JP2001038595A - 研削・研磨方法および研削・研磨装置 - Google Patents
研削・研磨方法および研削・研磨装置Info
- Publication number
- JP2001038595A JP2001038595A JP11216121A JP21612199A JP2001038595A JP 2001038595 A JP2001038595 A JP 2001038595A JP 11216121 A JP11216121 A JP 11216121A JP 21612199 A JP21612199 A JP 21612199A JP 2001038595 A JP2001038595 A JP 2001038595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- pressure
- workpiece
- pressure level
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工圧等によるワークの変形を防ぐ。
【解決手段】 ホルダ３に保持されたワークＷ1 は、カ
ンザシ４によって研磨皿１に押圧され、研磨皿１の回転
と、カンザシ４の揺動運動等によって研削・研磨され
る。加圧シリンダ８からカンザシ４を介してワークＷ1
に与えられる加工圧は、加工サイクルの初期において徐
々に高圧レベルＰ2 まで増圧され、高圧レベルＰ2 で所
定時間形状出しを行なったのち、徐々に低圧レベルＰ1
まで減圧され、加工終了まで低圧レベルＰ1 に維持され
る。
ンザシ４によって研磨皿１に押圧され、研磨皿１の回転
と、カンザシ４の揺動運動等によって研削・研磨され
る。加圧シリンダ８からカンザシ４を介してワークＷ1
に与えられる加工圧は、加工サイクルの初期において徐
々に高圧レベルＰ2 まで増圧され、高圧レベルＰ2 で所
定時間形状出しを行なったのち、徐々に低圧レベルＰ1
まで減圧され、加工終了まで低圧レベルＰ1 に維持され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カメラ、ビデオ等
に用いられる光学レンズ等をはじめとする球面形状等の
部品を加工する工程において、特に、加工する部品の凹
凸を反転した表面形状を有する研磨皿にワーク（被加工
物）を押し付け、研磨皿を回転させることによる研磨皿
とワークの間の相対運動と、場合により研磨皿またはワ
ークに球面の接線方向の揺動運動を与えることによって
ワークを加工する研削・研磨方法および研削・研磨装置
に関するものである。
に用いられる光学レンズ等をはじめとする球面形状等の
部品を加工する工程において、特に、加工する部品の凹
凸を反転した表面形状を有する研磨皿にワーク（被加工
物）を押し付け、研磨皿を回転させることによる研磨皿
とワークの間の相対運動と、場合により研磨皿またはワ
ークに球面の接線方向の揺動運動を与えることによって
ワークを加工する研削・研磨方法および研削・研磨装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の球面形状の部品、特に光
学レンズを研磨皿で加工する装置として、図４に示すよ
うな加工機が用いられる。この加工機において、研磨皿
１０１は、球面状の加工面（工具面）の球心を回転中心
とする主軸１０２に取り付けられ、レンズ材料であるワ
ーク（被加工物）Ｗ0 の被加工面と接触している。
学レンズを研磨皿で加工する装置として、図４に示すよ
うな加工機が用いられる。この加工機において、研磨皿
１０１は、球面状の加工面（工具面）の球心を回転中心
とする主軸１０２に取り付けられ、レンズ材料であるワ
ーク（被加工物）Ｗ0 の被加工面と接触している。
【０００３】そして、ワークＷ0 を保持するホルダ１０
３の上面の窪みを、カンザシ１０４の先端球が加圧する
ことにより、ワークＷ0 が研磨皿１０１に押圧される。
３の上面の窪みを、カンザシ１０４の先端球が加圧する
ことにより、ワークＷ0 が研磨皿１０１に押圧される。
【０００４】カンザシ１０４はカンザシアーム１０５の
一端に略垂直に保持されており、カンザシ１０４の高さ
を調整してカンザシアーム１０５に固定されている。
一端に略垂直に保持されており、カンザシ１０４の高さ
を調整してカンザシアーム１０５に固定されている。
【０００５】カンザシアーム１０５の他端はピボット１
０６に枢着される。ピボット１０６を支持する揺動ベー
ス１０７は、図示しない揺動機構に連結され、カンザシ
１０４を矢印Ａで示すように揺動させる。揺動ベース１
０７上には、加圧シリンダ１０８が支持されており、該
加圧シリンダ１０８の加圧力によってカンザシアーム１
０５が矢印Ｂで示すように加圧され、カンザシ１０４を
介してワークＷ0 を研磨皿１０１に押圧する。
０６に枢着される。ピボット１０６を支持する揺動ベー
ス１０７は、図示しない揺動機構に連結され、カンザシ
１０４を矢印Ａで示すように揺動させる。揺動ベース１
０７上には、加圧シリンダ１０８が支持されており、該
加圧シリンダ１０８の加圧力によってカンザシアーム１
０５が矢印Ｂで示すように加圧され、カンザシ１０４を
介してワークＷ0 を研磨皿１０１に押圧する。
【０００６】上記の加工機では、研磨皿１０１の回転お
よびワークＷ0 の連れ回りによる相対運動と、カンザシ
１０４による加工圧と、ワークＷ0 の接線方向の揺動運
動によって研削・研磨加工が行なわれ、ワークＷ0 の被
加工面が、工具形状を凹凸反転した球面に加工される。
よびワークＷ0 の連れ回りによる相対運動と、カンザシ
１０４による加工圧と、ワークＷ0 の接線方向の揺動運
動によって研削・研磨加工が行なわれ、ワークＷ0 の被
加工面が、工具形状を凹凸反転した球面に加工される。
【０００７】このような研削・研磨工程において、カン
ザシ１０４を介してワークＷ0 に与えられる加工圧の制
御システムは、図５に示すように、加圧シリンダ１０８
の圧力を加工サイクルの初期における低圧レベルと、残
りの加工時間に作用する高圧レベルの２段階に切り換え
るように２つの加工圧バルブ１０９，１１０を有し、圧
力制御は以下のように行なわれる。
ザシ１０４を介してワークＷ0 に与えられる加工圧の制
御システムは、図５に示すように、加圧シリンダ１０８
の圧力を加工サイクルの初期における低圧レベルと、残
りの加工時間に作用する高圧レベルの２段階に切り換え
るように２つの加工圧バルブ１０９，１１０を有し、圧
力制御は以下のように行なわれる。
【０００８】まず、加工圧制御部１１１，１１２におい
て低圧レベルと高圧レベルの加工圧がそれぞれ設定され
る。装置本体の制御部１１３からの信号によって主軸１
０２の起動スイッチがＯＮして、研磨皿１０１が回転す
る。同時に加工圧バルブ１０９が開かれて、ワークＷ0
に低圧レベルの加工圧がかかり、加工が開始する。所定
の加工時間が過ぎると、加工圧バルブ１１０に切り換わ
り、ワークＷ0 に高圧レベルの加工圧がかかり、この状
態が加工サイクルの終りまで継続する。
て低圧レベルと高圧レベルの加工圧がそれぞれ設定され
る。装置本体の制御部１１３からの信号によって主軸１
０２の起動スイッチがＯＮして、研磨皿１０１が回転す
る。同時に加工圧バルブ１０９が開かれて、ワークＷ0
に低圧レベルの加工圧がかかり、加工が開始する。所定
の加工時間が過ぎると、加工圧バルブ１１０に切り換わ
り、ワークＷ0 に高圧レベルの加工圧がかかり、この状
態が加工サイクルの終りまで継続する。
【０００９】加工が終了すると研磨皿１０１の回転が停
止され、加圧シリンダ１０８の復帰バルブ１１４に切り
換えられる。これによってカンザシ１０４の加圧力が解
除される。
止され、加圧シリンダ１０８の復帰バルブ１１４に切り
換えられる。これによってカンザシ１０４の加圧力が解
除される。
【００１０】図４の（ｂ）は、上記の加工サイクルにお
ける加工圧の変化を示すグラフである。このグラフから
解るように、加工開始時刻Ｔ1 から所定時間経過後の時
刻Ｔ 2 まで、低圧レベルの加工圧Ｐ1 がかかり、時刻Ｔ
2 において高圧レベルの加工圧Ｐ2 に切り換わり、加工
終了時刻Ｔ3 まで高圧状態が継続する。
ける加工圧の変化を示すグラフである。このグラフから
解るように、加工開始時刻Ｔ1 から所定時間経過後の時
刻Ｔ 2 まで、低圧レベルの加工圧Ｐ1 がかかり、時刻Ｔ
2 において高圧レベルの加工圧Ｐ2 に切り換わり、加工
終了時刻Ｔ3 まで高圧状態が継続する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、一般的に図６の（ａ）に示すように、
加工開始前にワークＷ0 を研磨皿１０１上に置いたとき
に、ワークＷ0 と研磨皿１０１の工具面の間にわずかな
隙間Ｘを持たせる。これは、特にレンズ等の加工におい
て加工能率を向上させるためであるが、隙間Ｘを持たせ
た状態でカンザシ１０４に加工圧を加えると、図６の
（ｂ）に矢印Ｃで示すように変形力がかかり、ワークＷ
0 が変形した状態で研磨皿１０１による加工が行なわれ
る。その結果、加工が終了して加工圧が解除されると、
研磨皿１０１の工具面との間に隙間Ｙが形成され、研磨
皿１０１の形状を正確にワークＷ0 に転写することがで
きない。
の技術によれば、一般的に図６の（ａ）に示すように、
加工開始前にワークＷ0 を研磨皿１０１上に置いたとき
に、ワークＷ0 と研磨皿１０１の工具面の間にわずかな
隙間Ｘを持たせる。これは、特にレンズ等の加工におい
て加工能率を向上させるためであるが、隙間Ｘを持たせ
た状態でカンザシ１０４に加工圧を加えると、図６の
（ｂ）に矢印Ｃで示すように変形力がかかり、ワークＷ
0 が変形した状態で研磨皿１０１による加工が行なわれ
る。その結果、加工が終了して加工圧が解除されると、
研磨皿１０１の工具面との間に隙間Ｙが形成され、研磨
皿１０１の形状を正確にワークＷ0 に転写することがで
きない。
【００１２】加えて、ワークＷ0 と研磨皿１０１の間の
摩擦が大きいため、摩擦熱によってワークＷ0 に熱変形
が生じるという未解決の課題もある。
摩擦が大きいため、摩擦熱によってワークＷ0 に熱変形
が生じるという未解決の課題もある。
【００１３】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、研磨皿の加工圧や摩
擦熱によるレンズ等被加工物の変形を回避して、形状精
度と加工効率の高い研削・研磨加工を行なうことのでき
る研削・研磨方法および研削・研磨装置を提供すること
を目的とするものである。
課題に鑑みてなされたものであり、研磨皿の加工圧や摩
擦熱によるレンズ等被加工物の変形を回避して、形状精
度と加工効率の高い研削・研磨加工を行なうことのでき
る研削・研磨方法および研削・研磨装置を提供すること
を目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の研削・研磨方法は、回転する研磨皿に被加
工物を押しつけて該被加工物の被加工面を加工する研削
・研磨方法であって、前記被加工物に作用する加工圧を
無段階で高圧レベルまで増加させる工程と、前記高圧レ
ベルにおいて形状出しを行なう工程を有することを特徴
とする。
めに本発明の研削・研磨方法は、回転する研磨皿に被加
工物を押しつけて該被加工物の被加工面を加工する研削
・研磨方法であって、前記被加工物に作用する加工圧を
無段階で高圧レベルまで増加させる工程と、前記高圧レ
ベルにおいて形状出しを行なう工程を有することを特徴
とする。
【００１５】回転する研磨皿に被加工物を押しつけて該
被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法であっ
て、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で低圧レベ
ルまで低減しながら形状修正を行なう工程を有すること
を特徴とするものでもよい。
被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法であっ
て、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で低圧レベ
ルまで低減しながら形状修正を行なう工程を有すること
を特徴とするものでもよい。
【００１６】また、回転する研磨皿に被加工物を押しつ
けて該被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法で
あって、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で高圧
レベルまで増圧しながら第１段階の形状出しを行なう工
程と、前記高圧レベルにおいて第２段階の形状出しを行
なう工程と、前記加工圧を無段階で低圧レベルまで減圧
しながら形状修正を行なう工程を有することを特徴とす
る研削・研磨方法でもよい。
けて該被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法で
あって、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で高圧
レベルまで増圧しながら第１段階の形状出しを行なう工
程と、前記高圧レベルにおいて第２段階の形状出しを行
なう工程と、前記加工圧を無段階で低圧レベルまで減圧
しながら形状修正を行なう工程を有することを特徴とす
る研削・研磨方法でもよい。
【００１７】低圧レベルにおいて第２段階の形状修正を
行なってもよい。
行なってもよい。
【００１８】本発明の研削・研磨装置は、駆動手段によ
って回転される研磨皿と、該研磨皿に被加工物を押しつ
ける押圧手段と、該押圧手段を介して前記被加工物に加
工圧を与える加圧手段と、前記加工圧を無段階で高圧レ
ベルに増加させ、該高圧レベルに所定時間維持したのち
に無段階で低圧レベルに低減するための制御手段を有す
ることを特徴とする。
って回転される研磨皿と、該研磨皿に被加工物を押しつ
ける押圧手段と、該押圧手段を介して前記被加工物に加
工圧を与える加圧手段と、前記加工圧を無段階で高圧レ
ベルに増加させ、該高圧レベルに所定時間維持したのち
に無段階で低圧レベルに低減するための制御手段を有す
ることを特徴とする。
【００１９】
【作用】加工サイクルの初期において、高圧レベルまで
加工圧を徐々に増圧しながら第１段階の形状出しを行な
う工程を設ける。これによって、研磨皿にワークが接触
した直後の加工圧によるワークの変化や、摩擦の増大に
よるワークの熱変形を回避できる。
加工圧を徐々に増圧しながら第１段階の形状出しを行な
う工程を設ける。これによって、研磨皿にワークが接触
した直後の加工圧によるワークの変化や、摩擦の増大に
よるワークの熱変形を回避できる。
【００２０】また、加工サイクルの末期において、高圧
レベルから低圧レベルまで徐々に減圧しながら第１段階
の形状修正を行ない、さらに低圧レベルに維持して第２
段階の形状修正を行なうことで、転写精度を向上させる
ことができる。
レベルから低圧レベルまで徐々に減圧しながら第１段階
の形状修正を行ない、さらに低圧レベルに維持して第２
段階の形状修正を行なうことで、転写精度を向上させる
ことができる。
【００２１】このようにして極めて形状精度の高い研削
・研磨加工を効率よく行ない、レンズ等の高品質化と低
価格化を促進できる。
・研磨加工を効率よく行ない、レンズ等の高品質化と低
価格化を促進できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００２３】図１は一実施の形態による研削・研磨装置
を示すもので、研磨皿１は、球面状の加工面（工具面）
の球心を回転中心として回転する駆動手段の主軸２に取
り付けられ、レンズ材料であるワーク（被加工物）Ｗ1
の被加工面と接触する。
を示すもので、研磨皿１は、球面状の加工面（工具面）
の球心を回転中心として回転する駆動手段の主軸２に取
り付けられ、レンズ材料であるワーク（被加工物）Ｗ1
の被加工面と接触する。
【００２４】そして、ワークＷ1 を保持するホルダ３の
上面の窪みを、押圧手段であるカンザシ４の先端球が加
圧することにより、ワークＷ1 が研磨皿１に押圧され
る。
上面の窪みを、押圧手段であるカンザシ４の先端球が加
圧することにより、ワークＷ1 が研磨皿１に押圧され
る。
【００２５】カンザシ４はカンザシアーム５の一端に略
垂直に保持されており、カンザシ４の高さを調整してカ
ンザシアーム５に固定されている。
垂直に保持されており、カンザシ４の高さを調整してカ
ンザシアーム５に固定されている。
【００２６】カンザシアーム５の他端はピボット６に枢
着される。ピボット６を支持する揺動ベース７は、図示
しない揺動機構に連結され、カンザシ４を矢印Ａで示す
ように揺動させる。揺動ベース７上には、加圧手段であ
る加圧シリンダ８が支持されており、該加圧シリンダ８
の加圧力によってカンザシアーム５が矢印Ｂで示すよう
に加圧され、カンザシ４を介してワークＷ1 を研磨皿１
に押圧する。
着される。ピボット６を支持する揺動ベース７は、図示
しない揺動機構に連結され、カンザシ４を矢印Ａで示す
ように揺動させる。揺動ベース７上には、加圧手段であ
る加圧シリンダ８が支持されており、該加圧シリンダ８
の加圧力によってカンザシアーム５が矢印Ｂで示すよう
に加圧され、カンザシ４を介してワークＷ1 を研磨皿１
に押圧する。
【００２７】上記の加工機では、研磨皿１の回転および
ワークＷ1 の連れ回りによる相対運動と、カンザシ４を
介してワークＷ1 に作用する加工圧と、ワークＷ1 の接
線方向の揺動運動によって研削・研磨加工が行なわれ、
ワークＷ1 の被加工面が、工具形状を凹凸反転した球面
に加工される。
ワークＷ1 の連れ回りによる相対運動と、カンザシ４を
介してワークＷ1 に作用する加工圧と、ワークＷ1 の接
線方向の揺動運動によって研削・研磨加工が行なわれ、
ワークＷ1 の被加工面が、工具形状を凹凸反転した球面
に加工される。
【００２８】このような研削・研磨工程において、カン
ザシ４を介してワークＷ1 に与えられる加工圧の制御
は、まず、加圧シリンダ８の圧力を加工サイクルの初期
において徐々に高圧レベルまで増圧し、これによって第
１段階の形状出しの加工を行ない、続いて高圧レベルに
おける第２段階の形状出しの加工を行ない、加工サイク
ルの末期においては、前記高圧レベルから徐々に低圧レ
ベルまで加工圧を減圧しながら第１段階の形状修正を行
ない、続いて、低圧レベルに所定時間維持して第２段階
の形状修正を行なって加工サイクルを終了する。
ザシ４を介してワークＷ1 に与えられる加工圧の制御
は、まず、加圧シリンダ８の圧力を加工サイクルの初期
において徐々に高圧レベルまで増圧し、これによって第
１段階の形状出しの加工を行ない、続いて高圧レベルに
おける第２段階の形状出しの加工を行ない、加工サイク
ルの末期においては、前記高圧レベルから徐々に低圧レ
ベルまで加工圧を減圧しながら第１段階の形状修正を行
ない、続いて、低圧レベルに所定時間維持して第２段階
の形状修正を行なって加工サイクルを終了する。
【００２９】すなわち、加工圧を低圧レベルと高圧レベ
ルの２段階に切り換えるように２つの加工圧バルブを設
ける替わりに、図２に示すように、加圧シリンダ８の圧
力を無段階で変化させ、自動的に高圧レベルと低圧レベ
ルに制御するための制御手段である加工圧制御器９およ
び２つのプレッシャースイッチ１０，１１を用いる。
ルの２段階に切り換えるように２つの加工圧バルブを設
ける替わりに、図２に示すように、加圧シリンダ８の圧
力を無段階で変化させ、自動的に高圧レベルと低圧レベ
ルに制御するための制御手段である加工圧制御器９およ
び２つのプレッシャースイッチ１０，１１を用いる。
【００３０】加工圧制御器９は、図２の（ｂ）に示すよ
うに、矢印で示す方向に流入したエアーを高圧レベルお
よび低圧レベルに無段階に圧力制御して送り出す回転部
９ａと、制御モータ９ｂの回転を回転部９ａに伝達する
ためのギヤ列９ｃを有し、制御モータ９ｂの回転を制御
する回転制御部１２は、装置本体の制御部１３に接続さ
れ、制御モータ９ｂの回転方向を変えることで、加工圧
バルブ１４を介して加圧シリンダ８に供給されるエアー
の増圧、減圧が自在であり、かつ、回転数を変えること
によって、高圧レベルに増圧するときや、低圧レベルに
減圧するときの勾配を制御することができる。加工圧の
制御は以下のように行なわれる。
うに、矢印で示す方向に流入したエアーを高圧レベルお
よび低圧レベルに無段階に圧力制御して送り出す回転部
９ａと、制御モータ９ｂの回転を回転部９ａに伝達する
ためのギヤ列９ｃを有し、制御モータ９ｂの回転を制御
する回転制御部１２は、装置本体の制御部１３に接続さ
れ、制御モータ９ｂの回転方向を変えることで、加工圧
バルブ１４を介して加圧シリンダ８に供給されるエアー
の増圧、減圧が自在であり、かつ、回転数を変えること
によって、高圧レベルに増圧するときや、低圧レベルに
減圧するときの勾配を制御することができる。加工圧の
制御は以下のように行なわれる。
【００３１】まず、プレッシャースイッチ１０，１１に
おいて低圧レベルと高圧レベルの設定が行なわれる。装
置本体の制御部１３からの信号によって主軸２の起動ス
イッチがＯＮして、研磨皿１の回転が開始する。同時に
加工圧バルブ１４が開かれて、ワークＷ1 にかかる加工
圧が徐々に増加してゆき、高圧レベルに達すると高圧側
のプレッシャースイッチ１０が感知して加工圧制御器９
の回転部９ａの回転が停止され、そのままの高圧レベル
で加工が継続する。所定の加工時間が過ぎると、回転制
御部１２からの信号によって回転部９ａが逆回転し、加
工圧が減圧される。低圧レベルに到達すると、プレッシ
ャースイッチ１１が感知して加工圧制御器９の回転部９
ａの回転を停止する。
おいて低圧レベルと高圧レベルの設定が行なわれる。装
置本体の制御部１３からの信号によって主軸２の起動ス
イッチがＯＮして、研磨皿１の回転が開始する。同時に
加工圧バルブ１４が開かれて、ワークＷ1 にかかる加工
圧が徐々に増加してゆき、高圧レベルに達すると高圧側
のプレッシャースイッチ１０が感知して加工圧制御器９
の回転部９ａの回転が停止され、そのままの高圧レベル
で加工が継続する。所定の加工時間が過ぎると、回転制
御部１２からの信号によって回転部９ａが逆回転し、加
工圧が減圧される。低圧レベルに到達すると、プレッシ
ャースイッチ１１が感知して加工圧制御器９の回転部９
ａの回転を停止する。
【００３２】加工が終了すると研磨皿１の回転が停止さ
れ、復帰バルブ１５に切り換えられる。これによってカ
ンザシ４の加圧力が解除される。
れ、復帰バルブ１５に切り換えられる。これによってカ
ンザシ４の加圧力が解除される。
【００３３】図１の（ｂ）は、上記の加工サイクルにお
ける加工圧の変化を示すグラフである。このグラフから
解るように、加工開始時刻Ｔ1 から所定の時間後の時刻
Ｔ2まで、加工圧が徐々に高圧レベルＰ2 に増圧され、
時刻Ｔ2 からＴ3 まで高圧レベルの加工圧Ｐ2 に維持さ
れ、時刻Ｔ3 からＴ4 までの間に高圧レベルＰ2 から低
圧レベルＰ1 に徐々に減圧され、時刻Ｔ4 から加工終了
時刻Ｔ5 まで低圧状態が継続する。
ける加工圧の変化を示すグラフである。このグラフから
解るように、加工開始時刻Ｔ1 から所定の時間後の時刻
Ｔ2まで、加工圧が徐々に高圧レベルＰ2 に増圧され、
時刻Ｔ2 からＴ3 まで高圧レベルの加工圧Ｐ2 に維持さ
れ、時刻Ｔ3 からＴ4 までの間に高圧レベルＰ2 から低
圧レベルＰ1 に徐々に減圧され、時刻Ｔ4 から加工終了
時刻Ｔ5 まで低圧状態が継続する。
【００３４】換言すれば、図３の（ａ）に示すようにワ
ークＷ1 が研磨皿１に接触したのち、時刻Ｔ1 からＴ2
までの間に、図１の（ｂ）に示す勾配で加工圧が増圧さ
れ、この間に図３の（ｂ）に示すように第１段階の形状
出しが行なわれる。増圧の勾配は、制御モータ９ｂの回
転速度を変化させることによって調節自在である。続い
て、高圧レベルＰ2 の加工圧のもとで図３の（ｃ）に示
すように、時刻Ｔ2 からＴ3 までの間に第２段階の形状
出しが行なわれる。このときの高圧レベルＰ2での加工
時間はタイマーによって予め設定される。また、高圧レ
ベルＰ2 の加工圧の値は、プレッシャースイッチ１０の
設定値を変えることで変更できる。
ークＷ1 が研磨皿１に接触したのち、時刻Ｔ1 からＴ2
までの間に、図１の（ｂ）に示す勾配で加工圧が増圧さ
れ、この間に図３の（ｂ）に示すように第１段階の形状
出しが行なわれる。増圧の勾配は、制御モータ９ｂの回
転速度を変化させることによって調節自在である。続い
て、高圧レベルＰ2 の加工圧のもとで図３の（ｃ）に示
すように、時刻Ｔ2 からＴ3 までの間に第２段階の形状
出しが行なわれる。このときの高圧レベルＰ2での加工
時間はタイマーによって予め設定される。また、高圧レ
ベルＰ2 の加工圧の値は、プレッシャースイッチ１０の
設定値を変えることで変更できる。
【００３５】時刻Ｔ3 からＴ4 までは、図１の（ｂ）に
示す勾配で減圧され、図３の（ｄ）に示すように第１段
階の形状修正が行なわれる。減圧の勾配は制御モータ９
ｂの回転速度を変化させることによって調節自在であ
る。時刻Ｔ4 からＴ5 までは、図３の（ｅ）に示すよう
に低圧レベルＰ1 の加工圧のもとで第２段階の形状修正
が行なわれる。このときの低圧レベルＰ1 での加工時間
はタイマーによって予め設定される。また、低圧レベル
Ｐ1 の加工圧の値は、プレッシャースイッチ１１の設定
値を変えることで変更できる。
示す勾配で減圧され、図３の（ｄ）に示すように第１段
階の形状修正が行なわれる。減圧の勾配は制御モータ９
ｂの回転速度を変化させることによって調節自在であ
る。時刻Ｔ4 からＴ5 までは、図３の（ｅ）に示すよう
に低圧レベルＰ1 の加工圧のもとで第２段階の形状修正
が行なわれる。このときの低圧レベルＰ1 での加工時間
はタイマーによって予め設定される。また、低圧レベル
Ｐ1 の加工圧の値は、プレッシャースイッチ１１の設定
値を変えることで変更できる。
【００３６】本実施の形態によれば、高圧レベルでの形
状出しの前に徐々に増圧しながら加工を行なう第１段階
の形状出しの工程が設けられているため、図３の（ｂ）
に矢印Ｃで示すような加工圧によるワークの変形力を最
小限に抑制し、また、ワークと研磨皿との間の摩擦も著
しく増大することがない。加工サイクルの末期において
も、低圧レベルまで徐々に加工圧を減圧する第１段階の
形状修正と、低圧レベルに所定時間維持する第２段階の
形状修正の工程が設けられているため、研磨皿がワーク
から離れるときに弾性変形による誤差を生じることな
く、研磨皿の凹凸を精度よくレンズ等のワークに転写で
きる。
状出しの前に徐々に増圧しながら加工を行なう第１段階
の形状出しの工程が設けられているため、図３の（ｂ）
に矢印Ｃで示すような加工圧によるワークの変形力を最
小限に抑制し、また、ワークと研磨皿との間の摩擦も著
しく増大することがない。加工サイクルの末期において
も、低圧レベルまで徐々に加工圧を減圧する第１段階の
形状修正と、低圧レベルに所定時間維持する第２段階の
形状修正の工程が設けられているため、研磨皿がワーク
から離れるときに弾性変形による誤差を生じることな
く、研磨皿の凹凸を精度よくレンズ等のワークに転写で
きる。
【００３７】その結果、加工圧や摩擦熱によるワークの
変形を回避して、形状精度の高い研削・研磨加工を行な
うことができる。これによって、加工精度と加工効率を
向上させ、レンズ等の高品質化や低価格化に貢献でき
る。
変形を回避して、形状精度の高い研削・研磨加工を行な
うことができる。これによって、加工精度と加工効率を
向上させ、レンズ等の高品質化や低価格化に貢献でき
る。
【００３８】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００３９】研磨皿の加工圧や摩擦熱による変形を防い
で、形状精度の高い研削・研磨加工を行なうことができ
る。
で、形状精度の高い研削・研磨加工を行なうことができ
る。
【図１】一実施の形態による研削・研磨装置および研削
・研磨方法を示すもので、（ａ）は装置の概略を示す構
成図、（ｂ）は加工手順と加工圧の変化を示すグラフで
ある。
・研磨方法を示すもので、（ａ）は装置の概略を示す構
成図、（ｂ）は加工手順と加工圧の変化を示すグラフで
ある。
【図２】図１の装置の制御部を示すもので、（ａ）は加
圧シリンダの圧力制御系、（ｂ）は（ａ）の加工圧制御
器を示す図である。
圧シリンダの圧力制御系、（ｂ）は（ａ）の加工圧制御
器を示す図である。
【図３】加工サイクルにおける時刻Ｔ1 〜Ｔ5 のワーク
と研磨皿の相対位置の変化を示す図である。
と研磨皿の相対位置の変化を示す図である。
【図４】一従来例を示すもので、（ａ）は装置の概略を
示す構成図、（ｂ）は加工サイクル中の加工圧の変化を
示すグラフである。
示す構成図、（ｂ）は加工サイクル中の加工圧の変化を
示すグラフである。
【図５】図４の装置の加圧シリンダの圧力制御系を示す
図である。
図である。
【図６】上記の従来例による加工サイクルにおけるワー
クと研磨皿の相対位置の変化を示す図である。
クと研磨皿の相対位置の変化を示す図である。
１ 研磨皿 ２ 主軸 ４ カンザシ ５ カンザシアーム ７ 揺動ベース ８ 加圧シリンダ ９ 加工圧制御器 １０，１１ プレッシャースイッチ １２ 回転制御部 １４ 加工圧バルブ １５ 復帰バルブ
Claims (5)
- 【請求項１】 回転する研磨皿に被加工物を押しつけて
該被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法であっ
て、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で高圧レベ
ルまで増加させる工程と、前記高圧レベルにおいて形状
出しを行なう工程を有することを特徴とする研削・研磨
方法。 - 【請求項２】 回転する研磨皿に被加工物を押しつけて
該被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法であっ
て、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で低圧レベ
ルまで低減しながら形状修正を行なう工程を有すること
を特徴とする研削・研磨方法。 - 【請求項３】 回転する研磨皿に被加工物を押しつけて
該被加工物の被加工面を加工する研削・研磨方法であっ
て、前記被加工物に作用する加工圧を無段階で高圧レベ
ルまで増圧しながら第１段階の形状出しを行なう工程
と、前記高圧レベルにおいて第２段階の形状出しを行な
う工程と、前記加工圧を無段階で低圧レベルまで減圧し
ながら形状修正を行なう工程を有することを特徴とする
研削・研磨方法。 - 【請求項４】 低圧レベルにおいて第２段階の形状修正
を行なうことを特徴とする請求項２または３記載の研削
・研磨方法。 - 【請求項５】 駆動手段によって回転される研磨皿と、
該研磨皿に被加工物を押しつける押圧手段と、該押圧手
段を介して前記被加工物に加工圧を与える加圧手段と、
前記加工圧を無段階で高圧レベルに増加させ、該高圧レ
ベルに所定時間維持したのちに無段階で低圧レベルに低
減するための制御手段を有する研削・研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11216121A JP2001038595A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 研削・研磨方法および研削・研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11216121A JP2001038595A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 研削・研磨方法および研削・研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001038595A true JP2001038595A (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=16683592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11216121A Pending JP2001038595A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 研削・研磨方法および研削・研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001038595A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2529886A4 (en) * | 2010-01-29 | 2015-08-05 | Kojima Engineering Co Ltd | SPHERICAL GLASS SURFACE GRINDING METHOD USING A PLATE-FORMED WHEEL |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP11216121A patent/JP2001038595A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2529886A4 (en) * | 2010-01-29 | 2015-08-05 | Kojima Engineering Co Ltd | SPHERICAL GLASS SURFACE GRINDING METHOD USING A PLATE-FORMED WHEEL |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10109255A (ja) | セラミック製細長円筒部品のチャック・加工方法及び装置 | |
| TW200418606A (en) | Grinding apparatus for spherical lenses | |
| JP2001038595A (ja) | 研削・研磨方法および研削・研磨装置 | |
| JPH11104942A (ja) | ワークエッジの研磨方法及び装置 | |
| JP2003266295A (ja) | バフ加工制御装置 | |
| JP2008260091A (ja) | 研磨装置 | |
| JP2000334658A (ja) | ラップ加工装置 | |
| JPS58137554A (ja) | 両面同時研磨機のソフト加圧機構および研磨方法 | |
| JP3670177B2 (ja) | ガラスディスク研磨装置 | |
| GB2315365A (en) | Semiconductor wafer polishing machine | |
| JP2000024920A (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
| JP4460736B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JP2001157954A (ja) | パイプ端面のバリ取り仕上げ装置 | |
| JPH03281026A (ja) | リングローリング機におけるワークの定寸制御方法 | |
| JP2000167756A (ja) | 曲面加工装置 | |
| JP2005305609A (ja) | ラップ盤 | |
| JP2600063Y2 (ja) | 球面研削加工装置 | |
| JPH01274960A (ja) | レンズ加工方法 | |
| JP2000084818A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
| JPH06226624A (ja) | バリ取り研磨機等の加圧方向制御方法と装置 | |
| JP2000218524A (ja) | 平面研磨装置及び方法 | |
| JP2023518321A (ja) | 研磨およびホーニングのための装置および方法ならびに装置の使用 | |
| JPH1170452A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH11170167A (ja) | 光学素子の研磨方法及び研磨装置 | |
| JP2005169520A (ja) | 研磨装置及び研磨工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040716 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041203 |