JP2000324804A - 電源供給システムの不良電源検出方法及び装置 - Google Patents

電源供給システムの不良電源検出方法及び装置

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JP2000324804A
JP2000324804A JP11123227A JP12322799A JP2000324804A JP 2000324804 A JP2000324804 A JP 2000324804A JP 11123227 A JP11123227 A JP 11123227A JP 12322799 A JP12322799 A JP 12322799A JP 2000324804 A JP2000324804 A JP 2000324804A
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桂樹 片岡
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の電源装置を並列運転する際に不良電源
装置の特定が容易な電源供給システムの不良電源検出装
置を提供する。 【解決手段】 各電源装置の出力端である整流回路の出
力端における直流電圧を監視し、前記整流回路出力が異
常である場合に不良状態が発生したことを示す不良検出
信号を出力する出力電圧モニタ回路16−1〜16−N
と、各電源装置のインバータ出力を監視し、該インバー
タ出力が異常である場合に不良状態が発生したことを示
す不良検出信号を出力するするインバータ出力モニタ回
路18−1〜18−Nと、出力電圧監視手段及びインバ
ータ出力監視手段の監視出力を取り込み、前記整流回路
及びインバータ出力が異常である場合に該当する電源装
置を不良であると判定する制御回路50とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置等
の大電力を必要とする装置に電源電圧を供給する複数の
電源装置を含んで構成される電源供給システムの不良電
源検出方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】大電力の電源を必要とする装置として半
導体試験装置を例にとり、半導体試験装置の電源供給シ
ステムの構成を図4に示す。同図において、この電源供
給システムは電源装置200−1,200−2、…、2
00−Nと、各電源装置200−1,200−2、…、
200−Nの不良状態を検出し、検出結果に応じて各電
源装置の起動/停止を制御する不良検出回路210と、
不良検出回路210の動作を制御する制御回路220と
を有している。
【0003】100A,100Bは半導体試験装置の電
源供給ラインであり、電源供給ライン100A,100
Bには、複数の電源装置200−1,200−2、…、
200−Nを並列運転することにより電源電圧が供給さ
れるように各電源装置200−1,200−2、…、2
00−Nの出力端が接続されている。
【0004】電源装置200−1は、インバータ202
−1と、整流平滑回路204−1とを有しており、整流
平滑回路204−1の出力端、即ち電源装置200−1
の出力端子は電源供給ライン100A,100Bに接続
されている。また整流平滑回路204−1の出力電圧は
電源装置200−1に内蔵された出力電圧モニタ回路2
06−1により監視されるようになっている。各電源装
置200−2〜200−Nの構成も、電源装置200−
1と同様である。
【0005】不良検出回路210は、各電源装置200
−1,200−2、…、200−Nに内蔵された出力電
圧モニタ回路206−1〜206−Nの監視電圧(整流
平滑回路の出力電圧)を取り込むゲート212と、ゲー
ト212の出力を保持するラッチ回路214と、ORゲ
ート215と、ラッチ回路214の出力を制御回路22
0に取り込むためのゲート216と、電源起動/停止回
路218とを有している。
【0006】上記構成において各電源装置200−1,
200−2、…、200−Nの出力電圧モニタ回路20
6−1〜206−Nは電源供給ライン100A,100
Bにおける同一の電圧を監視している。この状態で特定
の電源装置、例えば、電源装置200−1に不良が発生
すると、電源供給ライン100A,100Bにおける電
圧レベルが変化する。各出力電圧モニタ回路206−1
〜206−Nは、内部に有する基準電圧と電源供給ライ
ン100A,100Bにおける監視電圧とを比較し、そ
の比較結果に基づいて不良検出信号を出力する。出力電
圧モニタ回路206−1〜206−Nは電源供給ライン
100A,100Bにおける同一の電圧を監視している
ので、各出力電圧モニタ回路206−1〜206−Nか
ら不良検出信号が不良検出回路210に出力され、ゲー
ト212を介してラッチ回路214に保持される。
【0007】ラッチ回路214における不良検出信号の
ラッチのタイミングは出力電圧モニタ回路206−1〜
206−Nより出力される複数の不良検出信号のうち最
初にラッチ回路214に入力されるタイミングである。
ところで、出力電圧モニタ回路206−1〜206−N
より出力される複数の不良検出信号は、各出力電圧モニ
タ回路を構成する素子の特性のばらつき等により上記ラ
ッチ回路214における入力タイミングに時間差が生じ
るために、必ずしも不良電源装置より出力された不良検
出信号とは限らない。
【0008】また制御回路220は一定周期で不良検出
信号の有無を確認するために読取信号を発生させ、不良
検出信号を確認すると、不良検出回路210内の電源起
動/停止回路218に電源停止指令が出力する。不良検
出回路210は、制御回路220からの電源停止指令ま
たは、ORゲート215より出力される不良検出信号の
論理和出力のいずれかに基づいて電源供給を停止させる
ための電源停止信号を各電源装置200−1,200−
2、…、200−Nに出力する。各電源装置200−
1,200−2、…、200−Nがパワーオフした後、
不良の電源装置(この例では電源装置200−1)の交
換を行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電源供
給システムでは、各電源装置200−1,200−2、
…、200−Nがパワーオフした後、不良の電源装置の
交換を行うが、ラッチ回路インバータ214に保持され
る不良検出信号が、必ずしも不良電源装置の出力に対応
していないので、正確に不良状態にある電源装置を特定
することができなかった。このために、最悪の場合には
数回の電源装置の交換を実施しなければならず、不良電
源装置の交換作業に要する時間が長くなるという問題が
有った。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
であり、複数の電源装置を並列運転する際に不良電源装
置の特定が容易な電源供給システムの不良電源検出方法
及び装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1に記載の発明は、大電力を必要とする装置の
電源供給ラインにインバータと、該インバータ出力を直
流電圧に変換する整流回路とを有する複数の電源装置を
並列運転して直流電圧を供給する電源供給システムにお
ける、前記複数の電源装置の不良状態を検出する電源供
給システムの不良電源検出方法において、前記電源供給
ラインに接続される前記各電源装置の出力端である前記
整流回路の出力端における直流電圧を監視し、かつ、前
記各電源装置のインバータ出力を監視すると共に、前記
整流回路の出力端における直流電圧及びインバータ出力
の双方が異常である場合にこの状態に該当する電源装置
が不良であると判定することを特徴とする。
【0011】請求項1に記載の発明によれば、電源供給
ラインに接続される前記各電源装置の出力端である前記
整流回路の出力端における直流電圧を監視し、かつ、前
記各電源装置のインバータ出力を監視すると共に、前記
整流回路の出力端における直流電圧及びインバータ出力
の双方が異常である場合にこの状態に該当する電源装置
が不良であると判定するようにしたので、複数の電源装
置を並列運転する際に不良状態の電源装置を容易に特定
することができ、不良電源装置の交換作業に要する時間
を短縮することができる。
【0012】また請求項2に記載の発明は、大電力を必
要とする装置の電源供給ラインにインバータと、該イン
バータ出力を直流電圧に変換する整流回路とを有する複
数の電源装置を並列運転して電源を供給する電源供給シ
ステムにおける、前記複数の電源装置の不良状態を検出
する電源供給システムの不良電源検出装置において、前
記各電源装置の出力端である前記整流回路の出力端にお
ける直流電圧を監視し、前記整流回路出力が異常である
場合に不良状態が発生したことを示す不良検出信号を出
力する出力電圧監視手段と、前記各電源装置のインバー
タ出力を監視し、該インバータ出力が異常である場合に
不良状態が発生したことを示す不良検出信号を出力する
するインバータ出力監視手段と、前記出力電圧監視手段
及びインバータ出力監視手段の監視出力を取り込み、前
記整流回路及びインバータ出力が異常である場合に該当
する電源装置を不良であると判定する判定手段とを有す
ることを特徴とする。
【0013】請求項2に記載の発明によれば、大電力を
必要とする装置の電源供給ラインにインバータと、該イ
ンバータ出力を直流電圧に変換する整流回路とを有する
複数の電源装置を並列運転して電源を供給する電源供給
システムにおける、前記複数の電源装置の不良状態を検
出する電源供給システムの不良電源検出装置において、
前記各電源装置の出力端である前記整流回路の出力端に
おける直流電圧を監視し、前記整流回路出力が異常であ
る場合に不良状態が発生したことを示す不良検出信号を
出力する出力電圧監視手段と、前記各電源装置のインバ
ータ出力を監視し、該インバータ出力が異常である場合
に不良状態が発生したことを示す不良検出信号を出力す
るするインバータ出力監視手段と、前記出力電圧監視手
段及びインバータ出力監視手段の監視出力を取り込み、
前記整流回路及びインバータ出力が異常である場合に該
当する電源装置を不良であると判定する判定手段とを有
するので、複数の電源装置を並列運転する際に不良状態
の電源装置を容易に特定することができ、不良電源装置
の交換作業に要する時間を短縮することができる。
【0014】また請求項3に記載の発明は、請求項2に
記載の電源供給システムの不良検出装置において、前記
大電力を必要とする装置は、半導体試験装置であること
を特徴とする。
【0015】請求項3に記載の発明によれば、半導体試
験装置の電源供給ラインに電源供給する複数の電源装置
を並列運転する際に不良状態の電源装置の特定が容易に
なり、不良電源装置の交換作業に要する時間を短縮する
ことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。本発明の実施の形態に係る
電源供給システムの不良電源検出装置の構成を図1に示
す。この不良電源検出装置は、大電力を必要とする装置
の電源供給ラインにインバータと、該インバータ出力を
直流電圧に変換する整流回路とを有する複数の電源装置
を並列運転して直流電圧を供給する電源供給システムに
おいて、前記電源供給ラインに接続される前記各電源装
置の出力端である前記整流回路の出力端における直流電
圧を監視し、かつ、前記各電源装置のインバータ出力を
監視すると共に、前記整流回路の出力端における直流電
圧及びインバータ出力の双方が異常である場合に、この
状態に該当する電源装置が不良であると判定する電源供
給システムの不良電源検出方法を実施するための装置で
ある。
【0017】図1において、電源供給システムは電源装
置10−1,10−2、…、10−Nと、各電源装置1
0−1,10−2、…、10−Nの不良状態を検出し、
その検出結果に応じて各電源装置の起動/停止を制御す
る不良検出回路20と、不良検出回路20の動作を制御
する制御回路50とを有している。半導体試験装置の電
源供給ライン100A,100Bには大電力を供給する
ために電源装置10−1、10−2、…、10−Nの出
力端が並列に接続されている。
【0018】電源装置10−1は、インバータ12−1
と、整流平滑回路14−1とを有しており、整流平滑回
路14−1の出力端、即ち電源装置10−1の出力端子
は電源供給ライン100A,100Bに接続されてい
る。また整流平滑回路14−1の出力電圧は電源装置1
0−1に内蔵された出力電圧モニタ回路16−1により
監視され、インバータ12−1の出力電圧はインバータ
動作モニタ回路18−1により監視されるようになって
いる。各電源装置10−2〜10−Nの構成も、電源装
置10−1と同様である。
【0019】不良検出回路20は、各電源装置10−
1,10−2、…、10−Nに内蔵された出力電圧モニ
タ回路16−1〜16−Nの監視電圧(整流平滑回路の
出力電圧)判定信号を取り込むゲート22と、インバー
タ動作モニタ回路18−1,18−2、…、18−Nの
監視電圧(インバータの出力電圧)判定信号を取り込む
ゲート24と、ゲート24の出力を保持するラッチ回路
26と、ゲート22の出力を保持するラッチ回路28
と、ラッチ回路26の出力の論理和をとるORゲート3
6と、ラッチ回路28の論理和をとるORゲート38
と、ラッチ回路26の出力を制御回路50に取り込むた
めのゲート30と、ラッチ回路28の出力を制御回路5
0に取り込むためのゲート32と、ORゲート38の出
力または制御回路50の出力に基づいて各電源装置10
−1,10−2、…、10−Nに起動/停止信号を出力
する電源起動/停止回路40とを有している。
【0020】電源起動/停止回路40はゲート22の動
作を有効にする制御信号FEをゲート22に出力する。
制御信号FEは電源装置10−1,10−2、…、10
−Nが動作中である期間だけ出力され、ゲート22はこ
の制御信号FEが入力されている期間のみ入力信号を通
過させる。次に出力電圧モニタ回路16−1の具体的構
成を図2に示す。同図において、出力電圧モニタ回路1
6−1は、電源装置の出力の上限及び下限を規定する上
限基準電圧VUL,下限基準電圧VLLを発生する基準電圧
発生回路60と、整流平滑回路14−1の出力電圧であ
る監視出力VMとを大小比較する比較回路62と、監視
出力VMと下限基準電圧VLLとを比較する比較回路64
と、比較回路62、64の比較出力に基づいて監視出力
VMが上限基準電圧VUL,下限基準電圧VLLにより規定
される電圧値の範囲外である場合に不良検出信号S1を
出力する判定回路66とを有している。
【0021】次にインバータ動作モニタ回路10−1の
具体的構成を図3に示す。同図において、インバータ動
作モニタ回路10−1は、インバータ出力VINVを整流
して直流電圧に変換する整流平滑回路70と、整流平滑
回路70の出力電圧のレベルを基準レベルと比較し、整
流平滑回路70の出力電圧のレベルが所定の範囲外であ
る場合に不良検出信号S2を出力するレベル判定回路7
2とを有している。
【0022】上記構成においての出力電圧モニタ回路1
6−1〜16−Nは電源供給ライン100A,100B
における同一の電圧を監視している。この状態で各電源
装置10−1、10−2、…、10−Nのいずれか(例
えば、電源装置10−1)に不良が発生すると、電源供
給ライン100A,100Bにおける監視電圧VMの電
圧レベルが変化し、異常電圧となる。出力電圧モニタ回
路16−1では比較回路62で監視電圧VMと上限基準
電圧VULとを、また比較回路64で監視電圧VMと下限
基準電圧VLLとをそれぞれ比較し、比較結果を示す信号
V1、V2をそれぞれ、判定回路66に出力する。
【0023】判定回路66は、比較回路62、64の比
較出力V1、V2に基づいて監視電圧VMが上限基準電
圧VULと下限基準電圧VLLとで規定される範囲外の値で
あると判定された場合には、不良検出信号S1を不良検
出回路20内のゲート22に出力する。出力電圧モニタ
回路16−2〜16−Nも出力電圧モニタ回路16−1
と同様に動作し、ゲート22に不良検出信号S1をゲー
ト22に出力する。したがって、出力電圧モニタ回路1
6−1〜16−Nから出力される不良検出信号S1は電
源起動/停止回路40より出力される制御信号FEによ
りゲート22を介してラッチ回路28に入力され、ラッ
チ回路28ではORゲート38の出力により不良検出信
号S1が保持される。このラッチ回路28に保持された
不良検出信号S1を不良検出データDS1と呼ぶことに
する。
【0024】ここでORゲート38の出力(ラッチ信
号)はラッチ回路28の出力の論理和であるので、ラッ
チ回路28に不良検出信号S1が入力されない限り、ラ
ッチ回路28のラッチ動作は行われない。またORゲー
ト38の出力はゲート24のゲート動作を制御する制御
信号としても使用されているために、ラッチ回路28に
不良検出信号S1が入力されない限り、ゲート24は活
性化されない。
【0025】一方、インバータ動作モニタ回路18−1
〜18−Nではインバータ12−1〜12−Nの出力V
Mを監視する。インバータ動作モニタ回路18−1につ
いて説明すると、インバータ動作モニタ回路18−1は
インバータの出力トランスの出力電圧を整流平滑回路7
0により直流電圧に変換し、整流平滑回路70の出力を
レベル判定回路72により基準レベルとの比較により正
常であるか否かを判定する。インバータ動作モニタ回路
18−2〜18−Nについても同様の動作を行う。
【0026】ここでインバータ動作モニタ回路はインバ
ータの出力トランスの出力に異常が発生した場合にレベ
ル判定回路より不良検出信号S2が不良検出回路20の
ゲート24に出力される。このようにインバータ動作モ
ニタ回路10−1〜10−Nは各電源装置10−1、1
0−2、…、10−Nのインバータの出力を確認する機
能を有するので、異常が発生した電源装置のみから不良
検出信号S2が出力される。本実施の形態では電源装置
10−1のインバータ12−1の出力が異常であるの
で、インバータ動作モニタ回路18−1からのみ故障検
出信号S2が出力され、不良検出回路20内のゲート2
4に出力される。
【0027】ゲート24は、ORゲート38から出力さ
れるラッチ信号が出力されている期間のみ不良検出信号
S2を通過させる。従って、不良検出信号S1が発生し
ない限り、ゲート24に入力される不良検出信号S2は
有効にならない。不検出信号S2はゲート24を介して
ラッチ回路26に入力され、ORゲート36の出力をラ
ッチ信号としてラッチ回路26に保持される。このラッ
チ回路26に保持された不良検出信号S2を不良検出デ
ータDS2と呼ぶことにする。
【0028】制御回路50は、一定周期で不良検出デー
タDS1、DS2の有無を確認するために読み取り信号
RS1、RS2をゲート30、32に出力する。この読
み取り信号RS1、RS2はゲートの制御信号であり、
これらの信号が出力されている期間のみゲート30、3
2はデータを通過させる。制御回路50は、ゲート3
2、30を介して不良検出データDS1、DS2を取り
込み、これらの不良検出データDS1、DS2に基づい
て不良状態にある電源装置(本実施の形態では電源装置
10−1)を特定し、その電源装置を特定するデータを
図示してない表示部に表示する。
【0029】また制御回路50は、不良検出データDS
1、DS2に基づいて電源装置10−1〜10−Nの運
転を停止するための指令CS1を電源起動/停止回路4
0に出力する。不良検出回路20においては、電源起動
/停止回路40は制御回路40より指令CS1を受け取
り、各電源装置10−1〜10−Nの運転を停止させる
ための制御信号CS2を各電源装置10−1〜10−N
に出力する。 この後、不良の電源装置である電源装
置10−1を正常動作する電源装置に交換することによ
り複数の電源装置による並列運転を行うことができる。
【0030】以上に説明したように本発明の実施の形態
に係る電源供給システムの不良電源検出方法によれば、
電源供給ラインに接続される前記各電源装置の出力端で
ある前記整流回路の出力端における直流電圧を監視し、
かつ、前記各電源装置のインバータ出力を監視すると共
に、前記整流回路の出力端における直流電圧及びインバ
ータ出力の双方が異常である場合にこの状態に該当する
電源装置が不良であると判定するようにしたので、複数
の電源装置を並列運転する際に不良状態の電源装置を容
易に特定することができ、不良電源装置の交換作業に要
する時間を短縮することができる。
【0031】また本発明の実施の形態に係る電源供給シ
ステムの不良電源検出装置によれば、大電力を必要とす
る装置の電源供給ラインにインバータと、該インバータ
出力を直流電圧に変換する整流回路とを有する複数の電
源装置10−1〜10−Nを並列運転して電源を供給す
る電源供給システムにおける、前記複数の電源装置の不
良状態を検出する電源供給システムの不良電源検出装置
において、前記各電源装置の出力端である前記整流回路
の出力端における直流電圧を監視し、前記整流回路出力
が異常である場合に不良状態が発生したことを示す不良
検出信号を出力する出力電圧モニタ回路18−1〜18
−Nと、前記各電源装置のインバータ出力を監視し、該
インバータ出力が異常である場合に不良状態が発生した
ことを示す不良検出信号を出力するインバータ動作モニ
タ回路18−1〜18−Nと、前記出力電圧監視手段及
びインバータ出力監視手段の監視出力を取り込み、前記
整流回路及びインバータ出力が異常である場合に該当す
る電源装置を不良であると判定する制御回路50とを有
するので、複数の電源装置を並列運転する際に不良状態
の電源装置を容易に特定することができ、不良電源装置
の交換作業に要する時間を短縮することができる。
【0032】本発明の実施の形態に係る電源供給システ
ムの不良電源検出装置によれば、本発明を半導体試験装
置に適用するようにしたので、半導体試験装置の電源供
給ラインに電源供給する複数の電源装置を並列運転する
際に不良状態の電源装置の特定が容易になり、不良電源
装置の交換作業に要する時間を短縮することができる。
【0033】尚、出力電圧電圧モニタ回路16−1〜1
6−Nは本発明の出力電圧監視手段に、インバータ動作
モニタ回路18−1〜18−Nは本発明のインバータ出
力監視手段に、制御回路50は本発明の判定手段に、そ
れぞれ相当する。
【0034】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1に記載の
発明によれば、電源供給ラインに接続される前記各電源
装置の出力端である前記整流回路の出力端における直流
電圧を監視し、かつ、前記各電源装置のインバータ出力
を監視すると共に、前記整流回路の出力端における直流
電圧及びインバータ出力の双方が異常である場合にこの
状態に該当する電源装置が不良であると判定するように
したので、複数の電源装置を並列運転する際に不良状態
の電源装置を容易に特定することができ、不良電源装置
の交換作業に要する時間を短縮することができる。
【0035】また請求項2に記載の発明によれば、大電
力を必要とする装置の電源供給ラインにインバータと、
該インバータ出力を直流電圧に変換する整流回路とを有
する複数の電源装置を並列運転して電源を供給する電源
供給システムにおける、前記複数の電源装置の不良状態
を検出する電源供給システムの不良電源検出装置におい
て、前記各電源装置の出力端である前記整流回路の出力
端における直流電圧を監視し、前記整流回路出力が異常
である場合に不良状態が発生したことを示す不良検出信
号を出力する出力電圧監視手段と、前記各電源装置のイ
ンバータ出力を監視し、該インバータ出力が異常である
場合に不良状態が発生したことを示す不良検出信号を出
力するインバータ出力監視手段と、前記出力電圧監視手
段及びインバータ出力監視手段の監視出力を取り込み、
前記整流回路及びインバータ出力が異常である場合に該
当する電源装置を不良であると判定する判定手段とを有
するので、複数の電源装置を並列運転する際に不良状態
の電源装置を容易に特定することができ、不良電源装置
の交換作業に要する時間を短縮することができる。
【0036】また請求項3に記載の発明によれば、半導
体試験装置の電源供給ラインに電源供給する複数の電源
装置を並列運転する際に不良状態の電源装置の特定が容
易になり、不良電源装置の交換作業に要する時間を短縮
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態に係る電源供給システム
の不良電源検出装置の構成を示すブロック図。
【図2】 図1における出力電圧モニタ回路の具体的構
成を示すブロック図。
【図3】 図1におけるインバータ動作モニタ回路の具
体的構成を示すブロック図。
【図4】 従来の電源供給システムの不良電源検出装置
の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
10−1〜10−N 電源装置 12−1〜12−N インバータ 14−1〜14−N 整流平滑回路 16−1〜16−N 出力電圧モニタ回路 18−1〜18−N インバータ動作モニタ回路 20 不良検出回路 22、24、30、32 ゲート 26、28 ラッチ回路 40 電源起動/停止回路 50 制御回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 大電力を必要とする装置の電源供給ライ
    ンにインバータと、該インバータ出力を直流電圧に変換
    する整流回路とを有する複数の電源装置を並列運転して
    直流電圧を供給する電源供給システムにおける、前記複
    数の電源装置の不良状態を検出する電源供給システムの
    不良電源検出方法において、 前記電源供給ラインに接続される前記各電源装置の出力
    端である前記整流回路の出力端における直流電圧を監視
    し、かつ、前記各電源装置のインバータ出力を監視する
    と共に、前記整流回路の出力端における直流電圧及びイ
    ンバータ出力の双方が異常である場合に、この状態に該
    当する電源装置が不良であると判定することを特徴とす
    る電源供給システムの不良電源検出方法。
  2. 【請求項2】 大電力を必要とする装置の電源供給ライ
    ンにインバータと、該インバータ出力を直流電圧に変換
    する整流回路とを有する複数の電源装置を並列運転して
    電源を供給する電源供給システムにおける、前記複数の
    電源装置の不良状態を検出する電源供給システムの不良
    電源検出装置において、前記各電源装置の出力端である
    前記整流回路の出力端における直流電圧を監視し、前記
    整流回路出力が異常である場合に不良状態が発生したこ
    とを示す不良検出信号を出力する出力電圧監視手段と、
    前記各電源装置のインバータ出力を監視し、該インバー
    タ出力が異常である場合に不良状態が発生したことを示
    す不良検出信号を出力するするインバータ出力監視手段
    と、前記出力電圧監視手段及びインバータ出力監視手段
    の監視出力を取り込み、前記整流回路及びインバータ出
    力が異常である場合に該当する電源装置を不良であると
    判定する判定手段とを有することを特徴とする電源供給
    システムの不良電源検出装置。
  3. 【請求項3】 前記大電力を必要とする装置は、半導体
    試験装置であることを特徴とする請求項2に記載の電源
    供給システムの不良電源検出装置。
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