JP2001050842A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JP2001050842A JP2001050842A JP11223388A JP22338899A JP2001050842A JP 2001050842 A JP2001050842 A JP 2001050842A JP 11223388 A JP11223388 A JP 11223388A JP 22338899 A JP22338899 A JP 22338899A JP 2001050842 A JP2001050842 A JP 2001050842A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- receiving substrate
- terminal
- pressure sensor
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力測定部における側面部と底面部とを一体
にして強固にするという必要はなく、コスト的にも安価
に得られ、かつ出力感度の高い圧力センサを提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 圧力測定部２６、受圧基板３０および蓋
４１を内包するように相手側圧力導入管４２を嵌合部２
１に嵌合させるとともに、圧力測定部２６における受圧
基板３０で被圧力検出物質４３の圧力を検出するように
構成したものである。
にして強固にするという必要はなく、コスト的にも安価
に得られ、かつ出力感度の高い圧力センサを提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 圧力測定部２６、受圧基板３０および蓋
４１を内包するように相手側圧力導入管４２を嵌合部２
１に嵌合させるとともに、圧力測定部２６における受圧
基板３０で被圧力検出物質４３の圧力を検出するように
構成したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種制御機器や自
動車エンジン制御、サスペンション制御などに使用され
る圧力センサに関するものである。
動車エンジン制御、サスペンション制御などに使用され
る圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の圧力センサとしては、特
開平１０−１１１２０６号公報に開示されたものが知ら
れている。
開平１０−１１１２０６号公報に開示されたものが知ら
れている。
【０００３】以下、従来の圧力センサについて、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【０００４】図７は従来の圧力センサの側断面図、図８
は同圧力センサにおける圧力導入部に基板を固着した状
態を示す側断面図である。
は同圧力センサにおける圧力導入部に基板を固着した状
態を示す側断面図である。
【０００５】図７、図８において、１は金属で構成され
た有底筒状の圧力導入部で、この圧力導入部１は側面部
１ａおよび底面部１ｂを一体に構成するとともに、この
圧力導入部１の外底面には基板２を固着しており、かつ
この基板２の上面と前記圧力導入部１との間には、空隙
で構成されるコンデンサからなる圧力検出部３と、この
圧力検出部３と電気的に接続される電源電極（図示せ
ず）、ＧＮＤ電極（図示せず）および出力電極（図示せ
ず）を設けている。また前記基板２の下面には電子部品
からなる処理回路４を設けており、この処理回路４によ
り前記圧力検出部３の静電容量の変化を出力電圧に変換
し、前記出力電極（図示せず）に出力している。そして
また、前記圧力導入部１の外側面には嵌合部５を設けて
おり、この嵌合部５を相手側圧力導入管（図示せず）と
嵌合させるようにしている。６は樹脂製の蓋で、この蓋
６は前記基板２を覆うように設けるとともに、この蓋６
の底部には端子挿入孔７を設けており、この端子挿入孔
７から前記基板２における電源電極（図示せず）、ＧＮ
Ｄ電極（図示せず）および出力電極（図示せず）と電気
的に接続された端子８を下方へ向かって突出させてい
る。９は樹脂製のコネクタ部で、このコネクタ部９の内
側には下方へ突出するようにコネクタ端子１０を一体に
設けており、このコネクタ端子１０は前記基板２におけ
る端子８と電気的に接続されている。１１は金属製の支
持板で、この支持板１１は上端を前記圧力導入部１にお
ける底面部１ｂに溶着により固着し、かつ下端をかしめ
ることにより、この支持板１１の内側に蓋６およびコネ
クタ部９における上部分を収納している。
た有底筒状の圧力導入部で、この圧力導入部１は側面部
１ａおよび底面部１ｂを一体に構成するとともに、この
圧力導入部１の外底面には基板２を固着しており、かつ
この基板２の上面と前記圧力導入部１との間には、空隙
で構成されるコンデンサからなる圧力検出部３と、この
圧力検出部３と電気的に接続される電源電極（図示せ
ず）、ＧＮＤ電極（図示せず）および出力電極（図示せ
ず）を設けている。また前記基板２の下面には電子部品
からなる処理回路４を設けており、この処理回路４によ
り前記圧力検出部３の静電容量の変化を出力電圧に変換
し、前記出力電極（図示せず）に出力している。そして
また、前記圧力導入部１の外側面には嵌合部５を設けて
おり、この嵌合部５を相手側圧力導入管（図示せず）と
嵌合させるようにしている。６は樹脂製の蓋で、この蓋
６は前記基板２を覆うように設けるとともに、この蓋６
の底部には端子挿入孔７を設けており、この端子挿入孔
７から前記基板２における電源電極（図示せず）、ＧＮ
Ｄ電極（図示せず）および出力電極（図示せず）と電気
的に接続された端子８を下方へ向かって突出させてい
る。９は樹脂製のコネクタ部で、このコネクタ部９の内
側には下方へ突出するようにコネクタ端子１０を一体に
設けており、このコネクタ端子１０は前記基板２におけ
る端子８と電気的に接続されている。１１は金属製の支
持板で、この支持板１１は上端を前記圧力導入部１にお
ける底面部１ｂに溶着により固着し、かつ下端をかしめ
ることにより、この支持板１１の内側に蓋６およびコネ
クタ部９における上部分を収納している。
【０００６】以上のように構成された従来の圧力センサ
について、次にその動作を説明する。
について、次にその動作を説明する。
【０００７】相手側圧力導入管（図示せず）には、被圧
力検出物質（図示せず）を充填しており、この相手側圧
力導入管（図示せず）に嵌合部５を介して嵌合される圧
力導入部１の内側に被圧力検出物質（図示せず）の圧力
が負荷されるように構成されている。そしてこの被圧力
検出物質（図示せず）の圧力が上昇すると、圧力導入部
１の外底面に設けられた基板２における圧力検出部３の
静電容量が変化し、この静電容量の変化を処理回路４に
より出力電圧に変換し、この出力電圧の変化を基板２に
おける出力電極（図示せず）から端子８およびコネクタ
端子１０を介して、被圧力検出物質（図示せず）に加わ
っている圧力を検出する信号を出力するものである。
力検出物質（図示せず）を充填しており、この相手側圧
力導入管（図示せず）に嵌合部５を介して嵌合される圧
力導入部１の内側に被圧力検出物質（図示せず）の圧力
が負荷されるように構成されている。そしてこの被圧力
検出物質（図示せず）の圧力が上昇すると、圧力導入部
１の外底面に設けられた基板２における圧力検出部３の
静電容量が変化し、この静電容量の変化を処理回路４に
より出力電圧に変換し、この出力電圧の変化を基板２に
おける出力電極（図示せず）から端子８およびコネクタ
端子１０を介して、被圧力検出物質（図示せず）に加わ
っている圧力を検出する信号を出力するものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成においては、圧力導入部１の被圧力検出物質
（図示せず）の圧力が上昇すると、この圧力の上昇は蓋
６を圧力導入部１から外す方向の力として作用するた
め、蓋６が圧力導入部１から外れないようにするために
は蓋６に直接圧力が負荷されないようにする必要がある
が、この場合は、圧力導入部１の側面部１ａと底面部１
ｂとを一体にして強固にする必要があるため、圧力セン
サの価格が高くなるとともに、圧力検出部３に直接に圧
力が作用しないため、圧力検出部３からの出力感度が低
いという課題を有していた。
来の構成においては、圧力導入部１の被圧力検出物質
（図示せず）の圧力が上昇すると、この圧力の上昇は蓋
６を圧力導入部１から外す方向の力として作用するた
め、蓋６が圧力導入部１から外れないようにするために
は蓋６に直接圧力が負荷されないようにする必要がある
が、この場合は、圧力導入部１の側面部１ａと底面部１
ｂとを一体にして強固にする必要があるため、圧力セン
サの価格が高くなるとともに、圧力検出部３に直接に圧
力が作用しないため、圧力検出部３からの出力感度が低
いという課題を有していた。
【０００９】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、圧力測定部における側面部と底面部とを一体にして
強固にするという必要はなく、コスト的にも安価に得ら
れ、かつ出力感度の高い圧力センサを提供することを目
的とするものである。
で、圧力測定部における側面部と底面部とを一体にして
強固にするという必要はなく、コスト的にも安価に得ら
れ、かつ出力感度の高い圧力センサを提供することを目
的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の圧力センサは、端子を突出するように設けた
円柱状の嵌合部と、受圧基板設置部と開口部を有し、か
つ内部に空間部を設けた圧力測定部と、この圧力測定部
における受圧基板設置部に位置して設けられるととも
に、少なくとも一対の圧力検出素子、この圧力検出素子
と電気的に接続される電源電極、ＧＮＤ電極および出力
電極とを有する受圧基板と、前記圧力測定部における空
間部に設けられ、かつ前記受圧基板における少なくとも
一対の圧力検出素子から発生する出力信号を処理して前
記端子に出力する処理回路と、前記圧力測定部における
開口部を閉塞する蓋とを備え、前記圧力測定部、受圧基
板および蓋を内包するように相手側圧力導入管を前記嵌
合部に嵌合させるとともに、前記圧力測定部における受
圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出するように構成し
たもので、この構成によれば、圧力測定部における側面
部と底面部とを一体にして強固にするという必要はな
く、コスト的にも安価に得られ、かつ出力感度の高い圧
力センサを提供することができるものである。
に本発明の圧力センサは、端子を突出するように設けた
円柱状の嵌合部と、受圧基板設置部と開口部を有し、か
つ内部に空間部を設けた圧力測定部と、この圧力測定部
における受圧基板設置部に位置して設けられるととも
に、少なくとも一対の圧力検出素子、この圧力検出素子
と電気的に接続される電源電極、ＧＮＤ電極および出力
電極とを有する受圧基板と、前記圧力測定部における空
間部に設けられ、かつ前記受圧基板における少なくとも
一対の圧力検出素子から発生する出力信号を処理して前
記端子に出力する処理回路と、前記圧力測定部における
開口部を閉塞する蓋とを備え、前記圧力測定部、受圧基
板および蓋を内包するように相手側圧力導入管を前記嵌
合部に嵌合させるとともに、前記圧力測定部における受
圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出するように構成し
たもので、この構成によれば、圧力測定部における側面
部と底面部とを一体にして強固にするという必要はな
く、コスト的にも安価に得られ、かつ出力感度の高い圧
力センサを提供することができるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明は請求項１に記載の発明
は、端子を突出するように設けた円柱状の嵌合部と、受
圧基板設置部と開口部を有し、かつ内部に空間部を設け
た圧力測定部と、この圧力測定部における受圧基板設置
部に位置して設けられるとともに、少なくとも一対の圧
力検出素子、この圧力検出素子と電気的に接続される電
源電極、ＧＮＤ電極および出力電極とを有する受圧基板
と、前記圧力測定部における空間部に設けられ、かつ前
記受圧基板における少なくとも一対の圧力検出素子から
発生する出力信号を処理して前記端子に出力する処理回
路と、前記圧力測定部における開口部を閉塞する蓋とを
備え、前記圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するよ
うに相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合させるととも
に、前記圧力測定部における受圧基板で被圧力検出物質
の圧力を検出するように構成したもので、この構成によ
れば、圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するように
相手側圧力導入管を嵌合部に嵌合させるとともに、圧力
測定部における受圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出
するように構成しているため、相手側圧力導入管の内部
の圧力が上昇した場合、この圧力は、蓋に対して、蓋が
圧力測定部の開口部を閉塞する方向に作用することにな
り、これにより、従来のように蓋が圧力測定部から外れ
ないようにするために圧力測定部における側面部と底面
部とを一体にして強固にするという必要はないため、圧
力センサの構造も簡単となって、コスト的にも安価に得
られるとともに、受圧基板に直接的に圧力が加わるた
め、出力感度の高いものが得られるという作用を有する
ものである。
は、端子を突出するように設けた円柱状の嵌合部と、受
圧基板設置部と開口部を有し、かつ内部に空間部を設け
た圧力測定部と、この圧力測定部における受圧基板設置
部に位置して設けられるとともに、少なくとも一対の圧
力検出素子、この圧力検出素子と電気的に接続される電
源電極、ＧＮＤ電極および出力電極とを有する受圧基板
と、前記圧力測定部における空間部に設けられ、かつ前
記受圧基板における少なくとも一対の圧力検出素子から
発生する出力信号を処理して前記端子に出力する処理回
路と、前記圧力測定部における開口部を閉塞する蓋とを
備え、前記圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するよ
うに相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合させるととも
に、前記圧力測定部における受圧基板で被圧力検出物質
の圧力を検出するように構成したもので、この構成によ
れば、圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するように
相手側圧力導入管を嵌合部に嵌合させるとともに、圧力
測定部における受圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出
するように構成しているため、相手側圧力導入管の内部
の圧力が上昇した場合、この圧力は、蓋に対して、蓋が
圧力測定部の開口部を閉塞する方向に作用することにな
り、これにより、従来のように蓋が圧力測定部から外れ
ないようにするために圧力測定部における側面部と底面
部とを一体にして強固にするという必要はないため、圧
力センサの構造も簡単となって、コスト的にも安価に得
られるとともに、受圧基板に直接的に圧力が加わるた
め、出力感度の高いものが得られるという作用を有する
ものである。
【００１２】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の受圧基板設置部および処理回路を略同一面上に設けた
もので、この構成によれば、受圧基板設置部および処理
回路を略同一面上に設けているため、受圧基板における
電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と処理回路におけ
る電極とを電気的に接続する場合、ワイヤボンディング
により電気的な接続が容易に行えるという作用を有する
ものである。
の受圧基板設置部および処理回路を略同一面上に設けた
もので、この構成によれば、受圧基板設置部および処理
回路を略同一面上に設けているため、受圧基板における
電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と処理回路におけ
る電極とを電気的に接続する場合、ワイヤボンディング
により電気的な接続が容易に行えるという作用を有する
ものである。
【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の受圧基板設置部を圧力測定部の側面に設けるととも
に、処理回路を前記圧力測定部の内側面に位置して設け
たもので、この構成によれば、受圧基板設置部を圧力測
定部の側面に設けるとともに、処理回路を前記圧力測定
部の内側面に位置して設けているため、相手側圧力導入
管の内側に挿入するように設ける圧力測定部を相手側圧
力導入管の長手方向に配置することができ、これによ
り、相手側圧力導入管の径を小さくすることができるた
め、相手側圧力導入管に圧力センサを嵌合させた場合に
おける相手側圧力導入管に圧力センサを合わせた全体の
大きさを小型化できるという作用を有するものである。
の受圧基板設置部を圧力測定部の側面に設けるととも
に、処理回路を前記圧力測定部の内側面に位置して設け
たもので、この構成によれば、受圧基板設置部を圧力測
定部の側面に設けるとともに、処理回路を前記圧力測定
部の内側面に位置して設けているため、相手側圧力導入
管の内側に挿入するように設ける圧力測定部を相手側圧
力導入管の長手方向に配置することができ、これによ
り、相手側圧力導入管の径を小さくすることができるた
め、相手側圧力導入管に圧力センサを嵌合させた場合に
おける相手側圧力導入管に圧力センサを合わせた全体の
大きさを小型化できるという作用を有するものである。
【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載の嵌合部を金属で構成するとともに、こ
の嵌合部における端子の外周に端子挿入孔を設け、この
端子挿入孔と端子との間にガラスを介在させたもので、
この構成によれば、嵌合部を金属で構成するとともに、
この嵌合部における端子の外周に端子挿入孔を設け、こ
の端子挿入孔と端子との間にガラスを介在させているた
め、端子に外部よりノイズ信号が負荷されたとしても、
ガラスがハイパスフィルタとなり、これにより、ノイズ
信号がガラスを介して嵌合部に伝わり外部へ流出するた
め、圧力センサの処理回路に到達するノイズ信号を減少
させることができるという作用を有するものである。
いずれかに記載の嵌合部を金属で構成するとともに、こ
の嵌合部における端子の外周に端子挿入孔を設け、この
端子挿入孔と端子との間にガラスを介在させたもので、
この構成によれば、嵌合部を金属で構成するとともに、
この嵌合部における端子の外周に端子挿入孔を設け、こ
の端子挿入孔と端子との間にガラスを介在させているた
め、端子に外部よりノイズ信号が負荷されたとしても、
ガラスがハイパスフィルタとなり、これにより、ノイズ
信号がガラスを介して嵌合部に伝わり外部へ流出するた
め、圧力センサの処理回路に到達するノイズ信号を減少
させることができるという作用を有するものである。
【００１５】以下、本発明の一実施の形態における圧力
センサについて図面を参照しながら説明する。
センサについて図面を参照しながら説明する。
【００１６】図１は本発明の一実施の形態における圧力
センサの側断面図、図２は同圧力センサの上面図、図３
は同圧力センサにおける嵌合部および圧力測定部の正面
図、図４は同圧力センサにおける基板の上面図、図５は
同圧力センサにおける基板の回路図である。
センサの側断面図、図２は同圧力センサの上面図、図３
は同圧力センサにおける嵌合部および圧力測定部の正面
図、図４は同圧力センサにおける基板の上面図、図５は
同圧力センサにおける基板の回路図である。
【００１７】図１〜図５において、２１は金属で構成さ
れた円柱状の嵌合部で、この嵌合部２１の略中央には嵌
合部２１を上下に貫通するように端子挿入孔２２を設け
ており、この端子挿入孔２２にはガラス２３を介して３
つの端子２４を挿通している。また前記嵌合部２１の外
側面にはＯリング２５を設けている。２６は圧力測定部
で、この圧力測定部２６は、前記嵌合部２１の上面の略
中央から上方へ向かって一体に突出するように設けてお
り、かつこの圧力測定部２６の外側面には受圧基板設置
部２７を設けるとともに、この受圧基板設置部２７を設
けた側と対向する側の側面には開口部２８を設け、さら
にこの圧力測定部２６の内部には空間部２９を設けてい
る。３０は金属で構成された受圧基板で、この受圧基板
３０は圧力測定部２６における受圧基板設置部２７に表
面が空間部を向くように設けるとともに、表面に金属薄
膜抵抗体よりなる一対の内側圧力検出素子３１および一
対の外側圧力検出素子３２を設けている。また前記受圧
基板３０の表面には第１の電源電極３３、第２の電源電
極３４、第１の出力電極３５、第２の出力電極３６、第
１のＧＮＤ電極３７および第２のＧＮＤ電極３８を設け
ており、これらの電極を前記一対の内側圧力検出素子３
１および外側圧力検出素子３２と電気的に接続すること
によりブリッジ回路を構成している。３９は電子部品か
らなる処理回路で、この処理回路３９は前記圧力測定部
２６における空間部２９に前記圧力測定部２６の内側面
に位置して設けられるとともに、ワイヤ４０により、前
記受圧基板３０における第１の電源電極３３、第２の電
源電極３４、第１の出力電極３５、第２の出力電極３
６、第１のＧＮＤ電極３７、第２のＧＮＤ電極３８およ
び嵌合部２１における端子２４と電気的に接続されてお
り、そしてこの処理回路３９は受圧基板３０における内
側圧力検出素子３１および外側圧力検出素子３２から発
生する出力信号を処理するとともに端子２４に出力して
いる。４１は樹脂製の蓋で、この蓋４１は前記圧力測定
部２６における開口部２８を閉塞している。
れた円柱状の嵌合部で、この嵌合部２１の略中央には嵌
合部２１を上下に貫通するように端子挿入孔２２を設け
ており、この端子挿入孔２２にはガラス２３を介して３
つの端子２４を挿通している。また前記嵌合部２１の外
側面にはＯリング２５を設けている。２６は圧力測定部
で、この圧力測定部２６は、前記嵌合部２１の上面の略
中央から上方へ向かって一体に突出するように設けてお
り、かつこの圧力測定部２６の外側面には受圧基板設置
部２７を設けるとともに、この受圧基板設置部２７を設
けた側と対向する側の側面には開口部２８を設け、さら
にこの圧力測定部２６の内部には空間部２９を設けてい
る。３０は金属で構成された受圧基板で、この受圧基板
３０は圧力測定部２６における受圧基板設置部２７に表
面が空間部を向くように設けるとともに、表面に金属薄
膜抵抗体よりなる一対の内側圧力検出素子３１および一
対の外側圧力検出素子３２を設けている。また前記受圧
基板３０の表面には第１の電源電極３３、第２の電源電
極３４、第１の出力電極３５、第２の出力電極３６、第
１のＧＮＤ電極３７および第２のＧＮＤ電極３８を設け
ており、これらの電極を前記一対の内側圧力検出素子３
１および外側圧力検出素子３２と電気的に接続すること
によりブリッジ回路を構成している。３９は電子部品か
らなる処理回路で、この処理回路３９は前記圧力測定部
２６における空間部２９に前記圧力測定部２６の内側面
に位置して設けられるとともに、ワイヤ４０により、前
記受圧基板３０における第１の電源電極３３、第２の電
源電極３４、第１の出力電極３５、第２の出力電極３
６、第１のＧＮＤ電極３７、第２のＧＮＤ電極３８およ
び嵌合部２１における端子２４と電気的に接続されてお
り、そしてこの処理回路３９は受圧基板３０における内
側圧力検出素子３１および外側圧力検出素子３２から発
生する出力信号を処理するとともに端子２４に出力して
いる。４１は樹脂製の蓋で、この蓋４１は前記圧力測定
部２６における開口部２８を閉塞している。
【００１８】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における圧力センサについて、次にその組立方法を
説明する。
形態における圧力センサについて、次にその組立方法を
説明する。
【００１９】まず、受圧基板３０の表面に内側圧力検出
素子３１、外側圧力検出素子３２、第１の電源電極３
３、第２の電源電極３４、第１のＧＮＤ電極３７、第２
のＧＮＤ電極３８、第１の出力電極３５および第２の出
力電極３６をスパッタリングにより形成する。
素子３１、外側圧力検出素子３２、第１の電源電極３
３、第２の電源電極３４、第１のＧＮＤ電極３７、第２
のＧＮＤ電極３８、第１の出力電極３５および第２の出
力電極３６をスパッタリングにより形成する。
【００２０】次に、エッチングによりブリッジ回路を前
記受圧基板３０の表面に形成した後、Ａｌ2Ｏ3からなる
保護層（図示せず）をブリッジ回路の上面を保護するよ
うに形成する。
記受圧基板３０の表面に形成した後、Ａｌ2Ｏ3からなる
保護層（図示せず）をブリッジ回路の上面を保護するよ
うに形成する。
【００２１】次に、嵌合部２１およびこの嵌合部２１か
ら上方へ向かって突出する圧力測定部２６を金属を切削
することにより形成した後、この圧力測定部２６の側面
に受圧基板設置部２７を形成するとともに、嵌合部２１
の略中央に端子挿入孔２２を形成する。
ら上方へ向かって突出する圧力測定部２６を金属を切削
することにより形成した後、この圧力測定部２６の側面
に受圧基板設置部２７を形成するとともに、嵌合部２１
の略中央に端子挿入孔２２を形成する。
【００２２】次に、前記嵌合部２１における端子挿入孔
２２に高温で溶融したガラス２３を充填した後、このガ
ラス２３の略中央に端子挿入孔２２における上方から下
方にわたって挿通されるように端子２４を挿入する。
２２に高温で溶融したガラス２３を充填した後、このガ
ラス２３の略中央に端子挿入孔２２における上方から下
方にわたって挿通されるように端子２４を挿入する。
【００２３】次に、前記圧力測定部２６の外側面の外側
から受圧基板設置部２７に受圧基板３０を固着した後、
圧力測定部２６の内側に電子部品からなる処理回路３９
を載置する。
から受圧基板設置部２７に受圧基板３０を固着した後、
圧力測定部２６の内側に電子部品からなる処理回路３９
を載置する。
【００２４】次に、前記受圧基板３１における第１の電
源電極３３、第２の電源電極３４、第１のＧＮＤ電極３
５、第２のＧＮＤ電極３８、第１の出力電極３５および
第２の出力電極３６と電子部品からなる処理回路３９と
の間にワイヤ４０をボンディングすることにより電気的
に接続するとともに、電子部品からなる処理回路３９と
端子２４との間にワイヤ４０をボンディングすることに
より電気的に接続する。最後に、圧力測定部２６におけ
る開口部２８を蓋４１により閉塞する。
源電極３３、第２の電源電極３４、第１のＧＮＤ電極３
５、第２のＧＮＤ電極３８、第１の出力電極３５および
第２の出力電極３６と電子部品からなる処理回路３９と
の間にワイヤ４０をボンディングすることにより電気的
に接続するとともに、電子部品からなる処理回路３９と
端子２４との間にワイヤ４０をボンディングすることに
より電気的に接続する。最後に、圧力測定部２６におけ
る開口部２８を蓋４１により閉塞する。
【００２５】上記した本発明の一実施の形態における圧
力センサにおいては、受圧基板設置部２７および処理回
路３９を略同一上に設けているため、受圧基板３０に設
けた第１の電源電極３３、第２の電源電極３４、第１の
ＧＮＤ電極３７、第２のＧＮＤ電極３８、第１の出力電
極３５および第２の出力電極３６と処理回路３９におけ
る電極（図示せず）と電気的に接続する場合、ワイヤ４
０のボンディングによって電気的な接続が容易に行える
という効果を有するものである。
力センサにおいては、受圧基板設置部２７および処理回
路３９を略同一上に設けているため、受圧基板３０に設
けた第１の電源電極３３、第２の電源電極３４、第１の
ＧＮＤ電極３７、第２のＧＮＤ電極３８、第１の出力電
極３５および第２の出力電極３６と処理回路３９におけ
る電極（図示せず）と電気的に接続する場合、ワイヤ４
０のボンディングによって電気的な接続が容易に行える
という効果を有するものである。
【００２６】以上のようにして組み立てられた本発明の
一実施の形態における圧力センサについて、次にその動
作を説明する。
一実施の形態における圧力センサについて、次にその動
作を説明する。
【００２７】図６は本発明の一実施の形態における圧力
センサを相手側圧力導入管に嵌合させた状態を示す側断
面図である。
センサを相手側圧力導入管に嵌合させた状態を示す側断
面図である。
【００２８】図６において、相手側圧力導入管４２の内
圧が高くなると、圧力センサにおける受圧基板３０が圧
力測定部２６における空間部２９に向かって変形する。
この受圧基板３０の変形に伴って、受圧基板３０に設け
た外側圧力検出素子３２は圧縮力により縮む方向に、内
側圧力検出素子３１は引張力により伸びる方向に変化す
る。ここで、一般に金属薄膜抵抗体等の抵抗体からなる
圧力検出素子の抵抗値は、抵抗体の長さｌと比抵抗ｐに
比例し、断面積ｓに反比例する。したがって、前記外側
圧力検出素子３２および内側圧力検出素子３１の抵抗値
は、抵抗体が伸びると抵抗値Ｒは大きくなり、一方、抵
抗体が縮むと抵抗値Ｒは小さくなる。そのため、ブリッ
ジ回路で構成された外側圧力検出素子３２および内側圧
力検出素子３１の抵抗値は、相手側圧力導入管４２の内
側の内圧が高くなると内側圧力検出素子３１のほうが外
側圧力検出素子３２の抵抗値より大となる。したがっ
て、ブリッジ回路を構成している第１の出力電極３６と
第２の出力電極３７との電位差を出力して測定すること
により圧力センサに加わる圧力を計測することができる
ものである。
圧が高くなると、圧力センサにおける受圧基板３０が圧
力測定部２６における空間部２９に向かって変形する。
この受圧基板３０の変形に伴って、受圧基板３０に設け
た外側圧力検出素子３２は圧縮力により縮む方向に、内
側圧力検出素子３１は引張力により伸びる方向に変化す
る。ここで、一般に金属薄膜抵抗体等の抵抗体からなる
圧力検出素子の抵抗値は、抵抗体の長さｌと比抵抗ｐに
比例し、断面積ｓに反比例する。したがって、前記外側
圧力検出素子３２および内側圧力検出素子３１の抵抗値
は、抵抗体が伸びると抵抗値Ｒは大きくなり、一方、抵
抗体が縮むと抵抗値Ｒは小さくなる。そのため、ブリッ
ジ回路で構成された外側圧力検出素子３２および内側圧
力検出素子３１の抵抗値は、相手側圧力導入管４２の内
側の内圧が高くなると内側圧力検出素子３１のほうが外
側圧力検出素子３２の抵抗値より大となる。したがっ
て、ブリッジ回路を構成している第１の出力電極３６と
第２の出力電極３７との電位差を出力して測定すること
により圧力センサに加わる圧力を計測することができる
ものである。
【００２９】ここで、圧力センサにおける圧力測定部２
６に強い圧力が加わった場合について考えてみると、本
発明の一実施の形態における圧力センサにおいては、圧
力測定部２６、受圧基板３０および蓋４１を内包するよ
うに相手側圧力導入管４２を圧力センサの嵌合部２１に
嵌合させるとともに、前記圧力測定部２６における受圧
基板３０で被圧力検出物質４３の圧力を検出するように
構成しているため、相手側圧力導入管４２の内部の圧力
が上昇した場合、この圧力は、蓋４１に対して、蓋４１
が圧力測定部２６の開口部２８を閉塞する方向に作用す
ることになり、これにより、従来のように蓋４１が圧力
測定部２６から外れないようにするために圧力測定部２
６における側面部と底面部とを一体にして強固にすると
いう必要はないため、圧力センサの構造も簡単となっ
て、コスト的にも安価に得られるとともに、受圧基板３
０に直接的に圧力が加わるため、圧力センサの出力感度
が高くなるという効果を有するものである。
６に強い圧力が加わった場合について考えてみると、本
発明の一実施の形態における圧力センサにおいては、圧
力測定部２６、受圧基板３０および蓋４１を内包するよ
うに相手側圧力導入管４２を圧力センサの嵌合部２１に
嵌合させるとともに、前記圧力測定部２６における受圧
基板３０で被圧力検出物質４３の圧力を検出するように
構成しているため、相手側圧力導入管４２の内部の圧力
が上昇した場合、この圧力は、蓋４１に対して、蓋４１
が圧力測定部２６の開口部２８を閉塞する方向に作用す
ることになり、これにより、従来のように蓋４１が圧力
測定部２６から外れないようにするために圧力測定部２
６における側面部と底面部とを一体にして強固にすると
いう必要はないため、圧力センサの構造も簡単となっ
て、コスト的にも安価に得られるとともに、受圧基板３
０に直接的に圧力が加わるため、圧力センサの出力感度
が高くなるという効果を有するものである。
【００３０】また本発明の一実施の形態における圧力セ
ンサにおいては、受圧基板設置部２７を圧力測定部２６
の側面に設けるとともに、処理回路３９を前記圧力測定
部２６の内側面に位置して設けているため、相手側圧力
導入管４２の内側に挿入するように設ける圧力測定部２
６を相手側圧力導入管４２の長手方向に配置することが
でき、これにより、相手側圧力導入管４２の径を小さく
することができるため、相手側圧力導入管４２に圧力セ
ンサを嵌合させた場合における相手側圧力導入管４２に
圧力センサを合わせた全体の大きさを小型化できるとい
う効果を有するものである。
ンサにおいては、受圧基板設置部２７を圧力測定部２６
の側面に設けるとともに、処理回路３９を前記圧力測定
部２６の内側面に位置して設けているため、相手側圧力
導入管４２の内側に挿入するように設ける圧力測定部２
６を相手側圧力導入管４２の長手方向に配置することが
でき、これにより、相手側圧力導入管４２の径を小さく
することができるため、相手側圧力導入管４２に圧力セ
ンサを嵌合させた場合における相手側圧力導入管４２に
圧力センサを合わせた全体の大きさを小型化できるとい
う効果を有するものである。
【００３１】さらに外部より端子２４を介してノイズ信
号が圧力センサの内部に侵入しようとした場合を考えて
みると、本発明の一実施の形態における圧力センサにお
いては、嵌合部２１を金属で構成するとともに、この嵌
合部２１における端子２４の外周に端子挿入孔２２を設
け、この端子挿入孔２２と端子２４との間にガラス２３
を介在させているため、端子２４に外部よりノイズ信号
が負荷されたとしても、ガラス２３がハイパスフィルタ
となり、これにより、ノイズ信号がガラス２３を介して
金属製の嵌合部２１に伝わり外部へ流出するため、圧力
センサの処理回路３９に到達するノイズ信号を減少させ
ることができるという効果を有するものである。
号が圧力センサの内部に侵入しようとした場合を考えて
みると、本発明の一実施の形態における圧力センサにお
いては、嵌合部２１を金属で構成するとともに、この嵌
合部２１における端子２４の外周に端子挿入孔２２を設
け、この端子挿入孔２２と端子２４との間にガラス２３
を介在させているため、端子２４に外部よりノイズ信号
が負荷されたとしても、ガラス２３がハイパスフィルタ
となり、これにより、ノイズ信号がガラス２３を介して
金属製の嵌合部２１に伝わり外部へ流出するため、圧力
センサの処理回路３９に到達するノイズ信号を減少させ
ることができるという効果を有するものである。
【００３２】なお、上記本発明の一実施の形態における
圧力センサにおいては、嵌合部２１と圧力測定部２６と
を一体に設けた構成について説明したが、嵌合部２１と
圧力測定部２６とを別体とし、そして嵌合部２１に圧力
測定部２６を固着するようにしても良いものである。
圧力センサにおいては、嵌合部２１と圧力測定部２６と
を一体に設けた構成について説明したが、嵌合部２１と
圧力測定部２６とを別体とし、そして嵌合部２１に圧力
測定部２６を固着するようにしても良いものである。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明の圧力センサは、端
子を突出するように設けた円柱状の嵌合部と、受圧基板
設置部と開口部を有し、かつ内部に空間部を設けた圧力
測定部と、この圧力測定部における受圧基板設置部に位
置して設けられるとともに、少なくとも一対の圧力検出
素子、この圧力検出素子と電気的に接続される電源電
極、ＧＮＤ電極および出力電極とを有する受圧基板と、
前記圧力測定部における空間部に設けられ、かつ前記受
圧基板における少なくとも一対の圧力検出素子から発生
する出力信号を処理して前記端子に出力する処理回路
と、前記圧力測定部における開口部を閉塞する蓋とを備
え、前記圧力測定部、重圧基板および蓋を内包するよう
に相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合させるととも
に、前記圧力測定部における受圧基板で被圧力検出物質
の圧力を検出するように構成したもので、この構成によ
れば、圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するように
相手側圧力導入管を嵌合部に嵌合させるとともに、圧力
測定部における受圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出
するように構成しているため、相手側圧力導入管の内部
の圧力が上昇した場合、この圧力は、蓋に対して、蓋が
圧力測定部の開口部を閉塞する方向に作用することにな
り、これにより、従来のように蓋が圧力測定部から外れ
ないようにするために圧力測定部における側面部と底面
部とを一体にして強固にするという必要はないため、圧
力センサの構造も簡単となって、コスト的にも安価に得
られるとともに、受圧基板に直接的に圧力が加わるた
め、出力感度の高い圧力センサが得られるという効果を
有するものである。
子を突出するように設けた円柱状の嵌合部と、受圧基板
設置部と開口部を有し、かつ内部に空間部を設けた圧力
測定部と、この圧力測定部における受圧基板設置部に位
置して設けられるとともに、少なくとも一対の圧力検出
素子、この圧力検出素子と電気的に接続される電源電
極、ＧＮＤ電極および出力電極とを有する受圧基板と、
前記圧力測定部における空間部に設けられ、かつ前記受
圧基板における少なくとも一対の圧力検出素子から発生
する出力信号を処理して前記端子に出力する処理回路
と、前記圧力測定部における開口部を閉塞する蓋とを備
え、前記圧力測定部、重圧基板および蓋を内包するよう
に相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合させるととも
に、前記圧力測定部における受圧基板で被圧力検出物質
の圧力を検出するように構成したもので、この構成によ
れば、圧力測定部、受圧基板および蓋を内包するように
相手側圧力導入管を嵌合部に嵌合させるとともに、圧力
測定部における受圧基板で被圧力検出物質の圧力を検出
するように構成しているため、相手側圧力導入管の内部
の圧力が上昇した場合、この圧力は、蓋に対して、蓋が
圧力測定部の開口部を閉塞する方向に作用することにな
り、これにより、従来のように蓋が圧力測定部から外れ
ないようにするために圧力測定部における側面部と底面
部とを一体にして強固にするという必要はないため、圧
力センサの構造も簡単となって、コスト的にも安価に得
られるとともに、受圧基板に直接的に圧力が加わるた
め、出力感度の高い圧力センサが得られるという効果を
有するものである。
【図１】本発明の一実施の形態における圧力センサの側
断面図
断面図
【図２】同圧力センサの上面図
【図３】同圧力センサにおける嵌合部および圧力測定部
の正面図
の正面図
【図４】同圧力センサにおける基板の上面図
【図５】同圧力センサにおける回路図
【図６】本発明の一実施の形態における圧力センサを相
手側圧力導入管に装着した状態を示す側断面図
手側圧力導入管に装着した状態を示す側断面図
【図７】従来の圧力センサの側断面図
【図８】同圧力センサにおける圧力導入部に基板を固着
した状態を示す側断面図
した状態を示す側断面図
２１ 嵌合部 ２２ 端子挿入孔 ２３ ガラス ２４ 端子 ２６ 圧力測定部 ２７ 受圧基板設置部 ２８ 開口部 ２９ 空間部 ３０ 受圧基板 ３１ 内側圧力検出素子 ３２ 外側圧力検出素子 ３３ 第１の電源電極 ３４ 第２の電源電極 ３５ 第１の出力電極 ３６ 第２の出力電極 ３７ 第１のＧＮＤ電極 ３８ 第２のＧＮＤ電極 ３９ 処理回路 ４１ 蓋 ４２ 相手側圧力導入管 ４３ 被圧力検出物質
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上田 真二郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 井上 健彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA23 BB20 CC02 DD01 DD07 EE12 FF11 FF43 GG25 HH03
Claims (4)
- 【請求項１】 端子を突出するように設けた円柱状の嵌
合部と、受圧基板設置部と開口部を有し、かつ内部に空
間部を設けた圧力測定部と、この圧力測定部における受
圧基板設置部に位置して設けられるとともに、少なくと
も一対の圧力検出素子、この圧力検出素子と電気的に接
続される電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極とを有す
る受圧基板と、前記圧力測定部における空間部に設けら
れ、かつ前記受圧基板における少なくとも一対の圧力検
出素子から発生する出力信号を処理して前記端子に出力
する処理回路と、前記圧力測定部における開口部を閉塞
する蓋とを備え、前記圧力測定部、受圧基板および蓋を
内包するように相手側圧力導入管を前記嵌合部に嵌合さ
せるとともに、前記圧力測定部における受圧基板で被圧
力検出物質の圧力を検出するように構成した圧力セン
サ。 - 【請求項２】 受圧基板設置部および処理回路を略同一
面上に設けた請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 受圧基板設置部を圧力測定部の側面に設
けるとともに、処理回路を前記圧力測定部の内側面に位
置して設けた請求項２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 嵌合部を金属で構成するとともに、この
嵌合部における端子の外周に端子挿入孔を設け、この端
子挿入孔と端子との間にガラスを介在させた請求項１〜
３のいずれかに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11223388A JP2001050842A (ja) | 1999-08-06 | 1999-08-06 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11223388A JP2001050842A (ja) | 1999-08-06 | 1999-08-06 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050842A true JP2001050842A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16797376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11223388A Pending JP2001050842A (ja) | 1999-08-06 | 1999-08-06 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001050842A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108554A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
| JP2005214735A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2008039778A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Air Products & Chemicals Inc | 流体圧力を監視する方法及び装置 |
| JP2011242373A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Denso Corp | 圧力センサ、及びその製造方法 |
-
1999
- 1999-08-06 JP JP11223388A patent/JP2001050842A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108554A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
| JP2005214735A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2008039778A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Air Products & Chemicals Inc | 流体圧力を監視する方法及び装置 |
| JP2011242373A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Denso Corp | 圧力センサ、及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7353711B2 (en) | Capacitive sensor | |
| KR100590275B1 (ko) | 압력 센서 | |
| US6131467A (en) | Pressure sensor including a joint for connecting a housing and connector case together | |
| JP3987386B2 (ja) | 圧力センサ | |
| KR20150083029A (ko) | 유체 매질의 온도 및 압력을 검출하기 위한 센서 | |
| JPH1172402A (ja) | 圧力センサ装置 | |
| US6978681B2 (en) | Pressure sensor | |
| US6580077B2 (en) | Infrared sensor | |
| JP2001050842A (ja) | 圧力センサ | |
| EP1806569A1 (en) | Inductive-capactive sensor | |
| WO2015133101A1 (ja) | 圧力センサ | |
| JP2001116643A (ja) | 液封型圧力センサ用圧力検出エレメントおよび液封型圧力センサ | |
| JPH02138776A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| US5635629A (en) | Knock sensor | |
| JPH11142273A (ja) | 圧力検出装置 | |
| US5614673A (en) | Acceleration sensing device | |
| JP2006010547A (ja) | 湿度センサモジュールおよび湿度センサの実装構造 | |
| JP3153360B2 (ja) | 衝撃検知センサ | |
| JP2001108554A (ja) | 圧力センサ | |
| WO2012063477A1 (ja) | 圧力センサ | |
| JP5720450B2 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造 | |
| EP0671612B1 (en) | Knock sensor with beam accelerometer | |
| JP5251498B2 (ja) | 圧力センサ | |
| US6938492B2 (en) | Pressure sensor and manufacturing method of pressure sensor | |
| EP1552260B1 (en) | Pressure sensor and production thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060706 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060821 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080807 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080909 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081110 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090203 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090623 |