JP2001021436A - 漏洩検査装置及び漏洩検査方法 - Google Patents
漏洩検査装置及び漏洩検査方法Info
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- JP2001021436A JP2001021436A JP11195039A JP19503999A JP2001021436A JP 2001021436 A JP2001021436 A JP 2001021436A JP 11195039 A JP11195039 A JP 11195039A JP 19503999 A JP19503999 A JP 19503999A JP 2001021436 A JP2001021436 A JP 2001021436A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の真空チャンバ内における気体の漏洩を
確実に、且つ、優れた作業性で検出する。 【解決手段】 薄膜形成装置に用いられるベローズ10
と、上記ベローズ10の一方端部に接続され、上記ベロ
ーズ内部に漏洩した気体を検出する気体検出手段20
と、上記ベローズ10の他方端部に取り付けられた端部
キャップ19とを備え、上記ベローズ10は、上記気体
検出手段20に接続されるとともに上記端部キャップ1
9が取り付けられることによって、上記ベローズ10の
内部が密閉されること特徴とするものである。
確実に、且つ、優れた作業性で検出する。 【解決手段】 薄膜形成装置に用いられるベローズ10
と、上記ベローズ10の一方端部に接続され、上記ベロ
ーズ内部に漏洩した気体を検出する気体検出手段20
と、上記ベローズ10の他方端部に取り付けられた端部
キャップ19とを備え、上記ベローズ10は、上記気体
検出手段20に接続されるとともに上記端部キャップ1
9が取り付けられることによって、上記ベローズ10の
内部が密閉されること特徴とするものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の真空チャン
バを有する薄膜形成装置の漏洩検査装置及び漏洩検査方
法に関する。
バを有する薄膜形成装置の漏洩検査装置及び漏洩検査方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜形成装置は、半導体製造プロセス、
磁気デバイス製造プロセス、記録媒体製造プロセス等に
広く利用されている。具体的に、薄膜形成装置には、ス
パッタリング装置や真空蒸着装置等のPVD(physical
vapor deposition)法を用いたものがある。
磁気デバイス製造プロセス、記録媒体製造プロセス等に
広く利用されている。具体的に、薄膜形成装置には、ス
パッタリング装置や真空蒸着装置等のPVD(physical
vapor deposition)法を用いたものがある。
【0003】このような薄膜形成装置は、高真空度とさ
れる真空チャンバ内に基板を配設し、当該真空チャンバ
内で基板上に薄膜を形成する。また、薄膜形成装置は、
異なる組成の複数の薄膜を基板上に形成する場合、独立
した複数の真空チャンバを備え、各真空チャンバ内で所
定の薄膜を形成する。すなわち、所定の真空チャンバ内
で基板上に所定の薄膜を形成した後、隣接する真空チャ
ンバ内に基板を移動させて異なる組成の薄膜を形成す
る。
れる真空チャンバ内に基板を配設し、当該真空チャンバ
内で基板上に薄膜を形成する。また、薄膜形成装置は、
異なる組成の複数の薄膜を基板上に形成する場合、独立
した複数の真空チャンバを備え、各真空チャンバ内で所
定の薄膜を形成する。すなわち、所定の真空チャンバ内
で基板上に所定の薄膜を形成した後、隣接する真空チャ
ンバ内に基板を移動させて異なる組成の薄膜を形成す
る。
【0004】したがって、複数の真空チャンバを有する
薄膜形成装置には、隣り合う真空チャンバの連結部分を
開閉させるシャッタが設けられている。このシャッタ
は、ピストン等の駆動手段により連結部分を開閉自在と
している。すなわち、シャッタは、真空チャンバの外壁
を貫いて伸縮自在のピストンに接続され、このピストン
により駆動されて隣接する真空チャンバ間を開閉してい
る。
薄膜形成装置には、隣り合う真空チャンバの連結部分を
開閉させるシャッタが設けられている。このシャッタ
は、ピストン等の駆動手段により連結部分を開閉自在と
している。すなわち、シャッタは、真空チャンバの外壁
を貫いて伸縮自在のピストンに接続され、このピストン
により駆動されて隣接する真空チャンバ間を開閉してい
る。
【0005】また、シャッタを駆動させるピストンは、
真空チャンバの外壁を貫いた部分をベローズにより覆わ
れている。このため、ベローズは、ピストンの伸縮動作
に応じて伸縮し、ピストンにより真空チャンバの外壁を
貫いた部分を密閉することができる。このため、真空チ
ャンバ内は、ベローズより覆われた部分を含めて真空状
態となる。
真空チャンバの外壁を貫いた部分をベローズにより覆わ
れている。このため、ベローズは、ピストンの伸縮動作
に応じて伸縮し、ピストンにより真空チャンバの外壁を
貫いた部分を密閉することができる。このため、真空チ
ャンバ内は、ベローズより覆われた部分を含めて真空状
態となる。
【0006】このような薄膜形成装置を用いて優れた膜
質の薄膜を形成するためには、真空チャンバ内を所望の
高真空状態にする必要がある。真空チャンバ内が高真空
状態でない場合、すなわち、真空チャンバ内に気体分子
が多く存在する場合には、気体分子が薄膜中に不純物と
して混入してしまう。このため、薄膜形成装置におい
て、真空チャンバ内は、所望の高真空状態を維持する必
要がある。
質の薄膜を形成するためには、真空チャンバ内を所望の
高真空状態にする必要がある。真空チャンバ内が高真空
状態でない場合、すなわち、真空チャンバ内に気体分子
が多く存在する場合には、気体分子が薄膜中に不純物と
して混入してしまう。このため、薄膜形成装置におい
て、真空チャンバ内は、所望の高真空状態を維持する必
要がある。
【0007】このとき、薄膜形成装置では、真空チャン
バを密閉し、当該真空チャンバ内を真空ポンプを用いて
所望の真空度に達するまで減圧している。これにより、
真空チャンバ内は、薄膜形成に好適な真空度となる。そ
の後、薄膜形成装置では、真空チャンバ内が所定の真空
度を維持できるか否かを、すなわち、真空チャンバの気
体の漏洩を検査する必要がある。
バを密閉し、当該真空チャンバ内を真空ポンプを用いて
所望の真空度に達するまで減圧している。これにより、
真空チャンバ内は、薄膜形成に好適な真空度となる。そ
の後、薄膜形成装置では、真空チャンバ内が所定の真空
度を維持できるか否かを、すなわち、真空チャンバの気
体の漏洩を検査する必要がある。
【0008】具体的には、真空チャンバ内とヘリウムデ
ィテクタとを接続し、真空チャンバの外部にヘリウムガ
スを供給し、このヘリウムディテクタにより真空チャン
バ内に漏洩したヘリウムガス成分を検出する。これによ
り、真空チャンバ内を高真空度に維持することができる
か否かを判別することができる。
ィテクタとを接続し、真空チャンバの外部にヘリウムガ
スを供給し、このヘリウムディテクタにより真空チャン
バ内に漏洩したヘリウムガス成分を検出する。これによ
り、真空チャンバ内を高真空度に維持することができる
か否かを判別することができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
薄膜形成装置において、真空チャンバ内に気体の漏洩が
発生している場合、原因となる箇所を修理或いは交換す
る必要がある。言い換えると、一旦、所定の真空度に減
圧した真空チャンバ内を解放し、原因となる箇所を修理
或いは交換した後、再び、真空チャンバ内を所定の真空
度としなくてはならない。
薄膜形成装置において、真空チャンバ内に気体の漏洩が
発生している場合、原因となる箇所を修理或いは交換す
る必要がある。言い換えると、一旦、所定の真空度に減
圧した真空チャンバ内を解放し、原因となる箇所を修理
或いは交換した後、再び、真空チャンバ内を所定の真空
度としなくてはならない。
【0010】しかしながら、真空チャンバ内を所望の真
空度とするには、真空ポンプを長時間に亘って駆動させ
なくてはならない。このため、真空を破る原因となる箇
所の修理或いは交換を行った場合には、修理或いは交換
作業の他に真空チャンバ内の減圧に長時間を要してしま
い、作業性が非常に悪いといった問題がある。
空度とするには、真空ポンプを長時間に亘って駆動させ
なくてはならない。このため、真空を破る原因となる箇
所の修理或いは交換を行った場合には、修理或いは交換
作業の他に真空チャンバ内の減圧に長時間を要してしま
い、作業性が非常に悪いといった問題がある。
【0011】そこで、本発明は、上述した従来の実情に
鑑みて案出されたものであり、複数の真空チャンバ内に
おける気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出
できる漏洩検査装置及び漏洩検査方法を提供することを
目的としている。
鑑みて案出されたものであり、複数の真空チャンバ内に
おける気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出
できる漏洩検査装置及び漏洩検査方法を提供することを
目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明者らが鋭意検討した結果、複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置においては、隣接する真空
チャンバの連結部分、特に、シャッタ手段の開閉に伴っ
て伸縮するベローズに微小な亀裂が入ってしまい、真空
チャンバ内の真空が破れられることが多いといった知見
を得た。そして、このベローズにおける気体の漏洩を測
定することによって、真空チャンバにおける気体の漏洩
を効率よく検査することができることを見出し、本発明
を完成するに至った。
ために、本発明者らが鋭意検討した結果、複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置においては、隣接する真空
チャンバの連結部分、特に、シャッタ手段の開閉に伴っ
て伸縮するベローズに微小な亀裂が入ってしまい、真空
チャンバ内の真空が破れられることが多いといった知見
を得た。そして、このベローズにおける気体の漏洩を測
定することによって、真空チャンバにおける気体の漏洩
を効率よく検査することができることを見出し、本発明
を完成するに至った。
【0013】すなわち、本発明に係る漏洩検査装置は、
シャッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真
空チャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シ
ャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲うように真空チャン
バの外面に配設されるベローズと、上記ベローズの一方
端部に接続され、上記ベローズ内部に漏洩した気体を検
出する気体検出手段と、上記ベローズの他方端部に取り
付けられた端部キャップとを備え、上記ベローズは、上
記気体検出手段に接続されるとともに上記端部キャップ
が取り付けられることによって、上記ベローズの内部が
密閉されること特徴とするものである。
シャッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チ
ャンバを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真
空チャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シ
ャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲うように真空チャン
バの外面に配設されるベローズと、上記ベローズの一方
端部に接続され、上記ベローズ内部に漏洩した気体を検
出する気体検出手段と、上記ベローズの他方端部に取り
付けられた端部キャップとを備え、上記ベローズは、上
記気体検出手段に接続されるとともに上記端部キャップ
が取り付けられることによって、上記ベローズの内部が
密閉されること特徴とするものである。
【0014】以上のように構成された本発明に係る漏洩
検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャンバの外
面に配されたベローズとにより密閉される空間を減圧し
て真空とする薄膜形成装置において、ベローズ単独にお
ける気体の漏洩を検査することができる。このため、こ
の漏洩検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャン
バの外面に配されたベローズとにより密閉される空間を
減圧して真空とする前に、ベローズにおける気体の漏洩
を検出することができる。
検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャンバの外
面に配されたベローズとにより密閉される空間を減圧し
て真空とする薄膜形成装置において、ベローズ単独にお
ける気体の漏洩を検査することができる。このため、こ
の漏洩検査装置では、真空チャンバと、当該真空チャン
バの外面に配されたベローズとにより密閉される空間を
減圧して真空とする前に、ベローズにおける気体の漏洩
を検出することができる。
【0015】また、本発明に係る漏洩検査方法は、シャ
ッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チャン
バを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真空チ
ャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シャッ
タ手段を駆動させる駆動軸を囲うように配設されるベロ
ーズを上記薄膜形成装置から取り外し、上記ベローズの
一方端部に気体検出手段を接続するとともに、上記ベロ
ーズの他方端部を端部キャップにより閉塞し、上記ベロ
ーズの外部に供給されたガスのうち上記ベローズの内部
に漏洩したガスを上記気体検出手段により検出すること
によって、上記ベローズの破損を検知することを特徴と
するものである。
ッタ手段を介して隣接して配設された複数の真空チャン
バを有する薄膜形成装置に用いられ、上記複数の真空チ
ャンバ間を閉塞する方向又は解放する方向に上記シャッ
タ手段を駆動させる駆動軸を囲うように配設されるベロ
ーズを上記薄膜形成装置から取り外し、上記ベローズの
一方端部に気体検出手段を接続するとともに、上記ベロ
ーズの他方端部を端部キャップにより閉塞し、上記ベロ
ーズの外部に供給されたガスのうち上記ベローズの内部
に漏洩したガスを上記気体検出手段により検出すること
によって、上記ベローズの破損を検知することを特徴と
するものである。
【0016】以上のように構成された本発明に係る漏洩
検査方法は、真空チャンバと、当該真空チャンバの外面
に配されたベローズとにより密閉される空間における気
体の漏洩を検査することができる。この手法では、ベロ
ーズ単独における気体の漏洩を検査することができる。
このため、この手法では、真空チャンバと、当該真空チ
ャンバの外面に配されたベローズとにより密閉される空
間を減圧して真空とする前に、ベローズ単独における気
体の漏洩を検査することができる。
検査方法は、真空チャンバと、当該真空チャンバの外面
に配されたベローズとにより密閉される空間における気
体の漏洩を検査することができる。この手法では、ベロ
ーズ単独における気体の漏洩を検査することができる。
このため、この手法では、真空チャンバと、当該真空チ
ャンバの外面に配されたベローズとにより密閉される空
間を減圧して真空とする前に、ベローズ単独における気
体の漏洩を検査することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る漏洩検査装置
及び漏洩検査方法の好ましい実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
及び漏洩検査方法の好ましい実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
【0018】本発明に係る漏洩検査装置及び漏洩検査方
法は、例えば、図1及び図2に示すような蒸着装置1に
適用される。
法は、例えば、図1及び図2に示すような蒸着装置1に
適用される。
【0019】先ず、漏洩検査装置及び漏洩検査方法が適
用される蒸着装置1について説明する。この蒸着装置1
は、所定の膜質の薄膜を形成する複数の真空チャンバ2
(第1の真空チャンバ2a、第2の真空チャンバ2b、
第3の真空チャンバ2c、第4の真空チャンバ2d)を
備えている。これら複数の真空チャンバ2の上部には、
ゲートバルブ3や排気管4や真空ポンプ5等がそれぞれ
配設されている。さらに、これら真空チャンバ2は、複
数の車輪6がそれぞれ配設されることによって移動可能
とされている。
用される蒸着装置1について説明する。この蒸着装置1
は、所定の膜質の薄膜を形成する複数の真空チャンバ2
(第1の真空チャンバ2a、第2の真空チャンバ2b、
第3の真空チャンバ2c、第4の真空チャンバ2d)を
備えている。これら複数の真空チャンバ2の上部には、
ゲートバルブ3や排気管4や真空ポンプ5等がそれぞれ
配設されている。さらに、これら真空チャンバ2は、複
数の車輪6がそれぞれ配設されることによって移動可能
とされている。
【0020】また、これら複数の真空チャンバ2は、そ
れぞれ側面を当接することにより連結されている。真空
チャンバ2において、当接する側面には開口部7が形成
されており、この開口部7を付き合わせるように複数の
真空チャンバ2が連結されている。
れぞれ側面を当接することにより連結されている。真空
チャンバ2において、当接する側面には開口部7が形成
されており、この開口部7を付き合わせるように複数の
真空チャンバ2が連結されている。
【0021】さらに、真空チャンバ2には、図3に示す
ように、この開口部7を開閉可能とし、隣接する真空チ
ャンバ2間を閉塞或いは解放するシャッタ8が配設され
ている。このシャッタ8は、開口部7を覆うに足る寸法
とされ、一端部に一対の駆動軸9が配設されている。こ
の駆動軸9は、図4に示すように、周囲をベローズ10
により囲われるとともに一端部をピストン11に取り付
けられている。すなわち、この駆動軸9は、真空チャン
バ2の外壁を貫通するように配設され、ピストン11が
取り付けられる一端部が真空チャンバ2の外方に位置
し、シャッタ8が取り付けられる他端部が真空チャンバ
2の内方に位置している。
ように、この開口部7を開閉可能とし、隣接する真空チ
ャンバ2間を閉塞或いは解放するシャッタ8が配設され
ている。このシャッタ8は、開口部7を覆うに足る寸法
とされ、一端部に一対の駆動軸9が配設されている。こ
の駆動軸9は、図4に示すように、周囲をベローズ10
により囲われるとともに一端部をピストン11に取り付
けられている。すなわち、この駆動軸9は、真空チャン
バ2の外壁を貫通するように配設され、ピストン11が
取り付けられる一端部が真空チャンバ2の外方に位置
し、シャッタ8が取り付けられる他端部が真空チャンバ
2の内方に位置している。
【0022】ここで、ベローズ10は、収縮自在とされ
た蛇腹部12と、この蛇腹部12の一方端部で真空チャ
ンバ2の外壁に接続するための取付具13と、蛇腹部1
2の他方端部でピストン11と接続するためのキャップ
部14とを備えている。このベローズ10は、蛇腹部1
2の伸縮によって、取付具13とキャップ部14との間
の距離を自在とすることができる。
た蛇腹部12と、この蛇腹部12の一方端部で真空チャ
ンバ2の外壁に接続するための取付具13と、蛇腹部1
2の他方端部でピストン11と接続するためのキャップ
部14とを備えている。このベローズ10は、蛇腹部1
2の伸縮によって、取付具13とキャップ部14との間
の距離を自在とすることができる。
【0023】この蛇腹部12は、例えば、ステンレス鋼
やAl等から形成される。この蛇腹部12は、外径が駆
動軸の外径よりもやや大とされ、伸長した状態での長さ
が駆動軸と略同寸法とされる。
やAl等から形成される。この蛇腹部12は、外径が駆
動軸の外径よりもやや大とされ、伸長した状態での長さ
が駆動軸と略同寸法とされる。
【0024】また、取付具13は、例えば、ステンレス
鋼やAl等の材料から形成される。この取付具13は、
一端部にフランジ部15を有し、他端部に蛇腹部12が
取り付けられるように略円筒状に形成されている。フラ
ンジ部15は、複数のボルト16を用いて真空チャンバ
2の外壁に対して取り付けられる。これにより、取付具
13を介して蛇腹部12が真空チャンバ2と連結される
こととなる。
鋼やAl等の材料から形成される。この取付具13は、
一端部にフランジ部15を有し、他端部に蛇腹部12が
取り付けられるように略円筒状に形成されている。フラ
ンジ部15は、複数のボルト16を用いて真空チャンバ
2の外壁に対して取り付けられる。これにより、取付具
13を介して蛇腹部12が真空チャンバ2と連結される
こととなる。
【0025】さらに、キャップ部14は、蛇腹部12の
他方端部を閉塞するために配され、蛇腹部12の他方端
部を閉塞するに足る寸法とされる。キャップ部14は、
略中心部にピストン11が挿入される開口穴17を有し
ている。ピストン11は、この開口穴17を介して駆動
軸9と連結している。また、キャップ部14において、
開口穴17と挿入されたピストン11との間は密閉する
ことができる。
他方端部を閉塞するために配され、蛇腹部12の他方端
部を閉塞するに足る寸法とされる。キャップ部14は、
略中心部にピストン11が挿入される開口穴17を有し
ている。ピストン11は、この開口穴17を介して駆動
軸9と連結している。また、キャップ部14において、
開口穴17と挿入されたピストン11との間は密閉する
ことができる。
【0026】このため、取付具13を真空チャンバ2の
外壁に取り付け、キャップ部14を蛇腹部12に取り付
けた状態では、真空チャンバ2内と蛇腹部12内とが連
結されるとともに密閉されることとなる。
外壁に取り付け、キャップ部14を蛇腹部12に取り付
けた状態では、真空チャンバ2内と蛇腹部12内とが連
結されるとともに密閉されることとなる。
【0027】このように構成された蒸着装置1は、例え
ば、円盤状の基板上に、第1の誘電体膜、光磁気記録
膜、第2の誘電体膜及び反射膜をこの順に成膜して光磁
気ディスク等を形成する際に使用される。このとき、蒸
着装置1では、先ず、第1の誘電体膜を第1の真空チャ
ンバ2a内で成膜し、その後、光磁気記録膜を第2の真
空チャンバ2b内で成膜し、第2の誘電体膜を第3の真
空チャンバ2c内で成膜し、反射膜を第4の真空チャン
バ2d内で成膜する。すなわち、この蒸着装置1では、
基板を複数の真空チャンバ2内に順次搬入して、各膜を
成膜している。
ば、円盤状の基板上に、第1の誘電体膜、光磁気記録
膜、第2の誘電体膜及び反射膜をこの順に成膜して光磁
気ディスク等を形成する際に使用される。このとき、蒸
着装置1では、先ず、第1の誘電体膜を第1の真空チャ
ンバ2a内で成膜し、その後、光磁気記録膜を第2の真
空チャンバ2b内で成膜し、第2の誘電体膜を第3の真
空チャンバ2c内で成膜し、反射膜を第4の真空チャン
バ2d内で成膜する。すなわち、この蒸着装置1では、
基板を複数の真空チャンバ2内に順次搬入して、各膜を
成膜している。
【0028】この基板の搬入の際、駆動軸9は、ピスト
ン11により駆動されてシャッタ8を移動させ、図5に
示すように、開口部7を開口させる。具体的に、例え
ば、第1の真空チャンバ2a内で第1の誘電体膜が成膜
された後、第1の真空チャンバ2a及び第2の真空チャ
ンバ2bの間のシャッタ8が駆動して、第1の真空チャ
ンバ2a及び第2の真空チャンバ2bの間を解放する。
その後、第1の誘電体膜が成膜された基板を第2の真空
チャンバ2内に搬入する。
ン11により駆動されてシャッタ8を移動させ、図5に
示すように、開口部7を開口させる。具体的に、例え
ば、第1の真空チャンバ2a内で第1の誘電体膜が成膜
された後、第1の真空チャンバ2a及び第2の真空チャ
ンバ2bの間のシャッタ8が駆動して、第1の真空チャ
ンバ2a及び第2の真空チャンバ2bの間を解放する。
その後、第1の誘電体膜が成膜された基板を第2の真空
チャンバ2内に搬入する。
【0029】その後、第1の真空チャンバ2a及び第2
の真空チャンバ2bの間のシャッタ8が開口部7を閉塞
して、第1の真空チャンバ2a及び第2の真空チャンバ
2bをそれぞれ独立させる。そして、第2の真空チャン
バ2b内で光磁気記録膜を成膜する。
の真空チャンバ2bの間のシャッタ8が開口部7を閉塞
して、第1の真空チャンバ2a及び第2の真空チャンバ
2bをそれぞれ独立させる。そして、第2の真空チャン
バ2b内で光磁気記録膜を成膜する。
【0030】以降同様に、各真空チャンバ2間を解放し
て基板の搬出及び搬入を行い、シャッタ8により各真空
チャンバ2を独立させて所定の膜を成膜する。このよう
に、蒸着装置1では、複数の膜を成膜するに際して、シ
ャッタ8が開口部7を閉塞或いは解放するように駆動す
る。なお、このとき、蒸着装置1では、複数の真空チャ
ンバ2内は所定の真空度に維持され、この真空度を維持
した状態で基板の移動を行っている。すなわち、上述し
たシャッタ8の開閉に際して、複数の真空チャンバ2内
は所定の真空度に維持されている。
て基板の搬出及び搬入を行い、シャッタ8により各真空
チャンバ2を独立させて所定の膜を成膜する。このよう
に、蒸着装置1では、複数の膜を成膜するに際して、シ
ャッタ8が開口部7を閉塞或いは解放するように駆動す
る。なお、このとき、蒸着装置1では、複数の真空チャ
ンバ2内は所定の真空度に維持され、この真空度を維持
した状態で基板の移動を行っている。すなわち、上述し
たシャッタ8の開閉に際して、複数の真空チャンバ2内
は所定の真空度に維持されている。
【0031】ところで、蒸着装置1では、複数の真空チ
ャンバ2内を、所望の真空度となるように正確に減圧す
る必要がある。すなわち、優れた膜質の薄膜を形成する
ためには、真空チャンバ2内を所望の高真空状態に維持
する必要がある。このため、蒸着装置1では、真空チャ
ンバ2内における気体の漏洩を検査する必要がある。上
述した蒸着装置1では、先ず、ベローズ10単独で気体
の漏洩検査を行っている。
ャンバ2内を、所望の真空度となるように正確に減圧す
る必要がある。すなわち、優れた膜質の薄膜を形成する
ためには、真空チャンバ2内を所望の高真空状態に維持
する必要がある。このため、蒸着装置1では、真空チャ
ンバ2内における気体の漏洩を検査する必要がある。上
述した蒸着装置1では、先ず、ベローズ10単独で気体
の漏洩検査を行っている。
【0032】次に、ベローズ10に対して気体の漏洩検
査を行う漏洩検査装置及び漏洩検査方法について説明す
る。
査を行う漏洩検査装置及び漏洩検査方法について説明す
る。
【0033】蒸着装置1に配設されるベローズ10は、
図6に示すような漏洩検査装置を用いて気体漏洩検査が
行われる。この漏洩検査装置は、上述したベローズ10
の取付具13を固定する固定部18と、固定部18に固
定されたベローズ10の先端部に配設される上部押さえ
部19と、ベローズ10内部と連結されたヘリウムリー
クディテクタ20とを備えている。また、この漏洩検査
装置は、ベローズ10の蛇腹部12を伸長させた際の長
さとほぼ同等の長さを有する中心軸21を有している。
さらに、この漏洩検査装置は、外方からベローズ10に
対してヘリウムガスを吹き付けるヘリウム供給部22を
有している。
図6に示すような漏洩検査装置を用いて気体漏洩検査が
行われる。この漏洩検査装置は、上述したベローズ10
の取付具13を固定する固定部18と、固定部18に固
定されたベローズ10の先端部に配設される上部押さえ
部19と、ベローズ10内部と連結されたヘリウムリー
クディテクタ20とを備えている。また、この漏洩検査
装置は、ベローズ10の蛇腹部12を伸長させた際の長
さとほぼ同等の長さを有する中心軸21を有している。
さらに、この漏洩検査装置は、外方からベローズ10に
対してヘリウムガスを吹き付けるヘリウム供給部22を
有している。
【0034】固定部18と取付具13とは、複数のボル
ト23により固定されている。また、固定部18の取付
具13と接する面には、Oリング24が配設されてい
る。したがって、固定部18と取付具13とは、Oリン
グ24を介して接するとともに複数のボルト23により
固定される。このため、固定部18と取付具13との間
は、確実に密閉されることとなる。また、固定部18に
は、ベローズ10を固定した状態で取付具13の中心穴
25と略同寸法の中心穴26が形成されている。このた
め、ベローズ10を固定すると、固定部18の中心穴2
6と取付具13の中心穴25とが重なることとなる。
ト23により固定されている。また、固定部18の取付
具13と接する面には、Oリング24が配設されてい
る。したがって、固定部18と取付具13とは、Oリン
グ24を介して接するとともに複数のボルト23により
固定される。このため、固定部18と取付具13との間
は、確実に密閉されることとなる。また、固定部18に
は、ベローズ10を固定した状態で取付具13の中心穴
25と略同寸法の中心穴26が形成されている。このた
め、ベローズ10を固定すると、固定部18の中心穴2
6と取付具13の中心穴25とが重なることとなる。
【0035】中心軸21は、固定部18の中心穴26に
嵌合することにより固定部18に取りつけられる。ま
た、中心軸21は、取付具13の中心穴25と固定部1
8の中心穴26とが重なるため、取付具13の中心穴2
5に嵌合することになる。
嵌合することにより固定部18に取りつけられる。ま
た、中心軸21は、取付具13の中心穴25と固定部1
8の中心穴26とが重なるため、取付具13の中心穴2
5に嵌合することになる。
【0036】また、中心軸21には、所定の高さまで切
欠き部27が形成されている。この切欠き部27は、中
心軸21の円周方向の一部に所定の幅で形成されてお
り、取付具13の上端を超えて蛇腹部12の内部に達す
る高さで形成されている。このため、蛇腹部12の内部
と固定部18の基端部とは、この切欠き部27を介して
空間的に連結されることとなる。
欠き部27が形成されている。この切欠き部27は、中
心軸21の円周方向の一部に所定の幅で形成されてお
り、取付具13の上端を超えて蛇腹部12の内部に達す
る高さで形成されている。このため、蛇腹部12の内部
と固定部18の基端部とは、この切欠き部27を介して
空間的に連結されることとなる。
【0037】さらに、上部押さえ部19は、中心軸21
の先端部に対して蛇腹部12の先端部を介してボルト2
8で取り付けられている。また、上部押さえ部19の蛇
腹部12と対向する面には、Oリング29が配設されて
いる。このため、上部押さえ部19が中心軸21の先端
部に取り付けられることによって、上部押さえ部19と
蛇腹部12の先端部との間は確実に密閉されることにな
る。
の先端部に対して蛇腹部12の先端部を介してボルト2
8で取り付けられている。また、上部押さえ部19の蛇
腹部12と対向する面には、Oリング29が配設されて
いる。このため、上部押さえ部19が中心軸21の先端
部に取り付けられることによって、上部押さえ部19と
蛇腹部12の先端部との間は確実に密閉されることにな
る。
【0038】一方、固定部18の基端部18aには、フ
レキシブルホース(図示せず。)を介してヘリウムリー
クディテクタ20が接続されている。したがって、ヘリ
ウムリークディテクタ20は、切欠き部27を介して蛇
腹部12の内部と空間的に連結されることとなる。ま
た、このヘリウムリークディテクタ20は、図示しない
が、吸気ポンプ及び検出器を有しており、この吸気ポン
プで蛇腹部12の内部を減圧するとともに吸気した気体
中のヘリウム濃度を検出器で検出することができる。
レキシブルホース(図示せず。)を介してヘリウムリー
クディテクタ20が接続されている。したがって、ヘリ
ウムリークディテクタ20は、切欠き部27を介して蛇
腹部12の内部と空間的に連結されることとなる。ま
た、このヘリウムリークディテクタ20は、図示しない
が、吸気ポンプ及び検出器を有しており、この吸気ポン
プで蛇腹部12の内部を減圧するとともに吸気した気体
中のヘリウム濃度を検出器で検出することができる。
【0039】また、漏洩検査装置において、ヘリウム供
給部22は、ヘリウムガスを噴射する噴射口30を備
え、この噴射口30から所定の濃度のヘリウムガスを噴
射することができる。
給部22は、ヘリウムガスを噴射する噴射口30を備
え、この噴射口30から所定の濃度のヘリウムガスを噴
射することができる。
【0040】以上のように構成された漏洩検査装置で
は、先ず、検査対象となる蒸着装置1の真空チャンバ2
からベローズ10を取り外した後、取り外したベローズ
10の取付具13を固定部18に固定する。このとき、
固定部18には、予め中心軸21を配設しておき、この
中心軸21に沿って蛇腹部12を伸長させた状態でベロ
ーズ10を取り付ける。また、このとき、ベローズ10
を確実に固定するとともに蛇腹部12内を密閉するた
め、中心軸21の先端部に上部押さえ部19を取り付け
る。
は、先ず、検査対象となる蒸着装置1の真空チャンバ2
からベローズ10を取り外した後、取り外したベローズ
10の取付具13を固定部18に固定する。このとき、
固定部18には、予め中心軸21を配設しておき、この
中心軸21に沿って蛇腹部12を伸長させた状態でベロ
ーズ10を取り付ける。また、このとき、ベローズ10
を確実に固定するとともに蛇腹部12内を密閉するた
め、中心軸21の先端部に上部押さえ部19を取り付け
る。
【0041】次に、ヘリウムリークディテクタ20の吸
引ポンプを駆動して、蛇腹部12内を真空状態とする。
このとき、蛇腹部12の内部は、切欠き部27を介して
ヘリウムリークディテクタ20と連結されているため、
吸引ポンプにより減圧されることになる。また、この漏
洩検査装置では、蛇腹部12が中心軸21に沿って伸長
されているため、蛇腹部12内が真空状態とされても蛇
腹部12を収縮してしまうようなことが防止される。
引ポンプを駆動して、蛇腹部12内を真空状態とする。
このとき、蛇腹部12の内部は、切欠き部27を介して
ヘリウムリークディテクタ20と連結されているため、
吸引ポンプにより減圧されることになる。また、この漏
洩検査装置では、蛇腹部12が中心軸21に沿って伸長
されているため、蛇腹部12内が真空状態とされても蛇
腹部12を収縮してしまうようなことが防止される。
【0042】次に、所定の濃度のヘリウムガスを、ヘリ
ウム供給部22の噴射口30からベローズ10に対して
吹き付ける。このとき、噴射口30からは、ヘリウムガ
スがベローズ10の全体に対して満遍なく吹き付けられ
ることが好ましい。このように、ヘリウムガスをベロー
ズ10に対して吹き付けた状態で、ヘリウムリークディ
テクタ20を駆動させる。
ウム供給部22の噴射口30からベローズ10に対して
吹き付ける。このとき、噴射口30からは、ヘリウムガ
スがベローズ10の全体に対して満遍なく吹き付けられ
ることが好ましい。このように、ヘリウムガスをベロー
ズ10に対して吹き付けた状態で、ヘリウムリークディ
テクタ20を駆動させる。
【0043】これにより、ベローズ10の外方に存在す
るヘリウムガスのうち、ベローズ10の内側に漏洩した
ヘリウムガスをヘリウムリークディテクタ20の検出器
により検出することができる。すなわち、ヘリウムリー
クディテクタ20の検出器によりヘリウムが検出される
と、そのベローズ10は、亀裂等の気体が漏洩する箇所
を有しており、所定の真空度を維持できないものである
と判明する。逆に、ヘリウムリークディテクタ20の検
出器によりヘリウムガスが検出されない場合には、その
ベローズ10は、気体が漏洩することなく、所定の真空
度を維持できるものであると判明する。このように、漏
洩検査装置では、ベローズ10における気体漏洩の有無
を確実に検査することができる。
るヘリウムガスのうち、ベローズ10の内側に漏洩した
ヘリウムガスをヘリウムリークディテクタ20の検出器
により検出することができる。すなわち、ヘリウムリー
クディテクタ20の検出器によりヘリウムが検出される
と、そのベローズ10は、亀裂等の気体が漏洩する箇所
を有しており、所定の真空度を維持できないものである
と判明する。逆に、ヘリウムリークディテクタ20の検
出器によりヘリウムガスが検出されない場合には、その
ベローズ10は、気体が漏洩することなく、所定の真空
度を維持できるものであると判明する。このように、漏
洩検査装置では、ベローズ10における気体漏洩の有無
を確実に検査することができる。
【0044】特に、この漏洩検査装置では、蛇腹部12
を伸長させた状態でベローズ10を配設しているため、
蛇腹部12に亀裂があるような場合でも、ヘリウムが確
実に蛇腹部12内に漏洩する。仮に、蛇腹部12が収縮
した状態では、亀裂があったとしても、当該亀裂が周囲
と密着してしまい、ヘリウムが蛇腹部12内に漏洩でき
なくなる虞がある。しかしながら、この漏洩検査装置で
は、蛇腹部12を伸長させているためにヘリウムが確実
に蛇腹部12内に漏洩し、非常に小さな亀裂をも検出す
ることができる。
を伸長させた状態でベローズ10を配設しているため、
蛇腹部12に亀裂があるような場合でも、ヘリウムが確
実に蛇腹部12内に漏洩する。仮に、蛇腹部12が収縮
した状態では、亀裂があったとしても、当該亀裂が周囲
と密着してしまい、ヘリウムが蛇腹部12内に漏洩でき
なくなる虞がある。しかしながら、この漏洩検査装置で
は、蛇腹部12を伸長させているためにヘリウムが確実
に蛇腹部12内に漏洩し、非常に小さな亀裂をも検出す
ることができる。
【0045】そして、この漏洩検査装置により気体の漏
洩が無いと判別されたベローズ10は、再び蒸着装置1
の真空チャンバ2に配設される。また、この漏洩検査装
置により気体の漏洩が有ると判別されたベローズ10
は、蒸着装置1には用いられず、漏洩箇所の修理或いは
交換が行われ、再度、漏洩検査装置により気体の漏洩が
検査される。
洩が無いと判別されたベローズ10は、再び蒸着装置1
の真空チャンバ2に配設される。また、この漏洩検査装
置により気体の漏洩が有ると判別されたベローズ10
は、蒸着装置1には用いられず、漏洩箇所の修理或いは
交換が行われ、再度、漏洩検査装置により気体の漏洩が
検査される。
【0046】ところで、上述した蒸着装置1では、基板
の搬出及び搬入の際にシャッタ8を駆動して開口部7の
開閉動作を行っていた。このシャッタ8は、ピストン1
1に連動した駆動軸9が駆動されることによって開閉動
作を行う。ベローズ10は、駆動軸9を囲うように配設
されているため、シャッタ8の開閉動作に伴って蛇腹部
12の伸縮が繰り返し行われることとなる。このため、
ベローズ10の蛇腹部12は、伸縮が繰り返されること
により劣化し易く、亀裂等が形成されやすい。したがっ
て、ベローズ10は、真空チャンバ2の真空を破る原因
となりやすい。
の搬出及び搬入の際にシャッタ8を駆動して開口部7の
開閉動作を行っていた。このシャッタ8は、ピストン1
1に連動した駆動軸9が駆動されることによって開閉動
作を行う。ベローズ10は、駆動軸9を囲うように配設
されているため、シャッタ8の開閉動作に伴って蛇腹部
12の伸縮が繰り返し行われることとなる。このため、
ベローズ10の蛇腹部12は、伸縮が繰り返されること
により劣化し易く、亀裂等が形成されやすい。したがっ
て、ベローズ10は、真空チャンバ2の真空を破る原因
となりやすい。
【0047】しかしながら、漏洩検査装置を用いて、先
ず、ベローズ10単独の漏洩検査を行い、気体漏洩の虞
のないベローズ10を使用することによって、蒸着装置
1では、ベローズ10に起因する気体漏洩を確実に防止
することができる。言い換えると、蒸着装置1では、密
閉性に優れたベローズ10を、漏洩装置により選択して
使用することができるため、真空チャンバ2内を所望の
真空度に維持することができる。
ず、ベローズ10単独の漏洩検査を行い、気体漏洩の虞
のないベローズ10を使用することによって、蒸着装置
1では、ベローズ10に起因する気体漏洩を確実に防止
することができる。言い換えると、蒸着装置1では、密
閉性に優れたベローズ10を、漏洩装置により選択して
使用することができるため、真空チャンバ2内を所望の
真空度に維持することができる。
【0048】また、蒸着装置1では、真空チャンバ2内
を減圧して真空状態とした後に真空チャンバ2内の気体
漏洩検査を行った場合、ベローズ10からの気体漏洩が
無いため、真空チャンバ2内に気体漏洩が生じてしまう
といった不良の発生率が減少することになる。したがっ
て、この漏洩検査装置によれば、一旦、真空チャンバ2
の真空状態を解放して大気圧に戻し、気体が漏洩する箇
所を修理或いは交換するといった作業が減少する。この
ため、この気体漏洩装置及び気体漏洩検査方法によれ
ば、蒸着装置1を用いた成膜の作業性が大幅に向上する
こととなる。
を減圧して真空状態とした後に真空チャンバ2内の気体
漏洩検査を行った場合、ベローズ10からの気体漏洩が
無いため、真空チャンバ2内に気体漏洩が生じてしまう
といった不良の発生率が減少することになる。したがっ
て、この漏洩検査装置によれば、一旦、真空チャンバ2
の真空状態を解放して大気圧に戻し、気体が漏洩する箇
所を修理或いは交換するといった作業が減少する。この
ため、この気体漏洩装置及び気体漏洩検査方法によれ
ば、蒸着装置1を用いた成膜の作業性が大幅に向上する
こととなる。
【0049】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る漏洩検査装置及び漏洩検査方法では、薄膜形成装置
に用いられるベローズに対して単独で気体の漏洩検査を
行う。このため、この漏洩検査装置及び漏洩検査方法に
よれば、真空チャンバ内の真空を破る原因としてベロー
ズを考慮する必要が無くなり、当該真空チャンバにおけ
る気体の漏洩の発生率を減少させることができる。した
がって、本発明よれば、複数の真空チャンバ内における
気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出するこ
とができる。
係る漏洩検査装置及び漏洩検査方法では、薄膜形成装置
に用いられるベローズに対して単独で気体の漏洩検査を
行う。このため、この漏洩検査装置及び漏洩検査方法に
よれば、真空チャンバ内の真空を破る原因としてベロー
ズを考慮する必要が無くなり、当該真空チャンバにおけ
る気体の漏洩の発生率を減少させることができる。した
がって、本発明よれば、複数の真空チャンバ内における
気体の漏洩を確実に、且つ、優れた作業性で検出するこ
とができる。
【図1】蒸着装置の要部正面図である
【図2】蒸着装置の要部側面図である。
【図3】真空チャンバに形成された開口部をシャッタに
より閉塞した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。
より閉塞した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。
【図4】駆動軸を覆うベローズを示す真空チャンバの要
部断面図である。
部断面図である。
【図5】真空チャンバに形成された開口部をシャッタに
より開放した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。
より開放した状態を示す真空チャンバの要部平面図であ
る。
【図6】漏洩検査装置の要部断面図である。
1 蒸着装置、2 真空チャンバ、8 シャッタ、9
駆動軸、10 ベローズ、11 ピストン、12 蛇腹
部、13 取付具、14 キャップ部、18 固定部、
19 上部押さえ部、20 ヘリウムリークディテク
タ、21 中心軸、22 ヘリウム供給部
駆動軸、10 ベローズ、11 ピストン、12 蛇腹
部、13 取付具、14 キャップ部、18 固定部、
19 上部押さえ部、20 ヘリウムリークディテク
タ、21 中心軸、22 ヘリウム供給部
Claims (5)
- 【請求項1】 シャッタ手段を介して隣接して配設され
た複数の真空チャンバを有する薄膜形成装置に用いら
れ、上記複数の真空チャンバ間を閉塞する方向又は解放
する方向に上記シャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲う
ように真空チャンバの外面に配設されるベローズと、 上記ベローズの一方端部に接続され、上記ベローズ内部
に漏洩した気体を検出する気体検出手段と、 上記ベローズの他方端部に取り付けられた端部キャップ
とを備え、 上記ベローズは、上記気体検出手段に接続されるととも
に上記端部キャップが取り付けられることによって、上
記ベローズの内部が密閉されることを特徴とする漏洩検
査装置。 - 【請求項2】 上記気体検出装置が接続される上記ベロ
ーズの一方端部には、薄膜形成装置に取り付けられるフ
ランジ部を有する取付具が配設されたことを特徴とする
請求項1記載の漏洩検査装置。 - 【請求項3】 上記ベローズ内部には、上記ベローズを
伸長させた寸法に相当する長さの軸が配設され、上記ベ
ローズを当該軸に沿って伸長させた状態とさせることを
特徴とする請求項1記載の漏洩検査装置。 - 【請求項4】 シャッタ手段を介して隣接して配設され
た複数の真空チャンバを有する薄膜形成装置に用いら
れ、上記複数の真空チャンバ間を閉塞する方向又は解放
する方向に上記シャッタ手段を駆動させる駆動軸を囲う
ように真空チャンバの外面に配設されるベローズを上記
薄膜形成装置から取り外し、 上記ベローズの一方端部に気体検出手段を接続するとと
もに、上記ベローズの他方端部を端部キャップにより閉
塞し、 上記ベローズの外部に供給されたガスのうち上記ベロー
ズの内部に漏洩したガスを上記気体検出手段により検出
することによって、上記ベローズの破損を検知すること
を特徴とする漏洩検査方法。 - 【請求項5】 上記ベローズを伸長させた状態で、上記
ベローズの破損を検知することを特徴とする請求項4記
載の漏洩検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11195039A JP2001021436A (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | 漏洩検査装置及び漏洩検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11195039A JP2001021436A (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | 漏洩検査装置及び漏洩検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021436A true JP2001021436A (ja) | 2001-01-26 |
Family
ID=16334534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11195039A Withdrawn JP2001021436A (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | 漏洩検査装置及び漏洩検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001021436A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100689865B1 (ko) | 2006-01-27 | 2007-03-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 설비용 벨로우즈의 리크 체크용 고정 지그 및 리크체크 장치 |
KR101175793B1 (ko) | 2010-03-30 | 2012-08-21 | 현대제철 주식회사 | 벨로우즈 지지 장치 |
CN106441721A (zh) * | 2016-11-01 | 2017-02-22 | 成都美富特膜科技有限公司 | 用于测试过滤元件密封性能的装置及系统 |
CN115112308A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-09-27 | 吴江兴业橡胶有限公司 | 一种橡胶管气密性检测装置 |
-
1999
- 1999-07-08 JP JP11195039A patent/JP2001021436A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100689865B1 (ko) | 2006-01-27 | 2007-03-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 설비용 벨로우즈의 리크 체크용 고정 지그 및 리크체크 장치 |
KR101175793B1 (ko) | 2010-03-30 | 2012-08-21 | 현대제철 주식회사 | 벨로우즈 지지 장치 |
CN106441721A (zh) * | 2016-11-01 | 2017-02-22 | 成都美富特膜科技有限公司 | 用于测试过滤元件密封性能的装置及系统 |
CN115112308A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-09-27 | 吴江兴业橡胶有限公司 | 一种橡胶管气密性检测装置 |
CN115112308B (zh) * | 2022-07-26 | 2022-11-11 | 吴江兴业橡胶有限公司 | 一种橡胶管气密性检测装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061003 |