JP2001027555A - 流量計測装置およびリークテスタ - Google Patents
流量計測装置およびリークテスタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検物からの漏れなどに対する流量計の応答
を速くし、計測時間を短縮できる流量計測装置およびリ
ークテスタを提供する。 【解決手段】 流通路１０において流量計２０より下流
の通路部分１０ａに、圧力センサ３０（圧力検出手段）
を設け、この圧力センサ３０による圧力検出値を制御回
路４０（制御手段）にフィードバックさせる。制御回路
４０は、上記検出値が基準値になるように、流量計２０
より上流に設けた減圧弁Ｖ０（圧力調節手段）を制御す
る。
を速くし、計測時間を短縮できる流量計測装置およびリ
ークテスタを提供する。 【解決手段】 流通路１０において流量計２０より下流
の通路部分１０ａに、圧力センサ３０（圧力検出手段）
を設け、この圧力センサ３０による圧力検出値を制御回
路４０（制御手段）にフィードバックさせる。制御回路
４０は、上記検出値が基準値になるように、流量計２０
より上流に設けた減圧弁Ｖ０（圧力調節手段）を制御す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流量計測装置、お
よびこの流量計測装置を用いて被検物の漏れを検査する
リークテスタに関するものである。
よびこの流量計測装置を用いて被検物の漏れを検査する
リークテスタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の流量計測により被検物の
漏れを検出するリークテスタの一例を示したものであ
る。リークテスタは、エア圧源Ｃ（圧力源）から延びる
流通路１０に、上流側から内部パイロット作動型の減圧
弁Ｖ（圧力調節手段）、流量計２０、および常閉の開閉
弁Ｖ１が順次設けられている。流量計２０は、流通路１
０の一部を形成する絞り２１（流通抵抗手段）と、この
絞り２１の上流端と下流端に一対の端子が接続された計
測器２２（計測手段）とを有している。流通路１０に
は、絞り２１と開閉弁Ｖ１をバイパスするバイパス通路
１３が設けられ、このバイパス通路１３に常閉の開閉弁
Ｖ２が設けられている。
漏れを検出するリークテスタの一例を示したものであ
る。リークテスタは、エア圧源Ｃ（圧力源）から延びる
流通路１０に、上流側から内部パイロット作動型の減圧
弁Ｖ（圧力調節手段）、流量計２０、および常閉の開閉
弁Ｖ１が順次設けられている。流量計２０は、流通路１
０の一部を形成する絞り２１（流通抵抗手段）と、この
絞り２１の上流端と下流端に一対の端子が接続された計
測器２２（計測手段）とを有している。流通路１０に
は、絞り２１と開閉弁Ｖ１をバイパスするバイパス通路
１３が設けられ、このバイパス通路１３に常閉の開閉弁
Ｖ２が設けられている。
【０００３】流通路１０の下流端に被検物Ｗを接続した
後、開閉弁Ｖ２を開く。これによって、減圧弁Ｖによっ
て設定された基準圧が、バイパス通路１３を介して被検
物Ｗに供給される。その後、開閉弁Ｖ２を閉じる。そし
て、開閉弁Ｖ１を開き、漏れ計測を開始する。被検物Ｗ
に漏れがある場合には、絞り２１を含む流通路１０に流
れが形成され、絞り２１の上流端と下流端に差圧が発生
する。この差圧を計測器２２が読み取り、流量に変換し
て表示する。
後、開閉弁Ｖ２を開く。これによって、減圧弁Ｖによっ
て設定された基準圧が、バイパス通路１３を介して被検
物Ｗに供給される。その後、開閉弁Ｖ２を閉じる。そし
て、開閉弁Ｖ１を開き、漏れ計測を開始する。被検物Ｗ
に漏れがある場合には、絞り２１を含む流通路１０に流
れが形成され、絞り２１の上流端と下流端に差圧が発生
する。この差圧を計測器２２が読み取り、流量に変換し
て表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来構成では、
計測開始後充分な時間が経過した時点でなければ、漏れ
を正確に測ることができないという問題があった。すな
わち、被検物Ｗからの漏れに伴い、流通路１０において
絞り２１より下流の通路部分１０ａの圧力が時間ととも
に低下していく。これにつられて絞り２１と減圧弁Ｖの
間の通路部分１０ｂの圧力が低下しようとする。この通
路部分１０ｂの圧力低下を阻止し基準圧に維持するため
に、減圧弁Ｖが流通路１０の流れを次第に増やしてい
く。したがって、流量計２０で計測される流量（絞り２
１を流れる流量、実質的には絞り２１の上流端と下流端
間の差圧）は、当初漏れ量より小さく、徐々に増加して
漏れ量と平衡するようになる。
計測開始後充分な時間が経過した時点でなければ、漏れ
を正確に測ることができないという問題があった。すな
わち、被検物Ｗからの漏れに伴い、流通路１０において
絞り２１より下流の通路部分１０ａの圧力が時間ととも
に低下していく。これにつられて絞り２１と減圧弁Ｖの
間の通路部分１０ｂの圧力が低下しようとする。この通
路部分１０ｂの圧力低下を阻止し基準圧に維持するため
に、減圧弁Ｖが流通路１０の流れを次第に増やしてい
く。したがって、流量計２０で計測される流量（絞り２
１を流れる流量、実質的には絞り２１の上流端と下流端
間の差圧）は、当初漏れ量より小さく、徐々に増加して
漏れ量と平衡するようになる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第１の発明に係る流量計測装置は、（イ）流通路に
介在された流通抵抗手段と、（ロ）この流通抵抗手段の
上流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を求める計
測手段と、（ハ）上記流通路における上記流通抵抗手段
より上流の通路部分に設けられ、この上流通路部分の圧
力を調節する圧力調節手段と、（ニ）上記流通路におけ
る上記流通抵抗手段より下流の通路部分に設けられた圧
力検出手段と、（ホ）この圧力検出手段の検出値が基準
圧になるように、上記圧力調節手段を制御する制御手段
とを備えたことを特徴とする。
め、第１の発明に係る流量計測装置は、（イ）流通路に
介在された流通抵抗手段と、（ロ）この流通抵抗手段の
上流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を求める計
測手段と、（ハ）上記流通路における上記流通抵抗手段
より上流の通路部分に設けられ、この上流通路部分の圧
力を調節する圧力調節手段と、（ニ）上記流通路におけ
る上記流通抵抗手段より下流の通路部分に設けられた圧
力検出手段と、（ホ）この圧力検出手段の検出値が基準
圧になるように、上記圧力調節手段を制御する制御手段
とを備えたことを特徴とする。
【０００６】第２の発明に係る流量計測装置は、（イ）
流通路に介在された流通抵抗手段と、（ロ）この流通抵
抗手段の上流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を
求める計測手段と、（ハ）上記流通路における上記流通
抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流通路
部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ニ）内圧が基
準圧に維持された基準圧力系と、（ホ）この基準圧力系
と、上記流通路における上記流通抵抗手段より下流の通
路部分との間に設けられ、これら基準圧力系と下流通路
部分との差圧を検出する差圧検出手段と、（ヘ）この差
圧検出手段の検出値がゼロになるように上記圧力調節手
段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
流通路に介在された流通抵抗手段と、（ロ）この流通抵
抗手段の上流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を
求める計測手段と、（ハ）上記流通路における上記流通
抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流通路
部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ニ）内圧が基
準圧に維持された基準圧力系と、（ホ）この基準圧力系
と、上記流通路における上記流通抵抗手段より下流の通
路部分との間に設けられ、これら基準圧力系と下流通路
部分との差圧を検出する差圧検出手段と、（ヘ）この差
圧検出手段の検出値がゼロになるように上記圧力調節手
段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】第３の発明に係るリークテスタは、（イ）
上流端が圧力源に接続され、下流端が被検物に接続され
る流通路と、（ロ）この流通路に介在された流通抵抗手
段と、（ハ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧
から上記流通路の流量を求め、ひいては上記被検物の漏
れを求める計測手段と、（ニ）上記流通路における上記
流通抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流
通路部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ホ）上記
流通路における上記流通抵抗手段より下流の通路部分に
設けられ、この下流通路部分の圧力を検出する圧力検出
手段と、（ヘ）この圧力検出手段の検出値が基準圧にな
るように上記圧力調節手段を制御する制御手段と、
（ト）上記上流通路部分から分岐し、上記下流通路部分
に合流し、漏れ計測開始前に上記被検物に上記基準圧を
供給する一方、計測中は閉止されるバイパス通路とを備
えたことを特徴とする。
上流端が圧力源に接続され、下流端が被検物に接続され
る流通路と、（ロ）この流通路に介在された流通抵抗手
段と、（ハ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧
から上記流通路の流量を求め、ひいては上記被検物の漏
れを求める計測手段と、（ニ）上記流通路における上記
流通抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流
通路部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ホ）上記
流通路における上記流通抵抗手段より下流の通路部分に
設けられ、この下流通路部分の圧力を検出する圧力検出
手段と、（ヘ）この圧力検出手段の検出値が基準圧にな
るように上記圧力調節手段を制御する制御手段と、
（ト）上記上流通路部分から分岐し、上記下流通路部分
に合流し、漏れ計測開始前に上記被検物に上記基準圧を
供給する一方、計測中は閉止されるバイパス通路とを備
えたことを特徴とする。
【０００８】第４の発明に係るリークテスタは、（イ）
上流端が圧力源に接続され、下流端が被検物に接続され
る流通路と、（ロ）この流通路に介在された流通抵抗手
段と、（ハ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧
から上記流通路の流量を求め、ひいては上記被検物の漏
れを求める計測手段と、（ニ）上記流通路における上記
流通抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流
通路部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ホ）内圧
が基準圧に維持された基準圧力系と、（ヘ）この基準圧
力系と、上記流通路における上記流通抵抗手段より下流
の通路部分との間に設けられ、これら基準圧力系と下流
通路部分との差圧を検出する差圧検出手段と、（ト）こ
の差圧検出手段の検出値がゼロになるように上記圧力調
節手段を制御する制御手段と、（チ）上記上流通路部分
から分岐し、上記下流通路部分に合流し、漏れ計測開始
前に上記被検物に上記基準圧を供給する一方、計測中は
閉止されるバイパス通路とを備えたことを特徴とする。
上流端が圧力源に接続され、下流端が被検物に接続され
る流通路と、（ロ）この流通路に介在された流通抵抗手
段と、（ハ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧
から上記流通路の流量を求め、ひいては上記被検物の漏
れを求める計測手段と、（ニ）上記流通路における上記
流通抵抗手段より上流の通路部分に設けられ、この上流
通路部分の圧力を調節する圧力調節手段と、（ホ）内圧
が基準圧に維持された基準圧力系と、（ヘ）この基準圧
力系と、上記流通路における上記流通抵抗手段より下流
の通路部分との間に設けられ、これら基準圧力系と下流
通路部分との差圧を検出する差圧検出手段と、（ト）こ
の差圧検出手段の検出値がゼロになるように上記圧力調
節手段を制御する制御手段と、（チ）上記上流通路部分
から分岐し、上記下流通路部分に合流し、漏れ計測開始
前に上記被検物に上記基準圧を供給する一方、計測中は
閉止されるバイパス通路とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、図面
を参照して説明する。なお、従来例と重複する構成に関
しては、同一符号を付して説明を省略する。図１は、本
発明の第１実施形態に係るリークテスタ（流量計測装
置）を示したものである。このリークテスタでは、絞り
２１（流通抵抗手段）の上流に設けられた減圧弁Ｖ０
（圧力調節弁）が、電磁ソレノイド駆動型になってい
る。また、絞り２１と開閉弁Ｖ１との間には、下流通路
部分１０ａの圧力を検出する圧力センサ３０（圧力検出
手段）が設けられている。この圧力センサ３０の検出信
号が、制御回路４０（制御手段）に入力されるようにな
っている。制御回路４０は、被検物Ｗに供給すべき基準
圧を設定するための設定部や、基準圧と圧力センサ３０
の検出値とを比較するための比較部などが格納されてい
る。この制御回路４０によって減圧弁Ｖ０が制御され
る。
を参照して説明する。なお、従来例と重複する構成に関
しては、同一符号を付して説明を省略する。図１は、本
発明の第１実施形態に係るリークテスタ（流量計測装
置）を示したものである。このリークテスタでは、絞り
２１（流通抵抗手段）の上流に設けられた減圧弁Ｖ０
（圧力調節弁）が、電磁ソレノイド駆動型になってい
る。また、絞り２１と開閉弁Ｖ１との間には、下流通路
部分１０ａの圧力を検出する圧力センサ３０（圧力検出
手段）が設けられている。この圧力センサ３０の検出信
号が、制御回路４０（制御手段）に入力されるようにな
っている。制御回路４０は、被検物Ｗに供給すべき基準
圧を設定するための設定部や、基準圧と圧力センサ３０
の検出値とを比較するための比較部などが格納されてい
る。この制御回路４０によって減圧弁Ｖ０が制御され
る。
【００１０】上記のように構成されたリークテスタの作
用について説明する。先ず、流通路１０の下流端に被検
物Ｗを接続する。次に、バイパス通路１３の開閉弁Ｖ２
を開き、エア圧源Ｃからエアを流す。このエア圧は、減
圧弁Ｖ０より下流では、制御回路４０の制御によって基
準圧に維持される。これによって、被検物Ｗ内に基準圧
のエアが供給される。
用について説明する。先ず、流通路１０の下流端に被検
物Ｗを接続する。次に、バイパス通路１３の開閉弁Ｖ２
を開き、エア圧源Ｃからエアを流す。このエア圧は、減
圧弁Ｖ０より下流では、制御回路４０の制御によって基
準圧に維持される。これによって、被検物Ｗ内に基準圧
のエアが供給される。
【００１１】続いて、開閉弁Ｖ２を閉じてバイパス通路
１３を閉止する。そして、開閉弁Ｖ１を開いて絞り２１
を開通させる。すると、被検物Ｗからの漏れに伴い、下
流通路部分１０ａの圧力が下がる。この圧力低下が圧力
センサ３０によって検出され、制御回路４０にフィード
バックされる。制御回路４０は、このフィードバックさ
れた圧力検出値が基準圧になるように、減圧弁Ｖ０を制
御し、減圧弁Ｖ０と絞り２１との間の通路部分１０ｂの
圧力を基準圧より高くする。これによって、絞り２１の
両端に差圧が生じる。この差圧によって、絞り２１に被
検物Ｗからの漏れに対応する流れが形成される。したが
って、計測器２２に表示される流量値は、開閉弁Ｖ１を
開いて計測を開始した当初から、被検物Ｗからの漏れと
バランスすることになる。この結果、漏れ検査を短時間
で行うことができる。
１３を閉止する。そして、開閉弁Ｖ１を開いて絞り２１
を開通させる。すると、被検物Ｗからの漏れに伴い、下
流通路部分１０ａの圧力が下がる。この圧力低下が圧力
センサ３０によって検出され、制御回路４０にフィード
バックされる。制御回路４０は、このフィードバックさ
れた圧力検出値が基準圧になるように、減圧弁Ｖ０を制
御し、減圧弁Ｖ０と絞り２１との間の通路部分１０ｂの
圧力を基準圧より高くする。これによって、絞り２１の
両端に差圧が生じる。この差圧によって、絞り２１に被
検物Ｗからの漏れに対応する流れが形成される。したが
って、計測器２２に表示される流量値は、開閉弁Ｖ１を
開いて計測を開始した当初から、被検物Ｗからの漏れと
バランスすることになる。この結果、漏れ検査を短時間
で行うことができる。
【００１２】次に、本発明の第２実施形態に係る差圧式
のリークテスタ（流量計測装置）を、図２を参照して説
明する。このリークテスタは、下記の点で第１実施形態
と異なる。この実施形態では、減圧弁Ｖ０が、流通路１
０においてバイパス通路１３の分岐点ａより下流に設け
られている。この減圧弁Ｖ０と分岐点ａとの間には、内
部パイロット作動型の減圧弁Ｖ３が設けられている。減
圧弁Ｖ３は、その下流側のエア圧を基準圧より高い所定
の圧力にするように予め手動調節されている。
のリークテスタ（流量計測装置）を、図２を参照して説
明する。このリークテスタは、下記の点で第１実施形態
と異なる。この実施形態では、減圧弁Ｖ０が、流通路１
０においてバイパス通路１３の分岐点ａより下流に設け
られている。この減圧弁Ｖ０と分岐点ａとの間には、内
部パイロット作動型の減圧弁Ｖ３が設けられている。減
圧弁Ｖ３は、その下流側のエア圧を基準圧より高い所定
の圧力にするように予め手動調節されている。
【００１３】流通路１０においてバイパス通路１３の合
流点ｂより下流から、排気通路１４が分岐して延びてい
る。排気通路１４には、常開の開閉弁Ｖ４が設けられて
いる。
流点ｂより下流から、排気通路１４が分岐して延びてい
る。排気通路１４には、常開の開閉弁Ｖ４が設けられて
いる。
【００１４】バイパス通路１３には、開閉弁Ｖ２より上
流に内部パイロット作動型の減圧弁Ｖ５が設けられてい
る。減圧弁Ｖ５は、その下流側のエア圧を基準圧にする
ように予め手動調節されている。この減圧弁Ｖ５と開閉
弁Ｖ２との間からマスター通路１５（基準通路）が分岐
して延びている。マスター通路１５には、常開の開閉弁
Ｖ６が設けられるとともに、下流端にマスターチャンバ
ーＭ（基準容器）が接続されている。マスターチャンバ
ーＭには、減圧弁Ｖ５で設定された基準圧のエアが、常
時蓄えられている。マスターチャンバーＭとマスター通
路１５とによって特許請求の範囲の「基準圧力系」が構
成されている。
流に内部パイロット作動型の減圧弁Ｖ５が設けられてい
る。減圧弁Ｖ５は、その下流側のエア圧を基準圧にする
ように予め手動調節されている。この減圧弁Ｖ５と開閉
弁Ｖ２との間からマスター通路１５（基準通路）が分岐
して延びている。マスター通路１５には、常開の開閉弁
Ｖ６が設けられるとともに、下流端にマスターチャンバ
ーＭ（基準容器）が接続されている。マスターチャンバ
ーＭには、減圧弁Ｖ５で設定された基準圧のエアが、常
時蓄えられている。マスターチャンバーＭとマスター通
路１５とによって特許請求の範囲の「基準圧力系」が構
成されている。
【００１５】開閉弁Ｖ６より下流側のマスター通路１５
と、開閉弁Ｖ２より下流のバイパス通路１３とは、安定
用通路１６で接続されている。安定用通路１６には、常
閉の開閉弁Ｖ７が設けられている。
と、開閉弁Ｖ２より下流のバイパス通路１３とは、安定
用通路１６で接続されている。安定用通路１６には、常
閉の開閉弁Ｖ７が設けられている。
【００１６】流通路１０において絞り２１と開閉弁Ｖ１
との間の下流通路部分１０ａと、開閉弁Ｖ６より下流側
のマスター通路１６との間には、差圧センサ３０’（差
圧検出手段）が設けられている。差圧センサ３０’は、
下流通路部分１０ａと、マスター通路１６すなわちマス
ターチャンバーＭとの差圧を検出する。
との間の下流通路部分１０ａと、開閉弁Ｖ６より下流側
のマスター通路１６との間には、差圧センサ３０’（差
圧検出手段）が設けられている。差圧センサ３０’は、
下流通路部分１０ａと、マスター通路１６すなわちマス
ターチャンバーＭとの差圧を検出する。
【００１７】なお、流通路１０とバイパス通路との合流
点ｂと、バイパス通路１３とマスター通路１５との分岐
点とには、補助用の圧力センサ３１，３２がそれぞれ設
けられている。
点ｂと、バイパス通路１３とマスター通路１５との分岐
点とには、補助用の圧力センサ３１，３２がそれぞれ設
けられている。
【００１８】このリークテスタによる漏れ検査方法につ
いて説明する。先ず、排気通路１４の開閉弁Ｖ４を閉じ
る。次に、マスター通路１５の開閉弁Ｖ６を閉じたうえ
で、バイパス通路１３の開閉弁Ｖ２を開く。これによっ
て、被検物Ｗに、減圧弁Ｖ５で設定された基準圧のエア
が供給される。予め開閉弁Ｖ６を閉じておくのは、開閉
弁Ｖ２を開いた時の圧力変動がマスターチャンバーＭに
及ばないようにするためである。
いて説明する。先ず、排気通路１４の開閉弁Ｖ４を閉じ
る。次に、マスター通路１５の開閉弁Ｖ６を閉じたうえ
で、バイパス通路１３の開閉弁Ｖ２を開く。これによっ
て、被検物Ｗに、減圧弁Ｖ５で設定された基準圧のエア
が供給される。予め開閉弁Ｖ６を閉じておくのは、開閉
弁Ｖ２を開いた時の圧力変動がマスターチャンバーＭに
及ばないようにするためである。
【００１９】その後、開閉弁Ｖ２を再び閉じる。次に、
安定用通路１６の開閉弁Ｖ７を短時間開くことによっ
て、マスターチャンバーＭと被検物Ｗとを確実に同圧に
し、開閉弁Ｖ７を再び閉じる。
安定用通路１６の開閉弁Ｖ７を短時間開くことによっ
て、マスターチャンバーＭと被検物Ｗとを確実に同圧に
し、開閉弁Ｖ７を再び閉じる。
【００２０】そして、流通路１０の開閉弁Ｖ１を開い
て、漏れ計測を開始する。被検物Ｗから漏れがあると、
下流通路部分１０ａの圧力低下によって、この通路部分
１０ａとマスターチャンバーＭとの間に差圧が生じる。
この差圧が差圧センサ３０’で検出され、制御回路４
０’にフィードバックされる。制御回路４０’は、この
フィードバックされた差圧検出値がゼロになるように、
減圧弁Ｖ０を制御し、減圧弁Ｖ０と絞り２１との間の通
路部分１０ｂの圧力を基準圧より高くする。これによっ
て、上記第１実施形態と同様に、被検物Ｗからの漏れを
短時間で測定することができる。
て、漏れ計測を開始する。被検物Ｗから漏れがあると、
下流通路部分１０ａの圧力低下によって、この通路部分
１０ａとマスターチャンバーＭとの間に差圧が生じる。
この差圧が差圧センサ３０’で検出され、制御回路４
０’にフィードバックされる。制御回路４０’は、この
フィードバックされた差圧検出値がゼロになるように、
減圧弁Ｖ０を制御し、減圧弁Ｖ０と絞り２１との間の通
路部分１０ｂの圧力を基準圧より高くする。これによっ
て、上記第１実施形態と同様に、被検物Ｗからの漏れを
短時間で測定することができる。
【００２１】しかも、上記のように、差圧センサ３０’
は、下流通路部分１０ａの圧力自体を検出するものでは
なく、それと基準圧との差圧を検出するものであるの
で、下流通路部分１０ａの圧力低下が非常に小さい場合
でも、感度良く検出することができる。したがって、高
精度な漏れ検査を行うことができる。
は、下流通路部分１０ａの圧力自体を検出するものでは
なく、それと基準圧との差圧を検出するものであるの
で、下流通路部分１０ａの圧力低下が非常に小さい場合
でも、感度良く検出することができる。したがって、高
精度な漏れ検査を行うことができる。
【００２２】検査終了後、流通路１０の開閉弁Ｖ１を閉
じ、排気通路１５の開閉弁Ｖ５を開き、マスター通路１
６の開閉弁Ｖ７を開く。
じ、排気通路１５の開閉弁Ｖ５を開き、マスター通路１
６の開閉弁Ｖ７を開く。
【００２３】図において仮想線で示すように、開閉弁Ｖ
１より下流の流通路１０から更正用通路１７が分岐して
延びている。更正用通路１７には、常閉の開閉弁Ｖ８が
設けられるとともに、その下流端に更正用被検物Ｗ’が
接続されている。この更正用被検物Ｗ’は、一定の漏れ
を起こして、リークテスタがその漏れを正しく計測でき
るかを調べるためのものである。
１より下流の流通路１０から更正用通路１７が分岐して
延びている。更正用通路１７には、常閉の開閉弁Ｖ８が
設けられるとともに、その下流端に更正用被検物Ｗ’が
接続されている。この更正用被検物Ｗ’は、一定の漏れ
を起こして、リークテスタがその漏れを正しく計測でき
るかを調べるためのものである。
【００２４】本発明は、上記第１、第２実施形態に限定
されず種々の形態を採用することができる。例えば、流
通媒体は、エア以外の気体でもよく、水や油などの液体
でもよい。第２実施形態において、開閉弁Ｖ７とマスタ
ーチャンバーＭとを省略してもよい。
されず種々の形態を採用することができる。例えば、流
通媒体は、エア以外の気体でもよく、水や油などの液体
でもよい。第２実施形態において、開閉弁Ｖ７とマスタ
ーチャンバーＭとを省略してもよい。
【００２５】本発明は、リークテスタ以外の流体回路の
流量計測にも適用される。例えば、共通路から複数の分
岐路が延びた流体回路において、共通路に流量計２０を
設けておき、上記分岐路を１つずつ開通させて流量を計
測することなどが可能である。
流量計測にも適用される。例えば、共通路から複数の分
岐路が延びた流体回路において、共通路に流量計２０を
設けておき、上記分岐路を１つずつ開通させて流量を計
測することなどが可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、第１、第２の発明
では、流通抵抗手段の上流端と下流端間に、測定対象の
流量変動に対応する差圧を即座に形成することができ、
流量計測を短時間で行うことができる。さらに、第２の
発明では、上記流通状態の変動を感度良くとらえること
ができ、高精度な流量計測を行うことができる。第４、
第５の発明では、流通抵抗手段の上流端と下流端間に、
被検物からの漏れに対応する差圧を即座に形成すること
ができ、漏れ計測を短時間で行うことができる。さら
に、第５の発明では、被検物からの漏れによる下流通路
部分の圧力低下を感度良くとらえることができ、高精度
な漏れ計測を行うことができる。
では、流通抵抗手段の上流端と下流端間に、測定対象の
流量変動に対応する差圧を即座に形成することができ、
流量計測を短時間で行うことができる。さらに、第２の
発明では、上記流通状態の変動を感度良くとらえること
ができ、高精度な流量計測を行うことができる。第４、
第５の発明では、流通抵抗手段の上流端と下流端間に、
被検物からの漏れに対応する差圧を即座に形成すること
ができ、漏れ計測を短時間で行うことができる。さら
に、第５の発明では、被検物からの漏れによる下流通路
部分の圧力低下を感度良くとらえることができ、高精度
な漏れ計測を行うことができる。
【図１】本発明の第１実施形態に係るリークテスタ（流
量計測装置）の回路図である。
量計測装置）の回路図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るリークテスタ（流
量計測装置）の回路図である。
量計測装置）の回路図である。
【図３】従来のリークテスタ（流量計測装置）の一例を
示す回路図である。
示す回路図である。
Ｃ エア圧源（圧力源） Ｗ 被検物 Ｖ０ 減圧弁（圧力調節手段） １０ 流通路 １０ａ 下流通路部分 １３ バイパス通路 ２１ 絞り（流通抵抗手段） ２２ 計測器（計測手段） ３０ 圧力センサ（圧力検出手段） ３０’ 差圧センサ（差圧検出手段）
Claims (4)
- 【請求項１】（イ）流通路に介在された流通抵抗手段
と、（ロ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧か
ら上記流通路の流量を求める計測手段と、（ハ）上記流
通路における上記流通抵抗手段より上流の通路部分に設
けられ、この上流通路部分の圧力を調節する圧力調節手
段と、（ニ）上記流通路における上記流通抵抗手段より
下流の通路部分に設けられた圧力検出手段と、（ホ）こ
の圧力検出手段の検出値が基準圧になるように、上記圧
力調節手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴と
する流量計測装置。 - 【請求項２】（イ）流通路に介在された流通抵抗手段
と、（ロ）この流通抵抗手段の上流端と下流端の差圧か
ら上記流通路の流量を求める計測手段と、（ハ）上記流
通路における上記流通抵抗手段より上流の通路部分に設
けられ、この上流通路部分の圧力を調節する圧力調節手
段と、（ニ）内圧が基準圧に維持された基準圧力系と、
（ホ）この基準圧力系と、上記流通路における上記流通
抵抗手段より下流の通路部分との間に設けられ、これら
基準圧力系と下流通路部分との差圧を検出する差圧検出
手段と、（ヘ）この差圧検出手段の検出値がゼロになる
ように上記圧力調節手段を制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とする流量計測装置。 - 【請求項３】（イ）上流端が圧力源に接続され、下流端
が被検物に接続される流通路と、（ロ）この流通路に介
在された流通抵抗手段と、（ハ）この流通抵抗手段の上
流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を求め、ひい
ては上記被検物の漏れを求める計測手段と、（ニ）上記
流通路における上記流通抵抗手段より上流の通路部分に
設けられ、この上流通路部分の圧力を調節する圧力調節
手段と、（ホ）上記流通路における上記流通抵抗手段よ
り下流の通路部分に設けられ、この下流通路部分の圧力
を検出する圧力検出手段と、（ヘ）この圧力検出手段の
検出値が基準圧になるように上記圧力調節手段を制御す
る制御手段と、（ト）上記上流通路部分から分岐し、上
記下流通路部分に合流し、漏れ計測開始前に上記被検物
に上記基準圧を供給する一方、計測中は閉止されるバイ
パス通路とを備えたことを特徴とするリークテスタ。 - 【請求項４】（イ）上流端が圧力源に接続され、下流端
が被検物に接続される流通路と、（ロ）この流通路に介
在された流通抵抗手段と、（ハ）この流通抵抗手段の上
流端と下流端の差圧から上記流通路の流量を求め、ひい
ては上記被検物の漏れを求める計測手段と、（ニ）上記
流通路における上記流通抵抗手段より上流の通路部分に
設けられ、この上流通路部分の圧力を調節する圧力調節
手段と、（ホ）内圧が基準圧に維持された基準圧力系
と、（ヘ）この基準圧力系と、上記流通路における上記
流通抵抗手段より下流の通路部分との間に設けられ、こ
れら基準圧力系と下流通路部分との差圧を検出する差圧
検出手段と、（ト）この差圧検出手段の検出値がゼロに
なるように上記圧力調節手段を制御する制御手段と、
（チ）上記上流通路部分から分岐し、上記下流通路部分
に合流し、漏れ計測開始前に上記被検物に上記基準圧を
供給する一方、計測中は閉止されるバイパス通路とを備
えたことを特徴とするリークテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11201394A JP2001027555A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 流量計測装置およびリークテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11201394A JP2001027555A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 流量計測装置およびリークテスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001027555A true JP2001027555A (ja) | 2001-01-30 |
Family
ID=16440374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11201394A Pending JP2001027555A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 流量計測装置およびリークテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001027555A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7313497B2 (en) | 2003-04-01 | 2007-12-25 | Monatec Pty Ltd. | Valve monitoring method and arrangement |
| JP2012098218A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Tokyo Gas Co Ltd | 減圧装置 |
| CN103195961A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-07-10 | 卓旦春 | 一种智能阀门 |
-
1999
- 1999-07-15 JP JP11201394A patent/JP2001027555A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7313497B2 (en) | 2003-04-01 | 2007-12-25 | Monatec Pty Ltd. | Valve monitoring method and arrangement |
| JP2012098218A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Tokyo Gas Co Ltd | 減圧装置 |
| CN103195961A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-07-10 | 卓旦春 | 一种智能阀门 |
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|---|---|---|---|
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|
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