JP2000330034A - レボルバ回転位置検出装置およびそれを用いた顕微鏡 - Google Patents

レボルバ回転位置検出装置およびそれを用いた顕微鏡

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JP2000330034A
JP2000330034A JP11137377A JP13737799A JP2000330034A JP 2000330034 A JP2000330034 A JP 2000330034A JP 11137377 A JP11137377 A JP 11137377A JP 13737799 A JP13737799 A JP 13737799A JP 2000330034 A JP2000330034 A JP 2000330034A
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revolver
light
objective lens
magnets
hall elements
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Tatsuhiko Matsuura
辰彦 松浦
Hiroshi Maeno
宏志 前野
Takashi Hirano
高志 平野
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Keyence Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造でレボルバの回転位置を正確に検
出することができ、小型化および低コスト化が可能なレ
ボルバ回転位置検出装置およびそれを備えた顕微鏡を提
供する。 【解決手段】 レボルバ53が取り付け部材56に回転
可能に装着される。レボルバ53の4つの対物レンズ取
り付け孔7a,7b,7c,7dに対物レンズが取り付
けられ、取り付け部材56の円筒部56aに位置する対
物レンズが観察に用いられる。レボルバ53の内部にお
ける対物レンズ取り付け孔7a,7b,7c,7d間の
位置に磁石N1,N2,S1,S2が取り付けられ、取
り付け部材56に2つのホール素子58a,58bが取
り付けられる。ホール素子58a,58bの出力電圧の
状態の組み合わせにより観察に用いる対物レンズが判別
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の対物レンズ
が取り付けられるレボルバの回転位置を検出するレボル
バ回転位置検出装置およびそれを用いた顕微鏡に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に顕微鏡においては、複数の対物レ
ンズが取り付けられたレボルバを回転させることによ
り、観察に用いる対物レンズを切り換える。対物レンズ
ごとに倍率および開口数が異なるため、対物レンズに応
じて開口絞りおよび視野絞りの大きさおよび位置、光源
等の光量の調整が必要となる。このような調整を効率良
くかつ自動的に行うためには、レボルバの回転位置を検
出することにより観察に用いる対物レンズを判別する必
要がある。
【0003】対物レンズを判別する方法としては、光を
用いる方法および磁気を用いる方法に大別され、光を用
いる方法は、さらに発光素子および受光素子を用いる方
法と識別マークを用いる方法とに分類される。
【0004】発光素子および受光素子を用いて対物レン
ズを判別する方法としては、透過率の異なるND(ニュ
ートラル)フィルタを複数の対物レンズのそれぞれに付
設し、所定の位置に設けられた発光素子からNDフィル
タへ光を出射し、NDフィルタを透過した光量を受光素
子により検出することにより対物レンズを判別する方法
が提案されている。また、対物レンズのレボルバ取り付
け用のねじ側の面取り部を対物レンズの倍率に応じて異
なる角度に設定し、所定の位置に設けられた発光素子か
ら出射された光を面取り部で反射させ、その反射光が面
取り部の角度に対応して設けられた複数の受光素子のう
ちいずれの受光素子により検出されたかにより対物レン
ズを検出する方法も提案されている。
【0005】識別マークを用いて対物レンズを判別する
方法としては、複数の対物レンズの外周面にそれぞれバ
ーコードを付し、顕微鏡本体に設けられたバーコード読
み取り装置によりバーコードを読み取ることにより対物
レンズを判別する方法、対物レンズのレボルバ取り付け
用のねじ側の端面に識別用のコードを付し、端面上に照
射した光の反射光を受光することにより対物レンズを判
別する方法、および対物レンズのレボルバ取り付け用の
ねじ側の端面に対物レンズごとに異なる色を着色し、そ
の色を識別することにより対物レンズを判別する方法が
提案されている。
【0006】さらに、磁気を用いる方法としては、レボ
ルバの外周面に複数の対物レンズのそれぞれに対応する
複数ビットの磁気マークとして磁石群を埋設し、レボル
バの外周面に近接した位置に複数ビットの磁気感応スイ
ッチを設け、複数ビットの磁気感応スイッチの出力信号
をデコードすることにより対物レンズを検出する方法が
提案されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、発光素
子および受光素子を用いる方法では、発光素子または受
光素子が汚れた場合に、受光素子が検出する光量が低下
し、対物レンズを誤認する可能性がある。
【0008】同様に、識別マークを用いる方法では、識
別マークまたは識別マーク読み取り装置が汚れた場合
に、対物レンズを誤認する可能性がある。さらに、識別
マーク読み取り装置は複雑であり、高価である。
【0009】また、磁気を用いる方法では、レボルバの
外周面に複数ビットの磁気マークが設けられているた
め、磁気マークに金属粉等が付着しやすい。それによ
り、対物レンズを正確に判別することが困難になる。
【0010】さらに、各対物レンズごとに磁気マークと
して磁石群が埋設されているので、全体として磁石の数
が多くなり、また磁石群を埋設することによるレボルバ
の強度低下を補う必要があるため、レボルバが大型化す
る。また、レボルバの大型化により、レボルバの周囲の
機構も大きくなり、顕微鏡全体が大型化および複雑化す
るとともにコストが上昇する。
【0011】本発明の目的は、簡単な構造でレボルバの
回転位置を正確に検出することができ、小型化および低
コスト化が可能なレボルバ回転位置検出装置およびそれ
を備えた顕微鏡を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段および発明の効果】(1)
第1の発明 第1の発明に係るレボルバ回転位置検出装置は、2以上
のn個の対物レンズが取り付けられるレボルバの回転位
置を検出するレボルバ回転位置検出装置であって、レボ
ルバの回転中心と同心の円周に沿ってレボルバに取り付
けられたn個以下の複数の磁石と、レボルバの回転に伴
う複数の磁石の移動経路にほぼ対向するように配置され
た複数のホール素子と、複数のホール素子の出力電圧の
状態の組み合わせから複数の対物レンズのうち所定位置
にある対物レンズを判別する判別手段とを備えたもので
ある。
【0013】本発明に係るレボルバ回転位置検出装置に
おいては、レボルバを回転させると、レボルバに取り付
けられた複数の磁石がレボルバの回転中心と同心の円周
に沿って移動する。レボルバの回転に伴う複数の移動経
路にほぼ対向するように複数のホール素子が配置されて
いるので、レボルバの回転により複数のホール素子の出
力電圧の状態が変化する。そのため、複数のホール素子
の出力電圧の状態の組み合わせから複数の対物レンズの
うち所定位置にある対物レンズを判別することができ
る。
【0014】この場合、複数のホール素子の出力電圧の
状態の組み合わせを検出することにより、n個以下の複
数の磁石を用いてn個の対物レンズの位置を判別するこ
とができる。このように、磁石の数が少ないため、レボ
ルバの構造が簡単となり、レボルバの小型化および低コ
スト化を図ることが可能となる。
【0015】また、磁石の数が少ないため、磁石間の距
離およびホール素子間の距離を大きく設定することがで
きる。それにより、ホール素子の各々に加わる磁界の干
渉が少なくなり、ホール素子の出力電圧を飽和レベルに
設定することが可能となる。したがって、レボルバの回
転位置の検出精度を確保しつつ磁石とホール素子との間
の位置決め精度を緩和することができる。その結果、製
造コストを低減することができる。
【0016】また、磁石間の距離およびホール素子間の
距離を大きく設定することができるので、レボルバの回
転位置の検出時のS/N(信号対雑音比)が向上する。
【0017】加えて、磁力によりレボルバの回転位置が
検出されるので、汚れによる検出精度の低下が起こらな
い。
【0018】(2)第2の発明 第2の発明に係るレボルバ回転位置検出装置は、複数の
対物レンズが取り付けられたレボルバの回転位置を検出
するレボルバ回転位置検出装置であって、レボルバの回
転中心と同心の円周に沿って複数の対物レンズ間におけ
るレボルバの内部の位置に取り付けられた複数の磁石
と、レボルバの回転に伴う複数の磁石の移動経路に対向
するように配設された1以上のホール素子と、1以上の
ホール素子の出力電圧の状態から複数の対物レンズのう
ち所定位置にある対物レンズを判別する判別手段とを備
えたものである。
【0019】本発明に係るレボルバ回転位置検出装置に
おいては、レボルバを回転させると、レボルバに取り付
けられた複数の磁石がレボルバの回転中心と同心の円周
に沿って移動する。レボルバの回転に伴う複数の移動経
路にほぼ対向するように複数のホール素子が配置されて
いるので、レボルバの回転により複数のホール素子の出
力電圧の状態が変化する。そのため、1以上のホール素
子の出力電圧の状態から、複数の対物レンズのうち所定
位置にある対物レンズを判別することができる。
【0020】この場合、複数の磁石が複数の対物レンズ
間におけるレボルバの内部の位置に取り付けられている
ので、レボルバの構造が簡単となり、レボルバの小型化
および低コスト化を図ることができる。
【0021】また、レボルバの内部に配置された複数の
磁石の移動経路にほぼ対向するように1以上のホール素
子が配設されているので、レボルバ回転位置検出装置が
大型化しない。
【0022】さらに、複数の磁石が複数の対物レンズ間
の位置に配置されているので、磁石間の距離およびホー
ル素子間の距離が大きくなる。それにより、ホール素子
の各々に加わる磁界の干渉が少なくなり、ホール素子の
出力電圧を飽和レベルに設定することが可能となる。し
たがって、レボルバの回転位置の検出精度を確保しつつ
磁石とホール素子との間の位置決め精度を緩和すること
ができる。その結果、製造コストを低減することができ
る。
【0023】また、磁石間の距離およびホール素子間の
距離が大きくなるので、レボルバの回転位置の検出時の
S/Nが向上する。
【0024】加えて、磁力によりレボルバの回転位置が
検出されるので、汚れによる検出精度の低下が起こらな
い。
【0025】(3)第3の発明 第3の発明に係る顕微鏡は、2以上のn個の対物レンズ
が取り付けられるレボルバと、光を出射する光源と、受
光量に対応する受光信号を出力する受光素子と、光源か
ら出射された光を複数の対物レンズのうち所定の光路に
位置する対物レンズを通して対象物に照射するとともに
対象物からの反射光または透過光を受光素子に導く光学
系と、受光素子から出力される受光信号を処理すること
により画像を表示する画像表示手段と、レボルバの回転
中心と同心の円周に沿ってレボルバに取り付けられたn
個以下の複数の磁石と、レボルバの回転に伴う複数の磁
石の移動経路にほぼ対向するように配置された複数のホ
ール素子と、複数のホール素子の出力電圧の状態の組み
合わせから複数の対物レンズのうち所定の光路に位置す
る対物レンズを判別する判別手段と、判別手段の判別結
果に応じて光源および画像表示手段の少なくとも一方の
パラメータを設定する設定手段とを備えたものである。
【0026】第3の発明に係る顕微鏡においては、光源
から出射された光が光学系により複数の対物レンズのう
ち所定の光路に位置する対物レンズを通して対象物に照
射されるとともに対象物からの反射光または透過光が受
光素子に導かれ、受光素子から受光量に対応する受光信
号が出力される。受光素子から出力された受光信号は、
画像表示手段により処理されて画像として表示される。
【0027】レボルバを回転させると、レボルバに取り
付けられた複数の磁石がレボルバの回転中心と同心の円
周に沿って移動する。レボルバの回転に伴う複数の移動
経路にほぼ対向するように複数のホール素子が配置され
ているので、レボルバの回転により複数のホール素子の
出力電圧の状態が変化する。そのため、複数のホール素
子の出力電圧の状態の組み合わせから複数の対物レンズ
のうち所定位置にある対物レンズを判別することができ
る。この判別結果に応じて光源および画像表示手段の少
なくとも一方のパラメータが設定される。
【0028】このように、観察に用いる対物レンズに応
じて光源および画像表示手段の少なくとも一方のパラメ
ータが自動的に設定されるので、対物レンズの変更に伴
う各種設定の誤りまたは計測の誤りが防止される。
【0029】(4)第4の発明 第4の発明に係る顕微鏡は、複数の対物レンズが取り付
けられるレボルバと、光を出射する光源と、受光量に対
応した受光信号を出力する受光素子と、光源から出射さ
れた光を複数の対物レンズのうち所定の光路に位置する
対物レンズを通して対象物に照射するとともに対象物か
らの反射光または透過光を受光素子に導く光学系と、受
光素子から出力される受光信号を処理することにより画
像を表示する画像表示手段と、レボルバの回転中心と同
心の円周に沿って複数の対物レンズ間におけるレボルバ
の内部の位置に取り付けられた複数の磁石と、レボルバ
の回転に伴う複数の磁石の移動経路に対向するように配
設された1以上のホール素子と、1以上のホール素子の
出力電圧の状態から複数の対物レンズのうち所定の光路
に位置する対物レンズを判別する判別手段と、判別手段
の判別結果に応じて光源および画像表示手段の少なくと
も一方のパラメータを設定する設定手段とを備えたもの
である。
【0030】第4の発明に係る顕微鏡においては、光源
から出射された光が光学系により複数の対物レンズのう
ち所定の光路に位置する対物レンズを通して対象物に照
射されるとともに対象物からの反射光または透過光が受
光素子に導かれ、受光素子から受光量に対応する受光信
号が出力される。受光素子から出力された受光信号は、
画像表示手段により処理されて画像として表示される。
【0031】レボルバを回転させると、レボルバに取り
付けられた複数の磁石がレボルバの回転中心と同心の円
周に沿って移動する。レボルバの回転に伴う複数の移動
経路にほぼ対向するように複数のホール素子が配置され
ているので、レボルバの回転により複数のホール素子の
出力電圧の状態が変化する。そのため、1以上のホール
素子の出力電圧の状態から複数の対物レンズのうち所定
位置にある対物レンズを判別することができる。この判
別結果に応じて光源および画像表示手段の少なくとも一
方のパラメータが設定される。
【0032】このように、観察に用いる対物レンズに応
じて光源および画像表示手段の少なくとも一方のパラメ
ータが自動的に設定されるので、対物レンズの変更に伴
う各種設定の誤りまたは計測の誤りが防止される。
【0033】(5)第5の発明 第5の発明に係る顕微鏡は、第3または第4の発明に係
る顕微鏡の構成において、パラメータは光源の光量を含
むものである。
【0034】この場合、光源の光量が、所定の光路に位
置する対物レンズに応じて自動的に設定される。したが
って、対物レンズの変更に伴う光量の設定誤りが防止さ
れる。
【0035】(6)第6の発明 第6の発明に係る顕微鏡は、第3〜第5のいずれかの発
明に係る顕微鏡の構成において、画像表示手段は、受光
信号を増幅する増幅器を含み、パラメータは増幅器の利
得およびオフセットの少なくとも一方を含むものであ
る。
【0036】この場合、増幅器の利得およびオフセット
の少なくとも一方が、所定の光路に位置する対物レンズ
に応じて自動的に設定される。したがって、対物レンズ
の変更に伴う増幅器の利得またはオフセットの設定誤り
が防止される。
【0037】(7)第7の発明 第7の発明に係る顕微鏡は、第3〜第6のいずれかの発
明に係る顕微鏡の構成において、画像表示手段は、画像
とともに所定の光路に位置する対物レンズの倍率に関す
る情報を表示する表示手段を含み、パラメータは、倍率
に関する情報を含むものである。
【0038】この場合、所定の光路に位置する対物レン
ズに応じて対物レンズの倍率に関する情報が自動的に表
示される。したがって、対物レンズの変更に伴う計測の
誤りが防止される。
【0039】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るレボルバ回転
位置検出装置を用いた顕微鏡の一例として共焦点顕微鏡
について説明する。
【0040】図1は本発明の一実施例における共焦点顕
微鏡の側面図である。図1に示すように、共焦点顕微鏡
100は、台座70および光学部80を備える。光学部
80は台座70に着脱自在に取り付けられている。台座
70は、前方部70aおよび後方部70bからなる。前
方部70aの上面には、対象物を支持する支持台30を
上下に移動させるための手動ハンドル31が設けられて
いる。また、前方部70aの両側面には、支持台30を
前後左右に移動させるための手動ハンドル32が設けら
れている。さらに、前方部70aの前面および後方部7
0bの背面にはそれぞれ持ち手71a,71bが設けら
れている。
【0041】光学部80は、光学系搭載部50および間
接取り付け部60からなる。光学系搭載部50の下面に
は、対物レンズ17a,17b,17c,17dが取り
付けられたレボルバ53が設けられている。レボルバ5
3を回転させることにより、観察に用いる対物レンズを
選択することができる。
【0042】また、光学系搭載部50の側面には、外部
装置との間で電気信号の伝送を行うための雄型コネクタ
52aおよび雌型コネクタ52bが設けられている。雄
型コネクタ52a用のケーブルの両端には雌型コネクタ
が接続されている。また、雌型コネクタ52b用のケー
ブルの両端には雄型コネクタが接続されている。
【0043】間接取り付け部60は、背板部60a、底
板部60bおよび1対の側板部60cから構成されてい
る。背板部60aおよび底板部60bの側端面には複数
のねじ穴65、側板部60cの側面には複数のねじ穴6
8、底板部60bの前端面には1対のねじ穴67がそれ
ぞれ設けられている。また、背板部60aの背面には複
数のねじ穴(図示せず)が設けられている。
【0044】図2は図1の共焦点顕微鏡100の光学系
搭載部50、間接取り付け部60および台座70の組み
立て構造を示す斜視図である。
【0045】図2に示すように、光学系搭載部50の底
面には複数のねじ穴51が設けられている。複数のねじ
穴51に対応するように、間接取り付け部60の底板部
60bに複数の貫通孔61が設けられている。貫通孔6
1の底面側には、取り付けボルトの頭部を収納するため
の座ぐりが設けられている。
【0046】間接取り付け部60の底板部60bには、
貫通孔61とねじ穴51との位置合わせを容易にするた
めに凹部160が設けられている。光学系搭載部50を
凹部160上に載置した後、ボルト81を貫通孔61を
通してねじ穴51に螺合させることにより、光学系搭載
部50と間接取り付け部60とが一体化する。
【0047】また、間接取り付け部60の底板部60b
に複数のねじ穴62,63が設けられている。複数のね
じ穴62に対応するように、台座70には複数の貫通孔
72が形成されている。貫通孔72は、台座70の両側
面から延びる溝部83内に位置している。さらに、間接
取り付け部60の背板部60aには、凹部69が形成さ
れている。この背板部60aには、凹部69内から底面
まで上下に貫通する複数の貫通孔64が設けられてい
る。複数の貫通孔64に対応するように、台座70には
複数の対物レンズ取り付け穴74が設けられている。
【0048】台座70には、間接取り付け部60のねじ
穴62と台座70の貫通孔72との位置合わせおよび間
接取り付け部60の貫通孔64と台座70の対物レンズ
取り付け穴74との位置合わせを容易にするために凹部
170が設けられている。光学系搭載部50と一体化し
た間接取り付け部60を凹部170上に載置した後、ボ
ルト82を貫通孔72を通してねじ穴62に螺合させる
とともに、ボルト84を貫通孔64を通して対物レンズ
取り付け穴74に螺合させる。これにより、台座70に
間接取り付け部60および光学系搭載部50が固定され
る。
【0049】図3は図1の共焦点顕微鏡100の光学系
搭載部50に搭載される光学系の一例を示す概略構成図
である。
【0050】図3に示すように、光学系搭載部50は、
レーザ光学系1および白色光光学系2を備える。
【0051】レーザ光学系1は、共焦点光学系であり、
光源として例えば赤色のレーザ光L1を出射する半導体
レーザ10を有する。レーザ10はレーザ駆動回路44
により駆動され、レーザ光L1を出射する。レーザ光L
1は第1のコリメートレンズ11を透過した後、偏光ビ
ームスプリッタ12により反射され、1/4波長板1
3、水平方向偏向装置14a、垂直方向偏向装置14
b、第1のリレーレンズ15、第2のハーフミラー2
3、第2のリレーレンズ16および第1のハーフミラー
22を通して対物レンズ17に導かれる。対物レンズ1
7の焦点位置の付近には、支持台30が配設されてい
る。レーザ光L1は対物レンズ17により対象物Wの表
面に集光される。図3の対物レンズ17は、図1の対物
レンズ17a,17b,17c,17dのいずれかに相
当する。
【0052】水平方向偏向装置14aおよび垂直方向偏
向装置14bは、例えばそれぞれ1枚のガルバノミラー
から構成され、レーザ光L1を矢印XおよびYで示す水
平方向および垂直方向に偏向させることにより、対象物
Wの表面にレーザ光L1を二次元的に走査させる。
【0053】なお、支持台30は、手動ハンドル31に
より矢印Zで示す上下方向に移動可能となっており、矢
印XおよびYの方向については手動ハンドル32で移動
可能となっている。
【0054】対象物Wで反射されたレーザ光L1は、対
物レンズ17、第1のハーフミラー22、第2のリレー
レンズ16、第2のハーフミラー23および第1のリレ
ーレンズ15を通り、再び、垂直方向偏向装置14bお
よび水平方向偏向装置14aを介して1/4波長板13
および偏光ビームスプリッタ12を透過し、結像レンズ
18に向かう。レーザ光L1は、結像レンズ18によっ
て集光され、ピンホールを有する光絞り部19aを通過
して第1の受光素子19bに入射する。
【0055】第1の受光素子19bは、例えばフォトマ
ルチプライヤまたはフォトダイオード等で構成され、入
射したレーザ光L1を光電変換し、アナログ光量信号と
して第1の増幅回路19dを介して第1のA/Dコンバ
ータ(アナログ・デジタル変換器)41に出力する。第
1のA/Dコンバータ41から輝度情報が出力される。
【0056】次に、レーザ光学系1によって得られる輝
度情報について説明する。光絞り部19aは、結像レン
ズ18の焦点位置に配設されている。光絞り部19aの
ピンホールは極めて微小である。そのため、レーザ光L
1が対象物W上で焦点を結ぶと、そのレーザ光L1のほ
とんどが光絞り部19aのピンホールを通過するので、
第1の受光素子19bの受光量が著しく大きくなる。逆
に、レーザ光L1が対象物W上で焦点を結んでいなと、
レーザ光L1の大部分が光絞り部19aのピンホールを
通過しないので、第1の受光素子19bの受光量が著し
く小さくなる。したがって、レーザ光学系1による走査
領域のうち、焦点の合った部分について明るい映像が得
られ、それ以外の部分については暗い映像が得られる。
なお、レーザ光学系1は単色のレーザ光L1を用いた共
焦点光学系であるから、分解能に優れた輝度情報が得ら
れる。
【0057】次に、白色光光学系2について説明する。
白色光光学系2は、光源として色情報用の照明光である
白色光L2を出射する白色光源20を有する。白色光源
20から出射された白色光L2は、第2のコリメートレ
ンズ21を通過した後、第1のハーフミラー22により
反射され、対物レンズ17によりレーザ光L1の走査領
域と同一の箇所に集光される。
【0058】対象物Wで反射された白色光L2は、対物
レンズ17、第1のハーフミラー22および第2のリレ
ーレンズ16を透過し、さらに、第2のハーフミラー2
3で反射され、カラーCCD24の表面で結像する。す
なわち、カラーCCD24は、光絞り部19aと共役な
いし共役に近い位置に配設されている。
【0059】カラーCCD24は、CCD駆動回路43
により駆動される。カラーCCD24の出力信号は、ア
ナログカラー撮像信号として、CCD駆動回路43およ
び第2の増幅回路43aを介して第2のA/Dコンバー
タ(アナログ・デジタル変換器)42に出力される。第
2のA/Dコンバータ42からカラー撮像情報が出力さ
れる。
【0060】第1のA/Dコンバータ41からの輝度情
報および第2のA/Dコンバータ42からのカラー撮像
情報に所定の処理を行うことにより、カラー映像信号が
得られ、カラーの拡大画像が表示装置に映し出される。
【0061】図4(a),(b)は図1の共焦点顕微鏡
100のレボルバ回転位置検出装置の第1の例を示すそ
れぞれ平面図および断面図、図5は図4(a)のレボル
バ回転位置検出装置のA−A断面図である。
【0062】図4(a),(b)および図5において、
取り付け部材56は、図1の光学系搭載部50の下面に
固定されている。レボルバ53は取り付け部材56に回
転可能に装着されている。
【0063】レボルバ53の中央部は、下方に張り出し
ており、レボルバ53の回転中心に関して等角度間隔で
4つの対物レンズ取り付け孔7a,7b,7c,7dが
設けられている。これらの対物レンズ取り付け孔7a,
7b,7c,7dに図1の対物レンズ17a,17b,
17c,17dがそれぞれ取り付けられる。
【0064】また、対物レンズ取り付け孔7dと対物レ
ンズ取り付け孔7aとの間に磁石N1が配置され、対物
レンズ取り付け孔7aと対物レンズ取り付け孔7dとの
間に磁石N2が配置され、対物レンズ取り付け孔7bと
対物レンズ取り付け孔7cとの間に磁石S1が配置さ
れ、対物レンズ取り付け孔7cと対物レンズ取り付け孔
7dとの間に磁石S2が配置されている。これらの磁石
N1,N2,S1,S2は、レボルバ53の回転中心と
同心の円周上に位置している。
【0065】なお、磁石N1,N2は、取り付け部材5
6にN極が面するように取り付けられ、磁石S1,S2
は、取り付け部材56にS極が面するように取り付けら
れている。
【0066】取り付け部材56の中央部は、レボルバ5
3と同様に下方に張り出しており、中央部から偏心した
位置に円筒部56aが形成されている。この円筒部56
a内に光路が形成される。円筒部56aの両側の取り付
け部材56上には、1対のホール素子58a,58bが
取り付けられている。
【0067】ホール素子58a,58bは、レボルバ5
3の回転に伴う磁石N1,N2,S1,S2の移動経路
にほぼ対向するように配設されている。
【0068】レボルバ53の外周面には、対物レンズ取
り付け孔7a,7b,7c,7dに対応して複数の突起
部54が形成されており、各突起部54には凹溝54a
が形成されている。
【0069】レボルバ53の外周部側の所定位置に回転
停止部材55が固定されている。レボルバ53を回転さ
せた際に、突起部54の凹溝54aが回転停止部材55
に係合することにより、対物レンズ17a,17b,1
7c,17dのいずれか1つが円筒部56aに位置決め
される。図3のレーザ光L1および白色光L2は、取り
付け部材56の円筒部56aを通過し、対物レンズを透
過した後、対象物に照射される。このとき、ホール素子
58a,58bのそれぞれは、磁石N1,N2,S1,
S2のいずれかと対向する。
【0070】図6はホール素子58a,58bの特性を
説明するための図である。ホール素子は、板状の半導体
の対向する1対の側面にその半導体内に電流を流すため
の電極が設けられ、他の対向する1対の側面にホール効
果によって生じる電圧を取り出すための電極が設けられ
た構造を有する。ホール効果は、電流が流れているホー
ル素子に磁界を加えることにより生じる。
【0071】図6において、縦軸はホール素子58a,
58bの出力電圧を示している。ホール素子58a,5
8bに磁石のN極を近づけた場合に正の電圧+Vが出力
され、磁石を近づけない場合には出力電圧はゼロとな
り、磁石のS極を近づけた場合には負の電圧−Vが出力
される。以下、出力電圧が正の状態をH、出力電圧がゼ
ロの状態をZ、出力電圧が負の状態をLと称する。
【0072】図4(a)に示す状態におけるホール素子
58a,58bの出力電圧は、それぞれHおよびHであ
る。矢印Bの方向にレボルバ53を90°回転させる
と、ホール素子58a,58bの出力電圧はHおよびL
となり、さらに90°回転させるとLおよびLとなり、
さらに90°回転させるとLおよびHとなる。これによ
り、対物レンズ17a,17b,17c,17dをホー
ル素子58a,58bの出力電圧の状態の組み合わせに
対応付けることができる。したがって、ホール素子58
a,58bの出力電圧の状態の組み合わせを検出するこ
とにより、円筒部56aに位置する対物レンズを判別す
ることができる。
【0073】図7は図1の共焦点顕微鏡の信号処理系の
構成を示すブロック図である。ホール素子バイアス回路
90a,90bは、それぞれホール素子58a,58b
に動作電流を与える。ホール素子58a,58bは、加
えられた磁界に対応して電圧v1,v2を出力する。信
号増幅回路91a,91bは、ホール素子58a,58
bから出力される電圧v1,v2を増幅し、電圧V1,
V2を出力する。
【0074】レベル判定回路92a,92bは、信号増
幅回路91a,91bから出力される電圧V1,V2の
状態がH、LおよびZのいずれであるかをそれぞれ判定
し、その判定結果をレベル情報としてデコード回路93
に与える。
【0075】デコード回路93は、レベル判定回路92
a,92bから与えられるレベル情報の組み合わせに基
づいて対物レンズ17a,17b,17c,17dのい
ずれが図4の円筒部56aに位置するか判別し、その判
別結果を判別データDTとして出力する。判別データD
Tは、インタフェース回路94を介してCPU(中央演
算処理装置)95に与えられる。
【0076】なお、ホール素子バイアス回路90a,9
0b、ホール素子58a,58b、信号増幅回路91
a,91b、レベル判定回路92a,92b、デコード
回路93および図4に示した磁石N1,N2,S1,S
2がレボルバ回転位置検出装置200を構成する。
【0077】インタフェース回路94には、画像データ
を記憶するためのフレームメモリ98およびモニタ等の
表示装置99が接続されるとともに、各種指令およびデ
ータを入力しかつ各種データを出力するためのマウス、
キーボード、プリンタ等の入力デバイス97が接続され
ている。
【0078】CPU95は、レーザ光学系1のレーザ駆
動回路44および白色光光学系2の白色光源20を制御
するとともに、第1のA/Dコンバータ41から出力さ
れる輝度情報および第2のA/Dコンバータ42から出
力されるカラー撮像情報を処理し、画像データをインタ
フェース回路94を介してフレームメモリ98に与え
る。
【0079】メモリ96には、対物レンズ17a,17
b,17c,17dごとに、レーザ光L1および白色光
L2の最適な光量に関する第1の補正パラメータが記憶
されている。CPU95は、判別データDTに基づい
て、メモリ96に記憶されている第1の補正パラメータ
のうち該当する第1の補正パラメータを選択し、その第
1の補正パラメータに基づいてレーザ駆動回路44およ
び白色光源20を制御することによりレーザ光L1およ
び白色光L2の光量を補正する。
【0080】受光素子89およびカラーCCD24の感
度は光量により変化するため、メモリ96には、対物レ
ンズ17a,17b,17c,17dごとに第1の増幅
回路19dおよび第2の増幅回路43aにおける最適な
利得およびオフセットに関する第2の補正パラメータが
記憶されている。CPU95は、判別データDTに基づ
いて、メモリ96に記憶されている第2の補正パラメー
タのうち該当する第2の補正パラメータを選択し、その
第2の補正パラメータに基づいて第1の増幅回路19d
および第2の増幅回路43aの利得およびオフセットを
補正する。
【0081】表示装置99は、フレームメモリ98に記
憶されている画像データを対象物の画像として表示する
とともに、図8に示すように、カーソル99a、測定値
99bおよび目盛り99cを表示する。カーソル99a
は、図7に示す入出力デバイス97のマウスまたはキー
ボードを操作することにより移動する。カーソル99a
の移動に伴い、測定値99bが変化する。
【0082】観察に用いる対物レンズの倍率により、表
示すべき測定値99bおよび目盛り99cが異なるた
め、メモリ96には、対物レンズ17a,17b,17
c,17dごとに倍率に関する第3の補正パラメータが
記憶されている。CPU95は、判別データDTに基づ
いて、メモリ96に記憶されている第3の補正パラメー
タのうち該当する第3の補正パラメータを選択し、その
第3の補正パラメータに基づいて測定値および目盛りに
関するデータを補正し、その補正結果を表示補正データ
としてフレームメモリ98に書き込む。表示装置99
は、フレームメモリ98に記憶された表示補正データに
基づいて、測定値99bおよび目盛り99cを表示す
る。
【0083】なお、CCD駆動回路43によりカラーC
CD24の電荷の取り込みタイミングを制御することに
より、白色光光学系2の電子シャッタのスピードを制御
することができる。この場合にも、メモリ96に対物レ
ンズ17a,17b,17c,17dごとに最適な電子
シャッタのスピードに関する補正パラメータを記憶さ
せ、CPU95が判別データDTに基づいてメモリ96
に記憶されている補正パラメータのうち該当する補正パ
ラメータを選択し、その補正パラメータに基づいて電子
シャッタのスピードを設定してもよい。
【0084】本実施例では、対物レンズ17a,17
b,17c,17dが対物レンズに相当し、レボルバ5
3がレボルバに相当し、磁石N1,N2,S1,S2が
磁石に相当し、ホール素子58a,58bがホール素子
に相当し、デコード回路93が判別手段に相当する。ま
た、レーザ10および白色光源20が光源に相当し、第
1の受光素子19bおよびカラーCCD24が受光素子
に相当し、レーザ光学系1および白色光光学系2が光学
系に相当し、CPU95が設定手段に相当し、第1の増
幅回路19dおよび第2の増幅回路43aが増幅器に相
当する。さらに、CPU95、フレームメモリ98およ
び表示装置99が画像表示手段を構成する。
【0085】図9は図1の共焦点顕微鏡100における
CPU95の処理を示すフローチャートである。
【0086】まず、レボルバ回転位置検出装置200が
レボルバ53の回転位置を検出し、判別信号DTを出力
する(ステップS1)。
【0087】CPU95は、レボルバ回転位置検出装置
200から出力される判別信号DTに基づいてレボルバ
53の回転位置が変化したか否かを判別する(ステップ
S2)。レボルバ53の回転位置が変化していない場合
にはステップS1に戻る。
【0088】レボルバ53の回転位置が変化した場合に
は、CPU95は、判別信号DTに基づいて、レーザ光
L1および白色光L2の光量を補正し(ステップS
3)、第1の増幅回路19dおよび第2の増幅回路43
aにおける利得およびオフセットを補正し(ステップS
4)、表示装置99に表示すべき測定値および目盛りを
補正した後(ステップS5)、ステップS1に戻る。
【0089】本実施例の共焦点顕微鏡100に用いられ
るレボルバ回転位置検出装置200においては、4つの
磁石N1,N2,S1,S2および2つのホール素子5
8a,58bにより4つの対物レンズ17a,17b,
17c,17dのうち観察に用いる対物レンズを判別す
ることができる。
【0090】このように、磁石の数が少なく、かつ磁石
がレボルバ53の対物レンズ取り付け孔7a,7b,7
c,7d間の位置に配置されているので、レボルバ53
の構造が簡単になり、レボルバ53の強度を確保しつつ
レボルバ53の小型化および低コスト化を図ることがで
きる。
【0091】また、レボルバ53が装着される取り付け
部材56にホール素子58a,58bが取り付けられて
いるので、レボルバ回転位置検出装置200の小型化が
図られ、共焦点顕微鏡100の全体が大型化しない。
【0092】さらに、対物レンズ7a,7b,7c,7
d間の位置に磁石N1,N2,S1,S2が配置されて
いるので、磁石N1,N2,S1,S2間の距離および
ホール素子58a,58b間の距離を大きくすることが
できる。それにより、ホール素子58a,58bの各々
に加わる磁界が互いに干渉することが防止され、ホール
素子58a,58bの出力電圧を飽和レベルに設定する
ことが可能となる。その結果、磁石N1,N2,S1,
S2とホール素子58a,58bとの位置決め精度が緩
和される。したがって、レボルバ53の回転位置の検出
精度を確保しつつ製造コストを低減することができる。
【0093】また、磁石N1,N2,S1,S2間の距
離およびホール素子58a,58b間の距離を大きくす
ることができるので、レボルバ53の回転位置検出時の
S/N(信号対雑音比)が向上する。特に、本例では、
磁石のN極およびS極のみを用いることにより、ホール
素子58a,58bの出力電圧が正または負となる。し
たがって、レボルバ53の回転位置の検出時に十分高い
S/Nが得られる。
【0094】加えて、磁石N1,N2,S1,S2がレ
ボルバ53の内部に配置されているので、磁石N1,N
2,S1,S2に金属粉の付着による検出精度の低下が
起こらない。また、磁力によりレボルバ53の回転位置
を検出しているので、汚れによる検出精度の低下も起こ
らない。これらの結果、耐環境性が向上する。
【0095】さらに、観察に用いる対物レンズが変更さ
れたときに、その対物レンズに応じて自動的にレーザ光
L1の光量および白色光L2の光量が補正されるととも
に、第1および第2の増幅回路19d,43aの利得お
よびオフセットが補正され、かつ表示装置99に表示す
る測定値および目盛りが補正される。したがって、対物
レンズの変更に伴う各種設定の誤りおよび計測の誤りが
防止される。
【0096】図10はレボルバ回転位置検出装置の第2
の例を示す平面図である。図10のレボルバ回転位置検
出装置では、レボルバ53に2つの磁石N1,N2が取
り付けられている。図10のレボルバ回転位置検出装置
の他の部分の構成は、図4のレボルバ回転位置検出装置
の構成と同様である。
【0097】この場合、ホール素子58a,58bの出
力電圧は、図10に示す状態でHおよびHであり、矢印
Bの方向にレボルバ53を90°回転させると、Hおよ
びZとなり、さらに90°回転させるとZおよびZとな
り、さらに90°回転させるとZおよびHとなる。した
がって、対物レンズ17a,17b,17c,17dを
ホール素子58a,58bの出力電圧の状態の組み合わ
せに対応付けることができる。したがって、ホール素子
58a,58bの出力電圧の状態の組み合わせを検出す
ることにより、円筒部56aに位置する対物レンズを判
別することができる。
【0098】本例では、磁石のN極および磁石の存在し
ない状態を用いているので、レボルバ53の回転位置の
検出時のS/Nは第1の例に比べて低下するが、磁石の
数を第1の例の半分に低減することが可能となり、低コ
スト化をさらに図ることができる。
【0099】図11はレボルバ回転位置検出装置の第3
の例を示す平面図である。図11のレボルバ回転位置検
出装置においては、レボルバ53に5個の対物レンズ取
り付け孔7a,7b,7c,7d,7eが形成され、レ
ボルバ53に3個の磁石N1,N2,Sが取り付けられ
ている。磁石N1,N2,Sは、レボルバ53の対物レ
ンズ取り付け孔7a,7b,7c間の位置に配置されて
いる。なお、磁石Sは、取り付け部材56にS極が面す
るように取り付けられている。図11のレボルバ回転位
置検出装置の他の部分の構成は、図4のレボルバ回転位
置検出装置の構成と同様である。
【0100】この場合、ホール素子58a,58bの出
力電圧は、図11に示す状態でHおよびHであり、矢印
Bの方向にレボルバ53を72°回転させると、Hおよ
びLとなり、さらに72°回転させるとLおよびZとな
り、さらに72°回転させるとZおよびZとなり、さら
に72°回転させるとZおよびHとなる。したがって、
対物レンズ17a,17b,17c,17d,17eを
ホール素子58a,58bの出力電圧の状態の組み合わ
せに対応付けることができる。したがって、ホール素子
58a,58bの出力電圧の状態の組み合わせを検出す
ることにより、円筒部56aに位置する対物レンズを判
別することができる。
【0101】図12はレボルバ回転位置検出装置の第4
の例を示す平面図である。図12のレボルバ回転位置検
出装置と図4のレボルバ回転位置検出装置と異なるの
は、図4(a)の磁石N1,N2,S1,S2がレボル
バ53の対物レンズ取り付け孔7a,7b,7c,7d
の間に取り付けられているのに対し、図12の磁石N
1,N2,S1,S2はレボルバの中央部に取り付けら
れている点である。図12のレボルバ回転位置検出装置
の他の部分の構成は、図4のレボルバ回転位置検出装置
の構成と同様である。
【0102】この場合のホール素子58a,58bの出
力電圧は、図12に示す状態でHおよびHであり、矢印
Bの方向にレボルバ53を90°回転させるとHおよび
Lとなり、さらに90°回転させるとLおよびLとな
り、さらに90°回転させるとLおよびHとなる。した
がって、対物レンズ17a,17b,17c,17dを
ホール素子58a,58bの出力電圧の状態の組み合わ
せに対応付けることができる。したがって、ホール素子
58a,58bの出力電圧の状態の組み合わせを検出す
ることにより、円筒部56aに位置する対物レンズを判
別することができる。
【0103】なお、上記実施例では、本発明を対象物か
らの反射光を受光する共焦点顕微鏡に適用した場合につ
いて説明したが、本発明は、対象物からの透過光を受光
する他の顕微鏡にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における共焦点顕微鏡の側面
図である。
【図2】図1の共焦点顕微鏡の光学系搭載部、間接取り
付け部および台座の組み立て構造を示す斜視図である。
【図3】図1の共焦点顕微鏡の光学系搭載部に搭載され
る光学系の一例を示す概略構成図である。
【図4】図1の共焦点顕微鏡のレボルバ回転位置検出装
置のそれぞれ平面図および断面図である。
【図5】図4(a)のレボルバ回転位置検出装置のA−
A断面図である。
【図6】ホール素子の特性を説明するための図である。
【図7】図1の共焦点顕微鏡の信号処理系の構成を示す
ブロック図である。
【図8】表示装置の表示画面を説明するための図であ
る。
【図9】図1の共焦点顕微鏡におけるCPUの処理を示
すフローチャートである。
【図10】レボルバ回転位置検出装置の第2の例を示す
平面図である。
【図11】レボルバ回転位置検出装置の第3の例を示す
平面図である。
【図12】レボルバ回転位置検出装置の第4の例を示す
平面図である。
【符号の説明】
1 レーザ光学系 2 白色光光学系 7a,7b,7c,7d 対物レンズ 10 レーザ 19d 第1の増幅回路 20 白色光源 43a 第2の増幅回路 53 レボルバ 58a,58b ホール素子 93 デコード回路 95 CPU 99 表示装置 99a カーソル 99b 測定値 99c 目盛り N1,N2,S1,S2,S 磁石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 高志 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目3番14 号 株式会社キーエンス内 Fターム(参考) 2H052 AD33

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2以上のn個の対物レンズが取り付けら
    れるレボルバの回転位置を検出するレボルバ回転位置検
    出装置であって、 前記レボルバの回転中心と同心の円周に沿って前記レボ
    ルバに取り付けられた前記n個以下の複数の磁石と、 前記レボルバの回転に伴う前記複数の磁石の移動経路に
    ほぼ対向するように配設された複数のホール素子と、 前記複数のホール素子の出力電圧の状態の組み合わせか
    ら前記複数の対物レンズのうち所定位置にある対物レン
    ズを判別する判別手段とを備えたことを特徴とするレボ
    ルバ回転位置検出装置。
  2. 【請求項2】 複数の対物レンズが取り付けられたレボ
    ルバの回転位置を検出するレボルバ回転位置検出装置で
    あって、 前記レボルバの回転中心と同心の円周に沿って前記複数
    の対物レンズ間における前記レボルバの内部の位置に取
    り付けられた複数の磁石と、 前記レボルバの回転に伴う前記複数の磁石の移動経路に
    対向するように配設された1以上のホール素子と、 前記1以上のホール素子の出力電圧の状態から前記複数
    の対物レンズのうち所定位置にある対物レンズを判別す
    る判別手段とを備えたことを特徴とするレボルバ回転位
    置検出装置。
  3. 【請求項3】 2以上のn個の対物レンズが取り付けら
    れるレボルバと、 光を出射する光源と、 受光量に対応する受光信号を出力する受光素子と、 前記光源から出射された光を前記複数の対物レンズのう
    ち所定の光路に位置する対物レンズを通して対象物に照
    射するとともに対象物からの反射光または透過光を前記
    受光素子に導く光学系と、 前記受光素子から出力される受光信号を処理することに
    より画像を表示する画像表示手段と、 前記レボルバの回転中心と同心の円周に沿って前記レボ
    ルバに取り付けられた前記n個以下の複数の磁石と、 前記レボルバの回転に伴う前記複数の磁石の移動経路に
    ほぼ対向するように配設された複数のホール素子と、 前記複数のホール素子の出力電圧の状態の組み合わせか
    ら前記複数の対物レンズのうち前記所定の光路に位置す
    る対物レンズを判別する判別手段と、 前記判別手段の判別結果に応じて前記光源および前記画
    像表示手段の少なくとも一方のパラメータを設定する設
    定手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡。
  4. 【請求項4】 複数の対物レンズが取り付けられるレボ
    ルバと、 光を出射する光源と、 受光量に対応する受光信号を出力する受光素子と、 前記光源から出射された光を前記複数の対物レンズのう
    ち所定の光路に位置する対物レンズを通して対象物に照
    射するとともに対象物からの反射光または透過光を前記
    受光素子に導く光学系と、 前記受光素子から出力される受光信号を処理することに
    より画像を表示する画像表示手段と、 前記レボルバの回転中心と同心の円周に沿って前記複数
    の対物レンズ間における前記レボルバの内部の位置に取
    り付けられた複数の磁石と、 前記レボルバの回転に伴う前記複数の磁石の移動経路に
    対向するように配設された1以上のホール素子と、 前記1以上のホール素子の出力電圧の状態から前記複数
    の対物レンズのうち前記所定の光路に位置する対物レン
    ズを判別する判別手段と、 前記判別手段の判別結果に応じて前記光源および前記画
    像表示手段の少なくとも一方のパラメータを設定する設
    定手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡。
  5. 【請求項5】 前記パラメータは前記光源の光量を含む
    ことを特徴とする請求項3または4記載の顕微鏡。
  6. 【請求項6】 前記画像表示手段は、前記受光信号を増
    幅する増幅器を含み、前記パラメータは前記増幅器の利
    得およびオフセットの少なくとも一方を含むことを特徴
    とする請求項3〜5のいずれかに記載の顕微鏡。
  7. 【請求項7】 前記画像表示手段は、画像とともに前記
    所定の光路に位置する対物レンズの倍率に関する情報を
    表示する表示手段を含み、前記パラメータは、前記倍率
    に関する情報を含むことを特徴とする請求項3〜6のい
    ずれかに記載の顕微鏡。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1205780A1 (de) * 2000-11-09 2002-05-15 Leica Microsystems Wetzlar GmbH Mikroskop
JP2011137642A (ja) * 2009-12-25 2011-07-14 Olympus Corp 位置検出装置
JP2018077316A (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 株式会社ニコン 位置判別装置、顕微鏡装置、位置判別方法、顕微鏡装置の制御方法、及びプログラム
JP2019074692A (ja) * 2017-10-18 2019-05-16 株式会社キーエンス 拡大観察装置
CN113163238A (zh) * 2020-01-22 2021-07-23 海信视像科技股份有限公司 显示设备和控制方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1205780A1 (de) * 2000-11-09 2002-05-15 Leica Microsystems Wetzlar GmbH Mikroskop
JP2011137642A (ja) * 2009-12-25 2011-07-14 Olympus Corp 位置検出装置
JP2018077316A (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 株式会社ニコン 位置判別装置、顕微鏡装置、位置判別方法、顕微鏡装置の制御方法、及びプログラム
JP2019074692A (ja) * 2017-10-18 2019-05-16 株式会社キーエンス 拡大観察装置
CN113163238A (zh) * 2020-01-22 2021-07-23 海信视像科技股份有限公司 显示设备和控制方法
CN113163238B (zh) * 2020-01-22 2022-10-25 海信视像科技股份有限公司 显示设备和控制方法

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