JP2001042525A - Alkali developable photosensitive resin composition - Google Patents

Alkali developable photosensitive resin composition

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JP2001042525A
JP2001042525A JP11217610A JP21761099A JP2001042525A JP 2001042525 A JP2001042525 A JP 2001042525A JP 11217610 A JP11217610 A JP 11217610A JP 21761099 A JP21761099 A JP 21761099A JP 2001042525 A JP2001042525 A JP 2001042525A
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JP
Japan
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epoxy resin
dihydroxynaphthalene
unsaturated compound
photopolymerizable unsaturated
weight
Prior art date
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JP11217610A
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Japanese (ja)
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Ichiro Ogura
一郎 小椋
Miki Hirai
未希 平井
Kazuo Arita
和郎 有田
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DIC Corp
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Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain high productivity and reduction of cost and to ensure satisfactory heat and moisture resistances and superior resistance to the heat of soldering by incorporating a carboxyl-containing photopolymerizable unsaturated compound, an epoxy resin containing a condensed polycyclic aromatic skeleton and a photopolymerization initiator. SOLUTION: The alkali developable photosensitive resin composition contains a carboxyl-containing photopolymerizable unsaturated compound, an epoxy resin containing a condensed polycyclic aromatic skeleton and a photopolymerization initiator as essential components. The carboxyl-containing photopolymerizable unsaturated compound may be obtained by allowing a polyfunctional epoxy acrylate compound to react with an acid anhydride compound. The polyfunctional epoxy acrylate compound may be obtained by allowing a polyfunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin to react with an unsaturated carboxylic acid.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、アルカリ現像型感
光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、ビルドアップ
多層基板の層間絶縁材料や、プリント配線板の永久絶縁
保護膜として好適に用いられる、アルカリ現像型感光性
樹脂組成物に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition, and more particularly to an alkali-developable photosensitive resin composition which is suitably used as an interlayer insulating material for a build-up multilayer substrate or a permanent insulating protective film for a printed wiring board. The present invention relates to a developable photosensitive resin composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器やコンピューターなどに
は、従来に比ぺて一層の小型化、高機能化が要求されて
おり、それにあわせて使用される部品にもより高密度の
ものが求められている。例えば、プリント配線板におい
ても単位容積当たりの配線密度を向上させるために、回
路の微細化及び多層化が進められているが、さらに、ビ
ルドアップ多層基板という超高密度基板が提案され、実
用化が進められている。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices and computers have been required to be smaller and more sophisticated than ever, and accordingly, components used at higher densities have been required. Have been. For example, in printed wiring boards, circuit miniaturization and multilayering are being promoted in order to increase the wiring density per unit volume, and an ultra-high density board called a build-up multilayer board has been proposed and put into practical use. Is being promoted.

【0003】このビルドアップ多層基板は、従来多層基
板の層間導通に用いられてきたスルーホールに代わり、
内層バイアホールを介して層間導通をとることに特徴が
あり、この内層バイアホールを絶縁層内に設けるための
方法として、例えば、レーザーによる方法が知られてい
るが、この方法ではバイアホール穴明け速度が遅いため
生産性が低く、専用の設備も新たに必要となるためコス
ト高になる欠点があった。そこで、レーザーによる方法
に比べて高い生産性と低コスト化が実現できるバイアホ
ール形成方法として、例えば、特公平8−3633号公
報には、ノボラック型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂に
α,β−エチレン結合を一個有する不飽和カルボン酸を
反応させた後、更に酸無水物で変性した感光性樹脂を用
い、硬化剤としてノボラック型エポキシ樹脂等のエポキ
シ樹脂を用いる方法が開示されている。
[0003] This build-up multilayer substrate replaces the through hole conventionally used for interlayer conduction of the multilayer substrate,
The method is characterized in that interlayer conduction is provided through the inner via hole. As a method for providing the inner via hole in the insulating layer, for example, a method using a laser is known. In this method, a via hole is formed. The productivity was low due to the low speed, and the cost was high because special equipment was additionally required. Therefore, as a via hole forming method capable of realizing higher productivity and lower cost as compared with a method using a laser, for example, Japanese Patent Publication No. 8-3633 discloses that an epoxy resin such as a novolak type epoxy resin contains α, β-ethylene. A method is disclosed in which, after reacting an unsaturated carboxylic acid having one bond, a photosensitive resin further modified with an acid anhydride is used, and an epoxy resin such as a novolak epoxy resin is used as a curing agent.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特公平8
−3633号公報に記載された感光性樹脂を用いた方法
では、樹脂自体の耐熱性や耐湿信頼性が不十分であり、
その結果、プリント配線板にした際の半田耐熱性に劣る
ものであった。本発明が解決しようとする課題は、プリ
ント配線板用途において、高い生産性と低コスト化が実
現できると共に、十分な耐熱性や耐湿信頼性を有し、半
田耐熱性に優れるアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提
供することにある。
However, the above-mentioned Tokuhei 8
In the method using a photosensitive resin described in JP-B-3633, the heat resistance and humidity resistance of the resin itself are insufficient,
As a result, it was inferior in solder heat resistance when formed into a printed wiring board. The problem to be solved by the present invention is that in a printed wiring board application, high productivity and low cost can be realized, and sufficient heat resistance and moisture resistance reliability, and alkali development type photosensitive material excellent in solder heat resistance are provided. It is to provide a resin composition.

【0005】[0005]

【課題を解決する手段】本発明者等は、上記課題を解決
するため鋭意検討した結果、カルボキシル基含有光重合
性不飽和化合物と共に、その硬化剤として縮合多環芳香
族骨格を含有するエポキシ樹脂を用いることにより耐熱
性や耐湿信頼性を飛躍的に高めることができることを見
出し、本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that an epoxy resin containing a condensed polycyclic aromatic skeleton as a curing agent thereof together with a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound. It has been found that heat resistance and moisture resistance reliability can be drastically improved by using, and the present invention has been completed.

【0006】即ち、本発明は、カルボキシル基含有光重
合性不飽和化合物(a)と、縮合多環芳香族骨格を含有
するエポキシ樹脂(b)と、光重合開始剤(c)とを必
須成分として含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物
に関する。
That is, the present invention comprises a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a), an epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton, and a photopolymerization initiator (c) as essential components. The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition containing as a component (a).

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の内容を詳細に説明
する。本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物に用い
られるカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物(a)
は、特に制限されるものではないが、例えば多官能エポ
キシアクリレート化合物と酸無水物化合物とを反応させ
得ることができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. Carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a) used in the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention
Is not particularly limited, but can be reacted, for example, with a polyfunctional epoxy acrylate compound and an acid anhydride compound.

【0008】ここで使用し得る多官能エポキシアクリレ
ート化合物としては、多官能エポキシ樹脂と不飽和カル
ボン酸とを反応させて得ることができ、使用される多官
能エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型
エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、レゾ
ルシン型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹
脂、ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂、ビナフト
ール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、テ
トラメチルビフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェ
ノール−ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アルキ
ルフェノールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられ
る。
The polyfunctional epoxy acrylate compound usable here can be obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid. Examples of the polyfunctional epoxy resin used include bisphenol A type Epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, resorcinol epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, dihydroxynaphthalene epoxy resin, binaphthol epoxy resin, biphenol epoxy resin, tetramethylbiphenol epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol Novolak-type epoxy resins, naphthol novolak-type epoxy resins, phenol-dicyclopentadiene-type epoxy resins, alkylphenol novolak-type epoxy resins, and the like.

【0009】上記多官能エポキシ樹脂に反応させる不飽
和カルボン酸としては、1分子中に1個以上の2重結合
とカルボン酸を含有するものであれば特に限定されるも
のではないが、アクリル酸やメタクリル酸などが使用で
きる。
The unsaturated carboxylic acid to be reacted with the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited as long as it contains one or more double bonds and a carboxylic acid in one molecule. And methacrylic acid can be used.

【0010】また、上記多官能エポキシアクリレート化
合物に反応させる酸無水物化合物としては、例えば、無
水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フ
フタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水
フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレング
リコールビストリメリテートニ無水物、ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカル
ボン酸二無水物等の多塩基酸無水物が挙げられる。
The acid anhydride compound to be reacted with the above polyfunctional epoxy acrylate compound includes, for example, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, Trimellitic acid, pyromellitic anhydride,
Examples include polybasic acid anhydrides such as benzophenonetetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol bistrimellitate dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, and biphenylethertetracarboxylic dianhydride.

【0011】反応させる酸無水物化合物の割合は、特に
制限されるものではないが、カルボキシル基含有光重合
性不飽和化合物の1水酸基当量に対し、酸無水物基が
0.2〜2.5モルであることが好ましい。即ち、0.
2モル以上においては、アルカリ水溶液に対する溶解性
が一層良好なものとなり、また、2.5モル以下におい
ては安定性が良好となる。
The ratio of the acid anhydride compound to be reacted is not particularly limited, but the amount of the acid anhydride group is 0.2 to 2.5 with respect to 1 hydroxyl group equivalent of the carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound. Preferably it is molar. That is, 0.
When the amount is 2 mol or more, the solubility in an aqueous alkali solution is further improved, and when the amount is 2.5 mol or less, the stability is improved.

【0012】この様にして得られるカルボキシル基含有
光重合性不飽和化合物(a)は、酸価が、30〜200
mgKOH/gの範囲のものが好ましい。即ち、酸価が
200mgKOH/g以下の範囲では、硬化膜の耐アル
カリ性、電気特性等の特性が良好なものとなり、また、
30mgKOH/g以上の範囲では、アルカリ水溶液に
対する溶解性が著しく良好なものとなる。
The carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a) thus obtained has an acid value of 30 to 200.
Those in the range of mgKOH / g are preferred. That is, when the acid value is in the range of 200 mgKOH / g or less, the cured film has good properties such as alkali resistance and electric properties.
In the range of 30 mgKOH / g or more, the solubility in an aqueous alkali solution becomes remarkably good.

【0013】次に、縮合多環芳香族骨格を含有するエポ
キシ樹脂(b)は、1分子中に少なくとも1個以上のエ
ポキシ基を含有する化合物であって、かつナフタレン骨
格やアントラセン骨格などの縮合多環芳香族骨格を含有
するものであればよく、例えば、芳香族性水酸基を含有
する縮合多環芳香族化合物をエピハロヒドリンと反応さ
せて得ることができる。
Next, the epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton is a compound containing at least one epoxy group in one molecule, and is a compound having a condensed skeleton such as a naphthalene skeleton or an anthracene skeleton. What is necessary is just to contain a polycyclic aromatic skeleton, for example, it can be obtained by reacting a condensed polycyclic aromatic compound containing an aromatic hydroxyl group with epihalohydrin.

【0014】この様な縮合多環芳香族骨格を含有するエ
ポキシ樹脂(b)としては、具体的には、1,2−、
1,3−、1,4−、1,5−、1,6−、2,3−、
2,6−、2,7−ジヒドロキシナフタレンとエピハロ
ヒドリンとの反応物である2官能エポキシ樹脂;1−ナ
フトール又は2−ナフトールとアルデヒド類などの縮合
物(すなわちナフトールノボラック樹脂)とエピハロヒ
ドリンとの反応物;1,2−、1,3−、1,4−、
1,5−、1,6−、2,3−、2,6−、2,7−ジ
ヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物とエピ
ハロヒドリンの反応物;モノナフトールと上記のジヒド
ロキシナフタレンとのアルデヒド類との縮合物とエピハ
ロヒドリンの反応物;モノ又はジヒドロキシナフタレン
とキシリレングリコール類との縮合物とエピハロヒドリ
ンとの反応物;モノ又はジヒドロキシナフタレンとジエ
ン化合物との付加物とエピハロヒドリンとの反応物;ナ
フトール同士が直接カップリングしたポリナフトール
類、例えば2−ナフトールの1位どうしが直接カップリ
ングしたビナフトールとエピハロヒドリンとの反応物等
が挙げられる。
As the epoxy resin (b) containing such a condensed polycyclic aromatic skeleton, specifically, 1,2-,
1,3-, 1,4-, 1,5-, 1,6-, 2,3-,
Bifunctional epoxy resin which is a reaction product of 2,6-, 2,7-dihydroxynaphthalene and epihalohydrin; a reaction product of condensate of 1-naphthol or 2-naphthol with aldehydes (namely, naphthol novolak resin) and epihalohydrin 1,2-, 1,3-, 1,4-,
1,5-, 1,6-, 2,3-, 2,6-, 2,7-dihydroxynaphthalene and aldehydes and epihalohydrin reactants; aldehydes of mononaphthol and the above dihydroxynaphthalene Reaction product of epihalohydrin with a condensate of mono- or dihydroxynaphthalene and xylylene glycol; reaction product of epihalohydrin with an adduct of mono- or dihydroxynaphthalene and a diene compound; naphthol Are directly coupled to each other, for example, a reaction product of binaphthol in which the 1-position of 2-naphthol is directly coupled to epihalohydrin, and the like.

【0015】ここで、アルデヒド類としては、ホルムア
ルデヒド、アセトアルデヒドやベンズアルデヒドやヒド
ロキシベンズアルデヒドなどが挙げられるが、なかでも
縮合反応時の反応性が良好である点からホルムアルデヒ
ドが好ましい。
Here, examples of the aldehydes include formaldehyde, acetaldehyde, benzaldehyde, and hydroxybenzaldehyde. Of these, formaldehyde is preferred because of its good reactivity during the condensation reaction.

【0016】また、上記したジヒドロキシナフタレン類
とアルデヒド類との縮合物とエピハロヒドリンの反応物
のうち、ジヒドロキシナフタレン類として、2,7−ジ
ヒドロキシナフタレンを用いた場合は、2,7−ジヒド
ロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物が、単一的
にアルキレン基架橋2量体のみとなる為、これとエピハ
ロヒドリンとの反応物は、分子量が小さいが、対称性に
富むため低粘度の割に非常に高いガラス転移温度を得る
ことができ好ましい。
Of the above-mentioned condensates of dihydroxynaphthalenes and aldehydes and epihalohydrin reactants, when 2,7-dihydroxynaphthalene is used as dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxynaphthalene and aldehyde Since the condensate with the compound is only an alkylene group-bridged dimer, the reaction product of this with epihalohydrin has a small molecular weight, but is very high in spite of its low viscosity due to its high symmetry. It is preferable because a transition temperature can be obtained.

【0017】上記エポキシ樹脂(b)を製造する方法と
しては、特に制限されるものではなく、既述の通り、芳
香族性水酸基を含有する縮合多環芳香族化合物と、エピ
ハロヒドリンとを反応させる方法が挙げられれるが、具
体的には、芳香族性水酸基を含有する縮合多環芳香族化
合物を、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカ
リ金属水酸化物の存在下、エピクロルヒドリンなどのエ
ピハロヒドリンと反応させる方法が挙げられる。
The method for producing the epoxy resin (b) is not particularly limited, and as described above, a method of reacting a condensed polycyclic aromatic compound containing an aromatic hydroxyl group with epihalohydrin. Specific examples thereof include reacting a condensed polycyclic aromatic compound containing an aromatic hydroxyl group with epihalohydrin such as epichlorohydrin in the presence of an alkali metal hydroxide such as sodium hydroxide or potassium hydroxide. There is a method to make it.

【0018】また、縮合多環芳香族化合物がモノ又はジ
ヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物である
場合は、モノ又はジヒドロキシナフタレンをケトン系や
芳香族系の適当な有機溶媒に溶解して、それにシュウ
酸、塩酸、硫酸などの酸触媒や、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム等のアルカリ触媒存在下で、ホルムアルデ
ヒドなどのアルデヒド類を加えて反応させてことによっ
てまず中間体を得て、得られた中間体とエピクロルヒド
リンなどのエピハロヒドリンを反応させることが好まし
い。
When the condensed polycyclic aromatic compound is a condensate of mono- or dihydroxynaphthalene and an aldehyde, the mono- or dihydroxynaphthalene is dissolved in an appropriate ketone-based or aromatic organic solvent, and In the presence of an acid catalyst such as oxalic acid, hydrochloric acid or sulfuric acid, or an alkali catalyst such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, an intermediate was first obtained by adding and reacting aldehydes such as formaldehyde. It is preferred to react the intermediate with an epihalohydrin such as epichlorohydrin.

【0019】次に、本発明で用いる光重合開始剤(c)
は、一般的にエチレン結合を有する光重合性不飽和化合
物の光重合開始剤として使用されるものであるが、この
ような光重合開始剤としては、アセトフェノン、2、2
−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェ
ノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロ
アセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン
等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2−クロロベ
ンゾフェノン、p,p−ビスジメチルアミノベンゾフェ
ノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエー
テル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエ
ーテル類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソ
ン、2−クロロチオキサンソン、2,4−ジエチルチオ
キサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロ
ピルチオキサンソン等のイオウ化合物、2−エチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベ
ンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノ
ン等のアントラキノン類、ベンゾイルパーオキサイド、
クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2−メルカプト
ベンゾイミグゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾー
ル、2−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合
物、アゾビスイソブチルニトリルなどが挙げられる。こ
れらの化合物は1種のみ単独で使用してもよいし、2種
以上を併用してもよい。
Next, the photopolymerization initiator (c) used in the present invention.
Is generally used as a photopolymerization initiator for a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylene bond. Examples of such a photopolymerization initiator include acetophenone, 2, 2
Acetophenones such as diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone and p-tert-butylacetophenone; benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone and p, p-bisdimethylaminobenzophenone , Benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl ketal, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone , A sulfur compound such as 2-isopropylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, , Anthraquinones, such as 3-diphenyl anthraquinone, benzoyl peroxide,
Organic peroxides such as cumene peroxide; thiol compounds such as 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole and 2-mercaptobenzothiazole; and azobisisobutylnitrile. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0020】また、それ自体では光重合開始剤として作
用しないが、上記の化合物と組み合わせて用いることに
より、光重合開始剤の能カを増大させ得るような化合物
を添加することもできる。そのような化合物としては、
例えばベンゾフェノンと組み合わせて使用すると効果の
あるトリエタノールアミン等の第3級アミンなどを挙げ
ることができる。
Further, although it does not act as a photopolymerization initiator by itself, a compound capable of increasing the capacity of the photopolymerization initiator can be added by using it in combination with the above compounds. Such compounds include:
For example, a tertiary amine such as triethanolamine which is effective when used in combination with benzophenone can be mentioned.

【0021】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
は、以上詳述したカルボキシル基含有光重合性不飽和化
合物(a)、縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ樹
脂(b)及び光重合開始剤(c)を主たる成分とするも
のであり、その各成分の配合割合は、例えばカルボキシ
ル基含有光重合性不飽和化合物(a)100重量部に対
し、縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ樹脂(b)
が5〜50重量部、光重合開始剤(c)成分が0.1〜
30重量部なる範囲であることが好ましい。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention comprises a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a), an epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton, and a photopolymerizable resin. The initiator (c) is a main component, and the mixing ratio of each component is, for example, 100 parts by weight of a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a) and a condensed polycyclic aromatic skeleton is contained. Epoxy resin (b)
Is 5 to 50 parts by weight, and the photopolymerization initiator (c) component is 0.1 to 50 parts by weight.
It is preferably in the range of 30 parts by weight.

【0022】即ち、化合物(a)100重量部に対し、
縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ樹脂(b)成分
が5重量部以上用いることにより、特に耐アルカリ性が
飛躍的に高まり、また、50重量部以下の範囲において
はアルカリ水溶液に対する溶解性が良好となり現像性が
向上する。
That is, based on 100 parts by weight of the compound (a),
By using the epoxy resin (b) component containing a condensed polycyclic aromatic skeleton in an amount of 5 parts by weight or more, particularly the alkali resistance is drastically increased, and in the range of 50 parts by weight or less, the solubility in an alkaline aqueous solution is good. And developability is improved.

【0023】また、光重合開始剤(c)成分が0.1重
量部以上の場合は、光重合の速度が高まり、感度が一層
向上する。一方、30重量部以下の範囲においては光が
樹脂層底部まで達しやすくなり、光重合性が良好とな
り、現像マージンが多くなり基板との密着性が高まる。
When the amount of the photopolymerization initiator (c) is 0.1 part by weight or more, the photopolymerization speed is increased, and the sensitivity is further improved. On the other hand, in the range of 30 parts by weight or less, light easily reaches the bottom of the resin layer, the photopolymerizability becomes good, the development margin increases, and the adhesion to the substrate increases.

【0024】これらの性能バランスに優れる点から、な
かでもカルボキシル基含有光重合性不飽和化合物(a)
成分100重量部に対し、縮合多環芳香族骨格を含有す
るエポキシ樹脂(b)10〜30重量部、光重合開始剤
(c)成分が1〜20重量部なる範囲であることが好ま
しい。
From the viewpoint of excellent performance balance, the photopolymerizable unsaturated compound (a) containing a carboxyl group is particularly preferred.
It is preferred that the epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton and the photopolymerization initiator (c) be used in amounts of 10 to 30 parts by weight and 1 to 20 parts by weight, respectively, based on 100 parts by weight of the components.

【0025】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
は、エポキシ樹脂成分として、上記(b)成分の他に、
本発明の効果を損なわない範囲で、その他のエポキシ樹
脂を併用してもよい。ここで使用し得るその他のエポキ
シ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビ
スフェノールF型エポキシ樹脂、レゾルシン型エポキシ
樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ジヒドロキシ
ナフタレン型エポキシ樹脂、ビナフトール型エポキシ樹
脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラメチルビフェ
ノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフト
ールノボラック型エポキシ樹脂、フェノール−ジシクロ
ペンタジエン型エポキシ樹脂、アルキルフェノール型エ
ポキシ樹脂などが挙げられる。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention comprises an epoxy resin component, in addition to the component (b),
Other epoxy resins may be used in combination as long as the effects of the present invention are not impaired. Other epoxy resins that can be used here include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, resorcinol epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, dihydroxynaphthalene epoxy resin, binaphthol epoxy resin, and biphenol epoxy resin. And a tetramethylbiphenol type epoxy resin, a phenol novolak type epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, a naphthol novolak type epoxy resin, a phenol-dicyclopentadiene type epoxy resin, and an alkylphenol type epoxy resin.

【0026】また、難燃性を付与するために、テトラブ
ロモビスフェノールAや臭素化フェノールノボラック型
エポキシ樹脂など、上記エポキシ樹脂の臭素置換体も使
用できる。この場合、樹脂組成物中の臭素含有量は、難
燃効果の点から3〜30重量%程度であることが好まし
い。即ち、30重量%より多いとめっき被膜のふくれな
どの問題が起きやすくなる。
In order to impart flame retardancy, bromine-substituted epoxy resins such as tetrabromobisphenol A and brominated phenol novolak type epoxy resins can also be used. In this case, the bromine content in the resin composition is preferably about 3 to 30% by weight from the viewpoint of the flame retardant effect. That is, if the content is more than 30% by weight, problems such as blistering of the plating film tend to occur.

【0027】本発明のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
は、上記した各成分の他に、他のエチレン結合を有する
光重合性不飽和化合物(d)を使用目的の物性に合わせ
て配合することができる。その場合の配合量は、プレキ
ュアー後のタック性の点からカルボキシル基含有光重合
性不飽和化合物(a)成分100重量部に対し、50重
量部以下であることが好ましい。
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerizable unsaturated compound (d) having an ethylene bond, in addition to the above-mentioned components, is blended in accordance with the intended physical properties. Can be. In this case, the amount is preferably 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a) component from the viewpoint of tackiness after precuring.

【0028】このような光重合性不飽和化合物として
は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2
−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有
するモノマー、エチレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テト
ラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラ
メチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラ(メタ)アクリレート、ジペンタエスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレ
ート等の(メタ)アクリル酸エステル類などが挙げられ
る。
Examples of such a photopolymerizable unsaturated compound include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate,
Monomers having a hydroxyl group such as -ethylhexyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate,
Triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) ) Such as acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaethritol tetra (meth) acrylate, dipentaethritol hexa (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate ) Acrylic esters and the like.

【0029】また、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂
組成物には、必要に応じてエポキシ基硬化促進剤、熱重
合禁止剤、可塑剤、レベリング剤、消泡剤、体質顔料等
の各種添加剤を配合することができる。エポキシ基硬化
促進剤としては、例えばアミン化合物類、イミダゾール
化合物、カルボン酸類、フェノール類、第4級アンモニ
ウム塩類、メチロール基含有化合物類などが挙げられ、
それらを少量併用して塗膜を加熱することにより、得ら
れる絶縁被膜の耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐メッキ
性、密着性、電気特性及び硬度等の諸特性を向上させる
ことができる。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain various additives such as an epoxy group curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a leveling agent, an antifoaming agent, and an extender. An agent can be compounded. Examples of the epoxy group curing accelerator include amine compounds, imidazole compounds, carboxylic acids, phenols, quaternary ammonium salts, methylol group-containing compounds, and the like.
By heating the coating film in combination with a small amount thereof, it is possible to improve various properties such as heat resistance, solvent resistance, acid resistance, plating resistance, adhesion, electrical characteristics and hardness of the obtained insulating film. .

【0030】熱重合禁止剤としては、例えばハイドロキ
ノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロー
ル、tert−ブチルカテコール、フェノチアジンなど
が、可塑剤としては、例えばジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、トリクレジルなどが、消泡剤、レベ
リング剤としては、例えばシリコン系、フッ素系、アク
リル系の化合物などが、体質顔料としては、シリカ、ア
ルミナ、タルク、炭酸カルシウム、クレー、アエロジル
などがそれぞれ挙げられる。
Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, and phenothiazine, and examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, and tricresyl. Examples thereof include silicon-based, fluorine-based, and acrylic-based compounds. Examples of the extender include silica, alumina, talc, calcium carbonate, clay, and aerosil.

【0031】上記各成分からアルカリ現像型感光性樹脂
組成物を調整する方法としては、特に制限されるもので
はないが、上記(a)〜(c)の各成分、更に(d)そ
の他上記した各成分を混合し、3本ロールミルなどで混
練してアルカリ現像型感光性樹脂組成物を調整すること
ができる。
The method for preparing the alkali-developable photosensitive resin composition from the above components is not particularly limited, but the components (a) to (c), and (d) other components described above. The respective components can be mixed and kneaded with a three-roll mill or the like to prepare an alkali-developable photosensitive resin composition.

【0032】この様にして調整された本発明のアルカリ
現像型感光性樹脂組成物からプリント配線板を製造する
方法は、例えば以下の様にして行うことができる。
A method for producing a printed wiring board from the thus prepared alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be carried out, for example, as follows.

【0033】即ち、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂
組成物をスクリーン印刷等任意の方法で基板上に塗工
後、溶媒を蒸発させて塗膜をタックフリーにするための
プレキュアーを行い、その後、所望のマスクパターンを
コンタクト(接触)又はオフコンタクト(非接触)の状
態にして組成物の塗膜が形成された基板上に置き、紫外
線を選択的に照射する。ここで、紫外線により露光され
た領域の組成物塗膜の成分は、光重合して架橋構造をと
って不溶化する。次いで非露光領域をアルカリ水溶液を
用いて除去することによって、現像された所望のパター
ンが得られる。
That is, after the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is applied on a substrate by any method such as screen printing, a solvent is evaporated, and precuring is performed to make the coating film tack-free. Then, a desired mask pattern is placed in a contact (contact) or off-contact (non-contact) state, placed on a substrate on which a coating film of the composition is formed, and selectively irradiated with ultraviolet rays. Here, the components of the composition coating film in the region exposed to the ultraviolet rays are photopolymerized to form a crosslinked structure and become insoluble. Then, the unexposed area is removed using an alkaline aqueous solution to obtain a desired developed pattern.

【0034】ここで使用し得るアルカリ水溶液として
は、0.1〜10重量%の水酸化カリウム、水酸化ナト
リウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム又はモノ
エタノールアミン等のアルカノールアミンの水溶液など
が挙げられる。
Examples of the aqueous alkali solution that can be used here include 0.1 to 10% by weight of an aqueous solution of potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate or an alkanolamine such as monoethanolamine.

【0035】このようにして得られたパターンを、10
0〜200℃の加熱処理や紫外線照射を行って塗膜強度
を向上せしめた後、無電解めっきなどで信号配線の形
成、バイアホール内面めっきなどを行うことにより、耐
湿信頼性、耐熱性に優れたプリント配線板を得ることが
できる。
The pattern obtained in this way is
Excellent heat resistance and heat resistance by improving the coating strength by performing heat treatment at 0 to 200 ° C. and UV irradiation, then forming signal wiring by electroless plating and plating the inner surface of via holes. Printed wiring board can be obtained.

【0036】[0036]

【実施例】以下、参考例、実施例及び比較例等に基づい
て、本発明を具体的に説明する。
The present invention will be specifically described below based on Reference Examples, Examples and Comparative Examples.

【0037】 参考例1〔1−ナフトールノボラック樹脂の合成〕 5リットルの4つロフラスコに、1−ナフトール144
0g(10モル)、メチルイソブチルケトン3000g
及びシュウ酸100gを仕込み、窒素気流下、撹拝しな
がら80℃で41%ホルマリン512g(7.0モル)
を1時間要して滴下した。蒸留でメチルイソブチルケト
ンを回収して、さらに水蒸気蒸留により未反応の1−ナ
フトールを除いて1−ナフトールノボラック樹脂138
0gを得た。得られた樹脂の水酸基当量は152g/eq。
であった。
Reference Example 1 [Synthesis of 1-naphthol novolak resin] 1-naphthol 144 was placed in a 5-liter four-neck flask.
0 g (10 mol), 3000 g of methyl isobutyl ketone
And oxalic acid (100 g) were charged and stirred at 80 ° C. in a nitrogen stream at 80 ° C. at a concentration of 41% formalin (512 g, 7.0 mol).
Was added dropwise over 1 hour. The methyl isobutyl ketone is recovered by distillation, and unreacted 1-naphthol is removed by steam distillation to obtain 1-naphthol novolak resin 138.
0 g was obtained. The hydroxyl equivalent of the obtained resin was 152 g / eq.
Met.

【0038】参考例2〔2−ナフトールと1、6−ジヒ
ドロキシナフタレンとの共縮ナフトールノボラック樹脂
の合成〕 1−ナフトールの代わりに、2−ナフトール576g
(4.0モル)と1、6−ジヒドロキシナフタレン96
0g(6.0モル)を用いた以外は参考例1と同様にし
て、共縮ナフトールノボラック樹脂1290gを得た。
得られた樹脂の水酸基当量は101g/eq。であった。 参考例3[1,6−ジヒドロキシナフタレンノボラック
樹脂の合成] 1−ナフトールの代わりに、1,6−ジヒドロキシナフ
タレン1600g(10モル)を用いた以外は参考例1
と同様にして(但し、未反応の1、6−ジヒドロキシナ
フタレンは除去しない)、1,6−ジヒドロキシナフタ
レンノボラック樹脂1680gを得た。得られた樹脂の
水酸基当量は84g/eq。であった。
Reference Example 2 [Synthesis of co-condensed naphthol novolak resin of 2-naphthol and 1,6-dihydroxynaphthalene] Instead of 1-naphthol, 576 g of 2-naphthol was used.
(4.0 mol) and 1,6-dihydroxynaphthalene 96
Except that 0 g (6.0 mol) was used, 1290 g of a co-condensed naphthol novolak resin was obtained in the same manner as in Reference Example 1.
The hydroxyl equivalent of the obtained resin was 101 g / eq. Met. Reference Example 3 [Synthesis of 1,6-dihydroxynaphthalene novolak resin] Reference Example 1 except that 1600 g (10 mol) of 1,6-dihydroxynaphthalene was used instead of 1-naphthol.
1,680 g of 1,6-dihydroxynaphthalene novolak resin was obtained in the same manner as described above (however, unreacted 1,6-dihydroxynaphthalene was not removed). The hydroxyl equivalent of the obtained resin was 84 g / eq. Met.

【0039】参考例4〔2,7−ジヒドロキシナフタレ
ンのメチレン基架橋2量体の合成〕 1−ナフトールの代わりに、2,7−ジヒドロキシナフ
タレン1600g(10モル)を用いて、41%ホルマ
リンを365g(5.0モル)に、シュウ酸を49%N
aOH40gに代えて、反応終了後にNaOHを当量の
塩酸で中和した以外は、参考例1と同様にして、2,7
−ジヒドロキシナフタレンのメチレン基架橋2量体16
20gを得た。得られた樹脂の水酸基当量は83g/eq。
であった。
REFERENCE EXAMPLE 4 [Synthesis of methylene group-bridged dimer of 2,7-dihydroxynaphthalene] Instead of 1-naphthol, 1600 g (10 mol) of 2,7-dihydroxynaphthalene was used, and 365 g of 41% formalin was used. (5.0 moles) with oxalic acid at 49% N
In the same manner as in Reference Example 1, except that NaOH was neutralized with an equivalent amount of hydrochloric acid after completion of the reaction instead of 40 g of aOH,
Methylene group-bridged dimer of dihydroxynaphthalene 16
20 g were obtained. The hydroxyl equivalent of the obtained resin was 83 g / eq.
Met.

【0040】参考例5[1、6−ジヒドロキシナフタレ
ン型エポキシ樹脂の合成] 1、6−ジヒドロキシナフタレン240g(1.5モ
ル)にエピクロルヒドリン1387g(15モル)を加
えて溶解して、トリメチルアンモニウムクロライド1.
0gを加えた後に、65℃で約140mmHgの減圧下
において、48%水酸化カリウム水溶液350g(3モ
ル)を4時間かけて滴下した。この間、生成する水はエ
ピクロルヒドリンとの共沸により系外に除き、留出した
エピクロルヒドリンは系内に戻した。滴下終了後、さら
に30分間反応を継続した。その後、生成塩が飽和濃度
になるような量の水を添加して、水洗によって生成塩を
除去した。次いで未反応のエピクロルヒドリンを蒸留し
て回収して、得られた粗樹脂をメチルイソブチルケトン
300gと1−ブタノール30gで溶解した。その溶液
に10%水酸化ナトリウム水溶液を80g添加して、8
0℃で1時間撹拌した。その後、リン酸ソーダを用いて
中和して、脱水後、無機塩を濾別で除去した後に、メチ
ルイソブチルケトンを蒸留で除去することによって、目
的のエポキシ樹脂(A)を367gg得た。それのエポ
キシ当量は148g/eq。であった。
Reference Example 5 [Synthesis of 1,6-dihydroxynaphthalene type epoxy resin] To 1240 g (1.5 mol) of 1,6-dihydroxynaphthalene was added and dissolved 1387 g (15 mol) of epichlorohydrin, and trimethylammonium chloride 1 .
After adding 0 g, 350 g (3 mol) of a 48% aqueous potassium hydroxide solution was added dropwise at 65 ° C. under a reduced pressure of about 140 mmHg over 4 hours. During this time, the generated water was removed from the system by azeotropic distillation with epichlorohydrin, and the distilled epichlorohydrin was returned to the system. After the completion of the dropwise addition, the reaction was continued for another 30 minutes. Thereafter, water was added in such an amount that the produced salt had a saturated concentration, and the produced salt was removed by washing with water. Next, unreacted epichlorohydrin was recovered by distillation, and the obtained crude resin was dissolved in 300 g of methyl isobutyl ketone and 30 g of 1-butanol. 80 g of a 10% aqueous sodium hydroxide solution was added to the solution,
Stirred at 0 ° C. for 1 hour. Thereafter, the mixture was neutralized with sodium phosphate, dehydrated, and then inorganic salts were removed by filtration. Then, methyl isobutyl ketone was removed by distillation to obtain 367 g of the desired epoxy resin (A). Its epoxy equivalent is 148 g / eq. Met.

【0041】参考例6〔1−ナフトールノボラック型エ
ポキシ樹脂の合成〕 1,6−ジヒドロキシナフタレンの代わりに、参考例1
で得られた1−ナフトールノボラック樹脂456gを用
いた以外は、参考例5と同様にして、目的のエポキシ樹
脂(B)を591g得た。それのエポキシ当量は230
g/eq。であった。
Reference Example 6 [Synthesis of 1-naphthol novolak type epoxy resin] Reference example 1 was used in place of 1,6-dihydroxynaphthalene.
591 g of the target epoxy resin (B) was obtained in the same manner as in Reference Example 5, except that 456 g of the 1-naphthol novolak resin obtained in the above was used. Its epoxy equivalent is 230
g / eq. Met.

【0042】参考例7〔2−ナフトールと1、6−ジヒ
ドロキシナフタレンとの共縮ナフトールノボラック型エ
ポキシ樹脂の合成〕 1,6−ジヒドロキシナフタレンの代わりに、参考例2
で得られた2−ナフトールと1、6−ジヒドロキシナフ
タレンとの共縮ナフトールノボラック樹脂303gを用
いた以外は、参考例5と同様にして、目的のエポキシ樹
脂(C)を433g得た。それのエポキシ当量は172
g/eqであった。
Reference Example 7 [Synthesis of co-condensed naphthol novolak epoxy resin of 2-naphthol and 1,6-dihydroxynaphthalene] Reference Example 2 was used instead of 1,6-dihydroxynaphthalene.
433 g of the target epoxy resin (C) was obtained in the same manner as in Reference Example 5, except that 303 g of a co-condensed naphthol novolak resin of 2-naphthol and 1,6-dihydroxynaphthalene obtained in the above was used. Its epoxy equivalent is 172
g / eq.

【0043】参考例8〔2,7−ジヒドロキシナフタレ
ンのメチレン基架橋2量体型エポキシ樹脂の合成〕 1,6−ジヒドロキシナフタレンの代わりに、参考例4
で得られた2,7−ジヒドロキシナフタレンのメチレン
基架橋2量体249gを用いた以外は、参考例5と同様
にして、目的のエポキシ樹脂(D)を399g得た。そ
れのエポキシ当量は161g/eq。であった。
Reference Example 8 [Synthesis of methylene group-crosslinked dimer type epoxy resin of 2,7-dihydroxynaphthalene] Reference Example 4 was used instead of 1,6-dihydroxynaphthalene.
399 g of the target epoxy resin (D) was obtained in the same manner as in Reference Example 5 except that 249 g of a methylene group-crosslinked dimer of 2,7-dihydroxynaphthalene obtained in (2) was used. Its epoxy equivalent is 161 g / eq. Met.

【0044】参考例9〔クレゾールノボラック型多官能
エポキシアクリレート化合物の製造〕 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化
学工業(株)製 EPICLON N−690、エポキ
シ当量215g/eq、軟化点93℃)430gをブチルセ
ロソルブアセテート200gに溶解し、さらにアクリル
酸144g(2.0モル)、ベンジルトリエチルアンモ
ニウムクロライド0。8g、ハイドロキノン150mg
を加え、120℃で空気を吹き込みながら6時間反応さ
せクレゾールノボラック型エポキシ樹脂のエポキシアク
リレート樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液にさらにブ
チルセロソルブアセテート450gを追加して、これに
1、2、3、6−テトラヒドロ無水フタル酸182gを
加えて、110℃で5時間反応させて、目的のクレゾー
ルノボラック型のカルボキシル基含有光重合性不飽和化
合物(I)溶液を得た。 0.1N KOH/MeOH
溶液で滴定を行ったところ、酸価は60mgKOH/g
であった。
Reference Example 9 [Production of cresol novolak type polyfunctional epoxy acrylate compound] 430 g of cresol novolak type epoxy resin (EPICLON N-690, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., epoxy equivalent 215 g / eq, softening point 93 ° C.) Was dissolved in 200 g of butyl cellosolve acetate, and further 144 g (2.0 mol) of acrylic acid, 0.8 g of benzyltriethylammonium chloride and 150 mg of hydroquinone were dissolved.
Was added thereto, and the mixture was reacted at 120 ° C. for 6 hours while blowing air to obtain an epoxy acrylate resin solution of a cresol novolak type epoxy resin. 450 g of butyl cellosolve acetate was further added to the obtained resin solution, 182 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added thereto, and the mixture was reacted at 110 ° C. for 5 hours to obtain the desired cresol novolak-type carboxyl. A group-containing photopolymerizable unsaturated compound (I) solution was obtained. 0.1N KOH / MeOH
After titration with the solution, the acid value was 60 mg KOH / g.
Met.

【0045】実施例1 参考例9で得られたクレゾールノボラック型のカルボキ
シル基含有光重合性不飽和化合物(I)の固形分100
重量部に対し、参考例5で得られた1,6−ジヒドロキ
シナフタレン型エポキシ樹脂22重量部、光重合性不飽
和化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート7重量部、光重合開始剤として2,2−ジメトキシ
−1,2−ジフェニルエタン−1−オン4重量部、エポ
キシ硬化剤として2−エチル−4−メチルイミダゾール
4重量部を混合し、ブチルセロソルブアセテートで粘度
調整して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物を
銅張り積層板上に塗布し、60℃で1時間プレキュアー
して、室温で粘着性のない、厚み40μmの感光層を形
成した。次に超高圧水銀灯を用い、直径30〜200μ
mのバイアホールパターンが描かれたネガマスクを密着
して選択的に500mJ/cm2の紫外線照射を行い、
30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を2分間スプレーし
て現像を行った後、150℃で30分間のアフターキュ
アにより硬化した塗膜を得た。SEM観察の結果、良好
に現像できたバイアホール最小径は50μmであった。
また、40℃×90%RHで96時間吸湿後も260℃
×30秒間の半田耐熱性を示した。
Example 1 The solid content of the cresol novolak type carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (I) obtained in Reference Example 9 was 100.
22 parts by weight of the 1,6-dihydroxynaphthalene-type epoxy resin obtained in Reference Example 5, 7 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a photopolymerizable unsaturated compound, and 2,2- 4 parts by weight of dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one and 4 parts by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole as an epoxy curing agent were mixed, and the viscosity was adjusted with butyl cellosolve acetate to obtain a photosensitive resin composition. . Next, this composition was applied onto a copper-clad laminate and precured at 60 ° C. for 1 hour to form a 40 μm-thick photosensitive layer having no tack at room temperature. Next, using an ultra-high pressure mercury lamp, the diameter is 30 to 200 μm.
a negative mask on which a via hole pattern of m is drawn, and selectively irradiate ultraviolet rays of 500 mJ / cm 2 ,
After spraying with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 2 minutes for development, a cured coating film was obtained by after-curing at 150 ° C. for 30 minutes. As a result of SEM observation, the minimum diameter of the via hole that was successfully developed was 50 μm.
In addition, even after absorbing moisture at 40 ° C. × 90% RH for 96 hours, 260 ° C.
× 30 seconds of solder heat resistance.

【0046】実施例2 1,6−ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂の代わ
りに、参考例6で得られた1−ナフトールノボラック型
エポキシ樹脂35重量部を用いた以外は、実施例1と同
様にして、感光性樹脂組成物を得た。次に、実施例1と
同様にして、銅張り積層板上に塗膜を形成させた。SE
M観察の結果、良好に現像できたバイアホール最小径は
50μmであった。また、40℃×90%RHで96時
間吸湿後も260℃×30秒間の半田耐熱性を示した。
Example 2 The procedure of Example 1 was repeated, except that 35 parts by weight of the 1-naphthol novolak type epoxy resin obtained in Reference Example 6 was used instead of the 1,6-dihydroxynaphthalene type epoxy resin. A photosensitive resin composition was obtained. Next, a coating film was formed on the copper-clad laminate in the same manner as in Example 1. SE
As a result of observation with M, the minimum diameter of the via hole that was successfully developed was 50 μm. In addition, even after absorbing moisture at 40 ° C. × 90% RH for 96 hours, solder heat resistance at 260 ° C. × 30 seconds was exhibited.

【0047】実施例3 1,6−ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂の代わ
りに、参考例7で得られた2−ナフトールと1,6−ジ
ヒドロキシナフタレンとの共縮ナフトールノボラック型
エポキシ樹脂26重量部を用いた以外は、実施例1と同
様にして、感光性樹脂組成物を得た。次に、実施例1と
同様にして、銅張り積層板上に塗膜を形成させた。SE
M観察の結果、良好に現像できたバイアホール最小径は
50μmであった。また、40℃×90%RHで96時
間吸湿後も260℃×30秒間の半田耐熱性を示した。
Example 3 Instead of the 1,6-dihydroxynaphthalene type epoxy resin, 26 parts by weight of a co-condensed naphthol novolak type epoxy resin of 2-naphthol and 1,6-dihydroxynaphthalene obtained in Reference Example 7 was used. A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above. Next, a coating film was formed on the copper-clad laminate in the same manner as in Example 1. SE
As a result of observation with M, the minimum diameter of the via hole that was successfully developed was 50 μm. In addition, even after absorbing moisture at 40 ° C. × 90% RH for 96 hours, solder heat resistance at 260 ° C. × 30 seconds was exhibited.

【0048】実施例4 1,6−ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂の代わ
りに、参考例8で得られた2,7−ジヒドロキシナフタ
レンのメチレン基架橋2量体型エポキシ樹脂24重量部
を用いた以外は、実施例1と同様にして、感光性樹脂組
成物を得た。次に、実施例1と同様にして、銅張り積層
板上に塗膜を形成させた。SEM観察の結果、良好に現
像できたバイアホール最小径は50μmであった。ま
た、40℃×90%RHで96時間吸湿後も260℃×
45秒間の半田耐熱性を示した。
Example 4 In place of the 1,6-dihydroxynaphthalene type epoxy resin, 24 parts by weight of a 2,7-dihydroxynaphthalene methylene group-crosslinked dimer type epoxy resin obtained in Reference Example 8 was used. A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1. Next, a coating film was formed on the copper-clad laminate in the same manner as in Example 1. As a result of SEM observation, the minimum diameter of the via hole that was successfully developed was 50 μm. After absorbing moisture at 40 ° C. × 90% RH for 96 hours, 260 ° C. ×
The solder heat resistance for 45 seconds was shown.

【0049】比較例1 1−ナフトールノボラック型エポキシ樹脂の代わりに、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化
学工業(株)製 EPICLON N−680、エポキ
シ当量210g/eq。、軟化点86℃)31重量%を用い
た以外は、実施例1と同様の操作を行った。SEM観察
の結果、艮好に現像できたバイアホール最小径は50μ
mであった。また、40℃×90%RHで96時間吸湿
後の260℃におけるハンダ耐熱性は15秒であり、3
0秒ではクラックを生じた。
Comparative Example 1 In place of 1-naphthol novolak type epoxy resin,
The same operation as in Example 1 was performed except that 31% by weight of a cresol novolak type epoxy resin (EPICLON N-680, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., epoxy equivalent 210 g / eq, softening point 86 ° C.) was used. Was. As a result of the SEM observation, the minimum diameter of the via hole that could be successfully developed was 50μ.
m. Further, the solder heat resistance at 260 ° C. after absorbing moisture at 40 ° C. × 90% RH for 96 hours is 15 seconds.
At 0 seconds, cracks occurred.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明によれば、プリント配線板用途に
おいて、高い生産性と低コスト化が実現できると共に、
十分な耐熱性や耐湿信頼性を有し、半田耐熱性に優れる
アルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供できる。また、
本発明の感光性樹脂組成物は、人体への悪影響が少ない
アルカリ水溶液で現像可能であると共に解像度にも優れ
る。したがって、本発明の感光性樹脂組成物は、ビルド
アップ多層配線板として特に有用であり、ソルダーレジ
スト等の永久保護膜の用途においても有用である。
According to the present invention, high productivity and low cost can be realized in printed wiring board applications.
It is possible to provide an alkali-developable photosensitive resin composition having sufficient heat resistance and moisture resistance reliability and excellent solder heat resistance. Also,
The photosensitive resin composition of the present invention can be developed with an alkaline aqueous solution having little adverse effect on the human body and has excellent resolution. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention is particularly useful as a build-up multilayer wiring board, and is also useful for a permanent protective film such as a solder resist.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AA00 AA04 AA10 AB15 AC01 AD01 BC12 BC14 BC31 BC34 BC43 BC51 BC74 BC85 BC86 CC17 FA17 4J002 CD062 CD201 ED086 EE036 EE056 EH077 EK036 EK046 ET006 EV206 EV316 EV326 FD020 FD090 FD150 FD200 GP03 GQ01 HA05 5E314 AA27 AA32 CC01 DD06 FF05 FF19 GG01 GG10 GG24 5E346 CC08 CC32 CC55 CC58 EE39 HH18 HH33  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H025 AA00 AA04 AA10 AB15 AC01 AD01 BC12 BC14 BC31 BC34 BC43 BC51 BC74 BC85 BC86 CC17 FA17 4J002 CD062 CD201 ED086 EE036 EE056 EH077 EK036 EK046 ET006 EV206 EV316 EV326 FD 020 5E314 AA27 AA32 CC01 DD06 FF05 FF19 GG01 GG10 GG24 5E346 CC08 CC32 CC55 CC58 EE39 HH18 HH33

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カルボキシル基含有光重合性不飽和化合
物(a)と、縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ樹
脂(b)と、光重合開始剤(c)とを必須成分として含
有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
An alkali containing a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a), an epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton, and a photopolymerization initiator (c) as essential components. Developable photosensitive resin composition.
【請求項2】 カルボキシル基含有含有光重合性不飽和
化合物(a)100重量部に対して、縮合多環芳香族骨
格を含有するエポキシ樹脂(b)が5〜50重量部、光
重合開始剤(c)が0.1〜30重量部の割合で含有す
る請求項1記載の組成物。
2. A photopolymerization initiator comprising 5 to 50 parts by weight of an epoxy resin (b) having a condensed polycyclic aromatic skeleton based on 100 parts by weight of a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a). The composition according to claim 1, wherein (c) is contained in a ratio of 0.1 to 30 parts by weight.
【請求項3】 縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ
樹脂(b)が、ジヒドロキシナフタレンとエピハロヒド
リンとの反応物、又はモノ若しくはジヒドロキシナフタ
レンとアルデヒド類との縮合物とエピハロヒドリンとの
反応物である請求項1又は2記載の組成物。
3. The epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton is a reaction product of dihydroxynaphthalene and epihalohydrin, or a reaction product of a condensate of mono- or dihydroxynaphthalene with aldehydes and epihalohydrin. The composition according to claim 1.
【請求項4】 縮合多環芳香族骨格を含有するエポキシ
樹脂(b)が、1、1−ビス(2、7−ジヒドロキシ−
1−ナフチル)メタンとエピハロヒドリンとの反応物で
あることを特徴とする請求項1、2又は3記載の組成
物。
4. An epoxy resin (b) containing a condensed polycyclic aromatic skeleton comprising 1,1-bis (2,7-dihydroxy-
4. The composition according to claim 1, which is a reaction product of 1-naphthyl) methane and epihalohydrin.
【請求項5】 (a)〜(c)の各成分に加え、さらに
エチレン結合を有する光重合性不飽和化合物(d)を含
有する請求項1〜4の何れか1つに記載の組成物。
5. The composition according to claim 1, further comprising a photopolymerizable unsaturated compound (d) having an ethylene bond in addition to the components (a) to (c). .
【請求項6】 エチレン結合を有する光重合性不飽和化
合物(d)の使用量が、カルボキシル基含有光重合性不
飽和化合物(a)100重量部に対し、1〜50重量部
となる割合である請求項5記載の組成物。
6. The amount of the photopolymerizable unsaturated compound (d) having an ethylene bond used is 1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound (a). The composition of claim 5, wherein
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