JP2000337990A - 気密検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各タンク内へ液体を短時間に液体を注入する
ことができる気密検査装置の提供。 【解決手段】 気密検査装置Ａは、加圧弁４０を開弁状
態にして各中空部への気体の注入を開始するとともに、
第１排液弁２１、第２排液弁２２、および第１給液弁
３、第２給液弁１４を開弁状態にして、各タンクに洗浄
油４を注入するにあたり、最初は流量切替弁８を開弁状
態にするとともに第１センサ側弁２８、第２センサ側弁
３７を閉弁状態にして高速度で注入し、ドレイン１９か
ら洗浄油４が排液され始めると、流量切替弁８を閉弁状
態にするとともに第１センサ側弁２８、第２センサ側弁
３７を開弁状態にして低速度で注入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、燃料噴射ノズルや
燃料噴射ポンプ等、その内部に空洞を有する製品の気密
度合いを検査する気密検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ワークを収納するためのワー
ク用タンクと、マスタを収納するためのマスタ用タンク
と、ドレインを設けワーク用タンクとマスタ用タンクと
を接続する連通管と、ワーク用タンクに接続される第１
検査管と、マスタ用タンクに接続される第２検査管と、
第２検査管に接続される第２の大気開放弁と、第１検査
管内の圧力と第２検査管内の圧力差を計測する差圧セン
サと、途中に加圧弁を介設し、上流端を気体供給源に接
続し、下流端をワークおよびマスタの各中空部に接続し
た気体供給管と、先端がワーク用タンクに接続され後端
を液体供給源に接続した第１液体供給管と、先端がマス
タ用タンクに接続され後端を液体供給源に接続した第２
液体供給管とを備える気密検査装置が知られている。

【０００３】そして、液体供給管によって各タンク内に
液体を注入し、気体供給管によってワークおよびマスタ
の中空部に気体を供給する。ワークから気体が漏れる
と、第１検査管内の圧力が第２検査管内の圧力より高く
なり、その圧力差からワークの漏れ量を計測することが
できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の気
密検査装置は、以下の様な課題を有する。 （ア）マスタ用タンクおよびワーク用タンク内に液体を
供給する際に、液体を低速で供給する必要があり計測に
時間がかかる。高速で供給すると、液面に泡が立って計
測精度が悪くなるためからである。 （イ）また、各タンク内に発生した気泡が検査管内に残
って、ドレインから排出されない。

【０００５】（ウ）測定開始時に、第１検査管内の気体
体積と第２検査管内の気体体積とにばらつきがあるので
正確な漏れ量が求められない。

【０００６】（エ）また、定期的に漏れ量の判明してい
る製品をワーク用タンク内に入れて漏れ量を計測し、予
め判明している漏れ量と比較して違いが無いことで測定
精度を確認していた。このため、毎回、漏れ量が判明
している製品をタンクから出し入れする必要があり、ま
た、漏れ量が異なる製品を複数個、用意しておく必要
があり、更に、漏れ量が検査時の液体の影響で変化す
ることから、毎回、精度確認の直前に漏れ量を別の測定
器で正確に測定する必要があることから作業時間が多く
かかり検査を行えない時間も長い。

【０００７】本発明の第１の目的は、各タンク内へ液体
を短時間に液体を注入することができる気密検査装置の
提供にある。本発明の第２の目的は、各タンクに液体を
供給する際に、発生する泡をドレインから装置外へ確実
に排出でき、高精度に漏れ測定ができる気密検査装置の
提供にある。

【０００８】本発明の第３の目的は、各検査管内の気体
体積が正確に求まり、正確な漏れ量を計測することがで
きる気密検査装置の提供にある。本発明の第４の目的
は、精度チェックを行うことができる気密検査装置の提
供にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】［請求項１について］マ
スタ用タンクにマスタをセットし、ワークをワーク用タ
ンクにセットして各タンクを閉じる。つぎに、気体供給
管の加圧弁を開いて、マスタおよびワークへ気体の供給
を開始する。

【００１０】つぎに、各給液弁を開き、流量切替回路を
大流量側に切り替えて、マスタ用タンクおよびワーク用
タンクに大流量で液体を注入する。マスタ用タンクおよ
びワーク用タンクに注入される液体は、各タンク内の空
気を追い出しながら各タンク内に充填されていく。

【００１１】この時、液体の注入状態が悪いと、液体中
に空気の泡が発生して計測精度を悪化させるので、空気
を巻き込まない様に注意して注入する。各排液弁が開弁
しているので、液体が注入された時、マスタ用タンクお
よびワーク用タンク内の空気は、ドレインから装置外へ
排出される。

【００１２】マスタ用タンクおよびワーク用タンクに液
体が充填されて、ドレインから液体が排出され始める
と、流量切替回路を小流量側に切り替えて液体の注入速
度を遅くするとともに、各センサ側弁を開放する。安定
状態になると、各排液弁を閉じ、加圧弁を閉じる。

【００１３】その後、各大気開放弁を閉じて、マスター
側の第１検査管とワーク側の第２検査管との圧力差を差
圧センサで計測してワークの気密状態を検査する。な
お、検査終了後に、各センサ側弁を閉じ、加圧弁を閉じ
て、ワーク用タンクを開いてワークを取り出す。

【００１４】この様に、計測開始時には、マスタ用タン
ク、ワーク用タンク、および連通管内を液体で満たし
て、第１検査管内の気体の体積と、第２検査管内の気体
の体積とが等しくなる様にした状態で液体の注入を行
い、各排液弁を閉じて、検査側およびマスタ側に密閉空
間を作る。そして、検査するワークから漏れ出た気体の
量だけ、第１検査管内の気体圧力が上昇して、マスタ側
の第２検査管内の気体圧力とに圧力差が生じることか
ら、所定時間における圧力差を計測して漏れ量を算出し
ている。

【００１５】このため、正確な計測を行うためには、計
測前における、マスタ側の第１検査管内の気体の容積と
検査する側の第２検査管内の気体の容積とが等しいこと
が条件である。そこで、従来は、液面の変動が起きない
様に注入速度を落として液体を注入していたので計測に
長い時間がかかっていた。

【００１６】しかし、第１検査管および第２検査管に第
１、第２センサ側弁を設け、且つ、流量切替回路を設け
ている。そして、ワーク用タンクおよびマスタ用タンク
への液体の充填が完了するまでは、大流量で各タンクに
液体を注入するとともに、大流量で注入しても液面が変
動しない様に第１、第２センサ側弁を閉弁状態にしてお
く。これにより、泡の発生を最小限に抑えて、短時間に
ワーク用タンクおよびマスタ用タンクへ液体を充填する
ことができる。

【００１７】液体が充填されると小流量側にして注入速
度を遅くするとともに、各センサ側弁を開いて液面の変
動を無くしている。なお、低速注入により、液中に泡を
有する液体をから排出することができる。

【００１８】そして、マスタ用タンクとワーク用タンク
と連通管により連通させて液体を自由に移動可能にし、
各大気開放弁を開弁して、マスター側の第２検査管の液
面と、ワーク側の第１検査管の液面とを精度良く一致さ
せている。その後、各排液弁を閉じ、各大気開放弁を閉
じて計測を行えば、精度良く漏れ量を求めることができ
る。

【００１９】［請求項２について］気密検査装置は、第
１検査管内の容積を所定量減少させるための補正具を第
１センサ側弁より上方の前記第１検査管に接続してい
る。そして、液体を低速度で注入して安定状態になる
と、各排液弁を閉弁状態、各給液弁を閉弁状態にし、そ
の後、各大気開放弁を閉弁状態にして補正具を作動させ
て、所定量の容積変化の減少から各検査管内の気体容積
を求める容積検出動作を実施する。これにより、各検査
用配管内の気体体積が正確に求まり、正確な漏れ量を計
測することができる。

【００２０】［請求項３について］気密検査装置は、ア
クチュエータにより駆動されるピストンと、該ピストン
が慴動するシリンダとにより構成されるシリンジを、第
１センサ側弁より上方の第１検査管に接続している。そ
して、ワーク用タンクに中空部の気密が完全なワークを
収納し、アクチュエータを作動させることにより測定精
度の確認動作を行うことができる。

【００２１】［請求項４について］流量切替回路は、大
流量で液体の供給が可能な主流路管と、小流量で液体の
供給が可能な副流路管と、主流路管中に介設される流量
切替弁とからなる。これにより、大流量と小流量とを容
易に切り替えることができる。

【００２２】［請求項５について］ワーク用タンク側の
第１立設部に第１検査管の基端を斜め下方向から接続
し、マスタ用タンク側の第２立設部に第２検査管の基端
を斜め下方向から接続している。これにより、泡を抱え
た液体が第１検査管や第２検査管内に入らずにドレイン
から排出されるので正確に計測を行うことができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明の第１実施例（請求項１、
４、５に対応）を、図１、図２に基づいて説明する。気
密検査装置Ａの構成を図１に示す。１は検査する燃料噴
射ノズル２を収納するワーク用タンクである。ワーク用
タンク１の下部には、給液弁３を途中に配設した、洗浄
用油４を供給するための油供給管５が接続されている。

【００２４】そして、この油供給管５の上流端には、主
流路管６と副流路管７とを有し、主流路管６に流量切替
弁８を介設した流量切替回路９が接続され、更に流量切
替回路９の上流端にはポンプ１０を設けた、貯留槽（図
示せず）に臨む油吸引パイプ１１が接続されている。

【００２５】１２は気密が完全なマスタである燃料噴射
ノズル１３を収納するマスタ用タンクである。マスタ用
タンク１２の下部には、給液弁１４を途中に配設した油
供給管１５が接続されている。そして、この油供給管１
５の上流端には、上述した流量切替回路９が接続されて
いる。

【００２６】１６は連通管であり、ワーク用タンク１の
天板から上方に延設する第１立設部１７と、マスタ用タ
ンク１２の天板から上方に延設する第２立設部１８と、
立設部１７、１８間を接続し中間にドレイン１９を設け
た接続部２０とを有する。そして、連通管１６の第１立
設部１７には第１排液弁２１が介設され、第２立設部１
８には第２排液弁２２が介設されている。ドレイン１９
は、オーバーフローした洗浄用油４を排液するために設
けられている。

【００２７】２３は第１検査管であり、基端２４を第１
立設部１７に斜め下方向から接続した傾斜部２５と、水
平に延設する水平部２６と、上方に延設する立設部２７
とからなる。この第１検査管２３の立設部２７には第１
センサ側弁２８が介設され、第１センサ側弁２８より上
方に位置する立設部２７には第１の大気開放弁２９が接
続されている。更に、第１センサ側弁２８より上方の立
設部２７の先端は、差圧センサ３０の一方他入力部３１
に接続されている。

【００２８】３２は第２検査管であり、基端３３を第２
立設部１８に斜め下方向から接続した傾斜部３４と、水
平に延設する水平部３５と、上方に延設する立設部３６
とからなる。この第２検査管３２の立設部３６には第２
センサ側弁３７が介設され、第２センサ側弁３７より上
方に位置する立設部３６には第２の大気開放弁３８が接
続されている。更に、第２センサ側弁３７より上方の立
設部３６の先端は、差圧センサ３０の他方側入力部３９
に接続されている。

【００２９】また、マスタの燃料噴射ノズル１３および
検査する燃料噴射ノズル２には、各燃料噴射ノズルの中
空部内に気体を注入するための、加圧弁４０を介設した
気体供給管４１が接続されている。そして、この気体供
給管４１の基端には、気体を導入するためのエアーポン
プ４２が配設されている。

【００３０】差圧センサ３０は第１の検査管２３、第２
の検査管３２内の圧力差に対応した出力信号を送出し、
該出力信号は増幅器（図示せず）で増幅されて演算装置
（図示せず）に入力される。図示しない制御部は、電磁
式の、加圧弁４０、第１の大気開放弁２９、第２の大気
開放弁３８、給液弁３、１４、第１排液弁２１、第２排
液弁２２、第１センサ側弁２８、第２センサ側弁３７、
および流量切替弁８と、エアーポンプ４２と、ポンプ１
０とを制御する。

【００３１】つぎに、気密検査装置Ａによる燃料噴射ノ
ズルの気密検査について述べる。 （気密検査の手順） マスタ用タンク１２にマスタの燃料噴射ノズル１３を
セットする。ワーク用タンク１に、検査する燃料噴射
ノズル２をセットする。 ワーク用タンク１およびマスタ用タンク１２を密閉
し、エア注入パイプ４１から、マスタの燃料噴射ノズル
１３および検査する燃料噴射ノズル２へ気体の導入を開
始する。

【００３２】始めは、流量切替回路９を大流量側にし
て、洗浄用油４をワーク用タンク１およびマスタ用タン
ク１２に注入する。ドレイン１９から洗浄用油４が排液
され始めると、流量切替回路９を小流量側にする。な
お、流量を多く流す時は、センサ側弁は閉じておき小流
量時には開く。 安定状態になると、洗浄用油４の供給を停止する。 その後、第１大気開放弁２９、第２大気開放弁３８を
閉じ、ワーク側の第１検査管２３内の圧力と、マスター
側の第２検査管３２内の圧力との差を差圧センサ３０で
計測して気密状態を求める。

【００３３】（気密検査の具体的な手順）マスタ用タン
ク１２にマスタである燃料噴射ノズル１３をセットし、
検査する燃料噴射ノズル２をワーク用タンク１内にセッ
トする。なお、マスタの燃料噴射ノズル１３の気密性を
チエックする時や検査する製品の種類を変更する時以外
はセットしたままの状態を維持する。

【００３４】つぎに、マスタ用タンク１２およびワーク
用タンク１を閉じ、気体供給管４１の加圧弁４０を開い
て、マスタの燃料噴射ノズル１３および検査する燃料噴
射ノズル２へ気体の供給を開始する。

【００３５】つぎに、給液弁３、１４と流量切替弁８と
を開いて、マスタ用タンク１２およびワーク用タンク１
に大流量で洗浄用油４を注入する。マスタ用タンク１２
およびワーク用タンク１に注入される洗浄用油４は、タ
ンク内の空気を追い出しながら各タンク内に充填されて
いく。

【００３６】この時、洗浄用油４の注入状態が悪いと、
洗浄用油４中に空気の泡が発生して計測精度を悪化させ
るので、空気を巻き込まない様に注意して注入する。排
液弁２１、２２が開弁しているので、洗浄用油４が注入
された時、マスタ用タンク１２およびワーク用タンク１
の空気は、ドレイン１９から装置外へ排出される。

【００３７】マスタ用タンク１２およびワーク用タンク
１に洗浄用油４が充填されて、ドレイン１９から洗浄用
油４が排出され始めると、流量切替弁８を閉じて洗浄用
油４の注入速度を遅くするとともに、第１センサ側弁２
８、第２センサ側弁３７を開放する。安定状態になる
と、ポンプ１０を停止し、排液弁２１、２２を閉じると
ともに加圧弁４０を閉じる。

【００３８】その後、第１大気開放弁２９、第２大気開
放弁３８を閉じて、マスター側の第１検査管２３とワー
ク側の第２検査管３２との圧力差を差圧センサ３０で計
測して燃料噴射ノズル２の気密状態を検査する。なお、
検査終了後に、第１センサ側弁２８、第２センサ側弁３
７を閉じ、加圧弁４０を閉じて、ワーク用タンク１を開
いて燃料噴射ノズル２を取り出す。

【００３９】この様に、計測開始時には、マスタ用タン
ク１２、ワーク用タンク１、および連通管１６内を洗浄
用油４で満たして、第１検査管２３内の気体の体積と、
第２検査管３２内の気体の体積とが等しくなる様にした
状態で洗浄用油４の注入を行い、排液弁２１、２２を閉
じて、検査側およびマスタ側に密閉空間を作る。そし
て、検査する燃料噴射ノズル２から漏れ出た気体の量だ
け、第１検査管２３内の気体圧力が上昇して、マスタ側
の第２検査管３２内の気体圧力とに圧力差が生じること
から、所定時間における圧力差を計測して漏れ量を算出
している。

【００４０】このため、正確な計測を行うためには、計
測前における、マスタ側の第２検査管３２内の気体の容
積と検査する側の第１検査管２３内の気体の容積とが等
しいことが条件である。そこで、従来は、液面の変動が
起きない様に注入速度を落として洗浄用油４を注入して
いたので計測に長い時間がかかっていた。

【００４１】本発明の気密検査装置Ａでは、第１検査管
２３、第２検査管３２に第１センサ側弁２８、第２セン
サ側弁３７を設け、且つ、油供給管５、１５の上流端
に、主流路管６と副流路管７と、主流路管６中に介設さ
れる流量切替弁８とを有する流量切替回路８を設けてい
る。

【００４２】そして、ワーク用タンク１およびマスタ用
タンク２への洗浄用油４の充填が完了するまでは、流量
切替弁８を開弁状態して速い流入速度で各タンクに洗浄
用油４を注入するとともに、速い速度で注入しても液面
が変動しない様にセンサ側弁２８、３７を閉弁状態にし
ておく。これにより、泡の発生を最小限に抑えて、短時
間にワーク用タンク１およびマスタ用タンク１２へ洗浄
用油４を充填することができる。

【００４３】洗浄用油４が充填されると流量切替弁８を
閉じて注入速度を遅くするとともに、センサ側弁２８、
３７を開いて液面の変動を無くしている。なお、低速注
入により、液中に泡を有する液体をドレイン１９から排
出することができる。

【００４４】そして、マスタ用タンク１２とワーク用タ
ンク１と連通管１６により連通させて洗浄用油４を自由
に移動可能にし、第１大気開放弁２９、第２大気開放弁
３８を開弁して、マスタ側の第２検査管３２の液面と、
ワーク側の第１検査管２３の液面とを精度良く一致させ
ている。その後、排液弁２１、２２を閉じ、第１大気開
放弁２９、第２大気開放弁３８を閉じて計測を行えば、
精度良く漏れ量を求めることができる。

【００４５】更に、図２に示す様に、ワーク用タンク１
側の第１立設部１７に、第１検査管２３を斜め下方向か
ら接続し、マスタ用タンク１２側の第２立設部１８に検
査管３２を斜め下方向から接続している。これにより、
泡を抱えた液体が第１検査管２３、第２検査管３２内に
入らず、ドレイン１９から排出されるので正確に計測が
行える。

【００４６】つぎに、本発明の第２実施例（請求項１、
２、３、４、５に対応）を、図３、図４に基づいて説明
する。気密検査装置Ｂの構成を図３に示す。気密検査装
置Ｂは、下記の点が気密検査装置Ａと異なる。気密検査
装置Ｂは、第１大気開放弁２９より上方に位置する第１
検査管２３に、較正具４３と、シリンジ４４とを接続し
ている。

【００４７】第１大気開放弁２９より上方の第１検査管
２３に接続される補正具４３は、ダイヤフラム４５を有
し、第１検査管２３の気体部分に、固定した体積変化を
与えるためのものである。シリンジ４４は、リニアモー
タ４８に連結されて駆動するピストン４６と、ピストン
４６が慴動するシリンダ４７とにより構成される。この
シリンジ４４は、第１大気開放弁２９より上方の第１検
査管２３に接続されている。

【００４８】つぎに、気密検査装置Ｂによる燃料噴射ノ
ズルの気密検査について述べる。（気密検査の手順） (1) マスタ用タンク１２にマスタの燃料噴射ノズル１３
をセットする。 (2) ワーク用タンク１に、検査する燃料噴射ノズル２を
セットする。 (3) ワーク用タンク１、マスタ用タンク１２を密閉し、
エア注入パイプ４１から、マスタの燃料噴射ノズル１３
および検査する燃料噴射ノズル２に気体の導入を開始す
る。

【００４９】(4) 始めは、流量切替回路９を大流量側に
して、洗浄用油４をワーク用タンク１およびマスタ用タ
ンク１２に注入する。ドレイン１９から洗浄用油４が排
液され始めると、流量切替回路９を小流量側にして、洗
浄用油４をワーク用タンク１およびマスタ用タンク１２
に注入する。なお、流量を多く流す時は、センサ側弁２
８、３７は閉じておき、小流量時には開く。

【００５０】(5) 安定状態になると、洗浄用油４の供給
を停止する。 (6) その後、第１大気開放弁２９、第２大気開放弁３８
を閉じる。 (7) 較正具４３の作動回路側を加圧する。 (8) ワーク側の第１検査管２３とマスタ側の第２検査管
３２との圧力差を差圧センサ３０で計測する。 (9) 挿入容量と圧力との関係により、検査する燃料噴射
ノズル２からの漏れ量を算出する。

【００５１】（気密検査の具体的な手順）各行程におけ
る弁開閉や作動は下記に示すタイミング表に基づいて成
される。

【００５２】

【表１】

【００５３】マスタ用タンク１２にマスタである燃料噴
射ノズル１３をセットし、検査する燃料噴射ノズル２を
ワーク用タンク１内にセットする（表１のワークセッ
ト）。なお、マスタの燃料噴射ノズル１３の気密性をチ
エックする時や検査する製品の種類を変更する時以外は
セットしたままの状態を維持する。

【００５４】つぎに、マスタ用タンク１２およびワーク
用タンク１を閉じ、気体供給管４１の加圧弁４０を開い
て、マスタの燃料噴射ノズル１３および検査する燃料噴
射ノズル２へ気体の供給を開始する（表１の準備１）。

【００５５】つぎに、給液弁３、１４と流量切替弁８と
を開いて、マスタ用タンク１２およびワーク用タンク１
に大流量で洗浄用油４を注入する（表１の給液多）。マ
スタ用タンク１２およびワーク用タンク１に注入される
洗浄用油４は、タンク内の空気を追い出しながら各タン
ク内に充填されていく。

【００５６】この時、洗浄用油４の注入状態が悪いと、
洗浄用油４中に空気の泡が発生して計測精度を悪化させ
るので、空気を巻き込まない様に注意して注入する。排
液弁２１、２２が開弁しているので、洗浄用油４が注入
された時、マスタ用タンク１２およびワーク用タンク１
の空気は、ドレイン１９から装置外へ排出される。

【００５７】マスタ用タンク１２およびワーク用タンク
１に洗浄用油４が充填されて、ドレイン１９から洗浄用
油４が排出され始めると、流量切替弁８を閉じて洗浄用
油４の注入速度を遅くするとともに、第１センサ側弁２
８、第２センサ側弁３７を開放する（表１の給液少）。
安定状態になると、ポンプ１０を停止し、第１排液弁２
１、第２排液弁２２を閉じるとともに加圧弁４０を閉じ
る（表１の安定）。

【００５８】その後、第１大気開放弁２９、第２大気開
放弁３８を閉じる（表１の較正動作）。補正具４３の作
動回路側を加圧して、ワーク側の第１検査管２３内に一
定体積の減少を与えて、第１検査管２３内の圧力を増加
させる。これにより、差圧センサ３０は、相対的にマス
タ側の第２検査管３２内の圧力が減少した様な出力信号
を送出する。

【００５９】エアー圧力が加わった状態で、センサ側弁
２８、３７を開弁状態にした際、ワーク側の燃料噴射ノ
ズル２に漏れがある場合には、気泡によって第１検査管
２３の立設部２７内の液面が立設部３６よりも下がり、
第１検査管２３- 第２検査管３２間の差圧は図４の計測
１の状態になる。そして、また、加圧弁４０を閉じてエ
アー圧力を止めると、ワーク側の燃料噴射ノズル２から
気泡が出なくなるので、第１検査管２３- 第２検査管３
２間の差圧は図４の計測２の状態になる。

【００６０】この一定の体積変化と差圧変化とから、マ
スター側の第２検査管３２内の気体体積と、ワーク側の
第１検査管２３内の気体体積とが正確に求められる。こ
のため、気密検査をする毎に、毎回、補正具４３を作動
させて、検査時における、マスタ側の第２検査管３２内
の気体体積とワーク側の第１検査管２３内の気体体積と
を求めることにより、燃料噴射ノズル２の正確な漏れ量
を計測することができる。

【００６１】つぎに、シリンジ４４による気密検査装置
Ｂの精度チェックについて述べる。ワーク用タンク１
に、検査するワークの代わりに漏れが無い燃料噴射ノズ
ルをセットし、リニアモータ４８を作動させて、ピスト
ン４６を定速度で右方向へ動かすことにより疑似漏れを
作ることができる。これにより、多種類の精度確認を短
時間に行うことができる。

【００６２】以下に、具体例を示す。シリンジ４４によ
り一定容積を検査管内に入れ、その時の差圧センサ３０
の出力と、固定の容積変化を与える補正具４３を作動さ
せた時の差圧センサ３０の出力とから補正具４３の容積
を求めることができる。

【００６３】例えば、シリンジ４４で、０．０５ｃｃ入
れた時に、差圧計の出力が５Ｖであったとする。補正具
４３を作動させてた時の差圧センサ３０の出力が１Ｖと
すると、補正具４３の容積は０．０１ｃｃであることが
分かる。

【００６４】通常の検査時に、補正具４３を作動させる
ことにより、第１検査管２３に一定容積を入れた時の差
圧センサ３０の出力から、どれだけの容積が入ったら、
差圧センサ３０がどれだけの出力を出すかが分かる。こ
れにより、通常の検査時に、差圧センサ３０から出た出
力により、どれだけの容積変化があったか分かる。これ
に検査時間を考慮すれば、何ｃｃ／分の漏れが有るのが
分かる。

【００６５】例えば、通常検査時に、補正具４３を作動
させることにより差圧センサ３０の出力が１Ｖ出たと
し、通常の検査時において差圧計３０の出力が６秒間で
０．１Ｖ出たとすると、漏れ量は下記に示す様に０．０
１ｃｃ／分であることが分かる。

【００６６】｛０．０１／（１／０．１）｝×（６０／
６）＝０．０１

【００６７】ワークからの漏れをシリンジ４４で作る
（疑似漏れ）ことができる。上記と同じ様に測定すれ
ば、漏れ量が測定でき、一定量漏らした時の繰り返しを
見ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る気密検査装置の構成
図である。

【図２】その気密検査装置の要部拡大図である。

【図３】本発明の第２実施例に係る気密検査装置の構成
図である。

【図４】本発明の第２実施例に係る気密検査装置におい
て差圧計の出力値の変化を示すグラフである。

【符号の説明】

１ ワーク用タンク ２ 燃料噴射ノズル（ワーク） ３ 第１給液弁 ５ 油供給管 ６ 主流路管 ７ 副流路管 ８ 流量切替弁 ９ 流量切替回路 １０ ポンプ（液体供給源） １４ 第２給液弁 １５ 油供給管 １６ 連通管 １７ 第１立設部 １８ 第２立設部 １９ ドレイン ２０ 接続部 ２１ 第１排液弁 ２２ 第２排液弁 ２３ 第１検査管 ２４、３３ 基端 ２８ 第１センサ側弁 ２９ 第１の大気開放弁 ３０ 差圧センサ ３１ 一方側入力部 ３２ 第２検査管 ３７ 第２センサ側弁 ３８ 第２の大気開放弁 ３９ 他方側入力部 ４０ 加圧弁 ４１ 気体供給管 ４２ エアーポンプ（気体供給源） ４３ 補正具 ４４ シリンジ ４５ ダイヤフラム ４６ ピストン ４７ シリンダ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に中空部を有するワークを収納する
   ためのワーク用タンクと、 中空部の気密が完全なマスタを収納するためのマスタ用
   タンクと、 前記ワーク用タンクの最上部から上方に延設する第１立
   設部、前記マスタ用タンクの最上部から上方に延設する
   第２立設部、および各立設部間を接続し中間にドレイン
   を設けた接続部を有する連通管と、 この連通管のワーク用タンク側およびマスタ用タンク側
   に設けた、第１排液弁および第２排液弁と、 ワーク用タンク側の前記第１立設部に基端を接続し、末
   端方向が上方に延設する第１検査管と、 この第１検査管に介設される第１センサ側弁と、 この第１センサ側弁より上方に位置する前記第１検査管
   に接続される第１の大気開放弁と、 マスタ用タンク側の前記第２立設部に基端を接続し、末
   端方向が上方に延設する第２検査管と、 この第２検査管に介設される第２センサ側弁と、 この第２センサ側弁より上方に位置する前記第２検査管
   に接続される第２の大気開放弁と、 前記第１検査管の末端に一方側入力部を接続し、前記第
   ２検査管の末端に他方側入力部を接続した差圧センサ
   と、 途中に加圧弁を介設し、上流端を気体供給源に接続し、
   下流端を前記ワークおよび前記マスタの各中空部に接続
   した気体供給管と、 先端が前記ワーク用タンクの下部に接続され、途中に第
   １給液弁を介設した第１液体供給管と、 先端が前記マスタ用タンクの下部に接続され、途中に第
   ２給液弁を介設した第２液体供給管と、 後端を液体供給源に接続し、先端を各液体供給管の後端
   に接続した、流量を切り替えるための流量切替回路とを
   備え、 前記加圧弁を開弁状態にして各中空部への気体の注入を
   開始するとともに、前記第１、第２排液弁、および前記
   第１、第２給液弁を開弁状態にして前記ワーク用タンク
   および前記マスタ用タンクに液体を注入するにあたり、
   最初は前記流量切替回路を大流量側にするとともに前記
   第１、第２センサ側弁を閉弁状態にして高速度で注入
   し、 前記ドレインから前記液体が排液され始めると、前記流
   量切替回路を小流量側にするとともに前記第１、第２セ
   ンサ側弁を開弁状態にして低速度で注入し、 安定状態になると、前記第１、第２排液弁を閉弁状態、
   前記第１、第２給液弁を閉弁状態にし、 その後、前記第１、第２の大気開放弁を閉弁状態にし
   て、第１検査管内の圧力と第２検査管内の圧力差を前記
   差圧センサにより計測して前記検査体の気密性を検査す
   る気密検査装置。
2. 【請求項２】 第１検査管内の容積を所定量減少させる
   ための補正具を前記第１センサ側弁より上方の前記第１
   検査管に接続し、 前記液体を低速度で注入して安定状態になると、前記第
   １、第２排液弁を閉弁状態、前記第１、第２給液弁を閉
   弁状態にし、 その後、第１、第２の大気開放弁を閉弁状態にして前記
   補正具を作動させて、所定量の容積変化の減少から各検
   査管内の気体容積を求める容積検出動作を実施する請求
   項１記載の気密検査装置。
3. 【請求項３】 アクチュエータにより駆動されるピスト
   ンと、該ピストンが慴動するシリンダとにより構成され
   るシリンジを、前記第１センサ側弁より上方の前記第１
   検査管に接続し、 前記ワーク用タンクに中空部の気密が完全なワークを収
   納し、 前記アクチュエータを作動させて測定精度の確認動作を
   実施する請求項１記載の気密検査装置。
4. 【請求項４】 前記流量切替回路は、大流量で液体の供
   給が可能な主流路管と、小流量で液体の供給が可能な副
   流路管と、主流路管中に介設される流量切替弁とからな
   る請求項１乃至請求項３記載の気密検査装置。
5. 【請求項５】 ワーク用タンク側の前記第１立設部に前
   記第１検査管の基端を斜め下方向から接続し、マスタ用
   タンク側の前記第２立設部に前記第２検査管の基端を斜
   め下方向から接続した請求項１乃至請求項４記載の気密
   検査装置。