【発明の詳細な説明】
可変電圧モードを有するメモリドライバ
発明の背景 発明の属する技術分野
本発明は、ワードライン上で正及び負の電圧をドライブすることができる、メ
モリアレイに用いられるワードラインドライバに関し、特に、消去モード中にワ
ードラインへ負の電圧を、及び読取りモードとプログラムモード中に個々のワー
ドラインへ正の電圧を印加するフローティングゲートメモリに関する。従来の技術
フラッシュＥＥＰＲＯＭとして知られているメモリセルのようなフローティン
グメモリセルに基づく不揮発性半導体メモリデバイスにおいて、不揮発性メモリ
アレイにデータを読み書きするために、正及び負の電圧が用いられる。フローテ
ィングゲートデバイスのためのデータの不揮発性メモリへの書き込みは、プログ
ラム及び消去モードとして知られるプロセスを含んでいる。この消去モードは、
アレイの全てか、或いは少なくともアレイの一つのセクタを単一の状態に設定す
ることを有しおり、そしてこの単一の状態において、アレイ（又はセクタ）にお
ける全てのセルは低いスレッショルドを有しているか、或いはアレイ（又はセク
タ）における全てのセルは高いスレッショルドを有しているかの何れかである。
消去された状態が、セルのフローティングゲートがチャージされた高いスレッシ
ョルド状態であるか、又はフローティングゲートがディスチャージされた低いス
レッッショルド状態であるかは、フラッシュメモリの特別の実現化に依存する。
プログラミングモードは、アレイにおけるそれぞれアドレスされたセルのフロー
ティングゲートをチャージするかディスチャージするかを含み、消去された状態
に関する反対のスレッショルドレベルを確立する。
フローティングゲートをディスチャージするために、ディスチャージされるべ
きセルに対してワードラインへ負の電圧を印加することが有利であることはよく
知られている。これは、電子を引き付けるために正のレベルへ一般的にバイアス
されたセルのソース、ドレイン又はチャネル領域へフローティングゲートから電
子をドライブするのを助ける。しかし、ワードラインへ負の電圧を印加するため
の回路には幾つかの困難が存在する。
ワードラインのドライバは、デコードされたアドレスに応答して選択されたワ
ードラインへ、デバイスのための通常の読取りモード中に正の電圧をドライブす
ることができなければならない。選択されたワードラインへ負の電圧も印加する
ことができる簡単な回路を有するワードラインドライバを提供することは従来の
技術においては困難であった。ワードラインへ負の電圧を印加するための従来シ
ステムは、ワードラインのドライバをドライブするデコーディング機能を抑えて
おり、個々のワードラインへ負の電圧を選択的に印加することを不可能にしてい
る。例えば、Atsumi他によって発明されたヨーロッパ特許出願第92112727.0号(
公開第0 525 678 A2)(NON-VOLATILE SEMI-CONDUCTOR MEMORY DEVICE HAVIN GROW
DECODER:行デコーダを有する不揮発性半導体メモリデバイス)及びGastaldiによ
って発明されたヨーロッパ特許出願第92830115.9号(公開第0 559 995 A1)(DECOD
ER CIRCUIT CAPABLE OF TRANSFERRING POSITIVE AND NEGATIVE VOLTAGES:正及び
負の電圧を転送することができるデコーダ回路)を参照されたい。これらのヨー
ロッパ特許出願において、通常の読取りモード動作に対する選択されたワードラ
インへ正の電圧を与えるワードラインドライバが開示されているが、全てのワー
ドラインへ負の電圧を印加するために、消去モード中にデコーダの選択機能を抑
えている。デコード機能が抑えられるので、負のワードライン電圧は、セクター
の消去中であっても、全てのセルに対する回路へ印加される。これは消去されな
いセルの妨害となる。
分離したドライバ、即ち、ワードラインの反対側にある正の電圧用のドライバ
と負の電圧用のドライバがある他のシステムにおいて、デコーディング回路に結
合されたドライバが用いられている。例えば、Arakawaへ付与された米国特許第5
,136,541号(PROGRAMMABLE READ ONLY MEMORY USING STACKED-GATE CELL ERASA-B
LE BY HOLE INJECTION:正孔の注入による消去可能な積み重ねられたゲートセル
を用いたプログラム可能なＲＯＭ)及びArakawaへ付与された米国特許第5,253,20
0号(ELECTRICALLY ERASABLE AND PROGRAMMABLE READ ONLY MEMORY USING STACKE
D-GATE CELL:積み重ねられたゲートセルを用いた電気的に消去可能で、プログラ
ム可能なＲＯＭ)は、分離したドライバの使用に基づいて、正及び負の電圧でワ
ードラインをドライブするためのシステムを開示する（例えば、米国特許第5,13
6,541号の図３参照されたい）。
Schreckによって発明された米国特許第5,331,480号(METHOD AND APPARATUS FO
R EPROM NEGATIVE VOLTAGE WORDLINE DECODING:EPROMの負電圧ワードラインデコ
ーディングのための方法及び装置)は、各々のワードラインが、負電圧及び正電
圧状態においてデコーデングするために、独立した負電圧チャージポンプを有す
るシステムを開示している。しかし、単一の負の電源が複数のワードラインドラ
イバに接続されていると、全てのワードラインが同時に負にドライブされる。し
たがって、Schreckの回路は、単一チップ上で多くのチャージポンプを繰り返す
ことによる費用及び複雑さのために、大きなメモリシステムにおいていは実用的
でない。
Venkatesh他による「A 55ns 6.35μm 5V-only 16M Flash Memory with Deep-P
ower-Down」(1996，IEEE International Solid-State Circuit Conference，Pap
er JP 2.7，pp．44-45」は、正及び負の電圧のためのワードラインドライバ(Fig
.1(ａ))を開示し、セクターの消去について述べている。しかし、消去中にワー
ドラインのでコーディングに関する記載はない。Chen他によって発明された米国
特許第5,521,867号(ADJUDTABLE THRESHOLD VOLTAGE CONVERSION CIRCUIT;調節可
能なスレッショルド電圧変換回路)も参照（図４）されたい。
フローティングゲートデバイスにおいてプログラムモード中にワードラインへ
、或いは別にメモリアレイにおいてワードラインへ、正又は負の電圧を選択的に
印加することができる単純化されたワードラインドライバを必要とする。更に、
このドライバはレイアウトする場合に小さく、消去されるべきブロックにおける
メモリセルのワードラインが負の電圧でドライブされるセクターレベルの消去動
作をサポートすることが必要である。発明の概要
本発明は、セクター或いはチップレベルの消去動作中にワードラインのドライ
バによって用いられる負の電源電圧が個々のワードラインのドライバへの入力の
デコーディングから分離してデコードされるコンパクトなワードラインドライバ
及びデコーダーシステムを提供する。これによって、セクターレベルにおいて負
の電圧をドライブする能力をデコードする能力を維持しつつ、小さなレイアウト
を有するワードラインの使用を可能にする。又、この設計はこの性質の集積回路
上にハイの負電圧回路を実現するために必要とされる、いわゆる三重ウエルトラ
ンジスタの数を最小にする。従って、本発明のワードラインドライバを用いて、
集積回路メモリがアレイのコンパクトなレイアウトで、したがって減少されたコ
ストで提供される。
よって、本発明は、複数のセグメントに配列されたメモリセルのアレイを有す
る集積回路メモリとしての特徴を有する。ワードラインの組が複数のセグメント
におけるメモリセルに接続される。ワードラインのドライブ回路がワードライン
の組に接続される。このワードラインのドライブ回路は、第１の供給電源、第２
の供給電源及びワードラインの組を有する。ワードラインのドライバは、第１と
第２の供給電源に接続され、それぞれのドライバを識別するアドレス信号に応答
して、第１の供給電源か、第２の供給電源の何れかからワードライン電圧を有す
るワードラインの組におけるワードラインを選択的にドライブする。個々のドラ
イバは、１つ或いはそれ以上のワードラインを含む組に接続される。第２の供給
電源は、電源電圧セレクターの組を有する。組における各々の電源電圧セレクタ
ーは、ドライバの組のサブセットに接続される。ドライバのサブセットは、アレ
イにおけるそれぞれのセグメントに接続される。電源電圧セレクターは、それぞ
れのセグメントを識別するアドレス信号に応答して、消去モード中に負の消去電
源電圧か、或いは消去禁止電源電圧を選択する。この選択された負の消去電源電
圧又は消去禁止電源電圧は、セグメントバイアスによってセグメント上のそれぞ
れのセグメントに結合されるドライバの組のサブセットに与えられる。これによ
り、セグメントが、例えば１６のワードラインドライバのような１より多いワー
ドラインドライバに接続されるアレイのブロック或いはセクターである場合、セ
グメントレベルにおけるコンパクトなワードラインドライバの設計によって消去
動作を可能にする。
本発明の１つの特徴によれば、ワードライン回路は、ドライバがワードライン
の組における全てのワードラインのための消去モード中に第２の供給電源を選択
するようにする論理回路を有する。１つの実施形態におけるこの論理回路は、消
去モード中にそれぞれのドライバを識別するアドレス信号を無視する。
本発明の他の特徴によれば、ワードラインドライバは、対応するドライバを識
別するアドレス信号に応答してドライブされる入力を有するインバータ、第１の
供給電源に結合された第１の電源端子、第２の供給電源に結合された第２の電源
端子及びワードラインお組における１つ或いはそれ以上のワードラインに結合さ
れた出力を有する。又、インバータの出力と入力の間に接続されるフィードバッ
ク回路が含まれる。１つの実施形態において、このインバータは、３重ウエルｎ
チャネルＭＯＳトランジスタと直列にｐチャネルＭＯＳトランジスタを有する。
ｎチャネルＭＯＳトランジスタのソースは第２の供給電源に接続され、ワードラ
インへ高い負の電圧を転送するのを支える。ｐチャネルＭＯＳトランジスタのソ
ースは、第１の供給電源に接続され、読取り及びプログラムモード中にワードラ
インへ正の電圧を印加するのを支える。他の特徴において、フィードバック回路
は、ｐチャネルＭＯＳトランジスタを有し、そのソースは第１の電源端子に接続
され、そのゲートはドライバの出力に接続され、そしてそのドレインはドライバ
の入力に接続される。
本発明の他の特徴によれば、本発明は、フローティングゲートメモリセルのア
レイを有するフラッシュメモリデバイスを有する。このデバイス上の制御論理回
路は読取りモード、プログラムモード及び消去モードを確立する。上述したよう
にワードラインのドライブ回路は、このデバイス上に含まれる。ワードラインド
ライブ回路は、ドライバの組におけるドライバに接続されたセグメントデコーダ
ー論理回路を有する。セグメントデコーダー論理回路は、読取りモード中にドラ
イバの入力がドライバを識別するアドレス信号に応答してセットされるようにし
、それらは読取り供給電圧をアドレスワードラインへ供給する。消去モードにお
いて、デコーダー論理回路は、ドライバへの入力がアドレス信号に独立して供給
さ
れるようにし、電源セレクタは、それぞれのセグメントを識別するアドレス信号
に応答して、負の消去供給電圧、或いは消去禁止電圧を選択する。
公的なフローティングゲートメモリのアーキテクチャにおいて、負の消去電源
電圧は、−５〜−１０ボルトの範囲、例えば−８ボルトの値を供給し、一方、消
去禁止電源電圧は、＋３ボルト〜−３ボルトの範囲、好適にはおよそ接地電位の
値を有している。アレイにおけるセルは、消去されているセグメントにおけるフ
ローティングゲートメモリセルのフォウラー・ノードハイム・トンネリング(Fow
ler Nordheim tunneling)を誘導するように他の状態にバイアスされる。
代わりに、本発明は、ワードラインドライバの組におけるワードラインドライ
バとして特徴付けられる。この特徴によるワードラインドライバは、第１の供給
電源と第２の供給電源を有する。第２の供給電源は、電源選択信号に応答して第
２の供給電圧として、負の電圧或いは禁止電源電圧を選択する電源電圧セレクタ
を有する。ドライバを識別するアドレス信号及びモード信号に応答するデコード
論理回路は、モード信号が第１の状態にあるときアドレス信号に応答して、及び
モード信号が第２の状態にあるときアドレス信号に応答しないで、デコード論理
出力を供給するために動作する。電源選択論理回路は、消去されるべきメモリの
セグメントに相当する複数のワードラインドライバのような、ワードラインの組
における複数のワードラインドライバを識別するアドレス信号に応答する。電源
選択論理回路は、モード信号が第１の状態のときアドレス信号に応答することな
く、そしてモード信号が第２の状態のときアドレス信号に応答して、電源選択信
号を供給する。更に、ドライバは、デコード論理出力に接続された入力、第１の
供給電源に接続された第１の電源端子、第２の電源電圧を受け取るために第２の
供給電源に接続された第２の電源端子、及びワードラインに接続された出力を有
するインバータを有する。フィードバック回路は、インバータの出力と入力の間
に接続されている。好適な特徴において、インバータとフィードバック回路は上
述のように具現化される。
よって、本発明は、複数のセグメントへ構成されたメモリ用のワードラインド
ライバの組を提供する。与えられたセグメントにけるワードラインドライバは、
負の電圧を印加することができる同じ第２の供給電源を共有する。従って、各セ
グメントはそれ自体の第２の供給電源を有する。この配列のもとで、１つのセグ
メント内のワードラインドライバは、第２の電源端子上の負の電圧か、或いは第
２の電源端子上の、接地のような禁止電圧の何れかを知る。このアプローチの下
で、簡単化されたワードラインドライバ及びコンパクトな全体のアレイアーキテ
クチャが達成される。
従って、本発明は、正及び負のでコードモードを提供するためのフラッシュＥ
ＥＰＲＯＭデバイスに使用することができるコンパクトなデコードされたワード
ラインドライバを提供する。
本発明の他の特徴及び利点は、図面、詳細な説明及び請求項を精査することに
よって理解されるであろう。
図面の簡単な説明
図１は、本発明による正及びブロックでコードされた負の電圧ワードラインド
ライバのあるデコーダーを有するフラッシュＥＥＰＲＯＭデバイスの概略図であ
る。
図２は、図１のデバイスに使用するためのフラッシュＥＥＰＲＯＭアレイの概
略図である。
図３は、本発明によるワードラインドライバの概略図である。
図４は、図３のドライバに用いられる絶縁されたｎチャネルトランジスタを示
す。
図５は、負の電圧及び接地電圧又は他の禁止レベルの間で選択するための供給
電圧セレクタを示す。
図６は、本発明によるワードラインデコーディングシステムのレイアウトを示
す。
詳細な説明
本発明の好適な実施形態の詳細な説明は、図１−６を参照して行なわれる。
図１において、フラッシュデバイスが示されている。このフラッシュデバイス
は、図２に示されたように具現化されることができる独立して消去されることが
できる複数のセクタを有するフローティングアレイ１００を含んでいる。正及び
ブロックデコードされた負の電圧ワードラインドライバを有するデコーダ１０１
がアレイに接続されている。モード制御回路１０６が負の電圧発生器１０８、正
の電圧発生器１０９及び列と仮想接地デコーダ１０５に接続されて、フラッシュ
デバイスに対して読取りＲＤモード、プログラムＰＧＭモード及び消去ＥＲＳモ
ードを与える。負の電圧発生器１０８及び正の電圧発生器１０９もデコーダに接
続されている。
列及び仮想接地デコーダ１０５は、図示されたようにアレイにおけるビットラ
インに接続され、更に負の電圧発生器１０８と正の電圧発生器１０９に接続され
る。最後に、センスアンプ１０７とプログラムデータイン構造１０３がアレイを
プログラムし、読み取りにおいて使用するための列及び仮想接地デコーダ１０５
に接続されている。
図２は、図１のシステムに使用することができるフラッシュメモリアレイの１
つの実施形態を示す。図２は、アレイの２対の列を示し、各対の列は、ドレイン
−ソース−ドレイン構成にフラッシュセルを有する場合である。
従って、列の第１の対１２０は、第１のドレイン拡散ライン１２１、ソース拡
散ライン１２２、及び第２のドレイン拡散ライン１２３を含む。ワードラインＷ
Ｌ０−ＷＬ６３は、各々第１の列対におけるセルのフローティングゲートと第２
の列対におけるセルを重ねて配置している。図に示されたように、列の第１の対
１２０は、セル１２４、セル１２５、セル１２６及びセル１２７を有する。ワー
ドラインＷＬ２−ＷＬ６１に接続されているセルは図示されていない。アレイの
同じ列に沿って、列の第２の対１３５が示されている。それは、ミラー像に配列
されているのを除いて、列の対１２０と同じ構造を有している。
従って、図示されているように、列対の第１の対におけるトランジスタ、例え
ば、セル１２５は、ドレイン拡散ライン１２１におけるドレイン、及びソース拡
散ライン１２２におけるソースを含む。フローティングゲートは、第１のドレイ
ン拡散ライン１２１とソース拡散ライン１２２巻にチャネル領域を覆っている。
ワードラインＷＬ１は、セル１２５のフローティングゲートを覆って、フラッシ
ュセルを形成する。
列対１２０と列対１３５は、アレイの仮想接地拡散１３６（ＡＲＶＳＳ）を共
有する。従って、列対１２０のソース拡散ライン１２２は接地拡散１３６に接続
される。同様に、列対１３５のソース拡散ライン１３７は接地拡散１３６に接続
される。
上述のように、セルの列の各対１２０は単一のメタルラインを共有する。従っ
て、ブロックの右選択トランジスタ１３８とブロックの左選択トランジスタ１３
９が含まれる。トランジスタ１３９は、ドレイン拡散ライン１２１におけるソー
ス、メタルコンタクト１４０に接続されたドレイン、及びライン１４１上の制御
信号ＢＬＴＲ１に結合されたゲートを有する。同様に、右選択トランジスタ１３
８は、ドレイン拡散ライン１２３におけるソース、メタルコンタクト１４０に接
続されたドレイン、及びライン１４２上の制御信号ＢＬＴＲ０に結合されたゲー
トを有する。従って、トランジスタ１３８と１３９を含むセレクター回路は、第
１のドレイン拡散ライン１２１と第２のドレイン拡散ライン１２３の、メタルコ
ンタクト１４０を介してメタルライン１４３（ＭＴＢＬ０）への選択接続のため
に設けられている。図示されるように、列対１３５は、メタルコンタクト１４６
に同様に接続された左選択トランジスタ１４４と右選択トランジスタ１４５を有
する。コンタクト１４６は、列対１２０に接続されたコンタクト１４０と同じメ
タルライン１４３に接続される。メタルラインは、追加のセレクター回路と共に
セルの２より多い列によって共有することもできる。
列対は、Ｍ個のワードラインと２Ｎ庫の列を有するフラッシュセルのアレイを
備えるために、垂直及び水平に配列される。このアレイは、上述のように、Ｎ個
のメタルビットラインのみを必要とし、それらの各々は、選択回路を介してフラ
ッシュセルの列対に接続される。
図面は、２つのメタルビットライン１４３と１５２(ＭＴＢＬ０−ＭＴＢＬ１)
に接続されている４つのサブブロック１２０，１３５，１５０及び１５１を示す
のみであるけれども、このアレイは、水平及び垂直に繰り返されて、大きなフラ
ッシュメモリアレイを形成することができる。
勿論、図２に示されてたアレイアーキテクチャは、本発明が用いられることが
できる不揮発性のメモリアーキテクチャの種類の一例である。いろいろな他のア
ーキテクチャもセグメント化された消去動作に適しており、本発明による利益を
有する。
図３は本発明によるワードラインドライバの好適な実施形態を示す。このワー
ドラインドライバは、ＡＶＸ端子３００に接続された第１の供給電源（例えば、
図１の正の電圧発生器１０９）を有する。又、第２の供給電源が高い電圧ドライ
バＶSS電圧ＨＶＤＲＶＳＳを供給する端子３０１に接続されている。第２の供給
電源は、端子３０３から負の電圧ＮＶＰＰを選択するか、又はライン３１５上の
電源選択信号に応答して出力として端子３０４上に禁止電源電圧ＨＶＤＲＧＮＤ
を選択する電源電圧セレクター３０２有する。好適なシステムにおいて、ＮＶＰ
Ｐの値は、約−８ボルト、一般的には-５ボルトから−１０ボルトまでの範囲内
である。ＨＶＤＲＧＮＤの値は、およそ接地電位、即ち０ボルト、一般的には−
３ボルトから＋３ボルトまでの範囲内であるのが好ましい。
正の電源電圧ＡＶＷは、ライン３０５上でセレクター３０２へ加えられる。こ
の正の電源電圧ＡＶＷ（消去モード中ＡＶＸと同じで、約３ボルト）は、セレク
ター３０２の動作中、以下に説明されるように制御される。ライン３０１上の電
圧ＨＶＤＲＶＳＳは、矢印３１７によって示されるように、複数のドライブ回路
３０６間で共有される。
コアのドライブ回路３０６は、ノード３０７で入力に接続されるゲート及び１
つのワードライン或いはワードライン３０８の組に接続されたドレインを有する
トランジスタＭＰ３とＭＴ０からなるインバータを有する。ドライブ回路３０６
は、ｐチャネルトランジスタＭＰ０によって与えられるフィードバック回路も有
し、トランジスタＭＰ０は、出力３０８に接続されたゲート、入力３０７に接続
されたドレイン及び電源端子３００に接続されたソースを有する。ｐチャネルト
ランジスタＭＰ０とＭＰ３のｎウエルは、共にＡＶＸ電源端子３００に接続され
ている。ｎチャネルトランジスタＭＴＯは、図４に示されるように具現化された
三重ウエルトランジスタから成っている。この構造は、以下に説明される。深い
ｎウエルは、一般的には５ボルト±１０％である電源電圧ＶDDにバイアスされ、
負の電圧動作中にｐ型基板からｎチャネルトランジスタを絶縁するように働く。
幾つかの実施形態において、電源電圧ＶDDは、特定の実施に適するようにより
小さいか、より大きい。ドライブ回路３０６もｎチャネルトランジスタからなる
“キーパー(keeper)”トランジスタＭＮ２を有し、このトランジスタは、入力３
０７に接続されたソース、電源端子に接続されたドレイン、及びライン３０９上
の制御信号ＸＤＨＢに接続された入力を有している。このライン３０９上の制御
信号ＸＤＨＢは、以下に説明されるように負の電圧動作中に制御される。
また、ｎチャネルトランジスタＭＮ１は、ライン３０７とＮＡＮＤゲート３１
０で表されているデコード論理回路間で、パスゲート形状に接続される。このｎ
チャネルトランジスタＭＮ１は、ワードラインデコーディング論理回路によって
供給される、ライン３１２上の信号ＸＲに接続されるゲートを有する。トランジ
スタＭＮ１のソースは、ＮＡＮＤゲート３１０の出力に接続されている。ＮＡＮ
Ｄゲートへの入力は、アドレス信号から出る信号ＸＰ、ＸＢＬ２及びＸＢＬ３を
有する。ライン３１２上のでコード信号ＸＲと組み合わさっているこれらの信号
は、特定のドライブ回路３０６を識別するために働く。ＮＡＮＤゲート３１０へ
の他の入力は、消去モード中ローであるモード信号ＥＲＡＳＥＢを有する。従っ
て、消去モード中、アドレス信号から引き出された信号は、無視され、ワードラ
イン回路３０６の、ライン３０７上の入力は、ＸＲがハイのとき、論理１の値に
ドライブされる。
従って、ライン３０７上の入力は、読取り及びプログラムモードの間、特定の
ドライバを識別するアドレス信号に応答してドライブされる。しかし、アドレス
信号は、消去モードの間無視され、ドライブ回路３０６は、このデコーディング
システムに接続されたワードラインの組にある全てのワードラインに対して論理
１の値を受け取る。信号ＸＲは、この例では、全てのドライバ上でハイである。
一方、電源電圧セレクター３０２への入力におけるライン３１５上の電源選択信
号は、ＮＡＮＤゲート３１１によってドライブされる。ＮＡＮＤゲート３１１へ
の入力は、アドレス信号から引き出された信号ＸＢＬ２とＸＢＬ３、及び消去モ
ード信号ＥＲＡＳＥを含む。消去モードの間、信号ＥＲＡＳＥはハイで、ＮＡＮ
Ｄゲート３１１の出力がアレイの特定のセグメントを識別するアドレス信号ＸＢ
Ｌ２とＸＢＬ３によって制御されることを可能にする。これらの信号ＸＢＬ２と
ＸＢＬ３は、選択されているセグメントにおけるワードラインドライブ回路の各
々をドライブするＮＡＮＤゲート３１０の入力へ加えられる同じ信号ＸＢＬ２と
ＸＢＬ３である。
他の代替可能な論理設計では、ＮＡＮＤゲート３１０は、入力としての制御信
号ＥＲＡＳＥＢを除いて、３つの入力ＮＡＮＤゲートに単純化される。信号ＸＲ
は、ＥＲＡＳＥＢ、或いはその均等物に応答して制御され、ドライバをゲート３
１０から切断する。一方、ＸＤＨＢは、消去モードの間、ＡＶＸを越えるレベル
までノード３０７をドライブすることなく、論理１をノード３０７へ印加するレ
ベルにドライブされる。
このようにして、ワードラインドライバは、読取り及びプログラムモードの間
動作して、電源ＡＶＸからの正の電圧を印加するか、或いは、ワードラインデコ
ーディングシステムによって付勢されている特定のワードライン回路３０６の結
果として接地する。消去の間、負の電圧か接地電位が三重ウエルｎチャネルトラ
ンジスタＭＮ０を通してワードラインへ加えられる。ワードラインドライブ回路
３０６の動作状態は、表１に示される。
米国特許第5,463,586号は、正の電圧ＡＶＸに対する適当な電源電圧セレクタ
ーの記載に対して、あたかも本願に述べられているようにレファレンスによって
とりこまれる。このような電源電圧セレクターのいろいろな具現化は、本発明に
よる利用に適している。
消去モードの間、制御信号ＸＤＨＢは、ライン３００上の端子ＡＶＸと電源電
圧ＶDD間の接続を切断するために、ＶDDから０ボルトへスイッチされる。代わり
に、ＸＤＨＢは、上述のように、ノード３０７がＡＶＸから超えるのを妨げるレ
ベルへドライブされる。
同じＸＢＬ２とＸＢＬ３を有するが、しかし異なるＸＰとＸＲを有するワード
ラインドライブ回路３０６は、同じ電源電圧セレクター３０２を共有することが
理解されるであろう。結果的に、フローティングゲートメモリアレイのセグメン
トにおけるワードラインドライバは、一緒に負の電圧にスイッチされる。
三重ウエルｎチャネルＭＯＳトランジスタＭＴ０の記載は、図４に示される。
好適な実施形態における電源電圧セレクター３０２は、図５に示され、本発明に
よる変更されたワードラインデコーディングシステムは、図６に示される。
ＭＴ０のような三重ウエルｎチャネルＭＯＳトランジスタの構造は、図４に示
されている。特に、このトランジスタは、トランジスタの、ドレインとソースと
してそれぞれ動作するｎ型拡散領域４０２と４０３間に形成されるチャネル領域
４０１上のゲート端子４００からなる。ｎ型拡散領域４０２と４０３は、絶縁さ
れたｐ型ウエル４０４に具現化される。このｐ型ウエルは、ライン３０１上でＨ
ＶＤＲＶＳＳ値に接続される、点４０５におけるコンタクトを有する。
ｐ型ウエル４０４は、正の電源電圧ＶDDへのコンタクトを有するｎ型ウエル４
０６に形成される。ｎ型ウエル４０６は、ｐ型基板４０８に形成される。この構
造は、ｐウエル４０４とｎウエル４０６間にダイオードのシンボル４０９によっ
て図式的に表されたｐ-ｎ接合を形成する。負の電圧がｐウエル４０４に印加さ
れたとき、この接合は逆バイアスされて、ｎウエルを負の電圧から絶縁する。同
様に、ダイオードのシンボル４１０によって表されたｐ-ｎ接合がｐ型基板とｎ
ウエル４０６間に形成される。正の電圧でｎウエル４０６をバイアスすることに
よって、この接合４１０は、逆バイアスされて、全体の構造を基板から絶縁する
。
図５は、１つの好適な実施形態における図３の電源電圧セレクター３０２を示
す。この電源電圧セレクターは、ライン５００上の電源入力ＡＶＷ、ライン５０
１上のセレクタ信号ＥＮＢ、ライン５０２上の負の電圧ＮＶＰＰ及びライン５０
３上の接地電圧ＨＶＤＲＧＮＤを受け取る。この回路は、図３の、ライン３０１
上の信号ＨＶＤＲＶＳＳに相当する出力５０４上の電源に対して、負の電圧５０
２と接地電圧５０３間で選択するために動作する。電源セレクターはｐチャネル
ＭＯＳトランジスタＭＰ１を有し、このトランジスタＭＰ１は、電源端子５００
に接続されたソースとｎウエル、ライン５０１に接続されたゲート、及びノード
５１０に接続されたドレインを有している。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＭＰ
２は、ノード５００接続されたソースとｎウエル、及びノード５０１に接続され
たその入力を有するインバータ５１１の出力に接続されたゲートを有する。トラ
ンジスタＭＰ２のドレインは、ノード５１２に接続される。三重ウエルｎチャネ
ルＭＯＳトランジスタＭＴ３は、ノード５１２に接続されたゲート、ノード５１
０に接続されたドレイン、及び負の電圧が印加される端子５０２に接続されたソ
ースとｐウエルを有する。深いｎウエルは電源端子（電圧）ＶDDに接続される。
三重ウエルトランジスタＭＴ４は、ノード５１２に接続されたドレイン、ノード
５１０に接続されたゲート、及びノード５０２に接続されたソースを有する。又
、トランジスタＭＴ４のｐウエルもノード５０２に接続される。トランジスタＭ
Ｔ４の深いｎウエルは電源端子ＶDDに接続される。
ノード５１２は、三重ウエルトランジスタＭＴ１のソースに接続され、トラン
ジスタＭＴ１は、ライン５１３で接地電位に接続されたゲート、及び出力ノード
５０４に接続されたドレインを有する。三重ウエルトランジスタＭＴ１のｐウエ
ルは、ノード５０２に接続される。一方、深いｎウエルは電源端子ＶDDに接続さ
れている。三重ウエルトランジスタＭＴ２は、ノード５１２に接続されたゲート
、接地端子５０３に接続されたソース、ノード５０２に接続されたｐウエル、及
び正の電源端子ＶDDに接続された深いｎウエルを有する。トランジスタＭＴ２の
ドレインは、出力ノード５０４に接続される。
動作において、ライン５０１上の選択信号ＥＮＢがローになると、ノード５１
２は、トランジスタＭＴ４を介して負の電圧ＮＶＰＰにドライブされる。この負
の電圧、一般的には-８ボルトは、トランジスタＭＴ１を介してノード５０４に
加えられ、トランジスタＭＴ２はターンオフされる。トランジスタＭＴ２は、ノ
ード５０４における負の電圧をノード５０３上の接地電位から分離するために働
く。
ライン５０１上の入力信号ＥＮＢが電源電圧ＶDDにドライブされると、ノード
５１２はＡＶＷ値(一般的には３ボルト)にドライブされる。ＡＶＷ値はトランジ
スタＭＴ２をターンオンし、トランジスタＭＴ１がターンオフするようにする。
これは、ノード５０４をノード５１２における電圧から分離している間、ライン
５０３における接地電位をノード４０４上の出力に与える。
図６は、本発明の電源電圧セレクターを含むワードラインデコーディングシス
テムを示す。図６のワードラインデコーディングシステムは、左側のワードライ
ンＷＬＬ０-ＷＬＬ７と右側のワードラインＷＬＲ０-ＷＬＲ７を含む１６のワー
ドラインをドライブするアレイのセグメント用のデコーディングシステムに相当
する。ワードラインの各々は、図３に記載されたワードラインドライブ回路３０
６によってドライブされる。ワードラインドライブ回路３０６への入力は、値Ａ
ＶＸ、ＸＤＨＢを含む。又、ドライブ回路３０６の各々は、左側のシステムＸＲ
Ｌ０-ＸＲＬ７と右側のシステムＸＲＲ０-ＸＲＲ７においてラベルのつけられた
デコーディングシステムから入力受ける。
ワードライン回路の各々への入力は、図３のＮＡＮＤゲートに相当するＮＡＮ
Ｄゲート３１０の出力において与えられる。また、ワードライン回路はワードラ
インセレクター３０２の出力からＨＶＤＲＳＳ信号も受ける。
この実施形態によると、ＸＰ信号は、アドレス信号に応答して発生される４つ
のＸＰ信号（ＸＰ１０-ＸＰ１３）の一つである。ＸＢＬ２信号は、４つの（Ｘ
ＢＬ２０-ＸＢＬ２３）の一つである。ＸＢＬ３信号は、８つの（ＸＢＬ３０-Ｘ
ＢＬ３７）の一つである。ＮＡＮＤゲート３１１の入力において与えられたＸＢ
Ｌ２信号及びＸＢＬ３信号は、アレイの単一セグメントに対してＮＡＮＤゲート
３１０の入力に与えられたものと同じである。
よって、フラッシュメモリのようなフローティングゲートメモリデバイス用の
セグメント消去動作を支える効率的で、コンパクトなワードラインドライブ回路
が提供される。この回路は、負の電圧でコーディングに必要とされるレイアウト
及び複雑さを減少し、結局、この特徴を実現する集積回路のコストを減少する。
本発明の好適な実施形態の上述の記載は、説明の目的でなされたものである。
従って、本発明を開示されたその形状に限定するものでない。多くの変形や変更
が当業者に明らかであろう。本発明の範囲は、請求項及びそれらの均等物によっ
て定められるべきである。
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(72)発明者 ワン レイ リン
アメリカ合衆国 カリフォルニア州
94539 フリーモント ウィッチトウ ド
ライヴ 709