JP2001048346A - ワークフィーダの過負荷検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の耐久性および信頼性を大きく向上させ
る。 【解決手段】 ガイドレールに案内される薄板状ワーク
を、そのワークに係合する爪部３により移送するワーク
フィーダにおいて、駆動シャフト１上に駆動ブロック２
を取付け、この駆動ブロック２と、駆動シャフト上を摺
動変位可能な爪部３とをコイルスプリング６で連結し、
このスプリング６の伸びを検知センサ10,11を固定部材
９に取付けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、集積回路、大規
模集積回路等の半導体その他の製造装置において、リー
ドフレーム等の薄板状ワークをガイドレールに沿って移
送するワークフィーダに用いて好適な過負荷検出装置に
関し、耐久性および信頼性を大きく向上させたものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体の製造工程では、処理
もしくは加工装置間でのワークの受け渡しは、薄板状の
ワークを数枚ないしは数十枚位置決め収納し得るマガジ
ンを単位として行われることが一般的であり、この場
合、各装置では、前工程から運ばれたマガジンから各ワ
ークを順次に取り出して処理位置等まで移送し、処理等
を終了したワークを再びマガジンに収納することが必要
になる。そこで、通常は、マガジンからのワークの取り
出しにはプッシャと称される押圧機構を、そして、各ワ
ークの移送にはフィーダと称される搬送機構をそれぞれ
用いることとしている。

【０００３】ところで、薄板状のワークのこのような移
動はいずれも、それをガイドレールの案内下で、それに
沿わせて行われており、これがため、マガジンから取り
出されたそのワークを処理位置等にセットするに当り、
または、処理等を終えたワークをマガジンに収納するに
当って、ガイドレールのワーク支持面と、処理位置等と
の間もしくはマガジンとの間に段差が存在すると、ワー
クの円滑なる移送が妨げられることになって、フィーダ
からの外力の作用によってワークが損傷されることがあ
った。

【０００４】そこで従来は、このような場合にフィーダ
に作用する負荷の増加を検出して、たとえばフィーダの
作動を停止させることで薄板状ワークの損傷を防止する
ものとして、図３に示すような過負荷検出装置が使用さ
れていた。

【０００５】これは、ガイドレール101 に案内される薄
板状ワーク102 を、たとえばマガジン103 に収納する場
合において、フィーダ104 の駆動シャフト105 に固定し
た駆動ブロック106 に、スプリング107 を介して連結さ
れて、駆動シャフト105 上を摺動可能な爪部108 をワー
ク102 の後端に係合させて移送するに当って、薄板状ワ
ーク102 の先端が、ガイドレール101 のワーク支持面
と、マガジン103 のワーク収納面との間に存在する段差
によってマガジン103 に当接し、この結果として、爪部
108 の進行が駆動ブロック106 に対して遅れることにな
って、ワーク102の定常移送時には、たとえば図４(a)
に示すような収縮状態にあるスプリング107 が、図４
(b) に示すように伸長変形したときに、その伸長変形の
発生を、爪部側に設けたたとえば当センサ109からの、
駆動ブロック側に設けた遮光板110の抜け出しによって
検知して、ワーク102への過負荷の作用を検出するもの
である。なお図中111 は、爪部108 の回止めシャフトを
示す。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来技術にあっては、センサ109 が可動部材に取付けら
れていることから、センサ109 と制御部とを結ぶ信号線
が、そのセンサ109 の繰返しの往復運動によって破断等
されるおそれが高いという問題があり、このことは、セ
ンサ109 と遮光板110 との取付位置を逆にしてもまた同
様であった。

【０００７】この発明は、従来技術が抱えるこのような
問題点を解決することを課題とするものであり、それの
目的とするところは、爪部の相対遅れの検知機構部とし
てのセンサを固定部材側に設けることよって、センサと
制御部とを結ぶ信号線の破断等のおそれを十分に除去し
て装置の耐久性および信頼性を大きく向上させたワーク
フィーダの過負荷検出装置を提供するにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の、ワークフィ
ーダの過負荷検出装置は、ガイドレールに案内される薄
板状ワークを、その薄板状ワークの後端に係合する爪部
によって移送するワークフィーダにおいて、軸線方向に
進退変移する駆動シャフト上に駆動ブロックを取付ける
とともに、この駆動ブロックと、駆動シャフト上を摺動
変位可能な爪部とをスプリングにより連結し、このスプ
リングの伸びを検知するセンサを固定部材側に設けたも
のである。

【０００９】この検出装置では、薄板状ワークが、爪部
による移送途中で、従来技術で述べたように段差部に当
接し、これによって、駆動ブロックと爪部とを連結する
スプリングに伸長変形が生じた場合に、その伸長変形の
発生を、固定部材側に設けたセンサによって検知するこ
とができるので、センサと制御部とを接続する信号線
に、繰返しの曲げ応力等が作用することがなく、これが
ため、装置の耐久性を大きく向上させて、ワークへの過
負荷の作用をすぐれた信頼性の下で確実に検出すること
ができる。

【００１０】この装置において好ましくは、センサを光
学式のセンサとするとともに、そのセンサを、駆動ブロ
ック側に固定した、パルス状の凹凸部を有する遮光板
と、爪部側に固定した同様の凹凸部を有する遮光板とを
挟んで配設する。

【００１１】これによれば、二枚の遮光板を隔てて位置
する、発光部と受光部とからなるセンサにおいて、ワー
クの定常放送状態では、遮光板によって遮られる発光部
から光線が受光部に到達したことを検知すること、また
は、通常は遮光板によって遮られることのない発光部か
らの光線が受光部に入射されなくなったことを検知する
ことにより、簡単な構造の下で、スプリングへの伸長変
形の発生を正確に検知することができる。

【００１２】ここでたとえば前者の場合において、ワー
クの定常移送状態の下で既にスプリングの幾分の伸長変
形が生じるときは、それぞれの遮光板の、ともに等ピッ
チで形成される凹凸部にあって、凹部の幅を凸部のそれ
より狭く設定することで、定常移送時の不測の光線洩れ
に対処することができる。

【００１３】かくして、この装置では、両遮光板を、薄
板状ワークの定常移送下で、一方の遮光板の凹部が他方
の遮光板の凸部に重なる配置とすることの他、両遮光板
の凹部どうしが相互に重なる配置とすることもできる。
また好ましくは、二個のセンサを、一方の遮光板の、凹
部および凸部のそれぞれに対応させて配設する。

【００１４】スプリングの伸長変形に起因する、受光部
への光線の到達を検知する場合には、二個のセンサのそ
れぞれをともに、一方の遮光板の遮光機能だけに依存さ
せて配設した場合には、他方の遮光板が移動してなお、
その一方の遮光板が移動しない場合、すなわち、スプリ
ングが伸長変形している場合にも、受光部に光線が到達
しない不都合が生じることになるところ、センサの上述
のような配置によって、両遮光板のそれぞれに遮光機能
を分散させた場合には、いずれか一方の遮光板の変位に
よって、一方のセンサの受光部には光線が必ず到達する
ので、誤検知のおそれを十分に取り除くことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に示すところに基づいて説明する。図１は、この発明
の実施の形態を示す正面図および平面図であり、図２は
図１(a) の左側面図および右側面図である。図中１は軸
線方向に進退変移する駆動シャフトを、２は、駆動シャ
フト１に固定した移動ブロックをそれぞれ示す。ここで
は、駆動シャフト１が貫通する爪部３のベース部４を、
その駆動シャフト上で摺動変位可能とするとともに、駆
動シャフト１の下方にそれと平行に延びる回止めシャフ
ト５をもって回り止めし、かかる爪部３を、図ではコイ
ルスプリング６によって駆動ブロック２に連結する。

【００１６】このコイルスプリング６のばね力は所要に
応じて適宜に選択することができるものとし、ここで
は、爪部３への負荷が無い状態ではもちろん、薄板状ワ
ークの後述する定常移送状態の下でも、ベース部４を駆
動ブロック２に接触させ得るばね力を有するものとす
る。しかるに、爪部３に作用するワーク移送力が、定常
移送時のそれより増加したときは、コイルスプリング６
は伸長変形する。

【００１７】またここでは、駆動ブロック２および爪部
３、ひいては、そのベース部４のそれぞれに、相互に隣
接して下方へ突出するそれぞれの遮光板７，８を設け、
これらの両遮光板７，８の、ともに等しい高さの下端部
分に、いずれもパルス状をなし、かつ、共通の配設ピッ
チを有するそれぞれの凹凸部を形成し、そして、それぞ
れの遮光板７，８を、一方の遮光板の凹部が他方の遮光
板の凸部に重なる初期姿勢とする。

【００１８】この一方で、固定部材９に、前記凹凸部と
対応して位置する二個の光学式センサ10, 11を所定の間
隔をおいて取付け、図２に示すように、これらのセンサ
10,11のそれぞれの発光部12, 13および受光部14, 15の
相互を、両遮光板７，８を隔てて対向させて位置させ
る。ここで、二個の光学式センサ10, 11のそれぞれは、
一方の遮光板の凹部および凸部のそれぞれと対応する。

【００１９】以上のように構成したところにおいて、薄
板状ワークの、ガイドレールに沿う移送は、駆動シャフ
ト１および駆動ブロック２の進出変位に基き、爪部３の
垂下係合片16をもって、そのワークの後端を従来技術で
述べたように押圧することにより行われ、この場合、ワ
ークがガイドレールに沿って円滑に移動する定常移送時
には、爪部３は、コイルスプリング６の作用下で、それ
の伸長変形なしに、駆動ブロック２と等しい速度で前進
変位する。

【００２０】従って、この定常移送時には、それぞれの
光学式センサ10, 11の発光部12, 13から照射されたたと
えばレーザ光線は、それぞれの遮光板７，８のそれぞれ
の凸部によって遮光されることになり、受光部14, 15に
は到達しない。

【００２１】これに対し、薄板状ワークが段差部等に当
接して、それの前進変位が拘束されると、垂下係合片1
6、ひいては、爪部３の前進変位もまた拘束されること
になり、この結果として、一定速度で定常時に前進する
駆動ブロック２に対する爪部３の遅れが生じ、コイルス
プリング６に伸長変形が発生することになる。そして、
コイルスプリング６のこのような伸長変形、より直線的
は、爪部３の上述したような遅れは、そこに取付けた遮
光板８の、駆動ブロック側の遮光部７に対する遅れをも
たらし、これにより、ワークの定常移送時には隙間なく
重なり合っていた一方の遮光板の凹部と他方の遮光板の
凸部との間に隙間が発生し、センサ10, 11の発光部から
常時照射されているレーザ光線が受光部14, 15に到達す
ることになる。

【００２２】そこでこの場合は、センサ10, 11から制御
部へ信号を出力し、これに基いて駆動シャフト１の前進
変位を速かに停止することで、薄板状ワークに、それが
損傷等するほどの大きな負荷が作用するのを未然に防止
することができる。

【００２３】ここでこの装置では、センサ10, 11を固定
部材９に取付けていることから、駆動ブロック２および
爪部３の進退変位にかかわらず、信号線に曲げ、捩り等
の応力が一切作用することがなく、これがため、信号線
の破断等を十分に防止して、常にすぐれた過負荷検出を
行うことができる。

【００２４】またここでは、遮光板７，８の凹凸部を、
駆動ブロック等の進退方向の一定長さにわたって形成す
ることで、ワーク移送経路のどの位置でワークに過負荷
が作用しても、それを確実に検出することができる。

【００２５】さらに、二個のセンサ10, 11を、前述した
ような相対関係の下に配設することで、一方のセンサの
みにては、ワークへの過負荷の作用を検出し得ない事態
が生じても、他方のセンサをそれを十分に検出すること
ができる。

【００２６】

【発明の効果】かくして、この発明によれば、簡単な構
造の下に、過負荷検出装置の耐久性を大きく向上させ、
併せて装置の信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態を示す正面図および平面
図である。

【図２】図１(a) の左側面図および右側面図である。

【図３】従来技術を示す平面図および右側面図である。

【図４】過負荷の検出態様を示す図である。

【符号の説明】

１ 駆動シャフト ２ 駆動ブロック ３ 爪部 ４ ベース部 ５ 回止めシャフト ６ コイルスプリング ７，８ 遮光板 ９ 固定部材 １０，１１ センサ １２，１３ 発光部 １４，１５ 受光部 １６ 垂下係合片

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイドレールに案内される薄板状ワーク
   を、その薄板状ワークに係合する爪部により移送するワ
   ークフィーダにおいて、 軸線方向に進退変位する駆動シャフト上に駆動ブロック
   を取付けるとともに、この駆動ブロックと、駆動シャフ
   ト上を摺動変位可能な爪部とをスプリングにより連結
   し、このスプリングの伸びを検知するセンサを固定部材
   側に設けてなるワークフィーダの過負荷検出装置。
2. 【請求項２】 前記センサを光学式のセンサとするとと
   もに、そのセンサを、駆動ブロック側に固定した、パル
   ス状の凹凸部を有する遮光板と、爪部側に固定した、同
   様の凹凸部を有する遮光板とを挟んで配設してなる請求
   項１に記載のワークフィーダの過負荷検出装置。
3. 【請求項３】 両遮光板を、薄板状ワークの定常移送下
   では、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凸部に重な
   る配置としてなる請求項１もしくは２に記載のワークフ
   ィーダの過負荷検出装置。
4. 【請求項４】 両遮光板を、薄板状ワークの定常移送下
   では、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凹部に重な
   る配置としてなる請求項１もしくは２に記載のワークフ
   ィーダの過負荷検出装置。
5. 【請求項５】 二個のセンサを、一方の遮光板の、凹部
   および凸部のそれぞれに対応させて配設してなる請求項
   １〜４のいずれかに記載のワークフィーダの過負荷検出
   装置。