JP2001062720A - 内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズル - Google Patents
内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズルInfo
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Abstract
な深い細穴の内面を、ラッピング加工や慣らし運転を長
時間行うことなく、高精度かつ高品質に高能率で研削で
きる内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズルを提供す
る。 【解決手段】 砥粒とこれを固定する導電性結合部とか
らなるメタルボンド砥石10と導電性を有するワーク1
との間に電圧を印加し、かつその間に導電性研削液を供
給して前記砥石の導電性結合部表面に不導体被膜を形成
し、その後、砥石をワークに接触させることにより当該
接触点において不導体被膜の表層部を除去し、かつ弱い
電解により前記不導体被膜を含む導電性結合部をドレッ
シングしながら、同時に砥石でワークを研削加工する。
Description
の深い細穴を内面研削する内面研削方法及び装置及び燃
料噴射ノズルに関する。
がより厳しくなっており、ディーゼルエンジンの燃料噴
射ポンプにおいては、排ガス中のパティキュレート(微
粒子)低減のため、燃料の高圧噴射化が進められてい
る。
ルの一例(この例ではホール形ノズル)を示している。
燃料噴射ノズルは、ポンプより送られてくる高圧燃料を
霧化状態で機関燃焼室へ噴射するものであり、ノズル本
体1の中心にニードル弁2が軸方向に可動に挿入され、
ニードル弁2は図示しないバネで下方に押し付けられて
いる。ノズル本体1の先端(図で下端)には、噴口1
a、円錐状のシート面1b、円筒状のガイド面1cが設
けられ、ニードル弁2の先端2aがシート面1bと密着
し、その中間部2bがガイド面1cでガイドされながら
同時にその間がシールされている。ポンプから高圧燃料
がシート面1bとガイド面1cの間に供給されると、こ
の圧力でニードル弁2がバネに抗して上がり、シート面
1bとニードル弁2の先端2aの隙間を通って噴口1a
から燃料が噴射される。この噴射により内圧が下がり、
バネでニードル弁2がシート面1bに押し付けられ、噴
射が終了する。
数、噴口径、噴射方向の選択により燃焼とのマッチング
が行われる。また、排気中の炭化水素(HC)の原因と
なる「後だれ」を少なくするため、図4(C)に示すよ
うに、噴口部燃料たまり容積を減らしたシートホールノ
ズル等も用いられている。
噴射ノズル、特にノズル本体1のシート面1bとガイド
面1cは、ニードル弁2と接触して、その間をシールし
かつガイドする必要がある。そのため、シート面1b及
びガイド面1cは、高精度かつ高品質に加工する必要が
ある。
m前後の細穴であり、シート面1bはその細穴の底面に
位置するので、ガイド面とシート面の加工は従来から困
難を極めていた。すなわち、従来はガイド面とシート面
を機械加工後、遊離砥粒を用いたラッピング加工(シー
ト面に対するものを特にシートラップと呼ぶ)を繰り返
し、更に必要により慣らし運転を行うことにより、これ
らの内面を所望の面粗さに仕上げていた。しかし、遊離
砥粒を用いたラッピング加工を繰り返しても面粗さはR
z0.8〜1.2μm程度であり、それ以上の面粗さに
するには、長時間の慣らし運転を必要とした。そのた
め、従来は、ラッピング加工に伴う洗浄に手間がかかる
ばかりでなく、ラッピング加工、洗浄、慣らし運転に長
時間を要し、生産性が低い問題点があった。
高能率・超精密な鏡面研削を実現する研削手段として、
本願出願人等により電解インプロセスドレッシング研削
法(以下、ELID研削法)が開発され、発表されてい
る。このELID研削法は、メタルボンド砥石の導電性
結合部を電解ドレッシングにより溶解させて目立てを行
いながら研削するものである。本研削法により、微細な
砥粒を有するメタルボンド砥石により、超硬材料に対し
て効率的な鏡面加工が可能であり、高能率化・超精密化
が図れる特徴がある。しかし、かかるELID研削法で
は、砥石をインプロセスで電解するために、加工部分以
外に電極を設置するスペースが必要不可欠となる。その
ため、燃料噴射ノズルのガイド面やシート面のような深
い細穴の内面には、砥石加工面に近接した電極の設置が
不可能であった。
発明者等は、先に「電解インターバルドレッシング研削
方法」を創案し、出願した(特開平4-115867
号)。この方法は、図5に模式的に示すように、被研削
材1(ワーク)と間隔をおいて電極5を設け、ワーク1
と電極5間で電圧が印加された導電性砥石4を反復駆動
させ、また導電性砥石4と電極5間に導電性研削液を介
在させ、電解ドレッシングと研削加工とを交互に行うも
のである。しかし、この方法では、電解ドレッシングと
研削加工とを交互に行うため、研削能率が低く、かつ特
に燃料噴射ノズルのシート面のような深い細穴の底面へ
の適用が不可能であった。
ッシング研削方法及び装置」を創案し出願している(特
願平10-45437号、未公開)。この手段は、図6
に模式的に示すように、砥粒とこれを固定する半導電性
結合部とからなる半導電性砥石6と、この砥石と導電性
を有するワーク1との間に電圧を印加する電圧印加手段
7と、砥石とワークとの間に導電性研削液を供給する研
削液供給手段8と、を備え、砥石6をワーク1に接触さ
せ、接触点で砥石の結合部を電解によりドレッシングし
ながら、同時に砥石でワークを研削加工するものであ
る。なお、この図において、7aは電源、7bは給電
体、8aはノズルである。この砥石6は、砥粒とこれを
固定する半導電性結合部とからなるため、ワーク1の加
工面に直接接触させて砥石を電解ドレッシングすること
ができる。しかしこの手段は、砥石の機械的強度が低く
摩耗が激しいため、燃料噴射ノズルのような深い細穴へ
適用した場合、砥石摩耗による砥石径変化が大きく、高
精度を維持できない問題点があった。
るために創案されたものである。すなわち、本発明は、
燃料噴射ノズルのガイド面やシート面のような深い細穴
の内面を、ラッピング加工や慣らし運転を長時間行うこ
となく、高精度かつ高品質に高能率で研削できる内面研
削方法及び装置及び燃料噴射ノズルを提供することにあ
る。
これを固定する導電性結合部とからなるメタルボンド砥
石(10)と導電性を有するワーク(1)との間に電圧
を印加し、かつその間に導電性研削液を供給して前記砥
石の導電性結合部表面に不導体被膜を形成し、その後、
前記砥石をワークに接触させることにより当該接触点に
おいて前記不導体被膜の表層部を除去し、かつ弱い電解
により前記不導体被膜を含む導電性結合部をドレッシン
グしながら、同時に砥石でワークを研削加工する、こと
を特徴とする内面研削方法が提供される。
する導電性結合部とからなるメタルボンド砥石(10)
と、該砥石と導電性を有するワーク(1)との間に電圧
を印加する電圧印加手段(12)と、砥石とワークとの
間に導電性研削液を供給する研削液供給手段(14)
と、を備え、前記導電性結合部表面に不導体被膜を形成
し、その後、前記砥石をワークに接触させることにより
当該接触点において前記不導体被膜の表層部を除去し、
かつ弱い電解により前記不導体被膜を含む導電性結合部
をドレッシングしながら、同時に砥石でワークを研削加
工する、ことを特徴とする内面研削装置が提供される。
の導電性結合部表面に不導体被膜を形成し、その後、砥
石をワークに接触させることにより当該接触点において
前記不導体被膜の表層部を除去し、かつ弱い電解により
前記不導体被膜を含む導電性結合部をドレッシングする
ので、不導体被膜により、砥石の結合部とワークとの間
にスパークが生じるのを抑制し、その接触点で砥石結合
部を電解によりドレッシングし、砥石の目立てを行うこ
とができる。従って、この砥石をそのままワークに接触
させて同時にワークを研削加工することができる。
筒状の内面の表面粗さをRz0.5μm以下に加工す
る。また、燃料噴射ノズルのシート面及び/又はガイド
面をこの方法により加工する。これにより、従来、遊離
砥粒を用いたラッピング加工を繰り返しても面粗さはR
z0.8〜1.2μm程度であったものを、遥かに優れ
た鏡面にELID研削することができる。ELID研削
によりシート面及び/又はガイド面を研削加工すること
により、高精度かつ高品質の鏡面が得られるばかりでな
く、加工抵抗が小さく砥石の切れ味を長時間保持でき、
さらに砥石摩耗が少ないので、高能率で長時間研削がで
き、生産性を飛躍的に高めることができる。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略す
る。図1は、本発明の内面研削装置の模式的構成図であ
る。この図において、(A)は被研削材(ワーク)の断
面図である。この例ではワーク1は、燃料噴射ノズルの
ノズル本体であり、このノズル本体1の中心に設けられ
た深い細穴の内面である円錐状のシート面1bと円筒状
のガイド面1cが加工面となる。ガイド面1cは、例え
ば内径約4mm前後の細穴であり、シート面1bはその
細穴の底面に位置するテーパ面である。
面研削装置を示し、図1(C)は、シート面1bを加工
する内面研削装置を示している。なお、(B)と(C)
は、砥石以外は共通であり、その一部を(C)では省略
して示している。
内面研削装置は、メタルボンド砥石10、電圧印加手段
12、及び研削液供給手段14を備えている。
属製の砥石軸部10aと、その先端(図で左端)に設け
られた砥石部10bとからなる。砥石軸部10aは、図
示しない駆動装置により、その軸心を中心に回転駆動さ
れ、かつ加工面に沿って往復動するようになっている。
砥石部10bは、砥粒(例えば、ダイヤモンド又はCB
N)とこれを固定する導電性結合部(メタルボンド部)
とからなる。メタルボンド部は、鋳鉄、青銅、その他の
金属を溶融固化したものがよい。砥石部10bは、図1
(B)の例では、円筒状のガイド面1cの内径(約4m
m)よりわずかに小さい直径の円筒面に形成されてい
る。また、図1(C)の例では、円錐状のシート面1b
と傾斜角度が等しく、かつシート面1bの最大直径より
わずかに小さい最大直径の円錐面を有している。
12b、及びワーク1及び砥石軸部10aと電源を電気
的に接続する電源ライン12cとからなり、砥石10と
ワーク1との間に電圧を印加するようになっている。電
源12aは、直流電圧をパルス状に供給できる定電流型
ELID電源が好ましい。ブラシ12bは、この例で
は、砥石軸部10aの外面に直接接触し、砥石10を+
にワーク1を-に印加する。なお、ワーク1は、図示し
ない駆動装置により、その軸心を中心に回転駆動され
る。
1との接触部に向けて位置するノズル14aと、このノ
ズル14aに導電性研削液を供給する研削液ライン14
bとを備え、砥石10(詳しくは砥石部10b)とワー
ク1との接触部に導電性研削液を供給するようになって
いる。
面研削方法によれば、メタルボンド砥石10と導電性を
有するワーク1との間に電圧を印加し、かつその間に導
電性研削液を供給して砥石表面に不導体被膜を形成し、
導電性結合部表面に不導体被膜を形成し、その後、前記
砥石をワークに接触させることにより当該接触点におい
て前記不導体被膜の表層部を除去し、かつ弱い電解によ
り前記不導体被膜を含む導電性結合部をドレッシングし
ながら、同時に砥石でワークを研削加工する。これによ
り、不導体被膜により、砥石の結合部とワークとの間に
スパークが生じるのを抑制し、その接触点で砥石結合部
を電解によりドレッシングし、砥石の目立てを行うこと
ができる。従って、この砥石をそのままワークに接触さ
せて同時にワークを研削加工することができる。
ルーイング、初期ドレッシング、本発明のELID研削
の順で行った。本発明のELID研削は#325のみ、
#325→#1200、#325→#1200→#40
00の3パターンで加工を行った。前加工面の影響をな
くすことと、砥石摩耗量が明確に測定できることを考慮
し、加工取代を多くした。本発明のELID研削時の砥
石とワーク間の放電スパークを防ぐため、メタルボンド
砥石10と導電性を有するワーク1との間に電圧を印加
し、かつその間に導電性研削液を供給して砥石表面に不
導体被膜を予め形成した。また、砥石をワークに接触さ
せ、その接触点で砥石の結合部を不導体被膜が定常的に
残存する弱い電解によりドレッシングするように、ピー
ク電流Ipは通常のELID研削時の半分以下の1Aと
した。実験システムを表1に、加工条件を表2に示す。
そこから砥石摩耗量およびワーク除去量を算出し、研削
比を求めた。図2は得られた砥石粒度と加工面粗さの関
係図であり、図3は、砥石粒度と研削比の関係図であ
る。
見られず、加工後の砥石表面にも特に異常は見られなか
った。従って、鋳鉄ボンド砥石においても、砥石表面に
不導体被膜を形成し、加工条件の最適化によって、本発
明のELID研削が可能であった。加工面粗さは、#4
000加工後でRz0.1μm以下の非常に良好な粗さ
が得られた。#325は、素材の焼き入れ後の変形が大
きいため研削比が若干悪くなった。#4000の砥石に
なると、急激に研削比が悪化するので、加工取代は極力
少なくした方が良いことが確認された。
例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更できることは勿論である。例えば上述
の例では、燃料噴射ノズルの加工について詳述している
が、本発明はこれに限定されず、深い細穴の内面研削に
広く適用することができる。
及び装置及び燃料噴射ノズルは、燃料噴射ノズルのガイ
ド面やシート面のような深い細穴の内面を、ラッピング
加工や慣らし運転を長時間行うことなく、高精度かつ高
品質に高能率で研削できる、等の優れた効果を有する。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 砥粒とこれを固定する導電性結合部とか
らなるメタルボンド砥石(10)と導電性を有するワー
ク(1)との間に電圧を印加し、かつその間に導電性研
削液を供給して前記砥石の導電性結合部表面に不導体被
膜を形成し、その後、前記砥石をワークに接触させるこ
とにより当該接触点において前記不導体被膜の表層部を
除去し、かつ弱い電解により前記不導体被膜を含む導電
性結合部をドレッシングしながら、同時に砥石でワーク
を研削加工する、ことを特徴とする内面研削方法。 - 【請求項2】 円錐状及び/又は円筒状の内面の表面粗
さをRz0.5μm以下に加工する、ことを特徴とする
請求項1に記載の内面研削方法。 - 【請求項3】 砥粒とこれを固定する導電性結合部とか
らなるメタルボンド砥石(10)と、該砥石と導電性を
有するワーク(1)との間に電圧を印加する電圧印加手
段(12)と、砥石とワークとの間に導電性研削液を供
給する研削液供給手段(14)と、を備え、前記導電性
結合部表面に不導体被膜を形成し、その後、前記砥石を
ワークに接触させることにより当該接触点において前記
不導体被膜の表層部を除去し、かつ弱い電解により前記
不導体被膜を含む導電性結合部をドレッシングしなが
ら、同時に砥石でワークを研削加工する、ことを特徴と
する内面研削装置。 - 【請求項4】 シート面及び/又はガイド面を請求項2
に記載の方法により加工する、ことを特徴とする燃料噴
射ノズル。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24243899A JP2001062720A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズル |
DE2000142612 DE10042612A1 (de) | 1999-08-30 | 2000-08-30 | Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen einer inneren Oberfläche und Kraftstoffeinspritzdüse |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24243899A JP2001062720A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001062720A true JP2001062720A (ja) | 2001-03-13 |
Family
ID=17089101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24243899A Pending JP2001062720A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 内面研削方法及び装置及び燃料噴射ノズル |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001062720A (ja) |
DE (1) | DE10042612A1 (ja) |
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---|---|
DE10042612A1 (de) | 2001-04-26 |
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JP3169631B2 (ja) | 半導体接触電極による電解ドレッシング方法及び装置 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060822 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081016 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090225 |