17 for current supply at both ends. The solid polymer electrolyte membrane unit 16 mainly includes a solid polymer electrolyte membrane 18, porous feeders 19, 19 provided on both surfaces of the solid polymer electrolyte membrane 18, and the porous feeder 1.
And bipolar electrode plates 20, 20 disposed outside of the electrodes 9, 19. The solid polymer electrolyte membrane 18 is a polymer membrane made of a proton conductive material. Bipolar electrode plate 20
Is such that one side becomes a cathode and the other side becomes an anode by energization. If one bipolar electrode plate 20 is taken, it is composed of the solid polymer electrolyte membrane units 1 on both the left and right sides.
These components are common to the components 6 and 16.

【0024】図6は、1つの固体高分子電解質膜ユニッ
ト16の分解断面図であり、固体高分子電解質膜18の
両面には白金族金属からなる多孔質の金属薄膜21が設
けられている。固体高分子電解質膜18と金属薄膜21
から構成されるものが本発明の電極膜接合体に相当す
る。固体高分子電解質膜18の両側には、この固体高分
子電解質膜18と複極式電極板20、20と環状のガス
ケット22で囲まれてシールされた空間が形成され、こ
のそれぞれが、後記する陰極室Aおよび陽極室B(図6
中2点鎖線で示されたもの)となる。この陰極室Aおよ
び陽極室Bのそれぞれに多孔質給電体19が収容されて
いる。固体高分子電解質膜としては、上記実施例で説明
したようなカチオン交換膜(例えば、フッ素樹脂系スル
ホン酸カチオン交換膜、デュポン社製「ナフィオン11
7」「ナフィオン115」など)が好ましい。
FIG. 6 is an exploded sectional view of one solid polymer electrolyte membrane unit 16, and a porous metal thin film 21 made of a platinum group metal is provided on both surfaces of the solid polymer electrolyte membrane 18. Solid polymer electrolyte membrane 18 and metal thin film 21
Are equivalent to the electrode membrane assembly of the present invention. On both sides of the solid polymer electrolyte membrane 18, there are formed sealed spaces surrounded by the solid polymer electrolyte membrane 18, the bipolar electrode plates 20, 20, and the annular gasket 22, which will be described later. The cathode chamber A and the anode chamber B (FIG. 6)
(Shown by a two-dot chain line). A porous power supply 19 is accommodated in each of the cathode chamber A and the anode chamber B. As the solid polymer electrolyte membrane, a cation exchange membrane as described in the above examples (for example, a fluororesin sulfonic acid cation exchange membrane, “Nafion 11” manufactured by DuPont)
7 "and" Nafion 115 ").

【0025】そこで、図5に示すように、端部電極板1
7、17間に図5中左側が陽極、右側が陰極になるよう
に電流を通電すると、各複極式電極板20は左側に陰
極、右側に陽極を生じさせる。このため、1つの複極式
電極板20はその複極式電極板の図中左側の固体高分子
電解質膜ユニット16では陰極側23の構成部材とな
り、図中右側の固体高分子電解質膜ユニット16では陽
極側24の構成部材となる。こうして、図6に示すよう
に、1つの固体高分子電解質膜ユニット16には固体高
分子電解質膜18より右側の陰極室Aと固体高分子電解
質膜18より左側の陽極室Bとが形成される。
Therefore, as shown in FIG.
When a current is applied between the electrodes 7 and 17 so that the left side in FIG. 5 becomes an anode and the right side becomes a cathode, each bipolar electrode plate 20 generates a cathode on the left side and an anode on the right side. For this reason, one bipolar electrode plate 20 becomes a constituent member on the cathode side 23 in the solid polymer electrolyte membrane unit 16 on the left side in the figure of the bipolar electrode plate, and the solid polymer electrolyte membrane unit 16 on the right side in the figure. Then, it becomes a constituent member on the anode side 24. Thus, as shown in FIG. 6, a cathode chamber A on the right side of the solid polymer electrolyte membrane 18 and an anode chamber B on the left side of the solid polymer electrolyte membrane 18 are formed in one solid polymer electrolyte membrane unit 16. .

【0026】この状態で純水供給経路25(図5参照)
を通じて純水を陽極室Bに供給すれば、陽極室Bでは、 2H2O → O2+4H+ +4e- の反応が起こり、酸素ガスが発生する。陽極室Bで発生
したプロトンはプロトン導電性である固体高分子電解質
膜18内を少量の水を伴って移動し、陰極室Aに到達す
る。陰極室Aでは、この到達したプロトンに、 4H+ +4e- → 2H2 の反応が起こり、水素ガスが発生する。 (4)電解テスト 以上のようにして作製した直径80mm(電解面積50cm
2) の電極膜接合体を用いて、実際に純水の水電解(電
流密度1.4A/cm2) を行った。また、比較のため
に、特開平10−330979号公報に記載されている
ように、カチオン交換樹脂膜(ナフィオン膜)に白金イ
オンをイオン交換吸着させ、次いで、還元剤を用いて上
記膜表面に白金金属層を析出させた後、膜表面に無電解
メッキ法によりイリジウムの金属層を成長させた電極膜
接合体を用いて、1個の固体高分子電解質膜ユニットを
有する装置により実際に純水の水電解(電流密度1.4
A/cm2)を行った。 なお、電解温度は30℃と80
℃で行った。
In this state, the pure water supply path 25 (see FIG. 5)
When pure water is supplied to the anode chamber B through the reaction chamber, a reaction of 2H 2 O → O 2 + 4H + + 4e occurs in the anode chamber B, and oxygen gas is generated. The protons generated in the anode chamber B move in the proton-conductive solid polymer electrolyte membrane 18 with a small amount of water, and reach the cathode chamber A. In the cathode chamber A, a reaction of 4H + + 4e → 2H 2 occurs with the reached protons, and hydrogen gas is generated. (4) Electrolysis test The diameter 80 mm (electrolysis area 50 cm) produced as described above
Using the electrode membrane assembly 2 ), water electrolysis of pure water (current density 1.4 A / cm 2 ) was actually performed. For comparison, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-330979, platinum ions are ion-exchanged and adsorbed on a cation exchange resin membrane (Nafion membrane). After depositing a platinum metal layer, using an electrode membrane assembly in which an iridium metal layer is grown on the membrane surface by an electroless plating method, using a device having one solid polymer electrolyte membrane unit to actually purify pure water Water electrolysis (current density 1.4
A / cm 2 ). The electrolysis temperature was 30 ° C and 80 ° C.
C. was performed.

【0027】その結果、電解温度が80℃の場合、セル
電圧は図7に示すように推移し、電解温度が30℃の場
合、セル電圧は図8に示すように推移した。いずれの図
においても、本発明に係る実施例のものはセル電圧はほ
とんど上昇せず、安定していたが、比較例のものは80
℃の場合、徐々にセル電圧が上昇し、30℃の場合、電
解直後に急激にセル電圧が上昇した。
As a result, when the electrolysis temperature was 80 ° C., the cell voltage changed as shown in FIG. 7, and when the electrolysis temperature was 30 ° C., the cell voltage changed as shown in FIG. In each of the figures, the cell according to the example of the present invention hardly increased the cell voltage and was stable, while the cell according to the comparative example was 80%.
In the case of ° C, the cell voltage gradually increased, and in the case of 30 ° C, the cell voltage rapidly increased immediately after electrolysis.

【0028】このように本発明に係る電極膜接合体を用
いて電解を行うことにより、セル電圧が上昇せずに長時
間安定して低い電圧で水電解を行うことが可能である。
As described above, by performing electrolysis using the electrode membrane assembly according to the present invention, it is possible to stably perform water electrolysis at a low voltage for a long time without increasing the cell voltage.

【0029】なお、上記実施例において使用したマグネ
トロンスパッタリング装置は、高周波の交流電源を利用
するものであるが、これに限定されず、直流電源を利用
するものを用いることもできる。
The magnetron sputtering apparatus used in the above embodiment uses a high-frequency AC power supply, but is not limited to this, and may use a DC power supply.

【0030】なお、メッキ法以外の電極膜接合体の製造
方法としては、ホットプレス法があるが、本発明による
製造方法はこれに比べて固体高分子電解質膜と電極触媒
の接合が強く、電解時に上記触媒が脱落することがな
い。また、電解触媒層の厚さを薄くできるので、経済的
である。
As a method for producing an electrode membrane assembly other than the plating method, there is a hot press method. However, the production method according to the present invention has a stronger bonding between the solid polymer electrolyte membrane and the electrode catalyst, and the electrolytic Sometimes the catalyst does not fall off. Further, the thickness of the electrolytic catalyst layer can be reduced, which is economical.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明は上記のとおり構成されているの
で、密着性が良好で、電解温度に関わらず長時間電解を
継続しても電解電圧の上昇が少ない低コストの電極膜接
合体及びその製造方法を提供することができる。
Since the present invention is constituted as described above, the low-cost electrode membrane assembly having good adhesion and little increase in electrolysis voltage even when electrolysis is continued for a long time regardless of electrolysis temperature. The manufacturing method can be provided.

【0032】特に、請求項3記載の発明によれば、固体
高分子電解質膜と酸化イリジウム層の密着性の向上と接
合界面の面積の増加による電解性能の向上を図ることが
できる。
In particular, according to the third aspect of the present invention, it is possible to improve the adhesion between the solid polymer electrolyte membrane and the iridium oxide layer and the electrolytic performance by increasing the area of the bonding interface.

【0033】特に、請求項4記載の発明によれば、酸化
イリジウム層の形成をスムーズに行うことができる。
In particular, according to the fourth aspect of the invention, the iridium oxide layer can be formed smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】マグネトロンスパッタリング装置の一例を示す
概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a magnetron sputtering apparatus.

【図2】固体高分子電解質膜上に金属薄膜を形成した一
例を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example in which a metal thin film is formed on a solid polymer electrolyte membrane.

【図3】電極膜接合体の製造工程の一例を模式的に示す
図である。
FIG. 3 is a diagram schematically illustrating an example of a manufacturing process of an electrode membrane assembly.

【図4】電極膜接合体の製造工程の別の例を模式的に示
す図である。
FIG. 4 is a view schematically showing another example of the manufacturing process of the electrode membrane assembly.

【図5】固体高分子電解質型水電解装置に用いられる電
解セルの一例を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of an electrolytic cell used in a solid polymer electrolyte type water electrolysis device.

【図6】図5に示す電解セルの固体高分子電解質膜ユニ
ットの分解断面図である。
6 is an exploded cross-sectional view of the solid polymer electrolyte membrane unit of the electrolytic cell shown in FIG.

【図7】水電解におけるセル電圧の推移の一例を示す図
である。
FIG. 7 is a diagram showing an example of a transition of a cell voltage in water electrolysis.

【図8】水電解におけるセル電圧の推移の別の例を示す
図である。
FIG. 8 is a diagram showing another example of the transition of the cell voltage in water electrolysis.

【符号の説明】 1…陰極 2…陽極 4…高周波発振器 6…酸化イリジウムの薄膜 7…ナフィオン膜 9…イリジウム粒子 10…白金イオン 11…酸化イリジウム層 12…白金層 13…電極膜接合体 14…電極膜接合体 15…電解セル 16…固体高分子電解質膜ユニット 18…固体高分子電解質膜 A…陰極室 B…陽極室DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cathode 2 ... Anode 4 ... High frequency oscillator 6 ... Iridium oxide thin film 7 ... Nafion film 9 ... Iridium particles 10 ... Platinum ion 11 ... Iridium oxide layer 12 ... Platinum layer 13 ... Electrode film assembly 14 ... Electrode membrane assembly 15 ... Electrolysis cell 16 ... Solid polymer electrolyte membrane unit 18 ... Solid polymer electrolyte membrane A ... Cathode chamber B ... Anode chamber

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 豊島 学 兵庫県神戸市須磨区白川台3丁目38−53− 6104 (72)発明者 平井 清司 兵庫県加古川市別府町新野辺475−20 (72)発明者 多井 勉 兵庫県明石市魚住町西岡658−6 Fターム(参考) 4K011 AA31 AA32 BA01 BA07 DA01 4K029 AA11 AA24 BA43 BC00 BD00 CA06 FA02 FA07 GA03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Manabu Toshima 3-38-3 6104-6104 Shirakawadai, Suma-ku, Kobe-shi, Hyogo Inventor Tsutomu Tai 658-6 Nishioka, Uozumi-cho, Akashi-shi, Hyogo F-term (reference) 4K011 AA31 AA32 BA01 BA07 DA01 4K029 AA11 AA24 BA43 BC00 BD00 CA06 FA02 FA07 GA03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マグネトロンスパッタリング装置内を酸
素ガス含有雰囲気とし、イリジウムの電極を陰極とし、
固体高分子電解質膜の電極を陽極とし、陰極面に平行に
磁場を形成し、この磁場と直交する方向に所定電圧を印
加するかまたは高周波を発振させることにより、陰極か
らイリジウムの粒子を飛び出させて陽極である固体高分
子電解質膜上に酸化イリジウム層を形成し、次いで、こ
の固体高分子電解質膜に白金イオンをイオン交換吸着せ
しめた後、該白金イオンを還元剤を用いて還元して上記
酸化イリジウム層の内側に白金を析出させることによ
り、固体高分子電解質膜上に白金層と酸化イリジウム層
を積層することを特徴とする電極膜接合体の製造方法。
An oxygen gas-containing atmosphere in the magnetron sputtering apparatus, an iridium electrode as a cathode,
The solid polymer electrolyte membrane electrode is used as an anode, a magnetic field is formed parallel to the cathode surface, and a predetermined voltage is applied in a direction orthogonal to the magnetic field or high frequency is oscillated to cause iridium particles to fly out of the cathode. To form an iridium oxide layer on the solid polymer electrolyte membrane as the anode, and then ion-exchange adsorption of platinum ions on the solid polymer electrolyte membrane, and then reduce the platinum ions using a reducing agent, A method for producing an electrode membrane assembly, comprising depositing platinum inside an iridium oxide layer to laminate a platinum layer and an iridium oxide layer on a solid polymer electrolyte membrane.
【請求項2】 固体高分子電解質膜に白金イオンをイオ
ン交換吸着せしめた後、該白金イオンを還元剤を用いて
還元して上記酸化イリジウム層の内側に白金を析出させ
ることにより、固体高分子電解質膜上に白金層を形成
し、次いで、マグネトロンスパッタリング装置内を酸素
ガス含有雰囲気とし、イリジウムの電極を陰極とし、上
記固体高分子電解質膜の電極を陽極とし、陰極面に平行
に磁場を形成し、この磁場と直交する方向に所定電圧を
印加するかまたは高周波を発振させて、陰極からイリジ
ウムの粒子を飛び出させて陽極である固体高分子電解質
膜上に酸化イリジウム層を形成することにより、固体高
分子電解質膜上に白金層と酸化イリジウム層を積層する
ことを特徴とする電極膜接合体の製造方法。
2. The solid polymer electrolyte membrane, wherein platinum ions are ion-exchanged and adsorbed, and the platinum ions are reduced using a reducing agent to deposit platinum inside the iridium oxide layer. A platinum layer is formed on the electrolyte membrane, and then the inside of the magnetron sputtering apparatus is set to an oxygen gas-containing atmosphere, the iridium electrode is used as a cathode, the solid polymer electrolyte membrane electrode is used as an anode, and a magnetic field is formed parallel to the cathode surface. Then, by applying a predetermined voltage or oscillating a high frequency in a direction orthogonal to the magnetic field, by ejecting iridium particles from the cathode to form an iridium oxide layer on the solid polymer electrolyte membrane as the anode, A method for producing an electrode membrane assembly, comprising laminating a platinum layer and an iridium oxide layer on a solid polymer electrolyte membrane.
【請求項3】 表面を予めブラスト処理により凹凸状に
形成した固体高分子電解質膜を使用することを特徴とす
る請求項1または2記載の電極膜接合体の製造方法。
3. The method for producing an electrode membrane assembly according to claim 1, wherein a solid polymer electrolyte membrane having a surface formed in advance into an uneven shape by blasting is used.
【請求項4】 マグネトロンスパッタリングを間欠的に
行うことを特徴とする請求項1、2または3記載の電極
膜接合体の製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein magnetron sputtering is performed intermittently.
【請求項5】 固体高分子電解質膜の表面に白金層と酸
化イリジウム層が積層されてなる電極膜接合体。
5. An electrode membrane assembly in which a platinum layer and an iridium oxide layer are laminated on the surface of a solid polymer electrolyte membrane.
【請求項6】 白金層は吸着還元法により形成されたも
のであり、酸化イリジウム層はマグネトロンスパッタリ
ング法により形成されたものであることを特徴とする請
求項5記載の電極膜接合体。
6. The electrode film assembly according to claim 5, wherein the platinum layer is formed by an adsorption reduction method, and the iridium oxide layer is formed by a magnetron sputtering method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20010069918A (en) * 2001-05-18 2001-07-25 이수재 Plating apparatus
JP2008240069A (en) * 2007-03-27 2008-10-09 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd Method of manufacturing solid electrolyte membrane, solid electrolyte membrane and water electrolytic apparatus
JP2017115232A (en) * 2015-12-25 2017-06-29 株式会社東芝 Electrode, membrane electrode composite, electrochemical cell and stack

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