JP2000323320A - Manufacture of soft magnetic ferrite powder and manufacture of laminated chip inductor - Google Patents

Manufacture of soft magnetic ferrite powder and manufacture of laminated chip inductor

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JP2000323320A
JP2000323320A JP2000044832A JP2000044832A JP2000323320A JP 2000323320 A JP2000323320 A JP 2000323320A JP 2000044832 A JP2000044832 A JP 2000044832A JP 2000044832 A JP2000044832 A JP 2000044832A JP 2000323320 A JP2000323320 A JP 2000323320A
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magnetic ferrite
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organic
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of manufacturing Ni-Cu-Zn ferrite powder excellent in sintering property at a low temperature, and a method for manufacturing a laminated chip inductor by using the ferrite powder. SOLUTION: In a method manufacturing soft magnetic ferrite powder whose main component is Fe, Ni, Cu and Zn, a process wherein organic additive is made to exist in slurry containing a calcinated object of material powder and water is installed. As the organic additive, organic compound having hydroxyl group and carboxyl group, or neutralization salt of the organic compound, or lactone of the organic compound is used. As another way, organic compound having hydroxymethyl carbonyl group, or organic compound having enol type hydroxyl group which can be dissocitated as acid, or neutralization salt of the organic compound is used.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、低温焼結が可能な
軟磁性フェライト粉末を製造する方法と、この方法によ
り製造された軟磁性フェライト粉末を用いて積層チップ
インダクタを製造する方法とに関する。
The present invention relates to a method for producing a soft magnetic ferrite powder capable of being sintered at a low temperature, and a method for producing a multilayer chip inductor using the soft magnetic ferrite powder produced by the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、各種電子機器の小型化、軽量化技
術の進展はめざましいものがあり、それに伴い、各部品
の表面実装化が急速に進められている。特にインダクタ
素子は、磁性体とコイルとを一体化した、いわゆるチッ
プインダクタを用いることが多く、その性能向上が望ま
れている。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been remarkable progress in technology for reducing the size and weight of various electronic devices, and accordingly, surface mounting of components has been rapidly promoted. In particular, as the inductor element, a so-called chip inductor in which a magnetic material and a coil are integrated is often used, and improvement in performance thereof is desired.

【0003】チップインダクタでは、磁性体として酸化
物磁性材料であるNi−Cu−Znフェライトを用い、
コイル用の導体としてAgまたはAg−Pd合金を用い
ることが一般的である。
In a chip inductor, Ni--Cu--Zn ferrite, which is an oxide magnetic material, is used as a magnetic material.
It is common to use Ag or an Ag-Pd alloy as the conductor for the coil.

【0004】チップインダクタの製造に際しては、ま
ず、Fe、Ni、Cu、Znをそれぞれ含む原料化合物
をボールミル等で混合した後、仮焼し、得られた仮焼物
を粉砕して軟磁性フェライト粉末を得る。この軟磁性フ
ェライト粉末を、バインダおよび溶媒と混練して磁性体
ペーストを調製する。また、導体粉末を、バインダおよ
び溶媒を混練して、導体ペーストを調製する。そして、
これらのペーストの印刷を繰り返して磁性体層と導体層
とを積層した後、焼成し、さらに、外部電極を形成して
チップインダクタを得る。
In manufacturing a chip inductor, first, raw materials containing Fe, Ni, Cu, and Zn are mixed in a ball mill or the like, and then calcined. The calcined product is pulverized to obtain a soft magnetic ferrite powder. obtain. This soft magnetic ferrite powder is kneaded with a binder and a solvent to prepare a magnetic paste. In addition, the conductor powder is kneaded with a binder and a solvent to prepare a conductor paste. And
After the printing of these pastes is repeated to laminate the magnetic layer and the conductor layer, firing is performed, and further, external electrodes are formed to obtain a chip inductor.

【0005】ところで、チップインダクタの高性能化を
図るためには、フェライトが十分に緻密化し、しかもこ
のとき導体と反応せず、導体に断線等の不具合が発生し
ないことが必須である。導体としては、電気抵抗が小さ
いことからAg単体を用いることが好ましいが、Agは
融点が960℃と低い。したがって、導体とフェライト
との反応、導体の断線や剥離等を生じさせずに高性能化
を図るためには、Agの融点以下で、しかもできるだけ
低い温度、例えば920℃以下で焼成することが好まし
い。
In order to improve the performance of the chip inductor, it is essential that the ferrite be sufficiently dense and not react with the conductor at this time, so that the conductor does not suffer from problems such as disconnection. As the conductor, it is preferable to use Ag alone because of its low electric resistance, but Ag has a low melting point of 960 ° C. Therefore, in order to achieve high performance without causing a reaction between the conductor and the ferrite, disconnection or separation of the conductor, etc., it is preferable to fire at a temperature lower than the melting point of Ag and at the lowest possible temperature, for example, 920 ° C. or lower. .

【0006】しかし、Ni−Cu−Znフェライト粉末
を920℃以下で焼成した場合、フェライトの緻密化が
進行せず、透磁率等の電気特性に優れたフェライト焼結
体が得られにくいことが指摘されている。
However, when Ni-Cu-Zn ferrite powder is fired at 920 ° C. or lower, it is pointed out that ferrite densification does not proceed and it is difficult to obtain a ferrite sintered body having excellent electric properties such as magnetic permeability. Have been.

【0007】Ni−Cu−Znフェライト焼結体の製造
方法は、例えば本出願人による特開平5−175032
号公報に記載されている。同公報には、空気より酸素濃
度の低い雰囲気中で焼成することにより、フェライト焼
結体の密度が向上する旨が記載されており、その実施例
では870℃で焼成を行っている。また、本出願人によ
る特公平6−30297号公報には、酸化鉄と、2価の
金属(M2)の酸化物(ただしM2は、ニッケルおよび/
または銅、あるいはこれに亜鉛を加えたもの)とを含む
フェライトの主組成に、Li2Oと、4価の金属(M4
の酸化物(ただしM4はチタン、スズおよびゲルマニウ
ムの1種以上)とを添加することにより、950℃以下
での低温焼成が可能になったことが記載されている。
A method for producing a Ni—Cu—Zn ferrite sintered body is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-175032 by the present applicant.
No., published in Japanese Unexamined Patent Publication No. This publication describes that firing in an atmosphere having an oxygen concentration lower than that of air improves the density of the ferrite sintered body. In the example, firing is performed at 870 ° C. Japanese Patent Publication No. 6-30297 filed by the present applicant discloses iron oxide and an oxide of a divalent metal (M 2 ) (where M 2 is nickel and / or nickel).
Or ferrite containing copper or zinc added thereto) and Li 2 O and a tetravalent metal (M 4 ).
(The proviso M 4 titanium, one or more of tin and germanium) oxide by adding and, it has been described that has become possible to low-temperature firing at 950 ° C. or less.

【0008】しかし、雰囲気制御や組成制御を行うこと
なく低温での焼成を可能にする手段については、従来提
案されていない。
[0008] However, no means has been proposed for enabling firing at a low temperature without controlling the atmosphere or the composition.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、低温
での焼結性に優れたNi−Cu−Znフェライト粉末を
製造できる方法を提供することであり、また、このフェ
ライト粉末を用いることにより、積層チップインダクタ
の製造に際して低温での焼成を可能とすることである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for producing a Ni-Cu-Zn ferrite powder having excellent sinterability at a low temperature, and to use this ferrite powder. Accordingly, it is possible to perform firing at a low temperature when manufacturing a multilayer chip inductor.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(7)の本発明により達成される。 (1) Fe、Ni、CuおよびZnを主成分とする軟
磁性フェライト粉末を製造する方法であって、原料粉末
の仮焼物と水とを含むスラリー中に、有機添加剤を存在
させる工程を設け、前記有機添加剤として、水酸基およ
びカルボキシル基を有する有機化合物またはその中和塩
もしくはそのラクトンを用いるか、ヒドロキシメチルカ
ルボニル基を有する有機化合物、酸として解離し得るエ
ノール型水酸基を有する有機化合物またはその中和塩を
用いる軟磁性フェライト粉末の製造方法。 (2) 前記有機添加剤の添加量が、仮焼物に対し0.
05〜3.0重量%である上記(1)の軟磁性フェライ
ト粉末の製造方法。 (3) 前記スラリー中に、前記仮焼物に由来するFe
イオンおよび/またはCuイオンが、合計で前記仮焼物
の0.005〜2重量%含まれる上記(1)または
(2)の軟磁性フェライト粉末の製造方法。 (4) 前記水酸基およびカルボキシル基を有する有機
化合物がグルコン酸またはクエン酸である上記(1)〜
(3)のいずれかの軟磁性フェライト粉末の製造方法。 (5) 前記酸として解離し得るエノール型水酸基を有
する有機化合物がアスコルビン酸である上記(1)〜
(3)のいずれかの軟磁性フェライト粉末の製造方法。 (6) 前記スラリー中にアンモニアが添加されている
上記(1)〜(5)のいずれかの軟磁性フェライト粉末
の製造方法。 (7) 上記(1)〜(6)のいずれかの方法により製
造された軟磁性フェライト粉末を用いて磁性層を形成す
る工程を有する積層チップインダクタの製造方法。
This and other objects are achieved by the present invention which is defined below as (1) to (7). (1) A method for producing a soft magnetic ferrite powder containing Fe, Ni, Cu and Zn as main components, comprising a step of allowing an organic additive to be present in a slurry containing a calcined raw material powder and water. As the organic additive, an organic compound having a hydroxyl group and a carboxyl group or a neutralized salt thereof or a lactone thereof, or an organic compound having a hydroxymethylcarbonyl group, an organic compound having an enol type hydroxyl group which can be dissociated as an acid or A method for producing a soft magnetic ferrite powder using a neutralized salt. (2) The amount of the organic additive to be added is 0.1 to the calcined product.
The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to the above (1), wherein the content is from 0.05 to 3.0% by weight. (3) In the slurry, Fe derived from the calcined material
The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to the above (1) or (2), wherein ions and / or Cu ions are contained in a total of 0.005 to 2% by weight of the calcined product. (4) The above (1) to (1) to wherein the organic compound having a hydroxyl group and a carboxyl group is gluconic acid or citric acid.
(3) The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to any of (3). (5) The above-mentioned (1) to (1), wherein the organic compound having an enol-type hydroxyl group which can be dissociated as the acid is ascorbic acid.
(3) The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to any of (3). (6) The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to any one of the above (1) to (5), wherein ammonia is added to the slurry. (7) A method for manufacturing a multilayer chip inductor, comprising a step of forming a magnetic layer using the soft magnetic ferrite powder manufactured by any one of the methods (1) to (6).

【0011】[0011]

【作用および効果】本発明者は、仮焼物を湿式粉砕して
Ni−Cu−Znフェライト粉末を製造する際に、スラ
リー中に上記有機添加剤を存在させることにより、その
フェライト粉末の焼結温度を低下させ得ることを見いだ
した。具体的には、焼成温度を、Ag電極との同時焼成
が可能な920℃以下とした場合でも、十分な密度と初
透磁率とを有する焼結体が得られることがわかった。
When the calcined product is wet-pulverized to produce a Ni-Cu-Zn ferrite powder, the present inventors make the sintering temperature of the ferrite powder by allowing the above-mentioned organic additive to be present in the slurry. Was found to be lower. Specifically, it was found that a sintered body having a sufficient density and an initial magnetic permeability could be obtained even when the firing temperature was 920 ° C. or lower, at which simultaneous firing with the Ag electrode was possible.

【0012】スラリー中においてフェライトの仮焼物と
上記有機添加剤とを共存させたときに、どのようなメカ
ニズムにより低温での焼結が可能となるかは明確ではな
い。ただし、本発明者がスラリー中の金属イオン量を調
べたところ、Cuイオンの量およびFeイオンの量が、
上記有機添加剤の有無に強く影響を受けることがわかっ
た。具体的には、スラリー中において、それぞれフェラ
イト仮焼物に由来するCuイオンおよびFeイオンの合
計量が、最終的にフェライト仮焼物の0.005〜2重
量%となる場合、特に、CuイオンとFeイオンとが共
に0.01〜1.0重量%となる場合に、低温で焼結で
きるという効果が明瞭に現れることがわかった。このこ
とから、フェライト仮焼物から溶出したこれらの金属イ
オンが、微粉砕された仮焼物に再付着し、これが焼結助
剤として働くことにより、低温での焼結が可能になった
とも考えられる。CuイオンとFeイオンとの合計が少
なすぎると、低温での焼結が困難となる。一方、上記範
囲を超えるイオンを溶出させるためには、有機添加剤の
添加量を著しく多くする必要があるため、好ましくな
い。両イオンの合計量が2重量%以下の範囲で、低温焼
結効果は十分に実現する。
When a calcined ferrite and the above-mentioned organic additive are allowed to coexist in a slurry, it is not clear what mechanism enables sintering at a low temperature. However, when the present inventors examined the amount of metal ions in the slurry, the amount of Cu ions and the amount of Fe ions were:
It was found that the presence or absence of the organic additive was strongly affected. Specifically, when the total amount of Cu ions and Fe ions derived from the calcined ferrite in the slurry finally becomes 0.005 to 2% by weight of the calcined ferrite, Cu ions and Fe It was found that the effect of sintering at a low temperature was clearly exhibited when both the amount of the ion and the amount of the ion were 0.01 to 1.0% by weight. This suggests that these metal ions eluted from the calcined ferrite re-attached to the finely pulverized calcined material, and by acting as a sintering aid, sintering at low temperatures became possible. . If the total of Cu ions and Fe ions is too small, sintering at a low temperature becomes difficult. On the other hand, in order to elute ions exceeding the above range, the amount of the organic additive must be significantly increased, which is not preferable. When the total amount of both ions is 2% by weight or less, the low-temperature sintering effect is sufficiently realized.

【0013】本発明において、有機添加剤に加えスラリ
ー中にアンモニアを添加すれば、本発明の効果はより向
上する。
In the present invention, if ammonia is added to the slurry in addition to the organic additive, the effect of the present invention is further improved.

【0014】なお、本発明で用いる有機添加剤のうち、
例えば、酒石酸、l−アスコルビン酸、クエン酸につい
ては、泥漿鋳込成形法において成形性向上を目的とした
分散剤として公知である(「ファインセラミックスの成
形と有機材料」第187〜188ページ、斎藤勝義著、
株式会社シーエムシー発行)。また、グルコン酸ナトリ
ウムは、コンクリート工業における分散剤として公知で
ある(「分散・凝集の化学」第92〜95ページ、森山
登著、産業図書発行)。しかし、これらの分野におい
て、上記有機添加剤はいずれも分散剤として利用されて
いる。
Incidentally, among the organic additives used in the present invention,
For example, tartaric acid, 1-ascorbic acid, and citric acid are known as dispersing agents for improving moldability in a slurry casting method ("Fine Ceramics Molding and Organic Materials", pp. 187-188, Saito). Katsuyoshi,
Published by CMC Corporation). In addition, sodium gluconate is known as a dispersant in the concrete industry (“Chemistry of Dispersion and Aggregation”, pages 92 to 95, written by Noboru Moriyama, published by Sangyo Tosho). However, in these fields, all of the above organic additives are used as dispersants.

【0015】また、WO98/25278号公報には、
酸化物磁性材料を製造するに際し、粉砕時の水スラリー
中に、本発明で用いる有機添加剤を添加する提案がなさ
れている。しかし、同公報では、上記有機添加剤を、磁
場配向を行う際に配向度を向上させるための分散剤とし
て利用している。また、同公報には、六方晶フェライト
磁石における分散効果は記載されているが、軟磁性フェ
ライト粉末に関する実施例は記載されておらず、針状の
軟磁性フェライト粒子の磁場配向に有効である旨の記載
があるだけである。また、同公報には、上記有機添加剤
を用いて製造した場合に、軟磁性フェライト粉末が低温
で焼結可能となることについては、記載も示唆もない。
[0015] WO 98/25278 discloses that
It has been proposed to add an organic additive used in the present invention to a water slurry at the time of pulverization when producing an oxide magnetic material. However, in the publication, the organic additive is used as a dispersant for improving the degree of orientation when performing magnetic field orientation. In addition, the same publication describes a dispersion effect in a hexagonal ferrite magnet, but does not describe an example relating to a soft magnetic ferrite powder, and is effective for magnetic field orientation of acicular soft magnetic ferrite particles. There is only a description. Further, the publication does not disclose or suggest that soft magnetic ferrite powder can be sintered at a low temperature when manufactured using the above-mentioned organic additive.

【0016】これに対し本発明では、上記有機添加剤を
軟磁性フェライトの水スラリー中に添加することによ
り、従来知られていない全く新しい効果を実現させる。
なお、本発明者の実験によれば、有機添加剤を添加して
も、軟磁性フェライト仮焼物の粉砕に要する時間(一定
の比表面積となるまでの粉砕時間)は実質的に短縮され
ない。したがって上記有機添加剤は、軟磁性フェライト
粉末に対して分散効果は示さないと考えられる。
On the other hand, in the present invention, a completely new effect which has not been known hitherto is realized by adding the above organic additive to the aqueous slurry of soft magnetic ferrite.
According to the experiments of the present inventor, even when the organic additive is added, the time required for pulverizing the calcined soft magnetic ferrite (the pulverization time until a specific surface area is obtained) is not substantially reduced. Therefore, it is considered that the organic additive does not show a dispersing effect on the soft magnetic ferrite powder.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明により製造される軟磁性フ
ェライト粉末は、Ni−Cu−Znフェライトから構成
される。本発明では、フェライトの組成によらず、低温
での緻密な焼結が可能となる。したがって、本発明が適
用されるNi−Cu−Znフェライトの主成分組成は、
特に限定されず、一般的な組成範囲から、要求特性など
に応じて適宜選択すればよい。主成分酸化物をそれぞれ
Fe23、NiO、CuOおよびZnOで表すと、一般
的な組成範囲は、例えば Fe23:35〜50モル%、 NiO :4〜50モル%、 CuO :4〜16モル%、 ZnO :5〜40モル% である。すなわち、本発明は、Fe23含有量の多い高
透磁率材にも、Fe23含有量の少ない低透磁率材にも
適用できる。主成分酸化物の含有量限定理由は、以下の
とおりである。Fe23が少なすぎると非磁性相の生成
量が増大して損失増大の原因となり、Fe23が多すぎ
ると焼結性が著しく悪くなってしまう。NiOが少なす
ぎると損失が大きくなり、NiOが多すぎると高価にな
ってしまう。CuOが少なすぎると焼結性が悪くなって
しまい、CuOが多すぎると相対的にNiOが少なくな
るため、損失が大きくなってしまう。ZnOが少なすぎ
ると透磁率が低くなってしまい、ZnOが多すぎるとキ
ュリー温度が低くなりすぎる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The soft magnetic ferrite powder produced according to the present invention is composed of Ni-Cu-Zn ferrite. In the present invention, dense sintering at a low temperature is possible regardless of the ferrite composition. Therefore, the main component composition of the Ni-Cu-Zn ferrite to which the present invention is applied is:
There is no particular limitation, and it may be appropriately selected from a general composition range according to required characteristics and the like. When the main component oxides are respectively represented by Fe 2 O 3 , NiO, CuO and ZnO, the general composition ranges are, for example, Fe 2 O 3 : 35 to 50 mol%, NiO: 4 to 50 mol%, CuO: 4 1616 mol%, ZnO: 5-40 mol%. That is, the present invention, Fe 2 O 3 in many high-permeability material having the content, it can be applied to Fe 2 O 3 less content low permeability material. The reasons for limiting the content of the main component oxide are as follows. If the amount of Fe 2 O 3 is too small, the amount of the non-magnetic phase generated increases, causing an increase in the loss. If the amount of Fe 2 O 3 is too large, the sinterability deteriorates remarkably. If the amount of NiO is too small, the loss becomes large, and if the amount of NiO is too large, it becomes expensive. If the amount of CuO is too small, the sinterability deteriorates, and if the amount of CuO is too large, the amount of NiO becomes relatively small, resulting in a large loss. If the ZnO content is too small, the magnetic permeability will be low, and if the ZnO content is too large, the Curie temperature will be too low.

【0018】フェライト粉末中には、上記主成分酸化物
のほか、副成分ないし不可避的不純物として他の金属酸
化物、例えば、Co、W、Bi、Si、B、Mn、Z
r、Ca、Ta、Mo、P、Y、Mg等の酸化物が必要
に応じて含まれていてもよい。
In the ferrite powder, in addition to the main component oxide, other metal oxides such as Co, W, Bi, Si, B, Mn, and Z as subcomponents or inevitable impurities.
Oxides such as r, Ca, Ta, Mo, P, Y, and Mg may be included as necessary.

【0019】本発明では、軟磁性フェライト粉末を以下
に説明する方法により製造する。
In the present invention, a soft magnetic ferrite powder is produced by the method described below.

【0020】まず、原料粉末の仮焼物を製造する。原料
粉末には、Ni−Cu−Znフェライトの製造に通常用
いられる各種原料、すなわち、酸化物または焼成により
酸化物となる各種化合物を用いればよい。仮焼は、酸化
性雰囲気中、通常は空気中で行えばよく、仮焼温度(保
持温度)は、通常、700〜900℃、仮焼時間(温度
保持時間)は、通常、0.5〜10時間とすることが好
ましい。
First, a calcined product of a raw material powder is produced. As the raw material powder, various raw materials usually used for the production of Ni-Cu-Zn ferrite, that is, various compounds that become oxides or oxides by firing may be used. The calcination may be performed in an oxidizing atmosphere, usually in the air. Preferably, it is 10 hours.

【0021】このようにして得られた仮焼物を水と混合
し、粉砕用スラリーを調製する。そして、この粉砕用ス
ラリーに対し湿式粉砕を行い、仮焼物を所定の粒径ある
いは比表面積まで粉砕した後、乾燥して、軟磁性フェラ
イト粉末を得る。
The calcined product thus obtained is mixed with water to prepare a slurry for grinding. Then, wet crushing is performed on the crushing slurry, and the calcined product is crushed to a predetermined particle size or specific surface area, and then dried to obtain a soft magnetic ferrite powder.

【0022】本発明では、上記粉砕用スラリー中に、有
機添加剤を存在させる。有機添加剤は、粉砕前、粉砕中
および粉砕後のいずれの時点で添加してもよい。スラリ
ー中に有機添加剤が存在し、これによりスラリー中に金
属イオンが溶出していれば、本発明の効果は実現する。
In the present invention, the pulverizing slurry contains an organic additive. The organic additive may be added at any time before, during and after the pulverization. If the organic additive is present in the slurry and metal ions are eluted in the slurry, the effect of the present invention is realized.

【0023】湿式粉砕の時間は特に限定されず、仮焼物
の平均粒径が0.4〜2.0μm程度、あるいは仮焼物
の比表面積が3〜11m2/g程度、好ましくは3〜8m2/g
程度となるように、粉砕手段などの各種条件に応じて適
宜決定すればよい。なお、粉砕手段は特に限定されず、
通常、ボールミル、アトライター、振動ミル等を用いる
ことが好ましい。ところで、低温で焼結するためには、
仮焼物を微細な径まで粉砕すればよいことが知られてい
るが、微細となるように強力な粉砕を長時間行うと、ジ
ルコニアボールや鉄ボールなどからなる粉砕媒体が摩耗
し、それによる仮焼物のコンタミネーションが問題とな
る。これに対し本発明では、仮焼物の平均粒径や比表面
積が上記範囲となる程度の比較的粗い粉砕を行っても、
低温焼結が可能なので、粉砕媒体の摩耗による仮焼物の
コンタミネーションが生じにくく、安定した特性のフェ
ライトが得られる。
The time for wet grinding is not particularly limited, and the average particle size of the calcined product is about 0.4 to 2.0 μm, or the specific surface area of the calcined product is about 3 to 11 m 2 / g, preferably 3 to 8 m 2. / g
The degree may be appropriately determined according to various conditions such as a pulverizing means. The crushing means is not particularly limited,
Usually, it is preferable to use a ball mill, an attritor, a vibration mill or the like. By the way, in order to sinter at low temperature,
It is known that the calcined product should be ground to a fine diameter.However, if strong grinding is performed for a long time to obtain a fine particle, the grinding media composed of zirconia balls, iron balls, etc., wears out and the resulting temporary Contamination of pottery becomes a problem. On the other hand, in the present invention, even if relatively coarse pulverization is performed such that the average particle size and the specific surface area of the calcined material fall within the above range,
Since low-temperature sintering is possible, contamination of the calcined product due to abrasion of the pulverization medium is less likely to occur, and ferrite having stable characteristics can be obtained.

【0024】粉砕用スラリー中の仮焼物の含有量、すな
わち固形成分の濃度は、好ましくは15〜50重量%、
より好ましくは20〜35重量%である。固形分濃度が
低すぎても高すぎても、粉砕効率および粉砕の均一性が
低くなってしまう。
The content of the calcined product in the slurry for pulverization, that is, the concentration of the solid component is preferably 15 to 50% by weight,
More preferably, it is 20 to 35% by weight. If the solid content is too low or too high, the grinding efficiency and the uniformity of the grinding will be low.

【0025】次に、有機添加剤について説明する。本発
明で用いる有機添加剤は、水酸基およびカルボキシル基
を有する有機化合物であるか、その中和塩であるか、そ
のラクトンであるか、ヒドロキシメチルカルボニル基を
有する有機化合物であるか、酸として解離し得るエノー
ル型水酸基を有する有機化合物であるか、その中和塩で
あり、これらのうちでは酸として働くものが好ましい。
Next, the organic additive will be described. The organic additive used in the present invention is an organic compound having a hydroxyl group and a carboxyl group, a neutralized salt thereof, a lactone thereof, an organic compound having a hydroxymethylcarbonyl group, or dissociated as an acid. It is an organic compound having an enol type hydroxyl group which can be used or a neutralized salt thereof, and among these, a compound which functions as an acid is preferable.

【0026】上記各有機化合物は、炭素数が好ましくは
3〜20、より好ましくは4〜12であり、かつ、好ま
しくは、酸素原子と二重結合した炭素原子以外の炭素原
子の50%以上に水酸基が結合しているものである。な
お、水酸基の結合比率は、上記有機化合物について限定
されるものであり、有機添加剤そのものについて限定さ
れるものではない。例えば、有機添加剤として、水酸基
およびカルボキシル基を有する有機化合物(ヒドロキシ
カルボン酸)のラクトンを用いるとき、水酸基の結合比
率の限定は、ラクトンではなくヒドロキシカルボン酸自
体に適用される。
Each of the above organic compounds has preferably 3 to 20, more preferably 4 to 12, carbon atoms, and preferably 50% or more of carbon atoms other than carbon atoms double-bonded to oxygen atoms. It has a hydroxyl group bonded. In addition, the bonding ratio of the hydroxyl group is limited for the above organic compound, and is not limited for the organic additive itself. For example, when a lactone of an organic compound (hydroxycarboxylic acid) having a hydroxyl group and a carboxyl group is used as the organic additive, the limitation of the bonding ratio of the hydroxyl group is applied not to the lactone but to the hydroxycarboxylic acid itself.

【0027】上記有機化合物の基本骨格は、鎖式であっ
ても環式であってもよく、また、飽和であっても不飽和
結合を含んでいてもよい。
The basic skeleton of the organic compound may be linear or cyclic, and may be saturated or contain an unsaturated bond.

【0028】有機添加剤としては、具体的にはヒドロキ
シカルボン酸またはその中和塩もしくはそのラクトンが
好ましく、特に、グルコン酸(C=6;OH=5;CO
OH=1)またはその中和塩もしくはそのラクトン、ラ
クトビオン酸(C=12;OH=8;COOH=1)、
酒石酸(C=4;OH=2;COOH=2)またはこれ
らの中和塩、グルコヘプトン酸γ−ラクトン(C=7;
OH=5)が好ましい。そして、これらのうちでは、低
温焼結における特性向上効果が高く、しかも安価である
ことから、グルコン酸またはその中和塩もしくはそのラ
クトンが好ましい。
As the organic additive, specifically, a hydroxycarboxylic acid or a neutralized salt thereof or a lactone thereof is preferable. Particularly, gluconic acid (C = 6; OH = 5; CO
OH = 1) or its neutralized salt or its lactone, lactobionic acid (C = 12; OH = 8; COOH = 1);
Tartaric acid (C = 4; OH = 2; COOH = 2) or a neutralized salt thereof, glucoheptonic acid γ-lactone (C = 7;
OH = 5) is preferred. Among these, gluconic acid or its neutralized salt or its lactone is preferable because it has a high effect of improving the characteristics in low-temperature sintering and is inexpensive.

【0029】ヒドロキシメチルカルボニル基を有する有
機化合物としては、ソルボースが好ましい。
As the organic compound having a hydroxymethylcarbonyl group, sorbose is preferred.

【0030】酸として解離し得るエノール型水酸基を有
する有機化合物としては、アスコルビン酸が好ましい。
As the organic compound having an enol type hydroxyl group which can be dissociated as an acid, ascorbic acid is preferable.

【0031】なお、本発明では、クエン酸またはその中
和塩も有機添加剤として使用可能である。クエン酸は水
酸基およびカルボキシル基を有するが、酸素原子と二重
結合した炭素原子以外の炭素原子の50%以上に水酸基
が結合しているという条件は満足しないが、本発明の効
果は実現する。
In the present invention, citric acid or a neutralized salt thereof can also be used as an organic additive. Although citric acid has a hydroxyl group and a carboxyl group, the condition that a hydroxyl group is bonded to 50% or more of carbon atoms other than a carbon atom double-bonded to an oxygen atom is not satisfied, but the effect of the present invention is realized.

【0032】上記した好ましい有機添加剤の一部につい
て、構造を以下に示す。
The structures of some of the preferred organic additives described above are shown below.

【0033】[0033]

【化1】 Embedded image

【0034】なお、有機添加剤は2種以上を併用しても
よい。
Incidentally, two or more organic additives may be used in combination.

【0035】有機添加剤の添加量は、仮焼物に対し、好
ましくは0.05〜3.0重量%、より好ましくは0.
10〜2.0重量%である。有機添加剤が少なすぎると
本発明の効果が不十分となる。一方、有機添加剤が多す
ぎると、成形体や焼結体にクラックが発生しやすくな
る。
The amount of the organic additive is preferably 0.05 to 3.0% by weight, more preferably 0.1% by weight, based on the calcined product.
10 to 2.0% by weight. If the amount of the organic additive is too small, the effect of the present invention becomes insufficient. On the other hand, if the amount of the organic additive is too large, cracks are likely to occur in the molded body and the sintered body.

【0036】なお、有機添加剤が水溶液中でイオン化し
得るもの、例えば酸や金属塩などであるときには、有機
添加剤の添加量はイオン換算値とする。すなわち、水素
イオンや金属イオンを除く有機成分に換算して添加量を
求める。また、有機添加剤が水和物である場合には、結
晶水を除外して添加量を求める。
When the organic additive is one that can be ionized in an aqueous solution, for example, an acid or a metal salt, the amount of the organic additive is an ion equivalent. That is, the amount of addition is determined in terms of organic components excluding hydrogen ions and metal ions. When the organic additive is a hydrate, the amount of addition is determined excluding water of crystallization.

【0037】また、有機添加剤がラクトンからなると
き、あるいはラクトンを含むときには、ラクトンがすべ
て開環してヒドロキシカルボン酸になるものとして、ヒ
ドロキシカルボン酸イオン換算で添加量を求める。
When the organic additive comprises lactone or contains lactone, the amount of addition is determined in terms of hydroxycarboxylic acid ions, assuming that all of the lactone is opened to form hydroxycarboxylic acid.

【0038】本発明では、有機添加剤に加え、スラリー
中にアンモニアを存在させることが好ましい。アンモニ
アの添加により、より低温での焼結が可能となり、ある
いは、同じ温度であればより緻密な焼結体が得られる。
アンモニアは、アンモニア水として添加すればよい。な
お、アンモニアを添加すると、スラリー中のイオン量、
特にFeイオン量が増える傾向となる。ただし、アンモ
ニア添加量が多すぎると、イオン溶出がかえって抑制さ
れることもあるので、アンモニア添加量は仮焼物に対し
5重量%以下とすることが好ましい。また、アンモニア
添加による効果を十分に発揮させるためには、アンモニ
ア添加量を仮焼物に対し0.1重量%以上とすることが
好ましい。アンモニアは、粉砕前、粉砕中および粉砕後
のいずれの時点で添加してもよいが、通常、有機添加剤
と同時に添加すればよい。
In the present invention, it is preferable that ammonia is present in the slurry in addition to the organic additive. By adding ammonia, sintering at a lower temperature becomes possible, or a denser sintered body can be obtained at the same temperature.
Ammonia may be added as aqueous ammonia. When ammonia is added, the amount of ions in the slurry,
In particular, the amount of Fe ions tends to increase. However, if the amount of added ammonia is too large, ion elution may be suppressed instead, so the amount of added ammonia is preferably 5% by weight or less based on the calcined product. Further, in order to sufficiently exert the effect of adding ammonia, it is preferable that the amount of added ammonia is 0.1% by weight or more based on the calcined product. Ammonia may be added at any time before, during, or after the pulverization, but usually, it may be added simultaneously with the organic additive.

【0039】上述した手順により製造された軟磁性フェ
ライト粉末は、様々な用途に適用できるが、特に、各種
インダクタの磁性体コアの製造に好適である。インダク
タの磁性体コアは、軟磁性フェライト粉末を成形して焼
成することにより製造される。本発明により製造される
軟磁性フェライト粉末は、酸化性雰囲気中、通常は空気
中で焼成すればよい。焼成温度(保持温度)は、通常、
800〜1100℃、焼成時間(保持時間)は、通常、
1〜6時間とすればよい。ただし、本発明により製造さ
れる軟磁性フェライト粉末は、920℃以下で焼成した
場合でも、磁性体コアとして十分な特性が得られる。し
たがって、本発明により製造される軟磁性フェライト粉
末は、Ag電極と同時焼成する必要がある積層チップイ
ンダクタの製造に、特に好適である。なお、Ag電極を
有する積層チップインダクタの製造に際して、Agとの
反応によるフェライトの特性低下を十分に抑えるために
は、焼成温度を910℃以下、特に900℃以下とする
ことが好ましいが、このような低温で焼成した場合で
も、磁性体コアとして十分な特性を得ることができる。
The soft magnetic ferrite powder produced by the above-described procedure can be applied to various uses, but is particularly suitable for producing magnetic cores of various inductors. The magnetic core of the inductor is manufactured by molding and baking soft magnetic ferrite powder. The soft magnetic ferrite powder produced according to the present invention may be fired in an oxidizing atmosphere, usually in the air. The firing temperature (holding temperature) is usually
The firing time (holding time) is usually from 800 to 1100 ° C.
It may be 1 to 6 hours. However, the soft magnetic ferrite powder produced according to the present invention has sufficient properties as a magnetic core even when calcined at 920 ° C. or lower. Therefore, the soft magnetic ferrite powder manufactured according to the present invention is particularly suitable for manufacturing a multilayer chip inductor that needs to be co-fired with an Ag electrode. In the production of a multilayer chip inductor having an Ag electrode, the firing temperature is preferably 910 ° C. or lower, particularly 900 ° C. or lower, in order to sufficiently suppress the deterioration of ferrite characteristics due to reaction with Ag. Even when fired at an extremely low temperature, sufficient characteristics as a magnetic core can be obtained.

【0040】次に、積層チップインダクタおよびその製
造方法について説明する。
Next, a multilayer chip inductor and a method of manufacturing the same will be described.

【0041】図3に示される積層チップインダクタは、
磁性層6と内部導体5とを積層して構成されるインダク
タチップ体10と、このインダクタチップ体10表面に
設けられた外部電極41、45とを有する。
The multilayer chip inductor shown in FIG.
It has an inductor chip body 10 formed by laminating a magnetic layer 6 and an internal conductor 5, and external electrodes 41 and 45 provided on the surface of the inductor chip body 10.

【0042】積層チップインダクタ各部の構成は、従来
公知の各種構成から選択すればよく、例えば、外形はほ
ぼ直方体状とされる。そして、通常、図3に示されるよ
うに、磁性層6内において内部導体5は螺旋状に配置さ
れて内部巻線を構成し、その両端部は外部電極41、4
5に接続される。外部電極41、45は単独の電極層と
してもよいが、さらに、Cu、Ni、Snあるいはハン
ダ等から形成される被覆層を設けてもよい。このような
被覆層は、ハンダ付けの際のハンダ濡れ性、ハンダ耐熱
性を向上させる。内部導体5の巻線パターンは特に限定
されない。巻数は用途に応じ適宜選択すればよいが、通
常、1.5〜15.5ターン程度とする。
The configuration of each part of the multilayer chip inductor may be selected from various types of conventionally known configurations. For example, the external shape is substantially a rectangular parallelepiped. Usually, as shown in FIG. 3, the internal conductor 5 is spirally arranged in the magnetic layer 6 to form an internal winding, and both ends of the internal conductor 5 are external electrodes 41, 4.
5 is connected. The external electrodes 41 and 45 may be a single electrode layer, or may further include a coating layer formed of Cu, Ni, Sn, solder, or the like. Such a coating layer improves solder wettability and solder heat resistance during soldering. The winding pattern of the internal conductor 5 is not particularly limited. The number of turns may be appropriately selected according to the application, but is usually about 1.5 to 15.5 turns.

【0043】積層チップインダクタ各部の寸法は特に限
定されず、用途に応じて適宜決定すればよい。例えば磁
性層の厚さは20〜100μm程度とすればよい。外部
電極の厚さは、通常、10〜100μm程度とすればよ
く、被覆層を含めた合計厚さは15〜130μm程度と
すればよい。外部電極の幅は目的に応じて選定すればよ
いが、通常、0.2〜0.4mm程度とすればよい。内部
導体5の厚さは、通常、5〜30μm程度とすればよ
い。インダクタチップ体10の寸法も用途に応じて適宜
決定すればよいが、通常、(1.0〜4.5mm)×
(0.5〜3.2mm)×(0.6〜2.0mm)程度とす
ればよい。
The dimensions of each part of the multilayer chip inductor are not particularly limited, and may be appropriately determined according to the application. For example, the thickness of the magnetic layer may be about 20 to 100 μm. Usually, the thickness of the external electrode may be about 10 to 100 μm, and the total thickness including the coating layer may be about 15 to 130 μm. The width of the external electrode may be selected according to the purpose, but is usually about 0.2 to 0.4 mm. Usually, the thickness of the internal conductor 5 may be about 5 to 30 μm. The dimensions of the inductor chip body 10 may be appropriately determined according to the intended use, but are usually (1.0 to 4.5 mm) ×
(0.5-3.2 mm) × (0.6-2.0 mm).

【0044】内部導体5に含有される導電材は、比抵抗
の小さいAgを主体とするものであることが好ましい。
Agを主体とする導電材としては、Ag、または、Ag
−Pd、Ag−Pt、Ag−Pd−Pt等のAg合金が
好ましく、特にAgが好ましい。Ag合金中のAgの含
有率は、75質量%以上であることが好ましい。
The conductive material contained in the internal conductor 5 is preferably mainly composed of Ag having a small specific resistance.
As the conductive material mainly composed of Ag, Ag or Ag
Ag alloys such as -Pd, Ag-Pt and Ag-Pd-Pt are preferable, and Ag is particularly preferable. The Ag content in the Ag alloy is preferably at least 75% by mass.

【0045】外部電極41、45には、Agを主体とす
る導電材を用いることが好ましい。Agを主体とする導
電材としては、AgまたはAg合金が好ましく、特にA
gが好ましい。また、Ag合金としては、Ag−Pd合
金、Ag−Cu合金が好ましく、これらのうちではAg
−Pd合金が好ましい。Ag合金中のAgの含有率は、
75質量%以上であることが好ましい。外部電極中に
は、硼珪酸鉛ガラス等の各種ガラスが含有されていても
よい。
It is preferable to use a conductive material mainly composed of Ag for the external electrodes 41 and 45. The conductive material mainly composed of Ag is preferably Ag or an Ag alloy.
g is preferred. Further, as the Ag alloy, an Ag-Pd alloy and an Ag-Cu alloy are preferable.
-Pd alloy is preferred. The Ag content in the Ag alloy is:
It is preferably at least 75% by mass. Various glasses such as lead borosilicate glass may be contained in the external electrode.

【0046】積層チップインダクタの製造に際しては、
まず、磁性体ペースト、内部導体ペーストおよび外部電
極ペーストを調製する。
In manufacturing a multilayer chip inductor,
First, a magnetic paste, an internal conductor paste, and an external electrode paste are prepared.

【0047】磁性体ペーストは、本発明により製造した
軟磁性フェライト粉末を、有機ビヒクルと混練して調製
することができる。有機ビヒクルとは、バインダを有機
溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバ
インダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニ
ルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すれ
ばよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷
法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオ
ール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各
種有機溶剤から適宜選択すればよい。磁性体ペーストを
水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤
などを水に溶解させた水系ビヒクルと、軟磁性フェライ
ト粉末とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶
性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアル
コール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いれ
ばよい。
The magnetic paste can be prepared by kneading the soft magnetic ferrite powder produced according to the present invention with an organic vehicle. The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. In addition, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene according to a method to be used such as a printing method and a sheet method. When the magnetic paste is used as an aqueous paint, an aqueous vehicle in which a water-soluble binder or dispersant or the like is dissolved in water may be kneaded with a soft magnetic ferrite powder. The water-soluble binder used for the aqueous vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, a water-soluble acrylic resin, or the like may be used.

【0048】内部導体ペーストは、上記導電材、あるい
は焼成により上記導電材となる各種酸化物、有機金属化
合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練
して調製することができる。
The internal conductor paste can be prepared by kneading the above-mentioned conductive material or various oxides, organometallic compounds, resinates and the like which become the above-mentioned conductive material by firing and the above-mentioned organic vehicle.

【0049】外部電極ペーストは、上記した内部導体ペ
ーストと同様にして調製すればよい。
The external electrode paste may be prepared in the same manner as the above-mentioned internal conductor paste.

【0050】積層チップインダクタを印刷法により製造
する場合、まず、磁性体ペーストと内部導体ペーストと
を、内部導体ペーストがコイルパターンとなるように、
PETフィルム等からなる基体上に交互に印刷して、積
層体を形成する。次に、所定の形状および寸法となるよ
うに切断してグリーンチップとした後、基体から剥離す
る。一方、シート法により製造する場合、まず、磁性体
ペーストを用いてグリーンシートを形成し、グリーンシ
ートに導通のためのスルーホールを穿設する。次いで、
グリーンシートに内部導体ペーストを印刷してこれらを
積層し、得られた積層体を切断してグリーンチップとす
る。次いで、いずれの方法の場合でも、グリーンチップ
を焼成してインダクタチップ体を得、このインダクタチ
ップ体に外部電極ペーストを印刷ないし転写して焼成す
ることにより、積層チップインダクタを得る。外部電極
用ペーストの焼成条件は、例えば、600〜800℃に
て10分間〜1時間程度とすることが好ましい。
When manufacturing a multilayer chip inductor by a printing method, first, a magnetic material paste and an internal conductor paste are mixed so that the internal conductor paste forms a coil pattern.
A laminate is formed by alternately printing on a substrate made of a PET film or the like. Next, it is cut into a predetermined shape and size to obtain a green chip, and then separated from the substrate. On the other hand, when manufacturing by a sheet method, first, a green sheet is formed using a magnetic paste, and a through hole for conduction is formed in the green sheet. Then
The internal conductor paste is printed on a green sheet, these are laminated, and the obtained laminate is cut into a green chip. Next, in either case, the green chip is fired to obtain an inductor chip body, and an external electrode paste is printed or transferred to the inductor chip body and fired to obtain a multilayer chip inductor. The firing conditions for the external electrode paste are preferably, for example, at 600 to 800 ° C. for about 10 minutes to 1 hour.

【0051】このようにして製造された積層チップイン
ダクタは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装
され、各種電子機器等に使用される。
The multilayer chip inductor manufactured as described above is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like, and is used for various electronic devices and the like.

【0052】なお、本発明により製造される軟磁性フェ
ライト粉末は、積層チップインダクタに限らず、積層型
のインダクタ部を有する各種チップ部品、例えばLC複
合部品などにも適用できる。
The soft magnetic ferrite powder produced according to the present invention can be applied not only to a multilayer chip inductor but also to various chip components having a multilayer inductor portion, for example, an LC composite component.

【0053】[0053]

【実施例】実施例1〜5 Fe23:49モル%、 NiO:18モル%、 CuO:12モル%、 ZnO:21モル% の比率となるようにこれらの酸化物を秤量し、湿式メデ
ィア攪拌型粉砕機を用いて4時間湿式混合した。この湿
式混合には、分散媒として純水を用いた。
Examples 1 to 5 These oxides were weighed so as to have a ratio of 49 mol% of Fe 2 O 3 , 18 mol% of NiO, 12 mol% of CuO, and 21 mol% of ZnO, and were wet-processed. The mixture was wet-mixed for 4 hours using a media stirring type pulverizer. In this wet mixing, pure water was used as a dispersion medium.

【0054】次いで、混合物をスプレードライヤーによ
り乾燥し、700℃で2時間仮焼して、Ni−Cu−Z
nフェライトの仮焼物を得た。
Next, the mixture was dried with a spray drier and calcined at 700 ° C. for 2 hours to obtain a Ni—Cu—Z
A calcined product of n ferrite was obtained.

【0055】この仮焼物を純水と混合して、粉砕用スラ
リーを調製した。この粉砕用スラリー中の固形分(仮焼
物)濃度は、25重量%とした。なお、スラリー中に
は、表1に示すように、有機添加剤、またはこれとアン
モニアとを添加した。なお、アンモニアは、濃度50重
量%のアンモニア水として添加した。表1に示す有機添
加剤およびアンモニアの添加量は、仮焼物に対する添加
量である。
The calcined product was mixed with pure water to prepare a slurry for grinding. The solid content (calcined material) concentration in the slurry for grinding was 25% by weight. In addition, as shown in Table 1, an organic additive or ammonia and this were added to the slurry. The ammonia was added as 50% by weight ammonia water. The amounts of the organic additives and ammonia shown in Table 1 are the amounts added to the calcined product.

【0056】この粉砕用スラリーを、湿式メディア攪拌
型粉砕機で7時間粉砕した後、スプレードライヤーで乾
燥することにより、Ni−Cu−Znフェライト粉末を
得た。この粉砕により、フェライト粉末の比表面積は
4.4m2/g(平均粒径1.4μm)となった。粉砕後、
スラリー中の金属イオンをICP発光分析法により測定
し、仮焼物に対するCuイオンおよびFeイオンそれぞ
れの重量比を求めた。結果を表1に示す。
This slurry for pulverization was pulverized for 7 hours by a wet media stirring type pulverizer and then dried by a spray drier to obtain a Ni—Cu—Zn ferrite powder. By this pulverization, the specific surface area of the ferrite powder became 4.4 m 2 / g (average particle size: 1.4 μm). After grinding,
The metal ions in the slurry were measured by ICP emission spectrometry, and the weight ratios of Cu ions and Fe ions to the calcined product were determined. Table 1 shows the results.

【0057】[0057]

【表1】 [Table 1]

【0058】このフェライト粉末100gに、バインダ
としてポリビニルアルコール1.0gを添加して混合
し、顆粒とした。この顆粒を、98MPa(1000kgf/c
m2)の圧力でプレス成形し、直径21mmのリング状成形
体を得た。この成形体を、図1および図2に示す温度に
2時間保つことにより焼成し、Ni−Cu−Znフェラ
イト焼結体を得た。
To 100 g of this ferrite powder, 1.0 g of polyvinyl alcohol as a binder was added and mixed to obtain granules. The granules are subjected to 98 MPa (1000 kgf / c
Press molding was performed at a pressure of m 2 ) to obtain a ring-shaped molded body having a diameter of 21 mm. This molded body was fired by maintaining the temperature at the temperature shown in FIGS. 1 and 2 for 2 hours to obtain a Ni—Cu—Zn ferrite sintered body.

【0059】この焼結体の密度を、アルキメデス法に準
じて測定した。また、この焼結体の100kHzにおける
初透磁率を、LCR METER 4274A(HEWLETT PACKARD社製)
で測定した。焼成温度と密度との関係を図1に、焼成温
度と初透磁率との関係を図2に、それぞれ示す。
The density of the sintered body was measured according to the Archimedes method. The initial permeability at 100 kHz of this sintered body was measured using LCR METER 4274A (manufactured by HEWLETT PACKARD).
Was measured. FIG. 1 shows the relationship between the firing temperature and the density, and FIG. 2 shows the relationship between the firing temperature and the initial magnetic permeability.

【0060】比較例1 粉砕用スラリーに有機添加剤およびアンモニアのいずれ
も添加しなかったほかは上記実施例と同様にして焼結体
を作製し、上記実施例と同様な測定を行った。結果を図
1および図2に示す。なお、上記実施例と同様にしてス
ラリー中のイオン量を測定した結果、Cuイオンおよび
Feイオンは検出されなかった。
Comparative Example 1 A sintered body was prepared in the same manner as in the above example except that neither the organic additive nor ammonia was added to the slurry for grinding, and the same measurement as in the above example was performed. The results are shown in FIG. 1 and FIG. As a result of measuring the amount of ions in the slurry in the same manner as in the above example, no Cu ion or Fe ion was detected.

【0061】評価 図1および図2から、本発明の効果が明らかである。す
なわち、軟磁性フェライト粉末を製造する際の湿式粉砕
工程において、スラリー中に所定の有機添加剤を添加し
た実施例1〜5では、焼成温度を900℃程度と低くし
た場合でも、4.8g/cm3以上の十分な密度が得られ、
また、150を超える十分な初透磁率が得られている。
一方、有機添加剤を添加しなかった比較例1では、低温
焼成時の焼結体密度および初透磁率のいずれもが、実施
例1〜5に比べ大きく劣っている。
Evaluation FIG. 1 and FIG. 2 clearly show the effect of the present invention. That is, in Examples 1 to 5 in which a predetermined organic additive was added to the slurry in the wet pulverization step when producing the soft magnetic ferrite powder, even when the firing temperature was lowered to about 900 ° C., 4.8 g / g. A sufficient density of cm 3 or more is obtained,
In addition, a sufficient initial magnetic permeability exceeding 150 is obtained.
On the other hand, in Comparative Example 1 in which the organic additive was not added, both the sintered body density and the initial magnetic permeability at the time of low-temperature firing were significantly inferior to Examples 1 to 5.

【0062】なお、上記実施例で製造した軟磁性フェラ
イト粉末を磁性層材料として用い、かつ、Agを内部導
体材料として用いて、焼成温度を910℃として積層チ
ップインダクタを作製したところ、図1および図2に示
される特性に応じた優れたインダクタ特性が得られた。
When the soft magnetic ferrite powder produced in the above example was used as the material for the magnetic layer and Ag was used as the internal conductor material, and the firing temperature was 910 ° C., a laminated chip inductor was produced. Excellent inductor characteristics according to the characteristics shown in FIG. 2 were obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】Ni−Cu−Znフェライト焼結体について、
焼成温度と焼結体の密度との関係を示すグラフである。
FIG. 1 shows a Ni—Cu—Zn ferrite sintered body.
4 is a graph showing a relationship between a firing temperature and a density of a sintered body.

【図2】Ni−Cu−Znフェライト焼結体について、
焼成温度と焼結体の初透磁率との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 2 shows a Ni—Cu—Zn ferrite sintered body.
4 is a graph showing a relationship between a firing temperature and an initial magnetic permeability of a sintered body.

【図3】積層チップインダクタの構成例の一部を切り欠
いて示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view with a part of a configuration example of a multilayer chip inductor cut away.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5 内部導体 6 磁性層 10 インダクタチップ体 41、45 外部電極 Reference Signs List 5 internal conductor 6 magnetic layer 10 inductor chip body 41, 45 external electrode

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 Fe、Ni、CuおよびZnを主成分と
する軟磁性フェライト粉末を製造する方法であって、 原料粉末の仮焼物と水とを含むスラリー中に、有機添加
剤を存在させる工程を設け、前記有機添加剤として、水
酸基およびカルボキシル基を有する有機化合物またはそ
の中和塩もしくはそのラクトンを用いるか、ヒドロキシ
メチルカルボニル基を有する有機化合物、酸として解離
し得るエノール型水酸基を有する有機化合物またはその
中和塩を用いる軟磁性フェライト粉末の製造方法。
1. A method for producing a soft magnetic ferrite powder containing Fe, Ni, Cu and Zn as main components, wherein an organic additive is present in a slurry containing a calcined raw material powder and water. As the organic additive, an organic compound having a hydroxyl group and a carboxyl group or a neutralized salt thereof or a lactone thereof, or an organic compound having a hydroxymethylcarbonyl group, an organic compound having an enol-type hydroxyl group that can be dissociated as an acid. Alternatively, a method for producing a soft magnetic ferrite powder using a neutralized salt thereof.
【請求項2】 前記有機添加剤の添加量が、仮焼物に対
し0.05〜3.0重量%である請求項1の軟磁性フェ
ライト粉末の製造方法。
2. The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to claim 1, wherein the amount of the organic additive is 0.05 to 3.0% by weight based on the calcined product.
【請求項3】 前記スラリー中に、前記仮焼物に由来す
るFeイオンおよび/またはCuイオンが、合計で前記
仮焼物の0.005〜2重量%含まれる請求項1または
2の軟磁性フェライト粉末の製造方法。
3. The soft magnetic ferrite powder according to claim 1, wherein the slurry contains Fe ions and / or Cu ions derived from the calcined material in a total amount of 0.005 to 2% by weight of the calcined material. Manufacturing method.
【請求項4】 前記水酸基およびカルボキシル基を有す
る有機化合物がグルコン酸またはクエン酸である請求項
1〜3のいずれかの軟磁性フェライト粉末の製造方法。
4. The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to claim 1, wherein the organic compound having a hydroxyl group and a carboxyl group is gluconic acid or citric acid.
【請求項5】 前記酸として解離し得るエノール型水酸
基を有する有機化合物がアスコルビン酸である請求項1
〜3のいずれかの軟磁性フェライト粉末の製造方法。
5. The organic compound having an enol-type hydroxyl group that can be dissociated as an acid is ascorbic acid.
3. The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to any one of items 1 to 3.
【請求項6】 前記スラリー中にアンモニアが添加され
ている請求項1〜5のいずれかの軟磁性フェライト粉末
の製造方法。
6. The method for producing a soft magnetic ferrite powder according to claim 1, wherein ammonia is added to the slurry.
【請求項7】 請求項1〜6のいずれかの方法により製
造された軟磁性フェライト粉末を用いて磁性層を形成す
る工程を有する積層チップインダクタの製造方法。
7. A method for manufacturing a multilayer chip inductor, comprising the step of forming a magnetic layer using the soft magnetic ferrite powder manufactured by the method according to claim 1.
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