JP2001068615A - Power amplifier module - Google Patents

Power amplifier module

Info

Publication number
JP2001068615A
JP2001068615A JP24053199A JP24053199A JP2001068615A JP 2001068615 A JP2001068615 A JP 2001068615A JP 24053199 A JP24053199 A JP 24053199A JP 24053199 A JP24053199 A JP 24053199A JP 2001068615 A JP2001068615 A JP 2001068615A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
metal block
semiconductor chip
power amplification
amplification module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP24053199A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3410398B2 (en
Inventor
Masashi Takahara
誠志 高原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP24053199A priority Critical patent/JP3410398B2/en
Publication of JP2001068615A publication Critical patent/JP2001068615A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3410398B2 publication Critical patent/JP3410398B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance
    • H01L2924/30111Impedance matching

Landscapes

  • Amplifiers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power amplifier module of superior heat release characteristics by simple constitution. SOLUTION: This module includes substrates 1, a semiconductor chip 3 and a metal block 5. The substrate 1 has a clipped part 7 in the surface thereof. The metal block 5 is placed inside the clipped part 7 of the substrate 1. The semiconductor chip 3 is mounted on the surface of the metal block 5. Thereby a power amplifier module of superior heat release characteristics is provided by a simple constitution. And a miniature power amplifier module of superior heat release characteristics is provided. Further, the power amplifier module of superior heat release characteristics which is mounted and assembled with ease is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話などの通
信機器に用いられる電力増幅モジュールに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power amplification module used for a communication device such as a mobile phone.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、携帯電話をはじめとする通信機器
の普及により、マイクロ波帯の電力増幅モジュールの需
要が高まっている。この種の電力増幅モジュールは、例
えば、National Technical Report Vol. 42 No.1 Feb.1
966 の第101頁〜109頁に記載されているよう
に、基板に、電力増幅用半導体チップ及び受動回路部品
を搭載して、モジュール化した構造を有する。このよう
に、この種の電力増幅用モジュールは、電力増幅用半導
体チップ及び前記半導体とチップを用いた高周波電力増
幅回路から構成されるので、通信機に用いられる部品の
中で、最も電力消費量の多い部品であり、放熱性が極め
て重要な技術的改善項目になる。
2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of communication devices such as mobile phones, demand for microwave band power amplification modules has been increasing. This type of power amplification module is described in, for example, National Technical Report Vol. 42 No. 1 Feb. 1
As described in 966, pp. 101-109, it has a modularized structure in which a semiconductor chip for power amplification and passive circuit components are mounted on a substrate. As described above, since this type of power amplification module includes the semiconductor chip for power amplification and the high-frequency power amplification circuit using the semiconductor and the chip, the power consumption is the highest among the components used in the communication device. It is a component with many parts, and heat dissipation is a very important technical improvement item.

【0003】具体的には、半導体チップには、数百mA
から1.5A程度の電流が流れるため、発熱する。発生
した熱を何らかの放熱手段によって放散しないと、半導
体のチャネル温度の上昇につながり、オン抵抗が上昇
し、熱暴走に至り、ひいては、半導体チップが破損す
る。
Specifically, a semiconductor chip has several hundred mA.
Since a current of about 1.5 A flows from the device, heat is generated. If the generated heat is not dissipated by any heat dissipating means, the channel temperature of the semiconductor will increase, the on-resistance will increase, leading to thermal runaway, and eventually the semiconductor chip will be damaged.

【0004】電力増幅モジュールにおける放熱性を改善
する手段として、上記文献には、基板として、熱伝導の
良好な窒化アルミニウムを用いる方法、及び、アルミナ
基板にキャビティを設け、キャビティ内において、基板
の面上に半導体チップを搭載する方法を開示している。
[0004] As means for improving the heat dissipation in the power amplification module, the above-mentioned document discloses a method using aluminum nitride having good heat conductivity as a substrate, a method in which a cavity is provided in an alumina substrate, and a surface of the substrate is provided in the cavity. A method for mounting a semiconductor chip is disclosed above.

【0005】しかし、基板として、窒化アルミニウム基
板を用いる方法は、同文献にも記載されているように、
基板価格が高いという難点がある。
However, the method using an aluminum nitride substrate as the substrate is described in
There is a disadvantage that the substrate price is high.

【0006】アルミナ基板にキャビティを設け、キャビ
ティ内において、基板の面上に半導体チップを搭載する
方法は、窒化アルミニウム基板を用いる方法の難点を解
消しようとするものである。
A method of providing a cavity in an alumina substrate and mounting a semiconductor chip on the surface of the substrate in the cavity is to solve the difficulty of the method using an aluminum nitride substrate.

【0007】しかし、アルミナ基板は、所詮、誘電体材
料であるため、放熱性は、銅などの金属には、遠く及ば
ない。これを補う手段として、誘電体層の厚みを極力薄
くするなどの工夫がなされていたが、この場合には、基
板の構成が複雑になるばかりでなく、基板材質や構造が
限定されることにもなる。そして、基板材質や構造が限
定される関係上、形状の小型化が進展するにつれて、半
導体チップの放熱性能に限界も生じることになる。
However, since the alumina substrate is, after all, a dielectric material, the heat dissipation is far from metal such as copper. In order to compensate for this, various measures have been taken to reduce the thickness of the dielectric layer as much as possible.In this case, not only is the structure of the substrate complicated, but also the material and structure of the substrate are limited. Also. In addition, due to limitations on the substrate material and structure, as the miniaturization of the shape progresses, the heat dissipation performance of the semiconductor chip also becomes limited.

【0008】しかも、キャビティ内にワイヤーボンディ
ング実装用の段差を設けなければならないため、基板の
構成が複雑になる。更に、キャビティ内で半導体チップ
のボンディング作業を行う必要があるため、実装作業性
が悪い等の問題点も生じる。
Further, since a step for wire bonding mounting must be provided in the cavity, the structure of the substrate becomes complicated. Furthermore, since it is necessary to perform the bonding operation of the semiconductor chip in the cavity, there arises a problem that the mounting workability is poor.

【0009】別の放熱性改善手段として、キャビティ内
において半導体チップを支持する基板に、ビアホール
(放熱用貫通孔)を設ける構造も知られているが、十分
な放熱性を確保することができない。
As another means for improving heat dissipation, a structure in which a via hole (heat dissipation through-hole) is provided on a substrate supporting a semiconductor chip in a cavity is known, but sufficient heat dissipation cannot be secured.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、シン
プルな構成で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提
供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a power amplifier module having a simple structure and excellent heat dissipation.

【0011】本発明のもう一つの課題は、形状が小型
で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提供すること
である。
Another object of the present invention is to provide a power amplifier module having a small shape and excellent heat dissipation.

【0012】本発明の更にもう一つの課題は、実装組立
が容易で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを提供す
ることである。
Still another object of the present invention is to provide a power amplifier module which is easy to mount and assemble and has excellent heat dissipation.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る電力増幅モジュールは、少なくとも
1枚の基板と、半導体チップと、金属ブロックとを含
む。
In order to solve the above-mentioned problems, a power amplification module according to the present invention includes at least one substrate, a semiconductor chip, and a metal block.

【0014】前記基板は、面内に切り抜き部を有してお
り、前記金属ブロックは、前記基板の前記切り抜き部内
に配置されている。前記半導体チップは、前記金属ブロ
ックの表面に実装されている。
[0014] The substrate has a cutout in a plane, and the metal block is disposed in the cutout of the substrate. The semiconductor chip is mounted on a surface of the metal block.

【0015】上述したように、本発明に係る電力増幅モ
ジュールでは、半導体チップが金属ブロックの表面に実
装されているから、半導体チップに発生した熱を、金属
ブロックを通して放熱できる。金属ブロックは、アルミ
ナ等と比較して、著しく熱伝導度の優れた金属材料を用
いて構成され得る。このため、放熱性の極めて優れた電
力増幅モジュールが得られる。
As described above, in the power amplification module according to the present invention, since the semiconductor chip is mounted on the surface of the metal block, heat generated in the semiconductor chip can be radiated through the metal block. The metal block can be formed using a metal material having a significantly higher thermal conductivity than alumina or the like. For this reason, a power amplifying module with extremely excellent heat dissipation can be obtained.

【0016】しかも、基板は面内に切り抜き部を有して
おり、金属ブロックはこの基板の切り抜き部内に配置さ
れている。このため、シンプルな構成で、放熱性に優れ
た電力増幅モジュールを得ることができる。また、金属
ブロックを基板の切り抜き部内に配置し、金属ブロック
の表面に半導体チップを実装する構造であるので、実装
組立が容易である。
Moreover, the substrate has a cutout in the plane, and the metal block is disposed in the cutout of the substrate. For this reason, it is possible to obtain a power amplification module having a simple configuration and excellent heat dissipation. In addition, since the metal block is arranged in the cutout portion of the substrate and the semiconductor chip is mounted on the surface of the metal block, mounting and assembly is easy.

【0017】更に、金属ブロックの表面を、基板の表面
と位置合わせすることが容易であり、半導体チップのボ
ンディング作業を、段差のない表面で行うことができる
ため、実装作業が極めて容易になる。
Furthermore, it is easy to align the surface of the metal block with the surface of the substrate, and the bonding operation of the semiconductor chip can be performed on a surface having no step, so that the mounting operation becomes extremely easy.

【0018】具体的な一態様として、基板は、金属ブロ
ックの表面と対向する面側に、誘電体層を有していても
よい。この場合、前記誘電体層は、少なくとも一面側に
導体パターンを有し、前記導体パターンは前記誘電体層
よりも厚い構成とする。この構造によれば、誘電体層に
よる放熱性の影響を限りなく小さくするとともに、薄型
化を図ることができる。
As a specific mode, the substrate may have a dielectric layer on the side facing the surface of the metal block. In this case, the dielectric layer has a conductor pattern on at least one surface side, and the conductor pattern is configured to be thicker than the dielectric layer. According to this structure, the effect of heat dissipation by the dielectric layer can be minimized and the thickness can be reduced.

【0019】更に別の態様として、金属ケースを含み、
前記金属ケースを、前記金属ブロックの前記表面と対向
する面側で、前記金属ブロックに熱結合させてもよい。
この場合には、金属ケースを含む放熱体を構成し、放熱
特性を一層改善することができる。
In still another embodiment, the apparatus includes a metal case,
The metal case may be thermally coupled to the metal block on a side facing the surface of the metal block.
In this case, a heat radiator including a metal case is formed, and the heat radiation characteristics can be further improved.

【0020】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、実施例である添付図面を参照して更に具体的に説明
する。図は、単なる例示に過ぎない。
Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings which are embodiments. The figures are merely examples.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る電力増幅モジ
ュールの電気回路図である。図1に図示された電気回路
は、携帯電話を含む各種の通信機器において、マイクロ
波帯の電力増幅モジュールとして周知のものである。但
し、図1は単なる例示に過ぎず、本発明に係る電力増幅
モジュールが、図1に示される回路に限定されるもので
ないことは言うまでもない。
FIG. 1 is an electric circuit diagram of a power amplification module according to the present invention. The electric circuit shown in FIG. 1 is well known as a microwave band power amplification module in various communication devices including a mobile phone. However, FIG. 1 is merely an example, and it goes without saying that the power amplification module according to the present invention is not limited to the circuit shown in FIG.

【0022】図1において、FET1、FET2は2段
電力増幅回路を構成する。入力端子Pinから供給され
た入力信号は、コンデンサC2及びインピーダンス素子
Z1を通って、FET1のゲートに供給される。コンデ
ンサC2及びインピーダンス素子Z1は、入信号ライン
のインピ−ダンス(50Ω)と、インピーダンス整合を
とる整合回路を構成する。FET1によって電力増幅さ
れた信号は、インピーダンス素子Z2、コンデンサC
5、コンデンサC6及びインピーダンス素子Z3で構成
されたインピーダンス整合回路を通って、FET2のゲ
ートに供給される。FET2によって電力増幅された信
号は、インピーダンス素子Z4、コンデンサC9及びイ
ンピーダンス素子C10によって構成されたインピーダ
ンス制御回路を通して、出力端子Poutに導かれ、出
力端子Poutから出力される。
In FIG. 1, FET1 and FET2 constitute a two-stage power amplifier circuit. The input signal supplied from the input terminal Pin is supplied to the gate of the FET 1 through the capacitor C2 and the impedance element Z1. The capacitor C2 and the impedance element Z1 constitute a matching circuit that matches the impedance (50Ω) of the incoming signal line with the impedance. The signal power-amplified by the FET 1 includes an impedance element Z2, a capacitor C
5, is supplied to the gate of FET2 through an impedance matching circuit composed of a capacitor C6 and an impedance element Z3. The signal power-amplified by the FET 2 is guided to an output terminal Pout through an impedance control circuit including an impedance element Z4, a capacitor C9, and an impedance element C10, and is output from the output terminal Pout.

【0023】FET1のゲートには、抵抗R1〜R3及
びコンデンサC1、C3による回路が接続されている。
抵抗R1、R2は一端が互いに接続され、抵抗R1の他
端が第1の直流電源Vggに接続され、抵抗R2の他端
が接地されている。抵抗R3は、抵抗R1及び抵抗R2
の接続点と、FET1のゲートとの間に接続されてい
る。これらの抵抗R1〜R3はFET1のためのバイア
ス回路を構成する。
A circuit composed of resistors R1 to R3 and capacitors C1 and C3 is connected to the gate of FET1.
One end of each of the resistors R1 and R2 is connected to each other, the other end of the resistor R1 is connected to the first DC power supply Vgg, and the other end of the resistor R2 is grounded. The resistor R3 includes a resistor R1 and a resistor R2.
And the gate of FET1. These resistors R1 to R3 constitute a bias circuit for FET1.

【0024】コンデンサC1は一端が第1の電源端子V
ggに接続され、他端が接地されている。コンデンサC
3は一端が抵抗R1、R2、R3の接続点に接続され、
他端が接地されている。
One end of the capacitor C1 is connected to the first power supply terminal V
gg, and the other end is grounded. Capacitor C
3 has one end connected to a connection point of the resistors R1, R2, and R3;
The other end is grounded.

【0025】FET1のドレインにはインピーダンス素
子Z6の一端が接続されている。インピーダンス素子Z
6の他端は、第2の電源端子Vd1に接続されている。
インピーダンス素子Z6の他端には、コンデンサC4の
一端が接続されている。コンデンサC4の他端は接地さ
れている。
One end of the impedance element Z6 is connected to the drain of the FET1. Impedance element Z
The other end of 6 is connected to the second power supply terminal Vd1.
One end of a capacitor C4 is connected to the other end of the impedance element Z6. The other end of the capacitor C4 is grounded.

【0026】FET2のゲートには、抵抗R4〜R6及
びコンデンサC7による回路が接続されている。抵抗R
4、R5は一端が互いに接続されている。抵抗R4の他
端は第1の電源端子Vggに接続され、抵抗R5の他端
は接地されている。抵抗R6は、抵抗R4及び抵抗R5
の接続点と、FET2のゲートとの間に接続されてい
る。これらの抵抗R4〜R6はFET2のためのバイア
ス回路を構成する。コンデンサC7は一端が抵抗R4〜
R6の接続点に接続され、他端が接地されている。
A circuit composed of resistors R4 to R6 and a capacitor C7 is connected to the gate of the FET2. Resistance R
4, R5 have one ends connected to each other. The other end of the resistor R4 is connected to the first power supply terminal Vgg, and the other end of the resistor R5 is grounded. The resistor R6 includes a resistor R4 and a resistor R5.
And the gate of FET2. These resistors R4 to R6 constitute a bias circuit for FET2. One end of the capacitor C7 is connected to the resistor R4.
It is connected to the connection point of R6, and the other end is grounded.

【0027】FET2のドレインにはインピーダンス素
子Z7の一端が接続されている。インピーダンス素子Z
7の他端は、第3の電源端子Vd2に接続されている。
インピーダンス素子Z7の他端には、コンデンサC8の
一端が接続されている。コンデンサC8の他端は接地さ
れている。
One end of the impedance element Z7 is connected to the drain of the FET2. Impedance element Z
The other end of 7 is connected to the third power supply terminal Vd2.
One end of a capacitor C8 is connected to the other end of the impedance element Z7. The other end of the capacitor C8 is grounded.

【0028】インピーダンス素子Z1〜Z7はストリッ
プラインで構成され、高周波に対するインダクタンス成
分として働く。
The impedance elements Z1 to Z7 are constituted by strip lines and function as inductance components for high frequencies.

【0029】図1の回路図において、FET1及びFE
T2による電力増幅度は、第1の電源端子Vgg、第2
の電源端子Vd1及び第3の電源端子Vd2に印加され
る電圧により制御される。この時、FET1及びFET
2には、数百mAから1.5A程度の電流が流されるた
め、発熱する。発生した熱を何らかの放熱手段によって
放散しないと、半導体のチャネル温度の上昇につなが
り、オン抵抗が上昇し、熱暴走に至り、終には、半導体
が破損する。本発明は、FET1及びFET2に発生し
た熱を効率よく放熱できる構造を持つ電力増幅モジュー
ルを開示する。
In the circuit diagram of FIG. 1, FET 1 and FE
The power amplification degree by T2 is the first power supply terminal Vgg, the second power supply terminal
Is controlled by the voltage applied to the power supply terminal Vd1 and the third power supply terminal Vd2. At this time, FET1 and FET
A current of several hundred mA to about 1.5 A is applied to 2, thereby generating heat. If the generated heat is not dissipated by any heat radiating means, the channel temperature of the semiconductor will increase, the on-resistance will increase, leading to thermal runaway, and eventually the semiconductor will be damaged. The present invention discloses a power amplification module having a structure capable of efficiently dissipating heat generated in FET1 and FET2.

【0030】図2は図1に示した電気回路図で示された
電力増幅モジュールにおいて、本発明を適用した具体的
実装例を示す図、図3は図2の3ー3線に沿った部分断
面図である。図2、図3において、図1に示された回路
構成部分に対応する部分については、図1と同じ参照符
号を付してある。図示実施例の電力増幅モジュールは、
基板1と、半導体チップ3と、金属ブロック5とを含
む。
FIG. 2 is a diagram showing a specific mounting example to which the present invention is applied in the power amplifier module shown in the electric circuit diagram shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a portion taken along line 3-3 in FIG. It is sectional drawing. 2 and 3, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote parts corresponding to the circuit components shown in FIG. The power amplification module of the illustrated embodiment includes:
It includes a substrate 1, a semiconductor chip 3, and a metal block 5.

【0031】基板1は、面内に切り抜き部7を有してい
る。図示実施例において、基板1は第1の誘電体基板1
1、第2の誘電体基板12及び第3の誘電体基板13を
積層した構成となっている。基板1は互いに独立する第
1〜第3の誘電体基板11〜13を順次に積層して接着
してもよいし、あるいは、連続塗布法によって、第1〜
第3の誘電体基板11〜13を構成する誘電体層、及
び、必要な導体パターンを積層することによって形成し
てもよい。第1〜第3の誘電体基板11〜13は有機系
誘電体材料またはセラミック誘電体材料の何れで構成し
てもよい。
The substrate 1 has a cutout 7 in the plane. In the illustrated embodiment, the substrate 1 is a first dielectric substrate 1
1, a second dielectric substrate 12 and a third dielectric substrate 13 are stacked. The substrate 1 may be formed by sequentially laminating and bonding the first to third dielectric substrates 11 to 13 which are independent from each other, or the first to third dielectric substrates 11 to 13 may be formed by a continuous coating method.
It may be formed by laminating dielectric layers constituting the third dielectric substrates 11 to 13 and necessary conductor patterns. The first to third dielectric substrates 11 to 13 may be made of any of an organic dielectric material and a ceramic dielectric material.

【0032】第1〜第3の誘電体基板11〜13のそれ
ぞれは、切り抜き部7を有しており、積層された状態
で、各切り抜き部7が同一位置で重なり、実質的に連続
する1つの切り抜き部7を構成している。
Each of the first to third dielectric substrates 11 to 13 has a cutout portion 7, and in a stacked state, the cutout portions 7 overlap at the same position and are substantially continuous. One cutout 7 is formed.

【0033】第1〜第3の誘電体基板11〜13は、図
1に示された回路図に含まれる回路部品のうち、受動回
路部品を搭載し、かつ、受動回路部品を必要な回路構成
となるように接続する。回路部品の配置については、特
に限定はないが、採用し得る一例を次に示す。例えば、
第1の誘電体基板11の表面(上面)に、図1におい
て、バイアス回路を構成する回路素子の一部、及び、イ
ンピーダンス整合回路を構成する回路素子を搭載する。
具体的には、抵抗R1〜R6及びコンデンサC1〜C1
0、インピーダンス素子Z1〜Z7等である。これらの
回路部品は、チップ部品で構成し、第1の誘電体基板1
1の表面に予め形成された導体パターン14に対して、
半田付け等の手段によって取り付けることができる。ま
たは、これらの回路部品の一部は、第1の誘電体基板1
1の表面に形成された導体パターンによって構成しても
よい。
The first to third dielectric substrates 11 to 13 are provided with a passive circuit component among the circuit components included in the circuit diagram shown in FIG. 1 and a circuit configuration which requires the passive circuit component. Connect so that There is no particular limitation on the arrangement of the circuit components, but an example that can be adopted is shown below. For example,
In FIG. 1, a part of a circuit element forming a bias circuit and a circuit element forming an impedance matching circuit are mounted on the surface (upper surface) of the first dielectric substrate 11.
Specifically, resistors R1 to R6 and capacitors C1 to C1
0, impedance elements Z1 to Z7 and the like. These circuit components are composed of chip components, and the first dielectric substrate 1
1 with respect to the conductor pattern 14 formed in advance on the surface
It can be attached by means such as soldering. Alternatively, some of these circuit components may be provided on the first dielectric substrate 1
Alternatively, it may be constituted by a conductor pattern formed on the surface of one.

【0034】第2の誘電体基板12において、第1の誘
電体基板11の下面と接合される表面に、GNDパター
ン及びバイアス回路の一部となる導体パターン15を形
成することができる。
On the second dielectric substrate 12, a GND pattern and a conductor pattern 15 serving as a part of a bias circuit can be formed on the surface joined to the lower surface of the first dielectric substrate 11.

【0035】また、第3の誘電体基板13において、第
2の誘電体基板12の下面と接合される表面には、FE
T1、2のバイアス回路の一部16を形成する。また、
第3の誘電体基板13の下面にはGNDパタ−ン17を
形成する。
In the third dielectric substrate 13, the surface joined to the lower surface of the second dielectric substrate 12 has FE
A part 16 of the bias circuit of T1 and T2 is formed. Also,
On the lower surface of the third dielectric substrate 13, a GND pattern 17 is formed.

【0036】基板1には、所定の適切な位置に、任意数
のスルーホール21、22が設けられている。スルーホ
ール21は、その内部に充填された導体により、例え
ば、第1の誘電体基板11の表面に形成された導体パタ
ーン14、第2の誘電体基板12に形成された導体パタ
ーン15及び第3の誘電体基板13の下面に形成された
導体パターン17を電気的に接続するために使用され
る。スルーホール22は、その内部に充填された導体に
より、例えば、第1の誘電体基板11の表面に形成され
た導体パターン14及び第3の誘電体基板13の上面に
形成された導体パターン16を電気的に接続するために
使用される。
The substrate 1 is provided with an arbitrary number of through holes 21 and 22 at predetermined appropriate positions. The through hole 21 is formed, for example, by the conductor pattern 14 formed on the surface of the first dielectric substrate 11, the conductor pattern 15 formed on the second dielectric substrate 12, and the third Is used to electrically connect the conductor pattern 17 formed on the lower surface of the dielectric substrate 13. The through hole 22 is formed, for example, by a conductor filled in the through hole 22 with the conductor pattern 14 formed on the surface of the first dielectric substrate 11 and the conductor pattern 16 formed on the upper surface of the third dielectric substrate 13. Used for electrical connection.

【0037】金属ブロック5は、基板1の前記切り抜き
部7の内部に配置されている。金属ブロック5は、熱伝
導性の良好な金属材料、例えば、銅または銅合金等によ
って構成することができる。金属ブロック5の形状は任
意である。この実施例では、金属ブロック5は、基板1
の厚みとほぼ同じ厚みを有するとともに、切り抜き部7
に嵌り込むような外形形状を有する。金属ブロック5の
表面は、基板1の表面とほぼ一致している。
The metal block 5 is arranged inside the cutout 7 of the substrate 1. The metal block 5 can be made of a metal material having good thermal conductivity, for example, copper or a copper alloy. The shape of the metal block 5 is arbitrary. In this embodiment, the metal block 5 is
And the cutout 7
It has an outer shape that fits into The surface of the metal block 5 substantially matches the surface of the substrate 1.

【0038】半導体チップ3は、金属ブロック5の表面
に実装されている。半導体チップ3は、図1において、
電力増幅用として用いられるFET1及びFET2を含
み、基板1の一部に設けられた金属ブロック5上に銀ペ
−ストなどの接着剤を介して接合されている。
The semiconductor chip 3 is mounted on the surface of the metal block 5. The semiconductor chip 3 is shown in FIG.
It includes FET1 and FET2 used for power amplification, and is bonded to a metal block 5 provided on a part of the substrate 1 via an adhesive such as silver paste.

【0039】半導体チップ3の電極は、ワイヤーボンデ
ィング18により、基板1の表面上に実装されたリ−ド
フレーム19上に接続され、1層目や3層目の整合回
路、バイアス回路へ接続される。また、半導体チップ3
は、その信頼性確保のため、封止用樹脂20により、封
止された状態で実装される。封止用樹脂20は、リ−ド
フレーム19の段差により部品実装エリアに流出しない
ようにすることが好ましい。
The electrodes of the semiconductor chip 3 are connected by wire bonding 18 onto a lead frame 19 mounted on the surface of the substrate 1, and are connected to the first and third layer matching circuits and bias circuits. You. In addition, the semiconductor chip 3
Is mounted in a sealed state with the sealing resin 20 to ensure its reliability. It is preferable that the sealing resin 20 does not flow into the component mounting area due to the step of the lead frame 19.

【0040】基板1には、信号入力用端子Pin、信号
出力用端子Pout、接地端子GND及び第1〜第3の
電源端子Vgg、Vd1、Vd2等が側面電極の形態で
付与される。
The substrate 1 is provided with a signal input terminal Pin, a signal output terminal Pout, a ground terminal GND, and first to third power supply terminals Vgg, Vd1, Vd2, etc. in the form of side electrodes.

【0041】上述したように、本発明に係る電力増幅モ
ジュールでは、半導体チップ3が金属ブロック5の表面
に実装されているから、半導体チップ3に発生した熱
を、金属ブロック5を通して放熱できる。金属ブロック
5は、アルミナ等と比較して、著しく熱伝導度の優れた
金属材料を用いて構成され得る。このため、放熱性の極
めて優れた電力増幅モジュールが得られる。
As described above, in the power amplification module according to the present invention, since the semiconductor chip 3 is mounted on the surface of the metal block 5, heat generated in the semiconductor chip 3 can be radiated through the metal block 5. The metal block 5 can be made of a metal material having a significantly higher thermal conductivity than alumina or the like. For this reason, a power amplifying module with extremely excellent heat dissipation can be obtained.

【0042】しかも、基板1は面内に切り抜き部7を有
しており、金属ブロック5はこの基板1の切り抜き部7
内に配置する構造である。このため、シンプルな構成
で、放熱性に優れた電力増幅モジュールを得ることがで
きる。
Further, the substrate 1 has a cutout 7 in the plane, and the metal block 5
It is a structure to be arranged inside. For this reason, it is possible to obtain a power amplification module having a simple configuration and excellent heat dissipation.

【0043】また、金属ブロック5を基板1の切り抜き
部7内に配置し、金属ブロック5の表面に半導体チップ
3を実装する構造であるので、実装組立が容易である。
Since the metal block 5 is arranged in the cutout 7 of the substrate 1 and the semiconductor chip 3 is mounted on the surface of the metal block 5, mounting and assembly are easy.

【0044】更に、金属ブロック5の表面を、基板1の
表面と位置合わせすることが容易であり、半導体チップ
3のボンディング作業を、段差のない表面で行うことが
できる。このため、実装作業が極めて容易になる。
Further, it is easy to align the surface of the metal block 5 with the surface of the substrate 1, and the bonding operation of the semiconductor chip 3 can be performed on a surface having no step. For this reason, mounting work becomes extremely easy.

【0045】図4は図2、図3に示した電力増幅モジュ
ールの使用状態を示す図である。電力増幅モジュール1
00はシステム基板(マザーボード)200の上に接合
等の手段によって搭載されている。接合手段としては、
例えば、銀ペースト等を用いることができる。システム
基板200の接合面は、熱伝導性の良好な金属によって
構成することができる。
FIG. 4 is a diagram showing a state of use of the power amplification module shown in FIGS. Power amplification module 1
00 is mounted on a system board (motherboard) 200 by means such as bonding. As joining means,
For example, a silver paste or the like can be used. The bonding surface of the system board 200 can be made of a metal having good heat conductivity.

【0046】半導体チップ3に発生した熱は、金属ブロ
ック5を通して、システム基板200に伝達され、シス
テム基板200を通して外部に放散される。
The heat generated in the semiconductor chip 3 is transmitted to the system board 200 through the metal block 5 and is radiated outside through the system board 200.

【0047】図5は本発明の電力増幅モジュールの別の
実施例を示す。図において、図1〜4に現れた構成部分
と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して
ある。図示実施例において、金属ブロック5は、第3の
誘電体基板(誘電体層)13の上面に設けられた導体パ
ターン16の上に、銀ペ一ストなどの接着材を介して実
装される。従って、金属ブロック5は第3の誘電体基板
13によって支持される。
FIG. 5 shows another embodiment of the power amplification module of the present invention. In the drawings, the same components as those shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals. In the illustrated embodiment, the metal block 5 is mounted on a conductive pattern 16 provided on the upper surface of a third dielectric substrate (dielectric layer) 13 via an adhesive such as silver paste. Therefore, the metal block 5 is supported by the third dielectric substrate 13.

【0048】第3の誘電体基板13の上面に形成された
導体パターン16、及び、下面に形成された導体パター
ン17は、その膜厚t2が、第3の誘電体基板13の厚
みt1と同等以上の厚みとなるようにしてある。例え
ば、図5に示す実施例において、導体パターン16、1
7の膜厚t2=70μmに対して、第3の誘電体基板1
3の厚みt1=60μmのように設定する。
The conductor pattern 16 formed on the upper surface of the third dielectric substrate 13 and the conductor pattern 17 formed on the lower surface have a thickness t2 equal to the thickness t1 of the third dielectric substrate 13. The thickness is set as described above. For example, in the embodiment shown in FIG.
7, the thickness of the third dielectric substrate 1 was 70 μm.
3, the thickness t1 is set to 60 μm.

【0049】更に、第3の誘電体基板13は、金属ブロ
ック5の直下に、任意数、及び、任意大きさのサーマル
ビア23、24を有する。
Further, the third dielectric substrate 13 has thermal vias 23 and 24 of an arbitrary number and an arbitrary size immediately below the metal block 5.

【0050】金属ブロック5から導体パターン16ヘ伝
えられた熱は、金属ブロック5の直下に設けられたサー
マルビア23、24を介して導体パターン17ヘ伝えら
れ、モジュール外部へ放熱されるので、導体パターン1
6、17の厚みt2、及び、第3の誘電体基板13の厚
みt1の関係を、t1≦t2のように選定することによ
り、第3の誘電体基板13による放熱性の影響を限りな
く小さくできる。特に、パタ−ン厚みt2を大きくし、
誘電体層厚t1を小さくすることにより、誘電体による
放熱性の影響を限りなく小さくできる。
The heat transmitted from the metal block 5 to the conductor pattern 16 is transmitted to the conductor pattern 17 via thermal vias 23 and 24 provided immediately below the metal block 5 and is radiated to the outside of the module. Pattern 1
By selecting the relationship between the thickness t2 of 6, 17 and the thickness t1 of the third dielectric substrate 13 such that t1 ≦ t2, the influence of the heat dissipation by the third dielectric substrate 13 is minimized. it can. In particular, the pattern thickness t2 is increased,
By reducing the thickness t1 of the dielectric layer, the effect of heat dissipation by the dielectric can be reduced as much as possible.

【0051】導体パターン16、17の材料には、熱伝
導性の高い銅や金などの金属材料を用いることは容易に
可能であるので、結果として、半導体チップ3からの熱
は、効率良く、外部へ放熱される。
As a material for the conductor patterns 16 and 17, it is possible to easily use a metal material such as copper or gold having a high thermal conductivity, and as a result, heat from the semiconductor chip 3 can be efficiently used. Heat is radiated to the outside.

【0052】導体パターン17は、全面電極とすること
ができる。この場合には、導体パターン17をシステム
基板に半田付けできるので、外部への放熱性をより一層
高めることができる。
The conductor pattern 17 can be a full-surface electrode. In this case, since the conductive pattern 17 can be soldered to the system board, the heat radiation to the outside can be further improved.

【0053】図6にまた別の本発明における電力増幅モ
ジュールの構成図を示す。図6に示す例は、図3に示す
実施例を逆さまに構成した形態であり、最上面に金属ケ
ース9が配置され、金属ケース9は金属ブロック5と銀
ペ−ストや半田により接続される。基板1の下端部は、
側面電極の形成のため、部品搭載面より、ある幅で突出
した形態となる。
FIG. 6 shows a configuration diagram of another power amplification module according to the present invention. FIG. 6 shows an embodiment in which the embodiment shown in FIG. 3 is configured upside down. A metal case 9 is arranged on the uppermost surface, and the metal case 9 is connected to the metal block 5 by silver paste or solder. . The lower end of the substrate 1
Due to the formation of the side electrodes, the electrodes protrude from the component mounting surface by a certain width.

【0054】半導体チップ3から発生した熱は、金属ブ
ロック5を伝わり、金属ケース9をへて、金属ケース9
の上部の空気中へ伝わる。この熱伝導経路は、熱が下側
から上方向に向かう自然な経路である。このため、放熱
特性が更に改善される。
The heat generated from the semiconductor chip 3 is transmitted to the metal block 5, passes through the metal case 9, and
To the air above the This heat conduction path is a natural path in which heat goes upward from below. Therefore, the heat radiation characteristics are further improved.

【0055】また、放熱用金属ケ−ス9は、接地端子G
NDによりシステム基板200に半田付けされるので、
放熱用金属ケース9で受けた熱は、システム基板200
へも放熱される。これによっても、放熱が促進される。
The metal case 9 for heat radiation is connected to the ground terminal G.
Since it is soldered to the system board 200 by ND,
The heat received by the heat dissipating metal case 9 is
The heat is also dissipated. This also promotes heat dissipation.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)シンプルな構成で、放熱性に優れた電力増幅モジ
ュールを提供することができる。 (b)形状が小型で、放熱性に優れた電力増幅モジュー
ルを提供することができる。 (c)実装組立が容易で、放熱性に優れた電力増幅モジ
ュールを提供することができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (A) It is possible to provide a power amplifier module having a simple configuration and excellent heat dissipation. (B) It is possible to provide a power amplification module having a small shape and excellent heat dissipation. (C) It is possible to provide a power amplifying module that is easy to assemble and assemble and has excellent heat dissipation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る電力増幅モジュールの電気回路図
である。
FIG. 1 is an electric circuit diagram of a power amplification module according to the present invention.

【図2】図1に示した電気回路図で示された電力増幅モ
ジュールにおいて、本発明を適用した具体的実装例を示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a specific implementation example to which the present invention is applied in the power amplification module shown in the electric circuit diagram shown in FIG.

【図3】図2の3ー3線に沿った部分断面図である。FIG. 3 is a partial sectional view taken along line 3-3 in FIG. 2;

【図4】図2、図3に示した電力増幅モジュールの使用
状態を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a use state of the power amplification module illustrated in FIGS. 2 and 3;

【図5】本発明に係る電力増幅モジュールの別の実施例
を示す部分断面図である。
FIG. 5 is a partial sectional view showing another embodiment of the power amplification module according to the present invention.

【図6】本発明に係る電力増幅モジュールの別の実施例
を示す部分断面図である。
FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing another embodiment of the power amplification module according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 3 半導体チップ 5 金属ブロック 7 切り抜き部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 3 Semiconductor chip 5 Metal block 7 Cutout part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1枚の基板と、半導体チップ
と、金属ブロックとを含む電力増幅モジュールであっ
て、 前記基板は、面内に切り抜き部を有しており、 前記金属ブロックは、前記基板の前記切り抜き部内に配
置されており、 前記半導体チップは、前記金属ブロックの表面に実装さ
れている電力増幅モジュール。
1. A power amplification module including at least one substrate, a semiconductor chip, and a metal block, wherein the substrate has a cutout in a plane, and wherein the metal block includes a substrate. The power amplifier module, wherein the semiconductor chip is mounted on a surface of the metal block.
【請求項2】 請求項1に記載された電力増幅モジュー
ルであって、 前記基板は、前記金属ブロックの前記表面と対向する面
側に備えられた誘電体層を含んでおり、 前記誘電体層は、少なくとも一面側に導体パターンを有
しており、前記導体パターンは、前記誘電体層よりも厚
い電力増幅モジュール。
2. The power amplification module according to claim 1, wherein the substrate includes a dielectric layer provided on a surface of the metal block opposite to the surface, and the dielectric layer Has a conductor pattern on at least one surface side, wherein the conductor pattern is thicker than the dielectric layer.
【請求項3】 請求項1または2の何れかに記載された
電力増幅モジュールであって、 更に、金属ケースを含み、 前記金属ケースは、前記金属ブロックの前記表面と対向
する面側で、前記金属ブロックに熱結合する電力増幅モ
ジュール。
3. The power amplification module according to claim 1, further comprising a metal case, wherein the metal case is provided on a surface side of the metal block facing the surface. A power amplification module that is thermally coupled to a metal block.
JP24053199A 1999-08-26 1999-08-26 Power amplification module Expired - Lifetime JP3410398B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053199A JP3410398B2 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Power amplification module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24053199A JP3410398B2 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Power amplification module

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001068615A true JP2001068615A (en) 2001-03-16
JP3410398B2 JP3410398B2 (en) 2003-05-26

Family

ID=17060924

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24053199A Expired - Lifetime JP3410398B2 (en) 1999-08-26 1999-08-26 Power amplification module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3410398B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006165049A (en) * 2004-12-02 2006-06-22 Murata Mfg Co Ltd Electronic component apparatus
JP2010080795A (en) * 2008-09-28 2010-04-08 Furukawa Electric Co Ltd:The Heat generating component mounted circuit board
WO2013065316A1 (en) * 2011-11-02 2013-05-10 富士電機株式会社 Power converter

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006165049A (en) * 2004-12-02 2006-06-22 Murata Mfg Co Ltd Electronic component apparatus
JP4720162B2 (en) * 2004-12-02 2011-07-13 株式会社村田製作所 Electronic component equipment
JP2010080795A (en) * 2008-09-28 2010-04-08 Furukawa Electric Co Ltd:The Heat generating component mounted circuit board
WO2013065316A1 (en) * 2011-11-02 2013-05-10 富士電機株式会社 Power converter
JPWO2013065316A1 (en) * 2011-11-02 2015-04-02 富士電機株式会社 Power converter

Also Published As

Publication number Publication date
JP3410398B2 (en) 2003-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100839067B1 (en) Electronic circuit module and manufacturing method thereof
KR100197187B1 (en) High frequency power amplifier circuit device
JP3426842B2 (en) High frequency power amplifier
EP0979559A1 (en) Amplifier module with two power amplifiers for dual band cellular phones
JPH1117349A (en) High-frequency integrated circuit device and manufacture thereof
WO2020012598A1 (en) Semiconductor device
US11121099B2 (en) Semiconductor device
KR20240005847A (en) Integrated passive device (IPD) components and packages and processes to implement them
JP2003197835A (en) Power amplification module and element aggregate therefor
US20080019108A1 (en) Power Amplifier
JPH10242377A (en) High-frequency power amplifier module
JP3515854B2 (en) High frequency power amplifier circuit device
JPH09116091A (en) Hybrid integrated circuit device
JP3410398B2 (en) Power amplification module
JP3216626B2 (en) Amplifier
WO1999054935A1 (en) Portable communication equipment
JP3135195B2 (en) Microwave integrated circuit
JP2007157801A (en) Semiconductor module and its manufacturing method
JP2004047866A (en) Semiconductor device
JPH0746007A (en) Substrate for electric power and electric power amplifier for high frequency
US6624703B1 (en) Terminal arrangement for an electrical device
JP2006324540A (en) Semiconductor device
JP2820149B2 (en) High frequency power module
JPH0728153B2 (en) Metal case for power module
KR200266693Y1 (en) Hybrid low noise amplifier module

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030305

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3410398

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090320

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100320

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110320

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130320

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140320

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term