JP2000347410A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000347410A5
JP2000347410A5 JP1999158698A JP15869899A JP2000347410A5 JP 2000347410 A5 JP2000347410 A5 JP 2000347410A5 JP 1999158698 A JP1999158698 A JP 1999158698A JP 15869899 A JP15869899 A JP 15869899A JP 2000347410 A5 JP2000347410 A5 JP 2000347410A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
positive photosensitive
group
resin
photosensitive composition
composition according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1999158698A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP3936492B2 (ja
JP2000347410A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP15869899A priority Critical patent/JP3936492B2/ja
Priority claimed from JP15869899A external-priority patent/JP3936492B2/ja
Publication of JP2000347410A publication Critical patent/JP2000347410A/ja
Publication of JP2000347410A5 publication Critical patent/JP2000347410A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3936492B2 publication Critical patent/JP3936492B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP15869899A 1999-06-04 1999-06-04 ポジ型感光性組成物 Expired - Fee Related JP3936492B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15869899A JP3936492B2 (ja) 1999-06-04 1999-06-04 ポジ型感光性組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15869899A JP3936492B2 (ja) 1999-06-04 1999-06-04 ポジ型感光性組成物

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2000347410A JP2000347410A (ja) 2000-12-15
JP2000347410A5 true JP2000347410A5 (hr) 2005-07-07
JP3936492B2 JP3936492B2 (ja) 2007-06-27

Family

ID=15677414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15869899A Expired - Fee Related JP3936492B2 (ja) 1999-06-04 1999-06-04 ポジ型感光性組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3936492B2 (hr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4512340B2 (ja) * 2003-10-20 2010-07-28 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4300131B2 (ja) * 2004-02-16 2009-07-22 富士フイルム株式会社 液浸プロセス用化学増幅型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4801477B2 (ja) * 2006-03-24 2011-10-26 富士通株式会社 レジスト組成物、レジストパターンの形成方法、半導体装置及びその製造方法
JP5305890B2 (ja) * 2008-12-22 2013-10-02 住友ゴム工業株式会社 二輪自動車用タイヤ
JP5556522B2 (ja) * 2009-09-17 2014-07-23 住友化学株式会社 レジスト組成物
JP5621432B2 (ja) * 2009-09-17 2014-11-12 住友化学株式会社 レジスト組成物
JP2011075750A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Jsr Corp 化学増幅型レジスト用感放射線性樹脂組成物および重合体
DE102009046194A1 (de) 2009-10-30 2011-05-05 Evonik Röhm Gmbh Verfahren zur Herstellung von (1-Alkoxy-2-methyl-1-oxopropan--2yl)-(meth)acrylat
DE102009046197A1 (de) 2009-10-30 2011-05-05 Evonik Röhm Gmbh Homopolymere und Copolymere der Hydroxyisobuttersäure(ester)(meth)acrylate
JP5572570B2 (ja) * 2011-02-28 2014-08-13 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100219573B1 (ko) * 1996-08-05 1999-09-01 윤종용 감광성 고분자 화합물 및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물
JPH10221852A (ja) * 1997-02-06 1998-08-21 Fuji Photo Film Co Ltd ポジ型感光性組成物
JP3948795B2 (ja) * 1997-09-30 2007-07-25 ダイセル化学工業株式会社 放射線感光材料及びそれを用いたパターン形成方法
JP3237605B2 (ja) * 1998-04-06 2001-12-10 日本電気株式会社 1,2−ジオール構造を有する脂環式(メタ)アクリレート誘導体、およびその重合体
JP4434358B2 (ja) * 1998-05-25 2010-03-17 ダイセル化学工業株式会社 フォトレジスト用化合物およびフォトレジスト用樹脂組成物
JP3353825B2 (ja) * 1999-05-10 2002-12-03 日本電気株式会社 化学増幅ポジ型レジスト、およびそれを用いたパターン形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001330947A5 (hr)
JP2003241379A5 (hr)
JP2004302198A5 (hr)
JP2001183837A5 (hr)
JP2000214588A5 (hr)
JP2000267287A5 (hr)
JP2004101706A5 (hr)
JP2004029136A5 (hr)
JP2000347410A5 (hr)
JP2002090988A5 (hr)
JP2002049156A5 (hr)
JP2003292547A5 (hr)
JP2004287262A5 (hr)
JP2003262952A5 (hr)
JP2000187329A5 (hr)
JP2004101642A5 (hr)
JP2002323768A5 (hr)
JP2002236358A5 (hr)
JP2000352822A5 (hr)
JP2000019737A5 (hr)
JP2003177537A5 (hr)
JP2000338680A5 (hr)
JP2002006495A5 (hr)
JP2000347409A5 (hr)
JP2001042533A5 (hr)