JP2001021436A - 漏洩検査装置及び漏洩検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の真空チャンバ内における気体の漏洩を
確実に、且つ、優れた作業性で検出する。 【解決手段】 薄膜形成装置に用いられるベローズ１０
と、上記ベローズ１０の一方端部に接続され、上記ベロ
ーズ内部に漏洩した気体を検出する気体検出手段２０
と、上記ベローズ１０の他方端部に取り付けられた端部
キャップ１９とを備え、上記ベローズ１０は、上記気体
検出手段２０に接続されるとともに上記端部キャップ１
９が取り付けられることによって、上記ベローズ１０の
内部が密閉されること特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の真空チャン
バを有する薄膜形成装置の漏洩検査装置及び漏洩検査方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】薄膜形成装置は、半導体製造プロセス、
磁気デバイス製造プロセス、記録媒体製造プロセス等に
広く利用されている。具体的に、薄膜形成装置には、ス
パッタリング装置や真空蒸着装置等のＰＶＤ（physical
vapor deposition）法を用いたものがある。

【０００３】このような薄膜形成装置は、高真空度とさ
れる真空チャンバ内に基板を配設し、当該真空チャンバ
内で基板上に薄膜を形成する。また、薄膜形成装置は、
異なる組成の複数の薄膜を基板上に形成する場合、独立
した複数の真空チャンバを備え、各真空チャンバ内で所
定の薄膜を形成する。すなわち、所定の真空チャンバ内
で基板上に所定の薄膜を形成した後、隣接する真空チャ
ンバ内に基板を移動させて異なる組成の薄膜を形成す
る。

【０００４】したがって、複数の真空チャンバを有する
薄膜形成装置には、隣り合う真空チャンバの連結部分を
開閉させるシャッタが設けられている。このシャッタ
は、ピストン等の駆動手段により連結部分を開閉自在と
している。すなわち、シャッタは、真空チャンバの外壁
を貫いて伸縮自在のピストンに接続され、このピストン
により駆動されて隣接する真空チャンバ間を開閉してい
る。

【０００５】また、シャッタを駆動させるピストンは、
真空チャンバの外壁を貫いた部分をベローズにより覆わ
れている。このため、ベローズは、ピストンの伸縮動作
に応じて伸縮し、ピストンにより真空チャンバの外壁を
貫いた部分を密閉することができる。このため、真空チ
ャンバ内は、ベローズより覆われた部分を含めて真空状
態となる。

【０００６】このような薄膜形成装置を用いて優れた膜
質の薄膜を形成するためには、真空チャンバ内を所望の
高真空状態にする必要がある。真空チャンバ内が高真空
状態でない場合、すなわち、真空チャンバ内に気体分子
が多く存在する場合には、気体分子が薄膜中に不純物と
して混入してしまう。このため、薄膜形成装置におい
て、真空チャンバ内は、所望の高真空状態を維持する必
要がある。

【０００７】このとき、薄膜形成装置では、真空チャン
バを密閉し、当該真空チャンバ内を真空ポンプを用いて
所望の真空度に達するまで減圧している。これにより、
真空チャンバ内は、薄膜形成に好適な真空度となる。そ
の後、薄膜形成装置では、真空チャンバ内が所定の真空
度を維持できるか否かを、すなわち、真空チャンバの気
体の漏洩を検査する必要がある。

【０００８】具体的には、真空チャンバ内とヘリウムデ
ィテクタとを接続し、真空チャンバの外部にヘリウムガ
スを供給し、このヘリウムディテクタにより真空チャン
バ内に漏洩したヘリウムガス成分を検出する。これによ
り、真空チャンバ内を高真空度に維持することができる
か否かを判別することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
薄膜形成装置において、真空チャンバ内に気体の漏洩が
発生している場合、原因となる箇所を修理或いは交換す
る必要がある。言い換えると、一旦、所定の真空度に減
圧した真空チャンバ内を解放し、原因となる箇所を修理
或いは交換した後、再び、真空チャンバ内を所定の真空
度としなくてはならない。

【００１０】しかしながら、真空チャンバ内を所望の真
空度とするには、真空ポンプを長時間に亘って駆動させ
なくてはならない。このため、真空を破る原因となる箇
所の修理或いは交換を行った場合には、修理或いは交換
作業の他に真空チャンバ内の減圧に長時間を要してしま
い、作業性が非常に悪いといった問題がある。

【００１１】そこで、本発明は、上述した従来の実情に
鑑みて案出されたものであり、複数の真空チャンバ内に
おける気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出
できる漏洩検査装置及び漏洩検査方法を提供することを
目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明者らが鋭意検討した結果、複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置においては、隣接する真空
チャンバの連結部分、特に、シャッタ手段の開閉に伴っ
て伸縮するベローズに微小な亀裂が入ってしまい、真空
チャンバ内の真空が破れられることが多いといった知見
を得た。そして、このベローズにおける気体の漏洩を測
定することによって、真空チャンバにおける気体の漏洩
を効率よく検査することができることを見出し、本発明
を完成するに至った。

【００１３】すなわち、本発明に係る漏洩検査装置は、
シャッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真
空チャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シ
ャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲うように真空チャン
バの外面に配設されるベローズと、上記ベローズの一方
端部に接続され、上記ベローズ内部に漏洩した気体を検
出する気体検出手段と、上記ベローズの他方端部に取り
付けられた端部キャップとを備え、上記ベローズは、上
記気体検出手段に接続されるとともに上記端部キャップ
が取り付けられることによって、上記ベローズの内部が
密閉されること特徴とするものである。

【００１４】以上のように構成された本発明に係る漏洩
検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャンバの外
面に配されたベローズとにより密閉される空間を減圧し
て真空とする薄膜形成装置において、ベローズ単独にお
ける気体の漏洩を検査することができる。このため、こ
の漏洩検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャン
バの外面に配されたベローズとにより密閉される空間を
減圧して真空とする前に、ベローズにおける気体の漏洩
を検出することができる。

【００１５】また、本発明に係る漏洩検査方法は、シャ
ッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チャン
バを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真空チ
ャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シャッ
タ手段を駆動させる駆動軸を囲うように配設されるベロ
ーズを上記薄膜形成装置から取り外し、上記ベローズの
一方端部に気体検出手段を接続するとともに、上記ベロ
ーズの他方端部を端部キャップにより閉塞し、上記ベロ
ーズの外部に供給されたガスのうち上記ベローズの内部
に漏洩したガスを上記気体検出手段により検出すること
によって、上記ベローズの破損を検知することを特徴と
するものである。

【００１６】以上のように構成された本発明に係る漏洩
検査方法は、真空チャンバと、当該真空チャンバの外面
に配されたベローズとにより密閉される空間における気
体の漏洩を検査することができる。この手法では、ベロ
ーズ単独における気体の漏洩を検査することができる。
このため、この手法では、真空チャンバと、当該真空チ
ャンバの外面に配されたベローズとにより密閉される空
間を減圧して真空とする前に、ベローズ単独における気
体の漏洩を検査することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る漏洩検査装置
及び漏洩検査方法の好ましい実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。

【００１８】本発明に係る漏洩検査装置及び漏洩検査方
法は、例えば、図１及び図２に示すような蒸着装置１に
適用される。

【００１９】先ず、漏洩検査装置及び漏洩検査方法が適
用される蒸着装置１について説明する。この蒸着装置１
は、所定の膜質の薄膜を形成する複数の真空チャンバ２
（第１の真空チャンバ２ａ、第２の真空チャンバ２ｂ、
第３の真空チャンバ２ｃ、第４の真空チャンバ２ｄ）を
備えている。これら複数の真空チャンバ２の上部には、
ゲートバルブ３や排気管４や真空ポンプ５等がそれぞれ
配設されている。さらに、これら真空チャンバ２は、複
数の車輪６がそれぞれ配設されることによって移動可能
とされている。

【００２０】また、これら複数の真空チャンバ２は、そ
れぞれ側面を当接することにより連結されている。真空
チャンバ２において、当接する側面には開口部７が形成
されており、この開口部７を付き合わせるように複数の
真空チャンバ２が連結されている。

【００２１】さらに、真空チャンバ２には、図３に示す
ように、この開口部７を開閉可能とし、隣接する真空チ
ャンバ２間を閉塞或いは解放するシャッタ８が配設され
ている。このシャッタ８は、開口部７を覆うに足る寸法
とされ、一端部に一対の駆動軸９が配設されている。こ
の駆動軸９は、図４に示すように、周囲をベローズ１０
により囲われるとともに一端部をピストン１１に取り付
けられている。すなわち、この駆動軸９は、真空チャン
バ２の外壁を貫通するように配設され、ピストン１１が
取り付けられる一端部が真空チャンバ２の外方に位置
し、シャッタ８が取り付けられる他端部が真空チャンバ
２の内方に位置している。

【００２２】ここで、ベローズ１０は、収縮自在とされ
た蛇腹部１２と、この蛇腹部１２の一方端部で真空チャ
ンバ２の外壁に接続するための取付具１３と、蛇腹部１
２の他方端部でピストン１１と接続するためのキャップ
部１４とを備えている。このベローズ１０は、蛇腹部１
２の伸縮によって、取付具１３とキャップ部１４との間
の距離を自在とすることができる。

【００２３】この蛇腹部１２は、例えば、ステンレス鋼
やＡｌ等から形成される。この蛇腹部１２は、外径が駆
動軸の外径よりもやや大とされ、伸長した状態での長さ
が駆動軸と略同寸法とされる。

【００２４】また、取付具１３は、例えば、ステンレス
鋼やＡｌ等の材料から形成される。この取付具１３は、
一端部にフランジ部１５を有し、他端部に蛇腹部１２が
取り付けられるように略円筒状に形成されている。フラ
ンジ部１５は、複数のボルト１６を用いて真空チャンバ
２の外壁に対して取り付けられる。これにより、取付具
１３を介して蛇腹部１２が真空チャンバ２と連結される
こととなる。

【００２５】さらに、キャップ部１４は、蛇腹部１２の
他方端部を閉塞するために配され、蛇腹部１２の他方端
部を閉塞するに足る寸法とされる。キャップ部１４は、
略中心部にピストン１１が挿入される開口穴１７を有し
ている。ピストン１１は、この開口穴１７を介して駆動
軸９と連結している。また、キャップ部１４において、
開口穴１７と挿入されたピストン１１との間は密閉する
ことができる。

【００２６】このため、取付具１３を真空チャンバ２の
外壁に取り付け、キャップ部１４を蛇腹部１２に取り付
けた状態では、真空チャンバ２内と蛇腹部１２内とが連
結されるとともに密閉されることとなる。

【００２７】このように構成された蒸着装置１は、例え
ば、円盤状の基板上に、第１の誘電体膜、光磁気記録
膜、第２の誘電体膜及び反射膜をこの順に成膜して光磁
気ディスク等を形成する際に使用される。このとき、蒸
着装置１では、先ず、第１の誘電体膜を第１の真空チャ
ンバ２ａ内で成膜し、その後、光磁気記録膜を第２の真
空チャンバ２ｂ内で成膜し、第２の誘電体膜を第３の真
空チャンバ２ｃ内で成膜し、反射膜を第４の真空チャン
バ２ｄ内で成膜する。すなわち、この蒸着装置１では、
基板を複数の真空チャンバ２内に順次搬入して、各膜を
成膜している。

【００２８】この基板の搬入の際、駆動軸９は、ピスト
ン１１により駆動されてシャッタ８を移動させ、図５に
示すように、開口部７を開口させる。具体的に、例え
ば、第１の真空チャンバ２ａ内で第１の誘電体膜が成膜
された後、第１の真空チャンバ２ａ及び第２の真空チャ
ンバ２ｂの間のシャッタ８が駆動して、第１の真空チャ
ンバ２ａ及び第２の真空チャンバ２ｂの間を解放する。
その後、第１の誘電体膜が成膜された基板を第２の真空
チャンバ２内に搬入する。

【００２９】その後、第１の真空チャンバ２ａ及び第２
の真空チャンバ２ｂの間のシャッタ８が開口部７を閉塞
して、第１の真空チャンバ２ａ及び第２の真空チャンバ
２ｂをそれぞれ独立させる。そして、第２の真空チャン
バ２ｂ内で光磁気記録膜を成膜する。

【００３０】以降同様に、各真空チャンバ２間を解放し
て基板の搬出及び搬入を行い、シャッタ８により各真空
チャンバ２を独立させて所定の膜を成膜する。このよう
に、蒸着装置１では、複数の膜を成膜するに際して、シ
ャッタ８が開口部７を閉塞或いは解放するように駆動す
る。なお、このとき、蒸着装置１では、複数の真空チャ
ンバ２内は所定の真空度に維持され、この真空度を維持
した状態で基板の移動を行っている。すなわち、上述し
たシャッタ８の開閉に際して、複数の真空チャンバ２内
は所定の真空度に維持されている。

【００３１】ところで、蒸着装置１では、複数の真空チ
ャンバ２内を、所望の真空度となるように正確に減圧す
る必要がある。すなわち、優れた膜質の薄膜を形成する
ためには、真空チャンバ２内を所望の高真空状態に維持
する必要がある。このため、蒸着装置１では、真空チャ
ンバ２内における気体の漏洩を検査する必要がある。上
述した蒸着装置１では、先ず、ベローズ１０単独で気体
の漏洩検査を行っている。

【００３２】次に、ベローズ１０に対して気体の漏洩検
査を行う漏洩検査装置及び漏洩検査方法について説明す
る。

【００３３】蒸着装置１に配設されるベローズ１０は、
図６に示すような漏洩検査装置を用いて気体漏洩検査が
行われる。この漏洩検査装置は、上述したベローズ１０
の取付具１３を固定する固定部１８と、固定部１８に固
定されたベローズ１０の先端部に配設される上部押さえ
部１９と、ベローズ１０内部と連結されたヘリウムリー
クディテクタ２０とを備えている。また、この漏洩検査
装置は、ベローズ１０の蛇腹部１２を伸長させた際の長
さとほぼ同等の長さを有する中心軸２１を有している。
さらに、この漏洩検査装置は、外方からベローズ１０に
対してヘリウムガスを吹き付けるヘリウム供給部２２を
有している。

【００３４】固定部１８と取付具１３とは、複数のボル
ト２３により固定されている。また、固定部１８の取付
具１３と接する面には、Ｏリング２４が配設されてい
る。したがって、固定部１８と取付具１３とは、Ｏリン
グ２４を介して接するとともに複数のボルト２３により
固定される。このため、固定部１８と取付具１３との間
は、確実に密閉されることとなる。また、固定部１８に
は、ベローズ１０を固定した状態で取付具１３の中心穴
２５と略同寸法の中心穴２６が形成されている。このた
め、ベローズ１０を固定すると、固定部１８の中心穴２
６と取付具１３の中心穴２５とが重なることとなる。

【００３５】中心軸２１は、固定部１８の中心穴２６に
嵌合することにより固定部１８に取りつけられる。ま
た、中心軸２１は、取付具１３の中心穴２５と固定部１
８の中心穴２６とが重なるため、取付具１３の中心穴２
５に嵌合することになる。

【００３６】また、中心軸２１には、所定の高さまで切
欠き部２７が形成されている。この切欠き部２７は、中
心軸２１の円周方向の一部に所定の幅で形成されてお
り、取付具１３の上端を超えて蛇腹部１２の内部に達す
る高さで形成されている。このため、蛇腹部１２の内部
と固定部１８の基端部とは、この切欠き部２７を介して
空間的に連結されることとなる。

【００３７】さらに、上部押さえ部１９は、中心軸２１
の先端部に対して蛇腹部１２の先端部を介してボルト２
８で取り付けられている。また、上部押さえ部１９の蛇
腹部１２と対向する面には、Ｏリング２９が配設されて
いる。このため、上部押さえ部１９が中心軸２１の先端
部に取り付けられることによって、上部押さえ部１９と
蛇腹部１２の先端部との間は確実に密閉されることにな
る。

【００３８】一方、固定部１８の基端部１８ａには、フ
レキシブルホース（図示せず。）を介してヘリウムリー
クディテクタ２０が接続されている。したがって、ヘリ
ウムリークディテクタ２０は、切欠き部２７を介して蛇
腹部１２の内部と空間的に連結されることとなる。ま
た、このヘリウムリークディテクタ２０は、図示しない
が、吸気ポンプ及び検出器を有しており、この吸気ポン
プで蛇腹部１２の内部を減圧するとともに吸気した気体
中のヘリウム濃度を検出器で検出することができる。

【００３９】また、漏洩検査装置において、ヘリウム供
給部２２は、ヘリウムガスを噴射する噴射口３０を備
え、この噴射口３０から所定の濃度のヘリウムガスを噴
射することができる。

【００４０】以上のように構成された漏洩検査装置で
は、先ず、検査対象となる蒸着装置１の真空チャンバ２
からベローズ１０を取り外した後、取り外したベローズ
１０の取付具１３を固定部１８に固定する。このとき、
固定部１８には、予め中心軸２１を配設しておき、この
中心軸２１に沿って蛇腹部１２を伸長させた状態でベロ
ーズ１０を取り付ける。また、このとき、ベローズ１０
を確実に固定するとともに蛇腹部１２内を密閉するた
め、中心軸２１の先端部に上部押さえ部１９を取り付け
る。

【００４１】次に、ヘリウムリークディテクタ２０の吸
引ポンプを駆動して、蛇腹部１２内を真空状態とする。
このとき、蛇腹部１２の内部は、切欠き部２７を介して
ヘリウムリークディテクタ２０と連結されているため、
吸引ポンプにより減圧されることになる。また、この漏
洩検査装置では、蛇腹部１２が中心軸２１に沿って伸長
されているため、蛇腹部１２内が真空状態とされても蛇
腹部１２を収縮してしまうようなことが防止される。

【００４２】次に、所定の濃度のヘリウムガスを、ヘリ
ウム供給部２２の噴射口３０からベローズ１０に対して
吹き付ける。このとき、噴射口３０からは、ヘリウムガ
スがベローズ１０の全体に対して満遍なく吹き付けられ
ることが好ましい。このように、ヘリウムガスをベロー
ズ１０に対して吹き付けた状態で、ヘリウムリークディ
テクタ２０を駆動させる。

【００４３】これにより、ベローズ１０の外方に存在す
るヘリウムガスのうち、ベローズ１０の内側に漏洩した
ヘリウムガスをヘリウムリークディテクタ２０の検出器
により検出することができる。すなわち、ヘリウムリー
クディテクタ２０の検出器によりヘリウムが検出される
と、そのベローズ１０は、亀裂等の気体が漏洩する箇所
を有しており、所定の真空度を維持できないものである
と判明する。逆に、ヘリウムリークディテクタ２０の検
出器によりヘリウムガスが検出されない場合には、その
ベローズ１０は、気体が漏洩することなく、所定の真空
度を維持できるものであると判明する。このように、漏
洩検査装置では、ベローズ１０における気体漏洩の有無
を確実に検査することができる。

【００４４】特に、この漏洩検査装置では、蛇腹部１２
を伸長させた状態でベローズ１０を配設しているため、
蛇腹部１２に亀裂があるような場合でも、ヘリウムが確
実に蛇腹部１２内に漏洩する。仮に、蛇腹部１２が収縮
した状態では、亀裂があったとしても、当該亀裂が周囲
と密着してしまい、ヘリウムが蛇腹部１２内に漏洩でき
なくなる虞がある。しかしながら、この漏洩検査装置で
は、蛇腹部１２を伸長させているためにヘリウムが確実
に蛇腹部１２内に漏洩し、非常に小さな亀裂をも検出す
ることができる。

【００４５】そして、この漏洩検査装置により気体の漏
洩が無いと判別されたベローズ１０は、再び蒸着装置１
の真空チャンバ２に配設される。また、この漏洩検査装
置により気体の漏洩が有ると判別されたベローズ１０
は、蒸着装置１には用いられず、漏洩箇所の修理或いは
交換が行われ、再度、漏洩検査装置により気体の漏洩が
検査される。

【００４６】ところで、上述した蒸着装置１では、基板
の搬出及び搬入の際にシャッタ８を駆動して開口部７の
開閉動作を行っていた。このシャッタ８は、ピストン１
１に連動した駆動軸９が駆動されることによって開閉動
作を行う。ベローズ１０は、駆動軸９を囲うように配設
されているため、シャッタ８の開閉動作に伴って蛇腹部
１２の伸縮が繰り返し行われることとなる。このため、
ベローズ１０の蛇腹部１２は、伸縮が繰り返されること
により劣化し易く、亀裂等が形成されやすい。したがっ
て、ベローズ１０は、真空チャンバ２の真空を破る原因
となりやすい。

【００４７】しかしながら、漏洩検査装置を用いて、先
ず、ベローズ１０単独の漏洩検査を行い、気体漏洩の虞
のないベローズ１０を使用することによって、蒸着装置
１では、ベローズ１０に起因する気体漏洩を確実に防止
することができる。言い換えると、蒸着装置１では、密
閉性に優れたベローズ１０を、漏洩装置により選択して
使用することができるため、真空チャンバ２内を所望の
真空度に維持することができる。

【００４８】また、蒸着装置１では、真空チャンバ２内
を減圧して真空状態とした後に真空チャンバ２内の気体
漏洩検査を行った場合、ベローズ１０からの気体漏洩が
無いため、真空チャンバ２内に気体漏洩が生じてしまう
といった不良の発生率が減少することになる。したがっ
て、この漏洩検査装置によれば、一旦、真空チャンバ２
の真空状態を解放して大気圧に戻し、気体が漏洩する箇
所を修理或いは交換するといった作業が減少する。この
ため、この気体漏洩装置及び気体漏洩検査方法によれ
ば、蒸着装置１を用いた成膜の作業性が大幅に向上する
こととなる。

【００４９】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る漏洩検査装置及び漏洩検査方法では、薄膜形成装置
に用いられるベローズに対して単独で気体の漏洩検査を
行う。このため、この漏洩検査装置及び漏洩検査方法に
よれば、真空チャンバ内の真空を破る原因としてベロー
ズを考慮する必要が無くなり、当該真空チャンバにおけ
る気体の漏洩の発生率を減少させることができる。した
がって、本発明よれば、複数の真空チャンバ内における
気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】蒸着装置の要部正面図である

【図２】蒸着装置の要部側面図である。

【図３】真空チャンバに形成された開口部をシャッタに
より閉塞した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。

【図４】駆動軸を覆うベローズを示す真空チャンバの要
部断面図である。

【図５】真空チャンバに形成された開口部をシャッタに
より開放した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。

【図６】漏洩検査装置の要部断面図である。

【符号の説明】

１ 蒸着装置、２ 真空チャンバ、８ シャッタ、９
駆動軸、１０ ベローズ、１１ ピストン、１２ 蛇腹
部、１３ 取付具、１４ キャップ部、１８ 固定部、
１９ 上部押さえ部、２０ ヘリウムリークディテク
タ、２１ 中心軸、２２ ヘリウム供給部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シャッタ手段を介して隣接して配設され
   た複数の真空チャンバを有する薄膜形成装置に用いら
   れ、上記複数の真空チャンバ間を閉塞する方向又は解放
   する方向に上記シャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲う
   ように真空チャンバの外面に配設されるベローズと、 上記ベローズの一方端部に接続され、上記ベローズ内部
   に漏洩した気体を検出する気体検出手段と、 上記ベローズの他方端部に取り付けられた端部キャップ
   とを備え、 上記ベローズは、上記気体検出手段に接続されるととも
   に上記端部キャップが取り付けられることによって、上
   記ベローズの内部が密閉されることを特徴とする漏洩検
   査装置。
2. 【請求項２】 上記気体検出装置が接続される上記ベロ
   ーズの一方端部には、薄膜形成装置に取り付けられるフ
   ランジ部を有する取付具が配設されたことを特徴とする
   請求項１記載の漏洩検査装置。
3. 【請求項３】 上記ベローズ内部には、上記ベローズを
   伸長させた寸法に相当する長さの軸が配設され、上記ベ
   ローズを当該軸に沿って伸長させた状態とさせることを
   特徴とする請求項１記載の漏洩検査装置。
4. 【請求項４】 シャッタ手段を介して隣接して配設され
   た複数の真空チャンバを有する薄膜形成装置に用いら
   れ、上記複数の真空チャンバ間を閉塞する方向又は解放
   する方向に上記シャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲う
   ように真空チャンバの外面に配設されるベローズを上記
   薄膜形成装置から取り外し、 上記ベローズの一方端部に気体検出手段を接続するとと
   もに、上記ベローズの他方端部を端部キャップにより閉
   塞し、 上記ベローズの外部に供給されたガスのうち上記ベロー
   ズの内部に漏洩したガスを上記気体検出手段により検出
   することによって、上記ベローズの破損を検知すること
   を特徴とする漏洩検査方法。
5. 【請求項５】 上記ベローズを伸長させた状態で、上記
   ベローズの破損を検知することを特徴とする請求項４記
   載の漏洩検査方法。