JP2001004795A - X-ray waveguide - Google Patents

X-ray waveguide

Info

Publication number
JP2001004795A
JP2001004795A JP11169486A JP16948699A JP2001004795A JP 2001004795 A JP2001004795 A JP 2001004795A JP 11169486 A JP11169486 A JP 11169486A JP 16948699 A JP16948699 A JP 16948699A JP 2001004795 A JP2001004795 A JP 2001004795A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
angle
rays
waveguide
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11169486A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiko Tani
克彦 谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP11169486A priority Critical patent/JP2001004795A/en
Publication of JP2001004795A publication Critical patent/JP2001004795A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a X-ray waveguide that bends the direction of X rays in an intended direction. SOLUTION: In a X-ray waveguide 1, upper faces 3a, 3b, 3c,... linking to a top face 4a are shaped like a staircase with a prescribed number of steps and are made of aluminum and the like and upper faces 3b, 3c,... and top faces 4b, 4c,... perpendicular to the upper faces 3b, 3c,... are formed on each of the second step or higher. In the X-ray waveguide 1, when X rays 5 are incident at an incidence angle θfrom the top face 4a, the X rays 5 are refracted by only a refractive angle Δ1 and then they are emitted at an emission angle θ+Δ2 that is obtained by refracting them from the upper face 3a of the first step by only a refractive angle Δ2 and are incident on the top face 4b of the next step. Thereafter, the X rays 5 are refracted similarly when they are incident from the top faces 4b, 4c,... and when they are emitted from the upper faces 3b, 3c,... to deflect the X rays 5 by only an angle conforming to the number of steps formed on the upper faces 3a, 3b, 3c,... and propagate the X rays 5. Consequently, the X rays 5 can be deflected by an intended angle by setting the number of steps of the upper faces 3a, 3b, 3c,... if necessary.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線導波路に関
し、詳細には、X線の方向を意図する方向に曲げること
のできるX線導波路に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an X-ray waveguide, and more particularly, to an X-ray waveguide capable of bending an X-ray in a desired direction.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線は、一般に、物質中でも直進するた
め、導波路を作成することは非常に困難である。
2. Description of the Related Art It is very difficult to form a waveguide because X-rays generally travel straight through a substance.

【0003】そのため、従来では、電子密度の大きい材
質で形成されたキャピラリーや電子密度の大きい壁で挟
まれた層内をX線を伝搬させることが行われている。
[0003] Therefore, conventionally, X-rays are propagated in a capillary formed of a material having a high electron density or a layer sandwiched between walls having a high electron density.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術にあっては、意図する方向にX線を曲げ
ることができず、種々の計測分析装置や光学機器におい
て、X線の方向を意図する方向に曲げることのできるX
線導波路が切望されている。
However, in such a conventional technique, the X-ray cannot be bent in an intended direction, and the direction of the X-ray is changed in various measurement / analysis apparatuses and optical instruments. X that can be bent in the intended direction
A line waveguide is needed.

【0005】そこで、請求項1記載の発明は、所定の物
質で、頂面につながる少なくとも1つの側面が所定段数
の階段状に形成されて、2段目以降の各段に側面と当該
側面に対して直角方向に延在する垂直面とが形成され、
頂面から階段状の側面方向に向かって所定の入射角でX
線が入射されると、当該入射されたX線を所定の屈折角
で屈折させた後、1段目の側面から所定の屈折角で出射
させて次段の垂直面に当該屈折後の角度で入射させ、以
降、垂直面からの入射時と側面からの出射時に上記屈折
角だけ屈折させることを側面に形成された段数だけ繰り
返し行って、X線を側面に形成された段数に対応する角
度だけ偏向させて伝搬させることにより、側面の段数を
適宜設定して意図する角度にX線を偏向させ、利用性の
良好なX線導波路を提供することを目的としている。
[0005] In view of the above, according to the first aspect of the present invention, at least one side surface connected to the top surface is formed in a predetermined number of steps with a predetermined substance, and the side surface and the side surface are formed in each of the second and subsequent steps. A vertical surface extending in a direction perpendicular to the direction is formed,
X at a predetermined incident angle from the top surface toward the stepwise side surface
When a ray is incident, the incident X-ray is refracted at a predetermined refraction angle, and then emitted at a predetermined refraction angle from the side surface of the first stage to the next vertical surface at an angle after the refraction. The X-rays are refracted by the refraction angle at the time of incidence from the vertical surface and at the time of emission from the side surface, and are repeatedly performed by the number of steps formed on the side surface. It is an object of the present invention to provide an X-ray waveguide with good usability by deflecting and propagating to deflect an X-ray to an intended angle by appropriately setting the number of steps on the side surface.

【0006】請求項2記載の発明は、階段状に形成され
た側面を、側面と垂直面との交点を結んだ曲線が対数曲
線となる形状に形成することにより、特定波長のX線の
みを階段状の側面に沿って伝搬させ、例えば、単色波長
のX線のみを取り出すことのできるより一層利用性の良
好なX線導波路を提供することを目的としている。
According to a second aspect of the present invention, the X-rays of a specific wavelength are formed only by forming the side surface formed in a step shape into a shape in which a curve connecting the intersection of the side surface and the vertical surface becomes a logarithmic curve. It is an object of the present invention to provide an X-ray waveguide that can be propagated along a stepwise side surface and that can take out, for example, only X-rays of a monochromatic wavelength and that is more usable.

【0007】請求項3記載の発明は、X線導波路を形成
している物質を、X線の周波数がωのとき、その屈折率
の分散がδ(ω)であると、X線の各段における偏向角
がδであるものを使用することにより、効率よくX線を
X線導波路に導入して、X線を意図する角度により適切
に偏向させ、より一層利用性の良好なX線導波路を提供
することを目的としている。
According to a third aspect of the present invention, when the X-ray frequency is ω and the dispersion of the refractive index is δ (ω), the material forming the X-ray waveguide is By using a stage having a deflection angle of δ, X-rays can be efficiently introduced into the X-ray waveguide, X-rays can be appropriately deflected at an intended angle, and X-rays with even better availability can be obtained. It is intended to provide a waveguide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明のX
線導波路は、所定の物質で形成され、頂面につながる少
なくとも1つの側面が所定段数の階段状に形成されて、
2段目以降の各段に前記側面と当該側面に対して直角方
向に延在する垂直面とが形成されたX線導波路であっ
て、前記頂面から前記階段状の側面方向に所定角度傾斜
した所定の入射角でX線が入射されると、当該入射され
たX線を所定の屈折角で屈折させた後、1段目の前記側
面から所定の屈折角で出射させて次段の前記垂直面に当
該屈折後の角度で入射させ、以降、前記垂直面からの入
射時と前記側面からの出射時に上記屈折角だけ屈折させ
ることを前記側面に形成された段数だけ繰り返し行っ
て、前記X線を前記側面に形成された段数に対応する角
度だけ偏向させて伝搬させることにより、上記目的を達
成している。
According to the present invention, X is used.
The line waveguide is formed of a predetermined material, and at least one side surface connected to the top surface is formed in a predetermined number of steps,
An X-ray waveguide in which the side surface and a vertical surface extending in a direction perpendicular to the side surface are formed in each of the second and subsequent stages, wherein the X-ray waveguide has a predetermined angle from the top surface to the stepwise side surface direction. When an X-ray is incident at a predetermined inclined incident angle, the incident X-ray is refracted at a predetermined refraction angle, and then emitted from the side surface of the first stage at a predetermined refraction angle, and is then transmitted to the next stage. It is incident on the vertical surface at the angle after the refraction, and thereafter, it is repeatedly performed by the number of steps formed on the side surface to be refracted by the refraction angle at the time of incidence from the vertical surface and at the time of emission from the side surface, The above object is achieved by deflecting the X-rays by an angle corresponding to the number of steps formed on the side surface and transmitting the X-rays.

【0009】上記構成によれば、所定の物質で、頂面に
つながる少なくとも1つの側面が所定段数の階段状に形
成されて、2段目以降の各段に側面と当該側面に対して
直角方向に延在する垂直面とが形成され、頂面から階段
状の側面方向に向かって所定の入射角でX線が入射され
ると、当該入射されたX線を所定の屈折角で屈折させた
後、1段目の側面から所定の屈折角で出射させて次段の
垂直面に当該屈折後の角度で入射させ、以降、垂直面か
らの入射時と側面からの出射時に上記屈折角だけ屈折さ
せることを側面に形成された段数だけ繰り返し行って、
X線を側面に形成された段数に対応する角度だけ偏向さ
せて伝搬させるので、側面の段数を適宜設定して意図す
る角度にX線を偏向させることができ、X線導波路の利
用性を向上させることができる。
According to the above construction, at least one side surface connected to the top surface is formed in a predetermined number of steps with a predetermined substance, and the side surfaces and the right angles to the side surfaces are formed in each of the second and subsequent steps. Is formed, and when an X-ray is incident at a predetermined incident angle from the top surface toward the stepwise side direction, the incident X-ray is refracted at a predetermined refraction angle. Then, the light is emitted from the side surface of the first stage at a predetermined refraction angle, and is incident on the vertical surface of the next stage at the angle after the refraction. Repeatedly for the number of steps formed on the side,
Since the X-rays are propagated while being deflected by an angle corresponding to the number of steps formed on the side surface, the number of steps on the side surface can be appropriately set to deflect the X-rays to an intended angle. Can be improved.

【0010】この場合、例えば、請求項2に記載するよ
うに、前記階段状に形成された前記側面は、前記側面と
前記垂直面との交点を結んだ曲線が対数曲線となる形状
に形成されていてもよい。
In this case, for example, as described in claim 2, the side surface formed in the step shape is formed in a shape in which a curve connecting the intersection of the side surface and the vertical surface is a logarithmic curve. May be.

【0011】上記構成によれば、階段状に形成された側
面を、側面と垂直面との交点を結んだ曲線が対数曲線と
なる形状に形成しているので、特定波長のX線のみを階
段状の側面に沿って伝搬させることができ、例えば、単
色波長のX線のみを取り出すことができ、X線導波路の
利用性をより一層向上させることができる。
According to the above configuration, the side surface formed in a step shape is formed in a shape in which a curve connecting the intersection of the side surface and the vertical surface is a logarithmic curve. Thus, for example, only X-rays of a monochromatic wavelength can be extracted, and the usability of the X-ray waveguide can be further improved.

【0012】また、例えば、請求項3に記載するよう
に、前記X線導波路を形成している物質は、前記X線の
周波数がωのとき、その屈折率の分散がδ(ω)である
と、前記X線の各段における偏向角がδであってもよ
い。
Further, for example, as described in claim 3, when the frequency of the X-ray is ω, the substance forming the X-ray waveguide has a refractive index dispersion of δ (ω). In this case, the deflection angle of each stage of the X-ray may be δ.

【0013】上記構成によれば、X線導波路を形成して
いる物質を、X線の周波数がωのとき、その屈折率の分
散がδ(ω)であると、X線の各段における偏向角がδ
であるものを使用しているので、効率よくX線をX線導
波路に導入して、X線を意図する角度により適切に偏向
させることができ、X線導波路の利用性をより一層向上
させることができる。
According to the above configuration, when the X-ray frequency is ω and the dispersion of the refractive index is δ (ω), the material forming the X-ray waveguide is Deflection angle is δ
Is used, X-rays can be efficiently introduced into the X-ray waveguide, and the X-rays can be appropriately deflected at an intended angle, thereby further improving the usability of the X-ray waveguide. Can be done.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the embodiments described below are preferred embodiments of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. The embodiments are not limited to these embodiments unless otherwise specified.

【0015】図1は、本発明のX線導波路の一実施の形
態を示す図であり、図1は、本発明のX線導波路の一実
施の形態を適用したX線導波路1の要部拡大正面図であ
る。
FIG. 1 is a view showing an embodiment of an X-ray waveguide according to the present invention. FIG. 1 is a view showing an X-ray waveguide 1 to which an embodiment of the X-ray waveguide according to the present invention is applied. It is a principal part enlarged front view.

【0016】図1において、X線導波路1は、図1の紙
面に対して鉛直方向に所定幅を有し、図1の下面にあた
る底面2が平面状に、その側面としての上面が順次その
長さが短くなる第1段上面3a、第2段上面3b、第3
段上面3c・・・からなる所定の階段状に形成されてい
る。すなわち、X線導波路1は、その上面3a、3b、
3c、・・・が、第1段、第2段、第3段、・・・と階
段状に形成されており、図1の左側面である各段の頂面
4a、4b、4c、・・・の長さは、後述するように第
1段目の頂面4aから所定の入射角で入射したX線5
が、その段の上面4aから所定の出射角で出射して、次
の第2段の頂面(垂直面)4bから所定の入射角で入射
して、その段の上面3bから出射するという入射と出射
を適切に繰り返すのに必要充分な長さである。
In FIG. 1, an X-ray waveguide 1 has a predetermined width in a direction perpendicular to the plane of the paper of FIG. 1, a bottom surface 2 corresponding to a lower surface of FIG. The first step upper surface 3a, the second step upper surface 3b, the third step
It is formed in a predetermined step-like shape consisting of a step upper surface 3c. That is, the X-ray waveguide 1 has upper surfaces 3a, 3b,
Are formed in a step-like manner as a first step, a second step, a third step,..., And the top surfaces 4a, 4b, 4c,. The length of the X-rays 5 incident at a predetermined incident angle from the top surface 4a of the first stage as described later
Is emitted from the upper surface 4a of the stage at a predetermined emission angle, is incident from the top surface (vertical surface) 4b of the next second stage at a predetermined incident angle, and is emitted from the upper surface 3b of the stage. And the length is necessary and sufficient to appropriately repeat the emission.

【0017】X線導波路1は、各上面3a、3b、3
c、・・・が、頂面4aについて示すように、頂面4
a、4b、4c、・・・と上面3a、3b、3c、・・
・との交点からX線5の入射位置までの長さdが、1μ
mであって、入射角θが、10-2〜10-3ラジアンであ
るとすると、100μm〜1000μmの長さを有して
いれば、頂面4a、4b、4c、・・・から入射したX
線5が上面3a、3b、3c、・・・から適切に出射し
て、次段の頂面4a、4b、4c、・・・に入射する。
The X-ray waveguide 1 has upper surfaces 3a, 3b, 3
c,... indicate the top surface 4a.
a, 4b, 4c,... and upper surfaces 3a, 3b, 3c,.
The length d from the point of intersection to the incident position of the X-ray 5 is 1 μm
m, and the incident angle θ is 10 −2 to 10 −3 radian, and if it has a length of 100 μm to 1000 μm, light is incident from the top surfaces 4a, 4b, 4c,. X
The line 5 is appropriately emitted from the upper surfaces 3a, 3b, 3c,... And enters the next top surface 4a, 4b, 4c,.

【0018】X線導波路1は、その階段状の上面3a、
3b、3c、・・・が、その頂面4a、4b、4c、・
・・との角部(交点)を結んだ線が対数曲線形状になる
ように形成されている。
The X-ray waveguide 1 has a stepped upper surface 3a,
3b, 3c,... Are the top surfaces 4a, 4b, 4c,.
The line connecting the corners (intersection points) with the .. is formed so as to have a logarithmic curve shape.

【0019】そして、X線導波路1は、アルミニウム
(Al)等の材質で形成されており、X線4に対する屈
折率が「1」よりもわずかに小さい値となっている。い
ま、X線導波路1の屈折率を、n(ω)=1−δ(ω)
−iβ(ω)とすると、δ(ω)は、X線5の周波数ω
に依存するが、通常、10-5程度の大きさである。
The X-ray waveguide 1 is formed of a material such as aluminum (Al), and has a refractive index for X-rays 4 slightly smaller than "1". Now, let the refractive index of the X-ray waveguide 1 be n (ω) = 1−δ (ω)
−iβ (ω), δ (ω) is the frequency ω of the X-ray 5
It is usually about 10-5.

【0020】すなわち、X線導波路1を形成している物
質は、X線5の周波数がωのとき、その屈折率の分散が
δ(ω)であると、X線5の各段における偏向角がδで
ある物質である。
That is, when the frequency of the X-ray 5 is ω and the dispersion of the refractive index is δ (ω), the material forming the X-ray waveguide 1 deflects at each stage of the X-ray 5. A substance whose angle is δ.

【0021】次に、本実施の形態の作用を説明する。X
線導波路1は、第1段の頂面4aから入射されるX線5
をその上面3a、3b、3c、・・・の階段形状に沿っ
て、伝搬させるところにその特徴がある。
Next, the operation of the present embodiment will be described. X
The line waveguide 1 is provided with an X-ray 5 incident from the top surface 4a of the first stage.
Is propagated along the steps of the upper surfaces 3a, 3b, 3c,....

【0022】すなわち、X線導波路1は、図1に第1段
目の頂面4aに対して、当該頂面4aの放線に対する角
度θで示す上面3a方向に傾斜した所定の微少角度を有
してX線5が入射されると、X線導波路1のX線5に対
する屈折率が「1」よりわずかに小さく、上述のよう
に、X線導波路1の屈折率を、n(ω)=1−δ(ω)
−iβ(ω)とすると、δ(ω)は、X線5の周波数ω
に依存するが、通常、10-5程度の大きさであるため、
第1段目の頂面4aから入射したX線5は、次に示すス
ネル(Snell)の法則から、X線導波路1の第1段
目の頂面4aでΔ1だけ屈折され、第1段目の上面3a
に対して、当該上面3aとのなす角度が、θ+Δ1の状
態で上面3aに入射する。X線5は、第1段目の上面3
aから出射する際、再度屈折されて、上面3aとのなす
角度が、θ+Δ2となる。
That is, the X-ray waveguide 1 has a predetermined slight angle with respect to the top surface 4a of the first step in FIG. 1 in the direction of the upper surface 3a indicated by an angle θ with respect to the radiation of the top surface 4a. Then, when the X-ray 5 is incident, the refractive index of the X-ray waveguide 1 with respect to the X-ray 5 is slightly smaller than “1”, and as described above, the refractive index of the X-ray waveguide 1 is set to n (ω ) = 1−δ (ω)
−iβ (ω), δ (ω) is the frequency ω of the X-ray 5
It is usually about 10-5,
The X-rays 5 incident from the top surface 4a of the first stage are refracted by Δ1 on the top surface 4a of the first stage of the X-ray waveguide 1 according to Snell's law shown below, and Upper surface 3a of the eye
Incident on the upper surface 3a at an angle of θ + Δ1 with the upper surface 3a. X-ray 5 is on top surface 3 of the first stage
When the light is emitted from a, the light is refracted again and the angle with the upper surface 3a becomes θ + Δ2.

【0023】スネルの法則;sinθ=(1−δ)si
n(θ+Δ1),(1−δ)cos(θ+Δ1)=co
s(θ+Δ2) このスネルの法則で、2次の微少量を省略すると、Δ2
=δとなる。したがって、第1段目の頂面4aにその放
線に対して角度θで入射したX線5は、第1段目の上面
3aからθ+Δ2、すなわち、δだけ偏向した状態で出
射する。
Snell's law; sin θ = (1-δ) si
n (θ + Δ1), (1−δ) cos (θ + Δ1) = co
s (θ + Δ2) In the Snell's law, if a second-order minute amount is omitted, Δ2
= Δ. Therefore, the X-rays 5 incident on the top surface 4a of the first stage at an angle θ with respect to the radiation are emitted from the upper surface 3a of the first stage while being deflected by θ + Δ2, that is, δ.

【0024】上記第1段目の上面3aからθ+Δ2(す
なわち、θ+δ)の角度を有して出射したX線5は、第
2段目の頂面4bに対して、当該頂面4bの放線とのな
す角度が、θ+Δ2で入射する。
The X-rays 5 emitted from the upper surface 3a of the first stage at an angle of θ + Δ2 (that is, θ + δ) are emitted from the top surface 4b of the second stage with the radiation of the top surface 4b. Are incident at θ + Δ2.

【0025】この第2段目においても、X線5は、上記
第1段目と同様に屈折し、第2段目の上面3bから入射
角に対してδ(=Δ2)だけ上方に偏向した状態で出射
する。
Also in the second stage, the X-ray 5 is refracted in the same manner as in the first stage, and is deflected upward from the upper surface 3b of the second stage by δ (= Δ2) with respect to the incident angle. It is emitted in a state.

【0026】そして、X線5は、上記各段での頂面4
a、4b、4c、・・・への入射と上面3a、3b、3
c、・・・からの出射を繰り返すことにより、図1で上
方にδずつ偏向し、X線導波路1に形成されている段数
nに応じた角度nδだけ偏向される。
The X-ray 5 is applied to the top surface 4 at each of the above steps.
, 4b, 4c,... and upper surfaces 3a, 3b, 3
By repeating emission from c,..., the light is deflected upward by δ in FIG. 1 and is deflected by an angle nδ corresponding to the number n of stages formed in the X-ray waveguide 1.

【0027】したがって、X線導波路1にX線5を偏向
させる角度に必要な段数の頂面4a、4b、4c、・・
・と上面3a、3b、3c、・・・からなる階段構造を
形成すると、X線5を当該階段形状に沿って伝搬させ
て、意図する角度だけX線5を偏向させることができ
る。
Therefore, the top surfaces 4a, 4b, 4c,... Of the required number of angles for deflecting the X-rays 5 in the X-ray waveguide 1 are provided.
, And the upper surface 3a, 3b, 3c,..., The X-ray 5 can be propagated along the step-like shape to deflect the X-ray 5 by an intended angle.

【0028】このように、本実施の形態のX線導波路1
は、アルミニウム等の物質で、頂面4aにつながる側面
である上面3a、3b、3c、・・・が所定段数の階段
状に形成されて、2段目以降の各段に上面3b、3c、
・・・と当該上面3b、3c、・・・に対して直角方向
に延在する垂直面である頂面4b、4c、・・・とが形
成され、頂面4aから階段状の上面3a方向に向かって
所定の入射角θでX線5が入射されると、当該入射され
たX線5を所定の屈折角Δ1だけ屈折させた後、すなわ
ち、X線導波路1内に入射されたX線5の角度がθ+Δ
1となる角度だけ屈折させた後、1段目の上面3aから
所定の屈折角Δ2だけ屈折させた出射角θ+Δ2で出射
させて次段の頂面4bに当該屈折後の角度で入射させ、
以降、頂面4b、4c、・・・からの入射時と上面3
b、3c、・・・からの出射時に上記屈折角だけ屈折さ
せることを上面3a、3b、3c、・・・に形成された
段数だけ繰り返し行って、X線5を上面3a、3b、3
c、・・・に形成された段数に対応する角度だけ偏向さ
せて伝搬させる。
As described above, the X-ray waveguide 1 of the present embodiment
Are upper surfaces 3a, 3b, 3c,..., Which are side surfaces connected to the top surface 4a, are formed in a predetermined number of steps, and upper surfaces 3b, 3c,.
, And top surfaces 4b, 4c,..., Which are vertical surfaces extending in a direction perpendicular to the upper surfaces 3b, 3c,. When the X-rays 5 are incident at a predetermined incident angle θ toward the X-ray waveguide 1, the X-rays 5 are refracted by a predetermined refraction angle Δ1, that is, the X-rays 5 Angle of line 5 is θ + Δ
After being refracted by an angle of 1, the light is emitted from the upper surface 3a of the first stage at an emission angle θ + Δ2 refracted by a predetermined refraction angle Δ2, and is incident on the top surface 4b of the next stage at the angle after the refraction.
Thereafter, when the light enters from the top surfaces 4b, 4c,.
b, 3c,... are refracted by the refraction angle by the number of steps formed on the upper surfaces 3a, 3b, 3c,.
The light beam is deflected by an angle corresponding to the number of stages formed in c,.

【0029】したがって、上面3a、3b、3c、・・
・の段数を適宜設定して意図する角度にX線5を偏向さ
せることができ、X線導波路1の利用性を向上させるこ
とができる。
Therefore, the upper surfaces 3a, 3b, 3c,.
The X-ray 5 can be deflected to an intended angle by appropriately setting the number of stages, and the usability of the X-ray waveguide 1 can be improved.

【0030】また、本実施の形態のX線導波路1は、階
段状に形成された上面3a、3b、3c、・・・を、上
面3a、3b、3c、・・・と頂面4a、4b、4c、
・・・との交点を結んだ曲線が対数曲線となる形状に形
成している。
The X-ray waveguide 1 of the present embodiment has a stepped upper surface 3a, 3b, 3c,... 4b, 4c,
. Are formed in a shape that becomes a logarithmic curve.

【0031】したがって、特定波長のX線5のみを階段
状の上面3a、3b、3c、・・・に沿って伝搬させる
ことができ、例えば、単色波長のX線のみを取り出すこ
とができ、X線導波路1の利用性をより一層向上させる
ことができる。
Therefore, only the X-rays 5 having a specific wavelength can be propagated along the step-like upper surfaces 3a, 3b, 3c,... The usability of the line waveguide 1 can be further improved.

【0032】さらに、本実施の形態のX線導波路1は、
X線導波路1を形成している物質を、X線5の周波数が
ωのとき、その屈折率の分散がδ(ω)であると、X線
5の各段における偏向角がδであるものを使用してい
る。
Further, the X-ray waveguide 1 of the present embodiment is
When the frequency of the X-ray 5 is ω and the dispersion of the refractive index is δ (ω), the deflection angle at each stage of the X-ray 5 is δ. Use things.

【0033】したがって、効率よくX線5をX線導波路
1に導入して、X線5を意図する角度により適切に偏向
させることができ、X線導波路1の利用性をより一層向
上させることができる。
Therefore, the X-rays 5 can be efficiently introduced into the X-ray waveguide 1, and the X-rays 5 can be appropriately deflected at an intended angle, so that the usability of the X-ray waveguide 1 is further improved. be able to.

【0034】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the preferred embodiments, the invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0035】例えば、上記実施の形態においては、X線
導波路1の上面3a、3b、3c、・・・のみを階段形
状に形成しているが、階段形状に形成するのは、上面3
a、3b、3c、・・・に限るものではなく、底面2を
も、階段形状に形成してもよいし、図1の紙面手前側や
紙面裏面側の側面をも、階段形状に形成してもよい。
For example, in the above-described embodiment, only the upper surface 3a, 3b, 3c,... Of the X-ray waveguide 1 is formed in a stepped shape.
are not limited to a, 3b, 3c,..., but the bottom surface 2 may be formed in a stepped shape, and the side surface on the near side or the back side in FIG. You may.

【0036】[0036]

【発明の効果】請求項1記載の発明のX線導波路によれ
ば、所定の物質で、頂面につながる少なくとも1つの側
面が所定段数の階段状に形成されて、2段目以降の各段
に側面と当該側面に対して直角方向に延在する垂直面と
が形成され、頂面から階段状の側面方向に向かって所定
の入射角でX線が入射されると、当該入射されたX線を
所定の屈折角で屈折させた後、1段目の側面から所定の
屈折角で出射させて次段の垂直面に当該屈折後の角度で
入射させ、以降、垂直面からの入射時と側面からの出射
時に上記屈折角だけ屈折させることを側面に形成された
段数だけ繰り返し行って、X線を側面に形成された段数
に対応する角度だけ偏向させて伝搬させるので、側面の
段数を適宜設定して意図する角度にX線を偏向させるこ
とができ、X線導波路の利用性を向上させることができ
る。
According to the X-ray waveguide of the first aspect of the present invention, at least one side surface connected to the top surface is formed in a predetermined number of steps with a predetermined substance, and each of the second and subsequent steps is formed. A side surface and a vertical surface extending in a direction perpendicular to the side surface are formed on the step, and when X-rays are incident at a predetermined incident angle from the top surface toward the stepwise side surface direction, the X-ray is incident. After refracting the X-ray at a predetermined refraction angle, the X-ray is emitted at a predetermined refraction angle from the side surface of the first stage, and is incident on the next vertical surface at the post-refraction angle. And the refraction by the refraction angle at the time of emission from the side surface is repeatedly performed by the number of steps formed on the side surface, and the X-ray is deflected by an angle corresponding to the number of steps formed on the side surface and propagated. The X-ray can be deflected to an intended angle by setting it appropriately. It is possible to improve the utilization of the road.

【0037】請求項2記載の発明のX線導波路によれ
ば、階段状に形成された側面を、側面と垂直面との交点
を結んだ曲線が対数曲線となる形状に形成しているの
で、特定波長のX線のみを階段状の側面に沿って伝搬さ
せることができ、例えば、単色波長のX線のみを取り出
すことができ、X線導波路の利用性をより一層向上させ
ることができる。
According to the X-ray waveguide according to the second aspect of the present invention, the side surface formed in a step shape is formed in a shape in which a curve connecting the intersection of the side surface and the vertical surface becomes a logarithmic curve. Only X-rays of a specific wavelength can be propagated along the step-like side surface. For example, only X-rays of a monochromatic wavelength can be extracted, and the usability of the X-ray waveguide can be further improved. .

【0038】請求項3記載の発明のX線導波路によれ
ば、X線導波路を形成している物質を、X線の周波数が
ωのとき、その屈折率の分散がδ(ω)であると、X線
の各段における偏向角がδであるものを使用しているの
で、効率よくX線をX線導波路に導入して、X線を意図
する角度により適切に偏向させることができ、X線導波
路の利用性をより一層向上させることができる。
According to the X-ray waveguide of the third aspect of the present invention, when the X-ray frequency is ω, the refractive index dispersion of the substance forming the X-ray waveguide is δ (ω). In such a case, since the deflection angle of each stage of the X-ray is δ, it is possible to efficiently introduce the X-ray into the X-ray waveguide and appropriately deflect the X-ray at the intended angle. As a result, the usability of the X-ray waveguide can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のX線導波路の一実施の形態を適用した
X線導波路の要部拡大正面図。
FIG. 1 is an enlarged front view of a main part of an X-ray waveguide to which an embodiment of an X-ray waveguide according to the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 X線導波路 2 底面 3a、3b、3c、・・・ 上面 4a、4b、4c、・・・ 頂面 5 X線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray waveguide 2 Bottom surface 3a, 3b, 3c ... Top surface 4a, 4b, 4c ... Top surface 5 X-ray

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】所定の物質で形成され、頂面につながる少
なくとも1つの側面が所定段数の階段状に形成されて、
2段目以降の各段に前記側面と当該側面に対して直角方
向に延在する垂直面とが形成されたX線導波路であっ
て、前記頂面から前記階段状の側面方向に所定角度傾斜
した所定の入射角でX線が入射されると、当該入射され
たX線を所定の屈折角で屈折させた後、1段目の前記側
面から所定の屈折角で出射させて次段の前記垂直面に当
該屈折後の角度で入射させ、以降、前記垂直面からの入
射時と前記側面からの出射時に上記屈折角だけ屈折させ
ることを前記側面に形成された段数だけ繰り返し行っ
て、前記X線を前記側面に形成された段数に対応する角
度だけ偏向させて伝搬させることを特徴とするX線導波
路。
1. A method according to claim 1, wherein at least one side surface connected to the top surface is formed in a predetermined number of steps, and is formed of a predetermined material.
An X-ray waveguide in which the side surface and a vertical surface extending in a direction perpendicular to the side surface are formed in each of the second and subsequent stages, wherein the X-ray waveguide has a predetermined angle from the top surface to the stepwise side surface direction. When an X-ray is incident at a predetermined inclined incident angle, the incident X-ray is refracted at a predetermined refraction angle, and then emitted from the side surface of the first stage at a predetermined refraction angle, and is then transmitted to the next stage. It is incident on the vertical surface at the angle after the refraction, and thereafter, it is repeatedly performed by the number of steps formed on the side surface to be refracted by the refraction angle at the time of incidence from the vertical surface and at the time of emission from the side surface, An X-ray waveguide, wherein an X-ray is deflected and propagated by an angle corresponding to the number of steps formed on the side surface.
【請求項2】前記階段状に形成された前記側面は、前記
側面と前記垂直面との交点を結んだ曲線が対数曲線とな
る形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載
のX線導波路。
2. The method according to claim 1, wherein the side surface formed in the step shape is formed in a shape in which a curve connecting an intersection of the side surface and the vertical surface is a logarithmic curve. X-ray waveguide.
【請求項3】前記X線導波路を形成している物質は、前
記X線の周波数がωのとき、その屈折率の分散がδ
(ω)であると、前記X線の各段における偏向角がδで
あることを特徴とする請求項1または請求項2記載のX
線導波路。
3. The material forming the X-ray waveguide has a refractive index dispersion of δ when the frequency of the X-ray is ω.
The X-ray according to claim 1 or 2, wherein when (ω), the deflection angle at each stage of the X-ray is δ.
Line waveguide.
JP11169486A 1999-06-16 1999-06-16 X-ray waveguide Pending JP2001004795A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11169486A JP2001004795A (en) 1999-06-16 1999-06-16 X-ray waveguide

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11169486A JP2001004795A (en) 1999-06-16 1999-06-16 X-ray waveguide

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001004795A true JP2001004795A (en) 2001-01-12

Family

ID=15887433

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11169486A Pending JP2001004795A (en) 1999-06-16 1999-06-16 X-ray waveguide

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001004795A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007120997A (en) * 2005-10-25 2007-05-17 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Method and device for scanning x-ray beam
CN105140768A (en) * 2015-09-28 2015-12-09 湖北航天技术研究院总体设计所 One-dimensional, multi-beam and high duty-cycle device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007120997A (en) * 2005-10-25 2007-05-17 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Method and device for scanning x-ray beam
JP4724885B2 (en) * 2005-10-25 2011-07-13 独立行政法人産業技術総合研究所 X-ray beam scanning method and apparatus
CN105140768A (en) * 2015-09-28 2015-12-09 湖北航天技术研究院总体设计所 One-dimensional, multi-beam and high duty-cycle device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211905857U (en) Near-eye display
US6317554B1 (en) Self-waveguide optical circuit
JPH0694939A (en) Optical wave guide element
JP4237665B2 (en) Optical waveguide sensor and manufacturing method thereof
JP2005510699A5 (en)
JP2009260118A (en) Optical module
US6381389B1 (en) Optical coupling device and optical coupling method using photonic crystal
JP2008108688A (en) Surface light emitting device, and display device using it
WO2009151488A2 (en) Conversion device with multi-faceted output face and laser projection system incorporating the same
US6992806B2 (en) Optical element, optical deflection element, optical multiplexing element, and scanning apparatus
JP2001004795A (en) X-ray waveguide
KR101753898B1 (en) Apparatus for excitation of surface plasmon wave
JP2751119B2 (en) Parallel light creation device
JP2006330066A (en) Optical reflection face and its forming method
JPH01107213A (en) Optical waveguide element
JPH01107214A (en) Optical waveguide element
JP3555888B2 (en) Self-guided optical circuit
JP5324565B2 (en) Waveguide array capable of bending light beams
JP2731390B2 (en) Tapered waveguide
JPH06111358A (en) Optical waveguide element
JP5316137B2 (en) Optical deflection element
JP2005114768A (en) Plasmon mode optical waveguide
JP2714097B2 (en) Optical waveguide device
JPS6040602B2 (en) light focusing device
JPH06103542B2 (en) Waveguide type optical head

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees