JP2001041979A

JP2001041979A - プリント基板検査装置及びそれに用いるプローブ

Info

Publication number: JP2001041979A
Application number: JP2000154146A
Authority: JP
Inventors: Hideo Nishikawa; 秀雄西川
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Advance Technology Corp
Priority date: 1999-05-26
Filing date: 2000-05-25
Publication date: 2001-02-16

Abstract

(57)【要約】【課題】正確に基板検査を実施でき、かつ長寿命のプ
リント基板検査装置用プローブを提供する。【解決手段】基端側が保持部材９に保持されたニード
ルピン３の先端をピン押し込み方向に相対移動させてプ
リント基板Ｐに当接させ、パターン検査を行わせるプリ
ント基板検査用プローブ３において、ニードルピン３０
は、弾性部材からなり、その先端に押し込み方向の力が
作用したとき、押し込み方向と直交する平面上の予め定
めた方向にのみ撓むように構成されているものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板上の
回路パターンの導通検査、絶縁検査等をするプリント基
板検査装置及びそれに用いるプローブに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】特開平６−１８６２７１号公報等に見ら
れる如く、実装基板即ち多数の電子部品等を具備するプ
リント基板はインサーキットテスタを用いて、その基板
の必要な測定点に適宜複数のプローブ（詳細にはスプリ
ングプローブ）の先端を接触させて各部品の有無を電気
的に検出し、或いは回路パターン各部の抵抗、その他の
特性値を電気的に測定し得られた電気信号をマイコン等
で判定して基板の良否の判別を行っている。

【０００３】そして、特開平９−１７８７７１号公報に
おいては、プローブ（詳細にはフライングプローブ）先
端が側定点に接触する直前の所定位置まで高速度で移動
し、所定位置を超えたら低速度にして、短時間で、所定
荷重になるまでプローブを被検査板の所定位置へ押し込
む技術が開示されている。さらに、特開平９−１１３５
３６号公報においては、主プローブ、補助プローブより
構成され主プローブはコイルスプリングを有しており常
時基板方向へ付勢されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記特開平９−１７８
７７１号、特開平９−１１３５３６号公報においては、
基板に形成された回路パターンにプローブ先端を押し込
んだ際に回路パターンがプローブから受ける衝撃を減少
させるため、結局の所、プローブ押し込みの速度を相当
減速させる必要があり、トータルの押し込み時間（検査
時間）が長くなる。さらにプローブ自体が斜め方向へ伸
縮するため基板に凹凸があると本来測定しようとしてい
た回路パターンの所望箇所以外のところへプローブの先
端がズレてしまい、必要な箇所の測定ができなくなって
しまうおそれがある。また回路パターンへの押し込み時
の衝撃がプローブにかかりプローブの折れ、摩耗が生じ
易く、早期に交換せざるを得ないという問題がある。

【０００５】本発明は上記のような問題に鑑みてなされ
たものであり、プローブを基板に対して押し込んだ際に
ニードルピンが予め定めた方向にのみ撓ませるようにす
ることにより、正確に基板検査を実施でき、かつ長寿命
を有するプリント基板検査装置及びそれに用いるプロー
ブを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１は、基端側が保持部材に保持され
たニードルピンの先端をピン押し込み方向に相対移動さ
せてプリント基板面に当接させ、パターン検査を行わせ
るプリント基板検査用プローブにおいて、前記ニードル
ピンは、弾性部材からなり、その先端に前記押し込み方
向の力が作用したとき、該押し込み方向と直交する平面
上の予め定めた方向にのみ撓む形状に構成されているこ
とである。

【０００７】この発明では、ニードルピンは、その先端
に押し込み方向の力が作用したとき、押し込み方向と直
交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むので、安定し
て基板への押し込みができる。

【０００８】また、前記保持部材は絶縁材料から形成さ
れ、さらに、保持部材は保持部材に固定される電極棒
と、該電極棒に脱着自在に装着されるソケットを備え、
前記ニードルピンはソケットに固着されている（請求項
２）ので、電極棒は保持部材に固定され、ソケットは電
極棒に脱着自在に装着され、ニードルピンの新旧交換が
容易である。

【０００９】また、前記電極棒は基板に対する押し込み
方向に対して傾斜した方向に延びている（請求項３）の
で、真っ直ぐなニードルピンを適用しても、一定方向に
撓む。

【００１０】また、前記ニードルピンの先端部を拘束す
る拘束部材をさらに備える（請求項４）ので、この場
合、プローブを押し込んでニードルピンの先端が基板に
接触するまで、ニードルピンの先端が拘束されているの
で振動することなく安定している。

【００１１】また、前記拘束部材は導電性材料から形成
されており、拘束部材はニードルピンを拘束する拘束部
を有し、ニードルピンが基板に接触していないときは拘
束部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後
はニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部
材と前記電極棒を電気的に接続する電線と、該電線に流
れる電流を検出する電流計を備える（請求項５）ので、
ニードルピンが基板に接触するまでは拘束部で拘束され
ているので、ニードルピン、ソケット、電極棒、保持部
材、電線、拘束部材は電気的に閉ループとなり、基板に
接触して撓んだ後は拘束部から離反するのでニードルピ
ン、ソケット、電極棒、保持部材、電線、拘束部材は電
気的に開ループとなり電流計で検出される。

【００１２】また、前記拘束部材の拘束部はニードルピ
ンの通過する孔を有する（請求項６）ので、ニードルピ
ンは拘束部としての孔で拘束される。

【００１３】また、前記ニードルピンは一定方向に湾曲
して形成されている（請求項７）ので、プローブを押し
込んだ際にニードルピンの撓み方向が一定で安定してい
る。

【００１４】また、前記ニードルピンは真っ直ぐであり
基板に対して傾斜した方向に延びている（請求項８）の
で、ニードルピンの製作が容易である。

【００１５】また、前記ニードルピンは先端部分が円錐
形状である（請求項９）ので、この場合、プローブの押
し込みの際にニードルピンの先端がＸＹ方向へずれるの
が防止できる。

【００１６】上記目的を達成するため、本発明の請求項
１０は、検査される基板を搬送する搬送テーブルと、複
数のプローブを移動させる検査ユニットと、該検査ユニ
ットに設けられた保持部材と、該保持部材に保持され基
板に接触すると弾性的に撓むニードルピンとを備えるプ
リント基板検査装置である。

【００１７】この発明では、ニードルピンは、その先端
に押し込み方向の力が作用したとき、押し込み方向と直
交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むものであり、
安定して基板検査を実施できる。

【００１８】また、前記ニードルピンの先端部を拘束す
る拘束部材をさらに保持部材に設けた（請求項１１）の
で、プローブを基板に押し込むまで、ニードルピンの先
端が拘束部材に拘束されているので振動することなく安
定している。

【００１９】また、前記保持部材は絶縁材料から形成さ
れる保持部を有し、前記拘束部材は導電性材料から形成
され、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束
部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後は
ニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材
と前記電極棒とを接続する電線と、ニードルピンが基板
に接触したことを判断するために前記電線に流れる電流
を検出する電流計を備える（請求項１２）ので、ニード
ルピンが基板に接触するまでは拘束部で拘束されている
のでニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電
線、拘束部材は電気的に電気的に閉ループとなり、ニー
ドルピンが基板に接触して撓んだ後は拘束部から離反す
るのでニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電
線、拘束部材は電気的に開ループとなり電流計で検出さ
れる。

【００２０】また、前記複数のニードルピンの各撓み方
向は外方に一定である（請求項１３）ので、プローブの
押し込まれても、ニードルピンの各撓み方向が一定であ
るので安定して基板検査を行うことができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明にかかる基板検査
装置の一実施形態を示す側断面図であり、後述する各図
との方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が
示されている。

【００２２】図１に示すように、この基板検査装置１で
は、装置手前側（−Ｘ側）に装置本体１に対して開閉扉
１１が開閉自在に取付けられており、この開閉扉１１を
開いて検査対象であるプリント基板などの基板Ｐを搬送
テーブル２に載置可能となっている。プリント基板は、
回路パターンがプリントされた裸基板が検査されるので
あり、ＩＣチップ、コンデンサ、抵抗等は実装されてい
ない。また、基板Ｐの検査を行う検査部Ｔが設けられて
いる。この検査部Ｔによって検査されて基板Ｐの良否判
定が行われた後、検査済みの基板Ｐが開閉扉１１を開放
して搬出入部Ｉからオペレータによって搬出可能となっ
ている。

【００２３】なお、この実施形態では、基板Ｐの搬出入
はオペレータによるマニュアル操作となっているが、搬
出入部Ｉの左右方向（Ｘ方向）の一方側に外部装置から
基板Ｐを受取り、搬出入部Ｉに検査前の基板Ｐを移載す
る基板搬入機構を設ける一方、他方側に搬出入部Ｉから
検査済みの基板Ｐを受取り、外部装置に搬出する基板搬
出機構を別途追加装備することで基板Ｐの自動搬送が可
能となる。

【００２４】この基板検査装置１では、搬送テーブル駆
動機構６によって搬出入部Ｉと検査部Ｔとの間で基板Ｐ
を搬送するために、搬送テーブル２がＸ方向に往復動自
在に設けられている。搬送テーブル駆動機構６はボール
ネジ６２、駆動軸６４、モータ６３を備えている。ボー
ルネジ６２には、搬送テーブル２を固定したブラケット
６５が螺合されている。搬送テーブル２の移動量はモー
タ６３の回転量に応じたものとなる。

【００２５】検査部Ｔには、搬送テーブル駆動機構６の
上部に検査ユニット４が設けられている。検査ユニット
４は複数のプリント基板検査装置用プローブ（以下、単
にプローブと称する。）３を備えている。各プローブ３
はニードルピン３０を備えている。複数のプローブ３は
プローブ駆動機構４３が制御装置で制御されて各々駆動
される。搬送テーブル２に載置された基板Ｐにプローブ
３が位置付けられた後、プローブ３のニードルピン３０
が基板Ｐの回路パターンに接触させられる。

【００２６】プローブ駆動機構４３は、プローブ３を基
板検査装置１に対してＸＹＺ軸方向に駆動させるため、
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸個々にプローブ３のニードルピン駆動
部（図示していない。）を備えており、基板Ｐの回路パ
ターンに接触させ、検査を行った後、基板Ｐから離間さ
せる。

【００２７】図２は本発明にかかるプリント基板検査装
置用プローブの構造を示す図である。プローブ３はプロ
ーブ駆動機構４３に機械的に接続される「Ｌ」字形状の
保持部材９、該保持部材９に固着されている電極棒７、
該電極棒７に脱着自在に支持されるソケット５、該ソケ
ット５に固着されるニードルピン３０から構成されてい
る。保持部材９は電気絶縁性材料から構成されている。
しかしながら、ソケット５、電極棒７、ニードルピン３
０は導電性材料から構成されている。電極棒７は測定の
ため電線（図示していない）が接続されている。電極棒
７は鉛直線Ｖとβ=１５°の角度を有して保持部材９に
固着されている。ニードルピン３０は半田付け、或いは
カシメ等によりソケット５に固着されている。

【００２８】ニードルピン３０は、例えば直径がφ１５
０μｍのＳＫ鋼（工具鋼）より構成され、また、図２に
おいて明らかなように予め特定方向へ曲げられている。

【００２９】詳述すると、鉛直線Ｖより右方（＋Ｘ方
向）へ曲げられた状態であり、自然長Ｌ＝２５ｍｍ、初
期湾曲量ΔＸは、基準位置より−Ｘ方向でΔＸ＝１ｍｍ
となっている。

【００３０】図３はプローブとして１対のニードルピン
を用いた実施形態を示す図である。図３において、検査
時において２本のプローブ３は基板Ｐの回路パターンの
狭い領域の導電性ないし絶縁性等の検査を行う状態を示
している。２本のプローブ３が近接されても、その保持
部材９はニードルピン３０が傾斜している電極棒７に固
着されているので、ニードルピン３０が互いに接触する
ことはない。

【００３１】図４はニードルピンの応力−歪特性を示す
図であり、詳細には、長さ３０ｍｍのリン青銅で構成さ
れたニードルピン３０を用いた応力特性を示している。

【００３２】図４におけるニードルピンの応力特性は、
ニードルピンを長さ方向に押し込んで測定される。この
ニードルピンはこの実施形態のニードルピン３０として
適用可能である。ニードルピンの応力は歪み量（−Ｚ方
向への押し込み量）０ではほぼ０であり、歪み量０．３
ｍｍ以上では殆ど変化せず略２５ｇで一定となってい
る。ニードルピン３０は半田付けもしくはカシメにより
ソケット５に固着されている。このようにニードルピン
３０は基板Ｐへの押し込みがなされても応力が極めて微
少な靭性特性を有する導電性素材、例えばＳＫ鋼、リン
青銅、黄銅が使用されている。なお、導電性を有し弾性
部材で同様な特性を有するものであれば、特に素材の種
類を問わない。また接触抵抗値についても、歪み量０で
１０KΩ以上だが、歪み量０．５ｍｍ以上で約３Ω程度
と一定になる。

【００３３】ニードルピン３０として前記図４に示す特
性のリン青銅を用いた場合、応力特性より明らかなごと
く、０．５ｍｍ以上の押し込み量になれば、応力が一定
になることからニードルピン３０を０．５ｍｍ以上押し
込むようにプローブ３を下降させることが好ましい。一
方、押し込み量が過剰になると、移動時間が長くかかる
ことにより、結果として測定時間が長くなってしまう。

【００３４】このため、測定時間を短くするためには、
ニードルピン３０の押し込み量を必要以上にしないこと
が好ましい。本実施形態においては、基板Ｐの回路パタ
ーンの高さが０．５ｍｍであった場合、基板Ｐに押し込
むニードルピン３０のストロークは最大１．０ｍｍで全
ての領域の回路パターンを確実に検査できる。

【００３５】図５、６は、ニードルピン先端形状の他の
実施形態を示すものである。図５に示すものは、先端形
状を円錐形状とし、先端の角度を６０°としたものであ
り、図６に示すものは、先端形状を鉛直線Ｖから外方向
上方へ切削した形状とし先端の角度を３０°としたもの
である。図５に示す先端形状とすれば、検査点の間隔の
広い回路パターンの領域を検査するのに効果がある。一
方、図６に示す先端形状とすれば、図３に示すような検
査点の間隔の狭い回路パターンの領域を検査するのに効
果がある。例えば、直径１５０μｍで図６に示すような
半円錐形状の先端形状のニードルピン３０とした場合、
２本のニードルピン３０の先端を略５０μｍの検査点ま
で接近させることができる。

【００３６】予め＋Ｘ方向に湾曲させられているニード
ルピン３０は基板Ｐの回路パターンに押し込まれると同
じ方向に撓む。このため、ニードルピン３０が高速で接
触しても過剰な応力が基板Ｐの回路パターンに加わるこ
とが防止され、正確な測定を行うことができる。

【００３７】また、ニードルピン３０を高速で接触を行
わせることができるので、基板Ｐに近づけるための高速
移動と接触させるための低速移動という複数の移動速度
でプローブ３を駆動させる必要がない。ニードルピン３
０を高速で接触させることができるので、移動時間、検
査時間を合理的に減少させることができる。

【００３８】さらに、ニードルピン３０はコイルスプリ
ングなしで基板Ｐの回路パターンに接触させることがで
きる。従来のコイルスプリングを備えたプローブでは、
基板Ｐの回路パターンに接触させる前にプローブがコイ
ルスプリングの不要な力を受けている。このため、従来
のコイルスプリングを備えたプローブでは、スプリング
の付勢力を受けた状態で接触を行っていた。しかしなが
ら、本実施形態におけるニードルピン３０はコイルスプ
リングを備えていないので、基板Ｐの回路パターンに接
触させる前にはスプリングの付勢力を受けていない。こ
のため、本実施形態におけるニードルピン３０を使用す
ると、スプリングの付勢力を受けていないので、衝撃の
少ない接触で正確に基板Ｐの検査を行うことができる。

【００３９】さらに、プローブ３の全てのニードルピン
３０は予め定められた一定の方向に撓ませられている。
このため、基板検査装置１におけるプローブ３の全ての
ニードルピン３０は接近して隣り合わせることができ
る。

【００４０】図７、８にプローブのその他の実施形態を
示す。図７に示すニードルピン３０ａ自体は、前記ニー
ドルピン３０とは異なり自然状態で真っ直ぐなものであ
り、プローブ３のＺ方向への押し込みにおいて＋Ｘ方向
にのみ撓むように傾斜して電極棒７が保持部材９に取り
付けられたものであり、このニードルピン３０はＸ方向
（＋Ｘ方向）にのみ撓みように撓み方向が特定されるも
のである。

【００４１】次いで、図８に示す実施形態について説明
する。図８におけるニードルピン３０ｂは中央部がＸ方
向（＋Ｘ方向）への湾曲部を有し、先端部分は曲がりが
なく、Ｚ軸方向に真っ直ぐである。この場合、前記ニー
ドルピン３０の場合と同様のソケット５を用いることが
でき、保持部材９に対しても同様にして取り付けること
が可能であり、上記実施形態と同様の作用効果を奏する
ことが可能である。なお、図７、図８に示すニードルピ
ンも先の実施形態で示すニードルピン３０と同様に靭性
特性を有する材料が用いられている。

【００４２】図９はニードルピン先端部の支持に関する
実施形態を示す図であり、同図に基づいて説明する。こ
の実施形態においては、プローブ３は駆動機構に接続さ
れている略「Ｌ」字形状の保持部材９、該保持部材９に
固着されている電極棒７、該電極棒７に脱着自在に支持
されるソケット５、該ソケット５に固着されるニードル
ピン３０、保持部材９に固着される拘束部材１００、電
極棒７から拘束部材１００を電気的に接続する電線１０
３、電線１０３の経路に設けられ電気的接続の開閉状態
を検出するための電流計１０４から構成されている。

【００４３】プローブ３は保持部材９、該保持部材９に
固着されている電極棒７、該電極棒７に脱着自在に支持
されるソケット５、該ソケット５に固着されるニードル
ピン３０から構成され、図２に示されているプローブ３
の構成と同じである。そして、この実施形態におけるプ
ローブ３においては、さらに拘束部材１００、電線１０
３、電流検出器１０４を備えている。さらに、拘束部材
１００は導電性材料より構成され、保持部材９に螺子１
１で固定されている。拘束部材１００の下部水平部１０
１には孔１０２が形成されている。この孔１０２は図１
０に示されているように略三角形状であり、その中をニ
ードルピン３０が通過している。

【００４４】ニードルピン３０が基板Ｐに接触していな
い状態では、ニードルピン３０が拘束部材１００の孔１
０２の左端壁に拘束されているので、拘束部材１００
は、ニードルピン３０、ソケット５、電極棒７、電線１
０３、拘束部材１００を囲む電気回路を閉とする。一
方、ニードルピン３０が押し込まれて基板Ｐに接触する
と、ニードルピン３０が＋Ｘ方向に撓み、拘束部材１０
０の孔１０２の内壁から離れ、結果として電気回路を開
とし、開信号を発生する。基板検査装置１の制御装置ま
たは計測装置が上記信号を受け取ることでニードルピン
３０の鉛直方向（Ｚ軸方向）の高さを検出することがで
きる。

【００４５】ニードルピン３０が押し込まれて基板Ｐに
接触すると、ニードルピン３０が＋Ｘ方向に撓み電線１
０３を介して電流計１０４が前述した電気回路の開を検
出する。このように構成すると、磨耗、折れ等のため古
いニードルピン３０を新しいニードルピン３０に交換す
るとき、ニードルピン３０の基板Ｐへの接触が電流計１
０４で検出できるので、ニードルピン先端におけるＺ軸
方向の高さ調整を容易に行うことができる。

【００４６】また、ニードルピン３０は図１０に示され
ているように基板Ｐの回路パターンに接触するまで、孔
１０２の左端部で拘束されているので最長の状態を保っ
ている。このため、ニードルピン３０は移動中にも振動
することなく、安定しているので、結果として、確実な
接触及び正確な測定が可能になる。

【００４７】以上、本発明に従って説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、以下に記載するごと
く、変更することが可能である。

【００４８】上記実施形態においては、ニードルピン３
の基端部が半田付け、或いはカシメ等によりソケット５
に固着され、ソケット５は電極棒７に脱着自在に支持さ
れ、電極棒７が保持部材９に支持されているものであ
り、ソケット５、電極棒７、保持部材９によりニードル
ピン３の保持部材を構成したが、保持部材９にて直接ニ
ードルピン３を保持する構成としてもよく、またニード
ルピン３の基端部が半田付け、或いはカシメ等によりソ
ケット５に固着され、ソケット５を保持部材９で支持す
る構成としてもよい。

【００４９】上記実施形態においては、静止している基
板Ｐに対してプローブ３がＸＹ方向に移動させて、ニー
ドルピン３０をＺ軸方向基板Ｐに押し込んだものを例示
したが、プローブ３をＸＹ方向に移動させ、基板Ｐ側を
Ｚ方向に移動させ接触させニードルピン３０に接触させ
る構成としてもよい。また、ニードルピン３０をＺ軸方
向への押し込みではなく、ＸまたはＹ軸方向への押し込
みで基板Ｐに接触させる構成とすることも可能である。

【００５０】

【発明の効果】以上、詳述したごとく、本発明の請求項
１によれば、プローブを基板に対して相対的に押し込ん
だ際、ニードルピンは予め定めた方向にのみ撓むので、
ニードルピンの先端が回路パターンにおける測定位置か
らずれないため、正確に測定し検査することができ、か
つ基板に傷を付けることがない。さらにプローブを高速
で移動させることができ、かつ検査基板に対し押し込む
ことができるため基板の検査時間を短縮させることがで
きる。さらにニードルピンの撓み方向が常に一定のた
め、ニードルピン自体の長寿命化、交換時期の延長化を
図ることができる。

【００５１】請求項２によれば、ニードルピンの新旧交
代を容易に行うことができる。

【００５２】請求項３によれば、複数以上のニードルピ
ンを互いに接近して配置させることができ、回路パター
ンの狭い領域の検査を行うことができる。

【００５３】請求項４によれば、ニードルピンが移動中
に振動することが防止でき、ニードルピンの先端が回路
パターンにおける測定点からずれないので正確な検査を
行うことができる。

【００５４】請求項５によれば、プローブの構造を簡単
にできて、かつ、ニードルピンが基板に接触したことを
正確に検出することが防止できる。

【００５５】請求項６によれば、ニードルピンは孔で拘
束され、移動中に振動することが防止できる。

【００５６】請求項７によれば、プローブを基板に押し
込んだ際にニードルピンの撓み方向が安定する。

【００５７】請求項８によれば、ニードルピンを容易に
製作することができる。

【００５８】請求項９によれば、基板の回路パターンの
小さい領域の検査を行うことができる。

【００５９】請求項１０によれば、基板の回路パターン
の検査を容易に行うことができる。

【００６０】請求項１１によれば、基板検査装置におい
てプローブの押し込み方向におけるレベル調整を容易に
行うことができる。

【００６１】請求項１２によれば、基板検査装置におい
て、ニードルピンの交換時のレベル調整を容易に実行で
きる。

【００６２】請求項１３によれば、基板検査装置におい
て複数のニードルピンが互いに接触して干渉することが
防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるプローブをプリント基板検査装
置に用いた概略図である。

【図２】本発明にかかるプリント基板検査装置用プロー
ブを示す図である。

【図３】プローブとして１対のニードルピンを用いた実
施形態を示す図である。

【図４】ニードルピンの応力−歪特性を示す図である。

【図５】ニードルピンの先端部を示す図である。

【図６】ニードルピン先端部の他の実施形態を示す図で
ある。

【図７】プローブの他の実施形態を示す図である。

【図８】プローブのさらに他の実施形態を示す図であ
る。

【図９】ニードルピン先端の支持に関する実施形態を示
す図である。

【図１０】拘束部材を下から見た図である。

【符号の説明】

１基板検査装置２搬送テーブル３プローブ４検査ユニット５ソケット７電極棒９保持部材３０，３０ａ，３０ｂニードルピン１００拘束部材１０２孔（拘束部）１０３電線１０４電流計Ｐ基板（プリント基板）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基端側が保持部材に保持されたニードル
ピンの先端をピン押し込み方向に相対移動させてプリン
ト基板面に当接させ、パターン検査を行わせるプリント
基板検査用プローブにおいて、前記ニードルピンは、弾
性部材からなり、その先端に前記押し込み方向の力が作
用したとき、該押し込み方向と直交する平面上の予め定
めた方向にのみ撓むように構成されていることを特徴と
するプリント基板検査用プローブ。
【請求項２】前記保持部材は絶縁材料から形成され、
さらに、保持部材は保持部材に固定される電極棒と、該
電極棒に脱着自在に装着されるソケットを備え、前記ニ
ードルピンはソケットに固着されていることを特徴とす
る請求項１記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項３】前記電極棒は基板に対する押し込み方向
に対して傾斜した方向に延びていることを特徴とする請
求項２記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項４】前記ニードルピンの先端部を拘束する拘
束部材をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項５】前記拘束部材は導電性材料から形成され
ており、拘束部材はニードルピンを拘束する拘束部を有
し、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部
がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニ
ードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と
前記電極棒を電気的に接続する電線と、該電線に流れる
電流を検出する電流計を備えることを特徴とする請求項
４記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項６】前記拘束部材の拘束部はニードルピンの
通過する孔を有することを特徴とする請求項５記載のプ
リント基板検査装置用プローブ。
【請求項７】前記ニードルピンは一定方向に湾曲して
形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれ
かに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項８】前記ニードルピンは真っ直ぐであり基板
に対する押し込み方向に対して傾斜した方向に延びてい
ることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプ
リント基板検査装置用プローブ。
【請求項９】前記ニードルピンは先端部分が円錐形状
であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載
のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項１０】検査される基板を搬送する搬送テーブ
ルと、複数のプローブを移動させる検査ユニットと、該
検査ユニットに設けられた保持部材と、該保持部材に保
持され基板に接触すると弾性的に撓むニードルピンとを
備えることを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項１１】前記ニードルピンの先端部を拘束する
拘束部材をさらに保持部材に設けたことを特徴とする請
求項１０記載のプリント基板検査装置。
【請求項１２】前記保持部材は絶縁材料から形成され
る保持部を有し、前記拘束部材は導電性材料から形成さ
れ、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部
がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニ
ードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と
前記電極棒とを接続する電線と、ニードルピンが基板に
接触したことを判断するために前記電線に流れる電流を
検出する電流計を備えることを特徴とする請求項１１記
載のプリント基板検査装置。
【請求項１３】前記複数のニードルピンの各撓み方向
は外方に一定であることを特徴とする請求項１０〜１２
のいずれかに記載のプリント基板検査装置。