JP2001015247A - ヒータ断線検出方法およびその装置 - Google Patents
ヒータ断線検出方法およびその装置Info
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- JP2001015247A JP2001015247A JP18710799A JP18710799A JP2001015247A JP 2001015247 A JP2001015247 A JP 2001015247A JP 18710799 A JP18710799 A JP 18710799A JP 18710799 A JP18710799 A JP 18710799A JP 2001015247 A JP2001015247 A JP 2001015247A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度制御用に使用するヒータの本数が増加し
ても、それら全てのヒータ断線を電流変換器と断線警報
器を１組用いるだけで検出することができ、その数量増
加を抑えて、取り付けスペースを削減するとともに、コ
ストの上昇を抑えることができるヒータ断線検出方法お
よびその装置を提供する。 【解決手段】 １組の電流変換器５と断線警報器７を用
い、それらに対する複数の断線検出用リード線３の接続
を順次切換えリレー４で切換えていきながら、各ヒータ
１の断線を検出する。
ても、それら全てのヒータ断線を電流変換器と断線警報
器を１組用いるだけで検出することができ、その数量増
加を抑えて、取り付けスペースを削減するとともに、コ
ストの上昇を抑えることができるヒータ断線検出方法お
よびその装置を提供する。 【解決手段】 １組の電流変換器５と断線警報器７を用
い、それらに対する複数の断線検出用リード線３の接続
を順次切換えリレー４で切換えていきながら、各ヒータ
１の断線を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の温度制
御用に設けられたヒータの断線を検出するためのヒータ
断線検出方法およびその装置に関するものである。
御用に設けられたヒータの断線を検出するためのヒータ
断線検出方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年では、半導体素子のパターンの線幅
は０．２５μｍ以下に微細化が進んでいるが、所望のパ
ターン形状を得るには、プロセス処理中のウェハの温度
制御が重要である。最近はウェハの大口径化（φ３００
ｍｍウェハ）にともない半導体装置も大型化してきてお
り、そのため、ウェハの温度制御だけではなく、プラズ
マ放電を行う真空容器（以下反応室）の温度制御も重要
になってきている。
は０．２５μｍ以下に微細化が進んでいるが、所望のパ
ターン形状を得るには、プロセス処理中のウェハの温度
制御が重要である。最近はウェハの大口径化（φ３００
ｍｍウェハ）にともない半導体装置も大型化してきてお
り、そのため、ウェハの温度制御だけではなく、プラズ
マ放電を行う真空容器（以下反応室）の温度制御も重要
になってきている。
【０００３】その理由として、反応室を加熱すること
で、ウェハ周辺の温度分布を均一にすることができるう
え、反応室内壁に付着する堆積物を大幅に減らすことが
できるからである。反応室の加熱に関しては、精度の高
い温度制御は必要ではないが、極端な温度むらが発生す
ることは好ましいことではない。すなわち、使用してい
るヒータの断線は直ちに発見してすばやくヒータ交換す
るなど、適切に処置しなければならない。そのために
は、ヒータの断線検出機能は半導体装置に必要な機能で
ある。
で、ウェハ周辺の温度分布を均一にすることができるう
え、反応室内壁に付着する堆積物を大幅に減らすことが
できるからである。反応室の加熱に関しては、精度の高
い温度制御は必要ではないが、極端な温度むらが発生す
ることは好ましいことではない。すなわち、使用してい
るヒータの断線は直ちに発見してすばやくヒータ交換す
るなど、適切に処置しなければならない。そのために
は、ヒータの断線検出機能は半導体装置に必要な機能で
ある。
【０００４】以上のような従来のヒータ断線検出方法に
ついて、図２を用いて以下に説明する。図２は従来のヒ
ータ断線検出装置の構成を示すブロック図である。図２
において、１０は例えばヒータ（１）１０ａ、ヒータ
（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）１０ｉ、ヒータ（１
０）１０ｊからなる複数本のヒータ、１１はヒータ
（１）１０ａ、ヒータ（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）
１０ｉ、ヒータ（１０）１０ｊを電力コントロールし
て、それら複数本のヒータ１０により反応室の温度制御
をおこなうための温度調節器、１２はヒータ（１）１０
ａ、ヒータ（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）１０ｉ、ヒ
ータ（１０）１０ｊのそれぞれに対応するように設けら
れた例えば電流変換器１２ａ、１２ｂ、…、１２ｉ、１
２ｊからなる複数の電流変換器、１３は電流変換器１２
ａ、１２ｂ、…、１２ｉ、１２ｊのそれぞれに対応する
ように接続された例えば断線警報器（１）１３ａ、断線
警報器（２）１３ｂ、…、断線警報器（９）１３ｉ、断
線警報器（１０）１３ｊからなる複数の断線警報器であ
る。
ついて、図２を用いて以下に説明する。図２は従来のヒ
ータ断線検出装置の構成を示すブロック図である。図２
において、１０は例えばヒータ（１）１０ａ、ヒータ
（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）１０ｉ、ヒータ（１
０）１０ｊからなる複数本のヒータ、１１はヒータ
（１）１０ａ、ヒータ（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）
１０ｉ、ヒータ（１０）１０ｊを電力コントロールし
て、それら複数本のヒータ１０により反応室の温度制御
をおこなうための温度調節器、１２はヒータ（１）１０
ａ、ヒータ（２）１０ｂ、…、ヒータ（９）１０ｉ、ヒ
ータ（１０）１０ｊのそれぞれに対応するように設けら
れた例えば電流変換器１２ａ、１２ｂ、…、１２ｉ、１
２ｊからなる複数の電流変換器、１３は電流変換器１２
ａ、１２ｂ、…、１２ｉ、１２ｊのそれぞれに対応する
ように接続された例えば断線警報器（１）１３ａ、断線
警報器（２）１３ｂ、…、断線警報器（９）１３ｉ、断
線警報器（１０）１３ｊからなる複数の断線警報器であ
る。
【０００５】このヒータ断線検出装置においては、反応
室に取り付けられた複数本のヒータ１０は、それぞれの
ヒータリード線を電流変換器１２に数ターン巻きつけて
あり、ヒータ１０に電流が流れるとそれに比例した信号
が電流変換器１２から出力され、断線警報器１３に入力
される。そして断線警報器１３は、この信号からヒータ
の断線検出を行っている。
室に取り付けられた複数本のヒータ１０は、それぞれの
ヒータリード線を電流変換器１２に数ターン巻きつけて
あり、ヒータ１０に電流が流れるとそれに比例した信号
が電流変換器１２から出力され、断線警報器１３に入力
される。そして断線警報器１３は、この信号からヒータ
の断線検出を行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来のヒータ断線検出方法では、ヒータ１０の本数
が増加するに伴ない、必要になる電流変換器１２と断線
警報器１３の数も比例して増加していく。特にヒータ１
０の本数が１０本以上になる場合は、電流変換器１２と
断線警報器１３の取り付けスペースとコストの上昇は無
視できなくなる。
うな従来のヒータ断線検出方法では、ヒータ１０の本数
が増加するに伴ない、必要になる電流変換器１２と断線
警報器１３の数も比例して増加していく。特にヒータ１
０の本数が１０本以上になる場合は、電流変換器１２と
断線警報器１３の取り付けスペースとコストの上昇は無
視できなくなる。
【０００７】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、温度制御用に使用するヒータの本数が増加して
も、１組の電流変換器と断線警報器を用いるだけで、複
数設けられた全てのヒータの断線を検出することがで
き、そのために必要な電流変換器と断線警報器の数量増
加を抑えて、それらの取り付けスペースを削減するとと
もに、それらによるコストの上昇を抑えることができる
ヒータ断線検出方法およびその装置を提供する。
ので、温度制御用に使用するヒータの本数が増加して
も、１組の電流変換器と断線警報器を用いるだけで、複
数設けられた全てのヒータの断線を検出することがで
き、そのために必要な電流変換器と断線警報器の数量増
加を抑えて、それらの取り付けスペースを削減するとと
もに、それらによるコストの上昇を抑えることができる
ヒータ断線検出方法およびその装置を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明のヒータ断線検出方法およびその装置は、１
組の電流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複
数の断線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えて
いきながら、各ヒータの断線を検出することを特徴とす
る。
めに本発明のヒータ断線検出方法およびその装置は、１
組の電流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複
数の断線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えて
いきながら、各ヒータの断線を検出することを特徴とす
る。
【０００９】以上により、温度制御用に使用するヒータ
の本数が増加しても、１組の電流変換器と断線警報器を
用いるだけで、複数設けられた全てのヒータの断線を検
出することができ、そのために必要な電流変換器と断線
警報器の数量増加を抑えて、それらの取り付けスペース
を削減するとともに、それらによるコストの上昇を抑え
ることができる。
の本数が増加しても、１組の電流変換器と断線警報器を
用いるだけで、複数設けられた全てのヒータの断線を検
出することができ、そのために必要な電流変換器と断線
警報器の数量増加を抑えて、それらの取り付けスペース
を削減するとともに、それらによるコストの上昇を抑え
ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載のヒータ
断線検出方法は、真空容器の温度制御用に設けられた複
数本のヒータのそれぞれに、その断線検出用のリード線
を接続し、前記断線検出に際し、前記温度制御を停止す
るとともに、前記複数の断線検出用リード線の接続を順
次切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流
れる電流を取り込み、その電流量に基づいてヒータの断
線の有無を検出する方法とする。
断線検出方法は、真空容器の温度制御用に設けられた複
数本のヒータのそれぞれに、その断線検出用のリード線
を接続し、前記断線検出に際し、前記温度制御を停止す
るとともに、前記複数の断線検出用リード線の接続を順
次切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流
れる電流を取り込み、その電流量に基づいてヒータの断
線の有無を検出する方法とする。
【００１１】請求項２に記載のヒータ断線検出装置は、
真空容器の温度制御用に設けられた複数本のヒータのそ
れぞれに、その断線検出用リード線を接続し、前記断線
検出用リード線の接続を切換えるリレーと、前記断線検
出用リード線に流れる電流を検出する電流変換器と、前
記電流変換器の出力から断線を検出する断線警報器と、
マイクロコンピュータとを備え、前記マイクロコンピュ
ータを、前記断線検出の際には、前記温度制御を停止
し、前記複数の断線検出用リード線を前記リレーで順次
切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流れ
る電流を前記電流変換器で取り込み、その電流量に基づ
いて前記断線警報器でヒータの断線の有無を検出するよ
う構成する。
真空容器の温度制御用に設けられた複数本のヒータのそ
れぞれに、その断線検出用リード線を接続し、前記断線
検出用リード線の接続を切換えるリレーと、前記断線検
出用リード線に流れる電流を検出する電流変換器と、前
記電流変換器の出力から断線を検出する断線警報器と、
マイクロコンピュータとを備え、前記マイクロコンピュ
ータを、前記断線検出の際には、前記温度制御を停止
し、前記複数の断線検出用リード線を前記リレーで順次
切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流れ
る電流を前記電流変換器で取り込み、その電流量に基づ
いて前記断線警報器でヒータの断線の有無を検出するよ
う構成する。
【００１２】以上の方法および構成によると、１組の電
流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複数の断
線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えていきな
がら、各ヒータの断線を検出する。以下、本発明の実施
の形態を示すヒータ断線検出方法およびその装置につい
て、図面を参照しながら具体的に説明する。
流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複数の断
線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えていきな
がら、各ヒータの断線を検出する。以下、本発明の実施
の形態を示すヒータ断線検出方法およびその装置につい
て、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００１３】図１は本実施の形態のヒータ断線検出装置
の構成を示すブロック図である。図１に示すように、例
えばヒータ（１）１ａ、ヒータ（２）１ｂ、…、ヒータ
（９）１ｉ、ヒータ（１０）１ｊからなりそれぞれ断線
検出用リード線３を持つ１０本のヒータ１と、ヒータ１
用の温度調節器２と、断線検出用リード線３の交流電源
６との接続を切換える切換えリレー４と、断線検出用リ
ード線３に流れる電流を検出する電流変換器５と、断線
検出用の交流電源６と、電流変換器５の出力から断線を
検出する断線警報器７と、マイクロコンピュータ８と、
記憶装置９とを備えている。
の構成を示すブロック図である。図１に示すように、例
えばヒータ（１）１ａ、ヒータ（２）１ｂ、…、ヒータ
（９）１ｉ、ヒータ（１０）１ｊからなりそれぞれ断線
検出用リード線３を持つ１０本のヒータ１と、ヒータ１
用の温度調節器２と、断線検出用リード線３の交流電源
６との接続を切換える切換えリレー４と、断線検出用リ
ード線３に流れる電流を検出する電流変換器５と、断線
検出用の交流電源６と、電流変換器５の出力から断線を
検出する断線警報器７と、マイクロコンピュータ８と、
記憶装置９とを備えている。
【００１４】そして、マイクロコンピュータがヒータ用
の温度調節器に出力をＯＦＦにする指令を出すととも
に、断線検出用リード線の接続を切換えるリレーに１番
目のヒータ（１）の断線検出用リード線を接続するよう
指令を出す。その時、断線検出用の交流電源（ＡＣ）か
ら断線検出用リード線に電流を流してやり、このとき流
れる電流を電流変換器で検出し、断線警報器に取り込
む。この電流値に基づいて断線警報器でヒータに断線が
ないか確認した後、その結果を記憶装置に保存する。次
に２番目以降のヒータについても上記と同じ処理を行な
い、全てのヒータについて断線の有無を検出していく。
の温度調節器に出力をＯＦＦにする指令を出すととも
に、断線検出用リード線の接続を切換えるリレーに１番
目のヒータ（１）の断線検出用リード線を接続するよう
指令を出す。その時、断線検出用の交流電源（ＡＣ）か
ら断線検出用リード線に電流を流してやり、このとき流
れる電流を電流変換器で検出し、断線警報器に取り込
む。この電流値に基づいて断線警報器でヒータに断線が
ないか確認した後、その結果を記憶装置に保存する。次
に２番目以降のヒータについても上記と同じ処理を行な
い、全てのヒータについて断線の有無を検出していく。
【００１５】一連の作業が終わった後、マイクロコンピ
ュータは、断線検出用リード線の接続を切換えるリレー
を全て切り離すとともに、ヒータ用の温度調節器に出力
をＯＮにする指令を出し、最後に記憶装置に保存した確
認結果からヒータ断線が発生している場合は、警報を出
して作業者に通知するように構成されている。以上のこ
とを図１に対応させて説明すると、まず、マイクロコン
ピュータ８がヒータ１用の温度調節器２に出力をＯＦＦ
にするように信号を送る。それから１番目のヒータ
（１）１ａの断線検出用リード線３を接続するために、
断線検出用リード線３の接続を切換える切換えリレー４
に駆動信号を出す。この時、接続している断線検出用リ
ード線３は１つだけである。
ュータは、断線検出用リード線の接続を切換えるリレー
を全て切り離すとともに、ヒータ用の温度調節器に出力
をＯＮにする指令を出し、最後に記憶装置に保存した確
認結果からヒータ断線が発生している場合は、警報を出
して作業者に通知するように構成されている。以上のこ
とを図１に対応させて説明すると、まず、マイクロコン
ピュータ８がヒータ１用の温度調節器２に出力をＯＦＦ
にするように信号を送る。それから１番目のヒータ
（１）１ａの断線検出用リード線３を接続するために、
断線検出用リード線３の接続を切換える切換えリレー４
に駆動信号を出す。この時、接続している断線検出用リ
ード線３は１つだけである。
【００１６】同時に断線検出用の交流電源（ＡＣ）６か
ら断線検出用リード線３に電流を流してやる。この交流
電源６はＡＣ２４Ｖ程度の低い電圧のものを用いてい
る。このように交流電源６の電圧を低くすることで、断
線検出用リード線３に流れる電流が小さくなり、断線検
出用リード線３の線径を細くすることができ、配線スペ
ースを削減することができる。
ら断線検出用リード線３に電流を流してやる。この交流
電源６はＡＣ２４Ｖ程度の低い電圧のものを用いてい
る。このように交流電源６の電圧を低くすることで、断
線検出用リード線３に流れる電流が小さくなり、断線検
出用リード線３の線径を細くすることができ、配線スペ
ースを削減することができる。
【００１７】それから、断線検出用リード線３に流れる
電流を電流変換器５で検出し、断線警報器７に取り込
む。断線警報器７の警報出力でヒータに断線がないか確
認した後、マイクロコンピュータ８はその結果を記憶装
置９に保存する。次に２番目以降のヒータについても上
記と同じ処理を行ない、全てのヒータについて断線の有
無を検出していき、その結果を記憶装置９に保存する。
電流を電流変換器５で検出し、断線警報器７に取り込
む。断線警報器７の警報出力でヒータに断線がないか確
認した後、マイクロコンピュータ８はその結果を記憶装
置９に保存する。次に２番目以降のヒータについても上
記と同じ処理を行ない、全てのヒータについて断線の有
無を検出していき、その結果を記憶装置９に保存する。
【００１８】一連の作業が終わった後、マイクロコンピ
ュータ８は、切換えリレー４を全てＯＦＦにして、断線
検出用リード線３の交流電源６との接続を切り離すとと
もに、ヒータ用の温度調節器２に出力をＯＮにするよう
信号を送る。最後に記憶装置９に保存した確認結果から
ヒータ断線が発生している場合には警報を出して作業者
に報知する。
ュータ８は、切換えリレー４を全てＯＦＦにして、断線
検出用リード線３の交流電源６との接続を切り離すとと
もに、ヒータ用の温度調節器２に出力をＯＮにするよう
信号を送る。最後に記憶装置９に保存した確認結果から
ヒータ断線が発生している場合には警報を出して作業者
に報知する。
【００１９】なお、ヒータの断線検出を実行する時間間
隔は、あらかじめマイクロコンピュータ８に登録してお
くことが可能である。このようにして、１組の電流変換
器５と断線警報器７を用い、それらに対する複数の断線
検出用リード線３の接続を順次切換えリレー４で切換え
ていきながら、各ヒータ１の断線を検出することができ
る。
隔は、あらかじめマイクロコンピュータ８に登録してお
くことが可能である。このようにして、１組の電流変換
器５と断線警報器７を用い、それらに対する複数の断線
検出用リード線３の接続を順次切換えリレー４で切換え
ていきながら、各ヒータ１の断線を検出することができ
る。
【００２０】以上の結果、温度制御用に使用するヒータ
の本数が増加しても、１組の電流変換器５と断線警報器
７を用いるだけで、複数設けられた全てのヒータ１の断
線を検出することができ、そのために必要な電流変換器
５と断線警報器７の数量増加を抑えて、それらの取り付
けスペースを削減するとともに、それらによるコストの
上昇を抑えることができる。
の本数が増加しても、１組の電流変換器５と断線警報器
７を用いるだけで、複数設けられた全てのヒータ１の断
線を検出することができ、そのために必要な電流変換器
５と断線警報器７の数量増加を抑えて、それらの取り付
けスペースを削減するとともに、それらによるコストの
上昇を抑えることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、１組の電
流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複数の断
線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えていきな
がら、各ヒータの断線を検出することができる。そのた
め、温度制御用に使用するヒータの本数が増加しても、
１組の電流変換器と断線警報器を用いるだけで、複数設
けられた全てのヒータの断線を検出することができ、そ
のために必要な電流変換器と断線警報器の数量増加を抑
えて、それらの取り付けスペースを削減するとともに、
それらによるコストの上昇を抑えることができる。
流変換器と断線警報器を用い、それらに対する複数の断
線検出用リード線の接続を順次リレーで切換えていきな
がら、各ヒータの断線を検出することができる。そのた
め、温度制御用に使用するヒータの本数が増加しても、
１組の電流変換器と断線警報器を用いるだけで、複数設
けられた全てのヒータの断線を検出することができ、そ
のために必要な電流変換器と断線警報器の数量増加を抑
えて、それらの取り付けスペースを削減するとともに、
それらによるコストの上昇を抑えることができる。
【図１】本発明の一実施の形態のヒータ断線検出装置の
構成を示すブロック図
構成を示すブロック図
【図２】従来のヒータ断線検出装置の構成を示すブロッ
ク図
ク図
【符号の説明】 １ ヒータ ２ 温度調節器 ３ 断線検出用リード線 ４ 切換えリレー ５ 電流変換器 ６ （断線検出用の）交流電源 ７ 断線警報器 ８ マイクロコンピュータ ９ 記憶装置 １０ ヒータ １１ 温度調節器 １２ 電流変換器 １３ 断線警報器
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器の温度制御用に設けられた複数
本のヒータのそれぞれに、その断線検出用のリード線を
接続し、前記断線検出に際し、前記温度制御を停止する
とともに、前記複数の断線検出用リード線の接続を順次
切換えながら、その時に前記断線検出用リード線に流れ
る電流を取り込み、その電流量に基づいてヒータの断線
の有無を検出するヒータ断線検出方法。 - 【請求項２】 真空容器の温度制御用に設けられた複数
本のヒータのそれぞれに、その断線検出用リード線を接
続し、前記断線検出用リード線の接続を切換えるリレー
と、前記断線検出用リード線に流れる電流を検出する電
流変換器と、前記電流変換器の出力から断線を検出する
断線警報器と、マイクロコンピュータとを備え、前記マ
イクロコンピュータを、前記断線検出の際には、前記温
度制御を停止し、前記複数の断線検出用リード線を前記
リレーで順次切換えながら、その時に前記断線検出用リ
ード線に流れる電流を前記電流変換器で取り込み、その
電流量に基づいて前記断線警報器でヒータの断線の有無
を検出するよう構成したヒータ断線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18710799A JP2001015247A (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | ヒータ断線検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18710799A JP2001015247A (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | ヒータ断線検出方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015247A true JP2001015247A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16200232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18710799A Pending JP2001015247A (ja) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | ヒータ断線検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001015247A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6870531B2 (en) | 2001-09-25 | 2005-03-22 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Circuit and method for controlling frame ratio of LCD and LCD system having the same |
| CN103376386A (zh) * | 2012-04-20 | 2013-10-30 | 欧姆龙株式会社 | 异常检测装置、程序以及异常检测方法 |
| WO2016117375A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 株式会社デンソー | ヒータ装置 |
| JP2020118405A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | 冷蔵庫 |
-
1999
- 1999-07-01 JP JP18710799A patent/JP2001015247A/ja active Pending
Cited By (6)
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