JP2001004881A - Semiconductor laser module - Google Patents

Semiconductor laser module

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JP2001004881A
JP2001004881A JP2000109684A JP2000109684A JP2001004881A JP 2001004881 A JP2001004881 A JP 2001004881A JP 2000109684 A JP2000109684 A JP 2000109684A JP 2000109684 A JP2000109684 A JP 2000109684A JP 2001004881 A JP2001004881 A JP 2001004881A
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Japan
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semiconductor laser
temperature control
mounting surface
optical coupling
laser module
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JP2000109684A
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Jun Miyokawa
純 三代川
Masaru Kasahara
大 笠原
Yuichiro Irie
雄一郎 入江
Takeo Shimizu
健男 清水
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress deterioration in the coupling efficiency of a laser beam to an optical fiber, even if a camber is generated on a loading surface of a semiconductor laser element on a temperature control element. SOLUTION: In this semiconductor laser module 1, a radiating member 5 and an optical coupling means 7a are loaded directly or indirectly on a loading surface 3a of a temperature control element 3, and a semiconductor laser element 6 and the optical coupling means 7a are arranged on the same side relative to a first center line Lcpp crossing vertically with a tangent plane at the center of the loading surface 3a of the temperature control element 3 and/or a second center line passing through the center of the loading surface 3a of the temperature control element 3 and vertical to each of the first center line Lcpp and an axis showing the outgoing direction of a laser beam emitted from the semiconductor laser element 6, in the outgoing direction of the laser beam.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザモジ
ュールに関する。
[0001] The present invention relates to a semiconductor laser module.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の半導体レーザモジュールの構成例
を図8乃至図10に示す。図8乃至図10に示す半導体
レーザモジュール1は、パッケージ2内に、ペルチェク
ーラ(温度制御素子)3、ベース4、ヒートシンク(放
熱部材)5、LDチップ(半導体レーザ素子)6及び光
ファイバ7が収納されている。
2. Description of the Related Art FIGS. 8 to 10 show examples of the configuration of a conventional semiconductor laser module. In the semiconductor laser module 1 shown in FIGS. 8 to 10, a Peltier cooler (temperature control element) 3, a base 4, a heat sink (heat dissipation member) 5, an LD chip (semiconductor laser element) 6 and an optical fiber 7 are provided in a package 2. It is stored.

【0003】ペルチェクーラ3は、パッケージ2の底板
2a上に設けられ、上面のLDチップ6等の光部品を搭
載する搭載面3aの略中央にはベース4が固定されてい
る。ベース4には、図示のように、ヒートシンク5を介
してLDチップ6が、2つの固定部品8を介して光ファ
イバ7が、それぞれ固定されている。このとき、光ファ
イバ7は、LDチップ6と対向する一端に光結合手段と
なるレンズ部7aを形成したレンズ付き光ファイバで、
固定部品8と対応する位置にフェルール7bが取り付け
られている。また、光ファイバ7の他端は、パッケージ
2の周壁2bに設けた引出部2cから外部へ引き出され
ている。
The Peltier cooler 3 is provided on a bottom plate 2a of the package 2, and a base 4 is fixed substantially at the center of a mounting surface 3a on which an optical component such as an LD chip 6 is mounted. As shown, an LD chip 6 is fixed to the base 4 via a heat sink 5, and an optical fiber 7 is fixed to the base 4 via two fixing components 8. At this time, the optical fiber 7 is an optical fiber with a lens in which a lens portion 7a serving as an optical coupling means is formed at one end facing the LD chip 6,
A ferrule 7b is attached at a position corresponding to the fixed component 8. Further, the other end of the optical fiber 7 is drawn out from a drawing part 2 c provided on the peripheral wall 2 b of the package 2.

【0004】ここで、半導体レーザモジュール1は、ペ
ルチェクーラ3の搭載面3aの温度を検知する温度セン
サ(図示せず)がパッケージ2内の適宜位置に設けられ
ている。半導体レーザモジュール1は、この温度センサ
が検知した温度に基づいて、ペルチェクーラ3の作動が
図示しない制御手段によって外部から制御されている。
Here, the semiconductor laser module 1 has a temperature sensor (not shown) for detecting the temperature of the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3 at an appropriate position in the package 2. The operation of the Peltier cooler 3 of the semiconductor laser module 1 is externally controlled by control means (not shown) based on the temperature detected by the temperature sensor.

【0005】また、パッケージ2は、通常は、図8に示
すように周壁2bの上部に蓋2dが取り付けられるが、
図9は内部を見せるために蓋を取り外した状態を示して
いる。これは、以下に説明する図2及び図7においても
同様である。
[0005] In addition, the package 2 usually has a lid 2d attached to the upper part of the peripheral wall 2b as shown in FIG.
FIG. 9 shows a state where the lid is removed to show the inside. This is the same in FIGS. 2 and 7 described below.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の半導
体レーザモジュール1においては、環境温度の変化や作
動に伴うLDチップ6の発熱等によるLDチップ6の熱
的作動特性を安定させる目的から、ペルチェクーラ3に
よってLDチップ6を所定温度に温度制御し、特に、L
Dチップ6を搭載する側となるペルチェクーラ3上面の
搭載面3aが所定温度となるように温度制御している。
Incidentally, in the conventional semiconductor laser module 1, a Peltier device is used for the purpose of stabilizing the thermal operation characteristics of the LD chip 6 due to a change in environmental temperature and heat generation of the LD chip 6 due to the operation. The temperature of the LD chip 6 is controlled to a predetermined temperature by the cooler 3.
The temperature is controlled so that the mounting surface 3a on the upper surface of the Peltier cooler 3 on which the D chip 6 is mounted has a predetermined temperature.

【0007】このとき、ペルチェクーラ3は、駆動に伴
って、例えば、LDチップ6の発熱により搭載面3aの
温度が上昇すれば、その熱を下面へ放熱し、搭載面3a
を所定温度に保とうとする。このため、ペルチェクーラ
3は、上面の搭載面3aと下面とでは大きな温度差が生
ずることになる。従って、ペルチェクーラ3は、駆動に
伴うそれ自体の温度変化によって、構成部材の微小な膨
張や収縮が内部で発生する。この結果、ペルチェクーラ
3は、図10に示したように、LDチップ6の搭載側と
なる搭載面3aに高低差がサブμm程度の微小な反り等
の平面度の変化(以下、単に反りという)が生じる。
At this time, if the temperature of the mounting surface 3a rises due to, for example, the heat generated by the LD chip 6, the Peltier cooler 3 radiates the heat to the lower surface, and the mounting surface 3a
At a predetermined temperature. Therefore, in the Peltier cooler 3, a large temperature difference occurs between the upper mounting surface 3a and the lower surface. Therefore, in the Peltier cooler 3, a minute expansion or contraction of a component member occurs internally due to a change in temperature of the Peltier cooler itself. As a result, in the Peltier cooler 3, as shown in FIG. 10, the mounting surface 3a on which the LD chip 6 is mounted has a change in flatness such as a small warpage having a height difference of about sub-μm (hereinafter simply referred to as warpage). ) Occurs.

【0008】ここで、図10は、説明の便宜上、ペルチ
ェクーラ3及びベース4の反りを誇張して描いてあり、
以下に説明する図3及び図4(a)においても同様であ
る。このような反りが生じると、半導体レーザモジュー
ル1は、LDチップ6と光結合手段との間の光結合状態
が悪化する。特に、このような反りがレーザ光の出射方
向に生じると、半導体レーザモジュール1は、光ファイ
バ7へのレーザ光の結合効率が低下し、適切な光パワー
を光ファイバ7に出力することができないという問題を
生じる。
Here, FIG. 10 exaggerates the warp of the Peltier cooler 3 and the base 4 for convenience of explanation.
The same applies to FIGS. 3 and 4A described below. When such a warp occurs, the optical coupling state between the LD chip 6 and the optical coupling unit of the semiconductor laser module 1 deteriorates. In particular, when such a warp occurs in the emission direction of the laser light, the semiconductor laser module 1 reduces the coupling efficiency of the laser light to the optical fiber 7 and cannot output appropriate optical power to the optical fiber 7. The problem arises.

【0009】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、温度制御素子において、半導体レーザ素子の搭載面
に反りが生じても、光ファイバへのレーザ光の結合効率
の低下を抑えることができる半導体レーザモジュールを
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and it is possible to suppress a decrease in coupling efficiency of a laser beam to an optical fiber even if a surface on which a semiconductor laser device is mounted is warped in a temperature control device. It is an object of the present invention to provide a semiconductor laser module that can be used.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明においては、半導体レーザ素子、該半導体レーザ
素子の温度を所定温度に制御する温度制御素子、前記半
導体レーザ素子と前記温度制御素子との間に配置され前
記半導体レーザ素子の放熱を行う放熱部材、及び前記半
導体レーザ素子から出射されるレーザ光を光結合手段を
介して外部へ導出する光ファイバをパッケージ内に収納
した半導体レーザモジュールであって、前記放熱部材と
前記光結合手段が前記温度制御素子の搭載面上に直接あ
るいは間接に搭載され、前記半導体レーザ素子及び前記
光結合手段は、前記温度制御素子の搭載面の中心におけ
る接平面に垂直に交わる第一の中心線及び/又は前記温
度制御素子の搭載面の中心を通り前記第一の中心線と前
記半導体レーザ素子から出射されるレーザ光の出射方向
を表す軸線とのそれぞれに垂直な第二の中心線に関し、
レーザ光の出射方向において、同一の側に配置されてい
る構成としたのである。
According to the present invention, there is provided a semiconductor laser device, a temperature control device for controlling a temperature of the semiconductor laser device to a predetermined temperature, and a semiconductor laser device and a temperature control device. A heat radiation member disposed between the semiconductor laser element and a semiconductor laser module containing an optical fiber for guiding laser light emitted from the semiconductor laser element to the outside through an optical coupling means in a package. The heat radiation member and the optical coupling unit are mounted directly or indirectly on the mounting surface of the temperature control element, and the semiconductor laser element and the optical coupling unit are connected at the center of the mounting surface of the temperature control element. A first center line perpendicular to a plane and / or a center line of the mounting surface of the temperature control element, the first center line and the semiconductor laser element; Relates second centerline perpendicular to each of the axes representing the emission direction of the laser beam emitted from,
The configuration is such that they are arranged on the same side in the emission direction of the laser light.

【0011】また上記目的を達成するため本発明におい
ては、半導体レーザ素子、該半導体レーザ素子の温度を
所定温度に制御する温度制御素子、前記半導体レーザ素
子と前記温度制御素子との間に配置され前記半導体レー
ザ素子の放熱を行う放熱部材、及び前記半導体レーザ素
子から出射されるレーザ光を光結合手段を介して外部へ
導出する光ファイバをパッケージ内に収納した半導体レ
ーザモジュールであって、前記放熱部材と前記光結合手
段が前記温度制御素子の搭載面上に直接あるいは間接に
搭載され、前記半導体レーザ素子と前記光結合手段は、
前記温度制御素子の搭載面に前記半導体レーザ素子直下
で接する接平面に垂直に交わる光線束によって、前記半
導体レーザ素子から出射されるレーザ光の出射方向を表
す軸線を前記温度制御素子の搭載面に投影したときの投
影線像と前記搭載面の輪郭を示す輪郭線とが交わってな
る2点を結ぶ線分と、該線分の中点とを考え、前記光線
束によって前記半導体レーザ素子と前記光結合手段とを
前記搭載面上に投影したときに、前記半導体レーザ素子
の投影像と前記光結合手段の投影像とが前記投影線像上
に位置すると共に、前記線分の中点に関し、同一の側に
位置するように配置されている構成としたのである。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a semiconductor laser device, a temperature control device for controlling the temperature of the semiconductor laser device to a predetermined temperature, and a semiconductor laser device disposed between the semiconductor laser device and the temperature control device. A semiconductor laser module in which a heat radiating member that radiates heat of the semiconductor laser element and an optical fiber that guides a laser beam emitted from the semiconductor laser element to the outside through an optical coupling unit are housed in a package. The member and the optical coupling unit are mounted directly or indirectly on the mounting surface of the temperature control element, and the semiconductor laser element and the optical coupling unit are
By a light beam that intersects perpendicularly to a tangent plane immediately below the semiconductor laser element on the mounting surface of the temperature control element, an axis representing the emission direction of laser light emitted from the semiconductor laser element is mounted on the mounting surface of the temperature control element. Considering a line segment connecting two points where a projected line image at the time of projection and a contour line indicating the contour of the mounting surface intersect, and a midpoint of the line segment, the semiconductor laser element and the When the light coupling means is projected onto the mounting surface, the projected image of the semiconductor laser element and the projected image of the light coupling means are located on the projection line image, and with respect to the midpoint of the line segment, The configuration is such that they are located on the same side.

【0012】好ましくは、前記半導体レーザ素子を前記
光結合手段よりも温度制御素子の搭載面の中心に近い側
に配置する。また好ましくは、前記光結合手段は、ベー
スを介して前記温度制御素子上に搭載し、かつ、前記ベ
ースの前記光結合手段を搭載する部分の一部を、前記搭
載面から延出させる。
Preferably, the semiconductor laser device is arranged closer to the center of the mounting surface of the temperature control device than the optical coupling means. Preferably, the optical coupling means is mounted on the temperature control element via a base, and a part of the base on which the optical coupling means is mounted extends from the mounting surface.

【0013】更に好ましくは、前記光結合手段は、前記
光ファイバの端部に形成され、前記半導体レーザ素子か
ら出射されるレーザ光を入射する端面がレンズ状に形成
された部分を含む。ここにおいて、本明細書でいう温度
制御制御素子の搭載面の中心とは、搭載面の形状が四角
形の場合には対角線の交点を、搭載面の形状が円形の場
合には円の中心をいう。また、搭載面の形状が四角形以
外の多角形等の場合には、搭載面内で互いに直交するX
軸方向,Y軸方向のそれぞれの長さにおける2等分線の
交点を言うものとする。
[0013] More preferably, the optical coupling means includes a portion formed at an end of the optical fiber, the end face of which the laser light emitted from the semiconductor laser device is incident is formed in a lens shape. Here, the center of the mounting surface of the temperature control element referred to in the present specification refers to the intersection of diagonal lines when the mounting surface is square, and the center of the circle when the mounting surface is circular. . When the mounting surface has a shape other than a quadrangle, such as a polygon, X
The point of intersection of the bisector at each length in the axial direction and the Y-axis direction is referred to.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図1乃
至図7に基づいて詳細に説明する。ここで、本発明の半
導体レーザモジュールは、LDチップと光結合手段の位
置が異なることを除き、従来の半導体レーザモジュール
と同一の構成であるから、同一の構成要素には同一の符
号を用いることで重複した説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. Here, the semiconductor laser module of the present invention has the same configuration as the conventional semiconductor laser module except that the position of the LD chip and the optical coupling means are different, so the same reference numerals are used for the same components. The duplicate description will be omitted.

【0015】第1の実施形態となる半導体レーザモジュ
ール1を図1乃至図3に示す。図1乃至図3に示す中心
線Lcppは、ペルチェクーラ3における搭載面3aの中
心Oで接平面PT(図3参照)に垂直に交わる直線であ
る。中心線Lctrは、搭載面3aの中心Oを通り中心線
Lcppと、LDチップ6から出射されるレーザ光の出射
方向を表す軸線(以下単に、「レーザ光の光軸」とい
う)ALとにそれぞれ垂直な直線である。ここで、搭載
面3aの中心とは、搭載面3aの後述する輪郭線Sa,
Sb,Sc,Sdによって形成される四角形における対角
線の交点をいう。
FIGS. 1 to 3 show a semiconductor laser module 1 according to a first embodiment. The center line Lcpp shown in FIGS. 1 to 3 is a straight line perpendicular to the tangent plane PT (see FIG. 3) at the center O of the mounting surface 3a in the Peltier cooler 3. The center line Lctr includes a center line Lcpp passing through the center O of the mounting surface 3a and an axis AL (hereinafter, simply referred to as an “optical axis of the laser beam”) indicating the emission direction of the laser beam emitted from the LD chip 6. It is a vertical straight line. Here, the center of the mounting surface 3a refers to a contour Sa, described later, of the mounting surface 3a.
It refers to the intersection of diagonal lines in the square formed by Sb, Sc, and Sd.

【0016】本実施形態の半導体レーザモジュール1
は、図1乃至図3に示すように、これらの中心線Lcpp
及び/又はLctrに関し、LDチップ6及び光結合手段
である光ファイバ7のレンズ部7aが、同一の側、即
ち、本実施形態では、図中中心線Lcpp,Lctrの右側に
配置されていることに特徴がある。中心線Lctrは、レ
ーザ光の光軸ALと中心線Lcppとを含む平面に垂直に交
わっている。
Semiconductor laser module 1 of the present embodiment
Are, as shown in FIGS. 1 to 3, these center lines Lcpp
And / or Lctr, the LD chip 6 and the lens portion 7a of the optical fiber 7 as the optical coupling means are arranged on the same side, that is, in the present embodiment, on the right side of the center lines Lcpp and Lctr in the drawing. There is a feature. The center line Lctr is perpendicular to a plane including the optical axis AL of the laser beam and the center line Lcpp.

【0017】また、別の観点から本実施形態の半導体レ
ーザモジュール1の特徴を説明する。図4(a),
(b)に示すように、LDチップ6の中央直下に位置す
る搭載面3a上の点Pにおいて、搭載面3aに接触する
接平面PTに垂直な仮想的な光線束Qを考える。このと
き、光線束Qによってレーザ光の光軸ALをペルチェク
ーラ3の搭載面3a上に投影したときの像を投影像IAL
とする。そして、投影像IALと、ペルチェクーラ3の搭
載面3aに関する輪郭線Sa,Sb,Sc,Sdのうち、
2つの輪郭線Sa,Sbとが交わってなる2点T,Uを
結ぶ線分Vと、線分Vの中点Wを考える。また、光線束
Qによって、LDチップ6と、レンズ部7aを含む光フ
ァイバ7とを搭載面3a上に投影したときのLDチップ
6の投影像I6と光ファイバ7の投影像I7を考える。
The characteristics of the semiconductor laser module 1 according to this embodiment will be described from another viewpoint. FIG. 4 (a),
As shown in (b), at a point P on the mounting surface 3a located immediately below the center of the LD chip 6, consider a virtual light beam Q perpendicular to the tangent plane PT contacting the mounting surface 3a. At this time, an image obtained by projecting the optical axis AL of the laser beam on the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3 by the light beam Q is a projected image IAL.
And Then, of the projected image IAL and the contour lines Sa, Sb, Sc, and Sd relating to the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3,
Consider a line segment V connecting two points T and U where two contour lines Sa and Sb intersect, and a middle point W of the line segment V. Also, consider a projected image I6 of the LD chip 6 and a projected image I7 of the optical fiber 7 when the LD chip 6 and the optical fiber 7 including the lens portion 7a are projected on the mounting surface 3a by the light beam Q.

【0018】すると、半導体レーザモジュール1におい
ては、LDチップ6の投影像I6及び光ファイバ7の投
影像I7が投影像IAL上に位置すると共に、線分Vの中
点Wに関して同一の側(ここでは図面上右側)に位置す
るように、LDチップ6とレンズ部7aが配置されてい
る。別の表現をすると、半導体レーザモジュール1にお
いては、図4(a),(b)に示したように、LDチッ
プ6の出射端面におけるレーザ光の出射点とレンズ部7
a端面における前記レーザ光の受光点とを結ぶ線分M
を、光線束Qでペルチェクーラ3の搭載面3aに投影し
た投影像IMは、線分Vを中点Wで分けたとき、そのい
ずれか一方側に完全に含まれる。
Then, in the semiconductor laser module 1, the projected image I6 of the LD chip 6 and the projected image I7 of the optical fiber 7 are located on the projected image IAL, and are on the same side (here, the midpoint W of the line segment V). In the drawing, the LD chip 6 and the lens portion 7a are arranged so as to be positioned on the right side in the drawing. In other words, in the semiconductor laser module 1, as shown in FIGS. 4A and 4B, the emission point of the laser light on the emission end face of the LD chip 6 and the lens portion 7
a line segment M connecting the laser light receiving point on the end face
Is projected onto the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3 with the light beam Q, when the line segment V is divided by the midpoint W, it is completely included on one of the sides.

【0019】この実施形態の半導体レーザモジュール1
では、図4(b)に示したように、光ファイバ7の光軸
Aopを光線束Qによってペルチェクーラ3の搭載面3a
に投影したとき投影像IALに一致するように、光ファイ
バ7を配置している。しかし、例えば、光ファイバ7の
端面からLDチップ6への戻り光の防止のために、光軸
Aopを光線束Qによってペルチェクーラ3の搭載面3a
に投影したときに、投影像IALに一致させないように、
点Pにおける接平面PTと平行な面内でLDチップ6か
ら出射されるレーザ光の光軸ALと光ファイバ7の光軸
Aopとの相対位置が僅かにずれるように、LDチップ6
と光ファイバ7とを配置してもよい。
Semiconductor laser module 1 of this embodiment
Then, as shown in FIG. 4B, the optical axis Aop of the optical fiber 7 is shifted by the light beam Q to the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3.
The optical fiber 7 is arranged so as to coincide with the projection image IAL when projected onto the optical fiber 7. However, for example, in order to prevent return light from the end face of the optical fiber 7 to the LD chip 6, the optical axis Aop is shifted by the light beam Q to the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3.
When projecting on, so as not to match the projected image IAL,
The LD chip 6 is moved so that the relative position between the optical axis AL of the laser beam emitted from the LD chip 6 and the optical axis Aop of the optical fiber 7 slightly deviates in a plane parallel to the tangent plane PT at the point P.
And the optical fiber 7 may be arranged.

【0020】また、半導体レーザモジュール1は、搭載
面3aの輪郭線Sa,Sb,Sc,Sdが長方形を描くペ
ルチェクーラ3を用いている。このため、半導体レーザ
モジュール1においては、中点Wはペルチェクーラ3に
おける搭載面3aの中心Oに一致し、中心線Lcpp,Lc
trは中心O及び中点Wを通っている。よって中心O及び
中点WとLDチップ6及びレンズ部7aとの位置関係に
関する説明は、中心線Lcpp,LctrとLDチップ6及び
レンズ部7aとの位置関係に関する説明と同じになる。
従って、中心線Lcpp、LctrとLDチップ6及びレンズ
部7aとの位置関係だけを説明し、中心O及び中点Wと
LDチップ6及びレンズ部7aとの位置関係に関する説
明は省略する。
The semiconductor laser module 1 uses the Peltier cooler 3 in which the outlines Sa, Sb, Sc, and Sd of the mounting surface 3a draw a rectangle. For this reason, in the semiconductor laser module 1, the center point W coincides with the center O of the mounting surface 3a in the Peltier cooler 3, and the center lines Lcpp, Lc
tr passes through the center O and the midpoint W. Therefore, the description about the positional relationship between the center O and the midpoint W and the LD chip 6 and the lens portion 7a is the same as the description about the positional relationship between the center lines Lcpp and Lctr and the LD chip 6 and the lens portion 7a.
Therefore, only the positional relationship between the center lines Lcpp and Lctr and the LD chip 6 and the lens portion 7a will be described, and description of the positional relationship between the center O and the midpoint W and the LD chip 6 and the lens portion 7a will be omitted.

【0021】半導体レーザモジュール1において、LD
チップ6及びレンズ部7aを上記のように配置すること
によって本発明の効果が発現される理由を以下に説明す
る。図5は、ペルチェクーラ3の搭載面3aの反りを、
室温(約25℃)において、接触式の表面粗さ計で測定
して得られた測定結果を斜視図(3次元表示)によって
示したものである。
In the semiconductor laser module 1, the LD
The reason why the effects of the present invention are exhibited by arranging the chip 6 and the lens portion 7a as described above will be described below. FIG. 5 shows the warpage of the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3,
FIG. 3 is a perspective view (three-dimensional display) showing measurement results obtained by measuring with a contact type surface roughness meter at room temperature (about 25 ° C.).

【0022】図5に示すように、ペルチェクーラ3の搭
載面3aには温度の影響などによる反りが生じており、
中心Oにおける反りが特に大きくなっている。また、ペ
ルチェクーラ3の2つの輪郭線Sa,Sb上の任意の2
点T,Uを結んで線分Vを形成したとき、線分V上で反
りが一番大きいのは線分Vの中点Wとなっている。従っ
て、線分V上において中点Wのどちらか一方側にLDチ
ップ6の投影像I6とレンズ部7aを含む光ファイバ7
の投影像I7とがくるように、LDチップ6とレンズ部
7aを配置する。すると、半導体レーザモジュール1
は、中点Wを跨ってその両側にLDチップ6とレンズ部
7aとを配置した場合に比べて、中点Wにおける大きな
反りの影響を回避できる。
As shown in FIG. 5, the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3 is warped due to the influence of temperature and the like.
The warp at the center O is particularly large. Also, an arbitrary 2 on the two contour lines Sa and Sb of the Peltier cooler 3
When the line segment V is formed by connecting the points T and U, the largest warpage on the line segment V is the middle point W of the line segment V. Accordingly, on either side of the midpoint W on the line segment V, the projected image I6 of the LD chip 6 and the optical fiber 7 including the lens portion 7a
The LD chip 6 and the lens portion 7a are arranged so that the projected image I7 of the above comes. Then, the semiconductor laser module 1
Can avoid the influence of a large warp at the middle point W as compared with the case where the LD chip 6 and the lens portion 7a are arranged on both sides across the middle point W.

【0023】例えば、図3に示すように、本実施形態の
半導体レーザモジュール1において、ペルチェクーラ3
の搭載面3aに、レーザ光の出射方向において、図5の
場合と同様に反りが生じたとする。このときLDチップ
6から出射されるレーザ光の光軸ALと光ファイバ7の
光軸Aopとが交差してなる角度を交差角θ1とし、光軸
AL,Aopを含む面内において、光軸AL,Aopのそれぞ
れと接する円弧を考えたときの曲率半径を、図3に示す
ようにR1とする。
For example, as shown in FIG. 3, in the semiconductor laser module 1 of this embodiment, the Peltier cooler 3
It is assumed that the mounting surface 3a has a warp in the laser light emission direction as in the case of FIG. At this time, the angle at which the optical axis AL of the laser beam emitted from the LD chip 6 intersects with the optical axis Aop of the optical fiber 7 is defined as an intersection angle θ1, and the optical axis AL in a plane including the optical axes AL and Aop. , Aop, the radius of curvature when considering an arc tangent to each of them is R1 as shown in FIG.

【0024】一方、図10に示した従来の半導体レーザ
モジュール1において、ペルチェクーラ3の搭載面3a
に同じく反りが生じたとする。このとき、LDチップ6
から出射されるレーザ光の光軸ALと光ファイバ7の光
軸Aopとが交差してなる角度を交差角θ2とし、同様
に、光軸AL,Aopを含む面内において、光軸AL,Aop
のそれぞれと接する円弧を考えたときの曲率半径を、図
10に示すようにR2とする。
On the other hand, in the conventional semiconductor laser module 1 shown in FIG.
Is warped. At this time, the LD chip 6
The angle formed by the intersection of the optical axis AL of the laser beam emitted from the optical axis and the optical axis Aop of the optical fiber 7 is defined as an intersection angle θ2, and similarly, in the plane including the optical axes AL and Aop, the optical axes AL and Aop
Let R2 be the radius of curvature when considering an arc that contacts each of the above.

【0025】ここで、図3に示す半導体レーザモジュー
ルと図10に示す半導体レーザモジュールとでは、同一
の雰囲気温度におけるペルチェクーラ3の反り形状は同
一であるものとする。すると、LDチップ6とレンズ部
7aとの間の端面間距離α1(図3参照)及び端面間距
離α2(図10参照)は、いずれも曲率半径R1,R2
に対して十分小さいので、次の近似式で与えられる。 α1=R1・θ1 ………(式1) α2=R2・θ2 ………(式2)
Here, it is assumed that the semiconductor laser module shown in FIG. 3 and the semiconductor laser module shown in FIG. 10 have the same warp shape of the Peltier cooler 3 at the same ambient temperature. Then, the distance α1 between the end faces (see FIG. 3) and the distance α2 between the end faces (see FIG. 10) between the LD chip 6 and the lens portion 7a are both curvature radii R1, R2.
And is given by the following approximation: α1 = R1 · θ1 (Equation 1) α2 = R2 · θ2 (Equation 2)

【0026】ここで、端面間距離α1,α2は、LDチッ
プ6とレンズ部7aとの間の光結合効率を確保するため
一定の値となるように設計される(α1=α2)。よっ
て、式1と式2とから下記の式が得られる。 R1・θ1=R2・θ2 ………(式3) このとき、図3の半導体レーザモジュール1では、LD
チップ6とレンズ部7aとを搭載面3aの中心線Lcp
p、Lctrに対して同一側に配置している。このため、図
3の半導体レーザモジュール1は、図1〜図3に示した
中心線Lcpp,Lctr上の大きな反りの影響を回避でき
る。これに対して、従来の半導体レーザモジュール1
は、図10に示すように、LDチップ6とレンズ部7a
とを搭載面3aの中心線Lcpp、Lctrを挟んで配置して
いるので、中心線Lcpp、Lctr上の大きな反りの影響を
受けてしまう。
Here, the distances α1 and α2 between the end faces are designed to be constant values (α1 = α2) in order to secure the optical coupling efficiency between the LD chip 6 and the lens portion 7a. Therefore, the following equation is obtained from Equations 1 and 2. R1 · θ1 = R2 · θ2 (Equation 3) At this time, in the semiconductor laser module 1 of FIG.
The chip 6 and the lens portion 7a are connected to the center line Lcp of the mounting surface 3a.
It is arranged on the same side with respect to p and Lctr. Therefore, the semiconductor laser module 1 of FIG. 3 can avoid the influence of the large warpage on the center lines Lcpp and Lctr shown in FIGS. On the other hand, the conventional semiconductor laser module 1
Is, as shown in FIG. 10, the LD chip 6 and the lens portion 7a.
Are arranged so as to sandwich the center lines Lcpp and Lctr of the mounting surface 3a, and therefore are greatly affected by the warpage on the center lines Lcpp and Lctr.

【0027】よって、曲率半径R2は、曲率半径R1より
も小さくなる(R1>R2)ことから、式3の関係によ
り、θ1<θ2が得られる。このように、本実施形態の半
導体レーザモジュール1における、レーザ光の光軸AL
と光ファイバ7の光軸Aopとの交差角θ1は、従来の半
導体レーザモジュール1における、レーザ光の光軸AL
と光ファイバ7の光軸Aopとの交差角θ2よりも小さく
なる。
Accordingly, since the radius of curvature R2 is smaller than the radius of curvature R1 (R1> R2), θ1 <θ2 is obtained from the relationship of Expression 3. Thus, in the semiconductor laser module 1 of the present embodiment, the optical axis AL of the laser beam
The intersection angle θ1 between the optical axis Aop of the optical fiber 7 and the optical axis AL of the laser light in the conventional semiconductor laser module 1 is
Is smaller than the intersection angle θ2 between the optical axis Aop of the optical fiber 7 and the optical axis Aop.

【0028】加えて、上記では端面間距離α1,α2は同
一と仮定した。しかし、実際には本実施形態の半導体レ
ーザモジュールにおける端面間距離α1は、ペルチェク
ーラ3の搭載面3aの中心Oにおける大きな反りの影響
を受けない分、従来の半導体レーザモジュールにおける
端面距離α2よりも、端面間距離が温度によって変動す
る温度依存性も小さいといえる。
In addition, it has been assumed above that the distances α1, α2 between the end faces are the same. However, in practice, the distance α1 between the end faces in the semiconductor laser module of the present embodiment is not affected by the large warpage at the center O of the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3, and is therefore larger than the end face distance α2 in the conventional semiconductor laser module. It can also be said that the temperature dependency in which the distance between the end faces fluctuates with the temperature is small.

【0029】以上のような理由から、LDチップ6とレ
ンズ部7aを中心線Lcpp,Lctrの図中右側に配置する
本実施形態の構成とした場合、LDチップ6から出射さ
れたレーザ光がレンズ部7aへ結合するときの結合効率
の低下を小さく抑えることができる、という本発明の効
果を発現できる。本実施形態の半導体レーザモジュール
1は、LDチップ6及びレンズ部7aが、ペルチェクー
ラ3の搭載面3aにおける中心線Lcpp,Lctrに関して
同一の側であれば、図中左側に配置されていてもよい。
For the reasons described above, when the LD chip 6 and the lens portion 7a are arranged on the right side of the center lines Lcpp and Lctr in the drawing in the present embodiment, the laser light emitted from the LD chip 6 The effect of the present invention that a decrease in coupling efficiency when coupling to the portion 7a can be suppressed can be exhibited. The semiconductor laser module 1 of the present embodiment may be arranged on the left side in the figure as long as the LD chip 6 and the lens portion 7a are on the same side with respect to the center lines Lcpp and Lctr on the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3. .

【0030】但し、LDチップ6は、本実施形態のよう
に、ペルチェクーラ3上面の搭載面3aにおける中心線
Lcpp,Lctrよりも右側に配置した方が、即ち、レンズ
部7aよりもペルチェクーラ3の搭載面3aの中心Oに
近い側に配置した方が、左側に配置した場合に比べて、
LDチップ6が出す熱をペルチェクーラ3上面の搭載面
3a全体に拡散させることができる。よって、ペルチェ
クーラ3による放熱性が向上し、半導体レーザモジュー
ルとしての高出力特性及び光出力の安定性等を確保する
ことができる。また、それとともに、スペース効率良く
LDチップ6と光ファイバ7をペルチェクーラ3の搭載
面3aに配置できるという効果を得ることができる。
However, when the LD chip 6 is disposed on the mounting surface 3a on the upper surface of the Peltier cooler 3 on the right side of the center lines Lcpp and Lctr, as in this embodiment, that is, the Peltier cooler 3 is disposed on the upper side than the lens portion 7a. Of the mounting surface 3a closer to the center O of the mounting surface 3a,
The heat generated by the LD chip 6 can be diffused to the entire mounting surface 3a on the upper surface of the Peltier cooler 3. Therefore, the heat dissipation by the Peltier cooler 3 is improved, and high output characteristics and light output stability as a semiconductor laser module can be secured. At the same time, it is possible to obtain an effect that the LD chip 6 and the optical fiber 7 can be arranged on the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3 with good space efficiency.

【0031】本実施形態では、LDチップ6と光結合さ
れる光結合手段は、図1〜図3に示すように、光ファイ
バ7におけるレーザ光入射端面がレンズ状に形成された
レンズ部7aである。このような光ファイバ端面のレン
ズ部7aとLDチップ6とを直接光結合させる構成をと
った場合、単体レンズを介した光結合に比べて、これら
光部品の配置精度が非常に高くなければならない(およ
そ10倍の配置精度が必要と言われる)。従って、この
ようにレンズ部7aとLDチップ6とを直接光結合させ
る構成の半導体レーザモジュールの場合、ペルチェクー
ラ3の反りの影響を低減し、光部品同士の高い配置精度
を実現できる本発明が極めて有効に適用される。
In this embodiment, the optical coupling means optically coupled to the LD chip 6 is a lens portion 7a in which the laser light incident end face of the optical fiber 7 is formed in a lens shape, as shown in FIGS. is there. When such a configuration is adopted in which the lens portion 7a on the end face of the optical fiber and the LD chip 6 are directly optically coupled, the arrangement accuracy of these optical components must be very high as compared with optical coupling via a single lens. (It is said that an arrangement accuracy of about 10 times is necessary). Therefore, in the case of a semiconductor laser module having a configuration in which the lens portion 7a and the LD chip 6 are directly optically coupled to each other, the present invention that can reduce the influence of the warpage of the Peltier cooler 3 and realize high placement accuracy between optical components. Very effectively applied.

【0032】また、本実施形態において、ヒートシンク
5と光ファイバ7とを搭載したベース4は、その一部、
より具体的には光ファイバ7を搭載する部分の一部が、
図3に示すように、搭載面3aから光軸Aop方向に沿っ
て右方へ長さL延出させて搭載面3aに固定されてい
る。従って、半導体レーザモジュール1は、光ファイバ
7をベース4に固定する長さを十分に確保できる。
In this embodiment, the base 4 on which the heat sink 5 and the optical fiber 7 are mounted is partially
More specifically, part of the portion where the optical fiber 7 is mounted is
As shown in FIG. 3, the length L extends rightward from the mounting surface 3a along the direction of the optical axis Aop and is fixed to the mounting surface 3a. Therefore, the semiconductor laser module 1 can secure a sufficient length for fixing the optical fiber 7 to the base 4.

【0033】次に、本発明の他の実施形態となる半導体
レーザモジュールについて図6及び図7を参照して説明
する。図6及び図7に示す半導体レーザモジュール1で
は、LDチップ6をペルチェクーラ3における搭載面3
aの中心線Lcpp,Lctrよりも図中右側に配置する。こ
れと共に、光ファイバ7は、一端にフェルール7cが取
り付けられ、フェルール7cをパッケージ2の周壁2b
に設けた保持部2eでLDチップ6と対向させて保持す
ると共に、他端を、パッケージ2の周壁2bに設けた保
持部2eから外部へ引き出す。そして、LDチップ6と
光ファイバ7との光結合手段は、ヒートシンク5と隣接
してベース4に固定部品11を介して設けた球レンズ1
2を使用する。この場合、球レンズ12の他、非球面レ
ンズあるいはロッドレンズ等の各種光学レンズ部品を使
用することができる。
Next, a semiconductor laser module according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the semiconductor laser module 1 shown in FIGS. 6 and 7, the LD chip 6 is mounted on the mounting surface 3 of the Peltier cooler 3.
It is arranged on the right side in the figure with respect to the center lines Lcpp and Lctr of a. At the same time, a ferrule 7c is attached to one end of the optical fiber 7, and the ferrule 7c is attached to the peripheral wall 2b of the package 2.
And holding the LD chip 6 so as to face the LD chip 6, and pull out the other end from the holding portion 2 e provided on the peripheral wall 2 b of the package 2. The optical coupling means between the LD chip 6 and the optical fiber 7 is a spherical lens 1 provided on the base 4 via the fixing component 11 adjacent to the heat sink 5.
Use 2. In this case, in addition to the spherical lens 12, various optical lens components such as an aspheric lens or a rod lens can be used.

【0034】半導体レーザモジュール1は、球レンズ1
2を使用しても、LDチップ6から出射されたレーザ光
が球レンズ部12によって集光されて光ファイバ7へ結
合され、結合効率の低下を小さく抑えることができる。
上記各実施形態では、ペルチェクーラ3の上にベース4
が固定され、ヒートシンク5、光結合手段であるレンズ
部7aを有する光ファイバ7が固定部品8を介して、あ
るいは光結合手段である球レンズ12が固定部品11を
介して、ペルチェクーラ3上に間接に搭載された場合の
半導体レーザモジュールについて説明した。しかし、ベ
ース4は、均熱板及びペルチェクーラ3の搭載面3aへ
各種部品を搭載する補助部品として使用するので必ずし
も必要ではなく、ペルチェクーラ3の搭載面3aに、ヒ
ートシンク5、光結合手段であるレンズ部7aを有する
光ファイバ7が固定部品8を介して、あるいは光結合手
段である球レンズ12が固定部品11を介して、直接搭
載してもよい。
The semiconductor laser module 1 includes a spherical lens 1
Even with the use of 2, the laser light emitted from the LD chip 6 is condensed by the spherical lens unit 12 and coupled to the optical fiber 7, so that a decrease in coupling efficiency can be suppressed.
In each of the above embodiments, the base 4 is placed on the Peltier cooler 3.
Is fixed, and the heat sink 5 and the optical fiber 7 having the lens portion 7a as the optical coupling means are provided on the Peltier cooler 3 via the fixed component 8, or the spherical lens 12 as the optical coupling means is provided on the Peltier cooler 3 via the fixed component 11. The semiconductor laser module mounted indirectly has been described. However, since the base 4 is used as an auxiliary component for mounting various components on the mounting surface 3a of the heat equalizing plate and the Peltier cooler 3, the base 4 is not necessarily required. The optical fiber 7 having a certain lens portion 7a may be directly mounted via the fixed component 8, or the spherical lens 12 as the optical coupling means may be directly mounted via the fixed component 11.

【0035】上記各実施形態では、ペルチェクーラ3上
に1組のLDチップ6とレンズ部7aが搭載されている
例を示したが、本発明はペルチェクーラ3上にこれらL
Dチップ6とレンズ部7aを複数組、搭載したものにも
適用可能である。また、ペルチェクーラ3の搭載面3a
の形状は本実施形態では長方形であったが、搭載面3a
の形状は、例えば円形や、四角形以外の多角形など、い
かなるものであってもよい。
In each of the above-described embodiments, an example is shown in which one set of the LD chip 6 and the lens portion 7a are mounted on the Peltier cooler 3. However, in the present invention, these L chips 6 are mounted on the Peltier cooler 3.
The present invention is also applicable to a device in which a plurality of sets of the D chip 6 and the lens portion 7a are mounted. Also, the mounting surface 3a of the Peltier cooler 3
Is rectangular in the present embodiment, but the mounting surface 3a
May be any shape such as a circle or a polygon other than a square.

【0036】更に、ペルチェクーラ3の反りはペルチェ
クーラ3の構成部材の材質やパッケージその他の部材の
材質などによっても影響される。このため、これらの材
質や温度環境によっては、ペルチェクーラが図3に図示
したものとは逆向き(下に凸)に反ることも考えられる
が、本発明はこのような逆向きの反りに対しても同様に
効果を奏する。
Further, the warpage of the Peltier cooler 3 is affected by the material of the components of the Peltier cooler 3, the material of the package and other members. For this reason, depending on these materials and the temperature environment, the Peltier cooler may warp in the opposite direction (convex downward) to that shown in FIG. The same effect can be obtained.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1乃至5の発明によれば、温度制
御素子において、半導体レーザ素子の搭載面に反りが生
じても、光ファイバへのレーザ光の結合効率の低下を抑
えることができる半導体レーザモジュールを提供するこ
とができる。
According to the first to fifth aspects of the present invention, in the temperature control element, even if the mounting surface of the semiconductor laser element warps, a decrease in the coupling efficiency of the laser light to the optical fiber can be suppressed. A semiconductor laser module can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体レーザモジュールの第1の実施
形態を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a semiconductor laser module of the present invention.

【図2】図1の半導体レーザモジュールの平面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view of the semiconductor laser module of FIG. 1;

【図3】図1の半導体レーザモジュールにおける半導体
レーザ素子と光結合手段の温度制御素子の中心線に関す
る配置を示す拡大側面図である。
FIG. 3 is an enlarged side view showing the arrangement of the semiconductor laser element and the optical control means with respect to the center line of the temperature control element in the semiconductor laser module of FIG. 1;

【図4】温度制御素子上における半導体レーザ素子と光
結合手段の配置を、図3とは異なる観点から説明する説
明図であり、(a)は側面図、(b)は平面図である。
FIGS. 4A and 4B are explanatory diagrams illustrating the arrangement of the semiconductor laser element and the optical coupling unit on the temperature control element from a viewpoint different from FIG. 3, wherein FIG. 4A is a side view and FIG.

【図5】ペルチェクーラの反りを測定した結果を示す斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the result of measuring the warpage of the Peltier cooler.

【図6】本発明の半導体レーザモジュールの他の実施形
態を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the semiconductor laser module of the present invention.

【図7】図6の半導体レーザモジュールの平面図であ
る。
FIG. 7 is a plan view of the semiconductor laser module of FIG. 6;

【図8】従来の半導体レーザモジュールの断面図であ
る。
FIG. 8 is a sectional view of a conventional semiconductor laser module.

【図9】図8の半導体レーザモジュールの平面図であ
る。
FIG. 9 is a plan view of the semiconductor laser module of FIG. 8;

【図10】図8の従来の半導体レーザモジュールにおけ
る半導体レーザ素子と光結合手段の温度制御素子の中心
線に関する配置を示す拡大側面図である。
FIG. 10 is an enlarged side view showing the arrangement of the semiconductor laser device and the optical control means with respect to the center line of the temperature control device in the conventional semiconductor laser module of FIG. 8;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体レーザモジュール 2 パッケージ 3 ペルチェクーラ(温度制御素子) 4 ベース 5 ヒートシンク(放熱部材) 6 LDチップ(半導体レーザ素子) 7 光ファイバ 7a レンズ部(光結合手段) 8 固定部品 11 固定部品 12 球レンズ AL 光軸(レーザ光の) Aop 光軸(光ファイバの) Lcpp 中心線(第1の) Lctr 中心線(第2の) θ1,θ2 交差角(光軸ALと光軸Aopとの) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor laser module 2 Package 3 Peltier cooler (temperature control element) 4 Base 5 Heat sink (heat dissipation member) 6 LD chip (semiconductor laser element) 7 Optical fiber 7a Lens part (optical coupling means) 8 Fixed component 11 Fixed component 12 Spherical lens AL Optical axis (of laser light) Aop Optical axis (of optical fiber) Lcpp Center line (first) Lctr Center line (second) θ1, θ2 Intersection angle (between optical axis AL and optical axis Aop)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 入江 雄一郎 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 清水 健男 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2H037 BA02 CA08 DA03 DA04 DA06 5F073 AB28 FA07 FA23 FA25  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yuichiro Irie 2-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Furukawa Electric Co., Ltd. (72) Inventor Takeo Shimizu 2-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo F-term in Furukawa Electric Co., Ltd. (reference) 2H037 BA02 CA08 DA03 DA04 DA06 5F073 AB28 FA07 FA23 FA25

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体レーザ素子、該半導体レーザ素子
の温度を所定温度に制御する温度制御素子、前記半導体
レーザ素子と前記温度制御素子との間に配置され、前記
半導体レーザ素子の放熱を行う放熱部材、及び前記半導
体レーザ素子から出射されるレーザ光を光結合手段を介
して外部へ導出する光ファイバをパッケージ内に収納し
た半導体レーザモジュールであって、 前記放熱部材と前記光結合手段が、前記温度制御素子の
搭載面上に直接あるいは間接に搭載され、 前記半導体レーザ素子及び前記光結合手段は、前記温度
制御素子の搭載面の中心における接平面に垂直に交わる
第一の中心線及び/又は前記温度制御素子の搭載面の中
心を通り前記第一の中心線と前記半導体レーザ素子から
出射されるレーザ光の出射方向を表す軸線とのそれぞれ
に垂直な第二の中心線に関し、レーザ光の出射方向にお
いて、同一の側に配置されていることを特徴とする半導
体レーザモジュール。
1. A semiconductor laser device, a temperature control device for controlling a temperature of the semiconductor laser device to a predetermined temperature, and a heat radiator disposed between the semiconductor laser device and the temperature control device for radiating heat of the semiconductor laser device. A semiconductor laser module in which a member and an optical fiber for guiding a laser beam emitted from the semiconductor laser element to the outside via an optical coupling unit are housed in a package, wherein the heat dissipation member and the optical coupling unit are The semiconductor laser device and the optical coupling unit are mounted directly or indirectly on the mounting surface of the temperature control element, and the first center line perpendicularly intersecting a tangent plane at the center of the mounting surface of the temperature control element and / or The line between the first center line passing through the center of the mounting surface of the temperature control element and the axis indicating the emission direction of the laser light emitted from the semiconductor laser element. It relates second centerline perpendicular to, respectively, the semiconductor laser module, characterized in that in the emission direction of the laser beam, are arranged on the same side.
【請求項2】 半導体レーザ素子、該半導体レーザ素子
の温度を所定温度に制御する温度制御素子、前記半導体
レーザ素子と前記温度制御素子との間に配置され、前記
半導体レーザ素子の放熱を行う放熱部材、及び前記半導
体レーザ素子から出射されるレーザ光を光結合手段を介
して外部へ導出する光ファイバをパッケージ内に収納し
た半導体レーザモジュールであって、 前記放熱部材と前記光結合手段が、前記温度制御素子の
搭載面上に直接あるいは間接に搭載され、 前記半導体レーザ素子と前記光結合手段は、前記温度制
御素子の搭載面に前記半導体レーザ素子直下で接する接
平面に垂直に交わる光線束によって、前記半導体レーザ
素子から出射されるレーザ光の出射方向を表す軸線を前
記温度制御素子の搭載面に投影したときの投影線像と前
記搭載面の輪郭を示す輪郭線とが交わってなる2点を結
ぶ線分と、該線分の中点とを考え、前記光線束によって
前記半導体レーザ素子と前記光結合手段とを前記搭載面
上に投影したときに、前記半導体レーザ素子の投影像と
前記光結合手段の投影像とが前記投影線像上に位置する
と共に、前記線分の中点に関し、同一の側に位置するよ
うに配置されていることを特徴とする半導体レーザモジ
ュール。
2. A semiconductor laser device, a temperature control device for controlling the temperature of the semiconductor laser device to a predetermined temperature, and a heat radiator disposed between the semiconductor laser device and the temperature control device for radiating heat of the semiconductor laser device. A semiconductor laser module in which a member and an optical fiber for guiding a laser beam emitted from the semiconductor laser element to the outside via an optical coupling unit are housed in a package, wherein the heat dissipation member and the optical coupling unit are The semiconductor laser device and the optical coupling unit are mounted directly or indirectly on the mounting surface of the temperature control element, and the light beam that intersects perpendicularly with a tangent plane that is in contact with the mounting surface of the temperature control element immediately below the semiconductor laser device. A projection line obtained by projecting an axis representing an emission direction of laser light emitted from the semiconductor laser element onto a mounting surface of the temperature control element. Considering a line segment connecting two points where a contour line indicating the contour of the mounting surface intersects and a midpoint of the line segment, the light beam bundle mounts the semiconductor laser element and the optical coupling unit. When projected on a plane, the projected image of the semiconductor laser element and the projected image of the optical coupling means are located on the projected line image, and are located on the same side with respect to the midpoint of the line segment. A semiconductor laser module, wherein the semiconductor laser module is disposed in a semiconductor laser module.
【請求項3】 前記半導体レーザ素子は前記光結合手段
よりも温度制御素子の搭載面の中心に近い側に配置され
ている、請求項1または2に記載の半導体レーザモジュ
ール。
3. The semiconductor laser module according to claim 1, wherein said semiconductor laser element is disposed closer to a center of a mounting surface of said temperature control element than said optical coupling means.
【請求項4】 前記光結合手段は、ベースを介して前記
温度制御素子上に搭載され、かつ、前記ベースの前記光
結合手段を搭載する部分の一部が、前記搭載面から延出
している、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体レー
ザモジュール。
4. The optical coupling means is mounted on the temperature control element via a base, and a part of the base on which the optical coupling means is mounted extends from the mounting surface. The semiconductor laser module according to claim 1.
【請求項5】 前記光結合手段は、前記光ファイバの端
部に形成され、前記半導体レーザ素子から出射されるレ
ーザ光を入射する端面がレンズ状に形成された部分を含
む、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザモジ
ュール。
5. An optical fiber according to claim 1, wherein said optical coupling means includes a portion formed at an end of said optical fiber and having an end face formed in a lens shape for receiving a laser beam emitted from said semiconductor laser element. 5. The semiconductor laser module according to any one of 4.
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