JP2001038136A - ガスドライヤー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分離膜式ドライヤーにおける乾燥空
気の多くが無駄に捨てられる問題の解決。 【解決手段】 原料ガスを乾燥ガスと水蒸気含有量
の多い水蒸気含有ガスとに分離する水蒸気分離膜モジュ
ールと、前記水蒸気含有ガスを乾燥して乾燥処理ガスを
得る水蒸気含有ガス乾燥部と、前記水蒸気含有ガス乾燥
部において得られた乾燥処理ガスを前記原料ガスと共に
前記水蒸気分離膜モジュール内に導入する乾燥処理ガス
戻し流路とを備えるガスドライヤー。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガスドライヤーに
関し、更に詳しくは、原料空気等の原料ガスを、水蒸気
分離膜によって乾燥ガスと水蒸気含有量の多い水蒸気含
有ガスとに分離する水蒸気分離膜モジュールを備える分
離膜式ドライヤーにおいて、水蒸気含有ガスが無駄に捨
てられていたという問題を解決したガスドライヤーに関
する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
原料ガス中の水蒸気を優先的に透過する中空糸型の水蒸
気分離膜と、前記水蒸気分離膜を収容する分離膜容器と
を有する水蒸気分離膜モジュールを備えた分離膜式ドラ
イヤーが、メンテナンスフリーであること、電源が不要
であること、軽量で、コンパクトであること、縦置き及
び横置きの何れも可能であること、ダスト及びドレンの
発生がないこと、種々の露点を有する乾燥ガスが得られ
ること、及び幅広い流量域が選べること等、種々の特長
を有することから広く用いられるようになってきた。

【０００３】前記分離膜式ドライヤーにおいては、原料
ガスは、水蒸気分離膜における中空部の一端に導入され
る。前記原料ガス中の水蒸気は、前記水蒸気分離膜を外
側に向かって透過し、前記中空部の他端からは水蒸気を
除去された原料ガスが導出される。前記中空部の他端か
ら導出された原料ガスは、大部分が乾燥ガスとして前記
水蒸気分離膜モジュールの外部に導出され、一部分が前
記水蒸気分離膜モジュールの有する分離膜容器における
水蒸気透過側に導入される。これにより、前記分離膜容
器の水蒸気透過側における水蒸気濃度は低く保持され
る。前記水蒸気透過側を流通して水蒸気濃度の高くなっ
た原料ガスは、前記水蒸気分離膜モジュールの外部に水
蒸気含有ガスとして導出される。

【０００４】このようにして、前記水蒸気分離膜モジュ
ールにおいては、原料ガスを乾燥ガスと水蒸気含有ガス
とに分離している。

【０００５】前記分離膜式ドライヤーにおいては、前記
分離膜容器への原料ガスの導入量、言い換えれば前記水
蒸気含有ガスの導出量を変化させることにより、得られ
る乾燥ガスの露点を調節している。具体的には、−１０
℃程度の比較的高い露点を有する乾燥ガス、言い換えれ
ば乾燥度の低い乾燥ガスを製造するときには、水蒸気含
有ガスの導出量を減少させ、−６０〜−７０℃程度の低
い露点を有する乾燥ガス、言い換えれば乾燥度の高い乾
燥ガスを製造する際には、前記水蒸気含有ガスの導出量
を増大させる。

【０００６】前記分離膜式ドライヤーにおいては、例え
ば、−５０℃程度と露点の低い乾燥ガスを製造するとき
には、原料ガスの５０％以上が、水蒸気含有ガスとして
前記水蒸気分離膜モジュールから導出される。

【０００７】しかし、従来の分離膜式ドライヤーにおい
ては、前記水蒸気含有ガスは全て捨てられていた。した
がって、原料ガスの多くが無駄になり、又、原料ガスを
圧縮するコンプレッサ等の動力代も無駄になっていた。

【０００８】ガスドライヤーとしては、他に、アルミナ
等の乾燥剤を充填した乾燥塔を備える吸着式ドライヤー
が広く用いられてきた。

【０００９】しかし、前記吸着式ドライヤーのうち、乾
燥塔を１基のみ有する吸着式ドライヤーには、乾燥塔を
再生したり乾燥剤を交換したりする間、需要先に乾燥ガ
スを供給することができないという問題があった。

【００１０】前記問題を解決する方法としては、例えば
前記吸着式ドライヤーにおいて、乾燥塔を複数設け、前
記複数の乾燥塔を順次切り替えることにより、連続的に
乾燥ガスを供給できるようにすることが考えられるが、
前記構成を有する吸着式ドライヤーは、乾燥塔間を接続
する配管及び配管を切り替えるバルブ等が多数必要にな
り、配管及び構造が複雑になること、及び装置が大型化
しがちであること等の問題点を有する。

【００１１】ガスドライヤーとしては、他に、原料ガス
を冷却して水蒸気を除去する冷凍式ドライヤーも広く用
いられてきた。しかし、前記冷凍式ドライヤーにも、露
点が−１０℃前後の比較的乾燥度の低い乾燥ガスしか得
られない点、冷凍機の駆動用動力が必要である点、及び
冷凍機が停止したり、熱交換器が故障したりすると、前
記熱交換器の内部において凍結した水分が溶けて乾燥ガ
スの導出口から外部に漏れることがある点等、種々の問
題点がある。

【００１２】本発明は、以下の２つの課題、即ち 分離膜式ドライヤーにおいてこれまで無駄に捨てられ
ていた水蒸気含有ガスを有効利用できること、 原料ガス及び前記原料ガスを圧縮するコンプレッサの
動力代等を節約することができること を達成することができるガスドライヤー例えばエアード
ライヤーを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決すること
を目的とする本発明は、（１）原料ガスを、水蒸気分離
膜によって乾燥ガスと水蒸気含有量の高い水蒸気含有ガ
スとに分離する水蒸気分離膜モジュールと、前記水蒸気
分離膜モジュールにおいて分離された水蒸気含有ガスを
乾燥して乾燥処理ガスを得る水蒸気含有ガス乾燥部と、
前記水蒸気含有ガス乾燥部において得られた乾燥処理ガ
スを前記原料ガスと共に前記水蒸気分離膜モジュール内
に導入する乾燥処理ガス戻し流路とを備えてなることを
特徴とするガスドライヤー、（２）前記（１）における
水蒸気含有ガス乾燥部は、前記（１）における水蒸気含
有ガス中の水蒸気を吸着して除去する吸着式ドライヤー
部を備えてなる（１）に記載のガスドライヤー、（３）
前記（１）における水蒸気含有ガス乾燥部は、前記
（１）における水蒸気含有ガスを冷却して前記水蒸気含
有ガス中の水蒸気を除去する冷凍式ドライヤー部を備え
てなる（１）に記載のガスドライヤー、及び（４）前記
（１）における水蒸気含有ガス乾燥部において得られた
乾燥処理ガスの少なくとも一部を需要先に向けて導出す
る乾燥処理ガス導出流路を備えてなる（１）〜（３）の
何れかに記載のガスドライヤーに関する。

【００１４】

【発明の実施の形態】１．例１ 請求項２に記載のガスドライヤー、即ち水蒸気含有ガス
乾燥部として吸着式ドライヤー部を備えるガスドライヤ
ーの一例につき、概略を図１に示す。

【００１５】図１に示されるように、例１のガスドライ
ヤーは、原料ガスを乾燥ガスと水蒸気含有ガスとに分離
する水蒸気分離膜モジュール１と、前記水蒸気分離膜モ
ジュール１から導出された水蒸気含有ガスを乾燥して乾
燥処理ガスを得る吸着式ドライヤー部２と、前記水蒸気
分離膜モジュール１から導出された水蒸気含有ガスを前
記吸着式ドライヤー部２に導入する水蒸気含有ガス導出
管路１ｅと、前記吸着式ドライヤー部２から導出された
乾燥処理ガスを前記水蒸気分離膜モジュール１に戻す乾
燥処理ガス戻し管路２ｂとを備えている。なお、この乾
燥処理ガス戻し管路２ｂは、本発明における乾燥処理ガ
ス戻し流路に対応する。この発明においては、原料ガス
中に含まれる水蒸気の量よりも多く水蒸気を含有してい
るガスを水蒸気含有ガスと称している。

【００１６】前記水蒸気分離膜モジュール１は、原料ガ
スから水蒸気を分離、除去する中空糸状の水蒸気分離膜
（図示せず。）と、前記水蒸気分離膜が収容された円柱
状の水蒸気分離膜容器１ａとを備えている。

【００１７】前記水蒸気分離膜容器１ａは、図１に示さ
れるように、円筒状の水蒸気分離膜容器本体１ａ１を備
えている。

【００１８】前記水蒸気分離膜モジュール１の備える水
蒸気分離膜は、水蒸気を優先的に透過する中空糸膜であ
り、両端が開口している。そして、前記水蒸気分離膜
は、両端において、ポッティングにより前記水蒸気分離
膜容器本体１ａ１の両端部に固定される。

【００１９】前記水蒸気分離膜容器本体１ａ１の一端に
は、有底円筒状の形状を有するエンドキャップ１ａ２が
被せられ、他端には、エンドキャップ１ａ２と同様の形
状及び寸法を有するエンドキャップ１ａ３が被せられて
いる。

【００２０】前記エンドキャップ１ａ２の頂面における
中央部には、原料ガスが導入される原料ガス導入口（図
示せず。）が設けられ、前記原料ガス導入口には原料ガ
ス導入管路１ｂの一端が接続されている。前記原料ガス
導入管路１ｂと前記エンドキャップ１ａ２とは、前記水
蒸気分離膜モジュール１に原料ガスを導入する原料ガス
導入路を形成する。

【００２１】したがって、水蒸気分離膜モジュール１
は、両端をポッティングにより固定された中空糸束を中
空糸膜として内蔵する水蒸気分離膜容器本体１ａ１と、
この水蒸気分離膜容器本体１ａ１の一端に結合され、原
料ガスを導入可能に形成されたエンドキャップ１ａ２
と、前記水蒸気分離膜容器本体１ａ１の他端に結合さ
れ、乾燥ガスを導出可能に形成されたエンドキャップ１
ａ３とを有してなる組立体である。

【００２２】なお、本発明のガスドライヤーにおいて、
水蒸気分離膜モジュールは、水蒸気分離膜によって原料
ガスを乾燥ガスと水蒸気含有ガスとに分離する機能を有
する。この様な機能を有する限り、本発明においては、
前記水蒸気離膜モジュールの形態は、この例１及びその
他のガスドライヤーのところで説明する中空糸膜モジュ
ール型の形態に限定されない。

【００２３】前記水蒸気分離膜モジュールとしては、他
に、平膜状の水蒸気分離膜と、前記水蒸気分離膜の一方
の面に積層され、原料ガスの流路を形成する第１のスペ
ーサと、前記水蒸気分離膜における前記第１のスペーサ
が積層される面とは反対側の面に積層され、水蒸気含有
ガスの流路を形成する第２のスペーサとからなる水蒸気
分離ユニットが円柱状に巻き上げられたスパイラル型モ
ジュール、及び複数の前記水蒸気分離ユニットが積層さ
れた平膜型モジュール等が挙げられる。

【００２４】前記原料ガス導入管路１ｂの他端には、原
料ガスを供給するコンプレッサ等の原料ガス源（図示せ
ず。）が接続されている。そして、図１に示されるよう
に、前記原料ガス導入管路１ｂには、エジェクタとして
の機能を有し、乾燥処理ガス戻し管路２ｂが接続される
エジェクタ部３が介装されている。

【００２５】前記エジェクタ部３は、前記原料ガス導入
管路１ｂの一部を形成するところの、外側に突出する椀
型の端面を有する略中空円柱形の拡大部、換言すれば繭
型又は俵型の形状を有する拡大部であるエジェクタ本体
３ａを備える。

【００２６】前記エジェクタ本体３ａの軸線に沿って原
料ガスが流通するように、エジェクタ本体３ａは前記原
料ガス導入管路１ｂに介装されている。

【００２７】前記エジェクタ本体３ａの内部には、上流
側端面の中央部から下流側端面の中央部に向かって延在
するノズル３ｃが、前記エジェクタ本体３ａの軸線に沿
って設けられている。前記ノズル３ｃには、前記原料ガ
ス導入管路１ｂにおけるエジェクタ部３よりも上流側の
部分である上流側原料ガス導入管路１ｂ１が接続されて
いる。

【００２８】前記エジェクタ本体３ａにおける下流側端
面の中央部から前記エジェクタ本体３ａの軸線に沿って
下流方向にディフェーザ部３ｂが延在する。前記ディフ
ェーザ部３ｂは、内径が下流側に向かって円錐状に拡大
し、下流側先端部において、前記原料ガス導入管路１ｂ
における前記エジェクタ部３よりも下流側の部分である
下流側原料ガス導入管路１ｂ２に接続されている。

【００２９】一方、乾燥処理ガス戻し管路２ｂは、前記
エジェクタ本体３ａの側面に接続されている。

【００３０】前記エンドキャップ１ａ３の頂面における
中央部には、乾燥ガスが導出される乾燥ガス導出口（図
示せず。）が設けられ、前記乾燥ガス導出口には乾燥ガ
ス導出管路１ｃが接続されている。前記乾燥ガス導出管
路１ｃとエンドキャップ１ａ３とは、前記水蒸気分離膜
モジュール１から乾燥ガスを導出する乾燥ガス導出路を
形成する。

【００３１】前記エンドキャップ１ａ３の側面と水蒸気
分離膜容器本体１ａ１の側面における前記エンドキャッ
プ１ａ３近傍との間には、前記水蒸気分離膜の中空部を
流通する原料ガスから水蒸気が除去された乾燥ガスの一
部を水蒸気分離膜容器本体１ａ１の内部に戻す戻し管路
１ｄが設けられている。前記水蒸気分離膜容器本体１ａ
１の側面におけるエンドキャップ１ａ２の近傍には、前
記水蒸気含有ガス導出管路１ｅの一端が接続されてい
る。なお、戻し管路１ｄは、水蒸気分離膜モジュール１
により乾燥したガスの一部を水蒸気分離膜容器本体１ａ
１の内壁と水蒸気分離膜の外表面との間の空間に戻す機
能を有する管路であるから、この様な機能を有する限り
前記態様の戻し管路１ｄに限定されることはなく、例え
ば、図１における乾燥ガス導出管路１ｃの途中から分岐
し、必要に応じて途中に流量調整弁Ｆと同様の流量調整
弁を介装し、乾燥ガスの一部を水蒸気分離膜容器本体１
ａ１の内壁と水蒸気分離膜の外表面との間の空間に戻す
ように管路を構成しても良い。

【００３２】流量調整弁Ｆとしては、手動で開度が制御
される手動式調整弁、モータで開度が制御される電動式
調整弁、ソレノイドにより開度が制御される電磁式制御
弁、ガス圧により開度が制御されるガス圧式調整弁、及
び油圧等の液圧により開度が制御される液圧式調整弁等
が挙げられる。

【００３３】前記水蒸気含有ガス導出管路１ｅからは、
水蒸気含有ガスを例１のガスドライヤーの外部に排気す
る水蒸気含有ガス排出管１ｆが分岐している。この水蒸
気含有ガス排出管１ｆは、水蒸気含有ガス導出管路１ｅ
中のガスにおけるような水分量のガスを使用する装置、
施設等に送られる管路であっても、あるいは大気中に放
出する管路であっても良い。

【００３４】水蒸気含有ガス導出管路１ｅ及び水蒸気含
有ガス排出管１ｆには、それぞれ操作弁Ａ及び操作弁Ｂ
が介装されている。

【００３５】前記操作弁Ａ及び操作弁Ｂとしては、手動
で開閉される手動式開閉弁、モータで開閉される電動式
開閉弁、ソレノイドにより開閉される電磁式開閉弁、ガ
ス圧により開閉されるガス圧式開閉弁、及び油圧等の液
圧により開閉される液圧式開閉弁等が挙げられる。

【００３６】吸着式ドライヤー部２は、略円柱形状の形
状を有し、内部にアルミナ又はゼオライト等の乾燥剤が
充填された乾燥塔２ａを備える。

【００３７】前記乾燥塔２ａの一方の端面には、図１に
示されるように、前記水蒸気含有ガス導出管路１ｅが接
続され、他方の端面には、前記乾燥ガス導出管路１ｃか
ら分岐し、前記乾燥塔２ａの再生時において、前記乾燥
塔２ａの内部に乾燥ガスを供給する乾燥塔再生管路２ｃ
が設けられている。

【００３８】前記乾燥塔２ａの側面における前記乾燥塔
再生管路２ｃが設けられた側の端面の近傍には、前記乾
燥処理ガス戻し管路２ｂにおける前記エジェクタ部３に
接続された側とは反対側の一端が接続されている。

【００３９】前記乾燥塔２ａの側面における前記水蒸気
含有ガス導出管路１ｅが接続された側の端面の近傍に
は、外側に向かってガス排出管路２ｄが設けられてい
る。

【００４０】前記乾燥処理ガス戻し管路２ｂ、乾燥塔再
生管路２ｃ、及びガス排出管路２ｄには、それぞれ操作
弁Ｃ、操作弁Ｄ、及び操作弁Ｅが介装されている。前記
操作弁Ｃ、操作弁Ｄ、及び操作弁Ｅとしては、前記操作
弁Ａ及び操作弁Ｂと同様の手動式開閉弁、電動式開閉
弁、電磁式開閉弁、ガス圧式開閉弁、及び液圧式開閉弁
等が挙げられる。

【００４１】前記乾燥処理ガス戻し管路２ｂにおける操
作弁Ｃとエジェクタ部３との間には、前記乾燥塔２ａか
らエジェクタ部３に向かう方向にのみ開く逆止弁Ｇが介
装されている。

【００４２】更に、乾燥塔２ａにおける乾燥塔再生管路
２ｃの近傍には、前記乾燥塔２ａに充填された乾燥剤中
の水分量がある一定値を超えていないかどうかを検知す
るプローブ２ｅが設けられている。

【００４３】例１のガスドライヤーのうち、操作弁Ａ〜
操作弁Ｅが電動式開閉弁、電磁式開閉弁、ガス式開閉
弁、及び液圧式開閉弁の何れかである場合には、前記操
作弁Ａ〜操作弁Ｅの制御は、通常シーケンサ（図示せ
ず。）により行われる。前記操作弁Ａ〜操作弁Ｅとして
電動式開閉弁及び電磁式開閉弁が用いられる場合には、
シーケンサとしては、有接点シーケンス回路及び無接点
シーケンス回路等が挙げられる。一方、前記操作弁Ａ〜
操作弁Ｅとしてガス圧式開閉弁及び液圧式開閉弁が用い
られる場合には、シーケンサとしては、前記有接点シー
ケンス回路及び無接点シーケンス回路に代えて、偏向形
素子、渦流形増幅素子、及び付着形素子等の純流体素子
を用いた油空圧式論理回路を用いることもできる。

【００４４】例１のガスドライヤーにおいて、前記プロ
ーブ２ｅからの信号は前記シーケンサに常に伝達され
る。そして、乾燥塔２ａ内部における吸着剤の水分量が
前記一定値以下であることがプローブ２ｅによって検出
されたら、プローブ２ｅからの前記信号を受けて、前記
シーケンサは、操作弁Ａ〜操作弁Ｅに対し、操作弁Ａ及
び操作弁Ｃを開き、残りの操作弁を閉じる第１の信号を
出力する。前記第１の信号により、操作弁Ａ及び操作弁
Ｃは開き、残りの操作弁は閉じる。

【００４５】操作弁Ａ及び操作弁Ｃが開き、残りの操作
弁が閉じた状態にある前記ガスドライヤーに、原料ガス
導入管路１ｂを通して、原料ガス源から水蒸気分離膜モ
ジュール１に原料ガスが導入されると、前記原料ガス
は、エンドキャップ１ａ２側の開口から中空糸内に導入
される。

【００４６】前記原料ガスは、水蒸気分離膜である中空
糸内を、前記エンドキャップ１ａ２からエンドキャップ
１ａ３に向かって流通する。原料ガス中に含まれる水蒸
気は、前記中空糸である水蒸気分離膜を優先的に透過
し、前記水蒸気分離膜の外面と水蒸気分離膜容器本体１
ａ１の内壁面との間における空間に流出する。水蒸気分
離膜の中空部を流通して水蒸気が除去されたガス、即ち
乾燥したガス（乾燥ガスとも称される。）は、前記水蒸
気分離膜におけるエンドキャップ１ａ３側の開口から流
出する。

【００４７】前記乾燥ガスは、一部が、戻し管路１ｄを
通って前記水蒸気分離膜容器１ａの内部（すなわち、前
記水蒸気分離膜の外面と水蒸気分離膜容器本体１ａ１の
内壁面との間における空間）に戻され、残りが、乾燥ガ
ス導出管路１ｃから供給先（図示せず。）に向かって導
出される。

【００４８】水蒸気分離膜容器１ａの内部に戻された乾
燥ガスは、前記水蒸気分離膜の外面と水蒸気分離膜容器
１ａの内壁面との間における空間をエンドキャップ１ａ
２に向かって流通する。前記空間を流通し、水蒸気を導
搬するガス、即ち水蒸気含有ガスは、水蒸気含有ガス導
出管路１ｅを通って前記水蒸気分離膜モジュール１の外
部に導出される。水蒸気分離膜モジュール１において
は、このようにして原料ガス導入管路１ｂから導入され
た原料ガスが乾燥ガスと水蒸気含有ガスとに分離され
る。

【００４９】一方、水蒸気分離膜容器１ａ内の前記空間
は、前記乾燥ガスによりパージされるので、前記空間に
おける水蒸気濃度は低く保持され、これにより前記空間
が水蒸気により飽和することが防止される。

【００５０】尚、前記戻し管路１ｄには流量調整弁Ｆが
介装されているから、前記流量調整弁Ｆの開度を制御す
ることにより、前記エンドキャップ１ａ３から水蒸気分
離膜容器１ａの内部に戻される原料ガスの流量を増減さ
せ、これにより、乾燥ガス導出管路１ｃから導出される
乾燥ガスの露点が調節される。具体的には、前記流量調
整弁Ｆを絞ったときには、水蒸気分離膜容器１ａにおけ
る前記空間に戻される原料ガスの流量が減少するから、
前記空間における水蒸気濃度が高くなり、水蒸気分離膜
の中空部から外面に向かう水蒸気の透過量が減少する。
したがって、前記乾燥ガス導出管路１ｃから導出される
乾燥ガスの露点が高くなり、言い換えれば乾燥度が低く
なる。

【００５１】反対に、前記流量調整弁Ｆの開度を大きく
すると、水蒸気分離膜容器１ａの内部に戻される乾燥し
た原料ガスの流量が増大するから、前記空間における水
蒸気濃度が低下する。したがって、前記水蒸気分離膜の
中空部から外部に向かう水蒸気の透過量が増大するか
ら、前記乾燥ガス導出管路１ｃから導出される乾燥ガス
の露点が低くなり、言い換えれば乾燥度が高くなる。

【００５２】前記乾燥塔２ａに導入された水蒸気含有ガ
スは、前記乾燥塔２ａにおいて水分を除去されて乾燥処
理ガスになり、乾燥処理ガス戻し管路２ｂを通って原料
ガス導入管路におけるエジェクタ部３に導入される。前
記原料ガス導入管路１ｂを流通する原料ガスは、前記エ
ジェクタ部３が備えるエジェクタ本体３ａ内部におい
て、ノズル３ｃからディユーザ３ｂに向かって高速で噴
射されるから、前記エジェクタ本体３ａの内部は減圧状
態に保持されている。したがって、乾燥処理ガス戻し管
路２ｂからの乾燥処理ガスは、前記エジェクタ本体３ａ
の内部に吸引され、前記ノズル３ｃから噴射された原料
ガスと混合されて水蒸気分離膜容器１ａ内に導入され
る。

【００５３】尚、前記エジェクタ部３におけるエジェク
タ本体３ａ内部の圧力が何らかの理由により前記乾燥処
理ガス戻し管路２ｂ内部の圧力よりも高くなった場合に
は、前記乾燥処理ガス戻し管路２ｂに介装された逆止弁
Ｇが閉じるから、前記エジェクタ部３から乾燥塔２ａに
向かって原料ガスが逆流することが防止される。

【００５４】例１のガスドライヤーにおいて、乾燥塔２
ａ内部における吸着剤の水分量が前記一定値を超えたこ
とをプローブ２ｅが検出したら、シーケンサは、プロー
ブ２ｅからの前記信号を受けて、操作弁Ａ及び操作弁Ｃ
を閉じ、操作弁Ｂ、操作弁Ｄ、及び操作弁Ｅを開く第２
の信号を、前記操作弁Ａ〜操作弁Ｅに対して出力する。
前記第２の信号を受けて、操作弁Ａ及び操作弁Ｃが閉
じ、操作弁Ｂ、操作弁Ｄ、及び操作弁Ｅが開く。

【００５５】この状態において、原料ガス導入管路１ｂ
を通して水蒸気分離膜容器１ａに原料ガスを導入する
と、乾燥ガス導出管路１ｃから導出された乾燥ガスの一
部は、乾燥塔再生管路２ｃを通って乾燥塔２ａの内部に
導入される。

【００５６】乾燥塔２ａ内部に導入された乾燥ガスは、
前記乾燥塔２ａ内に充填された乾燥剤の間を流通し、ガ
ス排出管路２ｄを通って外部に排出される。これによっ
て前記乾燥剤が再生される。

【００５７】一方、乾燥ガス導出管路１ｃから導出され
た乾燥ガスの残りは、供給先に供給される。

【００５８】水蒸気含有ガス導出管路１ｅから導出され
た水蒸気含有ガスは、水蒸気含有ガス排出管１ｆを通し
てガスドライヤーの外部に排出される。

【００５９】前記乾燥剤が再生され、乾燥塔２ａ内部に
おける吸着剤の水分量が一定の範囲よりも低くなったこ
とをプローブ２ｅが検出したら、プローブ２ｅからの前
記信号を受けて、シーケンサは、操作弁Ａ〜操作弁Ｅに
対して前記第１の信号を出力する。そして、前記第１の
信号により、操作弁Ａ及び操作弁Ｃは開き、残りの操作
弁は閉じるから、前記乾燥塔再生管路２ｃは閉止され、
水蒸気分離膜容器１ａと乾燥塔２ａと原料ガス導入管路
１ｂにおけるエジェクタ部３とが、水蒸気含有ガス導出
管路１ｅ及び乾燥処理ガス戻し管路２ｂによって連通さ
れる。

【００６０】乾燥塔２ａに充填された乾燥剤が劣化した
場合などのように、乾燥塔２ａを交換する場合には、前
記シーケンサは、操作弁Ａ〜操作弁Ｅに対して、操作弁
Ａ及び操作弁Ｄを閉じ、残りの操作弁を開く第３の信号
を出力する。前記第３の信号を受けて、操作弁Ａ及び操
作弁Ｄは閉じ、残りの操作弁は開く。

【００６１】この状態においても、乾燥ガス導出管路１
ｃから乾燥ガスが導出されるから、供給先への乾燥ガス
の供給が停止することは無い。

【００６２】例１のガスドライヤーは、 −４０℃〜−７３℃と低い露点を有する乾燥ガスを容
易に製造できること、 水蒸気分離膜モジュール１から導出される水蒸気含有
ガスを乾燥塔２ａによって乾燥し、再び前記水蒸気分離
膜モジュール１に戻しているので、露点の低い乾燥ガス
を大量に製造する場合においても、水蒸気含有ガスが外
部に無駄に捨てられることが殆どなく、原料ガス及びコ
ンプレッサの動力費等を大幅に節減できること、 乾燥塔２ａに充填された乾燥剤を再生している間、及
び乾燥塔２ａを交換している間の何れにおいても、供給
先への乾燥ガスの供給を中断する必要がないので、供給
先に乾燥ガスを供給しながら乾燥塔２ａにおける前記乾
燥剤を再生したり、乾燥塔２ａを交換したりすることが
できること、及び 水蒸気分離膜モジュール１は、直径及び長さの何れ
も、乾燥塔と比較して大幅に小さくすることができるか
ら、乾燥塔を２個以上備える連続運転型の吸着式ドライ
ヤーよりも遙かに寸法が小さいこと、等の特長を有す
る。

【００６３】更に、例１のガスドライヤーのうち、前記
操作弁Ａ〜操作弁Ｅとしてガス圧式開閉弁又は液圧式開
閉弁を用い、シーケンサとして油空圧式論理回路を用い
たガスドライヤーは、前記操作弁Ａ〜操作弁Ｅの開閉及
び制御に電力を使用しない故に、電源が不要であり、本
質的に防爆性である。したがって、前記ガスドライヤー
は、化学工場、石油精製所、及び炭坑等、可燃性ガス、
可燃性蒸気、及び粉炭などの可燃性粉塵等が充満し、爆
発の危険が高い場所においても極めて安全に使用できる
という特長を有する。

【００６４】この例１のガスドライヤーは、水蒸気を含
有する空気の乾燥に好適に使用されることができる。空
気の乾燥に使用されるガスドライヤーは、換言すればエ
アードライヤーである。エアードライヤの構成及び作用
については、ガスドライヤーに関する上記説明におい
て、「ガス」を「空気」と読み替えることにより、容易
に理解することができる。

【００６５】２．例２ 本明細書の請求項３に記載のガスドライヤー、即ち水蒸
気含有ガス乾燥部として冷凍式ドライヤー部を有するガ
スドライヤーの一例につき、概略を図２に示す。図２に
おいて、図１と同一の符号は、特に断らない限り、図１
において前記符号が示す要素と同一の要素を示す。

【００６６】図２に示されるように、例２のガスドライ
ヤーは、例１のガスドライヤーにおける水蒸気分離膜モ
ジュール１と同様の構成を有する水蒸気分離膜モジュー
ル１と、前記水蒸気分離膜モジュール１から導出された
水蒸気含有ガスを乾燥して乾燥処理ガスを得る冷凍式ド
ライヤー部４と、前記水蒸気分離膜モジュール１から導
出された水蒸気含有ガスを前記冷凍式ドライヤー部４に
導入する水蒸気含有ガス導入管路１ｅと、前記冷凍式ド
ライヤー４から導出された乾燥処理ガスを水蒸気分離膜
モジュール１に導入する乾燥処理ガス戻し管路２ｂとを
有している。

【００６７】冷凍式ドライヤー部４は、通常、前記水蒸
気分離膜モジュール１から導入された水蒸気含有ガスが
流通する水蒸気含有ガス流路を内部に有する熱交換器
（図示せず。）と、前記熱交換機の外側を流通する熱媒
体（図示せず。）と、前記熱媒体を冷却する冷凍機（図
示せず。）とを備える。前記熱交換器における水蒸気含
有ガス流路の一端には、水蒸気含有ガスが導入される水
蒸気含有ガス導入口４ａが設けられ、前記水蒸気含有ガ
ス流路の他端には、乾燥処理ガスが導出される乾燥処理
ガス導出口４ｂが設けられている。

【００６８】水蒸気含有ガス導出管路１ｅは、一端が水
蒸気分離膜容器本体１ａ１の側面におけるエンドキャッ
プ１ａ２の近傍に接続され、他端が、前記水蒸気含有ガ
ス導入口４ａに接続されている。一方、乾燥処理ガス戻
し管路２ｂは、一端が、前記乾燥処理ガス導出口４ｂに
接続され、他端が、エジェクタ部３におけるエジェクタ
本体３ａに接続されている。

【００６９】例２のガスドライヤーにおいて、原料ガス
導入管路１ｂに接続されたコンプレッサ（図示せず。）
を駆動すると、水蒸気分離膜モジュール１に原料ガスが
導入される。前記原料ガスは、例１のガスドライヤーに
おける水蒸気分離膜モジュール１と同様にして乾燥ガス
と水蒸気含有ガスとに分離される。

【００７０】水蒸気分離膜モジュール１において分離さ
れた水蒸気含有ガスは、水蒸気含有ガス導出管路１ｅを
経て冷凍式ドライヤー部４に導出される。そして、前記
水蒸気含有ガスは、冷凍式ドライヤー部４において乾燥
され、−１０℃程度の露点を有する乾燥処理ガスにな
る。前記乾燥処理ガスは、乾燥処理ガス戻し管路２ｂに
よって、原料ガス導入管路１ｂにおけるエジェクタ部３
に導入される。前記エジェクタ部３に導入された乾燥処
理ガスは、前記原料ガス導入管路１ｂを流通する原料ガ
スと共に水蒸気分離膜モジュール１に導入される。

【００７１】一方、乾燥ガス導出管路１ｃからは、−６
０〜−８０℃程度の露点を有し、乾燥度が高い乾燥ガス
が導出される。

【００７２】例２のガスドライヤーは、例１のガスドラ
イヤーの特長及びに加え、 前記操作弁Ａ〜操作弁Ｅ、及びシーケンサが不要なの
で、構造が簡略化でき、安価で、故障が少ないこと、 乾燥塔を有していないので、水蒸気により飽和した乾
燥塔を再生したり、劣化した乾燥剤を交換したりする手
間が不要であること、及び 何らかの理由により、冷凍式ドライヤー部において、
冷凍機が停止したり熱交換器が故障したりした場合にお
いても、前記熱交換器内において氷結した水分が乾燥ガ
スに混入することが無いこと等の特長を有する。

【００７３】３．例３ 請求項４に記載のドライヤー、即ち水蒸気含有ガス乾燥
部において得られた乾燥処理ガスの少なくとも一部を需
要先に向けて導出するる乾燥処理ガス導出流路を備える
ガスドライヤーの一例につき、構成の概略を図３に示
す。図３において、図１及び図２と同一の符号は、特に
断らない限り、図１及び図２において前記符号が示す要
素と同一の要素を示す。

【００７４】図３に示されるように、例３のガスドライ
ヤーにおいては、エジェクタ部３と同様の構成を有する
エジェクタ部５が乾燥ガス導出管路１ｃに設けられてい
る。

【００７５】エジェクタ部５は、前記エジェクタ部３に
おけるエジェクタ本体３ａと同様の繭型又は俵型の形状
を有し、乾燥ガス導出管路１ｃの一部を形成するエジェ
クタ本体５ａを備える。

【００７６】エジェクタ本体５ａは、内部に流入した乾
燥ガスが前記エジェクタ本体５ａの軸線に沿って流通す
るように前記乾燥ガス導出管路１ｃに介装されている。

【００７７】前記エジェクタ本体５ａの内部には、上流
側端面の中央部から下流側端面の中央部に向かって延在
するノズル５ｃが、前記エジェクタ本体５ａの軸線に沿
って設けられている。前記ノズル５ｃには、前記乾燥ガ
ス導出管路１ｃにおけるエジェクタ部５よりも上流側の
部分である上流側乾燥ガス導出管路１ｃ１が接続されて
いる。

【００７８】前記エジェクタ本体５ａにおける下流側端
面の中央部から前記エジェクタ本体５ａの軸線に沿って
ディフェーザ部５ｂが下流方向に向かって延在する。前
記ディフェーザ部５ｂは、内径が下流側に向かって円錐
状に拡大し、下流側の端部において、前記乾燥ガス導出
管路１ｃにおける前記エジェクタ部５よりも下流側の部
分である下流側乾燥ガス導出管路１ｃ２に接続されてい
る。

【００７９】エジェクタ部５と乾燥塔２ａとは、乾燥処
理ガス導出管路２ｆによって接続されている。前記乾燥
処理ガス導出管路２ｆは、一端において、エジェクタ本
体５ａの側面に接続され、他端において、前記乾燥塔２
ａにおける乾燥塔再生管路２ｃが接続された側の端面に
接続されている。前記乾燥処理ガス導出管路２ｆには、
操作弁Ｈが介装されている。前記操作弁Ｈは、操作弁Ａ
〜Ｅと同様の操作弁である。

【００８０】尚、乾燥塔２ａ内部に充填された乾燥剤を
再生するときには、前記操作弁Ｈは閉じることが好まし
い。

【００８１】例３のガスドライヤーにおいて、前記乾燥
処理ガス導出管路２ｆ及びエジェクタ５により形成され
る流路は、請求項４に記載のドライヤーにおける乾燥処
理ガス導出流路に相当する。例３のガスドライヤーにお
いては、前記乾燥処理ガス導出管路２ｆは、乾燥処理ガ
ス戻し管路２ｂとエジェクタ５との間に設けてもよい。
前記乾燥処理ガス導出管路２ｆは、乾燥処理ガス戻し管
路２ｂにおける操作弁Ｃよりも上流側、即ち乾燥塔２ａ
寄りの部分から分岐してもよく、前記乾燥処理ガス戻し
管路２ｂにおける操作弁Ｃよりも下流側から分岐しても
よい。

【００８２】前記乾燥処理ガス導出流路としては、前記
乾燥処理ガス導出管路２ｆ及びエジェクタ５により形成
される流路のように、水蒸気含有ガス乾燥部で得られる
乾燥処理ガスを、水蒸気分離膜モジュールから乾燥ガス
を導出する乾燥ガス導出流路に導出する流路の他、水蒸
気分離膜モジュールから導出される乾燥ガスが供給され
る第１の供給先とは異なる第２の供給先に前記乾燥処理
ガスを供給する乾燥処理ガス供給流路も挙げられる。

【００８３】例３のガスドライヤーにおいては、運転時
においては、エジェクタ部５の内部を乾燥ガスが高速で
通過するから、前記エジェクタ部５におけるエジェクタ
本体５ａの内部は減圧状態にある。したがって、操作弁
Ａ及び操作弁Ｃの他に操作弁Ｈを開いて例３のガスドラ
イヤーを運転すると、乾燥塔２ａからの乾燥処理ガス
は、乾燥処理ガス導出流路２ｆを通ってエジェクタ本体
５ａの内部に吸引され、水蒸気分離膜モジュール１から
の乾燥乾燥ガスと共に、下流側乾燥ガス導出流路１ｃ２
を通ってガスドライヤーの外部に導出される。

【００８４】ここで、前記吸着式ドライヤー部２から導
出される乾燥処理ガスは、一般に、水蒸気分離膜モジュ
ール１から導出される乾燥ガスに比較して、より露点が
低く、換言すればより乾燥度が高い。したがって、例３
のガスドライヤーにおいては、操作弁Ｈを開いて運転す
ることにより、乾燥度のより高い乾燥ガスを得ることが
できる。更に、操作弁Ｃを閉にして乾燥処理ガス戻し管
路２ｂを閉じれば、前記乾燥処理ガスは、全量がエジェ
クタ部５により吸引されるから、乾燥度の更に高い乾燥
ガスが得られる。

【００８５】４．例４ 請求項２に記載されたガスドライヤーの別の例について
概略を図４に示す。

【００８６】図４に示されるように、例４のガスドライ
ヤーは、原料ガス導入管路１ｂにエジェクター部３が設
けられていない点、乾燥処理ガス戻し管路２ｂにポンプ
Ｐが介装されている点、及び乾燥処理ガス戻し管路２ｂ
が原料ガス導入管路１ｂに直接接続されている点以外
は、例１のガスドライヤーと同一の構成を有する。

【００８７】前記ポンプＰとしては、ピストンポンプ、
プランジャポンプ、及びダイアフラムポンプ等の往復動
型ポンプ、遠心ポンプ、軸流ポンプ、及び斜流ポンプ等
のターボ型ポンプ、渦流型ポンプ、並びに再生型ポンプ
等、各種のポンプを挙げることができる。但し、ポンプ
Ｐとしてターボ型ポンプ、渦流型ポンプ、及び再生型ポ
ンプを用いる場合には、乾燥処理ガスが、乾燥処理ガス
戻し管路２ｂを乾燥塔２ａに向かって逆流しないよう
に、ポンプＰの前後に逆止弁を設けることが好ましい。

【００８８】例４のガスドライヤーにおいて、前記吸着
塔２１から乾燥処理ガス戻し管路２ｂに導出された乾燥
処理ガスは、ポンプＰによって、原料ガス導入管路１ｂ
内における原料ガスの圧力よりも若干高い圧力に加圧さ
れて原料ガス導入管路１ｂに送られる。そして、前記乾
燥処理ガスは、原料ガスとともに、水蒸気分離膜容器１
ａに導入される。

【００８９】例４のガスドライヤーは、例１のガスドラ
イヤーが有する特長に加えて、ポンプＰにより、前記乾
燥処理ガスがより確実に上記原料ガス導入管路１ｂを通
してモジュール１内に戻されるという特長も有してい
る。

【００９０】５．例５ 請求項３に記載のガスドライヤーの別の例について概略
を図５に示す。

【００９１】図５に示されるように、例５のガスドライ
ヤーは、原料ガス導入管路１ｂにエジェクター部３が設
けられていない点、乾燥処理ガス戻し管路２ｂにポンプ
Ｐが介装されている点、及び乾燥処理ガス戻し管路２ｂ
が原料ガス導入管路１ｂに直接接続されている点以外
は、例２のガスドライヤーと同一の構成を有する。

【００９２】前記ポンプＰとしては、例５のガスドライ
ヤーのところで述べた各種ポンプを挙げることができ
る。又、ポンプＰとしてターボ型ポンプ、渦流型ポン
プ、及び再生型ポンプを用いる場合には、ポンプＰの前
後に逆止弁を設けることが好ましい点も例５のガスドラ
イヤーと同様である。

【００９３】前記ポンプＰは、例４のガスドライヤーに
おけるポンプＰと同様の機能を有する。

【００９４】例５のガスドライヤーは、例２のガスドラ
イヤーが有する特長に加えて、前記ポンプＰにより、前
記乾燥処理ガスが、より確実に上記モジュール１内に戻
されるという特長も有している。

【００９５】６．例６ 水蒸気分離膜モジュールと、水蒸気含有ガス乾燥部と、
前記前記水蒸気分離膜モジュールにより分離された乾燥
ガスを第１の需要先に供給する乾燥ガス供給管路と、前
記水蒸気含有ガス乾燥部で得られた乾燥処理ガスを前記
第１の需要先とは異なる第２の需要先に供給する乾燥処
理ガス供給管路とを有するガスドライヤーの一例を、以
下に例６として示す。

【００９６】例６のガスドライヤーについて図６に概略
を示す。図６において、図１〜図５と同一の符号は、特
に断らない限り、前記符号が図１〜図５において示す要
素と同一の要素を示す。

【００９７】図６に示されるように、例６のガスドライ
ヤーは、水蒸気含有ガス乾燥部として吸着式ドライヤー
部２を備える。そして、吸着式ドライヤー部２における
乾燥塔２ａには、例１における乾燥処理ガス戻し管路２
ｂに代えて、乾燥処理ガスを前記乾燥塔２ａから外部に
導出する乾燥処理ガス導出管路２ｆが設けられている。
操作弁Ｃは、前記乾燥処理ガス導出管路２ｆに介装され
ている。

【００９８】水蒸気分離膜モジュール１における乾燥ガ
ス導出管路１ｃは、第１の供給先（図示せず。）に接続
され、前記乾燥処理ガス導出管路２ｆは、前記第１の供
給先とは異なる第２の供給先に接続されている。

【００９９】したがって、例６のガスドライヤーにおい
ては、水蒸気分離膜モジュール１において得られた乾燥
ガスは、前記第１の供給先に供給され、前記吸着式ドラ
イヤー部２において得られた乾燥処理ガスは、第２の供
給先に供給される。

【０１００】例６のガスドライヤーにおいては、例え
ば、流量調整弁Ｆの開度を小さくして水蒸気含有ガス導
出管路１ｅを流通する水蒸気含有ガスの流量を小さく
し、水蒸気分離膜モジュール１において、露点の比較的
高い乾燥ガスが得られ、吸着式ドライヤー部２におい
て、露点の低い乾燥処理ガスが得られるような条件で運
転することができる。この場合には、前記乾燥ガスが供
給される第１の供給先としては、空圧機器用及びガスガ
ン用等のように比較的露点の高い乾燥ガスで十分な供給
先が好ましく、前記乾燥処理ガスが供給される第２の供
給先としては、分析機器用等のように露点の低い乾燥ガ
スが要求される供給先が好ましい。

【０１０１】又、前記ガスドライヤーにおいては、反対
に、流量調整弁Ｆの開度を大きくして前記水蒸気含有ガ
スの流量を増大させ、水蒸気分離膜モジュール１におい
て露点の低い乾燥ガスが得られ、吸着式ドライヤー部２
においては、露点の比較的高い乾燥処理ガスが得られる
ような条件で運転することができる。この場合には、前
記水蒸気分離膜モジュール１において得られる乾燥ガス
を、露点の低い乾燥ガスが要求される供給先に供給し、
吸着式ドライヤー部２において得られる乾燥処理ガス
を、比較的露点の高い乾燥ガスで十分な供給先に供給す
ることが好ましい。

【０１０２】このように、前記例６のガスドライヤー
は、空圧機器用及びガスガン用等のように比較的露点の
高い乾燥ガスで十分な用途と、分析機器用等のように露
点の低い乾燥ガスが要求される用途との両方に同時に対
応できるという特長を有する。

【０１０３】

【発明の効果】本発明により提供されるガスドライヤー
においては、従来の分離膜式ドライヤーと同様に露点の
低い乾燥ガスを容易に製造することができ、しかも従来
の分離膜式ドライヤー部では、外部に無駄に捨てられて
いた水蒸気含有ガスを乾燥して原料ガスと共に前記分離
膜式ドライヤー部に戻しているから、原料ガス及びコン
プレッサの動力費の無駄が無くなる。

【０１０４】本発明により提供されるガスドライヤーの
内、水蒸気含有ガス乾燥部が吸着式ドライヤー部を備え
る態様においては、更に、 ・供給先に乾燥ガスを供給しながら吸着式ドライヤー部
における乾燥塔を再生したり、前記乾燥塔を交換したり
することができること、及び ・乾燥塔を２個以上備える連続運転型の吸着式ドライヤ
ーよりも遙かに小型化できることという特長を有する。

【０１０５】本発明により提供されるガスドライヤーの
内、水蒸気含有ガス乾燥部が冷凍式ドライヤー部を備え
ている態様においては、更に、 ・水蒸気分離膜ユニットと水蒸気含有ガス乾燥部との間
の流路を開閉する操作弁等及び前記操作弁等を制御する
シーケンサが不要になるので構造が簡略化でき、したが
って安価で、故障が少ないこと、 ・乾燥剤を有していないので、乾燥剤を再生したり劣化
した乾燥剤を交換したりする煩わしさがないこと、及び ・何らかの理由により冷凍式ドライヤー部が停止した
り、熱交換器が故障したりした場合においても、前記熱
交換器内において氷結した水分が溶けて乾燥ガスに混入
することが無いことという特長を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、水蒸気含有ガス乾燥部が吸着式ドライ
ヤー部を有する本発明のガスドライヤーの一例について
構成の概略を示す概略図である。

【図２】図２は、水蒸気含有ガス乾燥部が冷凍式ドライ
ヤー部を有する本発明のガスドライヤーの一例について
構成の概略を示す概略図である。

【図３】図３は、水蒸気含有ガス乾燥部において得られ
た乾燥処理ガスの少なくとも一部を需要先に向けて導出
するる乾燥処理ガス導出流路を備えるガスドライヤーの
例について構成の概略を示す概略図である。

【図４】図４は、例１のガスドライヤーにおいて、乾燥
処理ガス戻し流路として、ポンプが介装された管路を用
いた例４のガスドライヤーについて構成の概略を示す概
略図である。

【図５】図５は、例２のガスドライヤーにおいて、乾燥
処理ガス戻し流路として、ポンプが介装された管路を用
いた例５のガスドライヤーについて構成の概略を示す概
略図である。

【図６】図６は、水蒸気分離膜モジュールから導出され
た乾燥ガスが第１の供給先に供給され、水蒸気含有ガス
乾燥部から導出された乾燥処理ガスが、前記第１の供給
先とは異なる第２の供給先に供給されるガスドライヤー
の一例につき、構成の概略を示す概略図である。

【符号の説明】

１…水蒸気分離膜モジュール、１ａ…水蒸気分離膜容
器、１ａ１…水蒸気分離膜容器本体、１ａ２、１ａ３…
エンドキャップ、１ｂ…原料ガス導入管路、１ｃ…乾燥
ガス導出管路、１ｄ…戻し管路、１ｅ…水蒸気含有ガス
導出管路、１ｆ…水蒸気含有ガス排出管；２…吸着式ド
ライヤー部、２ａ…乾燥塔、２ｂ…乾燥処理ガス戻し管
路、２ｃ…乾燥塔再生管路、２ｄ…ガス排出管路、２ｅ
…プローブ、２ｆ…乾燥処理ガス導出管路；３…エジェ
クタ部、３ａ…エジェクタ本体、３ｂ…ディフューザ
部、３ｃ…ノズル；４…冷凍式ドライヤー部、４ａ…水
蒸気含有ガス導入口、４ｂ…乾燥処理ガス導出口；Ａ、
Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｈ…作動弁、Ｆ…流量調整弁、Ｇ…逆
止弁、Ｐ…ポンプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安斎 吉勝 東京都東村山市野口町２丁目16番２号 日 機装株式会社東村山製作所内 Ｆターム(参考） 4D006 GA41 HA01 HA41 KB12 KE06P KE06Q KE12P KE12Q KE13P KE13Q KE22P KE22Q KE24P KE24Q MA01 MA03 MB04 PB17 PB65 PC38 PC72 4D052 AA01 AA05 BA04 CE00 DA02 EA02 FA01 FA03 GA01 GA03 GB01 GB03 GB04 GB08 HA02 HA03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原料ガスを、水蒸気分離膜によって乾
   燥ガスと原料ガスにおけるよりも水蒸気含有量の多い水
   蒸気含有ガスとに分離する水蒸気分離膜モジュールと、 前記水蒸気分離膜モジュールにおいて分離された水蒸気
   含有ガスを乾燥して乾燥処理ガスを得る水蒸気含有ガス
   乾燥部と、 前記水蒸気含有ガス乾燥部において得られた乾燥処理ガ
   スを前記原料ガスと共に前記水蒸気分離膜モジュール内
   に導入する乾燥処理ガス戻し流路とを備えてなることを
   特徴とするガスドライヤー。
2. 【請求項２】 前記請求項１における水蒸気含有ガス
   乾燥部は、前記請求項１における水蒸気含有ガス中の水
   蒸気を吸着して除去する吸着式ドライヤー部を備えてな
   る請求項１に記載のガスドライヤー。
3. 【請求項３】 前記請求項１における水蒸気含有ガス
   乾燥部は、前記請求項１における水蒸気含有ガスを冷却
   して前記水蒸気含有ガス中の水蒸気を除去する冷凍式ド
   ライヤー部を備えてなる請求項１に記載のガスドライヤ
   ー。
4. 【請求項４】 前記請求項１における水蒸気含有ガス
   乾燥部において得られた乾燥処理ガスの少なくとも一部
   を需要先に向けて導出する乾燥処理ガス導出流路を備え
   てなる請求項１〜３の何れか１項に記載のガスドライヤ
   ー。