JP2000352587A - X線平面検出装置 - Google Patents

X線平面検出装置

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JP2000352587A
JP2000352587A JP2000103696A JP2000103696A JP2000352587A JP 2000352587 A JP2000352587 A JP 2000352587A JP 2000103696 A JP2000103696 A JP 2000103696A JP 2000103696 A JP2000103696 A JP 2000103696A JP 2000352587 A JP2000352587 A JP 2000352587A
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ray flat
ray
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JP2000103696A
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English (en)
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Hiroko Umasaki
博子 馬▲崎▼
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 後方散乱を確実に抑え、X線画像のコントラ
ストの向上を図る。 【解決手段】 照射されたX線量に応じて電荷に変換す
るX線変換部と、前記X線変換部のX線が照射される面
とは反対側の面に接するように配設され、電荷を読み出
す電荷読み出し部と、前記電荷読み出し部の前記X線変
換部と接する面とは反対側の面側に接するように配設さ
れた電荷読み出し部を支持する支持部と、前記支持部の
電荷読み出し部と接する面とは反対側の面側に隣接して
配設された散乱線除去部材とを備える。そして、この散
乱線除去部材により、支持部の電荷読み出し部と接する
面とは反対側の面側から入射する後方散乱線を吸収して
除去する。これにより、後方散乱を確実に抑え、X線画
像のコントラストの向上を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばX線診断装
置等のX線検出部として設けて好適なX線平面検出装置
に関し、特に散乱線が撮像画像に及ぼす悪影響を防止し
たX線平面検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、X線検査で使用されている撮像系
としては、例えば過去においてはフィルムを使ったX線
検査が主流であった。しかし、最近のX線平面検出装置
に関する空間及エネルギー分解能等の飛躍的な進歩は、
フィルムのみにたよるX線検査から、ディジタルX線検
査への移行を急速に促進している。さらに、ディジタル
X線検査でも、従来の重く大型のイメージインテンシフ
ァイアとTVカメラとを組み合わせた方式から、軽く薄
く小型でしかも空間及びエネルギー分解能に優れるX線
平面検出装置を使った方式に取って代わろうとしてい
る。
【0003】図14には、フィルムカセッテ100内
に、X線フィルム101が増感紙104とともにスポン
ジ102により支持されている。
【0004】入射X線エネルギーの大部分は、フィルム
及び増感紙に吸収される。しかし、残りのエネルギー
は、フィルム、増感紙等を透過する。この透過X線(以
下、一次透過X線という)を外部に漏洩させない、また
は安全規格値まで減衰させるために、スポンジ102の
背面には鉛板103が貼られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の技術にお
いては、スポンジ102の背面には鉛板103が貼られ
ているが、しかし、この鉛板103は、次のような問題
を発生する。鉛板103は、漏洩X線の防止又は低減を
第一位の目的として、デザインされている。その一方
で、鉛板103からはフィルム101、増感紙104お
よびスポンジ102を透過したX線が、鉛板103にあ
たってフィルム側へ反射する、いわゆる後方散乱線が発
生する。この後方散乱線は、変換素子に電荷を発生させ
ることがある。この後方散乱線により発生した電荷は、
ノイズであり、画質を低下させてしまう。
【0006】遮蔽板の材料、厚さまたは/もしくは形状
等を、放射線の吸収量が多くなるようにデザインする
と、散乱線も多くなる。従って、漏洩X線を減らすよう
に吸収量を多くすればするほど、散乱線が多くなって、
ノイズが増大してしまう。
【0007】漏洩X線の抑制という目的は、当然にし
て、ノイズの低減という目的に優先される。従って、ノ
イズの低減という目的は犠牲にされている。
【0008】また、USP5,777,335のX線検
出器も、同様の問題を抱えている。
【0009】USP5,777,335のX線検出器
は、X線を光に変換するphosphor4と、光を電荷に変換
するconversion element 1と、conversion element 1の
支持板2とを有し、その支持板2の後方に、X線の吸収
と遮蔽のためのベースボード3又はリードプレート15
を設けている。このUSP5,777,335のX線検
出器でも、ベースボード3又はリードプレート15で発
生する後方散乱線が、conversion element 1にノイズ電
荷を発生させてしまうという同様の問題を抱えている。
【0010】なお、USP5,753,921のX線検
出器は、その図1に示されているように、コンバータ1
2でX線を光に変換し、その光をディテクションアレイ
14で電荷に変換する方式を採用している。ディテクシ
ョンアレイ14のサブストレート22は、パッキング2
4とともに、コンバータ12及びディテクションアレイ
14を物理的にサポートするためのサポートユニット2
0を構成している。この発明は、ディテクションアレイ
14のサブストレート22に原子番号22以上のエレメ
ントを含有させ、それによりサブストレート22に吸収
及び遮蔽機能を持たせたことを特徴としている。
【0011】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、放射線の漏洩を防止又は規格値以上、軽減す
るようにデザインされた遮蔽板を有するX線平面検出装
置において、その遮蔽板を発生源とする後方散乱線と自
身の後方散乱線が、電荷変換素子に到達することを抑制
することができるX線平面検出装置を提供することを目
的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1に記載の本発明によれば、前方から入射す
る放射線を電荷に変換する変換素子と、前記変換素子の
後方に配置される電荷読み出し素子と、前記電荷読み出
し素子の支持板と、前記支持板の後方に配置される第1
プレートと、前記支持板と前記第1プレートとの間に配
置される第2プレートとを備え、前記第2プレートは前
記第1プレートよりも放射線吸収量が少なくなるように
構成されていることを特徴とするX線平面検出装置をも
って解決手段とする。
【0013】また、請求項2に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートで発生する後方
散乱線を前記変換素子に実質的に透過しないように構成
されていることを特徴とする請求項1に記載のX線平面
検出装置をもって解決手段とする。
【0014】また、請求項3に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートよりも、後方散
乱線の発生量が少ないように構成されていることを特徴
とする請求項1に記載のX線平面検出装置をもって解決
手段とする。
【0015】また、請求項3に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートよりも、放射線
吸収量が少なくなるように材料と厚さが調整されている
ことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置を
もって解決手段とする。
【0016】また、請求項4に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートよりも剛性の高
い材料で作られていることを特徴とする請求項1に記載
のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0017】また、請求項5に記載の本発明によれば、
前記第1プレートは鉛製であり、前記第2プレートは鉄
製であることを特徴とする請求項1に記載のX線平面検
出装置をもって解決手段とする。
【0018】また、請求項6に記載の本発明によれば、
前記第1プレートは鉛を主成分とし、前記第2プレート
は鉄を主成分としていることを特徴とする請求項1に記
載のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0019】また、請求項7に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは原子番号22番以降の元素を主成分
としていることを特徴とする請求項1に記載のX線平面
検出装置をもって解決手段とする。
【0020】また、請求項8に記載の本発明によれば、
前記第2プレートはFe、Cu及びPbの少なくとも一
種を主成分としていることを特徴とする請求項1に記載
のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0021】また、請求項9に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートを挟んでベース
に固定されていることを特徴とする請求項1に記載のX
線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0022】また、請求項10に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板をサポートするた
めに前記支持板の背面にアタッチされ、前記第1プレー
トは前記第2プレートの背面にアタッチされていること
を特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置をもっ
て解決手段とする。
【0023】また、請求項11に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板をサポートするた
めに前記支持板の背面にアタッチされ、前記第1プレー
トは前記第2プレートから離間されていることを特徴と
する請求項1に記載のX線平面検出装置をもって解決手
段とする。
【0024】また、請求項12に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板から離間され、前
記第1プレートは前記第2プレートから離間されている
ことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置を
もって解決手段とする。
【0025】また、請求項13に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは前記支持板から離間され、前記
第1プレートは前記第2プレートによりサポートされる
ために前記第2プレートの背面にアタッチされているこ
とを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置をも
って解決手段とする。
【0026】また、請求項14に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、該X線平面検出装置のケーシ
ングを兼ねることを特徴とする請求項1に記載のX線平
面検出装置をもって解決手段とする。
【0027】また、請求項15に記載の本発明によれ
ば、前記第1プレートは、該X線平面検出装置のケーシ
ングを兼ねることを特徴とする請求項1に記載のX線平
面検出装置をもって解決手段とする。
【0028】また、請求項16に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記第1プレートと共に該X
線平面検出装置のケーシングを兼ねることを特徴とする
請求項1に記載のX線平面検出装置をもって解決手段と
する。
【0029】また、請求項17に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートの平面積は前記変換素子の有効領
域の平面積よりも大きいことを特徴とする請求項1に記
載のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0030】また、請求項18に記載の本発明によれ
ば、前方から入射する放射線を電荷に変換する変換素子
と、前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し
素子と、前記電荷読み出し素子の支持板と、前記支持板
の背面にアタッチされる鉄を主成分とするプレートとを
備えることを特徴とするX線平面検出装置をもって解決
手段とする。
【0031】また、請求項19に記載の本発明によれ
ば、前方から入射する放射線を電荷に変換する変換素子
と、前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し
素子と、前記電荷読み出し素子の支持板と、前記支持板
の後方にアタッチされる放射線遮蔽プレートと、前記支
持板と前記放射線遮蔽プレートとの間にアタッチされる
グリッドとを備え、前記グリッドは前記放射線遮蔽プレ
ートで発生する後方散乱の通過を制限することを特徴と
するX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【0032】以上の、請求項1、18、19に記載され
た本発明によれば、放射線の漏洩を防止又は規格値以
上、軽減するようにデザインされた遮蔽板を有するX線
平面検出装置において、その遮蔽板を発生源とする後方
散乱線と自身の後方散乱線が、電荷変換素子に到達する
ことを抑制することができるX線平面検出装置を提供す
ることができる。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るX線平面検出
装置の好適な実施の形態について図面を参照して詳細に
説明する。なお、ここでは、放射線検出器として、X線
検出器を例に説明するが、もちろんガンマ線等の他の放
射線の検出器にも適用されることができる。
【0034】[第1の実施の形態]図1に、第1実施の
形態に係るX線平面検出装置の断面を示している。変換
素子1は、前方から入射するX線を電荷に変換する複数
の変換素子を有している。変換方式は、X線シンチレー
タ素子で光に変換し、その光をフォトダイオードに代表
される光電変換素子で電荷に変換する間接方式でもよい
し、X線の照射により半導体中に電子と正孔のペアが生
じ、それが電極に移動する現象を利用したアモルファス
セレニウムを代表例とする直接変換方式のいずれでもよ
い。
【0035】変換素子1の背面には、電荷読み出し素子
2がアタッチされる。電荷読み出し素子2は、変換素子
1に蓄積された電荷を個別に読み出すために、複数のス
イッチング素子を有している。この電荷読み出し素子2
は、支持板3上に形成されている。典型的には、スイッ
チング素子は、薄膜トランジスタであり、支持板3はガ
ラス板である。
【0036】この支持板3の後方には、X線の漏洩を防
止又は漏洩X線を規格値以上、低減するための一般的な
遮蔽板(以下、第1プレートという)5が配置されてい
る。
【0037】この第1プレート5と、電荷読み出し素子
2の支持板3との間に、第2プレート4を特徴的に配置
している。具体的には、第2プレート4は、支持板3を
物理的にサポートするために支持板3の背面にアタッチ
されている。また、比較的柔らかな第1プレート5は、
比較的剛性の高い第2プレート4により物理的にサポー
トされるために、第2プレート4の背面にアタッチされ
ている。
【0038】これら変換素子1、電荷読み出し素子2、
支持板3、第2プレート4及び第1プレート5は、アル
ミ製のケーシング6に収容されている。ケーシング6に
は放射線入射窓が形成されており、放射線入射窓の内側
に変換素子1が配置される。
【0039】第2プレート4と第1プレート5の平面積
は、変換素子1のそれよりも広く形成されている。これ
により、第2プレート4と第1プレート5は、変換素子
1、電荷読み出し素子2及び支持板3の両端からオーバ
ーハングしている。第2プレート4と第1プレート5の
オーバーハング部分は、ケーシング6の側壁からの後方
散乱線を減衰し、ノイズ電荷の発生を抑制する働きがあ
る。
【0040】上述したように、第2プレート4を第1プ
レート5と支持板3との間に配置したことで、第1プレ
ート5で発生する後方散乱線が、変換素子1に到達し、
ノイズ電荷を発生させるという問題が解決されることが
できる。この詳細について、図2を参照しながら、以下
に説明する。
【0041】まず、第2プレート4の材料、厚さまたは
/もしくは形状は、放射線の吸収量が、第1プレート5
のそれよりも著しく少なく、かといってゼロでもない程
度になるようにデザインされている。つまり、第2プレ
ート4の放射線吸収量をAD4、第1プレート5の放射
線吸収量をAD5とすると、AD4<AD5という関係
で。第2、第1プレート4,5がデザインされている。
この特徴を換言すると、第2プレートの材料、厚さまた
は/もしくは形状は、第1プレート5よりも、後方散乱
線の発生量が少ないようにデザインされている。
【0042】この特徴により、変換素子1、電荷読み出
し素子2及び支持板3を透過したX線(一次透過X線)
の大部分は、第2プレート4を透過する。同時に、第2
プレート4で発生する後方散乱線(一次後方散乱線)は
微小である。従って、第2プレート4を発生源とする後
方散乱線に起因するノイズ電荷の発生量は微小に抑えら
れている。
【0043】材料に関して述べると、第2プレート4
は、第1プレート5よりも、放射線吸収係数の少ない材
料で作られている。第1プレート5は、典型的には、鉛
製である。鉛製の第1プレート5の厚さは、典型的には
1mm又は1mm超である。第2プレート4の材料とし
ては、原子番号22番以降の元素が好ましく、典型的に
は、鉄である。鉄製の第2プレート4の厚さは、典型的
には0.01mm〜10mmである。なお、第1プレー
ト5と第2プレート4は、単一素材でなくてもよく、第
1プレート5は鉛を主成分とし、また第2プレート4は
鉄を主成分としていてもよい。さらに、第2プレート4
は、Cu及びPbの少なくとも一種を主成分としていて
もよい。
【0044】また、第2プレート4は、第1プレート5
よりも、剛性の高い材料で作られている。又は第2プレ
ート4の厚さまたは/もしくは形状は、第1プレート5
よりも、剛性が高くなるようにデザインされている。こ
れにより第2プレート4は、支持板3及び第1プレート
5を、変形、クラック等から保護することを可能にして
いる。
【0045】第2プレート4を透過するX線(二次透過
X線)は、吸収量の多い第1プレート5に到達する。第
1プレート5を透過するX線(最終透過X線(漏洩X
線))は、ゼロ又は安全規格値を満たす以上にまで減弱
される。つまり、第1プレート5の材料、厚さまたは/
もしくは形状は、漏洩X線が少なくとも安全規格値以下
になることを基準にデザインされている。
【0046】放射線吸収量の多い第1プレート5では、
エネルギーによって、比較的大量の後方散乱線(二次後
方散乱線)が発生する。
【0047】この二次後方散乱線は、第2プレー4に後
方から照射する。この二次後方散乱線は、一次透過X線
よりも、必然的に、著しく弱い。
【0048】第2プレート4の吸収は、第1プレート5
よりも、放射線吸収量が少ないとはいえ、ゼロではな
い。従って、著しく弱い二次後方散乱線をほとんど透過
しない。又は透過X線(三次透過X線)は画質にほとん
ど影響を与えない程度のごくごく微量である。つまり、
第2プレート4の材料、厚さまたは/もしくは形状は、
第1プレート5で発生する後方散乱線を、変換素子1に
実質的に透過しないようにデザインされている。
【0049】ノイズ低減に着目すると、最も好ましいの
は、第1プレート5は、後方散乱をできるだけ少なくす
るために、漏洩X線が少なくとも安全規格値以下を示す
という条件を満たす範囲内で、厚さの最小値が決められ
ている。また、第2プレート4は、第1プレート5で発
生する後方散乱線を変換素子1に実質的に透過しない条
件を満たす範囲で、厚さの最小値が決められ、さらに自
身が発生する一次後方散乱線に起因するノイズが実質的
にゼロ又は無視できる程度になるという条件を満たす範
囲内で、厚さの最大値を決められている。
【0050】このように本実施の形態によると、放射線
の漏洩を防止又は規格値以上、軽減するのはもちろんの
こと、それと同時にその第1プレート5を発生源とする
後方散乱線は、微小であり、この程度ならば、第2プレ
ート4で実質的に遮蔽できるので、従来問題になってい
た第1プレート5を発生源とする後方散乱線が、電荷変
換素子に到達して、ノイズ電荷を発生させ、それにより
画質が劣化することはない。しかも、第2プレート4は
放射線吸収量が最小にまで抑えられているので、第2プ
レート4を発生源とする後方散乱線はごくごく微量であ
り、従って、それがノイズ電荷を発生させ、それにより
画質が劣化することはない。
【0051】さらに、第2プレート4は、剛性が高いの
で、ガラス等のクラックの入りやすい支持板3及び鉛等
の柔らかな第1プレート5を物理的な破損から保護する
こともできる。
【0052】さらに第2プレート4は、第1プレート5
よりも、熱伝達係数が高い性質を備えているので、従来
のように第1プレート5を支持板3に直接的にアタッチ
する場合よりも、電荷読み出し素子2の冷却効果を向上
することができる。
【0053】[第2の実施の形態]上述したように、第
2プレート4は、鉄製で剛性が高いので、図3に示すよ
うに、第2プレート4を、第1プレート5を挟んで、ベ
ース7にネジ8等の強固な固定手段をもって固定するよ
うにしてもよい。
【0054】本実施の形態によると、第2プレート4
は、剛性が高いので、ガラス等のクラックの入りやすい
支持板3及び鉛等の柔らかな第1プレート5を物理的な
破損から保護することができる。
【0055】[第3の実施の形態]第1の実施の形態で
は、第1プレート5は、第2プレート4の背面にアタッ
チされていたが、図4に示すように、第1プレート5
は、第2プレート4からスペースされていてもよい。
【0056】[第4の実施の形態]また、図5に示すよ
うに、第1プレート5が、第2プレート4からスペース
されていて、さらに第2プレート4も、支持板3からス
ペースされていてもよい。
【0057】[第5の実施の形態]また、図6に示すよ
うに、第2プレート4が支持板3からスペースされてい
るが、第1プレート5は第2プレート4の背面にアタッ
チされていてもよい。
【0058】[第6の実施の形態]また、図7に示すよ
うに、第2プレート4が検出器のケーシングを使用し
て、そのケーシングの背面に第1プレート5をアタッチ
するようにしてもよい。
【0059】本実施の形態によると、検出器を軽量、し
かも小型で薄く構成できる。
【0060】[第7の実施の形態]また、図8に示すよ
うに、第2プレート4は支持板3の背面にアタッチされ
ていて、第1プレート5が検出器のケーシングを兼用し
てもよい。
【0061】本実施の形態によると、検出器を軽量、し
かも小型で薄く構成できる。
【0062】[第8の実施の形態]また、図9に示すよ
うに、第2プレート4が、第1プレート5とともに、検
出器のケーシングを兼用してもよい。
【0063】本実施の形態によると、検出器を軽量、し
かも小型で薄く構成できる。
【0064】[第9の実施の形態]また、支持板3を透
過する一次透過X線が非常に微弱であるとき、図10に
示すように、第1プレート5は不要であって、第2プレ
ート4だけでも、X線の漏洩を防止し、又は漏洩X線を
安全規格値にまで下げることができるかもしれない。第
2プレート4の厚さは、材料に応じて、つまり密度に応
じて調整され、それが例えばタングステン製であれば
0.01mm程度であり、鉄や軽金属であれば10mm
程度である。
【0065】[第10の実施の形態]また、支持板3を
透過する一次透過X線が非常に微弱であるとき、図11
に示すように、第2プレート4を不要にして、放射線吸
収量を少なく抑えた第1プレート5を支持板3にアタッ
チするようにしてもよい。
【0066】[第11の実施の形態]さらに、図12に
示すように、第2プレート4の代わりに、X線グリッド
10を支持板3の後方に配置し、第1プレート5で発生
する後方散乱線を除去するようにしてもよい。このグリ
ッド10は、図13に示すように、格子部16とこの格
子部16により囲まれるスペーサ17とから構成されて
いる。格子部16は、例えば板棒状の鉛からなり、格子
状に組み合わされることによりスペーサ17を形成して
いる。スペーサ17には、アルミニウム、木、紙等のX
線を透過する材料が設けられている場合がある。このグ
リッド10では、格子部16における鉛の単位体積当た
りの量を調整することで、当該グリッド10を透過する
X線量を調整するようになっており、例えば101p/
cm、10:1、paper、Focal∞といった特
性となっている。
【0067】以上説明した本発明によれば、放射線の漏
洩を防止又は規格値以上、軽減するようにデザインされ
た遮蔽板を有するX線平面検出装置において、その遮蔽
板を発生源とする後方散乱線と自身の後方散乱線が、電
荷変換素子に到達することを抑制することができる。
【0068】放射線検出器は、前方から入射する放射線
を電荷に変換する変換素子と、この変換素子の後方に配
置される電荷読み出し素子と、この電荷読み出し素子の
支持板と、この支持板の後方に配置される主たる遮蔽板
としての第1プレートとを有している。第1プレート
は、放射線の漏洩を防止又は規格値まで軽減するのに効
果的である。その一方で、第1プレートは、多くの後方
散乱線を発生する。この後方散乱線が変換素子に到達す
ると、ノイズ電荷が発生し、画質が劣化する。この第1
プレートと支持板との間に第2プレートを特徴的に配置
している。この第2プレートは第1プレートよりも放射
線吸収量が少なく、しかもゼロではない程度にデザイン
されている。従って、第2プレートは、第1プレートで
発生した比較的微弱な後方散乱線を、変換素子に対して
遮蔽する程度には十分である。しかも、第2プレートは
放射線吸収量が少ないので、自身ではほとんど後方散乱
線を発生しない。従って、この第2プレートを発生源と
する後方散乱線が、変換素子に到達して、ノイズ電荷を
発生させ、画質を劣化させるようなことはほとんどな
い。
【0069】最後に、上述の各実施の形態は本発明の一
例である。このため、本発明は、上述の各実施の形態に
限定されることはなく、該各実施の形態以外であって
も、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれ
ば、設計等に応じて種々の変更が可能であることは勿論
である。
【0070】
【発明の効果】本発明に係るX線平面検出装置は、放射
線の漏洩を防止又は規格値以上、軽減するようにデザイ
ンされた遮蔽板を有するX線平面検出装置において、そ
の遮蔽板を発生源とする後方散乱線と自身の後方散乱線
が、電荷変換素子に到達することを抑制するX線平面検
出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図2】図1の電荷読み出し素子(TFT)、鉄プレー
ト及び鉛プレートにおいて、X線の減弱、吸収及び後方
散乱の様子を示す図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図5】本発明の第4の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図6】本発明の第5の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図7】本発明の第6の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図8】本発明の第7の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図9】本発明の第8の実施の形態に係るX線平面検出
装置の要部断面図である。
【図10】本発明の第9の実施の形態に係るX線平面検
出装置の要部断面図である。
【図11】本発明の第10の実施の形態に係るX線平面
検出装置の要部断面図である。
【図12】本発明の第11の実施の形態に係るX線平面
検出装置の要部断面図である。
【図13】本発明の第11の実施の形態に係るX線平面
検出装置の要部概略図である。
【図14】従来のカセッテの断面図である。
【符号の説明】
1…X線変換部、2…電荷読み出し部、3…支持部、4
…散乱線除去部材、5…X線透過抑制部材、6…格子
部、7…スペーサ、10…グリッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年5月9日(2000.5.9)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】また、請求項4に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートよりも、放射線
吸収量が少なくなるように材料と厚さが調整されている
ことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置を
もって解決手段とする。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0016
【補正方法】変更
【補正内容】
【0016】また、請求項5に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは、前記第1プレートよりも剛性の高
い材料で作られていることを特徴とする請求項1に記載
のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0017
【補正方法】変更
【補正内容】
【0017】また、請求項6に記載の本発明によれば、
前記第1プレートは鉛製であり、前記第2プレートは鉄
製であることを特徴とする請求項1に記載のX線平面検
出装置をもって解決手段とする。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0018
【補正方法】変更
【補正内容】
【0018】また、請求項7に記載の本発明によれば、
前記第1プレートは鉛を主成分とし、前記第2プレート
は鉄を主成分としていることを特徴とする請求項1に記
載のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】また、請求項8に記載の本発明によれば、
前記第2プレートは原子番号22番以降の元素を主成分
としていることを特徴とする請求項1に記載のX線平面
検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】また、請求項9に記載の本発明によれば、
前記第2プレートはFe、Cu及びPbの少なくとも一
種を主成分としていることを特徴とする請求項1に記載
のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】また、請求項10に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記第1プレートを挟んでベ
ースに固定されていることを特徴とする請求項1に記載
のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】また、請求項11に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板をサポートするた
めに前記支持板の背面にアタッチされ、前記第1プレー
トは前記第2プレートの背面にアタッチされていること
を特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置をもっ
て解決手段とする。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】また、請求項12に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板をサポートするた
めに前記支持板の背面にアタッチされ、前記第1プレー
トは前記第2プレートから離間されていることを特徴と
する請求項1に記載のX線平面検出装置をもって解決手
段とする。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】また、請求項13に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記支持板から離間され、前
記第1プレートは前記第2プレートから離間されている
ことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置を
もって解決手段とする。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】また、請求項14に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは前記支持板から離間され、前記
第1プレートは前記第2プレートによりサポートされる
ために前記第2プレートの背面にアタッチされているこ
とを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置をも
って解決手段とする。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0026
【補正方法】変更
【補正内容】
【0026】また、請求項15に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、該X線平面検出装置のケーシ
ングを兼ねることを特徴とする請求項1に記載のX線平
面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0027
【補正方法】変更
【補正内容】
【0027】また、請求項16に記載の本発明によれ
ば、前記第1プレートは、該X線平面検出装置のケーシ
ングを兼ねることを特徴とする請求項1に記載のX線平
面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】また、請求項17に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートは、前記第1プレートと共に該X
線平面検出装置のケーシングを兼ねることを特徴とする
請求項1に記載のX線平面検出装置をもって解決手段と
する。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】また、請求項18に記載の本発明によれ
ば、前記第2プレートの平面積は前記変換素子の有効領
域の平面積よりも大きいことを特徴とする請求項1に記
載のX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】また、請求項19に記載の本発明によれ
ば、前方から入射する放射線を電荷に変換する変換素子
と、前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し
素子と、前記電荷読み出し素子の支持板と、前記支持板
の背面にアタッチされる鉄を主成分とするプレートとを
備えることを特徴とするX線平面検出装置をもって解決
手段とする。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】また、請求項20に記載の本発明によれ
ば、前方から入射する放射線を電荷に変換する変換素子
と、前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し
素子と、前記電荷読み出し素子の支持板と、前記支持板
の後方にアタッチされる放射線遮蔽プレートと、前記支
持板と前記放射線遮蔽プレートとの間にアタッチされる
グリッドとを備え、前記グリッドは前記放射線遮蔽プレ
ートで発生する後方散乱の通過を制限することを特徴と
するX線平面検出装置をもって解決手段とする。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0032
【補正方法】変更
【補正内容】
【0032】以上の、請求項1、19、20に記載され
た本発明によれば、放射線の漏洩を防止又は規格値以
上、軽減するようにデザインされた遮蔽板を有するX線
平面検出装置において、その遮蔽板を発生源とする後方
散乱線と自身の後方散乱線が、電荷変換素子に到達する
ことを抑制することができるX線平面検出装置を提供す
ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 5/32 H01L 27/14 K

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 前方から入射する放射線を電荷に変換す
    る変換素子と、 前記変換素子の後方に配置される電荷読み出し素子と、 前記電荷読み出し素子の支持板と、 前記支持板の後方に配置される第1プレートと、 前記支持板と前記第1プレートとの間に配置される第2
    プレートとを備え、 前記第2プレートは前記第1プレートよりも放射線吸収
    量が少なくなるように構成されていることを特徴とする
    X線平面検出装置。
  2. 【請求項2】 前記第2プレートは、前記第1プレート
    で発生する後方散乱線を前記変換素子に実質的に透過し
    ないように構成されていることを特徴とする請求項1に
    記載のX線平面検出装置。
  3. 【請求項3】 前記第2プレートは、前記第1プレート
    よりも、後方散乱線の発生量が少ないように構成されて
    いることを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装
    置。 【請求項3】 前記第2プレートは、前記第1プレート
    よりも、放射線吸収量が少なくなるように材料と厚さが
    調整されていることを特徴とする請求項1に記載のX線
    平面検出装置。
  4. 【請求項4】 前記第2プレートは、前記第1プレート
    よりも剛性の高い材料で作られていることを特徴とする
    請求項1に記載のX線平面検出装置。
  5. 【請求項5】 前記第1プレートは鉛製であり、前記第
    2プレートは鉄製であることを特徴とする請求項1に記
    載のX線平面検出装置。
  6. 【請求項6】 前記第1プレートは鉛を主成分とし、前
    記第2プレートは鉄を主成分としていることを特徴とす
    る請求項1に記載のX線平面検出装置。
  7. 【請求項7】 前記第2プレートは原子番号22番以降
    の元素を主成分としていることを特徴とする請求項1に
    記載のX線平面検出装置。
  8. 【請求項8】 前記第2プレートはFe、Cu及びPb
    の少なくとも一種を主成分としていることを特徴とする
    請求項1に記載のX線平面検出装置。
  9. 【請求項9】 前記第2プレートは、前記第1プレート
    を挟んでベースに固定されていることを特徴とする請求
    項1に記載のX線平面検出装置。
  10. 【請求項10】 前記第2プレートは、前記支持板をサ
    ポートするために前記支持板の背面にアタッチされ、前
    記第1プレートは前記第2プレートの背面にアタッチさ
    れていることを特徴とする請求項1に記載のX線平面検
    出装置。
  11. 【請求項11】 前記第2プレートは、前記支持板をサ
    ポートするために前記支持板の背面にアタッチされ、前
    記第1プレートは前記第2プレートから離間されている
    ことを特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置。
  12. 【請求項12】 前記第2プレートは、前記支持板から
    離間され、前記第1プレートは前記第2プレートから離
    間されていることを特徴とする請求項1に記載のX線平
    面検出装置。
  13. 【請求項13】 前記第2プレートは前記支持板から離
    間され、前記第1プレートは前記第2プレートによりサ
    ポートされるために前記第2プレートの背面にアタッチ
    されていることを特徴とする請求項1に記載のX線平面
    検出装置。
  14. 【請求項14】 前記第2プレートは、該X線平面検出
    装置のケーシングを兼ねることを特徴とする請求項1に
    記載のX線平面検出装置。
  15. 【請求項15】 前記第1プレートは、該X線平面検出
    装置のケーシングを兼ねることを特徴とする請求項1に
    記載のX線平面検出装置。
  16. 【請求項16】 前記第2プレートは、前記第1プレー
    トと共に該X線平面検出装置のケーシングを兼ねること
    を特徴とする請求項1に記載のX線平面検出装置。
  17. 【請求項17】 前記第2プレートの平面積は前記変換
    素子の有効領域の平面積よりも大きいことを特徴とする
    請求項1に記載のX線平面検出装置。
  18. 【請求項18】 前方から入射する放射線を電荷に変換
    する変換素子と、 前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し素子
    と、 前記電荷読み出し素子の支持板と、 前記支持板の背面にアタッチされる鉄を主成分とするプ
    レートとを備えることを特徴とするX線平面検出装置。
  19. 【請求項19】 前方から入射する放射線を電荷に変換
    する変換素子と、 前記変換素子の背面にアタッチされる電荷読み出し素子
    と、 前記電荷読み出し素子の支持板と、 前記支持板の後方にアタッチされる放射線遮蔽プレート
    と、 前記支持板と前記放射線遮蔽プレートとの間にアタッチ
    されるグリッドとを備え、 前記グリッドは前記放射線遮蔽プレートで発生する後方
    散乱の通過を制限することを特徴とするX線平面検出装
    置。
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Cited By (5)

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JP2006322745A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Shimadzu Corp フラットパネル型の放射線検出器
CN107536619A (zh) * 2016-06-27 2018-01-05 富士胶片株式会社 放射线检测暗盒
JP2020003426A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 シャープ株式会社 非破壊検査装置、及び、非破壊検査方法

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