JP2000329707A - 構築面の質を判定する装置及びその方法 - Google Patents

構築面の質を判定する装置及びその方法

Info

Publication number
JP2000329707A
JP2000329707A JP2000059648A JP2000059648A JP2000329707A JP 2000329707 A JP2000329707 A JP 2000329707A JP 2000059648 A JP2000059648 A JP 2000059648A JP 2000059648 A JP2000059648 A JP 2000059648A JP 2000329707 A JP2000329707 A JP 2000329707A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
quality
light
measurement
quantitatively
construction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000059648A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5008785B2 (ja
Inventor
Peter Schwartz
ペーター・シュヴァルツ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BYK Gardner GmbH
Original Assignee
BYK Gardner GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BYK Gardner GmbH filed Critical BYK Gardner GmbH
Publication of JP2000329707A publication Critical patent/JP2000329707A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5008785B2 publication Critical patent/JP5008785B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/57Measuring gloss
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8845Multiple wavelengths of illumination or detection

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構築面の質の再現可能な評価を可能にする装
置を提供することである。 【解決手段】 少なくとも一つの光源を備えた第1の光
学手段と、測定面から反射された光を受ける測定面に対
して所定の角度で配置した第2の光学手段と、測定シー
ケンスを制御するために備えられ、少なくとも一つのプ
ロセッサー手段と少なくとも一つのメモリ手段とを備え
た評価手段と、出力手段とを備え、第1の光学手段から
の放射光が測定面の一部である測定面上で所定の角度に
方向付けられており、第2の光学手段が少なくとも一つ
の感光面を有する少なくとも一つのフォトセンサーを備
え、少なくとも一つのフォトセンサーが反射光に特徴的
な電気測定信号を発し、第1の光学手段と第2の光学手
段とが反射光が測定面の構造に影響されるように配置さ
れ、評価手段が反射光を評価し、面の少なくとも一つの
構造付随特性を表す少なくとも一つの構造変数を導出す
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は構築された面(stru
ctured surface)の品質を判定する装置及び方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】面ある
いは構築された面の品質は、人の観察のための面の外観
を判定する物理的特性として理解されるべきものであ
る。
【0003】特に構築面(structured surface)を識別
する特性は、構造、色、明度(color brightness)、像
の鮮明度(DOI)、くもり(haze)、面組織(surfac
e texture)及び面リップル(みかん膚)等を含む。
【0004】可視面特性の性質は、日常生活における対
象物、例えば、様々なタイプの家具あるいは自動車等の
ような消費財の本質的な要素である。
【0005】自動車技術の範囲内では、様々な値が可視
面によって形成された視覚的印象をもとにしている。以
下では、面の工夫において生ずる技術的問題について、
応用の範囲に関する本発明のいかなる制限もなく、かな
り詳細に説明する。
【0006】自動車の車体は、例えば、家具のような他
の面における対応する値より、はるかに優れた反射特性
あるいは光沢特性を有する高い光沢あるいは金属仕上げ
を備えている。施されるべき仕上げに対する高い光沢及
び施される比較的大きな面は、仕上げの際に、仕上げる
べき面の非常に精密な準備と特に高い注意深さとを必要
とする。
【0007】 面の視覚的特性及び特に反射の挙動を判
定する様々な方法、装置及び設備は、独国特許第44 34
203号公開公報に記載されたような従来技術において周
知である。
【0008】さらに、自動車産業では、例えば、木のよ
うな材料からあるいはプラスチックから成る自動車の内
部内の複数の処理され構築された面を利用している。
【0009】構築された面の視覚的外観は、前述の他の
視覚的パラメータによっても判定されるが、原理的に面
構造の識別性に依存する。
【0010】今日の自動車メーカーは、多くの検査員を
雇い、製造段階の間でさえ、面の質的欠陥を識別するた
めに、面の質を視覚的に、あるいは自動的に検査する多
くの高コストの大型の測定装置を活用する。しかしなが
ら、この方法はいろいろな欠点を伴う。
【0011】外観検査の仕事は、非常に大変であり、か
つ、常時精密に定義した照明条件を有するワーク条件
(work bays)を必要とする。しかしながら、同じ仕上
げ面を評価するとき、異なる検査員間には大きな不一致
が存在する。なぜなら、ある特性に関しては、個々の生
理的感想が検査員によって異なり、また、他の特性につ
いては、個々の検査員の視力がその検査員自身の体格
(physical constitution)にも依存するからである。
【0012】そのため、達しない試験片が不合格とな
り、低質の閾値の判定において大きな困難が生ずる。
【0013】さらに、熟練検査員によってさえ仕上げむ
らあるいは同様の不具合の原因を突き止めることは非常
に難しい。特に構築された面に関しては、外観が様々な
パラメータの組み合わせによって判定される。というの
は、例えば、質を改善するために自動仕上げ装置の制御
値を修正することは、実施される観察及び測定のために
困難になるからである。
【0014】構築されたプラスチック面は、利用される
鋳造、浮き彫りロール(embossingroll)等が剥離によ
る摩耗を受けるスタンプ処理(stamping procedure)に
よってしばしば製造される。鋳造面の数が多くなると、
利用される型の構造及びそれによるプラスチック面の構
造は劣化し続ける。製造の質と量は使用される鋳造器具
の規則的な置き換えによって最適化することができる。
一方、これらの道具の寿命は材料の組成の揺らぎあるい
は環境条件の揺らぎによって変わるので、仕仕上げられ
た構築面を製造するのに十分な質を落とす前にさえ、そ
れらの道具は一般に規則的な基礎に基づいて交換され
る。
【0015】構築面は、断面積における面プロファイル
を表す面構造を有する構築面だけでなく、矛盾なくある
いは統計的分布において面プロファイル加えて、あるい
は面プロファイルの代わりに異なる視覚的特性を表す構
築面が利用される。
【0016】このような面が、例えば、高い光沢を示す
面の部分と低い光沢を示す面の部分とから成る。これら
の面が面プロファイルを示さないかあるいは非常に小さ
い面プロファイルしか示さないときにさえ、観察者は前
記面に対して識特有の面構造を見る。観察者にとっての
視覚的印象は、高い光沢を有する(あるいは高い反射率
を示す)面の部分と低い光沢を有する(あるいは低い反
射率を示す)面の部分との間の関係に依存する。類似と
して、同じことが他の特徴的視覚的パラメータに対して
適用される。
【0017】例えば、構築面は高い光沢部分と低い光沢
部分とから成る場合に、個々の部分は、全面に対する積
分光沢に対する光沢領域として考慮することが可能であ
る。この特性はそれらの比あるいは差で定義可能な光沢
被覆である。“光沢領域”の概念を導入することあるい
は定義することは、光沢パラメータが対応する光沢領域
に関係する各面部(高い光沢、低い光沢)に対して定義
可能なこのような面においてはるかに曖昧さのない表現
を可能にする。
【0018】視覚的テストは二、三あるいは多くの光沢
効果の面によって特徴付けられたこのような面を評価す
ることは非常に困難である。というのは、検査員は、個
々の面要素のサイズによって、主に構築面の全印象を知
覚するからである。この結果、個々の面要素及びそれに
よる全面について詳細な評価をすることが困難ととな
る。
【0019】このような多重光沢効果面の例には二重光
沢フォイル、あるいはまた、革あるいは合成革面を有す
る焼結皮が含まれる。
【0020】面の光沢パラメータ、くもり、像の鮮明度
(DOI)及びリップルに加えて、面の個々の部分
(“領域”)は、このような構築面を評価するときに重
要である。
【0021】例えば、面の光沢あるいは像の鮮明度(D
OI)を検査するのに自動で作動するを使用するとき
は、定量的な数値尺度を得ることができる。しかしなが
ら、自動外観検査における決定的な欠点は、テストされ
る外観特性に対する値を確かめることができるが、ユー
ザーがそれらの原因についての情報を受け取らないこと
である。
【0022】従来の測定装置のさらなる欠点は、かなり
スペースを必要とし、そのため、ユーザーが持ち運びで
きないことである。
【0023】
【課題を解決するための手段】従って、本発明の目的
は、被覆面特に構築面の質の再現可能な評価を可能にす
るものであって、かつ、その構造に依存する面の代表的
な特徴が決定できるように、測定される面の物理的変数
を決めることができるようなタイプの導入部で特定した
方法及び装置を提供することである。
【0024】本発明の目的の他の態様は、ユーザーが楽
に持つことができ、かつそれを操作して他の補助器具を
利用することなく面を評価することができるように、構
造上より小型でかつ簡易な装置を提供することである。
【0025】本発明の目的の他の態様は、本発明の目的
の前述の態様に対応して小型の構造であるにもかかわら
ず、従来装置の周知の状態に比較してかなり広範な測定
可能性を提供する外観特性測定装置を提供することであ
る。
【0026】本発明の目的の他の態様は、構造に依存し
て、面の代表的特徴を有利に規定することを可能にする
方法を示すことである。
【0027】これらの目的は、請求項1に記載の本発明
に対応して達成される。本発明による方法は請求項45
の主題を備えている。
【0028】本発明の好適な実施形態は、従属項の主題
を含んでいる。
【0029】本発明による装置においては、測定される
面の領域に対して所定の角度に光が向いた一あるいは複
数の光源を有する第1の光学手段を備えている。
【0030】測定面の前記領域で反射される光は、一あ
るいは複数の光感知フォトセンサーを有し、かつ前記測
定面に対して第2の所定の角度で配置した第2の光学手
段によって受光される。
【0031】少なくとも一あるいは複数の感光面前記フ
ォトセンサーあるいはセンサーは、反射光に対して特徴
的な電気測定信号を出力する。ここで、前記第1及び第
2の光学手段は、反射光が前記測定面の構造によって影
響されるように配置する。
【0032】本発明による装置には、測定プロセスシー
ケンスを制御するために、評価手段を備えている。この
評価手段は、少なくとも一つのプロセッサ手段と少なく
とも一つのメモリ手段とを有し、かつ反射光を評価する
ものである。また、この評価手段は、構造に依存する少
なくとも一つの前記面特性を表す少なくとも一つの構造
変数から導かれるものである。
【0033】本発明による装置において配置した出力
は、測定値を中継するものである。
【0034】前記評価手段は、メモリ手段に格納された
プログラムを利用して測定信号を評価するものであり、
本発明の好適な実施形態では、メモリ手段に前記測定信
号及び/又は測定値を格納するものである。
【0035】本発明の他の好適な実施形態では、複数の
フォトセンサーが第2の光学手段に備えられており、か
つ列及び/又は行に配置されていてもよい。
【0036】従来装置に対照すると、本発明の装置にお
けるフォトセンサーは共通基板上に配置されていてもよ
い。各フォトセンサーは、共通面上の感光面に対して接
点を有していてもよい。フォトセンサーにおいては、該
センサーが測定装置内で所定の反射角範囲に対応するよ
うに、各感光センサーの面を選択し、あるいは選択可能
である。
【0037】本発明による装置は様々な利点を有する。
【0038】構築された面あるいは構築されていない面
の形成の間、製造シーケンスの制御に対する実質的な前
提条件は、光学的品質あるいは面の外観の判定である。
面上で反射される光を分析することによって、面品質を
特徴付ける構造変数が導入される。従来の外観あるいは
自動測定法は、構築面の構造に対する変数を決定はしな
い。
【0039】これは、特に、構築面の構造プロファイル
が前記面の全外観に決定的に貢献する。
【0040】スタンプ、鋳造あるいは他の処理を利用す
ることによって、使用される型が摩耗することになる。
その重大さは、他のものの中で、形成される構築面の数
に依存する。形成された構築面の部分の数に加えて、同
様に他の状況が形成される面の質に影響を及ぼすに際し
て重大な役割を演じる。この要素は、大気の湿度、気体
の温度、及び材料の温度のような環境的条件を含んでい
る。
【0041】従来の形成過程において、形成面の一様で
均一な高い品質を保証するために、ある一定数のスタン
プされる部位あるいは鋳造される部位が形成された後、
あるいはある時間が経過した後に、使用された型を交換
しなければならない。
【0042】この手順は不必要な高価な出費につなが
る。なぜなら、一方で十分な品質の道具がしばしば交換
され、他方で、環境的影響あるいは不均一性及び/又は
材料における変動によって、道具が計算された交換デー
タより前に摩耗してしまうからである。
【0043】規則的制御システムが消耗のし過ぎを回避
する一つの可能性である。しかしながら、器具及び道具
を検査するために、製造シーケンスを停止しなければな
らない。それによって、中断時間につながる。
【0044】本発明による装置によって、実際の進行中
の製造シーケンス中に構築面の面を容易に、迅速に、か
つ信頼性高く判定することが可能になる。このため、受
容できない道具の劣化が、時を得た形で判定可能であ
り、かつ不必要な製造システム中断時間が回避可能とな
る。
【0045】本発明による装置を応用する際の他の利点
は、製造過程で利用する器具、型、浮き彫りロール、及
び他の装備の不必要な頻繁な交換は起きない。そのた
め、製造コストが低下する。
【0046】本発明による装置の他の根本的な利点は、
小型の構成である;ユーザーはいつでも装置を持ち運び
可能である。
【0047】この理由のため、本発明による装置も、最
後のハードトゥリーチ(hard-to-reach)抜き取り検査
に対して、あるいは複数の構築面が見つけられる自動車
内のような内部領域において、適している。
【0048】このような小型に構成された装置の他の利
点は、凹型あるいは凸型曲面の質も容易に及び信頼性高
く判定することができる。
【0049】他の利点は、本発明による装置がテストさ
れる面の色々な異なる部位を迅速にかつ容易に測定し
て、表面領域全体にわたる質の分布及び/又は再現性を
評価することができる。
【0050】異なる外観特性を示す部位あるいは表面要
素を有する構築面を使った応用に対して特に適当であ
る、本発明による装置の一あるいは複数の前述の構成の
好適な実施形態において、制限的ではないが、少なくと
も一つのパラメータを、各タイプの表面要素の外観特性
を特徴づける少なくとも一つに対して判定する。
【0051】発明の装置の後に記載する構成の好適な実
施形態では、構築面の構造に対する変数が、個々のパラ
メータから判定される。しかしながら、構築面の表面要
素ののタイプ、個々の領域のそれぞれに対する外観パラ
メータを判定することも可能である。
【0052】本発明による装置は、構築面の個々の領域
あるいは表面部の特徴的な外観特性を判定するものであ
る。
【0053】本発明の好適な実施形態では、被覆厚測定
装置が、前記面に施した被覆層の厚さ、及び表面の部位
に施した被覆層の厚さを決定するために備えられてい
る。被覆厚測定装置は、決定される表面の、あるいは表
面の部位の被覆厚を表す電気的被覆厚出力信号を生ずる
一あるいは二以上の被覆厚センサーを備えている。
【0054】一あるいは二以上のプロセッサ手段を備え
た前記制御装置を測定過程を制御するために備え、被覆
厚出力信号を評価することによって一あるいは二以上の
被覆厚値を決定し、また、フォトセンサーによって受光
され測定面から反射された光を評価することによって測
定面の少なくとも一つの外観パラメータ特性を決定す
る。
【0055】前記出力手段は、測定面の被覆厚値と表面
の部位に関係する少なくとも一つの外観パラメータとを
示している。
【0056】面を仕上げる際の形成シーケンス過程を制
御するための実質的な前提条件は、面、及び面のそれぞ
れの外観品質を決定することである。上記の外観特性に
よって、被覆面及び/又は構築面の質を判定する外観パ
ラメータを決定してもよい。前記外観パラメータの他
に、表面被覆(被覆厚プロセス)の層厚、及び二あるい
は三以上の面の部位を有する構築面が、表面の質の判定
に対して重要なパラメータである。そして、これは従来
の外観あるいは自動測定方法によっては確かめることが
できないものである。
【0057】本発明の好適な実施形態による独創的装置
は、一あるいは二以上の外観パラメータだけでなく、被
覆面の本質的な特性をも表す被覆厚及び表面の個々の部
位の被覆厚を決定する。
【0058】被覆厚が表面の質を判定する際の非常に本
質的なパラメータであり、かつ被覆層厚が標準外観パラ
メータからのずれの原因に関する情報を含んでいるの
で、これが特に有利である。
【0059】不十分な量の仕上げを表面の被覆の間行っ
たならば、被覆は適切には広がらず、被覆厚において不
均一性が進んでしまう。仕上げが多すぎれば、表面リッ
プル(オレンジ皮)が生じてしまう。
【0060】ペイントを合成しかつ塗布する際、被覆基
板に対する顔料の方向が色の挙動及び他の外観特性にお
いてしばしば重要な役割をするので、顔料を塗布した被
覆内に浮いているようにこのプロセスが進む多くの場合
において注意が必要となる。
【0061】これと外観特性における変動の他の原因と
とが被覆厚を測定することによって信頼性高く決定され
る。
【0062】測定表面被覆厚及び外観特性とは、ずれの
原因を不完全に決定し、それによって被覆装置に対する
修正値を導くために非常に重要なパラメータを与えるも
のであるから特に有利である。
【0063】表面被覆形成処理の質の表示自体が、外観
パラメータと一の被覆されかつ構築された面あるいは二
以上の被覆面における様々な点でなされた測定から得ら
れた層厚データとを関係づけることによって難なくかつ
信頼性高く行うことができることも本発明の別の利点で
ある。
【0064】テストは、表面の光沢が、例えば、リップ
ル及び層厚の変動が例えば光沢及びくもりに影響を与え
るような層厚と関係していることを示している。
【0065】本発明の好適な実施形態においては、被覆
厚測定装置はいろいろな形で実現される。さらに好適な
独創的な構成においては、被覆厚測定装置は複数の異な
る被覆厚センサーを備えている。
【0066】被覆厚の判定は、例えば独国特許第43 33
419号公開公報において開示されているような周知の装
置及ぶ方法によって行ってもよい。
【0067】基板上の層厚を判定するには、通常、特定
のタイプの基板及び仕上げ剤に対して適した被覆厚セン
サーを使用しなければならない。層厚を測定するとき
は、磁気、非磁気、導電性、非導電性、鉄、非鉄の基板
及び被覆の識別を行う。
【0068】本発明の好適な実施形態では、永久磁石及
び磁束密度センサー手段を鉄基板上での層厚を測定する
のに用いる。ここで、本発明の別の好適な実施形態で
は、前記磁束密度センサー手段は、ホール効果センサー
手段で構成されている。磁束密度は永久磁石の一つの極
で決定し、そして被覆厚はそれから導く。
【0069】導電性基板上の非導電性被覆の層厚を測定
する際、渦電流効果を利用してもよい。
【0070】本発明の実施形態においては、コイルが導
電性基板の基板上に渦電流を誘起する。その渦電流は励
起コイル上に効果を有する反対の磁界を発生する。ここ
で、それから被覆の代表値を決定してもよい。本発明の
好適な実施形態では、前記コイルは渦電流測定コイルと
して実現される。
【0071】本発明の好適な実施形態では、被覆厚測定
装置は、被覆表面層厚の決定のための超音波送信機及び
超音波受信機手段を備えている。超音波の使用は、プラ
スチック基板の被覆厚の決定にとって特に有利である。
【0072】本発明の別の好適な実施形態は、レーザー
と熱音響手段によって被覆厚を決定する非接触方法に対
して提供したものである。さらに、レーザーを使った測
定表面の同時照射における音響衝撃を介して被覆厚を決
定することが可能である。
【0073】本発明の別の好適な実施形態では、サファ
イア探針又は硬い金属探針をゲージプローブ(gauge pr
obe)上に配置している。
【0074】本発明の別な好適な実施形態では、被覆厚
センサーは強磁性体芯のまわりに巻いたコイルを2つ備
えている。励起電流(excitation current)は第1のコ
イルを介して運ばれ、一方、第2のコイルの信号は層厚
を決定するために評価する。第1のコイルの低周波励起
電流(<500 Hz)によって、鉄基板上での非鉄層の層厚
を測定可能になる。ここで、高周波励起電流(>500 H
z)によって、非鉄導電性基板上での非導電性層の層厚
測定を可能になる。
【0075】さらに、例えば、磁気的に機能する、ある
いは磁気誘導的に機能する被覆厚測定処理のような、本
発明の実施形態における専門家に周知の通常の方法及び
装置を活用することも可能である。
【0076】本発明の別の好適な実施形態では、被覆厚
測定装置は測定面上の層厚を決定する2つの異なるセン
サー手段を備えている。少なくとも第1の層厚センサー
は磁気基板上の層厚を決定するのに備えられたものであ
り、また、少なくとも第2の層厚センサーは非磁気基板
上の層厚を決定するのに備えられたものである。
【0077】このタイプの実施形態は複数の利点を有す
る。様々なタイプのセンサーを使用することによって、
標準の通常使用するタイプの基板上の層厚を信頼性高
く、かつ再現性よく決定することができる。
【0078】被覆厚測定装置は様々な被覆厚センサーを
備え、そのため、様々なタイプの基板の層厚は本発明に
よる装置によって信頼性高く決定されることは特に有利
である。
【0079】車両の車体あるいは自動車の様々な点にお
ける被覆厚を決定するのに利用することが必要である装
置は唯一つの装置だけなので、このタイプの装置の実施
形態は特に有利である。
【0080】以前は、異なる基板に対して異なる装置を
使用することが必要だった。別の利点は、被覆厚決定に
加えて、少なくとも一つの外観パラメータも決定するこ
とができることである。
【0081】本発明の別な好適な実施形態では、光沢及
び/又はくもり及び/又は像の鮮明度(DOI)及び/
又は典型的な波長及びその振幅が、前記測定面、及び個
々の測定面の部位、及び構築面のタイプ(みかん膚)の
それぞれを決定する。みかん膚を決定するときは、波長
が所定の波長間隔であるいは複数の波長範囲で生じても
よい。さらに、測定面及び個々の測定面の部位のそれぞ
れのカラーあるいはカラー明度、あるいは各カラーのカ
ラー明度を決定することが可能である。
【0082】別の好適な実施形態では、測定面のタイプ
当たり二又は三以上の外観パラメータを決定する。この
実施形態は、層厚と結びついた二又は三以上の外観パラ
メータを決定することによって最も実質的な測定面パラ
メータを確かめるので特に有利である。
【0083】本発明の好適な実施形態では、外観変数あ
るいは外観パラメータの測定は、例えば、“Bergmann S
chaefer, “Lehrbuch der Eaperimentalphysik”{“Ex
perimental Physics Textbook”}, Vol.III, Optics,
第8版、1987年, Section 3.12,438頁-452頁に記載さ
れているような明視野、暗視野、脈理(striae)法ある
いは位相(phase)法に従って行うことができる。とこ
ろで、これに記載された測定法に対照して、テストされ
る表面はX線照射されず、表面の反射が評価される。脈
理(striae)あるいは暗視野法を使用する際には、反射
されてから焦点合わせが行うことができる平行光線によ
って表面が照明されることが好ましく、前記の部位は好
適には小さくかつ/又は円形のアパーチャーによってブ
ロックすることができる。反射光は、好適にはビームの
パスに配置された前記アパーチャー、測定装置とをそれ
ぞれ向いている。面構造及び/又は収差が、表面を評価
する際に使用されるセンサー上に実質的にマッピングさ
れる。
【0084】本発明の好適な実施形態では、前記第1の
光学手段から照射された光の少なくとも第1の部分は、
光のパターンを示している。前記第1の光学手段は、パ
ターン手段を備えていてもよい。本発明による装置のこ
の実施形態では、第1の光学手段の少なくとも一つの光
源から出射した光は、前記パターン手段において少なく
とも部分的に照射される。前記パターン手段を介して伝
達された光の振幅及び/又は位相は前記パターン手段の
対応するパターンによって影響される。
【0085】本発明の他の好適な実施形態では、前記パ
ターン手段から照射された光パターンは少なくとも一の
明/暗端あるいは複数の明/暗端を有しており、本発明
の別な実施形態では、前記の複数の明/暗端の少なくと
も一部は、少なくとも部分的に互いに平行に散乱され
る。
【0086】前記パターン手段のパターンは光軸につい
て対称に配列していてもよい。照射された光パターンが
複数の明/暗端を有する場合において、個々の明/暗端
が直線形状、円形形状あるいは正弦波形状を示してもよ
い。
【0087】好適な実施形態では、前記の複数の明/暗
端の少なくとも一部はグリッド、光子、あるいは円形の
形をしている。
【0088】検査された面、測定領域のそれぞれからの
光パターンの評価によって、結論がテストされる測定面
の質と構造について引き出されるので、テストされる面
上の光パターンの投影(projection)は特に有利であ
る。
【0089】前記光パターンが明から暗へとシャープな
変化を示さないが、投影された光の強度がいくらか正弦
形状あるいは鋸形形状へ影響を与えることは可能であ
る。
【0090】本発明のさらに好適な実施形態では、前記
第1の光学手段から伝達される光の第一の部分は、前記
光パターンを有する測定領域上を向いている一方、第2
の部分はその光パターンなしで前記領域上を向いてい
る。
【0091】しかしながら、本発明による装置のパター
ン手段は、光パターンを含んだり、光パターンを省く手
段である、代替の測定も可能であるよう、変更可能に形
成してもよい。
【0092】これは、個々の部分あるいは個々の画素を
所望の様々な異なる光パターンに連係させる、例えば、
LCD装置を備えたパターン手段に対して、所定の要求
に従って、迅速にかつ容易に調整しかつ/又はスイッチ
オフすることを可能にするものである。
【0093】反射された光パターンの少なくとも一部を
受ける、少なくとも一つの光センサーの信号を評価する
ことによって、前記評価手段が、構造において不測の表
面の少なくとも一つの特徴を表す構造変数(structual
variable)を決定することができる。
【0094】本発明のさらに好適な実施形態では、前記
評価手段が、前記フォトセンサーの電気及び/又はデジ
タル測定信号と列及び/又は列における次のフォトセン
サーの電気及び/又はデジタル測定信号との間で定義さ
れる差から、あるいは、電気及び/又はデジタル測定信
号とすぐ隣のあるいは対角線方向で隣接するフォトセン
サーの少なくとも一部の電気及び/又はデジタル測定信
号との差において、複数のフォトセンサーの少なくとも
一部に対する電気及び/又はデジタル測定信号のグラデ
ーションを決定する。
【0095】これは、測定信号の勾配及び特に光パター
ンを伴う照射における測定信号の勾配が、テストされる
測定表面の少なくとも一つの構造的不測の特性を表す構
造変数を導出するのによく適しているので、特に有利で
ある。
【0096】本発明のさらに好適な実施形態では、前記
評価手段は、前記フォトセンサー測定信号勾配の少なく
とも一部から少なくとも一つの平均を決定し、そして、
これから、表面の少なくとも一つの構造的不測の特性に
対する前記特性構造変数の少なくとも一つの平均を決定
する。
【0097】さらに、ヒストグラムは、これらグラデー
ションから決定してもよい。このグラデーションでは、
そのグラデーションを越える予め決めたあるいは可変の
勾配の範囲は、対応するインターバル、範囲のそれぞれ
においてプロットすることが可能である。この勾配中心
焦点及び/又は平均値を形成することによって、前記評
価手段が、前記表面の構造的不測の特性を代表する特性
構造変数を導出することができる。
【0098】本発明のこの好適な実施形態では、グラデ
ーションの少なくとも一部の決定を通して、かつ平均勾
配の定義を通して、測定表面に対する特性構造変数が迅
速にかつ信頼性高く決定することができる。
【0099】例えば、古いあるいは使い古した道具を構
築面の形成中に使用するときに得られる、尖ったところ
のないあるいは丸い表面構造は、より鋭い識別可能なプ
ロファイルを有する表面より、さらに拡散的に投影され
た光を反射する。
【0100】従って、本発明の装置のこのような実施形
態の利用によって、構造不測の特性を決定することが可
能となる。
【0101】本発明に対応する装置の他の好適な実施形
態では、測定表面の少なくとも一個、二個、三個、ある
いは四個以上の特徴的外観パラメータを、前記特徴的構
造変数に加えて決定する。
【0102】本発明の実施形態では、光沢あるいはくも
りあるいは像の鮮明度(DOI)、あるいは、典型的波
長の代表的測定、及び測定面被覆トポグラフィの振幅
(オレンジ皮)を決定する。
【0103】オレンジ皮の決定は、オレンジ皮の決定評
価する、所定の波長インターバルで行うが、波長の二つ
の、あるいは三つ以上の異なる波長範囲でも行う。さら
に、測定表面カラーあるいはカラー明度を決定すること
も可能である。
【0104】本発明の一つあるいは複数の上記記載の構
成の好適な実施形態では、独創的な装置は表面の曲率を
検出し、かつ同様に数的に決定することが好ましい。好
適には、測定の数学的補償は(局所的な)曲率の決定に
よって生ずる。
【0105】この実施形態では、光パターンは、上記の
構成及び実施形態の一つによってテストされる表面上に
投影されることが好ましい。
【0106】測定される面が曲率(凸型あるいは凹型)
を示すならば、その端部は、例えば、鋸型パターンを伴
った照明上で拡大され、あるいは、縮小される。(グリ
ッド、光子)パターンを伴う照明では、曲率は例えば個
々の線の間の間隔を決定することによって決定すること
ができる。曲率が決定されれば直ちに、測定装置から返
される外観測定値の訂正あるいは補償のための対応値を
適用することが可能となる。というのは、終端の結果、
すなわち、補償に続く測定値が実質的に表面曲率によっ
て影響を受けないからである。
【0107】上記の実施形態の一つあるいは二つ以上の
さらに好適な実施形態では、光学的にマッピングされる
深さの鮮鋭さ(シャープネス)は客観的に影響を受け、
減少しあるいは拡大して、測定される面の曲率に対して
補償することができるものである。
【0108】本発明のさらなる実施形態では、深さの鮮
鋭さは曲がった面では減少する。そして、測定面のマッ
ピングが不鮮明になり、測定結果が曲率によって全く影
響を受けないか、あるいは無視できるほどしか影響を受
けない。
【0109】本発明のさらに好適な実施形態では、面の
曲率は自動的に決定されかつ自動的に補償される。
【0110】本発明の一つあるいは複数の上記記載の構
成の好適な実施形態では、少なくとも一個、二個、三
個、あるいは四個以上の特性外観パラメータを、構築面
上の各表面要素のタイプに対して決定する。光沢及び/
又はくもり及び/又は像の鮮明度及び/又は個々の面の
要素のタイプのオレンジ皮を決定する。
【0111】例えば、光沢ドメインに対するパラメータ
のような個々のドメインに対するパラメータに沿って、
構築面の質を決定する構築面に対する変数を決定するこ
とも好ましい。この好適な実施形態は、構築面がそれら
の特性、特に外観特性において異なる少なくとも二つの
表面の要素のタイプを有する場合において特に有利であ
る。さらに、測定面に対する個々の外観パラメータの全
被覆を決定することが可能である。
【0112】本発明の他の好適な実施形態では、構造変
数に加えて、上記引用の特徴的な外観特性をさらに決定
する。
【0113】独創的な装置のこのような実施形態は、他
のものの中で、測定面の全活性的・貢献的外観物理的特
性をこの小型装置を使用することによって決定すること
ができる。
【0114】上述の全実施形態の有利な構成において、
第3の光学手段が、予め決めたスペクトル特性を有する
少なくとも一つの光を発生する光源を備え、かつ予め決
めた角度で測定面を向いて配置されている。
【0115】本発明による装置の上記の好適な実施形態
では、光が第1の光学手段から発して測定面へ入射する
予め決めた角度、及び/又は、第2の光学手段が測定面
から反射する光を受ける予め決めた角度、及び/又は、
第3の光学手段から発せられて光が前記測定面に向く予
め決めた角度は、個々に所望なように任意に調整しても
よく、また、測定面と光の対応角との間の測定面と光の
対応角との中間の角度(norm)から特に5°,10°,
15°,20°,30°,45°,60°,75°,8
0°及び85°の角度を含んでいる。しかしながら、こ
こで引用した角度のほかに他の角度も可能であることを
強調する。
【0116】このような実施形態では、前記光学手段の
少なくとも一つは位置が可変であることが好ましい。前
記位置の変化は、角度の変化によって自動的に起きても
よく、測定点の回りに回転可能である。入射角と射出角
とがそれぞれ同じままであるように、いくつかの光学手
段の同期的あるいは同時の移動も可能である。しかしな
がら、少なくとも一つの光学手段が測定する面に実質的
に垂直に移動可能であってもよい。この構成では、少な
くとも第1の光学手段及び第2の光学手段が測定する面
に垂直に移動可能であってもよい。そのため、前記第1
の光学手段から照射されかつ面で反射される光は、前記
第2の光学手段で受光されてもよい。
【0117】本発明のさらに好適な実施形態では、フレ
ネル反射に従って測定面から直接反射される光が、測定
面と第1の光学手段から出射される面反射光との間の角
度とは測定面に対して異なる角度を有するような面に対
するこのような角度に、前記第3の光学手段から照射さ
れる光が方向付けられる。そのため、前記第2の光学手
段、フォトセンサーのそれぞれが実質的に第3の光学手
段から照射された光を受光しかつ前記測定面で拡散的に
反射する。
【0118】第3の光学手段の少なくとも一つの光源
は、様々な範囲の波長の光が出射されるように、異なる
スペクトル特性を有する出射光をそれぞれに有する1
個、2個、特に好ましくは3個の光出射要素を有しても
よい。
【0119】前記光出射要素の波長領域は、可視光スペ
クトル範囲におけるスペクトル特性に対して少なくとも
部分的に重なっていてもよく、本発明による装置のさら
に好適な実施形態では、光出射要素のスペクトル特性は
互いに線形独立である。
【0120】本発明のさらに好適な実施形態では、反射
光の確認された色は前記測定面の可視パラメータとして
働くように、少なくとも二個、好ましくは三個あるいは
四個以上のフォトセンサー、感光要素のそれぞれは、そ
のスペクトル特性に関して異なるように設けられてい
る。
【0121】本発明の他の好適な実施形態では、測定面
から反射された光の色が確認できるように、少なくとも
一個のフォトセンサーが、個々に決めることが可能でか
つスペクトル特性に関して異なる電気出力信号を有する
少なくとも二個、好ましくは三個あるいは四個以上の感
光要素を備えている。
【0122】色及び色明度が面及び構築面の双方の実質
的特性なので、測定面から反射された光の色を確認でき
る本発明による装置の実施形態は特に有利である。
【0123】本発明による装置のさらに好適な実施形態
では、一個あるいは二個以上の光出射ダイオードあるい
はレーザー光源を第1及び/又は第3の光学手段に配置
している。
【0124】第1及び/又は第3の光学手段から出射さ
れた実質的な直接光あるいは拡散光の少なくとも一部
は、実質的に平行、発散、あるいは収束することが好ま
しい。
【0125】本発明による装置の好適な実施形態では、
前記第1及び/又は第3の光学手段から出射する光は、
測定する面に向いた収束光であり、かつ、該光が一測定
点の近傍内の領域、及び測定する面上の空間的に小さい
一測定面のそれぞれを照明するように測定する面上に焦
点を合わせられることが好ましい。
【0126】後で記述する構成の好適な実施形態では、
走査手段を、表面に対する比(>5、さらに好ましくは1
0以上、好ましくは>50)でテストされる面の照明する
光点部分を連続的に走査する第1の光学手段に備えるこ
とが好ましい。この実施形態は、照明を行う空間的に広
がった光スポットとともに、テストされる表面に向く光
線を焦点合わせするスポットも利用してよい。
【0127】本発明による装置の他の好適な実施形態で
は、前記第1及び/又は第3の光学手段は、照射光の伝
搬方向に垂直な所定の長さ及び幅を有する照射光の伝搬
広がりあるいは少なくとも一つのストリップに垂直な所
定の直径を有する少なくとも一つの光点を出射する。
【0128】前記第1の光学手段により投影された光
も、異なる点あるいは光のストリップから成ってもよ
い。
【0129】少なくとも一つの前記外観パラメータ、前
記構造変数はそれぞれ、測定面から反射されるように前
記第1の光学手段から照射された光の削除された光パタ
ーン手段を有する前記第2の部分を受ける、前記フォト
センサーの電気及び/又はデジタル測定信号から決定さ
れてもよい。
【0130】本発明による装置のさらに好適な実施形態
では、少なくとも一つの温度測定装置を、前記第1の光
学手段、及び/又は前記少なくとも一個の光源、少なく
とも一つの光出射要素のぞれぞれの少なくとも一個の光
源と、前記第3の光学手段、及び/又は前記少なくとも
一個のフォトセンサー、少なくとも一つの感光要素のぞ
れぞれの少なくとも一個の光源とに可能なだけ近接する
ように配置する。ここで、それらの温度測定装置を使っ
て、各光源、光出射要素、フォトセンサーあるいは感光
要素の温度特性の決定を行ものである。こうして、少な
くとも一つの構造特性値及び/又は少なくとも一つの外
観パラメータの温度補正を行うことが可能となる。
【0131】本発明に対応する装置内での温度及びその
分布が経過した測定時間の増加あるいは測定装置の変更
に伴って変化可能であるという事実によって、それらの
電子装置の機能が温度に依存しかつ測定の再現性がパラ
メータ及び特性値の温度補正決定によって増加するの
で、光源及びフォトセンサーの温度特性は特に有利であ
る。
【0132】本発明の他の好適な実施形態では、光パタ
ーンがマッピングされた複数のフォトセンサーの経路の
少なくとも一部を決定する。測定された面の特性プロフ
ァイル高さパラメータを理想的経路からの測定経路の経
路のずれから決定することができる。
【0133】特に好適な実施形態では、少なくとも一つ
の明/暗端の経路は、複数のフォトセンサー上及び/又
はCCDチップ上のそれぞれの一部において決定する。
【0134】明/暗線がプロファイル高さhを有する矩
形プロファイルを表す測定面上に投影されれば、前記線
反射(line reflex)の空間的分離が前記第2の光学手
段のCCDチップ上で起きる。
【0135】矩形プロファイルの下部から反射された暗
線あるいは明線の一部は、反射された矩形プロファイル
の上端で反射された暗線あるいは明線に平行に空間的に
ずれている。
【0136】理想的な矩形構築面の反射像は、CCD上
では2つの点線の明線あるいは暗線である。
【0137】周知の出射角及び反射角とCCD上での2
つの点線間の間隔とによって、プロファイル高さを測定
面上の全点において決定可能である。
【0138】非矩形表面プロファイルを測定するとき、
このような測定面のプロファイル高さ特性値を対応する
幾何学的関係を利用することによって類推して決定する
ことができる。
【0139】作られた部分のプロファイル高さは製造装
置が消耗するときに減少するので、プロファイル高さ特
性値の決定が特に有利である。
【0140】本発明の他の好適な実施形態では、三角法
(triangulation)によって構造変数を決定する。ここ
で、この構造変数の決定は三角法だけで行ってもよい
し、三角法を付加的に用いて決定してもよい。従来技術
において周知のような共通の三角法手順のどれを使って
もよいことを指摘しておきたい。
【0141】例としては、本発明の開示事項の一部であ
る米国特許第5,546,289号及び米国特許第5,744,793号に
記載した三角法手順がある。
【0142】本発明による装置のさらに好適な実施形態
では、米国特許第5,546,289号に記載した手順に対照的
に、グレイ値は全くない。あるいは測定個所での測定表
面高さについて代表的と考えられるものとしてちょうど
決定されるグレイ値はない。むしろ、測定個所の表面高
さは最高の精度で決定される。
【0143】本発明のさらに好適な実施形態では、所定
の角度で測定面に向いた少なくとも一個のフォトセンサ
ーを有する別な光学手段を備えている。特に好適な実施
形態では、この別の光学手段は、第2の光学手段及び第
3の光学手段の測定点間に延びた面上に配置する。第2
の光学手段及び前記の別な光学手段は、第1の光学手段
から出射される光あるいは第3の光学手段から出射され
る光に対して対称に配置するために、前記の別な光学手
段が反射光を受ける角度が第2の光学手段が受ける反射
光の角度と等しいことが特に好ましい。
【0144】本発明のさらに好適な実施形態では、強度
と、反射強度を第2の光学手段及び前記の別な光学手段
に入射する点とを決定する;メモリ手段に測定点に対す
る特性サイト評価値と測定強度とを保存することが特に
好ましく、また、その評価値は、テストする面上の測定
点から離間した距離に対する特性クリアランスパラメー
タ値を定義し、前記メモリ手段に同様に保存する。
【0145】本発明のさらに好適な実施形態では、第1
の光学手段から照射される光が時間順に走査されるよう
に、テストする面を走査する第1の光学手段に走査装置
を備えている。
【0146】前記評価手段が前記クリアランスパラメー
タ及び前記測定された点の特性値の評価から少なくとも
一つの構造変数の少なくとも一つを決定することが特に
好ましい。
【0147】本発明による装置の他の好適な実施形態で
は、少なくとも一つの定量的傾斜勾配パラメータを測定
する面の構造の傾斜特性に対して決定する。
【0148】本発明のさらに好適な実施形態では、前記
評価手段は、測定する面の端部での鮮鋭さの定義に対し
て少なくとも一つの定量的焦点パラメータを決定する。
【0149】これらの実施形態は、道具及び器具が摩耗
する際、製造した部分の面の構造が劣化するので、特に
有利である;例えば、特に構造の傾斜勾配が、端部の焦
点の規定と同様に、道具の摩耗及び裂けを通して減少す
る。なぜなら、摩耗及び裂けの増大が道具プロファイル
を丸みをつけることあるいは尖ったところのないものに
することにつながるからである。
【0150】さらに好適な実施形態では、評価構造変数
を、少なくとも一つの構造変数と面の外観特性の少なく
とも一部に対して特徴的な前述の特徴的外観性質(光
沢、くもり、DOI、オレンジ皮)の少なくとも一つとか
ら導出可能である。
【0151】面及び特に構築面を評価する際、それらの
外観は単に構造識別に依存するのでなく、他の特性外観
特性に依存する。例えば、特に滑らかでかつ高い反射が
起きる面を用いると、製造工程における要求は例外的に
高い。というのは、このような面では、人間の目は最も
小さな汚点、でこぼこ、及び変化さえ知覚するからであ
る。いわゆる“金属”仕上げを有する自動車を用いる
と、これらの欠陥が観察者に見えないように広い面にわ
たって仕上げにおける欠陥を直すことが実質的に不可能
である。
【0152】対照的に、つや消しで反射の小さい面及び
その下の面に対する仕上げのコーティングの質における
要求がかなり小さい。
【0153】高い光沢面に関しては、面の粗さ及びオレ
ンジ皮の小さな測定さえ、観察者の生理的な感情を乱す
一方、反射が小さいつや消し面における表面粗さ及びリ
ップルのかなり大きな事例は観察者の外観の印象におい
てほんのわずか攪乱効果があるかあるいは全くない。そ
れに対して、構築面を用いると、構造に左右される外観
印象は表面粗さ、光沢あるいは他の外観パラメータに対
する依存は小さい。
【0154】従って、本発明のこの好適な実施形態に対
応して、測定された面の質の尺度を表す少なくとも一つ
の評価構造変数及び引用された特性パラメータの少なく
とも一つが定義される。
【0155】本発明の他の好適な実施形態では、少なく
とも一つの評価構造変数が同様に定義される。特に、小
さな面プロファイルだけしか有しないかあるいは全く面
プロファイルを有しない構築面や特徴的な外観パラメー
タの少なくとも一つにおいて異なる少なくとも二つの表
面要素タイプを用いるだけでなく、前記評価構造変数を
指示された特性パラメータの一つを少なくとも定義す
る。このような構築面を用いると、外観印象及び分布の
一様性の質は外観パラメータに依存する。
【0156】本発明の好適な実施形態では、評価構造変
数を測定面光沢特性値と構造変数とから定義する。その
ため、理想的な構造変数より低い値を示すときにさえ、
十分な及び/又は満足な評価構造変数が低光沢面に対し
て定義可能となる。
【0157】さらに好適な実施形態では、例えば、より
高い光沢がより低い構造変数と釣り合うように、前記評
価構造変数を定義す。従って、前記評価構造変数が定量
的に満足する結果に達する。
【0158】さらに好適な実施形態では、評価構造変数
を引用した外観値(光沢、くもり、DOI、オレンジ
皮)の少なくとも二個あるいは全てに対して定義する。
あるいは、あるいは一個の評価構造変数を前記構造変数
とともに引用した特性値(光沢、くもり、DOI、オレ
ンジ皮)の二個あるいは三個以上から導く。前記評価構
造変数は、測定面の外観に特徴的である。
【0159】少なくとも一つの構造変数と例えば、光沢
のような特徴的な外観値の少なくとも一つとからの少な
くとも一つの評価構造変数の導出は特に有利である。と
いうのは、それが面の質の特に容易でかつ自動的な決定
をテストするのを可能にするからである。
【0160】本発明の装置の他の好適な実施形態では、
少なくとも一つの下の閾値あるいは上の閾値が少なくと
も一つの構造変数及び/又は少なくとも一つの特性外観
パラメータ及び/又は少なくとも一つの評価構造変数と
に対して定義可能であり、この定義された閾値が下値あ
るいは上値の限度を越える場合、出力装置あるいはオー
ディオあるいは外観アラーム信号装置にメッセージが伝
達される。
【0161】本発明の他の好適な実施形態では、前記少
なくとも一つの閾値は少なくとも一つの基準面の測定を
通して自動的に決められる。例えば、質が異なる一つ、
二つあるいは三つ以上の評価された基準面を測定するこ
とが可能となる。ここでは、前記基準面の少なくとも一
つがより品質が高くなり、かつ少なくとも他の一つが不
適切に品質が低いと有利である。
【0162】このような装置の半自動補正は、テストさ
れる少なくとも一つの面あるいは様々な異なる面上の様
々な測定点の迅速でかつ信頼性の高い測定を可能にす
る。
【0163】本発明の装置の好適な実施形態では、前記
構築面を備えた各表面要素のタイプに対して少なくとも
一つの基準面を測定することによって、このような半自
動補正を実施する。
【0164】別の好適な実施形態は、回路ブレーカー、
ON-OFFスイッチのそれぞれを提供する。
【0165】さらに、他の装置の中で、ユーザーが測定
する面のタイプに対するタイプ指示を入力することを可
能にする目的のため、本発明の装置に入力手段を備える
ことができる。この入力手段では、前記評価手段がこの
タイプ指示に関して連続する測定を評価し、そして前記
メモリ手段に同じものをファイルする。
【0166】本発明の他の好適な実施形態では、装置に
スイッチを入れる際、オーディオあるいはビジュアル信
号は、ユーザーに測定する面のタイプに対するタイプ指
示を前記入力手段に入れさせるようにする。ここで、特
に好適な実施形態では、ユーザーは、全連続測定が参照
する他のタイプ指示を入れることによっていつでも表面
タイプを変更することが可能である。
【0167】特定の表面タイプの測定の前のタイプ指示
の入力及び/又は選択は特に有利である。というのは、
様々な異なるタイプの面を評価する際に、個々の特性値
が異なる重要性を有し、それらが評価構造変数の形成に
おいて異なる重要性を導くからである。
【0168】本発明の他の好適な実施形態では、ユーザ
ーは、前記入力手段におけるユーザーが定義した評価値
の入力を介してそのユーザーの生理的印象による特定面
の各測定の評価(assessment)を示すことができる。前
記少なくとも一つの特徴的な外観特性及び前記少なくと
も一つの構造変数及び前記少なくとも一つの評価構造変
数と共に、前記のユーザーの定義した評価のメモリ手段
における長期間のファイリングを行うことは特に好まし
い。ここで、ユーザーの定義した評価の範囲は、“良”
及び“劣”に対応する少なくとも二つの異なる値を含ん
でいなければならない。
【0169】本発明の他の好適な実施形態では、前記の
ユーザーの定義した評価の少なくとも一部及びそれに関
連した測定パラメータと前記メモリ手段にファイルされ
た特性値を、テストされる面の特定のタイプ指示に対す
る少なくとも一つの閾値の少なくとも一つの自動決定に
対して用いる。
【0170】本発明の装置の他の好適な実施形態では、
測定する特定の面に対するタイプ指示に関連するメモリ
手段に格納されるように、前記評価構造変数は、少なく
とも一つの閾値の決定及び重み要素(factor of signif
icance)の決定に対して、評価構造変数の決定において
利用される、ユーザー定義評価値及び対応するパラメー
タ及び特性値及び構造パラメータの実質的に全てを考慮
する。そのため、なされる測定数を増加することによっ
て、前記重み要素および少なくとも一つの閾値が前記評
価構造変数をユーザー外観印象に適用するために調整す
る。
【0171】本発明のこの好適な実施形態は特に有利で
ある。というのは、装置が“賢く”、前記パラメータ及
び特性値及び前記評価構造変数を決定する際に適応性が
あるからであり、また、このような賢いシステムの適用
は、実施される測定するが増加するので、少なくとも一
つの評価構造変数を決定するに際して、継続的に信頼性
と効率を高めるからである。
【0172】さらに、この好適な実施形態において注目
すべきことは、ユーザーの生理的条件が測定面の評価に
関して効果を有することと、所望でない閾値及び/又は
重み要素の決定が正しくないユーザー定義評価値の誤っ
た入力からも生じるかもしれないこととから、前記閾値
及び重み要素を決定するに際し、前記タイプ指示に対す
る測定されかつ格納された値を用いることである。
【0173】例えば、複数の使用可能な測定結果を与え
ると、特定の割合、例えば5%あるいは10%は、重み
要素及び閾値を決定する間は考慮されない。ここで、考
慮していない値の選択は周知の統計学的テクニックに対
応しては生じない。
【0174】本発明のこの実施形態は、正しくないユー
ザー定義評価値の誤った入力を考えないので、特に有利
である。そのため、評価手段の適応性によって、自動的
に決定した評価構造変数の信頼性は、測定数が増加する
につれて増大していく。
【0175】前述のような全実施形態の有利な構成で
は、前記装置は表面から実質的に等距離の面に沿って移
動可能であり、かつ相対移動を定量的に記録する距離測
定手段を備えている。表面にわたって測定した構造特性
値及び/又は特徴的外観パラメータ及び/又は評価構造
変数に対する所定の測定閾値を、前記メモリ手段に格納
する。
【0176】他の有利な実施形態では、測定中に表面上
に着陸する少なくとも一つの測定ホイールを備え、装置
と測定する面との間で相対的に移動している間回転す
る。ここで、少なくとも一つの測定ホイールを、前記測
定ホイールで検出された回転角を表す電気的信号を削除
する回転角センサーに連結することが可能である。
【0177】さらに、空間的に周期的にあるいは面上の
所定の測定位置において、連続的にあるいは間欠的に、
表面外観パラメータ及び被覆厚値を定義しかつ格納する
メモリ手段を備えることができる。
【0178】この本発明の好適な実施形態は、テストさ
れる面が例えば面全体にわたって組織的に測定すること
が可能なので、特に有利である。
【0179】複数のフォトセンサーが配置される本発明
の好適な実施形態では、CCDチップ(他の好適な実施
形態では、カラーCCDチップとして実現されているも
の)を含んでいることが特に有利である。、
【0180】二次元CCDチップを使うことによって、
前記測定面の二次元像を第2の光学手段のCCDチップ
上に形成する。
【0181】好適の実施形態では、テストされる測定面
は第2の光学手段において二次元CCDチップ上で均一
に照明しかつマッピングされる。測定面にわたっての外
観特性の(統計的)分布を評価することによって、テス
トされる表面の質に対する変数あるいは構造変数を評価
する。
【0182】本発明の装置の他の好適な実施形態では、
テストされる面上で空間的に狭く制限されたあるいは収
束されたあるいは焦点を合わせた光線を用いるときに、
二次元CCDチップを用いると、第2の光学手段のCC
Dチップ上の測定点の二次元像を規定することが可能と
なる。次に、CCDチップ上の明度の分布の(例えば統
計的)評価によって、テストされる面の外観特性の様々
な変数を決定する。
【0183】テストされる測定面を収束されたあるいは
焦点を合わせられた光線を使って走査する本発明の装置
の他の好適な実施形態では、個々のパラメータの被覆率
例えば光沢被覆率のような特徴的な外観パラメータをテ
ストされる面にわたって決定する。
【0184】本装置の一つのあるいは二つ以上の前述の
独創的な実施形態のさらに好適な実施形態では、個々の
外観パラメータのヒストグラムは測定される面上の測定
サイトから作る。各測定される外観パラメータ、例えば
光沢、DOIあるいは他の特性パラメータのレベルを周
波数にわたってプロットした。テーブルあるいはヒスト
グラムを作る。対応する外観パラメータの統計分布によ
って、変数及び構造変数のそれぞれをテストされる構築
面に対して決定する。
【0185】本発明の好適な実施形態では、測定を始め
る前にあるいは各個別の測定を更新する前に、白地の像
をとり、かつその値を平均化する。測定中は、照明像を
とり同様に平均化し、前記白地像の平均値を差し引く。
前記像のコントラストの値を決定する。前記測定像の明
度を前記白地像、照明像及びコントラスト値の平均値を
用いて標準化する。
【0186】その標準化された値、標準化された像のそ
れぞれを使って、さらなる評価を続ける。
【0187】本発明の装置の他の好適な実施形態では、
評価を一あるいは二以上のフーリエ変換を介して続け
る。各線に対する局所的周波数変数をその線のフーリエ
変換から決定し、かつ、像全体に対する局所的周波数変
数を線全ての周波数の平均値から決定する。
【0188】本発明の装置の他の好適な実施形態では、
例えば、DIN4748(出版 1990-05)、ISO13
565−1(出版 1996-12)、あるいはISO1356
5−2(出版 1996-12)に記載のような(従って、これ
らが開示の一部となる)、表面粗さの測定に対する慣行
手順を介して構造パラメータを決定する。
【0189】別の好適な実施形態では、被覆厚測定装置
は基板の種類に対して適切な被覆厚センサーの種類を選
択するスイッチ手段を備えている。被覆された面の基板
の種類を前記メモリ手段格納したプログラムによって自
動的に決定してもよく、また、適切な被覆厚センサーを
前記基板の被覆厚を決定するために選択されるようにス
イッチ手段を準備してもよい。
【0190】この種類のスイッチ手段の装備は、特別な
センサーの種類をスイッチ手段の簡単な駆動によって被
覆厚を決定するように選択するので特に有利である;ユ
ーザーは、例えば、被覆厚を選択したセンサー回帰論理
値を使って確かめられれば、被覆厚を決定する他のセン
サーの種類を選択するディスプレイによってできるよう
になっていてもよい。
【0191】所定の限界あるいは値が前記所定の限界以
下に下がって越えることは、有効な測定範囲からの逸脱
を表しており、例えば、ディスプレイ手段で示された値
∞によって、それによって、ユーザーは、スイッチ手段
を駆動して他のセンサーの種類にスイッチするように促
される。適当な被覆厚センサーの自動スイッチ及び自動
選択は、経験不足のユーザーがこの種類の独創的な構成
を使用するときに特に有利である。
【0192】ここで、本発明の各機構の協同的機能の並
列は所望の光学的組み合わせにおいて好ましいことに注
目されたい。このような機構の組み合わせを独立クレー
ム及び従属クレームにおける一あるいは二以上の機構の
省略を介して開示することは特に好ましい。本発明がこ
こで記載した実施形態を越えて複数の他の想像可能な変
形及び実施を包含することは、当業者においては明らか
であろう。従って、本発明がそれらの形及び以下で示さ
れるような実施形態にのみ特に限定されるものではな
い。
【0193】
【発明の実施の形態】本発明の可能な機構及び応用は、
添付の図面を参照した実施形態の以下の記載において特
定することはさらに有利だろう。
【0194】本発明の第一の実施形態を図1を参照して
説明する。
【0195】この図に模式的に示した構築面の質を決定
する測定装置は、第1の照明管2が配置されたハウジン
グを備えている。図に示したように、その照明管内に、
光源3,シャッター4,光パターン装置6及びレンズ5
とを備えている。
【0196】点光源3から放射される光は、シャッター
4によってそのアパーチャ内に制限され、光パターン装
置6に入射する。所定の実施形態では、部分的に透明な
光パターンディスク9は、照明される面の一部に入射す
る光の位相及び/又は振幅が透過した光が特徴的な光パ
ターンを示すように影響を受けることができる光パター
ン装置6内に配置することができる。この実施形態で
は、光源3から放射された光の振幅は光パターンディス
ク9の明/暗端によって影響を受けることになる。
【0197】照射光はさらにレンズ5によって焦点合わ
せを行い、開口7を介して測定面8に入射する。光は測
定面8で反射されて、レンズ11、シャッター12及び
実際のセンサー13を備えた測定管109に入射する。
【0198】さらに、反射測定装置は、装置の作動を制
御する制御手段(図示せず)と、測定された構造特性値
と特性外観パラメータとを表示するディスプレイ手段
(図示せず)とを備えている。
【0199】別な実施形態のセンサーを図2に示す。こ
の実施形態は、センサーを除いては、図1で示した実施
形態と全く同様な構成である。図2は、上に複数の感光
性要素21は行列に配置したセンサー装置20を示して
いる。
【0200】この例では、CCDチップが備えれる。C
CDチップ面上の個々の面要素は、フォトセンサー2
2,23,24の信号だけが測定中に得られるようにフ
ォトセンサー22,23,24に関連づけられている。
【0201】個々の表面領域要素をフォトセンサーに結
合することによって、最も多様な測定構成を実現する。
さらに、全ての表面領域要素に対して測定を行う必要は
ない。
【0202】センサー装置の別な実施形態を図3に示
す。この装置の付随の構成及び作動が図1と同じように
示している。
【0203】センサー装置30を図3に示した。センサ
ー装置30として、図2に対応する実施形態では、CC
Dチップが使用されている。
【0204】CCDチップの面上の個々の面要素は、フ
ォトセンサー31,32,33,34と関連づけられて
いる。個々の面領域要素をフォトセンサーに結合するこ
とによって、例えば、ASTM E430のような様々
な測定標準によって迅速でかつ容易な測定を可能にす
る。
【0205】別な実施形態では、基本的な構成は図1に
示した実施形態のものと全く同じであるが、測定面領域
上には光パターンは統制されない。CCDチップがセン
サー装置として備えられ、それによって全面要素が個々
に測定される。
【0206】図4で示したグラフでは、測定された光強
度が縦座標上に、また理想反射角に対する角度のずれを
横軸にプロットしたものである。最大での測定強度は理
想反射角の範囲内であり、角度の増加と共に減少する。
面反射挙動は、このような曲線の評価から簡単な方法で
評価されうる。
【0207】さらに、様々な標準による面反射挙動を特
徴付けるパラメータを導出するために、この曲線を用い
ることが可能である。
【0208】センサー手段上の測定面から反射する像を
図5に示す。光パターン50は暗端51及び明線52を
示している。第2の反射部53は光パターンを示さな
い。
【0209】光パターン内のコントラストがラフネスの
増加と共に減少する。オレンジ皮は個々の明/暗端の乱
れ及び構築面の乱れにつながり、また、矩形プロファイ
ルの場合には、凹み領域における個々の線のオフセット
につながる。鋸歯形プロファイルあるいは三角プロファ
イルにおいては、線グラデーションを相関させることは
対応するセクションで確認できる。
【0210】強度及びコントラストは受けた像から評価
され、光パターン内での勾配が決まる。平均勾配値を生
成することによって、特性測定が測定面の構造に対して
決定する。
【0211】図6は、図1から図5で示した実施形態で
適用された測定装置の基本的分解回路構成を示してい
る。
【0212】示された全ての実施形態に対して、基本的
測定構成は同じである:プログラミングだけが装備され
たセンサーによって異なる。
【0213】全体として測定装置は、メモリ61に格納
したプログラムによって制御されたカスタムマイクロプ
ロセッサを含む制御装置60を備えている。入力手段6
2は、制御手段60とユーザーとの間のコミュニケーシ
ョンを可能にする役目を有し、また、制御手段の作動を
始める目的、及び、(対応する実施形態において)作動
の個々のモード間でスイッチするために、多くのスイッ
チを有する。さらに、ユーザーは、測定される構築面に
対するタイプの指定を、続きの測定が参照する入力手段
61に入力する。
【0214】前記マイクロプロセッサに加えて、前記制
御手段は、装置の個々の要素によって制御手段を接続す
るように働く入力/出力手段である。
【0215】制御手段ほ光源3とセンサー14に関連づ
けられている。測定の結果は好ましくはLCDディスプレ
イであるディスプレイで示される。さらなる測定評価に
対して、外部コンピュータ65への接続を備えている;
測定結果もメモリ手段61に格納するのが好ましい。
【0216】測定装置に対するパワーはバッテリ(図示
せず)で供給する。
【0217】測定装置は、ペーパーバック本とほぼ同程
度の寸法を有するハウジング1内に収容されることが好
ましい。
【0218】対応する実施形態では、被覆厚測定装置の
タイプは、入力手段22によって選択してもよい。
【0219】被覆厚測定装置の電気出力信号も、評価の
ために制御手段60に伝達される。LCDディスプレイ
であることが好ましいディスプレイ65は測定結果を表
示する。さらなる測定評価を可能にするため、外部コン
ピュータ66への接続が装備されている。
【0220】測定装置は、バッテリ(図示せず)による
パワーの供給を受ける。
【0221】個々の測定装置の製造による偶発的な変動
を回避するため、各測定装置は個々に補正されるのが好
ましい。そうするために、測定装置は標準の研究所が提
供しているような基準試料上にセットし、外観特性及び
被覆厚値のそれぞれを測定する。次にそれぞれの値はメ
モリ61に格納され、センサーによって評価された値を
変換するために永続的に使用できる。
【0222】本発明の別な実施形態を図7を参照して説
明する。
【0223】この実施形態では、前記装置は測定する面
上に装置をセットするために、開口101を有するハウ
ジング100内に完全に装備する。
【0224】前の実施形態に対して、装置は前記面には
直接にはセットしないが、前記ハウジング100におい
て回転可能に支持された(図示せず)少なくとも2個の
ゴムロール103,104あるいは少なくとも4個のゴ
ムホイール103,104の手段(模式的に示した)を
装備する。
【0225】前記ゴムホイールあるいはロールの少なく
とも一つが、角度移動及び前記ゴムホイール1903を
検出し、それを示す電気信号を発する距離測定手段(図
示せず)を備えている。
【0226】前記装置はさらに、点光源111とレンズ
112を装備した第1の光学手段110を備える。前記
第1の光学手段110は光軸が測定される面に対して所
定の角度(示して例では45°)で方向付けられるよう
に構成されている。
【0227】第2の光学手段は第2の所定の角度(ここ
も45°)で配置され、この実施形態ではカラーCCD
チップを使う、レンズ121とアパーチャー122と光
軸に対して垂直に方向付けられた測定センサー123と
を備える。
【0228】ここではLEDを使用している、3個の発
光ダイオード132,133,134が、例えば、異な
る色の光を発する異なるスペクトル特性をそれぞれ示す
第3の光学手段130上に配置している。
【0229】ここで示した実施形態では、LEDから発
光された光は測定される面に実質的に垂直に入射する。
【0230】第1及び第3の光学手段から発した光は検
査される面115で反射され、前記フォトセンサー、色
CCDチップ125のそれぞれに部分的に入射する。
【0231】発光要素132−134が可視光域のスペ
クトルで異なる色特性を有する光を発するので、測定さ
れる面に対して色パラメータを決定することが可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る第1の実施形態を示す断面図
である。
【図2】 光測定に使用する面を変更するセンサー要
素の別な実施形態を示す概略図である。
【図3】 感光性表面を有する7個のフォトセンサー
を構成するセンサー要素の別な実施形態を示す概略図で
ある。
【図4】 光パターンのない照明上の反射挙動を示す
グラフであって、測定した光強度を縦座標上にプロット
し、理想反射角に対する角度のずれを横軸にプロットし
たものである。
【図5】 測定面上に投影した光パターンの像を示す
図である。
【図6】 図1から図5までの実施形態で使用される
測定装置の基本的回路構成を示す図である。
【図7】 他の測定にも適した本発明の別な実施形態
を示す図である。
【符号の説明】
3 光源 5 レンズ 6 光パターン装置 7、101 開口 8 測定面 11 レンズ 13 センサー 20、30 センサー装置 22−24,31−34 フォトセンサー 50 光パターン 51 暗線 52 明線 53 第2の反射部 60 制御装置 61 メモリ 100 ハウジング 111 点光源 112 レンズ 110 第1の光学手段 121 レンズ 122 アパーチャー 123 測定センサー 132−134 発光要素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01J 3/50 G01N 21/57 G01N 21/27 27/72 21/57 27/90 27/72 29/00 501 27/90 G01B 7/10 Z 29/00 501 11/24 M

Claims (67)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一つの光源を備えた第1の
    光学手段と、 測定面から反射された光を受ける前記測定面に対して所
    定の角度で配置した第2の光学手段と、 測定プロセスシーケンスを制御するために備えられ、少
    なくとも一つのプロセッサー手段と少なくとも一つのメ
    モリ手段とを備えた評価手段と、 出力手段と、を備え、 前記第1の光学手段から放射された光が測定される面の
    一部である測定面上で所定の角度に方向付けられてお
    り、 前記第2の光学手段が少なくとも一つの感光面を有する
    少なくとも一つのフォトセンサーを備え、少なくとも一
    つのフォトセンサーが反射光に特徴的な電気測定信号を
    発するものであり、 前記第1の光学手段と前記第2の光学手段とが、前記反
    射光が前記測定面の構造に影響されるように配置されて
    おり、 前記評価手段が前記反射光を評価し、かつ前記面の少な
    くとも一つの構造付随特性を表す少なくとも一つの構造
    変数を導出する、構築面の質を定量的に判定する装置。
  2. 【請求項2】 前記評価手段が前記メモリ手段に格納
    されたプログラムによって前記測定信号を評価し、及び
    /又は、前記メモリ手段に前記測定信号を格納すること
    を特徴とする請求項1に記載の構築面の質を定量的に判
    定する装置。
  3. 【請求項3】 前記第2の光学手段が行及び/又は列
    をなして配置された複数のフォトセンサーを備えたこと
    を特徴とする請求項1または請求項2に記載の構築面の
    質を定量的に判定する装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の光学手段から放射された光
    の少なくとも第1の部分が光パターンを示すことを特徴
    とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の構
    築面の質を定量的に判定する装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の光学手段から照射された前
    記光パターンが少なくとも一つの明/暗端あるいは複数
    の明/暗端を示すことを特徴とする請求項1から請求項
    4のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定す
    る装置。
  6. 【請求項6】 前記の複数の明/暗端の少なくとも一
    部が、少なくとも部分的に互いに平行に分光されている
    ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  7. 【請求項7】 前記の複数の明/暗端の少なくとも一
    部が、グリッド、格子、あるいは円形に配置されている
    ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  8. 【請求項8】 前記第1の光学手段から照射された光
    の前記第1の部分が前記光パターンを示し、かつ第2の
    部分が光パターンなく測定面上に方向付けられているこ
    とを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に
    記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  9. 【請求項9】 前記評価手段が、前記フォトセンサー
    の電気及び/又はデジタル測定信号と列及び/又は列に
    おける次のフォトセンサーの電気及び/又はデジタル測
    定信号との間で定義される差から、複数のフォトセンサ
    ーの少なくとも一部に対する電気及び/又はデジタル測
    定信号のグラデーションを決定することを特徴とする請
    求項1から請求項8のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  10. 【請求項10】 前記評価手段が、電気及び/又はデ
    ジタル測定信号と隣接するフォトセンサー全ての電気及
    び/又はデジタル測定信号との差から、複数のフォトセ
    ンサーの少なくとも一部に対する電気及び/又はデジタ
    ル測定信号のグラデーションを決定することを特徴とす
    る請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の構築面
    の質を定量的に判定する装置。
  11. 【請求項11】 前記評価手段が、前記グラデーショ
    ンの少なくとも一部の少なくとも一平均と、前記面の少
    なくとも一つの構造付随特性に対する特徴的構造変数と
    を決定することを特徴とする請求項1から請求項10の
    いずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装
    置。
  12. 【請求項12】 一、二、三、又は四以上の特性外観
    パラメータを前記測定面に対して決定することを特徴と
    する請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の構
    築面の質を定量的に判定する装置。
  13. 【請求項13】 前記特性外観パラメータが、前記測
    定面の光沢またはくもりまたは象の鮮明度(DOI)を
    含んでいることを特徴とする請求項1から請求項12の
    いずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装
    置。
  14. 【請求項14】 前記特性外観パラメータが、所定の
    波長間隔での測定面被覆厚トポロジーの型的な波長及び
    その振幅を表す尺度であり、その評価が波長の二あるい
    は三以上の異なる範囲の後に続くことを特徴とする請求
    項1から請求項13のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  15. 【請求項15】 少なくとも一つの光源を備え、かつ
    所定の角度で前記測定面を向いた、所定のスペクトル特
    性を有する光を放射する第3の光学手段を備えたことを
    特徴とする請求項1から請求項14のいずれか一項に記
    載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  16. 【請求項16】 前記第1の光学手段から放射された
    光が前記測定面に向けられた所定の角度、及び/又は、
    前記第2の光学手段が前記測定面から反射された光を受
    ける所定の角度、及び/又は、前記第3の光学手段から
    放射される光が前記測定面に向けられた所定の角度が変
    更可能に調整することができ、特に5°,10°,15
    °,20°,30°,45°,60°,75°,80°
    及び85°の角度を含んでいることを特徴とする請求項
    1から請求項15のいずれか一項に記載の構築面の質を
    定量的に判定する装置。
  17. 【請求項17】 フレネル反射に従って測定面から直
    接反射された方向付けられた光が、測定面と第1の光学
    手段から出射された方向付けられた面反射光との間の角
    度とは測定面について異なる角度を有するような面に対
    する角度に、前記第3の光学手段から放射された光が方
    向付けられていることを特徴とする請求項1から請求項
    16のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定
    する装置。
  18. 【請求項18】 前記第3の光学手段の少なくとも一
    つの光源は、放射波長の変化範囲が異なるスペクトル特
    性を有する放射光をそれぞれ発する少なくとも二個ある
    いは三個以上の発光要素を備えたことを特徴とする請求
    項1から請求項17のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  19. 【請求項19】 前記発光要素の放射波長域が、少な
    くとも部分的に可視光スペクトル域に重なり、かつ前記
    発光要素の放射スペクトル特性が互いに線形独立である
    ことを特徴とする請求項1から請求項18のいずれか一
    項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  20. 【請求項20】 反射光の確定された色が前記測定面
    の外観特性として働くように、個々に決めることがで
    き、かつスペクトル特性が異なる電気出力信号を有す
    る、少なくとも二個、好ましくは三個または四個以上の
    感光要素を少なくとも1個のフォトセンサーが備えたこ
    とを特徴とする請求項1から請求項19のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  21. 【請求項21】 前記第1の光学手段及び/又は前記
    第3の光学手段の少なくとも一つが、一個または二個以
    上の発光ダイオード及び/又はレーザー光源を備えたこ
    とを特徴とする請求項1から請求項20のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  22. 【請求項22】 前記第1の光学手段及び/又は前記
    第3の光学手段が実質的に平行な光であることを特徴と
    する請求項1から請求項21のいずれか一項に記載の構
    築面の質を定量的に判定する装置。
  23. 【請求項23】 前記第1の光学手段及び/又は前記
    第3の光学手段が、実質的に発散する光あるいは収束す
    る光を放射することを特徴とする請求項1から請求項2
    2のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定す
    る装置。
  24. 【請求項24】 前記第1の光学手段及び/又は前記
    第3の光学手段が、伝播方向に対して垂直な所定の直径
    を有する少なくとも一つの光点、または伝播方向に垂直
    な所定の長さ及び幅を有する少なくとも一つのストリッ
    プを放射することを特徴とする請求項1から請求項23
    のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する
    装置。
  25. 【請求項25】 前記の少なくとも一つの外観特性の
    少なくとも一つが、前記測定面で反射された光と同様に
    前記第1の光学手段から放射された光の前記第2の部分
    を受ける前記フォトセンサーの電気及び/又はデジタル
    測定信号から決定されることを特徴とする請求項1から
    請求項24のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的
    に判定する装置。
  26. 【請求項26】 前記少なくとも一つの構造特性値及
    び/又は前記少なくとも一つの外観特性の温度補正を行
    うことができるように、前記第1の光学手段の光源及び
    /又は前記第3の光学手段の光源及び/又は各光源の特
    性温度を決定する少なくとも一つのフォトセンサー及び
    /又は各フォトセンサーにできる限り近接して前記の少
    なくとも一つの温度測定装置を備えたことを特徴とする
    請求項1から請求項25のいずれか一項に記載の構築面
    の質を定量的に判定する装置。
  27. 【請求項27】 前記の複数のフォトセンサー上の少
    なくとも一つの明/暗端のマッピングされた経路の少な
    くとも一部が決定され、かつ前記測定面の特徴的プロフ
    ァイル高さパラメータが理想経路からの測定経路のコー
    スずれから決定されることを特徴とする請求項1から請
    求項26のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に
    判定する装置。
  28. 【請求項28】 前記構造変数が三角法によって決定
    されることを特徴とする請求項1から請求項27のいず
    れか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  29. 【請求項29】 前記の少なくとも一つのフォトセン
    サーの少なくとも一つが第1の光学手段から放射されか
    つ測定される面で反射された光の強度を決定し、前記評
    価値を測定される位置に対する特性サイト評価パラメー
    タとして前記メモリ手段に保存し、前記測定強度評価値
    が前記装置から測定される面までの距離に対する特性ク
    リアランスパラメータを決定し、かつ前記メモリ手段に
    同じものを保存することを特徴とする請求項1から請求
    項28のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判
    定する装置。
  30. 【請求項30】 前記第1の光学手段が測定される面
    を走査する走査手段を備えたことを特徴とする請求項1
    から請求項29のいずれか一項に記載の構築面の質を定
    量的に判定する装置。
  31. 【請求項31】 前記評価手段が、前記クリアランス
    パラメータ及び前記特性サイト評価パラメータとから少
    なくとも一つの構造手段の少なくとも一つを決定するこ
    とを特徴とする請求項1から請求項30のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  32. 【請求項32】 前記評価手段が、検査される面の構
    造の勾配特性に対する少なくとも一つの定量的法勾配パ
    ラメータを決定することを特徴とする請求項1から請求
    項31のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判
    定する装置。
  33. 【請求項33】 前記評価手段が、検査される面の構
    造の端部のシャープネスの決定のための少なくとも一つ
    の定量的シャープネスパラメータを決定することを特徴
    とする請求項1から請求項32のいずれか一項に記載の
    構築面の質を定量的に判定する装置。
  34. 【請求項34】 前記の少なくとも一つの評価構造変
    数が、少なくとも一つの構造変数と引用された特徴的外
    観特性(光沢、くもり、DOI、オレンジ皮)の少なく
    とも一つとから導出されるか、または、少なくとも一つ
    の評価構造変数が、決定された特徴的外観特性(光沢、
    くもり、DOI、オレンジ皮)に対して決定されること
    を特徴とする請求項1から請求項33のいずれか一項に
    記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  35. 【請求項35】 各場合における、少なくとも一つの
    下閾値と少なくとも一つの上閾値とが前記少なくとも一
    つの構造変数及び/又は少なくとも一つの特徴的外観パ
    ラメータ及び/又は少なくとも一つの評価構造変数に対
    して決定可能であり、それらについて決定された閾値が
    下限を越えるか又は上限を越えるときには、メッセージ
    が出力装置に送られるか又は警報信号が発せられること
    を特徴とする請求項1から請求項34のいずれか一項に
    記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  36. 【請求項36】 前記の少なくとも一つの閾値の少な
    くとも一つが、少なくとも一つの基準面の測定を通して
    自動的に決定されることを特徴とする請求項1から請求
    項35のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判
    定する装置。
  37. 【請求項37】 ユーザーが測定される面のタイプに
    対してタイプ指示を入れることが可能な入力手段を備
    え、かつ、このタイプ指示についての引き続きの測定が
    前記メモリ手段において長期間保存されることを特徴と
    する請求項1から請求項36のいずれか一項に記載の構
    築面の質を定量的に判定する装置。
  38. 【請求項38】 ON/OFFスイッチをさらに備え、かつ
    その装置にスイッチを入れる際に、オーディオ及び/又
    はビジュアル信号によって、測定される面のタイプの指
    示に対するタイプ指示を前記入力手段に入れることをユ
    ーザーに促すことを特徴とする請求項1から請求項37
    のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する
    装置。
  39. 【請求項39】 ユーザーが、タイプチェンジ文字を
    入れることによって前記評価手段をタイプチェンジモー
    ドにスイッチし、かつ、他のタイプの指示を入れる際
    に、この他のタイプ指示に関する引き続きの測定からの
    結果を前記メモリ手段において長期間保存されることを
    特徴とする請求項1から請求項38のいずれか一項に記
    載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  40. 【請求項40】 各測定に引き続き、ユーザーが前記
    入力手段におけるユーザー規定評価値の入力によって測
    定された各面のユーザーによる評価を入れることがで
    き、かつ前記ユーザー規定評価値を、前記測定パラメー
    タ及び特性値の少なくとも一つと前記の少なくとも一つ
    の評価構造変数とともに前記メモリ手段において長期間
    保存され、ここで、前記ユーザー規定評価値がユーザー
    に規定されたような前記測定面の質の主観的尺度であ
    り、かつ、前記ユーザー規定評価値の範囲が“良好”及
    び“不良”に対応する少なくとも二つの異なる値を備え
    ることを特徴とする請求項1から請求項39のいずれか
    一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  41. 【請求項41】 前記評価手段が、前記タイプ指示に
    対する少なくとも一つの閾値の少なくとも一つの自動決
    定に対するメモリ手段にファイルされるとき、前記ユー
    ザー規定評価値と対応する測定パラメータと特性値の少
    なくとも一部を使用することを特徴とする請求項1から
    請求項40のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的
    に判定する装置。
  42. 【請求項42】 前記装置が測定面に対して実質的に
    等距離面に沿って移動可能で、かつ、前記相対移動を定
    量的に記録する距離測定手段を備え、さらに、測定され
    た構造特性値及び/又は測定面を横切って測定された外
    観パラメータが保存されるメモリ手段を備えていること
    を特徴とする請求項1から請求項41のいずれか一項に
    記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  43. 【請求項43】 測定中に面上に降りて、かつ相対移
    動中に前記装置と測定される面との間で回転する少なく
    とも一つの測定ホイールを備えたことを特徴とする請求
    項1から請求項42のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  44. 【請求項44】 前記測定ホイールの少なくとも一つ
    が、前記測定ホイールから検出された回転角を表す電気
    信号を発する回転角センサーに関連付けられていること
    を特徴とする請求項1から請求項43のいずれか一項に
    記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  45. 【請求項45】 測定される面に所定の角度で光を方
    向付けるために第1の光源を備えた第1の光学手段と、 測定面から反射された光を受けるために前記測定面に対
    して第2の所定の角度に向けられた少なくとも一つのフ
    ォトセンサーを備えた第2の光学手段と、 測定プロセスシーケンスを制御するために備えられ、か
    つ少なくとも一つのプロセッサー手段を備え、かつメモ
    リ手段に前記測定信号を格納しする評価手段と、 前記測定結果を出力する出力手段と、を備え、 前記フォトセンサーの少なくとも一つが受けた光に対し
    て特徴的な電気測定信号を発するものであり、 前記評価手段は前記の反射光を評価し、かつ面の構造付
    随特性を特徴付ける少なくとも一つの構造変数を導出す
    るものである、請求項1から請求項44の少なくとも一
    つに対応する装置を特に使用して構築面の質を定量的に
    決定する方法。
  46. 【請求項46】 前記第1及び/又は第3の光学手段
    が、好ましくは前記測定面上に焦点を合わせられた収束
    光を発することを特徴とする請求項1から請求項45の
    いずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装
    置。
  47. 【請求項47】 前記の少なくとも一つの特徴的外観
    パラメータが、測定面上の複数の点あるいは複数の面部
    分のそれぞれに対して決定されることを特徴とする請求
    項1から請求項46のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  48. 【請求項48】 前記測定面が、前記第1及び/又は
    第3の光学手段で発せされた光によって走査することが
    できることを特徴とする請求項1から請求項47のいず
    れか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  49. 【請求項49】 前記の少なくとも一つのパラメータ
    の複数の各々を、所定のあるいは選択可能なパラメータ
    範囲にしたがって評価することができることを特徴とす
    る請求項1から請求項48のいずれか一項に記載の構築
    面の質を定量的に判定する装置。
  50. 【請求項50】 所定のあるいは選択可能な数の所定
    のあるいは選択可能なパラメータ範囲内の少なくとも一
    つのパラメータの複数の各々を、統計学的ルールに従っ
    て評価することができることができることを特徴とする
    請求項1から請求項49のいずれか一項に記載の構築面
    の質を定量的に判定する装置。
  51. 【請求項51】 前記の少なくとも一つの特徴的外観
    パラメータの内の一つが、光沢及び/又はくもり及び/
    又は像の鮮明度及び/又はリップル及び/又は表面の色
    であることを特徴とする請求項1から請求項50のいず
    れか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  52. 【請求項52】 少なくとも一つの特徴的外観パラメ
    ータが、前記測定面の、少なくとも二つの所定の、選択
    可能なあるいは自動的に決定された部分の各々、及び表
    面部分に対して決定することができることを特徴とする
    請求項1から請求項51のいずれか一項に記載の構築面
    の質を定量的に判定する装置。
  53. 【請求項53】 前記装置が、決定される被覆厚を表
    す電気被覆厚出力信号を発する少なくとも一つの被覆厚
    センサーを有する面に施された被覆の層厚を決定するた
    めの被覆厚測定装置を備え、 前記制御手段が、被覆厚出力信号を評価することによっ
    て被覆厚値を決定し、かつ測定面で反射される際に少な
    くとも一つのフォトセンサーが受ける光を評価すること
    によって測定面に特徴的な少なくとも一つの外観パラメ
    ータを決定し、 前記出力手段が少なくとも一つの被覆厚値及び/又は少
    なくとも一つの外観パラメータを表示することを特徴と
    する請求項1から請求項52のいずれか一項に記載の構
    築面の質を定量的に判定する装置。
  54. 【請求項54】 前記被覆厚測定装置が、少なくとも
    一つの永久磁石及び/又は少なくとも一つの磁束密度セ
    ンサー手段、好ましくはホール効果センサー手段及び/
    又は渦電流測定コイルを備えたことを特徴とする請求項
    1から請求項53のいずれか一項に記載の構築面の質を
    定量的に判定する装置。
  55. 【請求項55】 前記被覆厚測定装置が、被覆厚を決
    定するための超音波送信機及び超音波受信機手段を備え
    たことを特徴とする請求項1から請求項54のいずれか
    一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  56. 【請求項56】 前記被覆厚測定装置が、被覆厚を決
    定するために、熱発生器、音波発生器、及び音響センサ
    ーを備えたことを特徴とする請求項1から請求項55の
    いずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装
    置。
  57. 【請求項57】 前記被覆厚測定装置が、測定面の被
    覆厚を決定するための少なくとも二つの異なるセンサー
    手段を有し、 ここで、少なくとも一つの第1の被覆厚センサーは磁性
    基板上の層厚を決定するために備え、 少なくとも一つの第2のの被覆厚センサーは非磁性基板
    上の層厚を決定するために備えたことを特徴とする請求
    項1から請求項56のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
  58. 【請求項58】 前記被覆厚測定装置が、測定面の被
    覆厚を決定するための少なくとも二つの異なるセンサー
    手段を有し、 ここで、少なくとも一つの第1の被覆厚センサーは導電
    性基板上の層厚を決定するために備え、 少なくとも一つの第2のの被覆厚センサーは非導電性基
    板上の層厚を決定するために備えたことを特徴とする請
    求項1から請求項57のいずれか一項に記載の構築面の
    質を定量的に判定する装置。
  59. 【請求項59】 前記装置が、磁性基板、非磁性基
    板、及びプラスチック基板上の層厚を決定する被覆厚セ
    ンサーをスイッチするスイッチ手段を備えたことを特徴
    とする請求項1から請求項58のいずれか一項に記載の
    構築面の質を定量的に判定する装置。
  60. 【請求項60】 前記第1及び/又は第3の光学手段
    が実質的に方向付けられた光あるいは拡散光を発するこ
    とを特徴とする請求項1から請求項59のいずれか一項
    に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  61. 【請求項61】 前記の少なくとも一つの光学手段で
    発せられかつ前記面で反射された光がアパーチャー上あ
    るいはブロックアパーチャー上に実質的に焦点を合わせ
    られることを特徴とする請求項1から請求項60のいず
    れか一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  62. 【請求項62】 前記アパーチャー上あるいはブロッ
    クアパーチャーが、反射光の伝搬方向に対して垂直な実
    質的に円形の面を有することを特徴とする請求項1から
    請求項61のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的
    に判定する装置。
  63. 【請求項63】 前記の少なくとも一つのセンサー
    は、明視野あるいは暗視野あるいは脈理あるいは位相法
    に従って照明されることを特徴とする請求項1から請求
    項62のいずれか一項に記載の構築面の質を定量的に判
    定する装置。
  64. 【請求項64】 測定される面の曲率が、前記の少な
    くとも一つの特徴的外観パラメータが前記曲率によって
    全く影響されないか又は無視できるほどしか影響されな
    いように、測定の修正のために決定されかつ利用される
    ことを特徴とする請求項1から請求項63のいずれか一
    項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  65. 【請求項65】 前記面から反射されかつ測定手段で
    受ける光パターンが面の曲率を決定するのに使用される
    ことを特徴とする請求項1から請求項64のいずれか一
    項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  66. 【請求項66】 反射光パターンにおける、パターン
    線の間隔、明/暗端が面の曲率を決定するのに使用され
    ることを特徴とする請求項1から請求項65のいずれか
    一項に記載の構築面の質を定量的に判定する装置。
  67. 【請求項67】 前記面の像への深さのシャープネス
    が、測定値及び/又は少なくとも一つの特徴的外観パタ
    ーンが面の曲率によっては実質的に影響されないよう
    に、測定手段上で調整可能であることを特徴とする請求
    項1から請求項66のいずれか一項に記載の構築面の質
    を定量的に判定する装置。
JP2000059648A 1999-03-04 2000-03-03 構築面の質を判定する装置及びその方法 Expired - Lifetime JP5008785B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19909534A DE19909534B4 (de) 1999-03-04 1999-03-04 Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität strukturierter Oberflächen
DE19909534.5 1999-03-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000329707A true JP2000329707A (ja) 2000-11-30
JP5008785B2 JP5008785B2 (ja) 2012-08-22

Family

ID=7899710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000059648A Expired - Lifetime JP5008785B2 (ja) 1999-03-04 2000-03-03 構築面の質を判定する装置及びその方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6542248B1 (ja)
JP (1) JP5008785B2 (ja)
DE (1) DE19909534B4 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005172814A (ja) * 2003-11-19 2005-06-30 Kansai Paint Co Ltd 反射紫外線測定装置
JP2006030204A (ja) * 2004-07-15 2006-02-02 Byk Gardner Gmbh 光表面特性の測角検査装置
WO2010140407A1 (ja) * 2009-06-05 2010-12-09 テルモ株式会社 成分測定装置
JP2011075544A (ja) * 2009-07-15 2011-04-14 Byk-Gardner Gmbh 肌理のある面の特性を決定するための方法および装置
JP2013148592A (ja) * 2013-04-15 2013-08-01 Terumo Corp 血糖値測定装置
JP2016531274A (ja) * 2013-07-22 2016-10-06 ツェットエス−ハンドリング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングZS−Handling GmbH 被加工物表面および帯状材料を検査するための装置
CN109341554A (zh) * 2018-12-24 2019-02-15 上海集成电路研发中心有限公司 一种测量膜厚的装置及方法
CN111272060A (zh) * 2018-12-05 2020-06-12 中国石油大学(华东) 基于单对电极电容成像检测技术的非导电材料开口缺陷宽度方向尺寸量化方法

Families Citing this family (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6930765B2 (en) * 2001-03-26 2005-08-16 Kla-Tencor Technologies Multiple spot size optical profilometer, ellipsometer, reflectometer and scatterometer
US6665078B1 (en) * 1997-09-22 2003-12-16 Candela Instruments System and method for simultaneously measuring thin film layer thickness, reflectivity, roughness, surface profile and magnetic pattern in thin film magnetic disks and silicon wafers
US20020015146A1 (en) * 1997-09-22 2002-02-07 Meeks Steven W. Combined high speed optical profilometer and ellipsometer
US6909500B2 (en) * 2001-03-26 2005-06-21 Candela Instruments Method of detecting and classifying scratches, particles and pits on thin film disks or wafers
US6757056B1 (en) 2001-03-26 2004-06-29 Candela Instruments Combined high speed optical profilometer and ellipsometer
US6031615A (en) 1997-09-22 2000-02-29 Candela Instruments System and method for simultaneously measuring lubricant thickness and degradation, thin film thickness and wear, and surface roughness
US6897957B2 (en) 2001-03-26 2005-05-24 Candela Instruments Material independent optical profilometer
US7123357B2 (en) * 1997-09-22 2006-10-17 Candela Instruments Method of detecting and classifying scratches and particles on thin film disks or wafers
US7068836B1 (en) * 2000-04-28 2006-06-27 Orametrix, Inc. System and method for mapping a surface
DE19930688A1 (de) * 1999-07-02 2001-01-04 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität von Oberflächen
US7061601B2 (en) * 1999-07-02 2006-06-13 Kla-Tencor Technologies Corporation System and method for double sided optical inspection of thin film disks or wafers
US7345751B2 (en) * 2001-03-26 2008-03-18 Kla-Tencor Technologies Corporation Material independent optical profilometer
DE10122313A1 (de) * 2001-05-08 2002-11-21 Wolfgang P Weinhold Verfahren und Vorrichtung zur berührungsfreien Untersuchung eines Gegenstandes, insbesondere hinsichtlich dessen Oberflächengestalt
US6882437B2 (en) * 2002-04-19 2005-04-19 Kla-Tencor Technologies Method of detecting the thickness of thin film disks or wafers
JP2003327346A (ja) * 2002-05-14 2003-11-19 Sharp Corp 光学式物体識別装置およびそれを用いた印刷装置
DE10233087A1 (de) * 2002-07-19 2004-02-05 Roche Diagnostics Gmbh Reflexionsphotometrisches Analysesystem
DE10233295A1 (de) * 2002-07-22 2004-02-12 Volkswagen Ag Verfahren zur Qualitätskontrolle von Oberflächen
DE10319543B4 (de) * 2003-04-30 2011-03-03 Byk-Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften
WO2005103608A1 (en) * 2004-04-21 2005-11-03 Remote Vision Solutions Pty Ltd Continuous surface deformation measurement
US7047801B2 (en) * 2004-04-30 2006-05-23 Raytheon Company Portable guidance assembly test station
DE202004009224U1 (de) * 2004-06-14 2004-08-12 Isra Vision Systems Ag Sensor zur Vermessung der Oberfläche eines Objekts
US7075741B1 (en) 2004-06-14 2006-07-11 Kla Tencor Technologues Corporation System and method for automatically determining magnetic eccentricity of a disk
FR2873226B1 (fr) * 2004-07-16 2008-04-04 Plastic Omnium Cie Plaque etalon et procede de controle de peinture de pieces de carrosserie de vehicules automobiles
DE102004037040B4 (de) * 2004-07-30 2013-11-21 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung von Oberflächeneigenschaften
DE102004046461B4 (de) * 2004-09-24 2007-03-08 Audi Ag Verfahren zur Ermittlung der Lackqualität einer lackierten Oberfläche, insbesondere eines lackierten Fahrzeugkarosserieteils
US7396022B1 (en) 2004-09-28 2008-07-08 Kla-Tencor Technologies Corp. System and method for optimizing wafer flatness at high rotational speeds
US7201799B1 (en) 2004-11-24 2007-04-10 Kla-Tencor Technologies Corporation System and method for classifying, detecting, and counting micropipes
US7684032B1 (en) 2005-01-06 2010-03-23 Kla-Tencor Corporation Multi-wavelength system and method for detecting epitaxial layer defects
DE102005025291B4 (de) * 2005-06-02 2019-07-25 Byk-Gardner Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften
AT502094B1 (de) * 2005-06-20 2007-08-15 Polymer Competence Ct Leoben G Verfahren zur analyse der oberflächeneigenschaften eines materials
JP4426519B2 (ja) * 2005-11-11 2010-03-03 株式会社日立ハイテクノロジーズ 光学的高さ検出方法、電子線測定装置および電子線検査装置
DE102006028238B3 (de) * 2006-06-20 2007-07-19 Benecke-Kaliko Ag Verfahren zur Analyse der Reflexionseigenschaften
DE102006038615A1 (de) * 2006-08-17 2008-02-21 Massen Machine Vision Systems Gmbh Überwachung der Qualität von gemusterten, insbesondere räumlich gekrümmten Oberflächen
DE102006051246A1 (de) * 2006-10-31 2008-05-08 Georg Franczak Methode zum Nachweis der Vorschäden an KFZ-Karosserieteilen für die Versicherungswirtschaft
JP2008256454A (ja) * 2007-04-03 2008-10-23 Konica Minolta Sensing Inc 光学特性測定装置および該方法
EP2101143A1 (de) 2008-03-10 2009-09-16 Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Form transparenter refraktiver Objekte
DE102008024731B4 (de) * 2008-05-19 2020-08-20 BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung Verfahren und Vorrichtung zur Sinterung eines Objektes unter Bestimmung des geometrischen Oberflächenprofils des Objekts
US9109330B2 (en) * 2009-03-09 2015-08-18 Honeywell International Inc. Apparatus and method for measuring properties of unstabilized moving sheets
DE202009012142U1 (de) * 2009-09-07 2011-02-03 Sick Ag Optoelektronischer Sensor zur Streifenerkennung
US9124810B2 (en) * 2010-04-14 2015-09-01 Koh Young Technology Inc. Method of checking an inspection apparatus and method of establishing a measurement variable of the inspection apparatus
FI124452B (fi) * 2010-07-09 2014-09-15 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Menetelmä ja laite pinnan värin ja muiden ominaisuuksien mittaamiseksi
CN104412079B (zh) 2012-05-09 2018-03-27 希捷科技有限公司 表面特征映射
DE102012009859B4 (de) * 2012-05-21 2019-05-16 QuISS Qualitäts-Inspektionssysteme und Service AG Verfahren zum Erkennen einer auf einem Substrat aufzubringenden Struktur mit mehreren optischen Bild-Aufnahmeeinheiten sowie einer Vorrichtung hierfür
DE102012104745B4 (de) * 2012-06-01 2015-03-19 SmartRay GmbH Prüfverfahren und hierzu geeigneter Prüfkopf
AT513062A1 (de) * 2012-07-09 2014-01-15 Polymer Competence Ct Leoben Gmbh Vorrichtung zur Erfassung des Glanzes einer Oberfläche eines Gegenstandes
US9212900B2 (en) 2012-08-11 2015-12-15 Seagate Technology Llc Surface features characterization
US9297751B2 (en) 2012-10-05 2016-03-29 Seagate Technology Llc Chemical characterization of surface features
US9297759B2 (en) 2012-10-05 2016-03-29 Seagate Technology Llc Classification of surface features using fluorescence
US9377394B2 (en) 2012-10-16 2016-06-28 Seagate Technology Llc Distinguishing foreign surface features from native surface features
US9217714B2 (en) 2012-12-06 2015-12-22 Seagate Technology Llc Reflective surfaces for surface features of an article
US9513215B2 (en) 2013-05-30 2016-12-06 Seagate Technology Llc Surface features by azimuthal angle
US9201019B2 (en) 2013-05-30 2015-12-01 Seagate Technology Llc Article edge inspection
US9581554B2 (en) 2013-05-30 2017-02-28 Seagate Technology Llc Photon emitter array
US9217715B2 (en) 2013-05-30 2015-12-22 Seagate Technology Llc Apparatuses and methods for magnetic features of articles
US9274064B2 (en) 2013-05-30 2016-03-01 Seagate Technology Llc Surface feature manager
JP6635674B2 (ja) 2015-05-11 2020-01-29 キヤノン株式会社 計測装置、計測方法およびプログラム
US10832976B2 (en) * 2017-01-12 2020-11-10 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam device and optical examination device
CN108534706B (zh) * 2018-02-28 2020-04-10 重庆广福科技有限公司 汽车管型配件检测装置
US10401286B1 (en) * 2018-03-23 2019-09-03 Intel Corporation Reflectivity analysis to determine material on a surface
DE102019100615A1 (de) * 2019-01-11 2020-07-16 NoKra Optische Prüftechnik und Automation GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung einer Beschichtung auf einer Oberfläche
JP6867420B2 (ja) * 2019-01-21 2021-04-28 ファナック株式会社 工作機械、管理システムおよび工具劣化検出方法
DE102019126833A1 (de) * 2019-10-07 2021-04-08 A.L.L. Lasersysteme GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Charakterisieren von metallenen Materialien
DE102019133364B3 (de) * 2019-12-06 2021-03-04 Lufthansa Technik Aktiengesellschaft Verfahren zur Beurteilung der Qualität lackierter Holzoberflächen
NL2030196B1 (en) * 2021-12-20 2023-06-28 Ind Physics Inks & Coatings B V Method of analysing optical properties of material.
EP4249899A1 (en) * 2022-03-22 2023-09-27 Evonik Operations GmbH Method for inspecting a coated surface for coating defects
CN116718131B (zh) * 2023-05-19 2024-03-19 国网宁夏电力有限公司中卫供电公司 一种变电站用电流互感器数字化异常报警系统
CN117109643B (zh) * 2023-10-24 2024-01-02 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用透射式角度传感器件的测试方法及系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898163A1 (en) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6117047A (ja) * 1984-02-29 1986-01-25 Suga Shikenki Kk 視感光沢度測定方法
DE3919893A1 (de) * 1988-06-22 1989-12-28 Innovat Ges Fuer Sondermaschin Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung von gestaltsabweichungen an oberflaechen
US5401977A (en) * 1988-10-14 1995-03-28 Byk-Gardner Gmbh Method and apparatus for gloss measurement with reference value pairs
US5141320A (en) * 1989-04-13 1992-08-25 Nissan Motor Co., Ltd. Method and system for evaluating gloss and brightness character of coated paint film
JP2588297B2 (ja) * 1990-06-20 1997-03-05 日産自動車株式会社 塗装表面の鮮映性評価方法
US5142648A (en) * 1990-08-02 1992-08-25 General Motors Corporation Method and apparatus for paint inspection
JP3185031B2 (ja) * 1991-06-17 2001-07-09 株式会社キーエンス 光沢検出器
DE4127215C2 (de) * 1991-08-16 2003-07-17 Byk Gardner Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung des physiologischen Eindruckes von reflektionsfähigen Oberflächen
GB9307279D0 (en) * 1993-04-07 1993-06-02 Feather James W Goniophotometer
JP2976869B2 (ja) * 1995-12-28 1999-11-10 日産自動車株式会社 表面欠陥検査装置
DE19612093A1 (de) * 1996-03-27 1997-10-02 Krupp Ag Hoesch Krupp Verfahren und Einrichtung zum Messen von Oberflächenwelligkeiten
US6266138B1 (en) * 1999-10-12 2001-07-24 Perceptron, Inc. System and method for detecting defects in a surface of a workpiece

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898163A1 (en) * 1997-08-22 1999-02-24 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Method and apparatus for automatic inspection of moving surfaces
JP2001514386A (ja) * 1997-08-22 2001-09-11 スペクトラ−フィジックス・ビジョンテック・オイ 移動表面の自動的な検査のための方法及び装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005172814A (ja) * 2003-11-19 2005-06-30 Kansai Paint Co Ltd 反射紫外線測定装置
JP2006030204A (ja) * 2004-07-15 2006-02-02 Byk Gardner Gmbh 光表面特性の測角検査装置
WO2010140407A1 (ja) * 2009-06-05 2010-12-09 テルモ株式会社 成分測定装置
JP2010281751A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Terumo Corp 成分測定装置
JP2011075544A (ja) * 2009-07-15 2011-04-14 Byk-Gardner Gmbh 肌理のある面の特性を決定するための方法および装置
JP2013148592A (ja) * 2013-04-15 2013-08-01 Terumo Corp 血糖値測定装置
JP2016531274A (ja) * 2013-07-22 2016-10-06 ツェットエス−ハンドリング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングZS−Handling GmbH 被加工物表面および帯状材料を検査するための装置
CN111272060A (zh) * 2018-12-05 2020-06-12 中国石油大学(华东) 基于单对电极电容成像检测技术的非导电材料开口缺陷宽度方向尺寸量化方法
CN109341554A (zh) * 2018-12-24 2019-02-15 上海集成电路研发中心有限公司 一种测量膜厚的装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6542248B1 (en) 2003-04-01
JP5008785B2 (ja) 2012-08-22
DE19909534B4 (de) 2011-07-07
DE19909534A1 (de) 2000-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000329707A (ja) 構築面の質を判定する装置及びその方法
JP6061059B1 (ja) 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法
JP2003042965A (ja) 反射体の特性を決定する装置及びその方法
JP2006313146A (ja) 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
US7460218B2 (en) Device and method for determining the properties of surfaces
JP6119926B1 (ja) 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法
JP2001041888A (ja) 表面品質を決定するためのデバイスおよび方法
CA2507642C (en) Method and device for optical shape measurement and/or evaluation
JP2011027734A (ja) 肌理のある面の検査のための装置
JPH0420845A (ja) 光沢むらの測定方法
US20130208987A1 (en) Method for optically scanning an edge in or on a surface region
CN108225195A (zh) 无损测试切削刀片以确定涂层厚度的方法
JP2008051810A (ja) 表面特性のトポグラフィー決定のためのデバイスおよび方法
JP2021047200A (ja) 表面特性を決定する多段階方法および調査装置
JP2000131226A (ja) 構造体表面の品質を測定するための装置と方法
JP2006267109A (ja) 光学レンズの屈折特性を測定するための測定装置
US7630516B2 (en) Method and device for characterizing surfaces
CN105277131B (zh) 三维孔结构的测量装置与测量方法
JP5197600B2 (ja) 2層3次元オブジェクトを単一視点方式の光学オムブルスコープによって非接触測定する方法
US7468800B2 (en) Method and apparatus for determining surface properties
JP2006267108A (ja) 光学レンズの屈折特性を測定するための測定装置
JP2021105605A (ja) 物品によるスペクトル吸収を測定するシステムおよび方法
KR20050042470A (ko) 금속재료 표면코팅 성질의 인라인 측정 프로세스와 측정장치
JP2007279032A (ja) ディスク状対象物から得られる光学測定値を光学的に検査し視覚化する方法
JP2002519651A (ja) 被覆面の質を定量的に判定する装置及びその方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100203

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100208

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100331

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100405

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100706

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110307

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110621

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111020

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20111118

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120501

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120530

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5008785

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term