JP2001019461A - 光ファイバプリフォームの製造方法及び製造装置 - Google Patents
光ファイバプリフォームの製造方法及び製造装置Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、光ファイバプリフォームを製造す
るにあたり、中間処理工程で生じる特性の変化を防止
し、安定した特性の光ファイバプリフォームを製造する
ことを目的とする。 【解決手段】 コア用バーナ２から出発母材Ｓに向けて
ドーパントを含む光ファイバ原料を吹付けて軸方向にコ
ア母材を堆積し、クラッド用バーナ３から光ファイバ原
料を吹付けてクラッド母材を堆積した後、脱水、焼結し
て光ファイバプリフォームを製造し、この工程を繰返す
ような製造方法において、製造した光ファイバプリフォ
ームのコア母材の屈折率分布をプリフォームアナライザ
７で測定し、シーケンサ６で測定した屈折率差と目標の
屈折率差との差を求め、この差をドーパント供給量の補
正値に変換するとともに、この補正値に基づいて調整器
５を介して次回の製造工程のドーパントの供給量を補正
する。
るにあたり、中間処理工程で生じる特性の変化を防止
し、安定した特性の光ファイバプリフォームを製造する
ことを目的とする。 【解決手段】 コア用バーナ２から出発母材Ｓに向けて
ドーパントを含む光ファイバ原料を吹付けて軸方向にコ
ア母材を堆積し、クラッド用バーナ３から光ファイバ原
料を吹付けてクラッド母材を堆積した後、脱水、焼結し
て光ファイバプリフォームを製造し、この工程を繰返す
ような製造方法において、製造した光ファイバプリフォ
ームのコア母材の屈折率分布をプリフォームアナライザ
７で測定し、シーケンサ６で測定した屈折率差と目標の
屈折率差との差を求め、この差をドーパント供給量の補
正値に変換するとともに、この補正値に基づいて調整器
５を介して次回の製造工程のドーパントの供給量を補正
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば気相軸付け
法（ＶＡＤ法）によって光ファイバプリフォームを製造
する技術に関する。
法（ＶＡＤ法）によって光ファイバプリフォームを製造
する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、気相軸付け法（ＶＡＤ法）による
光ファイバプリフォームの製造は、石英棒等の出発母材
を回転させつつ、下方のコア用バーナによって石英棒の
軸方向にコア母材を堆積した後、クラッド用バーナによ
ってこの周囲にクラッド母材を堆積し、その後、脱水、
焼結して光ファイバプリフォームを製造するようにして
いるが、焼結後のコア母材とクラッド母材の間に所望の
屈折率差を持たせたり、焼結後のコア母材に所望の屈折
率分布を形成するために、コア母材またはクラッド母材
に屈折率調整用のドーパントを添加するようにしてい
る。この際、コア母材に添加されるドーパントは、例え
ば石英系ガラス（ＳｉＯ2）の場合、酸化ゲルマニウム
（ＧｅＯ2 ）、酸化リン（Ｐ2 Ｏ5 ）、酸化アルミニウ
ム（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の屈折率を高める材料が使用される
ことが多く、またクラッド母材に添加されるドーパント
としては、酸化ほう素（Ｂ2 Ｏ3 ）、Ｆ（フッ素）等の
屈折率を低める材料が使用されることが多いが、ドーパ
ントの添加量によって屈折率が変わるため、供給量を調
整しながら添加するようにしている。
光ファイバプリフォームの製造は、石英棒等の出発母材
を回転させつつ、下方のコア用バーナによって石英棒の
軸方向にコア母材を堆積した後、クラッド用バーナによ
ってこの周囲にクラッド母材を堆積し、その後、脱水、
焼結して光ファイバプリフォームを製造するようにして
いるが、焼結後のコア母材とクラッド母材の間に所望の
屈折率差を持たせたり、焼結後のコア母材に所望の屈折
率分布を形成するために、コア母材またはクラッド母材
に屈折率調整用のドーパントを添加するようにしてい
る。この際、コア母材に添加されるドーパントは、例え
ば石英系ガラス（ＳｉＯ2）の場合、酸化ゲルマニウム
（ＧｅＯ2 ）、酸化リン（Ｐ2 Ｏ5 ）、酸化アルミニウ
ム（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の屈折率を高める材料が使用される
ことが多く、またクラッド母材に添加されるドーパント
としては、酸化ほう素（Ｂ2 Ｏ3 ）、Ｆ（フッ素）等の
屈折率を低める材料が使用されることが多いが、ドーパ
ントの添加量によって屈折率が変わるため、供給量を調
整しながら添加するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ドーパント
の供給量を適正に調整しても、例えばその後の脱水、焼
結工程で使用する炉芯管が劣化する等によって加熱温度
が変化すると、屈折率に変化を与える等の影響があり、
中間処理工程で特性にばらつきが生じるという問題があ
った。
の供給量を適正に調整しても、例えばその後の脱水、焼
結工程で使用する炉芯管が劣化する等によって加熱温度
が変化すると、屈折率に変化を与える等の影響があり、
中間処理工程で特性にばらつきが生じるという問題があ
った。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みなされたもので
あり、その目的は、主として中間処理工程で生じる特性
の変化を防止し、安定した特性の光ファイバプリフォー
ムを製造することにある。
あり、その目的は、主として中間処理工程で生じる特性
の変化を防止し、安定した特性の光ファイバプリフォー
ムを製造することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、請求項１において、バーナからドーパントを
含む光ファイバ原料を出発母材に向けて吹付けて軸方向
に光ファイバ母材を堆積した後、脱水、焼結して光ファ
イバプリフォームを製造し、この工程を繰返すようにし
た製造方法において、製造した光ファイバプリフォーム
のドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測定し
た屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差をドー
パント供給量の補正値に変換するとともに、次回の製造
工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正して供
給するようにした。
本発明は、請求項１において、バーナからドーパントを
含む光ファイバ原料を出発母材に向けて吹付けて軸方向
に光ファイバ母材を堆積した後、脱水、焼結して光ファ
イバプリフォームを製造し、この工程を繰返すようにし
た製造方法において、製造した光ファイバプリフォーム
のドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測定し
た屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差をドー
パント供給量の補正値に変換するとともに、次回の製造
工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正して供
給するようにした。
【０００６】このように前回の工程で製造した光ファイ
バプリフォームについて、中間処理工程の各種要因で生
じる屈折率の変化を含めて、最終的な光ファイバ母材の
屈折率の変化を確認し、次回の製造工程では、中間工程
の処理条件の変化等に起因する屈折率の変化分をドーパ
ント供給量の補正値に変換して補正し、これを繰返すよ
うにする。このような方法により、例えば中間処理条件
が部品の劣化等によって経時的に変化するような時で
も、また部品交換等で処理条件が変化するような時で
も、ロットごとの特性の変化を微小に抑制することが出
来、特性変化の少ない安定した光ファイバプリフォーム
を製造出来る。
バプリフォームについて、中間処理工程の各種要因で生
じる屈折率の変化を含めて、最終的な光ファイバ母材の
屈折率の変化を確認し、次回の製造工程では、中間工程
の処理条件の変化等に起因する屈折率の変化分をドーパ
ント供給量の補正値に変換して補正し、これを繰返すよ
うにする。このような方法により、例えば中間処理条件
が部品の劣化等によって経時的に変化するような時で
も、また部品交換等で処理条件が変化するような時で
も、ロットごとの特性の変化を微小に抑制することが出
来、特性変化の少ない安定した光ファイバプリフォーム
を製造出来る。
【０００７】ここでドーパントは光ファイバ母材のうち
コア母材に添加される場合でも、クラッド母材に添加さ
れる場合でもどちらでも適用出来る。この際必要に応じ
て、測定した屈折率と目標の屈折率との差と、ドーパン
トの供給量補正値との関係を表わす検量線を定めておく
と良い。
コア母材に添加される場合でも、クラッド母材に添加さ
れる場合でもどちらでも適用出来る。この際必要に応じ
て、測定した屈折率と目標の屈折率との差と、ドーパン
トの供給量補正値との関係を表わす検量線を定めておく
と良い。
【０００８】また請求項２では、ドーパントの供給量の
補正は、測定した屈折率と目標の屈折率との差が所定値
を越えた時に行うようにした。すなわち、各製造工程ご
とに毎回補正すれば、より特性の安定した光ファイバプ
リフォームの製造が可能であるが、反面、複雑な設備構
成になりやすく、また設備コストもかかるようになる。
そこで、上記屈折率の差が所定値を越えた時にドーパン
ト供給量の補正を行うようにし、屈折率を所望の範囲内
に管理するようにすれば、より実用的また経済的であ
る。
補正は、測定した屈折率と目標の屈折率との差が所定値
を越えた時に行うようにした。すなわち、各製造工程ご
とに毎回補正すれば、より特性の安定した光ファイバプ
リフォームの製造が可能であるが、反面、複雑な設備構
成になりやすく、また設備コストもかかるようになる。
そこで、上記屈折率の差が所定値を越えた時にドーパン
ト供給量の補正を行うようにし、屈折率を所望の範囲内
に管理するようにすれば、より実用的また経済的であ
る。
【０００９】また請求項３では、光ファイバプリフォー
ムの製造装置として、出発母材に向けてドーパントを含
む光ファイバ原料を吹付けて軸方向に光ファイバ母材を
堆積させるバーナと、ドーパントの供給量を調整する調
整器と、脱水、焼結された光ファイバプリフォームのド
ーパントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォー
ムアナライザと、測定された屈折率と目標の屈折率との
差を求め、この差をドーパント供給量の補正値に変換し
た後、この補正値で補正したドーパント供給量を前記調
整器に指令するシーケンサを設けた。
ムの製造装置として、出発母材に向けてドーパントを含
む光ファイバ原料を吹付けて軸方向に光ファイバ母材を
堆積させるバーナと、ドーパントの供給量を調整する調
整器と、脱水、焼結された光ファイバプリフォームのド
ーパントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォー
ムアナライザと、測定された屈折率と目標の屈折率との
差を求め、この差をドーパント供給量の補正値に変換し
た後、この補正値で補正したドーパント供給量を前記調
整器に指令するシーケンサを設けた。
【００１０】そして、製造された光ファイバプリフォー
ムのドーパントが含まれる箇所の屈折率分布をプリフォ
ームアナライザで測定し、シーケンサで目標の屈折率と
の差を求めて、ドーパント供給量の補正値に変換すると
ともに、調整器に指令を発して次回製造工程でのドーパ
ント供給量を補正する。この際、上記屈折率の差が所定
の管理幅を越えた時にドーパント供給量の補正を行うよ
うにすることも出来る。
ムのドーパントが含まれる箇所の屈折率分布をプリフォ
ームアナライザで測定し、シーケンサで目標の屈折率と
の差を求めて、ドーパント供給量の補正値に変換すると
ともに、調整器に指令を発して次回製造工程でのドーパ
ント供給量を補正する。この際、上記屈折率の差が所定
の管理幅を越えた時にドーパント供給量の補正を行うよ
うにすることも出来る。
【００１１】また請求項４では、前記バーナを、コア母
材を吹付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付ける
クラッド用バーナから構成し、ドーパントは、コア母材
またはクラッド母材の少なくともいずれか一方側に含ま
れるようにした。そしてドーパントがコア母材に含まれ
る場合は、上記要領でコア母材の屈折率を補正するよう
にし、クラッド母材に含まれる場合は、クラッド母材の
屈折率を補正する。
材を吹付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付ける
クラッド用バーナから構成し、ドーパントは、コア母材
またはクラッド母材の少なくともいずれか一方側に含ま
れるようにした。そしてドーパントがコア母材に含まれ
る場合は、上記要領でコア母材の屈折率を補正するよう
にし、クラッド母材に含まれる場合は、クラッド母材の
屈折率を補正する。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について添付
した図面に基づき説明する。ここで図１は本発明に係る
光ファイバプリフォームの製造装置の構成概要図であ
る。
した図面に基づき説明する。ここで図１は本発明に係る
光ファイバプリフォームの製造装置の構成概要図であ
る。
【００１３】本発明に係る光ファイバプリフォームの製
造装置は、図１に示すように、出発母材Ｓの軸端部が挿
入されるチャンバ１と、出発母材Ｓの軸端部に向けてチ
ャンバ１内でコア母材を吹き付けることの出来るコア用
バーナ２と、コア母材の表面にクラッド用母材を吹き付
けることの出来るクラッド用バーナ３と、チャンバ１内
のガス等を排気する排気管４を備え、前記コア用母材と
クラッド用母材の少なくとも一方側には、四塩化ケイ素
（ＳｉＣｌ4 ）等の光ファイバ原料の他に四塩化ゲルマ
ニウム（ＧｅＣｌ4 ）等のドーパントが添加されるよう
にしている。
造装置は、図１に示すように、出発母材Ｓの軸端部が挿
入されるチャンバ１と、出発母材Ｓの軸端部に向けてチ
ャンバ１内でコア母材を吹き付けることの出来るコア用
バーナ２と、コア母材の表面にクラッド用母材を吹き付
けることの出来るクラッド用バーナ３と、チャンバ１内
のガス等を排気する排気管４を備え、前記コア用母材と
クラッド用母材の少なくとも一方側には、四塩化ケイ素
（ＳｉＣｌ4 ）等の光ファイバ原料の他に四塩化ゲルマ
ニウム（ＧｅＣｌ4 ）等のドーパントが添加されるよう
にしている。
【００１４】ここで用いられるドーパントとしては、特
に限定されるものではないが、高純度で蒸気圧が高く、
気相で酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2 ）を合成しやすいと
いう特徴を有することから、通常四塩化ゲルマニウム
（ＧｅＣｌ4 ）が用いられる。
に限定されるものではないが、高純度で蒸気圧が高く、
気相で酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2 ）を合成しやすいと
いう特徴を有することから、通常四塩化ゲルマニウム
（ＧｅＣｌ4 ）が用いられる。
【００１５】そして、この四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣ
ｌ4 ）等のドーパントの供給ラインには、ドーパントの
供給量を調整する調整器５が設けられ、この調整器５に
はドーパントの供給量の補正を指令するシーケンサ６が
接続されている。また本装置は、製造された光ファイバ
プリフォームの屈折率または屈折率分布を測定するプリ
フォームアナライザ７を備えており、測定した屈折率デ
ータを前記シーケンサ６に送り込むことが出来るように
している。
ｌ4 ）等のドーパントの供給ラインには、ドーパントの
供給量を調整する調整器５が設けられ、この調整器５に
はドーパントの供給量の補正を指令するシーケンサ６が
接続されている。また本装置は、製造された光ファイバ
プリフォームの屈折率または屈折率分布を測定するプリ
フォームアナライザ７を備えており、測定した屈折率デ
ータを前記シーケンサ６に送り込むことが出来るように
している。
【００１６】以上のような製造装置において、出発母材
Ｓをチャンバ１内にセットして回転させながら引上げて
軸方向に多孔質コア母材と多孔質クラッド母材を堆積し
た後、チャンバ１から取り出して不図示の焼結炉で脱
水、焼結して透明ガラス化することで光ファイバプリフ
ォームを製造し、このような一連の製造工程を繰返して
多数ロットの光ファイバプリフォームを製造していくよ
うにしているが、本発明では、製造した光ファイバプリ
フォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率をプリフ
ォームアナライザ７で測定し、この測定データをシーケ
ンサ６に送り、測定した屈折率が目標の屈折率とずれた
屈折率の差を、ずれ分に対応するドーパントの供給量の
補正値に変換して補正するようにしている。このため、
上記屈折率の差とドーパントの供給量補正値の関係を表
わす検量線を定めている。
Ｓをチャンバ１内にセットして回転させながら引上げて
軸方向に多孔質コア母材と多孔質クラッド母材を堆積し
た後、チャンバ１から取り出して不図示の焼結炉で脱
水、焼結して透明ガラス化することで光ファイバプリフ
ォームを製造し、このような一連の製造工程を繰返して
多数ロットの光ファイバプリフォームを製造していくよ
うにしているが、本発明では、製造した光ファイバプリ
フォームのドーパントが含まれる箇所の屈折率をプリフ
ォームアナライザ７で測定し、この測定データをシーケ
ンサ６に送り、測定した屈折率が目標の屈折率とずれた
屈折率の差を、ずれ分に対応するドーパントの供給量の
補正値に変換して補正するようにしている。このため、
上記屈折率の差とドーパントの供給量補正値の関係を表
わす検量線を定めている。
【００１７】この際、ドーパントの供給量の補正は、各
製造ごとに毎回行っても良いが、本実施形態では、上記
屈折率の差が所定の管理幅を越えた時に行うようにして
いる。
製造ごとに毎回行っても良いが、本実施形態では、上記
屈折率の差が所定の管理幅を越えた時に行うようにして
いる。
【００１８】本発明において測定される屈折率および目
標の屈折率には、特に限定されるものではないが、光フ
ァイバプリフォームの屈折率分布を測定し、それから得
られる屈折率差Δｎ（％）を用いることが好ましい。す
なわち、製造した光ファイバプリフォームの屈折率差Δ
ｎ（％）を測定し、これと目標の屈折率差Δｎ（％）と
の差を求め、この屈折率差Δｎ（％）の差をドーパント
の供給量の補正値に変換し、これによりドーパントの供
給量を補正することが好ましい。なお、ここでいう屈折
率差Δｎとは、光ファイバプリフォームのコア部とクラ
ッド部との屈折率の差を示すものであり、この差を１０
０倍したものを（％）として表示したものである。
標の屈折率には、特に限定されるものではないが、光フ
ァイバプリフォームの屈折率分布を測定し、それから得
られる屈折率差Δｎ（％）を用いることが好ましい。す
なわち、製造した光ファイバプリフォームの屈折率差Δ
ｎ（％）を測定し、これと目標の屈折率差Δｎ（％）と
の差を求め、この屈折率差Δｎ（％）の差をドーパント
の供給量の補正値に変換し、これによりドーパントの供
給量を補正することが好ましい。なお、ここでいう屈折
率差Δｎとは、光ファイバプリフォームのコア部とクラ
ッド部との屈折率の差を示すものであり、この差を１０
０倍したものを（％）として表示したものである。
【００１９】
【実施例】次に本発明の実施例と比較例について説明す
る。尚、本実施例及び比較例では、コア用バーナ２から
のみドーパントを添加するようにしている。 （実施例）上記装置を使用して、コア用バーナ２からＨ
2 ガスを５リットル/min、Ｏ2 ガスを５リットル/min、
シールガスを２リットル/min、光ファイバ原料としての
四塩化ケイ素ＳｉＣｌ4 を０．２リットル/min、ドーパ
ントとしての四塩化ゲルマニウムＧｅＣｌ4 を０．０５
リットル/minで吹き付けて多孔質コア母材を堆積し、そ
の表面にクラッド用バーナ３からＨ2 ガスを５０リット
ル/min、Ｏ2 ガスを３０リットル/min、シールガスを５
リットル/min、光ファイバ原料としての四塩化ケイ素Ｓ
ｉＣｌ4 を３リットル/minで吹き付けて多孔質クラッド
母材を堆積した。
る。尚、本実施例及び比較例では、コア用バーナ２から
のみドーパントを添加するようにしている。 （実施例）上記装置を使用して、コア用バーナ２からＨ
2 ガスを５リットル/min、Ｏ2 ガスを５リットル/min、
シールガスを２リットル/min、光ファイバ原料としての
四塩化ケイ素ＳｉＣｌ4 を０．２リットル/min、ドーパ
ントとしての四塩化ゲルマニウムＧｅＣｌ4 を０．０５
リットル/minで吹き付けて多孔質コア母材を堆積し、そ
の表面にクラッド用バーナ３からＨ2 ガスを５０リット
ル/min、Ｏ2 ガスを３０リットル/min、シールガスを５
リットル/min、光ファイバ原料としての四塩化ケイ素Ｓ
ｉＣｌ4 を３リットル/minで吹き付けて多孔質クラッド
母材を堆積した。
【００２０】これを焼結炉に入れて脱水、焼結すること
で光ファイバプリフォームを製造し、このような製造工
程を繰返したところ、図２に示すように、製造３本目で
屈折率差Δｎ（％）が０．３６５となり、目標の屈折率
差Δｎ（％）の０．３６に較べて０．００５％上まわっ
たため、この屈折率差Δｎ（％）の差と四塩化ゲルマニ
ウムＧｅＣｌ4 の供給量の関係を定めた検量線から、屈
折率差が０．００５％低くなるようシーケンサ６から調
整器５に指令を流し、四塩化ゲルマニウムＧｅＣｌ4 を
０．０４８リットル/minにして次回の製造を行ったとこ
ろ、屈折率差は目標値に戻った。
で光ファイバプリフォームを製造し、このような製造工
程を繰返したところ、図２に示すように、製造３本目で
屈折率差Δｎ（％）が０．３６５となり、目標の屈折率
差Δｎ（％）の０．３６に較べて０．００５％上まわっ
たため、この屈折率差Δｎ（％）の差と四塩化ゲルマニ
ウムＧｅＣｌ4 の供給量の関係を定めた検量線から、屈
折率差が０．００５％低くなるようシーケンサ６から調
整器５に指令を流し、四塩化ゲルマニウムＧｅＣｌ4 を
０．０４８リットル/minにして次回の製造を行ったとこ
ろ、屈折率差は目標値に戻った。
【００２１】またその後、目標の屈折率差Δｎ（％）と
の差異が０．００５％以上となった場合に、ドーパント
量を変化させて製造したところ、屈折率差が管理幅内に
おさまる光ファイバプリフォームを製造することが出来
た。また、焼結炉の炉芯管を交換した時でも、次回の製
造から管理幅内におさまる光ファイバプリフォームを製
造することが出来た。因みに、この時の四塩化ゲルマニ
ウムＧｅＣｌ4 の供給量の変化は、図２（Ｂ）の通りで
ある。
の差異が０．００５％以上となった場合に、ドーパント
量を変化させて製造したところ、屈折率差が管理幅内に
おさまる光ファイバプリフォームを製造することが出来
た。また、焼結炉の炉芯管を交換した時でも、次回の製
造から管理幅内におさまる光ファイバプリフォームを製
造することが出来た。因みに、この時の四塩化ゲルマニ
ウムＧｅＣｌ4 の供給量の変化は、図２（Ｂ）の通りで
ある。
【００２２】（比較例）同一の装置を用いて、プリフォ
ームアナライザ７による測定結果のフィードバックをか
けないで、その他を同一条件にして光ファイバプリフォ
ームの製造を行った。この結果、図３に示すように、屈
折率差は経時的に変化してゆき、特に炉芯管を交換して
透明ガラス化を行った時は、屈折率差が大きく変化し、
その後も変化し続けて目標値から大きくずれるようにな
った。この結果から本発明の有効性が確認された。
ームアナライザ７による測定結果のフィードバックをか
けないで、その他を同一条件にして光ファイバプリフォ
ームの製造を行った。この結果、図３に示すように、屈
折率差は経時的に変化してゆき、特に炉芯管を交換して
透明ガラス化を行った時は、屈折率差が大きく変化し、
その後も変化し続けて目標値から大きくずれるようにな
った。この結果から本発明の有効性が確認された。
【００２３】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。例
えばドーパントはコア母材でなくクラッド母材に添加さ
れる場合にも適用出来る。またドーパントの種類等も任
意である。
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。例
えばドーパントはコア母材でなくクラッド母材に添加さ
れる場合にも適用出来る。またドーパントの種類等も任
意である。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明に係る光ファイバプ
リフォームの製造方法は、製造した光ファイバプリフォ
ームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測
定した屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差を
ドーパント供給量の補正値に変換するとともに、次回の
製造工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正し
て供給するようにしたため、例えば中間処理条件が部品
の劣化等によって経時的に変化するような時でも、また
部品交換等で処理条件が変化するような時でも、ロット
ごとの特性の変化を微小に抑制することが出来、特性変
化の少ない安定した光ファイバプリフォームを製造出来
る。この際、屈折率の差が所定値を越えた時にドーパン
トの供給量の補正を行うようにすれば、より実用的で設
備を安価に構成出来る。
リフォームの製造方法は、製造した光ファイバプリフォ
ームのドーパントが含まれる箇所の屈折率を測定し、測
定した屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差を
ドーパント供給量の補正値に変換するとともに、次回の
製造工程におけるドーパントの供給量を補正値で補正し
て供給するようにしたため、例えば中間処理条件が部品
の劣化等によって経時的に変化するような時でも、また
部品交換等で処理条件が変化するような時でも、ロット
ごとの特性の変化を微小に抑制することが出来、特性変
化の少ない安定した光ファイバプリフォームを製造出来
る。この際、屈折率の差が所定値を越えた時にドーパン
トの供給量の補正を行うようにすれば、より実用的で設
備を安価に構成出来る。
【００２５】また光ファイバプリフォームの製造装置と
して、光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる
箇所の屈折率を測定するプリフォームアナライザと、屈
折率の差をドーパント供給量の補正値に変換するシーケ
ンサを設け、このシーケンサでドーパント供給量を制御
すれば、光ファイバプリフォームの特性を安定させて製
造することが出来る。そして、バーナを、コア母材を吹
付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッ
ド用バーナから構成すれば、従来の設備を活用して簡易
に構成出来る。
して、光ファイバプリフォームのドーパントが含まれる
箇所の屈折率を測定するプリフォームアナライザと、屈
折率の差をドーパント供給量の補正値に変換するシーケ
ンサを設け、このシーケンサでドーパント供給量を制御
すれば、光ファイバプリフォームの特性を安定させて製
造することが出来る。そして、バーナを、コア母材を吹
付けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッ
ド用バーナから構成すれば、従来の設備を活用して簡易
に構成出来る。
【図１】本発明に係る製造装置の構成概要図である。
【図２】本発明の製造方法で製造した時の測定データ
で、（Ａ）は屈折率差（縦軸）とロット数（横軸）の関
係を表わすグラフ、（Ｂ）はドーパントの添加量（縦
軸）とロット数（横軸）の関係を表わすグラフである。
で、（Ａ）は屈折率差（縦軸）とロット数（横軸）の関
係を表わすグラフ、（Ｂ）はドーパントの添加量（縦
軸）とロット数（横軸）の関係を表わすグラフである。
【図３】従来の製造方法で製造した時の屈折率差の変化
を表わすグラフで、縦軸は屈折率差で横軸はロット数で
ある。
を表わすグラフで、縦軸は屈折率差で横軸はロット数で
ある。
１…チャンバ、 ２…コア用バー
ナ、３…クラッド用バーナ、 ４…排気
管、５…調整器、 ６…シーケ
ンサ、７…プリフォームアナライザ、Ｓ…出発母材。
ナ、３…クラッド用バーナ、 ４…排気
管、５…調整器、 ６…シーケ
ンサ、７…プリフォームアナライザ、Ｓ…出発母材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA01 EB06 EB14 EB26
Claims (4)
- 【請求項１】 バーナからドーパントを含む光ファイバ
原料を出発母材に向けて吹付けて軸方向に光ファイバ母
材を堆積した後、脱水、焼結して光ファイバプリフォー
ムを製造し、この工程を繰返すようにした製造方法であ
って、製造した光ファイバプリフォームのドーパントが
含まれる箇所の屈折率を測定し、測定した屈折率と目標
の屈折率との差を求めて、この差をドーパント供給量の
補正値に変換するとともに、次回の製造工程におけるド
ーパントの供給量を前記補正値で補正して供給すること
を特徴とする光ファイバプリフォームの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光ファイバプリフォー
ムの製造方法において、前記ドーパントの供給量の補正
は、測定した屈折率と目標の屈折率との差が所定値を越
えた時に行われることを特徴とする光ファイバプリフォ
ームの製造方法。 - 【請求項３】 出発母材に向けてドーパントを含む光フ
ァイバ原料を吹付けて軸方向に光ファイバ母材を堆積さ
せるバーナと、前記ドーパントの供給量を調整する調整
器と、脱水、焼結された光ファイバプリフォームのドー
パントが含まれる箇所の屈折率を測定するプリフォーム
アナライザと、測定された屈折率と目標の屈折率との差
を求め、この差をドーパント供給量の補正値に変換した
後、この補正値で補正したドーパント供給量を前記調整
器に指令するシーケンサを備えたことを特徴とする光フ
ァイバプリフォームの製造装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の光ファイバプリフォー
ムの製造装置において、前記バーナは、コア母材を吹付
けるコア用バーナと、クラッド母材を吹付けるクラッド
用バーナから構成され、前記ドーパントは、前記コア母
材またはクラッド母材の少なくともいずれか一方側に含
まれることを特徴とする光ファイバプリフォームの製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18338899A JP3754843B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 光ファイバプリフォームの製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18338899A JP3754843B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 光ファイバプリフォームの製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001019461A true JP2001019461A (ja) | 2001-01-23 |
| JP3754843B2 JP3754843B2 (ja) | 2006-03-15 |
Family
ID=16134909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18338899A Expired - Fee Related JP3754843B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 光ファイバプリフォームの製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3754843B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018025857A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材製造方法および光ファイバ製造方法 |
-
1999
- 1999-06-29 JP JP18338899A patent/JP3754843B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018025857A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材製造方法および光ファイバ製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3754843B2 (ja) | 2006-03-15 |
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