JP2000343755A - マルチビーム作画・記録装置における光量制御装置 - Google Patents
マルチビーム作画・記録装置における光量制御装置Info
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- JP2000343755A JP2000343755A JP16210199A JP16210199A JP2000343755A JP 2000343755 A JP2000343755 A JP 2000343755A JP 16210199 A JP16210199 A JP 16210199A JP 16210199 A JP16210199 A JP 16210199A JP 2000343755 A JP2000343755 A JP 2000343755A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マルチビーム作画記録装置において、電源電
圧の変動によって発光光量が変動することがない安定し
た光量制御装置を提供すること。 【解決手段】 メインＣＰＵ１０は入力された所望の光
量を元に作成したＬＥＤ１に流れる電流を制御するため
のデータを光量制御基板２０に送信し、光量制御基板２
０とＬＥＤ１との間に設けられたトランジスタ２５を介
して前記所望の光量に対応する電流をＬＥＤ１に流す。
ＬＥＤ１を発光させるための電源の電圧値は変化させな
い。
圧の変動によって発光光量が変動することがない安定し
た光量制御装置を提供すること。 【解決手段】 メインＣＰＵ１０は入力された所望の光
量を元に作成したＬＥＤ１に流れる電流を制御するため
のデータを光量制御基板２０に送信し、光量制御基板２
０とＬＥＤ１との間に設けられたトランジスタ２５を介
して前記所望の光量に対応する電流をＬＥＤ１に流す。
ＬＥＤ１を発光させるための電源の電圧値は変化させな
い。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数のビームを
用いて精密な画像、例えばプリント基板を作成するため
の露光焼き付け用のマスクに回路パターンを描画するた
めのマルチビーム作画・記録装置における光量制御装置
に関する。
用いて精密な画像、例えばプリント基板を作成するため
の露光焼き付け用のマスクに回路パターンを描画するた
めのマルチビーム作画・記録装置における光量制御装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のマルチビーム作画記録装置は、
例えば、特開平８−３１０１９５号公報に開示される。
この公報に開示される装置では、射出光のピーク波長が
予め定められた複数の発光ダイオード（以下、ＬＥＤと
いう）を用いて、感光材料の作画面上にビームを照射
し、感光材料をＬＥＤに対して相対移動させることによ
り、２次元の画像を作画している。
例えば、特開平８−３１０１９５号公報に開示される。
この公報に開示される装置では、射出光のピーク波長が
予め定められた複数の発光ダイオード（以下、ＬＥＤと
いう）を用いて、感光材料の作画面上にビームを照射
し、感光材料をＬＥＤに対して相対移動させることによ
り、２次元の画像を作画している。
【０００３】ＬＥＤを複数用いる装置では、ＬＥＤ個々
の特性にばらつきがあるため、各ＬＥＤから照射される
ビームの光量にばらつきが生じてしまう。また、感光材
料の感光感度に応じて、複数のＬＥＤから照射されるビ
ーム全体の光量を変化させる必要がある。このため、従
来からＬＥＤの発光光量を所望の値にさせるための制御
がおこなわれていた。
の特性にばらつきがあるため、各ＬＥＤから照射される
ビームの光量にばらつきが生じてしまう。また、感光材
料の感光感度に応じて、複数のＬＥＤから照射されるビ
ーム全体の光量を変化させる必要がある。このため、従
来からＬＥＤの発光光量を所望の値にさせるための制御
がおこなわれていた。
【０００４】従来の光量制御方法としては、ＬＥＤ発光
のための電源電圧を変化させることで制御する方法があ
る。しかし上述したように、各ＬＥＤは個々の特性にば
らつきがあるために、電圧の変化率と発光光量の変化率
とはどのＬＥＤにも共通な関係を有しておらず、同じ電
圧を印加しても得られる発光光量は各ＬＥＤ毎で異なっ
てしまう。そこで電源電圧を変化させた後、さらにＬＥ
Ｄと直列に接続されている可変抵抗の値を変化させるこ
とで各ＬＥＤ毎に微調整を行い、どのＬＥＤからも所望
の光量が得られるようにしていた。
のための電源電圧を変化させることで制御する方法があ
る。しかし上述したように、各ＬＥＤは個々の特性にば
らつきがあるために、電圧の変化率と発光光量の変化率
とはどのＬＥＤにも共通な関係を有しておらず、同じ電
圧を印加しても得られる発光光量は各ＬＥＤ毎で異なっ
てしまう。そこで電源電圧を変化させた後、さらにＬＥ
Ｄと直列に接続されている可変抵抗の値を変化させるこ
とで各ＬＥＤ毎に微調整を行い、どのＬＥＤからも所望
の光量が得られるようにしていた。
【０００５】この場合、ＬＥＤに印加される電圧は、Ｌ
ＥＤ自身の抵抗と前記可変抵抗との比で決定されること
になる。すなわち各ＬＥＤ毎に発光光量の微調整を行う
ために可変抵抗の値を変化させることは、各ＬＥＤに印
加される電圧も変化させるということを意味する。従っ
て再び全ＬＥＤの発光光量を変化させようとした場合に
は、既に印加されている電圧の値は各ＬＥＤ毎で異なる
状態にあるため、各ＬＥＤによって発光光量の変化率が
一定にはならない。そのため再度可変抵抗を調節して発
光光量の微調整を行わなければならないというような繰
り返しの作業が必要となってしまう。
ＥＤ自身の抵抗と前記可変抵抗との比で決定されること
になる。すなわち各ＬＥＤ毎に発光光量の微調整を行う
ために可変抵抗の値を変化させることは、各ＬＥＤに印
加される電圧も変化させるということを意味する。従っ
て再び全ＬＥＤの発光光量を変化させようとした場合に
は、既に印加されている電圧の値は各ＬＥＤ毎で異なる
状態にあるため、各ＬＥＤによって発光光量の変化率が
一定にはならない。そのため再度可変抵抗を調節して発
光光量の微調整を行わなければならないというような繰
り返しの作業が必要となってしまう。
【０００６】また一般に、一個のＬＥＤに必要な電流値
は数１０ｍＡであるので、少数のＬＥＤを用いて描画す
る場合は問題ないが、精密な画像を描画できるマルチビ
ーム作画記録装置、例えば前記公報に開示された装置で
は、２０４８個という多数のＬＥＤが用いられているの
で、描画作業中全てのＬＥＤを点灯させると、瞬時に数
１０Ａという大電流が流れることになり、電源電圧へ影
響を及ぼすおそれがある。
は数１０ｍＡであるので、少数のＬＥＤを用いて描画す
る場合は問題ないが、精密な画像を描画できるマルチビ
ーム作画記録装置、例えば前記公報に開示された装置で
は、２０４８個という多数のＬＥＤが用いられているの
で、描画作業中全てのＬＥＤを点灯させると、瞬時に数
１０Ａという大電流が流れることになり、電源電圧へ影
響を及ぼすおそれがある。
【０００７】そのため前記マルチビーム作画記録装置で
は、任意に電圧を変えることができ、かつ大電流による
影響を回避できるように可変安定化電源を用いている
が、それでもなお大電流による影響を受け、一時的に電
源電圧が変化してしまうという現象が起こる。このた
め、意図しない発光光量の変化が起きて、描画作業中に
ＬＥＤの発光光量を一定の量に保つことができなくなる
ことがある。更に、意図しない発光光量の変化量も各Ｌ
ＥＤによってばらつきがあるため、所望の光量を維持す
るための安定した光量制御ができなくなってしまうとい
う問題も起こる。
は、任意に電圧を変えることができ、かつ大電流による
影響を回避できるように可変安定化電源を用いている
が、それでもなお大電流による影響を受け、一時的に電
源電圧が変化してしまうという現象が起こる。このた
め、意図しない発光光量の変化が起きて、描画作業中に
ＬＥＤの発光光量を一定の量に保つことができなくなる
ことがある。更に、意図しない発光光量の変化量も各Ｌ
ＥＤによってばらつきがあるため、所望の光量を維持す
るための安定した光量制御ができなくなってしまうとい
う問題も起こる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
の事情に鑑み、電源電圧の変動によってＬＥＤからの発
光光量が変動することがない、安定したマルチビーム作
画記録装置における光量制御装置を提供することを目的
としている。
の事情に鑑み、電源電圧の変動によってＬＥＤからの発
光光量が変動することがない、安定したマルチビーム作
画記録装置における光量制御装置を提供することを目的
としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このため、本発明のマル
チビーム作画・記録装置における光量制御装置は、ま
ず、入力された所望の光量を相対光度によって表す手段
を有する。「相対光度」とは、各ＬＥＤに対し、一定の
基準となる電流値を流した場合に得られる発光光量を各
ＬＥＤにおける光度１とするもので、相対光度１に対応
する実際の発光光量は、それぞれの個体差により各ＬＥ
Ｄ毎で異なっている。
チビーム作画・記録装置における光量制御装置は、ま
ず、入力された所望の光量を相対光度によって表す手段
を有する。「相対光度」とは、各ＬＥＤに対し、一定の
基準となる電流値を流した場合に得られる発光光量を各
ＬＥＤにおける光度１とするもので、相対光度１に対応
する実際の発光光量は、それぞれの個体差により各ＬＥ
Ｄ毎で異なっている。
【００１０】さらに、本発明に係る光量制御装置は、各
ＬＥＤに流れる電流を制御するためのデータを作成する
手段と、コレクタ・エミッタ側がＬＥＤに接続されたト
ランジスタと、を有している。ここで、該データは、ト
ランジスタのベース電流を制御するデータであり、トラ
ンジスタは、該データに基いてＬＥＤに流れる電流値を
変化させる。なお、トランジスタのコレクタ・エミッタ
間は常にコレクタ電流が飽和するような電圧を印加す
る。
ＬＥＤに流れる電流を制御するためのデータを作成する
手段と、コレクタ・エミッタ側がＬＥＤに接続されたト
ランジスタと、を有している。ここで、該データは、ト
ランジスタのベース電流を制御するデータであり、トラ
ンジスタは、該データに基いてＬＥＤに流れる電流値を
変化させる。なお、トランジスタのコレクタ・エミッタ
間は常にコレクタ電流が飽和するような電圧を印加す
る。
【００１１】上記の光量制御装置によれば、電源電圧を
変化させ可変抵抗を用いて微調整を行う場合に比べて、
意図しない発光光量の変化が起こらず、ＬＥＤからの発
光光量の安定した制御を行うことができる。
変化させ可変抵抗を用いて微調整を行う場合に比べて、
意図しない発光光量の変化が起こらず、ＬＥＤからの発
光光量の安定した制御を行うことができる。
【００１２】より具体的には、描画時に入力された所望
の光量ＬＸに対応する相対光度Ｘは、相対光度１に対応
する発光光量をＬ１とした場合、 Ｘ＝ＬＸ／Ｌ１ で表すことができる。また、各ＬＥＤに流れる電流を制
御するためのデータは、ＬＥＤに流れる電流値の変化率
に対する相対光度の変化率がどのＬＥＤであっても同一
であることを利用した全ＬＥＤに共通の変換テーブル
に、上記相対光度Ｘを入力することによって作成され
る。
の光量ＬＸに対応する相対光度Ｘは、相対光度１に対応
する発光光量をＬ１とした場合、 Ｘ＝ＬＸ／Ｌ１ で表すことができる。また、各ＬＥＤに流れる電流を制
御するためのデータは、ＬＥＤに流れる電流値の変化率
に対する相対光度の変化率がどのＬＥＤであっても同一
であることを利用した全ＬＥＤに共通の変換テーブル
に、上記相対光度Ｘを入力することによって作成され
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明にかかるマルチビ
ーム作画・記録装置における光量制御装置の実施形態に
ついて説明する。まず、ＬＥＤに流れる電流値と、各Ｌ
ＥＤからの発光光量との関係について説明する。
ーム作画・記録装置における光量制御装置の実施形態に
ついて説明する。まず、ＬＥＤに流れる電流値と、各Ｌ
ＥＤからの発光光量との関係について説明する。
【００１４】個々のＬＥＤの特性には、ばらつきがある
ことから、ＬＥＤに流れる電流値と実際の発光光量との
関係はＬＥＤ毎で異なってしまう。よって、流した電流
値と発光光量との関係をそのまま利用して、全てのＬＥ
Ｄの発光光量を所望の光量にするような光量制御を行う
には手間がかかりすぎてしまう。
ことから、ＬＥＤに流れる電流値と実際の発光光量との
関係はＬＥＤ毎で異なってしまう。よって、流した電流
値と発光光量との関係をそのまま利用して、全てのＬＥ
Ｄの発光光量を所望の光量にするような光量制御を行う
には手間がかかりすぎてしまう。
【００１５】図１は、電流値を２ｍＡとした場合に得ら
れる発光光量を相対光度１としたときの、特定のＬＥＤ
について流した電流値と相対光度との関係を表したグラ
フである。横軸は電流値を、縦軸は相対光度を表してい
る。
れる発光光量を相対光度１としたときの、特定のＬＥＤ
について流した電流値と相対光度との関係を表したグラ
フである。横軸は電流値を、縦軸は相対光度を表してい
る。
【００１６】相対光度とは、一定の基準となる電流値を
流したときに、各ＬＥＤから実際に発光される光量をそ
れぞれ各ＬＥＤについての「光度１」とするものであ
る。なお、上述したように、各ＬＥＤ間に個体差がある
ために、相対光度１に対応する光量、すなわち基準とな
る電流値を流したときに実際にＬＥＤから発光される基
準光量は、ＬＥＤ毎で異なった値になっている。
流したときに、各ＬＥＤから実際に発光される光量をそ
れぞれ各ＬＥＤについての「光度１」とするものであ
る。なお、上述したように、各ＬＥＤ間に個体差がある
ために、相対光度１に対応する光量、すなわち基準とな
る電流値を流したときに実際にＬＥＤから発光される基
準光量は、ＬＥＤ毎で異なった値になっている。
【００１７】各ＬＥＤについて、相対光度１に対応する
基準光量がどの程度なのかが把握できれば、基準となる
電流値以外の値である電流を流したときに各ＬＥＤが発
光する様々な光量も、ＬＥＤ毎に把握されている基準光
量と比較することにより相対光度で表すことが可能であ
る。
基準光量がどの程度なのかが把握できれば、基準となる
電流値以外の値である電流を流したときに各ＬＥＤが発
光する様々な光量も、ＬＥＤ毎に把握されている基準光
量と比較することにより相対光度で表すことが可能であ
る。
【００１８】こうして得られた相対光度を使用して、各
ＬＥＤ毎に、流した電流値と相対光度との関係を表して
みると、どのＬＥＤについての流した電流値と相対光度
との関係も、図１で示した特定のＬＥＤについて流した
電流値と相対光度との関係と同一の変化をすることがわ
かる。換言すれば、図１は、縦軸の相対光度に対応する
実際の発光光量はＬＥＤ毎で異なるものの、グラフ自体
は全てのＬＥＤに共通な電流値−相対光度特性曲線にな
る。
ＬＥＤ毎に、流した電流値と相対光度との関係を表して
みると、どのＬＥＤについての流した電流値と相対光度
との関係も、図１で示した特定のＬＥＤについて流した
電流値と相対光度との関係と同一の変化をすることがわ
かる。換言すれば、図１は、縦軸の相対光度に対応する
実際の発光光量はＬＥＤ毎で異なるものの、グラフ自体
は全てのＬＥＤに共通な電流値−相対光度特性曲線にな
る。
【００１９】従って、各ＬＥＤについて予め基準となる
電流値をＬＥＤに流したときに実際に得られる基準光量
（相対光度１）がわかっていれば、どのＬＥＤについて
も、所望の光量を対応する相対光度で表すことができ、
図１のような全ＬＥＤ共通の電流値−相対光度特性曲線
を使用した変換テーブルを用いることで、所望の光量を
発光させるために必要な電流値を、求めることができ
る。
電流値をＬＥＤに流したときに実際に得られる基準光量
（相対光度１）がわかっていれば、どのＬＥＤについて
も、所望の光量を対応する相対光度で表すことができ、
図１のような全ＬＥＤ共通の電流値−相対光度特性曲線
を使用した変換テーブルを用いることで、所望の光量を
発光させるために必要な電流値を、求めることができ
る。
【００２０】具体的には、特定のＬＥＤについて、相対
光度１に対応する発光光量がＬ１である場合、所望の光
量ＬＸから相対光度Ｘへは、 Ｘ＝ＬＸ／Ｌ１・・・・・・・（１） で変換することができる。求められた相対光度Ｘを図１
のような電流値−相対光度特性曲線を使用した変換テー
ブルに入力することで、特定のＬＥＤから所望の光量を
得るのに必要な電流値が求められることになる。例え
ば、図１において、描画時に所望の光量が相対光度３に
相当する場合、特定のＬＥＤに流す電流値を１０ｍＡに
すればよいことが容易に求めることができる。
光度１に対応する発光光量がＬ１である場合、所望の光
量ＬＸから相対光度Ｘへは、 Ｘ＝ＬＸ／Ｌ１・・・・・・・（１） で変換することができる。求められた相対光度Ｘを図１
のような電流値−相対光度特性曲線を使用した変換テー
ブルに入力することで、特定のＬＥＤから所望の光量を
得るのに必要な電流値が求められることになる。例え
ば、図１において、描画時に所望の光量が相対光度３に
相当する場合、特定のＬＥＤに流す電流値を１０ｍＡに
すればよいことが容易に求めることができる。
【００２１】図２は上述した特徴を利用して光量制御を
行うための装置であり、ＬＥＤ１、ＬＥＤ用電源２、メ
インＣＰＵ１０、光量制御基板２０、ドライバ３０から
構成されている。光量制御基板２０は、制御部ＣＰＵ２
１、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリ２２、光量制御部
２９から構成され、メインＣＰＵ１０からの指示に従い
ＬＥＤ１の発光光量を制御している。光量制御部２９
は、Ｄ／Ａコンバータ２３、アンプ２４、トランジスタ
２５を有している。
行うための装置であり、ＬＥＤ１、ＬＥＤ用電源２、メ
インＣＰＵ１０、光量制御基板２０、ドライバ３０から
構成されている。光量制御基板２０は、制御部ＣＰＵ２
１、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリ２２、光量制御部
２９から構成され、メインＣＰＵ１０からの指示に従い
ＬＥＤ１の発光光量を制御している。光量制御部２９
は、Ｄ／Ａコンバータ２３、アンプ２４、トランジスタ
２５を有している。
【００２２】実際の装置では、光量制御部２９及びドラ
イバ３０は、一つにつき一個のＬＥＤの制御が可能であ
るため、ＬＥＤ１の数だけ設けられている。また、制御
部ＣＰＵ２１は、複数の光量制御部２９に関するデータ
を処理することができ、不揮発性メモリ２２は、複数の
光量制御部２９に関するデータを保存することができる
ため、光量制御基板２０は、１対の制御部ＣＰＵ２１と
不揮発性メモリ２２とに対し、複数の光量制御部２９が
設けられている。
イバ３０は、一つにつき一個のＬＥＤの制御が可能であ
るため、ＬＥＤ１の数だけ設けられている。また、制御
部ＣＰＵ２１は、複数の光量制御部２９に関するデータ
を処理することができ、不揮発性メモリ２２は、複数の
光量制御部２９に関するデータを保存することができる
ため、光量制御基板２０は、１対の制御部ＣＰＵ２１と
不揮発性メモリ２２とに対し、複数の光量制御部２９が
設けられている。
【００２３】発光光量を制御するにあたり、装置に搭載
されている全てのＬＥＤ１について共通である電流値−
相対光度特性曲線を使用した変換テーブルを不揮発性メ
モリ２２に保存しておく。また、入力された所望の光量
を各ＬＥＤ毎の相対光度Ｘに変換する式（１）（以下、
単に変換式という）を、ＬＥＤ一個ずつ点灯させて得ら
れた実測結果を基に作成し、不揮発性メモリ２２に保存
しておく。
されている全てのＬＥＤ１について共通である電流値−
相対光度特性曲線を使用した変換テーブルを不揮発性メ
モリ２２に保存しておく。また、入力された所望の光量
を各ＬＥＤ毎の相対光度Ｘに変換する式（１）（以下、
単に変換式という）を、ＬＥＤ一個ずつ点灯させて得ら
れた実測結果を基に作成し、不揮発性メモリ２２に保存
しておく。
【００２４】変換テーブルを保存する作業は、変換テー
ブルが全てのＬＥＤ１に共通して使用されるもので且つ
不変であるため、初期設定時に行えば足りるが、変換式
（１）を作成、保存する作業は、各ＬＥＤ毎に変換式
（１）が異なるため、初期設定時、およびＬＥＤ１の交
換時には当然に行われるが、長期にわたって使用するこ
とでＬＥＤが劣化することをふまえると、定期的に行う
ことが望ましい。
ブルが全てのＬＥＤ１に共通して使用されるもので且つ
不変であるため、初期設定時に行えば足りるが、変換式
（１）を作成、保存する作業は、各ＬＥＤ毎に変換式
（１）が異なるため、初期設定時、およびＬＥＤ１の交
換時には当然に行われるが、長期にわたって使用するこ
とでＬＥＤが劣化することをふまえると、定期的に行う
ことが望ましい。
【００２５】描画時に描画データが入力されると、メイ
ンＣＰＵ１０は描画データで指示する所望の光量を光量
制御基板２０内にある制御部ＣＰＵ２１に送信する。制
御部ＣＰＵ２１は、不揮発性メモリ２２に保存されてい
る各ＬＥＤ１毎に作成された変換式（１）を用いて、所
望の光量を対応する相対光度Ｘに変換する。次に、変換
テーブルに相対光度Ｘを入力して、所望の光量を得るた
めに必要な電流値に変換する。制御部ＣＰＵ２１は決定
された電流値がＬＥＤ１に流れるように光量制御基板２
０を作動させるための制御データを作り出し、光量制御
基板２０内のＤ／Ａコンバータ２３へ出力する。この制
御データは、トランジスタ２５においてコレクタ電流を
制御するベース電流を流すために必要な電圧を指示する
デジタルデータである。なおメインＣＰＵ１０は、描画
データに従ってドライバ３０にＬＥＤ１の点滅を指示す
るドライブ信号を送信する。
ンＣＰＵ１０は描画データで指示する所望の光量を光量
制御基板２０内にある制御部ＣＰＵ２１に送信する。制
御部ＣＰＵ２１は、不揮発性メモリ２２に保存されてい
る各ＬＥＤ１毎に作成された変換式（１）を用いて、所
望の光量を対応する相対光度Ｘに変換する。次に、変換
テーブルに相対光度Ｘを入力して、所望の光量を得るた
めに必要な電流値に変換する。制御部ＣＰＵ２１は決定
された電流値がＬＥＤ１に流れるように光量制御基板２
０を作動させるための制御データを作り出し、光量制御
基板２０内のＤ／Ａコンバータ２３へ出力する。この制
御データは、トランジスタ２５においてコレクタ電流を
制御するベース電流を流すために必要な電圧を指示する
デジタルデータである。なおメインＣＰＵ１０は、描画
データに従ってドライバ３０にＬＥＤ１の点滅を指示す
るドライブ信号を送信する。
【００２６】ドライバ３０は、送信されたドライブ信号
に従って、ＬＥＤ１の点滅（オン／オフ）を制御する素
子で、トランジスタを使用している。ドライバ３０のベ
ースはメインＣＰＵ１０に、コレクタはＬＥＤ１を介し
ＬＥＤ用電源２につながっている。
に従って、ＬＥＤ１の点滅（オン／オフ）を制御する素
子で、トランジスタを使用している。ドライバ３０のベ
ースはメインＣＰＵ１０に、コレクタはＬＥＤ１を介し
ＬＥＤ用電源２につながっている。
【００２７】メインＣＰＵ１０から送信されたドライブ
信号がＬＥＤ１を消灯（オフ）させる信号である時には
ドライバ３０内にベース電流が流れず、ドライバ３０の
コレクタ電流も流れることはない。すなわちＬＥＤ用電
源２からの電流がＬＥＤ１に流れないのでＬＥＤ１は消
灯状態になる。
信号がＬＥＤ１を消灯（オフ）させる信号である時には
ドライバ３０内にベース電流が流れず、ドライバ３０の
コレクタ電流も流れることはない。すなわちＬＥＤ用電
源２からの電流がＬＥＤ１に流れないのでＬＥＤ１は消
灯状態になる。
【００２８】メインＣＰＵ１０から送信されたドライブ
信号がＬＥＤ１を点灯（オン）させる信号であるときに
はドライバ３０内にベース電流が流れ、コレクタ電流も
流れる。すなわちＬＥＤ用電源２から電流がＬＥＤ１に
流れて、ＬＥＤ１は点灯状態になる。
信号がＬＥＤ１を点灯（オン）させる信号であるときに
はドライバ３０内にベース電流が流れ、コレクタ電流も
流れる。すなわちＬＥＤ用電源２から電流がＬＥＤ１に
流れて、ＬＥＤ１は点灯状態になる。
【００２９】一方制御データを受信したＤ／Ａコンバー
タ２３は、制御データを対応するアナログ信号に変換
し、アンプ２４へ出力する。例えば、制御データが８ｂ
ｉｔである場合、２５６階調で表された電圧に変換され
る。アンプ２４は、入力されたアナログ信号（２５６階
調で表された電圧）に対応する電流を、トランジスタ２
５を動作させる程度に十分に増幅させて、トランジスタ
２５のベースに流す。
タ２３は、制御データを対応するアナログ信号に変換
し、アンプ２４へ出力する。例えば、制御データが８ｂ
ｉｔである場合、２５６階調で表された電圧に変換され
る。アンプ２４は、入力されたアナログ信号（２５６階
調で表された電圧）に対応する電流を、トランジスタ２
５を動作させる程度に十分に増幅させて、トランジスタ
２５のベースに流す。
【００３０】トランジスタ２５はｎｐｎ型であり、コレ
クタはＬＥＤ１を介してＬＥＤ電源５に、エミッタはド
ライバ３０に接続されている。トランジスタ２５のコレ
クタ電流はトランジスタ２５のベース電流と比例する関
係にあることから、ベース電流値に対応する値だけコレ
クタ電流は流れることになる。
クタはＬＥＤ１を介してＬＥＤ電源５に、エミッタはド
ライバ３０に接続されている。トランジスタ２５のコレ
クタ電流はトランジスタ２５のベース電流と比例する関
係にあることから、ベース電流値に対応する値だけコレ
クタ電流は流れることになる。
【００３１】光量制御基板２０においては、トランジス
タ２５で発生するベース電流値は、入力された所望の光
量に基づいて、メインＣＰＵ１０が変換テーブルを使っ
て作成したデータによって決定されている。またトラン
ジスタ２５で発生するベース電流値によって決定される
コレクタ電流値はＬＥＤ１に流れる電流値と同一であ
る。従ってＬＥＤ１にドライバ３０の作用で電流が流れ
点灯している状態の時に、トランジスタ２５で発生する
ベース電流を変化させることでＬＥＤ１の発光光量の制
御を行うことができる。
タ２５で発生するベース電流値は、入力された所望の光
量に基づいて、メインＣＰＵ１０が変換テーブルを使っ
て作成したデータによって決定されている。またトラン
ジスタ２５で発生するベース電流値によって決定される
コレクタ電流値はＬＥＤ１に流れる電流値と同一であ
る。従ってＬＥＤ１にドライバ３０の作用で電流が流れ
点灯している状態の時に、トランジスタ２５で発生する
ベース電流を変化させることでＬＥＤ１の発光光量の制
御を行うことができる。
【００３２】しかもトランジスタ２５のコレクタ電流
は、一度飽和状態になるとそれ以上コレクタ、エミッタ
間に電圧をかけたとしても、値が変化することはないと
いう特徴を持っている。そこでＬＥＤ用電源２からは、
常にトランジスタ２５のコレクタ電流が飽和することが
できる程度に十分な電圧をコレクタ・エミッタ間に掛け
ておけば、コレクタ電流はＬＥＤ用電源２の電圧が変動
しても影響を受けることはなく、ベース電流によっての
み変化することになる。すなわち常に安定した制御を行
うことができる。
は、一度飽和状態になるとそれ以上コレクタ、エミッタ
間に電圧をかけたとしても、値が変化することはないと
いう特徴を持っている。そこでＬＥＤ用電源２からは、
常にトランジスタ２５のコレクタ電流が飽和することが
できる程度に十分な電圧をコレクタ・エミッタ間に掛け
ておけば、コレクタ電流はＬＥＤ用電源２の電圧が変動
しても影響を受けることはなく、ベース電流によっての
み変化することになる。すなわち常に安定した制御を行
うことができる。
【００３３】以上が本実施形態の説明である。なお、本
発明では、トランジスタ２５を用いて電流値を変化させ
ているが、フォトカプラのようにトランジスタ２５と同
様の働きをする部品を用いても良い。
発明では、トランジスタ２５を用いて電流値を変化させ
ているが、フォトカプラのようにトランジスタ２５と同
様の働きをする部品を用いても良い。
【００３４】
【発明の効果】上述の通り、各ＬＥＤの制御回路内にト
ランジスタや、フォトカプラを用いることにより、各Ｌ
ＥＤに流れる電流値を変化させることで発光光量を制御
することが可能となる。しかも電源からは常に、コレク
タ電流を飽和させる程度に十分な電圧を掛けておくこと
により、意図しない電源電圧の変化が生じても発光光量
に影響が出ることはなく、常に安定した制御ができ一定
の発光光量を保つことができる。
ランジスタや、フォトカプラを用いることにより、各Ｌ
ＥＤに流れる電流値を変化させることで発光光量を制御
することが可能となる。しかも電源からは常に、コレク
タ電流を飽和させる程度に十分な電圧を掛けておくこと
により、意図しない電源電圧の変化が生じても発光光量
に影響が出ることはなく、常に安定した制御ができ一定
の発光光量を保つことができる。
【図１】発光ダイオードに流れる電流値と相対光度の関
係を表すグラフである。
係を表すグラフである。
【図２】実施形態の光量制御装置を表す回路図である。
１ ＬＥＤ ２ ＬＥＤ電源 １０ メインＣＰＵ ２０ 光量制御基板 ２１ 制御部ＣＰＵ ２２ 不揮発性メモリ ２３ Ｄ／Ａコンバータ ２４ アンプ ２５ ｎｐｎ型トランジスタ ２９ 光量制御部 ３０ ドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】 被走査面を露光するビームを照射する複
数の発光ダイオードを有するマルチビーム作画・記録装
置において、 入力された所望の光量を、各前記発光ダイオードに基準
となる電流値を流した場合に得られる発光光量を各前記
発光ダイオードにおける光度１と定義する相対光度によ
って表す手段と、 前記相対光度を元に各前記発光ダイオードに流れる電流
を制御するためのデータを作成する手段と、 コレクタ・エミッタ側が前記発光ダイオードに接続され
たトランジスタと、を有し、 前記データは、前記トランジスタのベース電流を制御す
るデータであり、 前記トランジスタは、前記データに基いて前記発光ダイ
オードに流れる電流値を変化させ、 前記トランジスタのコレクタ・エミッタ間は常にコレク
タ電流が飽和するような電圧を印加することを特徴とす
る、マルチビーム作画・記録装置における光量制御装
置。 - 【請求項２】 前記所望の光量をＬＸとし、対応する相
対光度をＸとし、相対光度１に対応する発光光量をＬ１
とした場合、前記相対光度Ｘは、 Ｘ＝ＬＸ／Ｌ１ で表されることを特徴とする請求項１に記載のマルチビ
ーム作画・記録装置における光量制御装置。 - 【請求項３】 前記データは、どの前記発光ダイオード
についても前記発光ダイオードに流れる電流値の変化率
に対する前記相対光度の変化率が同一であることを利用
した、全ての前記発光ダイオードに共通の変換テーブル
に、前記所望の光量に対応する相対光度を入力すること
により、作成されることを特徴とする請求項１または請
求項２に記載のマルチビーム作画・記録装置における光
量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16210199A JP2000343755A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | マルチビーム作画・記録装置における光量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16210199A JP2000343755A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | マルチビーム作画・記録装置における光量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000343755A true JP2000343755A (ja) | 2000-12-12 |
Family
ID=15748083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16210199A Pending JP2000343755A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | マルチビーム作画・記録装置における光量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000343755A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173563A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Tokyo Electron Ltd | 局所露光装置 |
| CN103105739A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 东京毅力科创株式会社 | 曝光装置和曝光方法 |
-
1999
- 1999-06-09 JP JP16210199A patent/JP2000343755A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173563A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Tokyo Electron Ltd | 局所露光装置 |
| CN102681350A (zh) * | 2011-02-22 | 2012-09-19 | 东京毅力科创株式会社 | 局部曝光装置 |
| KR101758392B1 (ko) | 2011-02-22 | 2017-07-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 국소 노광 장치 |
| TWI603156B (zh) * | 2011-02-22 | 2017-10-21 | 東京威力科創股份有限公司 | 局部曝光裝置 |
| CN103105739A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 东京毅力科创株式会社 | 曝光装置和曝光方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040405 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041202 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050121 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050704 |