JP2001018153A - 研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨終了後に太陽ギアを多く回転させること
なく、キャリヤを公転方向、自転方向の定位置に停止さ
せるように制御する。 【解決手段】 太陽ギア４とインターナルギア５との間
に等間隔ごとに１０枚のキャリヤ６を噛合させ、各キャ
リヤ６に等間隔ごとに５箇所にワーク保持用の孔７を設
ける。太陽ギア４、キャリヤ６、インターナルギア５の
歯数比を３：１：５に設定し、太陽ギア４が４／１５回
転の整数倍回転したときに太陽ギア４の回転を停止させ
るように制御部３０で制御する。太陽ギア４の停止によ
って各キャリヤ６は公転方向、自転方向の定位置に停止
し、各キャリヤ６のワーク保持用の孔７が公転方向、自
転方向の定位置に位置決めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は磁気ディスク用ア
ルミ基板等のワークの表面を研磨する研磨機に関し、特
に、ワークを保持するキャリヤを公転方向、自転方向の
定位置に停止させることのできる研磨機に関するもので
ある。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】この種の研磨機の一例が
特許第２５３５０８９号公報に記載されている。すなわ
ち、この研磨機は、磁気ディスク用アルミ基板等のワー
クの表面を研磨する加工部と、未加工のワークを加工部
に移送する前に一旦待機させておく未加工ワーク待機部
と、加工部から取り出した加工済みのワークを一旦待機
させておく加工済ワーク待機部と、未加工のワークを未
加工ワーク待機部から取り出して加工部に移送する未加
工ワーク一括移送装置と、加工済みのワークを加工部か
ら取り出して加工済ワーク待機部に移送する加工済ワー
ク一括移送装置とを具えている。

【０００３】この場合、研磨加工部の太陽ギア、インタ
ーナルギア、キャリヤの歯数比は１：３：１に設定さ
れ、太陽ギアが４の整数倍回転したときに太陽ギアの回
転を停止させることにより、キャリヤのワーク保持用の
孔を所定の位置に停止させるようになっている。

【０００４】すなわち、１バッチ分のワークの研磨が完
了したときに、加工部の各キャリヤのワーク保持用の孔
の位置が未加工ワーク待機部のテーブルのワーク受け部
の位置（又は加工済ワーク待機部のテーブルのワーク受
け部の位置）に対応するように、各キャリヤを公転方
向、自転方向の定位置に停止させるように構成してい
る。

【０００５】そして、このように各キャリヤを公転方
向、自転方向の定位置に停止させることで、未加工ワー
ク待機部と加工部との間で未加工ワーク一括移送装置を
平行移動させるだけで、未加工ワーク待機部のテーブル
上の１バッチ分の未加工のワークを加工部の各キャリヤ
の各ワーク保持用の孔内に連続して移送することがで
き、加工済ワーク待機部と加工部との間で加工済ワーク
一括移送装置を平行移動させるだけで、加工部の各キャ
リヤの各ワーク保持用の孔内の加工済みのワークを加工
済ワーク待機部のテーブル上に連続して移送することが
できるものである。

【０００６】しかしながら、上記のような構成の従来の
研磨機にあっては、研磨が終了した後、太陽ギアを最大
４回転させて、各キャリヤのワーク保持用の孔を公転方
向、自転方向の定位置に位置決めしなければならないた
め、ワークの仕上りにばらつきが生じてしまう。また、
太陽ギアのエンコーダからの角度信号によって太陽ギア
の回転を制御しているために制御が複雑になる。このた
め、制御部の処理速度が遅くなってしまって太陽ギアの
停止位置にばらつきが生じてしまい、各キャリヤのワー
ク保持用の孔を所定の位置に停止させることが困難とな
る。

【０００７】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、研磨終了後に太陽ギア
を多く回転させることなく、キャリヤのワーク保持用の
孔を公転方向、自転方向の定位置に位置決めすることが
でき、これによりワークの仕上りを一定にすることがで
きる研磨機を提供することを第１の目的とするものであ
る。また、制御を簡単にすることによって、制御部の処
理速度を速くし、これによって、太陽ギアの停止位置に
ばらつきが生じて、各キャリヤの各ワーク保持用の孔が
定位置からずれてしまうのを阻止し、複数バッチ分のワ
ークを連続して研磨することができる、生産効率の高い
研磨機を提供することを第２の目的とするものである。

【０００８】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤と、
下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上
定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる太陽ギ
アと、下定盤の外周側に設けられるインターナルギア
と、太陽ギアとインターナルギアとの間に等間隔ごとに
複数枚噛合され、各々が太陽ギアの回転時に公転、自転
するとともに、ワーク保持用の孔が等間隔ごとに複数箇
所に設けられるキャリヤとを具えた研磨機において、前
記キャリヤ、太陽ギア及びインターナルギアの歯数比を
１：３：５に設定するとともに、前記太陽ギアが所定回
転の整数倍回転したときに太陽ギアの回転を停止させる
ことにより、前記各キャリヤを公転方向、自転方向の定
位置に停止させるように構成した手段を採用したもので
ある。また、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の
上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤と、
下定盤の中心部に回転可能に設けられる太陽ギアと、下
定盤の外周側に設けられるインターナルギアと、太陽ギ
アとインターナルギアとの間に等間隔ごとに１０枚噛合
され、各々が太陽ギアの回転時に公転、自転するととも
に、ワーク保持用の孔が等間隔ごとに５箇所に設けられ
るキャリヤとを具えた研磨機において、前記キャリヤ、
太陽ギア及びインターナルギアの歯数比を１：３：５に
設定するとともに、前記太陽ギアが４／１５回転の整数
倍回転したときに太陽ギアの回転を停止させることによ
り、前記各キャリヤを公転方向、自転方向の定位置に停
止させるように構成した手段を採用したものである。

【０００９】

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、太陽ギアが所定回転の整数倍回転したときに太陽
ギアの回転を停止させるように制御することで、各キャ
リヤが公転方向、自転方向の定位置に停止させることが
できることになる。また、キャリヤを１０枚とし、各キ
ャリヤにワーク保持用の孔を５箇所に設けた場合には、
太陽ギアが４／１５回転の整数倍回転したときに太陽ギ
アの回転を停止させるように制御することで、各キャリ
ヤを公転方向、自転方向の定位置に停止させることがで
きることになる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
による研磨機の第１の実施の形態が示されていて、この
実施の形態に示す研磨機は、加工部１と、加工部１に連
設されるローディング部１０と、加工部１に連設される
アンローディング部１５と、加工部１、ローディング部
１０及びアンローディング部１５に連設される搬送部
（図示せず）と、加工部１、ローディング部１０及びア
ンローディング部１５に連設される移送部２０と、加工
部１、ローディング部１０、アンローディング部１５、
搬送部及び移送部２０を制御する制御部３０とを具えて
いる。

【００１１】加工部１は、水平方向に回転可能に設けら
れる下定盤２と、下定盤２の上方に回転可能かつ上下方
向に移動可能に設けられる上定盤３と、下定盤２の中心
部に回転可能に設けられるドライバ（図示せず）と、ド
ライバの外周側に回転可能に設けられる太陽ギア４と、
下定盤２の外周側に設けられるインターナルギア５と、
太陽ギア４とインターナルギア５に噛合して太陽ギア４
の回転時に公転、自転するキャリヤ６とを具えている。

【００１２】キャリヤ６は、太陽ギア４とインターナル
ギア５との間に等間隔ごとに１０枚設けられ、太陽ギア
４の回転時に各キャリヤ６がそれぞれ公転、自転するよ
うになっている。

【００１３】各キャリヤ６にはそれぞれ等間隔ごとに５
箇所にワーク保持用の孔７が設けられ、各ワーク保持用
の孔７内に磁気ディスク用アルミ基板等のワーク８がそ
れぞれ装填されるようになっている。

【００１４】太陽ギア４、キャリヤ６、インターナルギ
ア５の歯数比は３：１：５に設定されている。太陽ギア
４はサーボモータで駆動されるとともに、パルスをカウ
ントすることによって回転が制御されるようになってい
る。

【００１５】ここで、キャリヤ６の公転数、自転数は、
以下の式で表すことができる。 キャリヤの公転数Ｋｒ１＝（インターナルギアの歯数×インターナルギアの回 転数＋太陽ギアの歯数×太陽ギアの回転数）／２×（太陽ギアの歯数＋キャリヤ の歯数）…… キャリヤの自転数Ｋｒ２＝（公転数−太陽ギアの回転数）×（太陽ギアの歯数 ／キャリヤの歯数）……

【００１６】この実施の形態においては、キャリヤ６は
１０枚であって、各キャリヤ６には５箇所にワーク保持
用の孔７を設けているので、各キャリヤ６は太陽ギア４
の周囲を１／１０回転する毎に公転方向の定位置に位置
することになる。これを太陽ギア４の回転で表すと、
の式から、 ０．１＝（５×０＋３×ｘ）／２×（１＋３） ０．１＝３×ｘ／８ ｘ＝０．８／３ ｘ＝４／１５ となり、太陽ギア４が４／１５回転する毎に各キャリヤ
６が公転方向の定位置（公転方向に１／１０回転した位
置）に位置することになる。したがって、太陽ギア４が
４／１５回転の整数倍回転したときに太陽ギア４の回転
を停止するように太陽ギア４の回転を制御部３０で制御
することで、太陽ギア４が停止したときに各キャリヤ６
を公転方向の定位置（公転方向に１／１０回転した定位
置）に停止させることができるものである。

【００１７】太陽ギア４が４／１５回転したときのキャ
リヤ６の自転数は、の式から、 自転数＝（０．１−４／１５）×３ ＝−０．５ となり、各キャリヤ６は公転方向に１／１０回転した定
位置において、自転方向に−０．５回転した状態とな
る。したがって、この角度のずれの分だけ、各キャリヤ
６のワーク保持用の孔７と後述する移送部２０のローデ
ィング側ヘッド２２の各基板２３の各チャック２４及び
アンローディング側ヘッド２５の各基板２６の各チャッ
ク２７との間にずれが生じるものである。

【００１８】搬送部は、加工前のワーク８を収納するロ
ーディングカセットと、加工済みのワーク８を収納する
アンローディングカセットと、ローディングカセット及
びアンローディングカセットを水平方向に搬送する搬送
ベルトとから構成されている。

【００１９】ローディング部１０は、加工部１に連設さ
れる回転可能なローディングテーブル１１と、ローディ
ングテーブル１１と搬送部との間に設けられるローディ
ングロボット１２とからなるものであって、ローディン
グロボット１２を作動させることによって、搬送部のロ
ーディングカセットから加工前のワーク８を取り出して
ローディングテーブル１１上に並べることができるもの
である。

【００２０】アンローディング部１５は、加工部１に連
設される回転可能なアンローディングテーブル１６と、
アンローディングテーブル１６と搬送部との間に設けら
れるアンローディングロボット１７とからなるものであ
って、アンローディングロボット１７を作動させること
によって、アンローディングテーブル１６上に載置した
加工済みのワーク８を搬送部のアンローディングカセッ
トに収納することができるものである。

【００２１】移送部２０は、加工部１、ローディング部
１０及びアンローディング部１５に並設されるものであ
って、加工部１、ローディング部１０及びアンローディ
ング部１５に並設される案内ガイド２１と、案内ガイド
２１に支持されるとともに、加工部１とローディング部
１０との間を水平方向に移動可能かつ上下動可能なロー
ディング側ヘッド２２と、案内ガイド２１に支持される
とともに、加工部１とアンローディング部１５との間を
水平方向に移動可能かつ上下動可能なアンローディング
側ヘッド２５とから構成されている。

【００２２】ローディング側ヘッド２２及びアンローデ
ィング側ヘッド２５の下面側の加工部１の各キャリヤ６
に対応する部分にはそれぞれ基板２３、２６が回転可能
に設けられるとともに、各基板２３、２６の各キャリヤ
６のワーク保持用の孔７に対応する部分にはそれぞれチ
ャック２４、２７が設けられるようになっている。

【００２３】そして、上記のような構成の研磨機を用い
てアルミディスク基板等のワーク８の表面を研磨するに
は、まず、ローディング部１０のローディングロボット
１２を作動させ、搬送部のローディングカセットから加
工前のワーク８を取り出してローディングテーブル１１
上に並べる。この場合のワーク８の配置は、加工部１の
原点に位置する各キャリヤ６のワーク保持用の孔７の位
置に対応する。

【００２４】次に、ローディングテーブル１１の上方に
待機している移送部２０のローディング側ヘッド２２を
下降させてそのチャック２４でローディングテーブル１
１上のワーク８を掴持し、ローディング側ヘッド２２を
上昇させるとともに、水平方向に移動させて加工部１の
下定盤２の上方に位置させ、ローディング側ヘッド２２
を下降させて各ワーク８を各キャリヤ６の各ワーク保持
用の孔７内に装填し、チャック２４によるワーク８の掴
持状態を解除する。

【００２５】次に、ローディング側ヘッド２２を上昇さ
せるとともに、水平方向に移動させて所定の位置に待機
させ、加工部１の上定盤３を下降させて上定盤３の中心
部にドライバを嵌合させ、上定盤３、下定盤２及び太陽
ギア４を回転させて両定盤２、３間で各キャリヤ６を公
転、自転させ、各ワーク８の表面の研磨を行う。

【００２６】そして、加工部１による研磨が終了する
と、前述したように、各キャリヤ６は原点から公転方向
に１／１０回転した定位置に停止する。そして、この位
置においては、各キャリヤ６は原点から自転方向に−
０．５回転した状態となっているので、その分だけ移送
部２０のアンローディング側ヘッド２５の各基板２６を
回転させ、各基板２６の各チャック２７を各キャリヤ６
の各ワーク保持用の孔７に対応させる。

【００２７】そして、上定盤３を上昇させるとともに、
移送部２０のアンローディング側ヘッド２５を水平方向
に移動させて加工部１の下定盤２の上方に位置させ、ア
ンローディング側ヘッド２５を下降させてそのチャック
２７で各キャリヤ６の各ワーク保持用の孔７内の各ワー
ク８を掴持する。

【００２８】次に、アンローディング側ヘッド２５を上
昇させるとともに、水平方向に移動させてアンローディ
ングテーブル１６の上方に位置させ、アンローディング
側ヘッド２５を下降させてワーク８をアンローディング
テーブル１６上に載置し、チャック２７による掴持状態
を解除し、アンローディング側ヘッド２５を上昇させて
水平方向に移動させて所定の位置に待機させる。

【００２９】そして、アンローディング部１５のアンロ
ーディングロボット１７を作動させてアンローディング
テーブル１６上のワーク８を掴持して搬送部のアンロー
ディングカセット内に収納し、このようにして、１バッ
チ分のワーク８の研磨が完了することになる。

【００３０】そして、１バッチ分のワーク８の研磨が完
了したときに、各キャリヤ６は公転方向に１／１０回転
した定位置に停止し、その位置において、各キャリヤ６
は自転方向に−０．５回転した状態となっているので、
その分だけ移送部２０のローディング側ヘッド２２の各
基板２３を回転させ、各基板２３の各チャック２４を各
キャリヤ６の各ワーク保持用の孔７に対応させ、次の１
バッチ分の未加工のワーク８を加工部１に移送する工程
に備える。このようにして、複数バッチ分の未加工のワ
ーク８を連続して研磨することができるものである。

【００３１】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨機にあっては、太陽ギア４、キャリヤ６、インタ
ーナルギア５の歯数比を３：１：５に設定し、太陽ギア
４が４／１５回転の整数倍回転したときに太陽ギア４の
回転を停止するように制御部３０で制御したので、太陽
ギア４が停止したときに各キャリヤ６を公転方向の定位
置（原点から公転方向に１／１０回転した位置）に停止
させることができることになる。

【００３２】そして、この各キャリヤ６の定位置におい
て、各キャリヤ６は原点から自転方向に−０．５回転し
た状態となっているので、この分だけ移送部２０のロー
ディング側ヘッド２２の各基板２３及びアンローディン
グ側ヘッド２５の各基板２６の角度を補正すればよいこ
とになる。

【００３３】したがって、研磨終了後に太陽ギア４を多
く回転させることなく、各キャリヤ６のワーク保持用の
孔７を公転方向、自転方向の定位置に位置決めすること
ができるので、ワーク８の仕上りを一定にすることがで
きることになる。また、太陽ギア４のパルスをカウント
して、太陽ギア４が４／１５回転の整数倍回転したのを
検出するように制御すればよいので、制御部３０を簡単
にすることができることになる。したがって、制御部３
０の処理速度を速くすることができるので、制御部３０
の処理速度が遅くて太陽ギア４の停止位置にばらつきが
生じ、各キャリヤ６の各ワーク保持用の孔７が定位置か
らずれてしまうようなことはなくなり、複数バッチ分の
ワーク８を連続して研磨することができ、生産効率を大
幅に向上させることができることになる。

【００３４】図３には、この発明による研磨機の第２の
実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨
機は、太陽ギア４、キャリヤ６、インターナルギア５の
歯数比を３：１：５に設定し、太陽ギア４が８／１５回
転の整数倍回転したときに太陽ギア４を停止させること
によって、各キャリヤ６を公転方向、自転方向の定位置
に停止させるように構成したものであって、その他の構
成は前記第１の実施の形態に示すものと同様である。

【００３５】すなわち、この実施の形態においても、キ
ャリヤ６は１０枚であって、各キャリヤ６には５箇所に
ワーク保持用の孔７を設けているので、各キャリヤ６は
太陽ギア４の周囲を１／１０回転する毎に公転方向の定
位置に位置することになる。これを太陽ギア４の回転で
表すと、前記の式から、 ０．１＝（５×０＋３×ｘ）／２×（１＋３） ０．１＝３×ｘ／８ ｘ＝０．８／３ ｘ＝４／１５ となり、太陽ギア４が４／１５回転する毎に各キャリヤ
６が公転方向の定位置（公転方向に１／１０回転した位
置）に位置することになる。

【００３６】太陽ギア４が４／１５回転したときのキャ
リヤ６の自転数は、前記の式から、 自転数＝（０．１×ｙ−４／１５×ｙ）×３＝１ ｙ＝２ となり、太陽ギア４が８／１５回転毎に各キャリヤ６が
自転方向の定位置に位置することになるので、太陽ギア
４を８／１５回転毎に停止させるように制御すること
で、各キャリヤ６を公転方向、自転方向の定位置に停止
させることができるものである。

【００３７】この実施の形態においては、太陽ギア４を
８／１５回転毎に停止させるため、図３に示すように、
太陽ギア４の円周上に１５個のドグを等間隔ごとに設け
ている。しかし、太陽ギア４の８／１５回転を原点セン
サで検出してから太陽ギア４の回転を停止させるように
制御すると、検出前の太陽ギア４の速度によって太陽ギ
ア４の停止位置にばらつきが生じてしまう。このため、
太陽ギア４の７／１５回転を原点センサで検出した後に
太陽ギア４を減速させ、その後に残りの１／１５回転を
検出したときに太陽ギア４の回転を停止させるように制
御している。また、１５個のドグの取付けには誤差が生
じるので、その取付けの誤差を補正する必要がある。

【００３８】上記の制御を図４を参照しつつ以下に説明
する。 Ａ：加工時に太陽ギア４が回転し始めると、原点カウン
タがカウントを開始する。 Ｂ：８カウント毎にカウント値をリセットする。 Ｃ：加工完了信号がＯＮになると、太陽ギア４を回転さ
せながら減速カウント値になるまで待つ。（減速カウン
ト値は最終ステップ回転数に反比例する） 回転数４ＲＰＭまでは減速カウント値＝８ 回転数５〜１０ＲＰＭは減速カウント値＝７ （減速カウント値はパラメータにて変更可能） Ｄ：減速カウント値＝原点カウンタとなる太陽ギア４の
回転数をクリープ速度（０．８ＲＰＭ）に変更する。
Ｅ：原点カウント＝１になると補正量分の位置決めを行
い停止する。上記の停止方法により、太陽ギア４の回転
数５ＲＰＭ以下の場合の 原点停止時のばらつき＝８／１５回転 加工完了後の一定移動量＝１／１５回転＋補正量 となる。

【００３９】したがって、この実施の形態による研磨機
にあっても、研磨終了後に太陽ギア４を多く回転させる
ことなく、各キャリヤ６のワーク保持用の孔７を公転方
向、自転方向の定位置に位置決めすることができるの
で、ワーク８の仕上りを一定にすることができることに
なる。また、制御部３０を簡単にすることができるの
で、制御部３０の処理速度を速くすることができ、制御
部３０の処理速度が遅くて太陽ギア４の停止位置にばら
つきが生じ、各キャリヤ６の各ワーク保持用の孔７が定
位置からずれてしまうようなことはなくなり、複数バッ
チ分のワーク８を連続して研磨することができ、生産効
率を大幅に高めることができることになる。

【００４０】図５には、この発明による研磨機の第３の
実施の形態が示されていて、この実施の形態に示す研磨
機は、太陽ギア４、キャリヤ６、インターナルギア５の
歯数比を３：１：５に設定し、太陽ギア４が２４／１５
回転（１．６回転）の整数倍回転したときに太陽ギア４
を停止させることによって、各キャリヤ６を公転方向、
自転方向の定位置に停止させるように構成したものであ
って、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すもの
と同様である。

【００４１】すなわち、この実施の形態においても、キ
ャリヤ６は１０枚であって、各キャリヤ６には５箇所に
ワーク保持用の孔７が設けられているので、各キャリヤ
６は太陽ギア４の周囲を１／１０回転する毎に公転方向
の定位置に位置することになる。これを太陽ギア４の回
転で表すと、前述したの式から、 ０．１＝（５×０＋３×ｘ）／２×（１＋３） ０．１＝３×ｘ／８ ｘ＝０．８／３ ｘ＝４／１５ となり、太陽ギア４が４／１５回転する毎に各キャリヤ
６が公転方向の定位置（公転方向に１／１０回転した位
置）に位置することになる。

【００４２】太陽ギア４が４／１５回転したときのキャ
リヤ６の自転数は、前記の式から、 自転数＝（０．１×ｙ−４／１５×ｙ）×３＝１ ｙ＝２ となり、太陽ギア４が８／１５回転する毎に各キャリヤ
６が自転方向の定位置に位置することになる。しかし、
太陽ギア４の駆動用のサーボモータのエンコーダが４０
００Ｐ／ｒｅｖであるため、１パルス当りの制御を行う
とすると、４０００×８／１５の３倍を動かす必要があ
る。したがって、太陽ギア４が２４／１５回転（＝１．
６回転）する毎にキャリヤ６が公転方向、自転方向の定
位置に位置することになる。

【００４３】そこで、太陽ギア４を２４／１５回転（＝
１．６回転）毎に停止させるため、図５に示すように、
太陽ギア４の円周上に５個のドグを等間隔ごとに設け
た。しかし、太陽ギア４の１．６回転を１．６回転セン
サで検出して太陽ギア４の回転を停止させるように制御
すると、検出前の太陽ギア４の速度によって太陽ギア４
の停止位置にばらつきが生じることになる。このため、
太陽ギア４の１．６回転を１．６回転センサで検出した
後に減速し、その後に停止センサで位置決めを行うよう
に制御する。また、１．６回転毎に太陽ギア４を停止さ
せた場合、太陽ギア４の１回転上に５箇所の停止位置が
存在することになる。その際位置決めセンサの取付け誤
差を補う必要がある。

【００４４】上記の制御を図６を参照しつつ以下に説明
する。 Ａ：加工完了後１．６回転検出センサを待つ。 Ｂ：１．６回転検出センサＯＮでクリープ速度に落と
す。 Ｃ：最初の原点センサがＯＮすると、補正量分移動させ
て停止する。上記の停止方法により太陽ギアの回転数８
ＲＰＭ以下の場合の 原点停止時のばらつき＝１．６回転 加工完了後の一定移動量＝１／５回転＋補正量 となる。

【００４５】したがって、この実施の形態による研磨機
にあっても、研磨終了後に太陽ギア４を多く回転させる
ことなく、各キャリヤ６のワーク保持用の孔７を公転方
向、自転方向の定位置に位置決めすることができるの
で、ワーク８の仕上りを一定にすることができることに
なる。また、制御部３０を簡単にすることができるの
で、制御部３０の処理速度を速くすることができ、制御
部３０の処理速度によって太陽ギア４の停止位置にばら
つきが生じて、各キャリヤ６の各ワーク保持用の孔７が
定位置からずれてしまうようなことはなくなり、複数バ
ッチ分のワーク８を連続して研磨することができ、生産
効率を大幅に向上させることができることになる。

【００４６】

【発明の効果】この発明は請求項１のように構成して、
キャリヤ、太陽ギア及びインターナルギアの歯数比を
１：３：５に設定するとともに、太陽ギアが所定回転の
整数倍回転したときに太陽ギアの回転を停止させること
により、各キャリヤを公転方向、自転方向の定位置に停
止させるように構成したことにより、未加工のワークを
キャリヤのワーク保持用の孔に装填する作業、加工済み
のワークをキャリヤのワーク保持用の孔から取り出す作
業を、複雑な制御を必要とすることなく連続して行うこ
とができることになる。したがって、複数バッチ分のワ
ークを連続して研磨することができるので、生産効率を
大幅に高めることができることになる。また、請求項２
のように構成して、キャリヤ、太陽ギア及びインターナ
ルギアの歯数比を１：３：５に設定するとともに、太陽
ギアが４／１５回転の整数倍回転したときに太陽ギアの
回転を停止させることにより、各キャリヤを公転方向、
自転方向の定位置に停止させるように構成したことによ
り、研磨終了後に太陽ギアを多く回転させることなく、
各キャリヤの保持孔を公転方向、自転方向の定位置に位
置決めすることができることになる。したがって、研磨
終了後にさらにキャリヤを多く回転させてワークの仕上
り状態にばらつきを生じさせるようなことがなくなり、
ワークの仕上りを一定にすることができることになる。
また、太陽ギア等の回転を制御する制御部を簡単にする
ことができるので、制御部の処理速度を速くすることが
できることになる。したがって、制御部の処理速度が遅
くて太陽ギアの停止位置にばらつきが生じるようなこと
はなく、各キャリヤの各ワーク保持用の孔が定位置から
ずれてしまうようなことはなくなり、未加工のワークを
キャリヤのワーク保持用の孔内に装填する作業、加工済
みのワークをキャリヤのワーク保持用の孔から取り出す
作業を、連続して行うことができることになり、複数バ
ッチ分のワークを連続して研磨することができ、生産効
率を大幅に高めることができることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による研磨機の全体を示した平面図で
ある。

【図２】図１に示すものの正面図である。

【図３】第２の実施の形態の太陽ギアとドグとセンサと
の関係を示した説明図である。

【図４】第２の実施の形態の太陽ギアの回転の制御を示
した説明図である。

【図５】第３の実施の形態の太陽ギアとドグとセンサと
の関係を示した説明図である。

【図６】第３の実施の形態の太陽ギアの回転の制御を示
した説明図である。

【符号の説明】

１……加工部 ２……下定盤 ３……上定盤 ４……太陽ギア ５……インターナルギア ６……キャリヤ ７……ワーク保持用の孔 ８……ワーク １０……ローディング部 １１……ローディングテーブル １２……ローディングロボット １５……アンローディング部 １６……アンローディングテーブル １７……アンローディングロボット ２０……移送部 ２１……案内ガイド ２２……ローディング側ヘッド ２３、２６……基板 ２４、２７……チャック ２５……アンローディング側ヘッド ３０……制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永井 学 神奈川県綾瀬市早川2647 スピードファム 株式会社内 (72)発明者 山谷 昭彦 神奈川県綾瀬市早川2647 スピードファム 株式会社内 (72)発明者 西 幸則 神奈川県綾瀬市早川2647 スピードファム 株式会社内 (72)発明者 砂田 純也 神奈川県綾瀬市早川2647 スピードファム 株式会社内 Ｆターム(参考） 3C043 BC07 3C058 AA07 AA09 AA16 AB08 BA07 BB03 BC02 CA01 CB01 CB03 DA06 DA09

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤
   の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤
   と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる太陽ギア
   と、下定盤の外周側に設けられるインターナルギアと、
   太陽ギアとインターナルギアとの間に等間隔ごとに複数
   枚噛合され、各々が太陽ギアの回転時に公転、自転する
   とともに、ワーク保持用の孔が等間隔ごとに複数箇所に
   設けられるキャリヤとを具えた研磨機において、 前記キャリヤ、太陽ギア及びインターナルギアの歯数比
   を１：３：５に設定するとともに、前記太陽ギアが所定
   回転の整数倍回転したときに太陽ギアの回転を停止させ
   ることにより、前記各キャリヤを公転方向、自転方向の
   定位置に停止させるように構成したことを特徴とする研
   磨機。
2. 【請求項２】 回転可能に設けられる下定盤と、下定盤
   の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤
   と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる太陽ギア
   と、下定盤の外周側に設けられるインターナルギアと、
   太陽ギアとインターナルギアとの間に等間隔ごとに１０
   枚噛合され、各々が太陽ギアの回転時に公転、自転する
   とともに、ワーク保持用の孔が等間隔ごとに５箇所に設
   けられるキャリヤとを具えた研磨機において、 前記キャリヤ、太陽ギア及びインターナルギアの歯数比
   を１：３：５に設定するとともに、前記太陽ギアが４／
   １５回転の整数倍回転したときに太陽ギアの回転を停止
   させることにより、前記各キャリヤを公転方向、自転方
   向の定位置に停止させるように構成したことを特徴とす
   る研磨機。