JP2001027222A - 耐ピッチング性に優れた転動部材およびその製造方法 - Google Patents

耐ピッチング性に優れた転動部材およびその製造方法

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JP2001027222A
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Atsushi Kato
淳 加藤
Toshiki Sato
俊樹 佐藤
Tatsuya Yasunaga
龍哉 安永
Yoshitake Matsushima
義武 松島
Satoshi Abe
安部  聡
Hiroshi Kuramoto
廣志 藏本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高面圧下においても耐ピッチングに優れた転
動部材およびその好適な製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明の転動部材は、基材の表面に硬度
がHv900〜1500で、かつ圧縮残留応力が3.0
GPa以下である高靱性皮膜が被覆されたものである。
靱性皮膜の材質はCrNを主体とするものが好適であ
る。また、靱性皮膜の表面粗度をRa0.30μm以下
とすることにより、耐ピッチング性をより向上させるこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、過酷な使用環境下
においても優れた耐ピッチングを備えた、車軸、軸受
け、等速ジョイント、レールガイド、歯車等の転動部材
およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】自動車を初めとする輸送機、産業機械、
レジャー用品などの各分野においては、車軸、軸受け、
等速ジョイント、レールガイド、歯車等の多数の転動部
材が用いられている。近年、地球環境問題の観点から、
これら部材に対しても省エネルギー化、高効率化が進め
られており、より軽量、コンパクトであることが要求さ
れ、これに伴ってより高い面圧に耐えることが要求され
ている。
【0003】このように、転動部材は、年々、高面圧化
(過酷化)する使用環境の中で耐ピッチング性(寿命)
の向上が求められており、現在のところ、転動部材の素
材として最も広く使用されている鉄鋼材では、浸炭窒化
鋼にショットピーニングを行って、表面に強い圧縮応力
を付与した材料が広く適用されている。しかし、このよ
うな方法による耐ピッチング性改善も限界に近づいてお
り、新たな方策が求められている。
【0004】一方、基材の表面を高硬度化する手法とし
て、各種表面処理法が用いられている。中でも、PVD
法と総称される気相コーティング法の一種で、金属ある
いは無機化合物などをプラズマ中でイオン化させて基材
の表面を被覆するイオンプレーティング法は、例えばウ
ェット法によるコーティングに比して被覆する材料およ
び基材に関するプロセス上の制約が少ないことから、被
覆材料の選択肢が幅広く、窒化物、炭化物等の多種多様
なセラミックスを各種基材上に形成することが可能であ
る。例えば、歯車の面圧強度の改善方法として、特開平
6−145956号公報には、歯車表面にイオンプレー
ティング法によってTiN膜を形成して耐ピッチング性
を向上させる方法が開示されている。
【0005】なお、転動部材のように高い面圧がかから
ない摺動部材においても、特開平10−18023号公
報に記載されているように、イオンプレーティング法の
一種であるアークイオンプレーティング法を用いて、基
材表面に硬質皮膜を成膜する方法が開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】TiN等のセラミック
ス系皮膜は硬度の高い硬質膜であるため、特開平6−1
45956号公報においても指摘されているように、基
材の硬度を高めて膜硬度と基材硬度の差異を小さくしな
ければ、高い面圧がかかる部材では局部的な変形によっ
て皮膜が剥離もしくは膜内部から破壊するチッピングを
起こし、結果として優れた耐ピッチング性を得ることが
できない。もっとも、基材として超硬材料等の硬い材料
を使用して応力負荷部における膜変形を抑制しても、高
面圧下では硬質膜自体にチッピングが生じ、やはり耐ピ
ッチング性の向上に限度がある。
【0007】なお、特開平10−18023号公報に記
載されたアークイオンプレーティング法は、ターゲット
材がアーク放電により蒸発する際に、その一部が溶融液
滴状態で飛散して基材に付着するマクロパーティクル
(ドロップレツト)と呼ばれる突起物が表面に形成され
る。同公報に記載された技術では、マクロパーティクル
を積極的に活用して摺動する相手材を研削、鏡面化する
方策をとっているが、高い面圧がかかる転動部材ではマ
クロパーティクルが応力集中点となって膜の耐ピッチン
グ性を低下させるので、転動部材においてはマクロパー
ティクルの生成は避けるべきである。
【0008】本発明はかかる問題に鑑みなされたもの
で、従来に比して高面圧下においても耐ピッチングに優
れた転動部材およびその好適な製造方法を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、イオンプ
レーティング法によるTiN膜、CrN膜等の各種皮膜
の耐ピッチング性を詳細に評価した結果、転動摩耗環境
下で耐ピッチング性を向上させるために重要なのは皮膜
の硬度よりも靱性であるとの結論に達し、本発明を完成
させるに至った。
【0010】すなわち、請求項1に記載した耐ピッチン
グに優れた転動部材は、基材の表面に硬度がHv900
〜1500で、かつ圧縮残留応力が3.0GPa以下で
ある高靱性皮膜が被覆されたものである。この発明によ
ると、高靱性皮膜の硬度をHv900〜1500に止め
るとともに、残留応力を3.0GPa以下としたので、
皮膜にピッチング防止に有効な靱性が付与され、高面圧
下での皮膜の表面および内部における微細亀裂の発生お
よびその進展による微小片の脱落すなわちピッチングを
防止することができ、耐久性を向上させることができ
る。
【0011】ここに、高靱性皮膜の硬度をHv900〜
1500としたのは、この範囲で、より好ましくはHv
1100〜1250の範囲で現用材に比較して優れた耐
ピッチング性向上効果が得られるからである。Hv90
0未満の硬度であれば、表面硬度が不十分となり、一方
Hv1500を越えると硬度上昇と靱性低下が相殺し
て、いずれの場合も十分な耐ピッチング性向上効果が得
られない。また、皮膜の靱性は皮膜の残留応力と密接に
関係しており、残留応力が大きすぎると靱性を低下さ
せ、より低い面圧で皮膜が破壊するようになる。すなわ
ち、残留応力は皮膜の臨界破壊面圧を低下させる作用を
もたらす。このため、本発明では高靱性皮膜の残留応力
を3.0GPa以下、好ましくは2.5GPa以下とす
る。皮膜の残留応力はX線回折法(2θ−sin2ψ法)等
によって容易に測定することできる。例えばCrN皮膜
の場合では、(422)面の回折角を使用して複数の角
度ψ(試料面法線と格子面法線のなす角度)に関する測
定をもとにして算出した2θ/sin2ψ間の傾きに応力定
数(ポアソン比0.22、ナノインデンター等を用いて
測定したヤング率及び標準ブラッグ角を用いて算出)を
かけることによって残留応力を算出することができる。
【0012】また、請求項2に記載した発明は、請求項
1に記載した転動部材において、高靱性皮膜はCrNを
主体としたものである。この発明によると、高靱性皮膜
をCrNを主体として形成したので、所定の硬度、残留
応力を有する皮膜をイオンプレーティング法にて容易か
つ高速に成膜することができ、生産性に優れ、また鉄鋼
材との密着性も良好である。
【0013】この発明において、CrNを主体とすると
は、CrNの他に不可避的不純物を含む場合のほか、高
靱性皮膜としての特性を損なわない範囲でCrN以外の
Cr 2 Nや金属Crが皮膜中に分散したもの、さらには
Cr, N以外の金属元素の含有を許容することができる
意味であり、例えば合金元素としてはAl、Ti、V、
Fe、Co、Ni、Cu、Zr、Nb、Mo、W、T
a、Hf、Bを含有することができる。皮膜の主体を構
成するCrNの量としては、好ましくはCrNが95wt
%以上、より好ましくは97wt%以上とするのがよい。
【0014】また、請求項3に記載した発明は、請求項
1または2に記載した転動部材において、高靱性皮膜は
表面粗さがRa0.30μm 以下とされたものである。
この発明によると、表面粗さがRa0.30μm 以下、
好ましくは0.25μm 以下にされることにより、局部
的な応力集中点がなくなり、耐ピッチング性がより向上
するようになる。
【0015】イオンプレーティング法により成膜した場
合、表面粗度がRa0.30μm 以下の皮膜を成膜する
ことが可能であるが、成膜条件が不安定な場合や、マク
ロパーティクルが発生しやすいアークイオンプレーティ
ング法においてはRa0.30μm 超の皮膜が形成され
る場合がある。また、膜種によっても表面粗度がRa
0.30μm 超になる場合がある。このような場合に
は、成膜後に皮膜表面を研磨することにより、上記Ra
条件を満足させるようにすればよい。なお、皮膜の厚さ
は特に規定しないが、安定的な耐ピッチング性向上効果
を発揮させるためには膜厚を1.0μm 以上にするのが
よい。膜厚の上限はほぼ経済性で決まり、10〜20μ
m の範囲が推奨される。
【0016】また、請求項4に記載した発明は、請求項
1〜3のいずれか1項に記載した転動部材において、基
材はその表面硬度がHv720以上とされたものであ
る。高靱性皮膜の成膜後の基材の表面硬度はHv700
程度でも優れた耐ピッチング性が得られるが、この発明
によると、高靱性皮膜の成膜後の基材の表面硬度がHv
720以上、好ましくはHv750以上とされるので、
高靱性皮膜による耐ピッチング性の向上効果に優れ、耐
ピッチング性を著しく向上させることができる。基材の
表面硬度の上限は特に規定しないが、高靱性皮膜の硬度
に近似し、あるいはそれ以上の表面硬度を有するもので
もよい。基材の材質は、一般的には鉄鋼材が使用され、
浸炭焼入や調質処理などの硬度調整方法により上記表面
硬度が得られるものとして、例えば浸炭窒化鋼、工具
鋼、軸受け鋼を利用することができる。
【0017】また、請求項5に記載した転動部材の製造
方法は、基材の表面にイオンプレーティング法により請
求項1〜3のいずれか1項に記載した高靱性皮膜を成膜
する転動部材の製造方法であって、成膜時における基材
の最高到達温度を300℃以下とするものである。本発
明にかかる転動部材の高靱性皮膜は、イオンプレーティ
ング法によって容易に成膜することができる。中でもア
ークイオンプレーティング法は、成膜速度、膜質制御性
等の点で最適であり、皮膜の硬度、圧縮残留応力は成膜
時の基板温度、バイアス電圧、窒素分圧等によって再現
性よく調整することができる。一方、一般的に多用され
ている鉄鋼材を基材とする場合、ほとんどが300℃を
越えると軟化が始まる。軟化は、部材として機能上の問
題を生じる歪みを発生させたり、高い面圧が加わった場
合に皮膜の変形を促進する可能性が有るので、成膜時に
おける基材の最高到達温度を300℃以下、好ましくは
240℃以下とする。イオンプレーティング法において
成膜時の基材の温度を低く制御する手段としては、例え
ば、バイアス電圧を低く抑える方法、基材を冷却する時
間を確保するための間欠成膜法等を挙げることができ
る。なお、基材は、請求項4に記載したように、成膜後
の表面硬度が好ましくHv720以上、より好ましくは
Hv750以上になるものを用いるのがよい。
【0018】
【実施例】クロムモリブデン浸炭窒化鋼からなる基材
(表面平均硬度Hv750、径26φ×長さ130mmの
軸材)を用い、下記の成膜条件によりアークイオンプレ
ーティング法によりCrN、CrN−NbN(NbN
量:3wt%)およびTiNの皮膜を、また下記の成膜条
件によりスパッタリング法によりWC−Co(Co量:
10wt%)の皮膜を基材の中央部外周表面に成膜した。
表1中の試料No. 1、2は間欠成膜を行い、その他は連
続成膜を行い、成膜の際の成膜温度(基材の最高到達温
度に等しい。)を表1に併せて示す。なお、膜厚は、T
iN膜およびWC−Co膜は3μm 前後、CrN膜およ
びCrN−NbN膜は5μm 前後で統一した。
【0019】〔アークイオンプレーティング成膜条件〕 窒素ガス導入前真空度:1×10-3〜5×10-5Torr スパッタクリーニング:−500〜−800V、2min 成膜開始時の基材温度:150〜370℃ 窒素ガス導入後圧力:10〜40 mTorr 成膜時カソード電流:100〜200A 成膜時バイアス電圧:−5〜−200V
【0020】〔スパッタリング成膜条件〕 Arガス導入前真空度:5×10-4〜5×10-5Torr スパッククリーニング:−700V、2min 成膜開始時の基材温度:300℃ Arガス導入後圧力:2×10-3Torr RF出力:500W
【0021】成膜後、皮膜の表面平均硬度(Hv)、残
留応力および表面粗度並びに基材の表面平均硬度(H
v)を測定し、またローラピッチング試験を行った。前
記ローラピッチング試験は、図1に示すように、大ロー
ラ1の外周部に小ローラ(試料試験片)2の皮膜3が被
覆された部分を当接させ、下記の条件にて大ローラ1お
よび小ローラ2を回転させ、ピッチングの発生により小
ローラ2に生じた振動で小ローラ2が停止するまでの回
転数を求め、これにより耐ピッチング性を評価した。こ
れらの結果を表1に併せて示す。なお、No. 16は皮膜
を被覆していない無処理の基材である。
【0022】〔ローラピッチング試験条件〕 大ローラと小ローラの当接部における面圧:3.0GP
a 大ローラの回転数:1500rpm 大ローラ周面における小ローラの滑り率:−40% 当接部に供給した潤滑油:ディーゼルオイル(2L/mi
n 、90℃) 大ローラの材質:クロムモリブデン浸炭鋼(表面平均硬
度Hv640)
【0023】
【表1】
【0024】表1より、発明例の試料No. 1〜15は、
ローラピッチング試験において優れた耐ピッチング性を
示した。また、No. 1とNo. 2から、同じ残留応力で
も、表面粗度がRa0.25μm 以下のNo. 1の方が耐
ピッチング性が良好であることがわかる。また、No. 6
とNo. 7から、同じ表面粗度では残留応力が2.5MP
a以下のNo. 6の方が耐ピッチング性に優れることがわ
かる。一方、比較例に示したように規定範囲外の皮膜を
形成したものは、無処理基材(No. 16)と同等以下の
耐ピッチング性しか得られていない。また、No. 1およ
びNo. 2のように、間欠成膜を行った場合には、成膜温
度(=基材の最高到達温度)が200℃という低温に止
まっており、また連続成膜の場合でも成膜温度が240
℃以下の場合では、基材に硬度低下が全く生じていない
ことがわかる。
【0025】
【発明の効果】本発明の転動部材によれば、高面圧の厳
しい使用環境においても、耐ピッチング性を飛躍的に改
善することができ、耐久性に優れる。また、本発明の製
造方法によれば、基材の硬度低下を防止することがで
き、高靱性皮膜による耐ピッチング性向上効果を有効に
発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例におけるローラピッチング試験要領を示
す説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安永 龍哉 兵庫県神戸市西区高塚台1丁目5番5号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 松島 義武 兵庫県神戸市灘区灘浜東町2番地 株式会 社神戸製鋼所神戸製鉄所内 (72)発明者 安部 聡 兵庫県神戸市灘区灘浜東町2番地 株式会 社神戸製鋼所神戸製鉄所内 (72)発明者 藏本 廣志 兵庫県神戸市灘区灘浜東町2番地 株式会 社神戸製鋼所神戸製鉄所内 Fターム(参考) 3J103 AA02 AA13 AA51 CA52 EA03 EA11 EA20 FA12 FA13 FA26 GA02 GA52 HA03 HA04 HA15 HA54 4K029 BA58 BD03 BD04 CA04 EA08

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基材の表面に硬度がHv900〜150
    0で、かつ圧縮残留応力が3.0GPa以下である高靱
    性皮膜が被覆された耐ピッチングに優れた転動部材。
  2. 【請求項2】 高靱性皮膜はその主体がCrNからなる
    請求項1に記載した転動部材。
  3. 【請求項3】 高靱性皮膜は表面粗さがRa0.30μ
    m 以下である請求項1又は2に記載した転動部材。
  4. 【請求項4】 基材はその表面硬度がHv720以上で
    ある請求項1〜3のいずれか1項に記載した転動部材。
  5. 【請求項5】 基材の表面にイオンプレーティング法に
    より請求項1〜3のいずれか1項に記載した高靱性皮膜
    を成膜する転動部材の製造方法であって、 成膜時における基材の最高到達温度を300℃以下とす
    る転動部材の製造方法。
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