JP2000355106A - フッ素含有樹脂組成物のパターニング方法およびインクジェットヘッド - Google Patents
フッ素含有樹脂組成物のパターニング方法およびインクジェットヘッドInfo
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- JP2000355106A JP2000355106A JP16849499A JP16849499A JP2000355106A JP 2000355106 A JP2000355106 A JP 2000355106A JP 16849499 A JP16849499 A JP 16849499A JP 16849499 A JP16849499 A JP 16849499A JP 2000355106 A JP2000355106 A JP 2000355106A
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- Japan
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- photosensitive resin
- ink jet
- patterning
- jet head
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 感光性樹脂材料の濁りを防止し、パターン露
光の際の光の散乱を防ぎ、 微細なパターニングを可能に
する方法を提供しようとするものである。 【解決手段】 撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材
料のパターニングに際して、該樹脂材料中の各成分に対
して溶解性がある高沸点溶媒を樹脂材料中に残存させた
状態で該パターニングを行うことを特徴とするパターニ
ング方法を提供する。
光の際の光の散乱を防ぎ、 微細なパターニングを可能に
する方法を提供しようとするものである。 【解決手段】 撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材
料のパターニングに際して、該樹脂材料中の各成分に対
して溶解性がある高沸点溶媒を樹脂材料中に残存させた
状態で該パターニングを行うことを特徴とするパターニ
ング方法を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターニングでき
るフッ素含有樹脂組成物に関する。本発明はまた、イン
クジェット記録ヘッドのインク噴射ノズルの表面あるい
はノズル孔の周辺部に局部的に優れた撥水性を有する部
分を形成する方法に関する。
るフッ素含有樹脂組成物に関する。本発明はまた、イン
クジェット記録ヘッドのインク噴射ノズルの表面あるい
はノズル孔の周辺部に局部的に優れた撥水性を有する部
分を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置は低騒音で高速
印字が可能であることから、オフィスにおける情報処理
用の記録装置として広く用いられている。
印字が可能であることから、オフィスにおける情報処理
用の記録装置として広く用いられている。
【０００３】このようなインクジェット記録装置におい
ては、インクジェットヘッドよりインクを噴出させた
際、インクの一部が垂れて流れたり、ノズル孔周辺部へ
付着し、障害となる場合がある。ノズル孔周辺部へ付着
したインク滴が大きくなると、インクの噴射方向がずれ
るという問題が発生することがある。また、ノズル孔周
辺部へインクが付着したまま長時間放置した場合、ノズ
ル先端部のインクが固化し、ノズルの目づまりが生じる
ことがあった。
ては、インクジェットヘッドよりインクを噴出させた
際、インクの一部が垂れて流れたり、ノズル孔周辺部へ
付着し、障害となる場合がある。ノズル孔周辺部へ付着
したインク滴が大きくなると、インクの噴射方向がずれ
るという問題が発生することがある。また、ノズル孔周
辺部へインクが付着したまま長時間放置した場合、ノズ
ル先端部のインクが固化し、ノズルの目づまりが生じる
ことがあった。
【０００４】これらの問題を解決する方法として、ノズ
ル表面の全面あるいはノズル孔の周辺部を部分的に撥水
処理する方法が提案されている。
ル表面の全面あるいはノズル孔の周辺部を部分的に撥水
処理する方法が提案されている。
【０００５】例えば、特開平５−１２４１９９号公報に
おいては、次の様な方式が提案されている。この方法を
ノズル孔周辺部の撥水処理工程を示す図１に基づいて説
明する。
おいては、次の様な方式が提案されている。この方法を
ノズル孔周辺部の撥水処理工程を示す図１に基づいて説
明する。
【０００６】図１の（ａ）に示すノズル孔（２）を有す
るインクジェットヘッド（１）の表面を、図１の（ｂ）
に示すように、撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材
料により被覆することにより、フッ素含有感光性樹脂材
料層（３）を形成する。次いで活性エネルギー線を通過
しない所定の形状のパターンを有するフォトマスク
（４）をセットし、図１の（ｃ）に示すように矢印の方
向にエネルギー線（ｈν）を照射し、パターン露光を行
う。更に常法に従って現像処理を行い、例えば露光され
なかった未重合部分を溶剤等によって溶出することによ
り、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有する感光性
樹脂材料層（３）を現像せしめる。
るインクジェットヘッド（１）の表面を、図１の（ｂ）
に示すように、撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材
料により被覆することにより、フッ素含有感光性樹脂材
料層（３）を形成する。次いで活性エネルギー線を通過
しない所定の形状のパターンを有するフォトマスク
（４）をセットし、図１の（ｃ）に示すように矢印の方
向にエネルギー線（ｈν）を照射し、パターン露光を行
う。更に常法に従って現像処理を行い、例えば露光され
なかった未重合部分を溶剤等によって溶出することによ
り、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有する感光性
樹脂材料層（３）を現像せしめる。
【０００７】この様にして、インク噴射ノズル面が撥水
処理されたインクジェットヘッドが得られる。
処理されたインクジェットヘッドが得られる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、撥水性を向上
させるために、フッ素含有感光性樹脂材料中のフッ素樹
脂の割合を増加させたり、フッ素樹脂のフッ素鎖を長く
しようとすると、フッ素含有感光性樹脂材料中のフッ素
樹脂成分と他の樹脂成分や光硬化触媒、溶媒との相溶性
が悪くなり、感光性樹脂材料が濁ってしまい、その濁り
により光が散乱し、パターン露光の際の微細なパターニ
ングが出来なくなることがあった。
させるために、フッ素含有感光性樹脂材料中のフッ素樹
脂の割合を増加させたり、フッ素樹脂のフッ素鎖を長く
しようとすると、フッ素含有感光性樹脂材料中のフッ素
樹脂成分と他の樹脂成分や光硬化触媒、溶媒との相溶性
が悪くなり、感光性樹脂材料が濁ってしまい、その濁り
により光が散乱し、パターン露光の際の微細なパターニ
ングが出来なくなることがあった。
【０００９】本発明の目的は、かかる問題点を解決し、
感光性樹脂材料の濁りを防止し、パターン露光の際の光
の散乱を防ぎ、 微細なパターニングを可能にしようとす
るものである。
感光性樹脂材料の濁りを防止し、パターン露光の際の光
の散乱を防ぎ、 微細なパターニングを可能にしようとす
るものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、以下に示
す本発明によって達成される。
す本発明によって達成される。
【００１１】すなわち本発明の要旨とするところは、
（１） 撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材料のパ
ターニングに際して、該樹脂材料中の各成分に対して溶
解性がある高沸点溶媒を樹脂材料中に残存させた状態で
該パターニングを行うことを特徴とするパターニング方
法、（２） 撥水性を有する感光性樹脂材料層を、上記
（１）項に記載のパターニング方法でパターニングする
ことを特徴とする、インク噴射ノズル面に撥水処理を施
したインクジェットヘッド、にある。
（１） 撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材料のパ
ターニングに際して、該樹脂材料中の各成分に対して溶
解性がある高沸点溶媒を樹脂材料中に残存させた状態で
該パターニングを行うことを特徴とするパターニング方
法、（２） 撥水性を有する感光性樹脂材料層を、上記
（１）項に記載のパターニング方法でパターニングする
ことを特徴とする、インク噴射ノズル面に撥水処理を施
したインクジェットヘッド、にある。
【００１２】本発明に於いては、 フッ素樹脂成分と他の
樹脂成分や、光硬化触媒、溶媒との相溶性が良い高沸点
溶媒を残存させた状態にすることで、感光性樹脂材料の
濁りを防止し、パターン露光の際の光の散乱を防げる。
その為、微細なパターニングが可能になる。
樹脂成分や、光硬化触媒、溶媒との相溶性が良い高沸点
溶媒を残存させた状態にすることで、感光性樹脂材料の
濁りを防止し、パターン露光の際の光の散乱を防げる。
その為、微細なパターニングが可能になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明において用いられる撥水性
を有する感光性樹脂材料としては、フッ素原子を含有す
る樹脂が、その主体成分として用いられる。このような
フッ素原子を含有する樹脂の例としては、例えばフッ素
化エポキシ樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポ
リアミド樹脂、フッ素化アクリル樹脂、フッ素化ポリウ
レタン樹脂、フッ素化シロキサン樹脂およびそれらの変
性樹脂等が挙げられる。尚、 上記したフッ素原子を含有
する樹脂の例は、特にそれらに限定されるものではな
い。
を有する感光性樹脂材料としては、フッ素原子を含有す
る樹脂が、その主体成分として用いられる。このような
フッ素原子を含有する樹脂の例としては、例えばフッ素
化エポキシ樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポ
リアミド樹脂、フッ素化アクリル樹脂、フッ素化ポリウ
レタン樹脂、フッ素化シロキサン樹脂およびそれらの変
性樹脂等が挙げられる。尚、 上記したフッ素原子を含有
する樹脂の例は、特にそれらに限定されるものではな
い。
【００１４】上記した感光性樹脂材料を、本発明の目的
達成上有用な感光性樹脂材料とするには、それを活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物とする通常の方法が採用さ
れ、活性エネルギー線によるパターニングによって精密
で高解像度のパターンを形成することのできる感光性樹
脂材料にするための方法が採用される。
達成上有用な感光性樹脂材料とするには、それを活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物とする通常の方法が採用さ
れ、活性エネルギー線によるパターニングによって精密
で高解像度のパターンを形成することのできる感光性樹
脂材料にするための方法が採用される。
【００１５】すなわち、樹脂材料単独では露光波長に対
して十分な感度が得られない場合には、必要に応じて例
えば、４，４’−ジアジドジフェニルメタン、４，４’
−ジアジドジフェニルスルフィド等のアジド系開始剤、
α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン等の
アセトフェノン系開始剤、トリフェニルスルフォニウム
塩等のカチオン系開始剤、のような開始剤、２，６−ビ
ス（４’−アジドベンザル）メチルシクロヘキサノン、
２，６−ビス（４’−アジドベンジリデン）−ｔ−ブチ
ルシクロヘキサノン等のビスアジド系感光剤、１−ナフ
チル−ビス−トリクロロメチル−２−トリアジン、１−
（４−メトキシアントラセニル）−ビス−トリクロロ−
２−トリアジン等のトリアジン系感光剤、のような感光
剤、あるいはこれらの感光剤とペリレン、アントラセ
ン、フェノチアジン、５−ニトロアセナフテン、Ｎ−ア
セチル−４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ミヒラーズ
ケトン、９−フルオレノン、ｐ−ニトロアニリン、ベン
ジル，１，２−ベンズアントラセン、ピレン、ｐ−キノ
ン、４−ニトロ−１−ナフチルアミン、エリスロシンの
ような増感剤とを、通常用いられる量的範囲で併用する
ことにより感度を向上させることができる。
して十分な感度が得られない場合には、必要に応じて例
えば、４，４’−ジアジドジフェニルメタン、４，４’
−ジアジドジフェニルスルフィド等のアジド系開始剤、
α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン等の
アセトフェノン系開始剤、トリフェニルスルフォニウム
塩等のカチオン系開始剤、のような開始剤、２，６−ビ
ス（４’−アジドベンザル）メチルシクロヘキサノン、
２，６−ビス（４’−アジドベンジリデン）−ｔ−ブチ
ルシクロヘキサノン等のビスアジド系感光剤、１−ナフ
チル−ビス−トリクロロメチル−２−トリアジン、１−
（４−メトキシアントラセニル）−ビス−トリクロロ−
２−トリアジン等のトリアジン系感光剤、のような感光
剤、あるいはこれらの感光剤とペリレン、アントラセ
ン、フェノチアジン、５−ニトロアセナフテン、Ｎ−ア
セチル−４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ミヒラーズ
ケトン、９−フルオレノン、ｐ−ニトロアニリン、ベン
ジル，１，２−ベンズアントラセン、ピレン、ｐ−キノ
ン、４−ニトロ−１−ナフチルアミン、エリスロシンの
ような増感剤とを、通常用いられる量的範囲で併用する
ことにより感度を向上させることができる。
【００１６】次に、上記した撥水性を有する感光性樹脂
材料を用い、フォトリソグラフィプロセスによりインク
噴射ノズル面に撥水処理する具体的方法について、従来
方法との対比において説明する。
材料を用い、フォトリソグラフィプロセスによりインク
噴射ノズル面に撥水処理する具体的方法について、従来
方法との対比において説明する。
【００１７】最初に、本発明の方法によるノズル孔周辺
部の撥水処理工程を、図１に基づいて説明する。
部の撥水処理工程を、図１に基づいて説明する。
【００１８】図１の（ａ）に示すノズル孔（２）を有す
るインクジェットヘッド（１）の表面は、図１の（ｂ）
に示すように、前記撥水性を有する感光性樹脂材料によ
り被覆され、感光性樹脂材料層（３）が形成される。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し、パタ
ーン露光を行う。更に常法に従って現像処理を行い、例
えば露光されなかった未重合部分を溶剤等によって溶出
することにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を
有する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめる。
るインクジェットヘッド（１）の表面は、図１の（ｂ）
に示すように、前記撥水性を有する感光性樹脂材料によ
り被覆され、感光性樹脂材料層（３）が形成される。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し、パタ
ーン露光を行う。更に常法に従って現像処理を行い、例
えば露光されなかった未重合部分を溶剤等によって溶出
することにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を
有する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめる。
【００１９】このようにして、インク噴射ノズル面に撥
水処理されたインクジェットヘッドが得られる。
水処理されたインクジェットヘッドが得られる。
【００２０】本発明において、樹脂材料中に残存させる
樹脂材料中の各成分に対して溶解性がある高沸点溶媒と
しては、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル
酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、プロピレンカーボネ
ートなどを挙げることができる。これらの高沸点溶媒は
本発明で用いる樹脂材料に対して有効であるが、 上記し
た高沸点溶媒の例は、特にそれらに限定されるものでは
ない。
樹脂材料中の各成分に対して溶解性がある高沸点溶媒と
しては、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル
酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、プロピレンカーボネ
ートなどを挙げることができる。これらの高沸点溶媒は
本発明で用いる樹脂材料に対して有効であるが、 上記し
た高沸点溶媒の例は、特にそれらに限定されるものでは
ない。
【００２１】本発明において、樹脂材料中に残存させる
樹脂材料中の各成分に対して溶解性がある高沸点溶媒の
残存割合は、用いるフッ素含有感光性樹脂材料１００重
量部当り約１０乃至約３０重量部の範囲が適当で、 約１
５乃至約２５重量部の範囲が好ましい。
樹脂材料中の各成分に対して溶解性がある高沸点溶媒の
残存割合は、用いるフッ素含有感光性樹脂材料１００重
量部当り約１０乃至約３０重量部の範囲が適当で、 約１
５乃至約２５重量部の範囲が好ましい。
【００２２】
【実施例】以下実施例により本発明をさらに具体的に説
明するが、本発明はこれらの実施例によって限定される
ものではない。
明するが、本発明はこれらの実施例によって限定される
ものではない。
【００２３】（実施例１）図１の（ａ）に示すノズル孔
（２）を有するインクジェットヘッド（１）の表面に、
図１の（ｂ）に示すように、下記の撥水性を有する感光
性樹脂材料を用いてスピンナーで１０００回転で塗布
し、ホットプレート８０℃３分のプリベークを行うこと
により被覆し、感光性樹脂材料層（３）を形成した。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し（４
Ｊ）、パターン露光を行った。更にＡＥＢを、ホットプ
レート８０℃３分行い、 ＭＩＢＫ／キシレン＝２／３
の溶液で１分現像し、２００℃１時間の熱キュアーを行
うことにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有
する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめた。このよう
にして、インク噴射ノズル面に撥水処理されたインクジ
ェットヘッドを得た。
（２）を有するインクジェットヘッド（１）の表面に、
図１の（ｂ）に示すように、下記の撥水性を有する感光
性樹脂材料を用いてスピンナーで１０００回転で塗布
し、ホットプレート８０℃３分のプリベークを行うこと
により被覆し、感光性樹脂材料層（３）を形成した。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し（４
Ｊ）、パターン露光を行った。更にＡＥＢを、ホットプ
レート８０℃３分行い、 ＭＩＢＫ／キシレン＝２／３
の溶液で１分現像し、２００℃１時間の熱キュアーを行
うことにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有
する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめた。このよう
にして、インク噴射ノズル面に撥水処理されたインクジ
ェットヘッドを得た。
【００２４】用いた撥水性を有する感光性樹脂材料の組
成は下記のとおりである。
成は下記のとおりである。
【００２５】 重量部 ＥＨＰＥ−３１５８（商品名 ダイセル化学工業（株）製） ３５ ２、２−ビス（４−グリシジルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン ２０ １、４−ビス（２−ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル）ベンゼン ２０ ３−（２−パーフルオロヘキシル）エトキシ−１、２−エポキシプロパン ２５ Ａ−１８７（商品名 日本ユニカー（株）製） ４ ＳＰ−１７０（商品名 旭電化工業（株）製） １．５ ジエチレングリコールモノエチルエーテル １５０ フタル酸ジメチル ５０ ＥＨＰＥ−３１５８：
【００２６】
【化１】 Ａ−１８７：γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン ＳＰ−１７０：４、４'−ビス〔ジ（βヒドロキシエト
キシ）フェニルスルフォニル〕フェニルスルフィド−ビ
ス−ヘキサフルオロアンチモネート
ラン ＳＰ−１７０：４、４'−ビス〔ジ（βヒドロキシエト
キシ）フェニルスルフォニル〕フェニルスルフィド−ビ
ス−ヘキサフルオロアンチモネート
【００２７】（比較例１）図１の（ａ）に示すノズル孔
（２）を有するインクジェットヘッド（１）の表面に、
図１の（ｂ）に示すように、下記の撥水性を有する感光
性樹脂材料を用いてスピンナーで１０００回転で塗布
し、ホットプレート８０℃３分のプリベークを行うこと
により被覆し、感光性樹脂材料層（３）を形成した。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し（４
Ｊ）、パターン露光を行った。更にＡＥＢを、ホットプ
レート８０℃３分行い、 ＭＩＢＫ／キシレン＝２／３
の溶液で１分現像し、２００℃１時間の熱キュアーを行
うことにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有
する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめた。このよう
にして、インク噴射ノズル面に撥水処理されたインクジ
ェットヘッドを得た。
（２）を有するインクジェットヘッド（１）の表面に、
図１の（ｂ）に示すように、下記の撥水性を有する感光
性樹脂材料を用いてスピンナーで１０００回転で塗布
し、ホットプレート８０℃３分のプリベークを行うこと
により被覆し、感光性樹脂材料層（３）を形成した。次
いで活性エネルギー線を通過しない所定の形状のパター
ンを有するフォトマスク（４）をセットし、図１の
（ｃ）の矢印で示す方向にエネルギー線を照射し（４
Ｊ）、パターン露光を行った。更にＡＥＢを、ホットプ
レート８０℃３分行い、 ＭＩＢＫ／キシレン＝２／３
の溶液で１分現像し、２００℃１時間の熱キュアーを行
うことにより、図１の（ｄ）に示すように、撥水性を有
する感光性樹脂材料層（３）を現像せしめた。このよう
にして、インク噴射ノズル面に撥水処理されたインクジ
ェットヘッドを得た。
【００２８】用いた撥水性を有する感光性樹脂材料の組
成は下記のとおりである。
成は下記のとおりである。
【００２９】 重量部 ＥＨＰＥ−３１５８（商品名 ダイセル化学工業（株）製） ３５ ２、２−ビス（４−グリシジルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン ２０ １、４−ビス（２−ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル）ベンゼン ２０ ３−（２−パーフルオロヘキシル）エトキシ−１、２−エポキシプロパン ２５ Ａ−１８７（商品名 日本ユニカー（株）製） ４ ＳＰ−１７０（商品名 旭電化工業（株）製） １．５ ジエチレングリコールモノエチルエーテル ２００
【００３０】出来上がったヘッドを顕微鏡で観察したと
ころ、実施例１では、吐出口にならって、きれいに撥水
性を有する感光性樹脂材料層（３）が出来ていた。又、
パターニング時に樹脂組成物に残存していたフタル酸ジ
メチルは２００℃１時間の熱キュアーにより蒸発し、硬
化した樹脂組成物の撥水性には影響を与えなかった。
ころ、実施例１では、吐出口にならって、きれいに撥水
性を有する感光性樹脂材料層（３）が出来ていた。又、
パターニング時に樹脂組成物に残存していたフタル酸ジ
メチルは２００℃１時間の熱キュアーにより蒸発し、硬
化した樹脂組成物の撥水性には影響を与えなかった。
【００３１】しかし、比較例１においては、プリベーク
時に溶媒が蒸発し、樹脂組成物が濁ったため、露光の時
に光が散乱し、きれいなパターン形状が得られなかっ
た。
時に溶媒が蒸発し、樹脂組成物が濁ったため、露光の時
に光が散乱し、きれいなパターン形状が得られなかっ
た。
【００３２】実施例１では、溶解性がある高沸点溶媒と
してフタル酸ジメチルを用いたが、この他にもフタル酸
ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、プ
ロピレンカーボネートなどを用いることができる。
してフタル酸ジメチルを用いたが、この他にもフタル酸
ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、プ
ロピレンカーボネートなどを用いることができる。
【００３３】
【発明の効果】本発明により、高い撥水性を有する感光
性樹脂材料を用いフォトリソグラフィプロセスによりパ
ターニングできる。又、インクジェット記録装置のイン
ク噴射ノズル面に撥水処理するのに応用することによ
り、ノズルの目づまりあるいはノズル孔の変形等の障害
のない信頼性の高いインクジェットヘッドのノズル面撥
水処理が可能となり、またこの方法により有用なインク
ジェットヘッドが提供される。
性樹脂材料を用いフォトリソグラフィプロセスによりパ
ターニングできる。又、インクジェット記録装置のイン
ク噴射ノズル面に撥水処理するのに応用することによ
り、ノズルの目づまりあるいはノズル孔の変形等の障害
のない信頼性の高いインクジェットヘッドのノズル面撥
水処理が可能となり、またこの方法により有用なインク
ジェットヘッドが提供される。
【図１】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施例にかかるイン
クジェットヘッドの製造方法を説明する模式図である。
クジェットヘッドの製造方法を説明する模式図である。
１ ノズル板 ２ ノズル孔 ３ フッ素含有感光性樹脂組成物 ４ マスク
Claims (2)
- 【請求項１】 撥水性を有するフッ素含有感光性樹脂材
料のパターニングに際して、該樹脂材料中の各成分に対
して溶解性がある高沸点溶媒を樹脂材料中に残存させた
状態で該パターニングを行うことを特徴とするパターニ
ング方法。 - 【請求項２】 撥水性を有する感光性樹脂材料層を、請
求項１に記載のパターニング方法でパターニングするこ
とを特徴とする、インク噴射ノズル面に撥水処理を施し
たインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16849499A JP2000355106A (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | フッ素含有樹脂組成物のパターニング方法およびインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16849499A JP2000355106A (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | フッ素含有樹脂組成物のパターニング方法およびインクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000355106A true JP2000355106A (ja) | 2000-12-26 |
Family
ID=15869137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16849499A Pending JP2000355106A (ja) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | フッ素含有樹脂組成物のパターニング方法およびインクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000355106A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7153633B2 (en) | 2002-04-02 | 2006-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ink-jet printhead and method for manufacturing the same |
| WO2009018178A3 (en) * | 2007-07-27 | 2009-03-26 | Hewlett Packard Development Co | Fluid ejector device |
-
1999
- 1999-06-15 JP JP16849499A patent/JP2000355106A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7153633B2 (en) | 2002-04-02 | 2006-12-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ink-jet printhead and method for manufacturing the same |
| WO2009018178A3 (en) * | 2007-07-27 | 2009-03-26 | Hewlett Packard Development Co | Fluid ejector device |
| US8042908B2 (en) | 2007-07-27 | 2011-10-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejector device |
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