JP2001021422A - 静電容量型荷重センサ - Google Patents

静電容量型荷重センサ

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JP2001021422A
JP2001021422A JP11197354A JP19735499A JP2001021422A JP 2001021422 A JP2001021422 A JP 2001021422A JP 11197354 A JP11197354 A JP 11197354A JP 19735499 A JP19735499 A JP 19735499A JP 2001021422 A JP2001021422 A JP 2001021422A
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JP
Japan
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electrode
load sensor
electrode body
electrode bodies
bodies
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JP11197354A
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English (en)
Inventor
Ken Koyata
憲 小八田
Hideo Morimoto
森本  英夫
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Furukawa Electric Co Ltd
Nitta Corp
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Nitta Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極体間の対向間隔を狭くしてその検出感度
を高めた小型で簡易な構造の静電容量型荷重センサを提
供する。 【解決手段】 第1および第2の電極体11,12の少
なくとも一方に、その周縁部を折り曲げ加工する等して
所定高さの段部12bを設け、これらの電極体の間に形
成される第3の電極体13の収納空間の間隙を簡易にし
て精度良く規定することで第3の電極体を挟む絶縁体を
薄くし、また金属スペーサを不要として構造の簡素化を
図る。また第3の電極体の周縁部に脚部をなす支持部1
3aを設け、これらの支持部の表裏面に設けた絶縁体を
第2の電極体の縁部に係合させて位置決めすると共に、
絶縁体を介して第1および第2の電極体間に挟み込むこ
とで、その組み立ての容易化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、小型で荷重検出感
度の高い静電容量型荷重センサに関する。
【0002】
【関連する背景技術】静電容量型荷重センサは、基本的
には微小な間隙を隔てて対向配置される2枚の円盤状の
金属板からなる一対の電極体(第1および第2の電極
体)によりコンデンサを形成した構造をなす。そして荷
重を受けて撓みを生じる前記電極体間の距離変化、ひい
ては一対の電極体により形成されるコンデンサの静電容
量の変化から上記荷重を計測する如く機能する。また最
近では、例えば図3および図4にその分解斜視図と断面
図とをそれぞれ示すように、第1および第2の電極体
1,2間に第3の電極体3を配置し、この第3の電極体
3との間にそれぞれコンデンサを形成してその検出感度
の向上を図ることも行われている。
【0003】即ち、図3および図4に示す静電容量型荷
重センサの第1および第2の電極体1,2は、例えば正
方形状の板体からなり、また第3の電極体3は円盤状の
板体からなる。この第3の電極体3は、その周縁部を円
環状の絶縁スペーサ4,5にて挟み込まれ、その周囲に
配置される金属スペーサ6と共に前記第1および第2の
電極体1,2間に挟み込まれることで、電極体1,2とそ
れぞれ絶縁されて該電極体1,2間に平行に配置され
る。尚、電極体1,2は、例えばその四隅をリベット7
にてかしめることで一体化される。また図中8,9は、
第1および第2の電極体1,2の表面中心部に溶接され
た加圧体である。
【0004】ちなみに前記第1〜第3の電極体1,2,3
は、鉄やステンレス鋼等の金属材からなり、また絶縁ス
ペーサ4,5は、例えばPOM(ポリオキシメチレ
ン),PI(ポリイミド),PEN(ポリエチレンナフ
タレート)等の絶縁性の高いエンジニアリングプラスチ
ックからなる。また金属スペーサ6は、第1および第2
の電極体1,2間の対向間隔を正確に規定し、また第1
および第2の電極体1,2間に加わる過大な荷重による
絶縁スペーサ4,5の破損を防止する役割を担う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところでこの種の静電
容量型荷重センサにおける検出精度を高めるには、一対
の電極板1,2に加わる押圧力(荷重)に対する静電容
量の変化を大きくすれば良い。しかし荷重に対する電極
板1,2の撓み量を大きくした場合、例えばその撓みが
弾性限界を越えて塑性変形が生じ、それ以降の測定に支
障を来すことになる。またその撓みによって第3の電極
体3と接触し、その絶縁が損なわれる虞があるので撓み
量を大きくするには限度がある。また一対の電極間の対
向面積を広く設定することも考えられるが、荷重センサ
が大型化することが否めない。
【0006】これに対して電極1,2,3間の対向間隔d
を狭くすることが考えられる。しかしながら第3の電極
板3の周縁部に装着される絶縁スペーサ4,5の厚みを
薄くしようとしても製造上の限界がある。また仮に絶縁
スペーサ4,5の厚みを十分に薄くしたとしても、これ
に対応して薄く形成される金属スペーサ6との位置合わ
せ等、静電容量型荷重センサを組み立てる上で精密な作
業を必要とし、その組み立て精度が問題となり易い。こ
の為、電極1,2,3間の対向間隔dを狭くして検出感度
を高めるにも問題があった。
【0007】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、特に電極体間の対向間隔を狭く
してその検出感度を高めた小型で簡易な構造の静電容量
型荷重センサを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係る静電容量型荷重センサは、所定の間隔
を隔てて平行に設けられる第1および第2の電極体と、
これらの電極体とそれぞれ絶縁されて各電極体の間に平
行に設けられる第3の電極体とを備えたものであって、
特に前記第1および第2の電極体の少なくとも一方に、
その周縁部を折り曲げ加工する等して所定高さの段部を
設け、この段部にて第1および第2の電極体を互いに接
合することで第1および第2の電極体の間に前記第3の
電極体を収納する空間を形成することを特徴としてい
る。
【0009】即ち、本発明に係る静電容量型荷重センサ
は、第1および第2の電極体の少なくとも一方に、その
周縁部を折り曲げ加工する等して所定高さの段部を設け
ることで、第1および第2の電極体の間に形成されて第
3の電極体を収納する空間の間隙を簡易にして精度良く
規定し、またこの空間内に絶縁体を介して配置される第
3の電極体の配置位置を規定するようにしたことを特徴
としている。そして金属スペーサを不要として構造の簡
素化を図ると共に、その組み立ての容易化を図りなが
ら、電極間の対向配置される間隙を狭くしたことを特徴
としている。
【0010】また本発明は請求項2に記載するように第
3の電極体の周縁部に略等間隔に複数の支持部を設け、
これらの支持部の表裏面にそれぞれ設けた、例えばフィ
ルム状の薄い絶縁体を介して該第3の電極体を前記第1
および第2の電極体間に挟持することを特徴としてい
る。更に請求項3に記載するように前記各支持部を、一
方向に折り曲げられて脚部をなす構造とし、これらの各
支持部(脚部)を、その裏面に設けた絶縁体を介して第
1または第2の電極体の縁部に係合させることで第3の
電極体を位置決めして、前記第1および第2の電極体の
間に組み込むことを特徴としている。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態に係る静電容量型荷重センサについて説明す
る。図1はこの実施形態に係る静電容量型荷重センサの
全体構造を示す分解斜視図であり、図2はその要部の断
面構造を示す図である。この静電容量型荷重センサは、
正方形状の第1および第2の電極体11,12と、これ
らの電極体11,12間に配置される円盤状の第3の電
極体13とを主体として構成される。これらの各電極体
11,12,13は、それぞれ所定の厚みの鉄やステンレ
ス鋼等の金属材からなる。
【0012】第3の電極体13は、第1および第2の電
極体11,12の一辺の長さよりも若干小径の直径を有
するもので、その周縁部には略等角度間隔に、具体的に
は前記電極体11,12の各辺に対応させて4つの支持
部13aが90°間隔に突出形成されている。特にこれ
らの各支持部13aは、一方向に略直角をなして折曲さ
れて脚部を形成している。そしてこれらの各支持部13
aの表裏面には、その先端部を除いてフィルム状の絶縁
体14,15がそれぞれ貼付されている。
【0013】一方、第1の電極体11は、平板体として
実現される。これに対して第2の電極体12は、その辺
部中央に第3の電極体13の支持部13aが嵌め込まれ
る凹状の切欠き12aを有している。また第2の電極体
12の四隅は、該第2の電極体12の主面と平行に形成
された所定の高さの略三角形状の段部12bをなして折
曲加工されている。これらの各段部12bは、第2の電
極体12をプレス加工する等して形成されるもので前記
第1の電極体11との接合部をなし、また第1および第
2の電極体11,12間に前記第3の電極体13を収容
するための所定の間隙の空間を形成する役割を担う。ち
なみに段部12bの高さは、前記第3の電極体13の厚
みに、支持部13aの表裏面にそれぞれ貼付される絶縁
体14,15の厚みを加えた高さとして設定される。
尚、第1および第2の電極体11,12の各中央部に
は、丸棒状の加圧体16,17が溶接等によってそれぞ
れ取り付けられる。
【0014】このような第1〜第3の電極体11,12,
13からなる静電容量型荷重センサの組み立ては、前記
各段部12bにより囲まれる第2の電極体12の主面上
に第3の電極体13を位置付け、該第3の電極体13の
各支持部(脚部)13aを第2の電極体12の切欠き1
2aにそれぞれ嵌め込む。そして各支持部(脚部)13
aの裏面に貼付された絶縁体15を介して各支持部(脚
部)13aを切欠き12aの縁部に係合させることで、
第2の電極体12に対して第3の電極体13の装着位置
を位置決めする。この状態で第3の電極体13の上から
第1の電極体11を覆い被せ、第1および第2の電極体
11,12の各隅部に設けられた穴部11a,12cにリ
ベット18を挿通させ、これらのリベット18をかしめ
ることでこれらを一体化する。
【0015】かくしてこのようにして組み立てられる静
電容量型荷重センサによれば、図2にその組み立て構造
を示すように、第3の電極体13はその支持部13aの
表裏面に貼付された絶縁体14,15を介して第1およ
び第2の電極体11,12に対してそれぞれ絶縁され
て、これらの電極体11,12間に挟持される。そして
第3の電極体13は、上記各絶縁体14,15の厚みに
より第1および第2の電極体11,12との対向間隙が
規定される。また第3の電極体13は、前述した支持部
13aと切欠き12aの縁部との係合により位置決めさ
れているので、面方向にずれることはない。従って簡単
な組み立て作業だけで、第1〜第3の電極体11,12,
13を互いに高精度に位置決めすることができ、所要の
性能を発揮させることができる。
【0016】また前述したように第1および第2の電極
体11,12の対向間隙は、段部12bの高さにより高
精度に設定することができる。更には電極体11,12
の間に配置される第3の電極体13の前記第1および第
2の電極体11,12にそれぞれ対する対向間隙は、支
持部13aの表裏面にそれぞれ貼付された絶縁体14,
15の厚みにて高精度に規定されるので、例えば絶縁体
14,15を絶縁性の接着剤を印刷することで、或いは
絶縁性フィルムを貼付することで形成すればその厚みを
十分に薄くすることができる。従って電極間間隔dを十
分に狭くした高感度な静電容量型荷重センサを実現する
ことができる。
【0017】更に前述した構造によれば、従来の金属ス
ペーサが不要であり、その部品点数の削減を図ることが
できる上、段部12bにて絶縁体14,15の破損を防
止することができる。しかも金属スペーサの内側に穿た
れた空間部に第3の電極体を嵌め込む必要がないので、
その組み立て作業性の大幅な向上を図ることができる。
更には脚部をなす支持部13aをそのまま第3の電極体
13のリード体として用い、第1および第2の電極体1
1,12を接合一体化して該電極体11,12のリード体
として用いるリベット18と共に、例えばプリント回路
基板との接続部をなすようにすることで、その電気的接
続の簡易化を図り得る等の効果も奏せられる。
【0018】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではない。例えば第1〜第3の電極体11,12,
13の厚みや絶縁体14,15の厚み等は、計測対象と
する荷重に応じて設定すれば良いものである。また第1
の電極体11の四隅にも段部を設け、この段部と第2の
電極体12に設けた段部12bとを互いに接合させるよ
うに構成することも可能である。この場合、各段部の高
さを、第1および第2の電極体11,12間の対向間隙
の1/2に設定しておけば、第1および第2の電極体1
1,12の部品としての共通化を図ることが可能とな
る。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することが可能である。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、対
向配置される第1および第2の電極体の一方にその対向
間隔を規定する段部を設け、この段部によって形成され
る第1および第2の電極体間の間隙をなす空間部に第3
の電極体を配置するので、絶縁スペーサを用いて電極体
間の間隙を調整する必要がなく、従って第3の電極体の
周縁部に設ける絶縁体を十分に薄くして各電極体間の間
隙を狭く設定することができる。しかもその構造の簡素
化を図ると共に、その組み立ての容易化を図り、高感度
な静電容量型荷重センサを実現することができる。
【0020】また第3の電極体の周縁部に設けた支持部
を折り曲げて脚部とし、これらの脚部を絶縁体を介して
第1または第2の電極体の縁部に係合させてその位置決
めを行うので、その組み立て構造の大幅な簡易化を図り
得る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る静電容量型荷重セン
サの全体的な概略構成を示す分解斜視図。
【図2】図1に示す静電容量型荷重センサの組み立て構
造を示す要部断面図。
【図3】従来の静電容量型荷重センサの全体的な概略構
成を示す分解斜視図。
【図4】図3に示す静電容量型荷重センサの組み立て構
造を示す要部断面図。
【符号の説明】
11 第1の電極体 12 第2の電極体 12a 凹状の切欠き 12b 段部 13 第3の電極体 13a 支持部(脚部) 14,15 絶縁体 16,17 加圧体 18 リベット

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の間隔を隔てて平行に設けられる第
    1および第2の電極体と、これらの電極体とそれぞれ絶
    縁されて各電極体の間に平行に設けられる第3の電極体
    とを備え、 前記第1および第2の電極体の少なくとも一方は、その
    周縁部に所定高さの段部を備え、これらの段部にて互い
    に接合されて第1および第2の電極体の間に前記第3の
    電極体を収納する空間を形成してなることを特徴とする
    静電容量型荷重センサ。
  2. 【請求項2】 前記第3の電極体は、その周縁部に略等
    間隔に複数の支持部を備え、これらの支持部の表裏面に
    それぞれ設けられた絶縁体を介して前記第1および第2
    の電極体間に挟持されることを特徴とする請求項1に記
    載の静電容量型荷重センサ。
  3. 【請求項3】 前記支持部は、一方向に折り曲げられて
    脚部をなし、その裏面に設けられた絶縁体を介して第1
    または第2の電極体の縁部に係合して位置決めされて前
    記第1および第2の電極体の間に組み込まれることを特
    徴とする請求項2に記載の静電容量型荷重センサ。
JP11197354A 1999-07-12 1999-07-12 静電容量型荷重センサ Pending JP2001021422A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514946A (ja) * 2003-12-17 2007-06-07 アイイーイー インターナショナル エレクトロニクス アンド エンジニアリング エス.エイ. シート占有分類装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514946A (ja) * 2003-12-17 2007-06-07 アイイーイー インターナショナル エレクトロニクス アンド エンジニアリング エス.エイ. シート占有分類装置

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