JP2000339983A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JP2000339983A
JP2000339983A JP15255499A JP15255499A JP2000339983A JP 2000339983 A JP2000339983 A JP 2000339983A JP 15255499 A JP15255499 A JP 15255499A JP 15255499 A JP15255499 A JP 15255499A JP 2000339983 A JP2000339983 A JP 2000339983A
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Motoharu Ishii
元治 石井
Makoto Yamamoto
山本  誠
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の入出力制御回路のチップ専有面積が大
きく、チップ面積が有効に利用されていない。 【解決手段】 各列の複数のメモリアレーに対応してそ
れぞれ1つの入出力制御回路10,20,30を配置
し、それら入出力制御回路10,20,30から各列の
複数のメモリアレーには、グローバルビット線10a,
20a,30aを配線して、それら入出力制御回路1
0,20,30からグローバルビット線10a,20
a,30aを介して各列の複数のメモリアレーにデータ
を入出力制御するように構成することによって、入出力
制御回路の数を激減させることができ、入出力制御回路
によるチップ専有面積を小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、電気的に書き込
みおよび読み出しが可能なメモリアレーからなる半導体
集積回路装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の半導体集積回路装置の実デ
バイスを示す内部構成図であり、図において、11〜1
3,21〜23,31〜33はマトリックス状に分割さ
れた複数のメモリアレーである。11a〜13a,21
a〜23a,31a〜33aは各メモリアレーに対応し
て設けられ、行アドレス選択信号に応じて対応するメモ
リアレー内の1行のメモリセルを選択する行デコーダ、
11b〜13b,21b〜23b,31b〜33bは各
メモリアレーに対応して設けられ、列アドレス選択信号
に応じて対応するメモリアレー内の上記選択された1行
のメモリセルのうちの1つのメモリセルを選択する列デ
コーダである。11c〜13c,21c〜23c,31
c〜33cは各メモリアレーに対応して設けられ、各行
デコーダおよび各列デコーダによって選択されたメモリ
アレーのメモリセルとデータの書き込みおよび読み出し
を行う入出力制御回路、40は各入出力制御回路とデー
タの伝送を行うデータバスである。
【0003】図6は従来の半導体集積回路装置の実デバ
イスの詳細を示す内部構成図であり、図において、1
1,12は図5に示したメモリアレー11,12に対応
したものである。A0,A1は行デコーダ12aから入
力される行アドレス選択信号、A2,A3は列デコーダ
12bから入力される列アドレス選択信号、A4,A5
は行デコーダ11aから入力される行アドレス選択信
号、A6,A7は列デコーダ11bから入力される列ア
ドレス選択信号である。11c,12cは図5に示した
入出力制御回路11c,12cに対応したものである。
50は各入出力制御回路とデータの入出力を行うと共
に、行デコーダおよび列デコーダにアドレス信号を入力
する入出力インタフェース回路である。また、メモリア
レー11,12において、11o〜11r,12o〜1
2rは各1ビットのデータの書き込み可能なメモリセ
ル、11s,11t,12s,12tは列アドレス選択
信号A2,A3、またはA6,A7に応じてオン、オフ
するトランジスタである。
【0004】次に動作について説明する。図5に示した
ように、マトリックス状に分割された各メモリアレーに
は、行デコーダおよび列デコーダが配置されていると共
に、メモリアレーのメモリセルとデータの書き込みおよ
び読み出しを行う入出力制御回路が配置されている。ま
た、各入出力制御回路とデータの伝送を行うデータバス
40が、それら各入出力制御回路の配置に応じて、横方
向に複数と、それら複数の横方向のデータバスを接続す
るために縦方向に配線されている。
【0005】また、図6に示した詳細な内部構成図にお
いて、メモリアレー12のメモリセル12oにデータを
書き込み、およびデータの読み出しを行いたい時は、入
出力インタフェース回路50から各行デコーダおよび各
列デコーダにアドレス信号を入力すると共に、入出力制
御回路12cに書き込みたいデータを入力する。行デコ
ーダ12a,11aおよび列デコーダ12b,11bは
その入力されたアドレス信号に応じて、A0,A1,A
4,A5にそれぞれ“H”,“L”,“L”,“L”の
行アドレス選択信号を、また、A2,A3,A6,A7
にそれぞれ“H”,“L”,“L”,“L”の列アドレ
ス選択信号を入力する。これによって、“H”レベルを
入力した行アドレス選択信号A0のラインと、“H”レ
ベルを入力した列アドレス選択信号A2のトランジスタ
がオンしたラインとの交点に配置された、メモリセル1
2oのフローティングゲートがオンになり、入出力制御
回路12cから書き込みたいデータを入力すれば、メモ
リセル12oにデータを書き込むことができる。
【0006】また、データの読み出しは、同様に行アド
レス選択信号および列アドレス選択信号により、メモリ
セル12oのフローティングゲートをオンにし、入出力
制御回路12cによってそのメモリセル12oのフロー
ティングゲートに書き込まれたデータを出力すれば、メ
モリセル12oから入出力制御回路12cにデータを読
み出すことができる。入出力制御回路12cによって読
み出されたデータは入出力インタフェース回路50に出
力される。なお、このようなメモリアレーへのデータの
書き込みおよび読み出しは、各列毎のメモリアレーのう
ち、1つのメモリセルに対してのみ実行できるものであ
る。すなわち、図5において、1回のタイミングでアク
セスできるのは、各列毎のメモリアレー11a〜13
a、メモリアレー21a〜23a、メモリアレー31a
〜33aに対して、例えば、メモリアレー12aのメモ
リセル12o、メモリアレー22aのメモリセル22
o、メモリアレー32aのメモリセル32oに対しての
み実行できるものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体集積回路
装置は以上のように構成されているので、マトリックス
状に分割された各メモリアレーには、メモリアレーのメ
モリセルとデータの書き込みおよび読み出しを行う入出
力制御回路が1対1で配置されており、これら多数の入
出力制御回路のチップ専有面積が大きく、チップ面積が
有効に利用されていない課題があった。また、各入出力
制御回路とデータの伝送を行うデータバス40が、それ
ら各入出力制御回路の配置に応じて、横方向に複数と、
それら複数の横方向のデータバス40を接続するために
縦方向に配線されており、これら多数のデータバス40
もチップ専有面積が大きく、チップ面積が有効に利用さ
れていないなどの課題があった。
【0008】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、チップ面積を有効に利用すること
ができる半導体集積回路装置を得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体集
積回路装置は、各列の複数のメモリアレーに対応して設
けられると共に、それら各列の各メモリアレーにグロー
バルビット線を介して接続され、列デコーダによって選
択されたメモリアレーのメモリセルとデータの書き込み
および読み出しを行う入出力制御回路を備えたものであ
る。
【0010】この発明に係る半導体集積回路装置は、グ
ローバルビット線を、メモリアレー、行デコーダ、およ
び列デコーダの周辺に配線したものである。
【0011】この発明に係る半導体集積回路装置は、入
出力制御回路を、1辺に配置したものである。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による半
導体集積回路装置の基本構成を示す内部構成図であり、
図において、1は半導体集積回路装置、101はメモリ
アレー、101aはメモリアレー101内のメモリセル
を選択する行デコーダ、101bはメモリアレー101
内のメモリセルを選択する列デコーダである。100は
行デコーダ101aおよび各列デコーダ101bによっ
て選択されたメモリアレー101のメモリセルとデータ
の書き込みおよび読み出しを行う入出力制御回路、50
は各入出力制御回路とデータの入出力を行うと共に、行
デコーダ101aおよび列デコーダ101bにアドレス
信号を入力する入出力インタフェース回路である。
【0013】図2はこの発明の実施の形態1による半導
体集積回路装置の基本構成の詳細を示す内部構成図であ
り、図において、2はメモリセル、3はトランジスタを
それぞれ示す。A0,A1は行デコーダ101aから入
力される行アドレス選択信号、A2,A3は列デコーダ
101bから入力される列アドレス選択信号、メモリア
レー101において、101o〜101rは各1ビット
のデータの書き込み可能なメモリセル、101s,10
1tは列アドレス選択信号A2,A3に応じてオン、オ
フするトランジスタである。
【0014】次に動作について説明する。この実施の形
態1は、フラッシュメモリからなる半導体集積回路装置
を示すものである。図2のメモリセル2に示したよう
に、メモリセル2にはトランジスタ3とは異なりフロー
ティングゲートが設けられている。図1において、半導
体集積回路装置1にデータを書き込む場合、入出力イン
タフェース回路50に行および列のアドレス信号、制御
信号、およびデータが入力され、その入出力インタフェ
ース回路50から行デコーダ101aに行のアドレス信
号が出力され、同様に、列デコーダ101bに列のアド
レス信号が、入出力制御回路100にデータが出力され
る。
【0015】図2に示すように、ここで、アドレス信号
がメモリアレー101のメモリセル101oを指定して
いる時は、行デコーダ101a、および列デコーダ10
1bはその入力されたアドレス信号に応じて、A0,A
1にそれぞれ“H”,“L”の行アドレス選択信号を、
また、A2,A3にそれぞれ“H”,“L”の列アドレ
ス選択信号を入力する。これによって、“H”レベルを
入力した行アドレス選択信号A0のワード線と、“H”
レベルを入力した列アドレス選択信号A2のトランジス
タ101sがオンしたデータ線との交点に配置された、
メモリセル101oのフローティングゲートがオンにな
り、入出力制御回路100からデータ線を介して書き込
みたいデータを入力すれば、メモリセル101oのフロ
ーティングゲートにデータを書き込むことができる。
【0016】また、データの読み出しは、図1におい
て、入出力インタフェース回路50に行および列のアド
レス信号、および制御信号が入力され、その入出力イン
タフェース回路50から行デコーダ101aに行のアド
レス信号が出力され、同様に、列デコーダ101bに列
のアドレス信号が出力される。図2に示すように、ここ
で、アドレス信号がメモリアレー101のメモリセル1
01oを指定している時は、同様に行デコーダ101
a、および列デコーダ101bはその入力されたアドレ
ス信号に応じて、メモリセル101oのフローティング
ゲートがオンになるような行アドレス選択信号、および
列アドレス選択信号を出力し、入出力制御回路100か
らデータ線を介してメモリセル101oのフローティン
グゲートに書き込まれたデータを読み出すことができ
る。入出力制御回路100によって読み出されたデータ
は入出力インタフェース回路50に出力され、さらに、
入出力インタフェース回路50からその読み出されたデ
ータが出力される。
【0017】図3はこの発明の実施の形態1による半導
体集積回路装置の実デバイスを示す内部構成図であり、
図において、11〜13,21〜23,31〜33はマ
トリックス状に分割された複数のメモリアレーである。
11a〜13a,21a〜23a,31a〜33aは各
メモリアレーに対応して設けられ、行アドレス選択信号
に応じて対応するメモリアレー内の1行のメモリセルを
選択する行デコーダ、11b〜13b,21b〜23
b,31b〜33bは各メモリアレーに対応して設けら
れ、列アドレス選択信号に応じて対応するメモリアレー
内の上記選択された1行のメモリセルのうちの1つのメ
モリセルを選択する列デコーダである。また、10,2
0,30は各列の複数のメモリアレーに対応して設けら
れると共に、それら各列の各メモリアレーにグローバル
ビット線10a,20a,30aを介して接続され、列
デコーダによって選択されたメモリアレーのメモリセル
とデータの書き込みおよび読み出しを行う入出力制御回
路、60は各入出力制御回路10,20,30とデータ
の伝送を行うデータバスである。
【0018】図4はこの発明の実施の形態1による半導
体集積回路装置の実デバイスの詳細を示す内部構成図で
あり、図において、11,12は図3に示したメモリア
レー11,12に対応したものである。A0,A1は行
デコーダ12aから入力される行アドレス選択信号、A
2,A3は列デコーダ12bから入力される列アドレス
選択信号、A4,A5は行デコーダ11aから入力され
る行アドレス選択信号、A6,A7は列デコーダ11b
から入力される列アドレス選択信号である。10は図3
に示した入出力制御回路10に対応したものである。5
0は各入出力制御回路とデータの入出力を行うと共に、
行デコーダおよび列デコーダにアドレス信号を入力する
入出力インタフェース回路である。また、メモリアレー
11,12において、11o〜11r,12o〜12r
は各1ビットのデータの書き込み可能なメモリセル、1
1s,11t,12s,12tは列アドレス選択信号A
2,A3、またはA6,A7に応じてオン、オフするト
ランジスタである。
【0019】次に図3および図4の実デバイスに対応し
た動作について説明する。図3に示したように、マトリ
ックス状に分割された各メモリアレーには、行デコーダ
および列デコーダが配置されている。また、各列の複数
のメモリアレーに対応して1つの入出力制御回路10,
20,30が配置され、それら入出力制御回路10,2
0,30から各列の複数のメモリアレーには、グローバ
ルビット線10a,20a,30aが配線されている。
さらに、各入出力制御回路10,20,30に対してデ
ータの伝送を行うデータバス60が、それら各入出力制
御回路10,20,30が半導体集積回路装置1の一辺
に配置されているので、それら各入出力制御回路10,
20,30の配置に応じて横方向に1直線に配線されて
いる。
【0020】また、図4に示した詳細な内部構成図にお
いて、メモリアレー12のメモリセル12oにデータを
書き込み、およびデータの読み出しを行いたい時は、入
出力インタフェース回路50から各行デコーダおよび各
列デコーダにアドレス信号を入力すると共に、入出力制
御回路10に書き込みたいデータを入力する。行デコー
ダ12a,11aおよび列デコーダ12b,11bはそ
の入力されたアドレス信号に応じて、A0,A1,A
4,A5にそれぞれ“H”,“L”,“L”,“L”の
行アドレス選択信号を、また、A2,A3,A6,A7
にそれぞれ“H”,“L”,“L”,“L”の列アドレ
ス選択信号を入力する。これによって、“H”レベルを
入力した行アドレス選択信号A0のラインと、“H”レ
ベルを入力した列アドレス選択信号A2のトランジスタ
がオンしたラインとの交点に配置された、メモリセル1
2oのフローティングゲートがオンになり、入出力制御
回路10からグローバルビット線10aを介して書き込
みたいデータを入力すれば、メモリセル12oにデータ
を書き込むことができる。
【0021】また、データの読み出しは、同様に行アド
レス選択信号および列アドレス選択信号により、メモリ
セル12oのフローティングゲートをオンにし、入出力
制御回路10によってグローバルビット線10aを介し
てそのメモリセル12oのフローティングゲートに書き
込まれたデータを出力すれば、メモリセル12oから入
出力制御回路10にデータを読み出すことができる。入
出力制御回路10によって読み出されたデータは入出力
インタフェース回路50に出力される。なお、このよう
なメモリアレーへのデータの書き込みおよび読み出し
は、各列毎のメモリアレーのうち、1つのメモリセルに
対してのみ実行できるものである。すなわち、図3にお
いて、1回のタイミングでアクセスできるのは、各列毎
のメモリアレー11a〜13a、メモリアレー21a〜
23a、メモリアレー31a〜33aに対して、例え
ば、メモリアレー12aのメモリセル12o、メモリア
レー22aのメモリセル22o、メモリアレー32aの
メモリセル32oに対してのみ実行できるものである。
【0022】なお、上記実施の形態1では、各列の複数
のメモリアレーに対応して1つの入出力制御回路10,
20,30を配置したが、入出力制御回路は、各列の全
てのメモリアレーに対応して1つ設けても良いが、入出
力制御回路は、各列の全てのメモリアレーを複数に区分
したブロックに対応して1つ設けても良い。また、上記
実施の形態1では、グローバルビット線10a,20
a,30aを、メモリアレー、行デコーダ、および列デ
コーダの周辺に配線したが、メモリアレー、行デコー
ダ、および列デコーダ上に配線しても良く、この場合、
さらに、グローバルビット線10a,20a,30aに
よるチップ専有面積を小さくすることができ、チップ面
積を有効に利用することができる。
【0023】以上のように、この実施の形態1によれ
ば、各列の複数のメモリアレーに対応してそれぞれ1つ
の入出力制御回路10,20,30を配置し、それら入
出力制御回路10,20,30から各列の複数のメモリ
アレーには、グローバルビット線10a,20a,30
aを配線して、それら入出力制御回路10,20,30
からグローバルビット線10a,20a,30aを介し
て各列の複数のメモリアレーにデータを入出力制御する
ように構成したので、入出力制御回路の数を激減させる
ことができ、入出力制御回路によるチップ専有面積を小
さくすることができるので、チップ面積を有効に利用す
ることができる効果が得られる。また、グローバルビッ
ト線10a,20a,30aを、メモリアレー、行デコ
ーダ、および列デコーダの周辺に配線したので、グロー
バルビット線10a,20a,30aを実デバイスで構
成する場合に、1層目のアルミ配線で形成することがで
き、これによって、多層プロセスを使用しないで製作す
ることができ、安価に製作することができる。なお、従
来から1つの入出力制御回路の上下に1つずつメモリア
レーを配置したシェアードセンスアンプ方式があるが、
この方式のデータ線は、2層目以上のアルミ配線で形成
されるものであり、この実施の形態1の方式の方が簡単
に製作することができる。さらに、各入出力制御回路1
0,20,30を半導体集積回路装置1の1辺に配置し
たので、各入出力制御回路10,20,30に対してデ
ータの伝送を行うデータバス60をそれら各入出力制御
回路10,20,30の配置に応じて横方向に1直線に
配線することができ、データバス60によるチップ専有
面積を小さくすることができるので、チップ面積を有効
に利用することができる効果が得られる。
【0024】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、各列
の複数のメモリアレーに対応して設けられると共に、そ
れら各列の各メモリアレーにグローバルビット線を介し
て接続され、列デコーダによって選択されたメモリアレ
ーのメモリセルとデータの書き込みおよび読み出しを行
う入出力制御回路を備えるように構成したので、入出力
制御回路の数を激減させることができ、入出力制御回路
によるチップ専有面積を小さくすることができるので、
チップ面積を有効に利用することができる効果が得られ
る。
【0025】また、この発明によれば、グローバルビッ
ト線を、メモリアレー、行デコーダ、および列デコーダ
の周辺に配線するように構成したので、グローバルビッ
ト線を実デバイスで構成する場合に、1層目のアルミ配
線で形成することができ、これによって、多層プロセス
を使用しないで製作することができ、安価に製作するこ
とができる効果が得られる。
【0026】さらに、この発明によれば、入出力制御回
路を、1辺に配置するように構成したので、各入出力制
御回路に対してデータの伝送を行うデータバスをそれら
各入出力制御回路の配置に応じて横方向に1直線に配線
することができ、データバスによるチップ専有面積を小
さくすることができるので、チップ面積を有効に利用す
ることができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路装置の基本構成を示す内部構成図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路装置の基本構成の詳細を示す内部構成図である。
【図3】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路装置の実デバイスを示す内部構成図である。
【図4】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路装置の実デバイスの詳細を示す内部構成図である。
【図5】 従来の半導体集積回路装置の実デバイスを示
す内部構成図である。
【図6】 従来の半導体集積回路装置の実デバイスの詳
細を示す内部構成図である。
【符号の説明】
1 半導体集積回路装置、10,20,30 入出力制
御回路、10a,20a,30a グローバルビット
線、11〜13,21〜23,31〜33 メモリアレ
ー、11a〜13a,21a〜23a,31a〜33a
行デコーダ、11b〜13b,21b〜23b,31
b〜33b 列デコーダ、12o メモリセル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 29/792 Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD00 AD02 AD04 AD05 AE00 5F001 AE01 AE02 AE03 5F083 EP00 GA09 GA28 KA05 LA04 LA05 LA10

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マトリックス状に分割された複数のメモ
    リアレーと、上記各メモリアレーに対応して設けられ、
    行アドレス選択信号に応じて対応するメモリアレー内の
    1行のメモリセルを選択する行デコーダと、上記各メモ
    リアレーに対応して設けられ、列アドレス選択信号に応
    じて対応するメモリアレー内の上記選択された1行のメ
    モリセルのうちの1つのメモリセルを選択する列デコー
    ダと、上記各列の複数のメモリアレーに対応して設けら
    れると共に、それら各列の各メモリアレーにグローバル
    ビット線を介して接続され、上記列デコーダによって選
    択されたメモリアレーのメモリセルとデータの書き込み
    および読み出しを行う入出力制御回路とを備えた半導体
    集積回路装置。
  2. 【請求項2】 グローバルビット線は、メモリアレー、
    行デコーダ、および列デコーダの周辺に配線したことを
    特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 入出力制御回路は、1辺に配置したこと
    を特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体集積
    回路装置。
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