JP2000308687A - チューブ接続装置 - Google Patents
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- B29C66/73—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset
- B29C66/739—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset
- B29C66/7392—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of at least one of the parts being a thermoplastic
- B29C66/73921—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of at least one of the parts being a thermoplastic characterised by the materials of both parts being thermoplastics
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- B29C66/91211—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature with special temperature measurement means or methods
- B29C66/91212—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature with special temperature measurement means or methods involving measurement means being part of the welding jaws, e.g. integrated in the welding jaws
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クランプ部材の回転運動の始点を出すための
原点出し動作を行うことによって、チューブの接続を確
実に行うチューブ接続装置を提供すること。 【解決手段】 エンコーダ板を時計回り（クランプロー
ターの回転時と同じ方向）に回転させた場合、「センサ
１」と「センサ２」の出力波形の論理積（ＡＮＤ）は方
形波になり、かかる方形波の中心線ＣＬ２が基準とな
る。よって、エンコーダ板を反時計回りさせて、「セン
サ１」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把握するとと
もに（ＳＴＥＰ１）、エンコーダ板を時計回りさせて、
「センサ２」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把握し
た後に（ＳＴＥＰ２）、この両者の中間位置にある中心
線ＣＬ２にまでエンコーダ板を反時計回りさせることに
よって（ＳＴＥＰ３）、クランプローターの回転運動の
始点を出すための原点出し動作を行う。
原点出し動作を行うことによって、チューブの接続を確
実に行うチューブ接続装置を提供すること。 【解決手段】 エンコーダ板を時計回り（クランプロー
ターの回転時と同じ方向）に回転させた場合、「センサ
１」と「センサ２」の出力波形の論理積（ＡＮＤ）は方
形波になり、かかる方形波の中心線ＣＬ２が基準とな
る。よって、エンコーダ板を反時計回りさせて、「セン
サ１」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把握するとと
もに（ＳＴＥＰ１）、エンコーダ板を時計回りさせて、
「センサ２」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把握し
た後に（ＳＴＥＰ２）、この両者の中間位置にある中心
線ＣＬ２にまでエンコーダ板を反時計回りさせることに
よって（ＳＴＥＰ３）、クランプローターの回転運動の
始点を出すための原点出し動作を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性を有するチ
ューブを溶融して切断し、その切断面同士を溶着して接
続するチューブ接続装置に関する。
ューブを溶融して切断し、その切断面同士を溶着して接
続するチューブ接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】チューブ接続装置は、例えば腹膜透析患
者の腹腔内に透析液を提供するため、腹腔に接続された
トランスファーチューブと透析バックに接続されたチュ
ーブとの接続に利用されるものである。そこで、チュー
ブ接続装置の接続動作の一例を簡単に説明する。例えば
２本のチューブ７，８が、図２３に示すように第１チュ
ーブ保持具３０１及び第２チューブ保持具３０２の固定
クランプ３１１，３１３と、これに対し当接・離間する
可動クランプ３１２，３１４とによって２箇所でクラン
プされる。このとき、チューブ７，８はクランプされて
扁平形状となって管内が閉塞される。そして、加熱した
切断板（以下、「ウェハ」という）６が、第１チューブ
保持具３０１と第２チューブ保持具３０２との間を上昇
し、直交するチューブ７，８を溶融して切断する。
者の腹腔内に透析液を提供するため、腹腔に接続された
トランスファーチューブと透析バックに接続されたチュ
ーブとの接続に利用されるものである。そこで、チュー
ブ接続装置の接続動作の一例を簡単に説明する。例えば
２本のチューブ７，８が、図２３に示すように第１チュ
ーブ保持具３０１及び第２チューブ保持具３０２の固定
クランプ３１１，３１３と、これに対し当接・離間する
可動クランプ３１２，３１４とによって２箇所でクラン
プされる。このとき、チューブ７，８はクランプされて
扁平形状となって管内が閉塞される。そして、加熱した
切断板（以下、「ウェハ」という）６が、第１チューブ
保持具３０１と第２チューブ保持具３０２との間を上昇
し、直交するチューブ７，８を溶融して切断する。
【０００３】その後、第１チューブ保持具３０１では、
半円形状の一対のローター片３０３，３０４が重なって
クランプローター３０５を形成し、そのクランプロータ
ー３０５の回転によって、図２４に示すように切断した
一方の切断チューブ７ａ，８ａがウェハ６を滑るように
して反転する。そして、互いに異なるチューブ（７ａと
８ｂ，８ａと７ｂ）の切断面が同軸上に位置したところ
で、ウェハ６を後退させて両チューブの切断面同士を押
し付けるようにして溶着し、図２５に示すように互い違
いに接合したチューブ９，１０を形成する。
半円形状の一対のローター片３０３，３０４が重なって
クランプローター３０５を形成し、そのクランプロータ
ー３０５の回転によって、図２４に示すように切断した
一方の切断チューブ７ａ，８ａがウェハ６を滑るように
して反転する。そして、互いに異なるチューブ（７ａと
８ｂ，８ａと７ｂ）の切断面が同軸上に位置したところ
で、ウェハ６を後退させて両チューブの切断面同士を押
し付けるようにして溶着し、図２５に示すように互い違
いに接合したチューブ９，１０を形成する。
【０００４】ところで、このチューブ接続装置では、前
述したように一対のローター片３０３，３０４からなる
クランプローター３０５によってチューブの反転を行う
よう構成されている。図２６は、第１チューブ保持具３
０１に装填されたクランプローター３０５を示した図で
ある。クランプローター３０５は、一対の半円形状のロ
ーター片３０３，３０４から構成されたものであり、そ
の円周上には歯形が形成され、両ローター片３０３，３
０４が互いに重ねられた場合に１個の歯車をなすよう構
成されている。また、クランプローター３０５の中心、
即ち、ローター片３０３，３０４同士の当接面中央に
は、それぞれ１本のチューブが入る深さのＵ字溝３３
１，３３２と、チューブを潰してクランプする浅溝の閉
塞部３３３，３３４が形成されている。
述したように一対のローター片３０３，３０４からなる
クランプローター３０５によってチューブの反転を行う
よう構成されている。図２６は、第１チューブ保持具３
０１に装填されたクランプローター３０５を示した図で
ある。クランプローター３０５は、一対の半円形状のロ
ーター片３０３，３０４から構成されたものであり、そ
の円周上には歯形が形成され、両ローター片３０３，３
０４が互いに重ねられた場合に１個の歯車をなすよう構
成されている。また、クランプローター３０５の中心、
即ち、ローター片３０３，３０４同士の当接面中央に
は、それぞれ１本のチューブが入る深さのＵ字溝３３
１，３３２と、チューブを潰してクランプする浅溝の閉
塞部３３３，３３４が形成されている。
【０００５】このようなローター片３０３，３０４は、
固定クランプ３１１及び可動クランプ３１２を形成する
ブロック３２１，３２２に形成されたローター装填部３
２３，３２４内にそれぞれ装填されている。一方、ロー
ター装填部３２３に連設されたギヤ装填部３２５には、
ローター片３０３（３０４）と噛合するドライブギヤ３
０６が回転可能に装填され、図示しない駆動モータのモ
ータ軸に連結されている。そして、例えば図２３に示す
ようにチューブ７，８がクランプされて切断されると、
所定のタイミングで図示しない駆動モータが駆動してド
ライブギヤ３０６に回転が与えられる。それによってク
ランプローター３０５が第１チューブ保持具３０１内を
回転し、それぞれのローター片３０３，３０４の位置が
入れ替わって切断チューブが互い違いに配置される。
固定クランプ３１１及び可動クランプ３１２を形成する
ブロック３２１，３２２に形成されたローター装填部３
２３，３２４内にそれぞれ装填されている。一方、ロー
ター装填部３２３に連設されたギヤ装填部３２５には、
ローター片３０３（３０４）と噛合するドライブギヤ３
０６が回転可能に装填され、図示しない駆動モータのモ
ータ軸に連結されている。そして、例えば図２３に示す
ようにチューブ７，８がクランプされて切断されると、
所定のタイミングで図示しない駆動モータが駆動してド
ライブギヤ３０６に回転が与えられる。それによってク
ランプローター３０５が第１チューブ保持具３０１内を
回転し、それぞれのローター片３０３，３０４の位置が
入れ替わって切断チューブが互い違いに配置される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
クランプローター３０５を利用した従来のチューブ接続
装置は、ブロック３２１，３２２が離間してローター片
３０３，３０４が表に現れた状態になる。そのため、使
用者がローター片３０３，３０４を押さえてしまうと、
ロータ片３０３，３０４が対称な状態にあったチューブ
接続後の位置からずれてしまう。そこで、ずれたまま次
にロータ片３０３，３０４が重ね合わされると、一方が
他方に押されて僅かに回転してしまい、クランプロータ
ー３０５は、図２６に示すようにロータ片３０３，３０
４が各ブロック３２１，３２２に対称になるように正確
に装填された基準状態からずれてしまう。そして、その
ような状態で装置を起動させれば、クランプローター３
０５が反転したときに、チューブ７，８の切断面同士が
ずれて接続不良が生じかねない。
クランプローター３０５を利用した従来のチューブ接続
装置は、ブロック３２１，３２２が離間してローター片
３０３，３０４が表に現れた状態になる。そのため、使
用者がローター片３０３，３０４を押さえてしまうと、
ロータ片３０３，３０４が対称な状態にあったチューブ
接続後の位置からずれてしまう。そこで、ずれたまま次
にロータ片３０３，３０４が重ね合わされると、一方が
他方に押されて僅かに回転してしまい、クランプロータ
ー３０５は、図２６に示すようにロータ片３０３，３０
４が各ブロック３２１，３２２に対称になるように正確
に装填された基準状態からずれてしまう。そして、その
ような状態で装置を起動させれば、クランプローター３
０５が反転したときに、チューブ７，８の切断面同士が
ずれて接続不良が生じかねない。
【０００７】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、クランプ部材の回転運
動の始点を出すための原点出し動作を行うことによっ
て、チューブの接続を確実に行うチューブ接続装置を提
供することを目的とする。
するためになされたものであり、クランプ部材の回転運
動の始点を出すための原点出し動作を行うことによっ
て、チューブの接続を確実に行うチューブ接続装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に成された請求項１に係るチューブ接続装置は、一対の
保持部材によって複数の可撓性のチューブを保持する第
１チューブ保持具及び第２チューブ保持具が、その一方
又は両方に当該チューブを保持する回転自在な回転対称
形状に分割された一対のクランプ部材を備え、前記第１
チューブ保持具と第２チューブ保持具との間を移動する
加熱された切断板によってチューブを溶融して切断した
後、前記クランプ部材を回転させて第１チューブ保持具
及び第２チューブ保持具に保持されたチューブの異なる
切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置であっ
て、前記クランプ部材の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を、前記クランプ部材を回転させる前に行う
ことを特徴とする。
に成された請求項１に係るチューブ接続装置は、一対の
保持部材によって複数の可撓性のチューブを保持する第
１チューブ保持具及び第２チューブ保持具が、その一方
又は両方に当該チューブを保持する回転自在な回転対称
形状に分割された一対のクランプ部材を備え、前記第１
チューブ保持具と第２チューブ保持具との間を移動する
加熱された切断板によってチューブを溶融して切断した
後、前記クランプ部材を回転させて第１チューブ保持具
及び第２チューブ保持具に保持されたチューブの異なる
切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置であっ
て、前記クランプ部材の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を、前記クランプ部材を回転させる前に行う
ことを特徴とする。
【０００９】よって、クランプ部材を回転させて第１チ
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、クランプ部材を回転させる前に行っており、クラン
プ部材が基準状態からずれているときに、クランプ部材
を回転させても、チューブの切断面同士がずれて接続不
良が生じることはなくなるので、チューブの接続を確実
に行うことができる。
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、クランプ部材を回転させる前に行っており、クラン
プ部材が基準状態からずれているときに、クランプ部材
を回転させても、チューブの切断面同士がずれて接続不
良が生じることはなくなるので、チューブの接続を確実
に行うことができる。
【００１０】また、請求項２に係るチューブ接続装置
は、請求項１に記載するチューブ接続装置であって、前
記原点出し動作を前記チューブを保持した状態で都度行
うことを特徴とする。
は、請求項１に記載するチューブ接続装置であって、前
記原点出し動作を前記チューブを保持した状態で都度行
うことを特徴とする。
【００１１】よって、クランプ部材を回転させて第１チ
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具でチュ
ーブを保持した状態で都度行うことから、クランプ部材
を回転させる毎に、チューブの接続を確実に行うことが
できる。
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具でチュ
ーブを保持した状態で都度行うことから、クランプ部材
を回転させる毎に、チューブの接続を確実に行うことが
できる。
【００１２】また、請求項３に係るチューブ接続装置
は、請求項１又は請求項２に記載するチューブ接続装置
であって、前記クランプ部材の回転をステッピングモー
タで行うとともに、前記クランプ部材の回転前の原点出
し動作を光センサとエンコーダ板を介して行うことを特
徴とするチューブ接続装置。
は、請求項１又は請求項２に記載するチューブ接続装置
であって、前記クランプ部材の回転をステッピングモー
タで行うとともに、前記クランプ部材の回転前の原点出
し動作を光センサとエンコーダ板を介して行うことを特
徴とするチューブ接続装置。
【００１３】よって、クランプ部材を回転させて第１チ
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、光センサとエンコーダ板を介して、クランプ部材を
回転させる前に行っており、クランプ部材が基準状態か
らずれているときに、クランプ部材を回転させても、チ
ューブの切断面同士がずれて接続不良が生じることはな
くなるので、チューブの接続を確実に行うことができ
る。
ューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュ
ーブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、ク
ランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、光センサとエンコーダ板を介して、クランプ部材を
回転させる前に行っており、クランプ部材が基準状態か
らずれているときに、クランプ部材を回転させても、チ
ューブの切断面同士がずれて接続不良が生じることはな
くなるので、チューブの接続を確実に行うことができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係るチューブ接続
装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、チューブ接続装置の内部機構を示した斜視図で
あり、図２は、その平面図である（可動クランプ１２，
８２を除く）。このチューブ接続装置は、主にチューブ
を保持するチューブ保持機構と、ウェハ６をチューブに
対して移動させる切断機構、そしてチューブの接続動作
毎に新しいウェハ６を送るためのウェハ送り機構とから
構成されている。そこで、先ずチューブ保持機構の構成
について説明する。チューブ保持機構は、上下に重ねた
２本のチューブ７，８を２箇所で保持及び挟み込み、切
断後に一方の側のチューブを上下反転させて、切断面同
士を押し付けて接続させるものである。その主要な構成
は、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２であ
り、それぞれ固定クランプ１１，８１と、これにピン継
手で連結された可動クランプ１２，８２とから構成され
ている。なお、この固定クランプ１１，８１と及び可動
クランプ１２，８２は、特許請求の範囲で記載する保持
部材に相当するものである。
装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、チューブ接続装置の内部機構を示した斜視図で
あり、図２は、その平面図である（可動クランプ１２，
８２を除く）。このチューブ接続装置は、主にチューブ
を保持するチューブ保持機構と、ウェハ６をチューブに
対して移動させる切断機構、そしてチューブの接続動作
毎に新しいウェハ６を送るためのウェハ送り機構とから
構成されている。そこで、先ずチューブ保持機構の構成
について説明する。チューブ保持機構は、上下に重ねた
２本のチューブ７，８を２箇所で保持及び挟み込み、切
断後に一方の側のチューブを上下反転させて、切断面同
士を押し付けて接続させるものである。その主要な構成
は、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２であ
り、それぞれ固定クランプ１１，８１と、これにピン継
手で連結された可動クランプ１２，８２とから構成され
ている。なお、この固定クランプ１１，８１と及び可動
クランプ１２，８２は、特許請求の範囲で記載する保持
部材に相当するものである。
【００１５】第１チューブ保持具１と第２チューブ保持
具２とは、一定の間隔をもって平行に並べられ、第２チ
ューブ保持具２がベース２１０に固定される一方、第１
チューブ保持具１は、第２チューブ保持具２との間隔を
調節できるようスライド可能に設けられている。両者の
間には、切断機構をなすウェハホルダ１４０が配置さ
れ、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とに
保持されたチューブ７，８に対して直交方向にウェハ６
を移動させるよう構成されている。そして、そのウェハ
６によって切断されたチューブを反転させるためのクラ
ンプローターが第１チューブ保持具１に設けられてい
る。ここに、図３は、クランプローターを示した斜視図
であり、図４は、図３で示したローター片３１（３２）
のＡ方向断面図である。なお、このローター片３１，３
２が、特許請求の範囲に記載するクランプ部材に相当す
るものである。
具２とは、一定の間隔をもって平行に並べられ、第２チ
ューブ保持具２がベース２１０に固定される一方、第１
チューブ保持具１は、第２チューブ保持具２との間隔を
調節できるようスライド可能に設けられている。両者の
間には、切断機構をなすウェハホルダ１４０が配置さ
れ、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２とに
保持されたチューブ７，８に対して直交方向にウェハ６
を移動させるよう構成されている。そして、そのウェハ
６によって切断されたチューブを反転させるためのクラ
ンプローターが第１チューブ保持具１に設けられてい
る。ここに、図３は、クランプローターを示した斜視図
であり、図４は、図３で示したローター片３１（３２）
のＡ方向断面図である。なお、このローター片３１，３
２が、特許請求の範囲に記載するクランプ部材に相当す
るものである。
【００１６】クランプローター３０は、一対のローター
片３１，３２から構成されるものであり、そのローター
片３１，３２は、ギヤを半割して構成した回転対称形状
をなすものである。従って、ローター片３１，３２は、
共に半円形をした同型のものであり、半割面を重ね合わ
せて１個のクランプローター３０となる。具体的には、
クランプローター３０は、中心にチューブを保持するた
めのチューブ保持部３３，３３、そのチューブ保持部３
３，３３から半径方向に張り出したフランジ部３４，３
４、及びフランジ部３４，３４外周のリム部３５，３５
には、ローターギヤ３６，３６並びにロック溝３７ａ，
３７ｂ，３７ａ，３７ｂが形成されてなるものである。
片３１，３２から構成されるものであり、そのローター
片３１，３２は、ギヤを半割して構成した回転対称形状
をなすものである。従って、ローター片３１，３２は、
共に半円形をした同型のものであり、半割面を重ね合わ
せて１個のクランプローター３０となる。具体的には、
クランプローター３０は、中心にチューブを保持するた
めのチューブ保持部３３，３３、そのチューブ保持部３
３，３３から半径方向に張り出したフランジ部３４，３
４、及びフランジ部３４，３４外周のリム部３５，３５
には、ローターギヤ３６，３６並びにロック溝３７ａ，
３７ｂ，３７ａ，３７ｂが形成されてなるものである。
【００１７】そのチューブ保持部３３，３３は、保持溝
３３ａと円筒の先端部が中心方向に傾斜して幅狭になっ
た閉塞部３３ｂ，３３ｂが形成されている。保持溝３３
ａ，３３ａは、チューブ７（８）の約直径分の深さの断
面略半円形の溝であり、閉塞部３３ｂ，３３ｂは、そこ
で重ねて押し潰した２本のチューブが扁平形状となっ
て、チューブ管内が閉塞されるだけの隙間をなすよう
に、ともに対称的に形成されている。またリム部３５，
３５に形成されたロック溝３７ａ，３７ａ及びロック溝
３７ｂ，３７ｂは、両方のローター片３１，３２とも同
位置に形成されている。これは、ロック溝３７ａ，３７
ａが固定クランプ１１のロック手段に、そしてロック溝
３７ｂ，３７ｂが可動クランプ１２に設けられたロック
手段に対応するようにしたためである。ロック手段につ
いては後述する。ロック溝３７ａ，３７ｂ，３７ａ，３
７ｂは、全て２枚の突設壁によって所定の溝幅をなして
形成されている。
３３ａと円筒の先端部が中心方向に傾斜して幅狭になっ
た閉塞部３３ｂ，３３ｂが形成されている。保持溝３３
ａ，３３ａは、チューブ７（８）の約直径分の深さの断
面略半円形の溝であり、閉塞部３３ｂ，３３ｂは、そこ
で重ねて押し潰した２本のチューブが扁平形状となっ
て、チューブ管内が閉塞されるだけの隙間をなすよう
に、ともに対称的に形成されている。またリム部３５，
３５に形成されたロック溝３７ａ，３７ａ及びロック溝
３７ｂ，３７ｂは、両方のローター片３１，３２とも同
位置に形成されている。これは、ロック溝３７ａ，３７
ａが固定クランプ１１のロック手段に、そしてロック溝
３７ｂ，３７ｂが可動クランプ１２に設けられたロック
手段に対応するようにしたためである。ロック手段につ
いては後述する。ロック溝３７ａ，３７ｂ，３７ａ，３
７ｂは、全て２枚の突設壁によって所定の溝幅をなして
形成されている。
【００１８】次に、ローター片３１，３２が装填される
第１チューブ保持具１の固定クランプ１１及び可動クラ
ンプ１２について説明する。固定クランプ１１は、図５
に示す固定クランプボディ１３に対し、ボディカバー１
４（図１参照）を固定して形成されている。固定クラン
プボディ１３は、側壁１５に図示するような外形枠１６
が突設され、その外形枠１６にボディカバー１４が当て
られてネジ止めされる。固定クランプ１１は、上面が開
放された中空形状をなすものであり、その中に前述した
ローター片３１（３２）が装填される。更に、ボディカ
バー１４にはステッピングモータ３（図２参照）が固定
され、固定クランプ１１内には、その回転出力をロータ
ー片３１（３２）へ伝達するギヤ列が設けられる。
第１チューブ保持具１の固定クランプ１１及び可動クラ
ンプ１２について説明する。固定クランプ１１は、図５
に示す固定クランプボディ１３に対し、ボディカバー１
４（図１参照）を固定して形成されている。固定クラン
プボディ１３は、側壁１５に図示するような外形枠１６
が突設され、その外形枠１６にボディカバー１４が当て
られてネジ止めされる。固定クランプ１１は、上面が開
放された中空形状をなすものであり、その中に前述した
ローター片３１（３２）が装填される。更に、ボディカ
バー１４にはステッピングモータ３（図２参照）が固定
され、固定クランプ１１内には、その回転出力をロータ
ー片３１（３２）へ伝達するギヤ列が設けられる。
【００１９】固定クランプボディ１３は、上方の両角部
に、単一の支持ブラケット１７と二股の支持ブラケット
１８とが形成されている。単一の支持ブラケット１７
は、可動クランプ１２とのピン継手用であり、二股の支
持ブラケット１８には、その間にベアリング２８が軸支
されている。また、固定クランプボディ１３の側壁１５
の上辺と、ボディカバー１４の上辺（不図示）には、ロ
ーター片３１（３２）のチューブ保持部３３を支持すべ
く、半円形に切り欠かれた回転支持溝１９が形成されて
いる。そして、側壁１５には、回転支持溝１９と同一中
心の円周上に、ローター片３１（３２）を回転支持する
ローラ２０，２０，２０が軸支されている。３個のロー
ラ２０…は、中央のローラ２０に対して６０゜の間隔で
両側のローラ２０，２０が対称的に配置されている。更
に、固定クランプボディ１３には、側壁１５の上辺から
突き出るように位置決突起２１が形成されている。
に、単一の支持ブラケット１７と二股の支持ブラケット
１８とが形成されている。単一の支持ブラケット１７
は、可動クランプ１２とのピン継手用であり、二股の支
持ブラケット１８には、その間にベアリング２８が軸支
されている。また、固定クランプボディ１３の側壁１５
の上辺と、ボディカバー１４の上辺（不図示）には、ロ
ーター片３１（３２）のチューブ保持部３３を支持すべ
く、半円形に切り欠かれた回転支持溝１９が形成されて
いる。そして、側壁１５には、回転支持溝１９と同一中
心の円周上に、ローター片３１（３２）を回転支持する
ローラ２０，２０，２０が軸支されている。３個のロー
ラ２０…は、中央のローラ２０に対して６０゜の間隔で
両側のローラ２０，２０が対称的に配置されている。更
に、固定クランプボディ１３には、側壁１５の上辺から
突き出るように位置決突起２１が形成されている。
【００２０】そして、この固定クランプボディ１３は、
前述したように第１チューブ保持具１が第２チューブ保
持具２に対して平行移動できるように形成されている。
ここで、図６は、固定クランプボディ１３の平面図であ
る。固定クランプボディ１３は、側壁１５に垂直にスラ
イド管２２が突設され、またガイドローラ２３がスライ
ド管２２の軸方向に回転自在に軸支されている。スライ
ド管２２は、後述する第２チューブ保持具２側から突設
されたガイドロッドにはめ込まれ、ガイドローラ２３
は、図１に示すベース２１０に固定されたガイドブロッ
ク２９のガイド溝２９ａ内に配置されている。従って、
第１チューブ保持具１の固定クランプ１１は、固定クラ
ンプボディ１３がスライド管２２とガイドローラ２３と
で支持され、ベース２１０から浮いた状態で取り付けら
れる。
前述したように第１チューブ保持具１が第２チューブ保
持具２に対して平行移動できるように形成されている。
ここで、図６は、固定クランプボディ１３の平面図であ
る。固定クランプボディ１３は、側壁１５に垂直にスラ
イド管２２が突設され、またガイドローラ２３がスライ
ド管２２の軸方向に回転自在に軸支されている。スライ
ド管２２は、後述する第２チューブ保持具２側から突設
されたガイドロッドにはめ込まれ、ガイドローラ２３
は、図１に示すベース２１０に固定されたガイドブロッ
ク２９のガイド溝２９ａ内に配置されている。従って、
第１チューブ保持具１の固定クランプ１１は、固定クラ
ンプボディ１３がスライド管２２とガイドローラ２３と
で支持され、ベース２１０から浮いた状態で取り付けら
れる。
【００２１】また、固定クランプボディ１３には、図６
に示すように押圧アーム２４が第２チューブ保持具２側
に突設され、先端にはローラベアリング２５が軸支され
ている。そして、スライド管２２とガイドローラ２３と
で支持された移動可能な固定クランプ１１は、図１に示
すベースブロック１０に固定された支持壁１８１との間
にスプリング２４が設けられ、このスプリング２４によ
って常時第２チューブ保持具２側へと付勢されている。
そのため、押圧アーム２４先端のローラベアリング２５
が、後述する第２チューブ保持具２内の駆動カムに常時
当接され、そのカム面を転動可能な構成となっている。
に示すように押圧アーム２４が第２チューブ保持具２側
に突設され、先端にはローラベアリング２５が軸支され
ている。そして、スライド管２２とガイドローラ２３と
で支持された移動可能な固定クランプ１１は、図１に示
すベースブロック１０に固定された支持壁１８１との間
にスプリング２４が設けられ、このスプリング２４によ
って常時第２チューブ保持具２側へと付勢されている。
そのため、押圧アーム２４先端のローラベアリング２５
が、後述する第２チューブ保持具２内の駆動カムに常時
当接され、そのカム面を転動可能な構成となっている。
【００２２】次に、固定クランプ１１のボディカバー１
４には、チューブを正確に配置させるためのチューブガ
イド４０（図１参照）が設けられている。ここに、図７
は、ボディカバー１４への取付面側を示したチューブガ
イド４０の斜視図である。チューブガイド４０は、溝の
形成されたガイドボディ４１に対し、一対のガイド爪４
２，４２がスプリング４３，４３によって内側に付勢さ
れた状態で取り付けられている。即ち、ガイドボディ４
１の中央にはチューブを位置させる湾曲した溝４１ａが
形成され、その溝４１ａを挟むように配置されたガイド
爪４２，４２が、外側のスプリング４３，４３によって
当該溝４６ａ側に付勢され、その付勢方向に移動自在に
取り付けられている。なお、図に示す左右一対のガイド
爪４２，４２は同型のものであって、裏表逆に配置させ
て部品の共通化を図っている。
４には、チューブを正確に配置させるためのチューブガ
イド４０（図１参照）が設けられている。ここに、図７
は、ボディカバー１４への取付面側を示したチューブガ
イド４０の斜視図である。チューブガイド４０は、溝の
形成されたガイドボディ４１に対し、一対のガイド爪４
２，４２がスプリング４３，４３によって内側に付勢さ
れた状態で取り付けられている。即ち、ガイドボディ４
１の中央にはチューブを位置させる湾曲した溝４１ａが
形成され、その溝４１ａを挟むように配置されたガイド
爪４２，４２が、外側のスプリング４３，４３によって
当該溝４６ａ側に付勢され、その付勢方向に移動自在に
取り付けられている。なお、図に示す左右一対のガイド
爪４２，４２は同型のものであって、裏表逆に配置させ
て部品の共通化を図っている。
【００２３】続いて図８は、第１チューブ保持具１の可
動クランプ１２を示す分解斜視図であり、第２チューブ
保持具２側から見た図である。可動クランプ１２は、図
示する可動クランプボディ５１にボディカバー５２が取
り付けられ、固定クランプ１１と同様に中空をなすもの
であり、その中にローター片３１（３２）が装填され
る。可動クランプボディ５１及びボディカバー５２に
は、それぞれ対応する位置に半円形に切り欠かれた回転
支持溝５３，５４が形成されている。そして、そのボデ
ィカバー５２には、回転支持溝５４と同一中心の円周上
に、ローター片３１（３２）を回転支持するローラ５
５，５５，５５が軸支されている。３個のローラ５５…
は、中央のローラ５５に対して６０゜の間隔で他の２個
のローラ５５，５５が対称的に配置されている。更に、
可動クランプボディ５１には、その両端にピン継手用の
二股の支持ブラケット５６，５７が突設されている。
動クランプ１２を示す分解斜視図であり、第２チューブ
保持具２側から見た図である。可動クランプ１２は、図
示する可動クランプボディ５１にボディカバー５２が取
り付けられ、固定クランプ１１と同様に中空をなすもの
であり、その中にローター片３１（３２）が装填され
る。可動クランプボディ５１及びボディカバー５２に
は、それぞれ対応する位置に半円形に切り欠かれた回転
支持溝５３，５４が形成されている。そして、そのボデ
ィカバー５２には、回転支持溝５４と同一中心の円周上
に、ローター片３１（３２）を回転支持するローラ５
５，５５，５５が軸支されている。３個のローラ５５…
は、中央のローラ５５に対して６０゜の間隔で他の２個
のローラ５５，５５が対称的に配置されている。更に、
可動クランプボディ５１には、その両端にピン継手用の
二股の支持ブラケット５６，５７が突設されている。
【００２４】次に、図９は、第１チューブ保持具１を示
した断面図である。具体的には、固定クランプ１１はボ
ディカバー１４を外した固定クランプボディ１３を、可
動クランプ１２は可動クランプボディ５１の断面を、そ
れぞれ簡略化して示した図である。第１チューブ保持具
１は、固定クランプ１１と可動クランプ１２とが支持ブ
ラケット１７，５６でピン結合され、可動クランプ１２
が揺動することによって図示するように重ね合わされ、
また図１に示すように開くよう構成されている。そし
て、可動クランプ１２の揺動端に形成された支持ブラケ
ット５７には、バックル１２５（図８参照）がピン結合
され、その顎部１２７が固定クランプ１１のベアリング
２８に掛けられて、図示する状態でロックされるよう構
成されている。
した断面図である。具体的には、固定クランプ１１はボ
ディカバー１４を外した固定クランプボディ１３を、可
動クランプ１２は可動クランプボディ５１の断面を、そ
れぞれ簡略化して示した図である。第１チューブ保持具
１は、固定クランプ１１と可動クランプ１２とが支持ブ
ラケット１７，５６でピン結合され、可動クランプ１２
が揺動することによって図示するように重ね合わされ、
また図１に示すように開くよう構成されている。そし
て、可動クランプ１２の揺動端に形成された支持ブラケ
ット５７には、バックル１２５（図８参照）がピン結合
され、その顎部１２７が固定クランプ１１のベアリング
２８に掛けられて、図示する状態でロックされるよう構
成されている。
【００２５】図９に示す第１チューブ保持具１のクラン
プ状態では、配置されたチューブ７，８（図２参照）
が、ローター片３１，３２の保持溝３３ａ，３３ａによ
って上下で保持され、閉塞部３３ｂ，３３ｂによって図
示するように上下対称にクランプできるよう構成されて
いる。なお、図示するクランプローター３０は、図４で
示すローター片３１，３２のＢ−Ｂ断面を表したもので
ある。ローター片３１，３２は、チューブ保持部３３，
３３とリム部３５，３５との間にローラ２０…，５５…
が入り込むように装填される。従って、図示するクラン
プ状態では、ローター片３１，３２によって１個のクラ
ンプローター３０（図３参照）が構成され、またローラ
２０…，５５…は、同一円周上に等間隔（６０゜間隔）
に位置する。なお、このクランプローター３０は、閉塞
部３３ｂ，３３ｂが第２チューブ保持具２側に突出す向
きに配置されている。また、固定クランプ１１には、ボ
ディカバー１４にステッピングモータ３（図２参照）が
固定され、貫通孔３２ａ（図１参照）から内部に進入し
たモータ軸３ａに駆動ギヤ６１が取り付けられ、その駆
動ギヤ６１がアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３に
噛み合い、そのドライブギヤ６３がクランプローター３
０のローターギヤ３６に噛み合っている。
プ状態では、配置されたチューブ７，８（図２参照）
が、ローター片３１，３２の保持溝３３ａ，３３ａによ
って上下で保持され、閉塞部３３ｂ，３３ｂによって図
示するように上下対称にクランプできるよう構成されて
いる。なお、図示するクランプローター３０は、図４で
示すローター片３１，３２のＢ−Ｂ断面を表したもので
ある。ローター片３１，３２は、チューブ保持部３３，
３３とリム部３５，３５との間にローラ２０…，５５…
が入り込むように装填される。従って、図示するクラン
プ状態では、ローター片３１，３２によって１個のクラ
ンプローター３０（図３参照）が構成され、またローラ
２０…，５５…は、同一円周上に等間隔（６０゜間隔）
に位置する。なお、このクランプローター３０は、閉塞
部３３ｂ，３３ｂが第２チューブ保持具２側に突出す向
きに配置されている。また、固定クランプ１１には、ボ
ディカバー１４にステッピングモータ３（図２参照）が
固定され、貫通孔３２ａ（図１参照）から内部に進入し
たモータ軸３ａに駆動ギヤ６１が取り付けられ、その駆
動ギヤ６１がアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３に
噛み合い、そのドライブギヤ６３がクランプローター３
０のローターギヤ３６に噛み合っている。
【００２６】そして、固定クランプ１１及び可動クラン
プ１２には、チューブを保持する状態にない場合、ある
いは非クランプ状態の際に、装填されたローター片３
１，３２が、固定クランプ１１及び可動クランプ１２内
において図９に示す位置からずれないよう位置決めする
ため、回転防止手段としてのロック手段が設けられてい
る。いずれのロック手段もローター片３１，３２に形成
されたロック溝３７ａ，３７ｂにはまり込んで、ロータ
ー片３１，３２の移動を規制するものである。そこで、
先ず固定クランプ１１側のロック手段について説明す
る。このロック手段は、図９に示すように係合スライダ
であるスライド板６５、クランク板６６及びスプリング
６７から構成されている。スライド板６５は、２つの長
円形のスライド孔６５ａ，６５ｂが平行に形成され、固
定クランプボディ１３の側壁１５に立設されたピン６８
ａ，６８ｂにはめ込まれて摺動支持されている。
プ１２には、チューブを保持する状態にない場合、ある
いは非クランプ状態の際に、装填されたローター片３
１，３２が、固定クランプ１１及び可動クランプ１２内
において図９に示す位置からずれないよう位置決めする
ため、回転防止手段としてのロック手段が設けられてい
る。いずれのロック手段もローター片３１，３２に形成
されたロック溝３７ａ，３７ｂにはまり込んで、ロータ
ー片３１，３２の移動を規制するものである。そこで、
先ず固定クランプ１１側のロック手段について説明す
る。このロック手段は、図９に示すように係合スライダ
であるスライド板６５、クランク板６６及びスプリング
６７から構成されている。スライド板６５は、２つの長
円形のスライド孔６５ａ，６５ｂが平行に形成され、固
定クランプボディ１３の側壁１５に立設されたピン６８
ａ，６８ｂにはめ込まれて摺動支持されている。
【００２７】また、その先端にはスライド孔６５ａ，６
５ｂの長手方向に平行に突設された係合部６５ｐが形成
され、他端には垂直に折り曲げられた引っ掛け部６５ｑ
が立てられている。そして、スライド板６５は、ピン６
８ａと引っ掛け部６５ｑとに掛けられたスプリング６７
によって、常時クランプローター３０の中心方向に付勢
されている。一方、クランク板６６は、その略中央部分
がピン６８ｂによって軸支され、直線形状をした先端が
スライド板６５の引っ掛け部６５ｑに対し付勢方向側に
配置し、他方のへの字形をした先端が固定クランプボデ
ィ１３に形成された窓部２６に配置されている。
５ｂの長手方向に平行に突設された係合部６５ｐが形成
され、他端には垂直に折り曲げられた引っ掛け部６５ｑ
が立てられている。そして、スライド板６５は、ピン６
８ａと引っ掛け部６５ｑとに掛けられたスプリング６７
によって、常時クランプローター３０の中心方向に付勢
されている。一方、クランク板６６は、その略中央部分
がピン６８ｂによって軸支され、直線形状をした先端が
スライド板６５の引っ掛け部６５ｑに対し付勢方向側に
配置し、他方のへの字形をした先端が固定クランプボデ
ィ１３に形成された窓部２６に配置されている。
【００２８】次いで、可動クランプ１２側のロック手段
は、くの字に折り曲げられた板バネ７１に、クランプロ
ーター３０のロック溝３７にはまり込む係合突起を有す
る係合片７２が固定されている。板バネ７１は、その一
端に支持リング７１ａが形成され、それが可動クランプ
ボディ５１に立設されたピン５８にはめ込まれている。
板バネ７１の他端は、可動クランプボディ５１の内壁に
当てられ、板バネ７１に働く弾性力をその内壁が受ける
ように構成されている。このとき係合片７２は、板バネ
７１によってクランプローター３０の中心方向に付勢さ
れている。ところで、ローター片３１，３２にそれぞれ
形成されたロック溝３７ａ，３７ｂは、図９に示すクラ
ンプ状態で係合部６５ｐ及び係合片７２に対応した位置
に設けられ、ローター片３１，３２が一義的に位置決め
されるよう構成されている。また、そのロック溝３７
ａ，３７ｂは、内壁面がほぼ平行な面をなし、一方の係
合部６５ｑ及び係合片７２は、その間に入り込む四角形
状突片をなしている。
は、くの字に折り曲げられた板バネ７１に、クランプロ
ーター３０のロック溝３７にはまり込む係合突起を有す
る係合片７２が固定されている。板バネ７１は、その一
端に支持リング７１ａが形成され、それが可動クランプ
ボディ５１に立設されたピン５８にはめ込まれている。
板バネ７１の他端は、可動クランプボディ５１の内壁に
当てられ、板バネ７１に働く弾性力をその内壁が受ける
ように構成されている。このとき係合片７２は、板バネ
７１によってクランプローター３０の中心方向に付勢さ
れている。ところで、ローター片３１，３２にそれぞれ
形成されたロック溝３７ａ，３７ｂは、図９に示すクラ
ンプ状態で係合部６５ｐ及び係合片７２に対応した位置
に設けられ、ローター片３１，３２が一義的に位置決め
されるよう構成されている。また、そのロック溝３７
ａ，３７ｂは、内壁面がほぼ平行な面をなし、一方の係
合部６５ｑ及び係合片７２は、その間に入り込む四角形
状突片をなしている。
【００２９】続いて、第２チューブ保持具２について具
体的に説明する。ここに、図１０は、第２チューブ保持
具２の固定クランプ８１の外観斜視図であり、特に第１
チューブ保持具１側から見た図である。また、図１１
は、第２チューブ保持具２の固定クランプボディを示し
た斜視図である。この固定クランプ８１は、第１チュー
ブ保持具１と同様に中空の固定クランプボディ８３が外
側からボディカバー８４で塞がれている。即ち、固定ク
ランプボディ８３は、側壁８５に図示するような外形枠
８６が突設され、その外形枠８６にボディカバー８４が
当てられてネジ止めされる。固定クランプボディ８３
は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット８７と二股
の支持ブラケット８８とが各々形成されている。単一の
支持ブラケット８７は、可動クランプ８２とのピン継手
用であり、二股の支持ブラケット８８には、その間にベ
アリング９０を支持している。また、固定クランプボデ
ィ８３には、側壁８５の上辺から突き出るように位置決
突起８９が形成されている。
体的に説明する。ここに、図１０は、第２チューブ保持
具２の固定クランプ８１の外観斜視図であり、特に第１
チューブ保持具１側から見た図である。また、図１１
は、第２チューブ保持具２の固定クランプボディを示し
た斜視図である。この固定クランプ８１は、第１チュー
ブ保持具１と同様に中空の固定クランプボディ８３が外
側からボディカバー８４で塞がれている。即ち、固定ク
ランプボディ８３は、側壁８５に図示するような外形枠
８６が突設され、その外形枠８６にボディカバー８４が
当てられてネジ止めされる。固定クランプボディ８３
は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット８７と二股
の支持ブラケット８８とが各々形成されている。単一の
支持ブラケット８７は、可動クランプ８２とのピン継手
用であり、二股の支持ブラケット８８には、その間にベ
アリング９０を支持している。また、固定クランプボデ
ィ８３には、側壁８５の上辺から突き出るように位置決
突起８９が形成されている。
【００３０】更に、固定クランプボディ８３には、図１
０に示すように、側壁８５に第１チューブ保持具１に形
成されたスライド管２２（図５参照）を支持するガイド
ロッド９１が垂直に突設され、また、その側壁８５は、
内設された駆動カム９２が現れるように大きく切りかか
れている。その駆動カム９２は、減速ギヤ９５と一体的
に形成され、図示する位置にて固定クランプボディ８３
内に軸支されている。駆動カム９２は、円形状のスライ
ド用カム９３と偏心形状の切断用カム９４とが一体に形
成されたものである。スライド用カム９３には、その端
面に軸方向の高さを変化させる傾斜を付けたスライドカ
ム面９３ａが、切断用カム９４には、その外周側面によ
ってなされる偏心カム面９４ａとが形成されている。一
方、ボディカバー８４には、ステッピングモータ４（図
２参照）が固定され、図１０に示すように、貫通孔８４
ａから内部に進入したモータ軸４ａに駆動ギヤ９３が取
り付けられ、その駆動ギヤ９６と減速ギヤ９５とが噛み
合わされている。
０に示すように、側壁８５に第１チューブ保持具１に形
成されたスライド管２２（図５参照）を支持するガイド
ロッド９１が垂直に突設され、また、その側壁８５は、
内設された駆動カム９２が現れるように大きく切りかか
れている。その駆動カム９２は、減速ギヤ９５と一体的
に形成され、図示する位置にて固定クランプボディ８３
内に軸支されている。駆動カム９２は、円形状のスライ
ド用カム９３と偏心形状の切断用カム９４とが一体に形
成されたものである。スライド用カム９３には、その端
面に軸方向の高さを変化させる傾斜を付けたスライドカ
ム面９３ａが、切断用カム９４には、その外周側面によ
ってなされる偏心カム面９４ａとが形成されている。一
方、ボディカバー８４には、ステッピングモータ４（図
２参照）が固定され、図１０に示すように、貫通孔８４
ａから内部に進入したモータ軸４ａに駆動ギヤ９３が取
り付けられ、その駆動ギヤ９６と減速ギヤ９５とが噛み
合わされている。
【００３１】また、固定クランプボディ８３には、図１
１に示すようにチューブガイド１００が設けられてい
る。このチューブガイド１００は、上面をなす外形枠８
６を貫いてチューブを並べて配置させる支持手段とし
て、ガイド爪１０１，１０１が突設され、固定クランプ
ボディ８３内のプランジャケース１０２と一体成形され
たものである。そのガイド爪１０１，１０１先端部に
は、内側に突起１０１ａ，１０１ａが形成されチューブ
の抜けを防止するよう形成されている。そして、ガイド
爪１０１，１０１の間の保持溝１０３は、図１０に示す
ように、固定クランプボディ８３に形成された保持溝９
８と同一面で連続している。一方、プランジャケース１
０２は、図１１に示すように、段付きのプランジャ１０
４が上下に摺動可能な容器をなし、底面が抜かれ、固定
クランプボディ８３に突設された支持板９９に載せられ
るようにして固定されている。
１に示すようにチューブガイド１００が設けられてい
る。このチューブガイド１００は、上面をなす外形枠８
６を貫いてチューブを並べて配置させる支持手段とし
て、ガイド爪１０１，１０１が突設され、固定クランプ
ボディ８３内のプランジャケース１０２と一体成形され
たものである。そのガイド爪１０１，１０１先端部に
は、内側に突起１０１ａ，１０１ａが形成されチューブ
の抜けを防止するよう形成されている。そして、ガイド
爪１０１，１０１の間の保持溝１０３は、図１０に示す
ように、固定クランプボディ８３に形成された保持溝９
８と同一面で連続している。一方、プランジャケース１
０２は、図１１に示すように、段付きのプランジャ１０
４が上下に摺動可能な容器をなし、底面が抜かれ、固定
クランプボディ８３に突設された支持板９９に載せられ
るようにして固定されている。
【００３２】そして、プランジャ１０４は、支持板９９
との間に設けられたスプリング１０５によって上方に付
勢され、チューブガイドの保持溝１０３の底面を貫通し
た先端が突出している。また、プランジャ１０４は、そ
の最下段部分にはマグネット１０６が埋め込まれ、ボデ
ィカバー８４側に固定された不図示のチューブ保持検出
センサによって、マグネット１０６の位置、即ちプラン
ジャ１０４の高さが検出されるように構成されている。
そしてチューブの有無はプランジャの高さの検出によっ
て行われる。更に、保持溝１０３底面の貫通孔に入った
液が、プランジャケース１０２内部に浸透しないように
するため、プランジャ１０４にはＯリング１０７がはめ
られている。
との間に設けられたスプリング１０５によって上方に付
勢され、チューブガイドの保持溝１０３の底面を貫通し
た先端が突出している。また、プランジャ１０４は、そ
の最下段部分にはマグネット１０６が埋め込まれ、ボデ
ィカバー８４側に固定された不図示のチューブ保持検出
センサによって、マグネット１０６の位置、即ちプラン
ジャ１０４の高さが検出されるように構成されている。
そしてチューブの有無はプランジャの高さの検出によっ
て行われる。更に、保持溝１０３底面の貫通孔に入った
液が、プランジャケース１０２内部に浸透しないように
するため、プランジャ１０４にはＯリング１０７がはめ
られている。
【００３３】次に図１２は、可動クランプ８２及びバッ
クル１２０を示した斜視図である。可動クランプ８２
は、一体成形された中空の可動クランプボディ１１０に
よって構成されたものであり、両端に二股の支持ブラケ
ット１１１，１１２が形成されている。また、可動クラ
ンプボディ１１０には、チューブを通すＵ字溝１１３と
側方に突設された閉塞部１１４が形成され、その間はチ
ューブを軽く押さえるよう隆起した押圧部１１５が形成
されている。更に、可動クランプボディ１１０には、固
定クランプボディ８３の位置決突起８９に対して揺動端
側（バックル１２０側）で当てられる係止壁が１１６が
形成されている。そして、この可動クランプボディ１１
０には、その支持ブラケット１１２にバックル１２０が
ピン結合される。このバックル１２０は、図８に示した
第１チューブ保持具１側のバックル１２５をはめ込んで
一体のものとなるよう構成されている。即ちバックル１
２０の把持板１２１は、片側（第１チューブ保持具１
側）に大きく張り出し、そこに、バックル１２５の挿入
部１２６及びピン１２９を挿入させる挿入溝１２２が形
成されている。そして、支持ブラケット１１２の位置に
は、バックル１２５と同様に顎部１２３及び押圧突片１
２４が形成されている。
クル１２０を示した斜視図である。可動クランプ８２
は、一体成形された中空の可動クランプボディ１１０に
よって構成されたものであり、両端に二股の支持ブラケ
ット１１１，１１２が形成されている。また、可動クラ
ンプボディ１１０には、チューブを通すＵ字溝１１３と
側方に突設された閉塞部１１４が形成され、その間はチ
ューブを軽く押さえるよう隆起した押圧部１１５が形成
されている。更に、可動クランプボディ１１０には、固
定クランプボディ８３の位置決突起８９に対して揺動端
側（バックル１２０側）で当てられる係止壁が１１６が
形成されている。そして、この可動クランプボディ１１
０には、その支持ブラケット１１２にバックル１２０が
ピン結合される。このバックル１２０は、図８に示した
第１チューブ保持具１側のバックル１２５をはめ込んで
一体のものとなるよう構成されている。即ちバックル１
２０の把持板１２１は、片側（第１チューブ保持具１
側）に大きく張り出し、そこに、バックル１２５の挿入
部１２６及びピン１２９を挿入させる挿入溝１２２が形
成されている。そして、支持ブラケット１１２の位置に
は、バックル１２５と同様に顎部１２３及び押圧突片１
２４が形成されている。
【００３４】そこで、第２チューブ保持具２は、図１１
に示すように、固定クランプボディ８３に対して可動ク
ランプ８２が支持ブラケット８７，１１１によってピン
結合され、その可動クランプ８２が揺動することによっ
て図示するように重ね合わされ、また図１に示すように
開くよう構成されている。そして、可動クランプ８２の
揺動端にピン結合されたバックル１２０の顎部１２３が
ベアリング９０に掛けられて、図示するクランプ状態で
ロックされるよう構成されている。図１１に示す第１チ
ューブ保持具２のクランプ状態では、固定クランプボデ
ィ８３の保持溝９８と可動クランプボディ１１０の閉塞
部１１４とは、上下に重ねられたチューブ７，８を扁平
させてチューブ管内を閉塞するだけの隙間があけられる
よう構成されている。
に示すように、固定クランプボディ８３に対して可動ク
ランプ８２が支持ブラケット８７，１１１によってピン
結合され、その可動クランプ８２が揺動することによっ
て図示するように重ね合わされ、また図１に示すように
開くよう構成されている。そして、可動クランプ８２の
揺動端にピン結合されたバックル１２０の顎部１２３が
ベアリング９０に掛けられて、図示するクランプ状態で
ロックされるよう構成されている。図１１に示す第１チ
ューブ保持具２のクランプ状態では、固定クランプボデ
ィ８３の保持溝９８と可動クランプボディ１１０の閉塞
部１１４とは、上下に重ねられたチューブ７，８を扁平
させてチューブ管内を閉塞するだけの隙間があけられる
よう構成されている。
【００３５】そして以上のような第１チューブ保持具１
及び第２チューブ保持具２は、図１及び図２に示すよう
に、ベース２１０上に平行に配置される。具体的には、
第２チューブ保持具２の固定クランプボディ８３がベー
ス２１０に直接固定され、その第２チューブ保持具２か
ら突設されたガイドロッド９１（図１０参照）に、第１
チューブ保持具１に設けられたスライド管２２がはめ込
まれる。このとき、両方の固定クランプ１１，８１が平
行になっている。そして、第１チューブ保持具１は、固
定クランプ１１がガイドローラ２３によって他方も支持
されるので、第２チューブ保持具１との平行と、第１チ
ューブ保持具１自身のベース２１０に対する平行を保っ
て、第２チューブ保持具２と距離を調節するような移動
が可能となる。
及び第２チューブ保持具２は、図１及び図２に示すよう
に、ベース２１０上に平行に配置される。具体的には、
第２チューブ保持具２の固定クランプボディ８３がベー
ス２１０に直接固定され、その第２チューブ保持具２か
ら突設されたガイドロッド９１（図１０参照）に、第１
チューブ保持具１に設けられたスライド管２２がはめ込
まれる。このとき、両方の固定クランプ１１，８１が平
行になっている。そして、第１チューブ保持具１は、固
定クランプ１１がガイドローラ２３によって他方も支持
されるので、第２チューブ保持具１との平行と、第１チ
ューブ保持具１自身のベース２１０に対する平行を保っ
て、第２チューブ保持具２と距離を調節するような移動
が可能となる。
【００３６】このように第２チューブ保持具２に対して
移動可能に支持された第１チューブ保持具１は、固定ク
ランプボディ１３がスプリング１３１によって常時第２
チューブ保持具２側へと付勢されている。そのため、第
１チューブ保持具１に突設された押圧アーム２４のロー
ラベアリング２５（図６参照）が、第２チューブ保持具
２に設けられた駆動カム９２のスライド用カム９３に当
接し、常にそのカム面を転動するように構成されてい
る。そして、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持
具２とは、図１３に示すように、ローター片３１（３
２）の保持溝３３ａ，３３ａと、固定クランプ８１の保
持溝９８先端における可動クランプ８２の閉塞部１１４
との２箇所の閉塞部が、僅かな隙間が空けられている。
図１３は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持
具２を図１のＣ方向から示した正面図である。そこで、
この間を通ってウェハ６を上下させる切断機構が設けら
れている。
移動可能に支持された第１チューブ保持具１は、固定ク
ランプボディ１３がスプリング１３１によって常時第２
チューブ保持具２側へと付勢されている。そのため、第
１チューブ保持具１に突設された押圧アーム２４のロー
ラベアリング２５（図６参照）が、第２チューブ保持具
２に設けられた駆動カム９２のスライド用カム９３に当
接し、常にそのカム面を転動するように構成されてい
る。そして、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持
具２とは、図１３に示すように、ローター片３１（３
２）の保持溝３３ａ，３３ａと、固定クランプ８１の保
持溝９８先端における可動クランプ８２の閉塞部１１４
との２箇所の閉塞部が、僅かな隙間が空けられている。
図１３は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持
具２を図１のＣ方向から示した正面図である。そこで、
この間を通ってウェハ６を上下させる切断機構が設けら
れている。
【００３７】次に、切断機構について説明する。前述し
たような第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２
との間には、ウェハ６を保持して上下させるウェハホル
ダが配置されている。ここに、図１４及び図１５は、ウ
ェハ６を保持するためのウェハホルダを示した斜視図で
ある。特に、図１２は、第１チューブ保持具１側から見
た図であり、図１４は、第２チューブ保持具２側から見
た図である。ウェハホルダ１４０は、第２チューブ保持
具２のガイドロッド９１に対して揺動支持されるもので
あり、そのガイドロッド９１にはめ込まれる揺動管１４
２を備えたベース板１４１に、固定板１４３及び開閉板
１４５とが両面に設けられている。固定板１４３はベー
ス板１４１に対して第１チューブ保持具１側に固定さ
れ、両板の間にはウェハ６が通る不図示の溝が形成され
ている。固定板１４３には、２箇所において上方に突き
出し、ウェハ６の上方へのズレを防止する返しを備えた
ズレ止め１４３ａ，１４３ｂが形成されている。
たような第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２
との間には、ウェハ６を保持して上下させるウェハホル
ダが配置されている。ここに、図１４及び図１５は、ウ
ェハ６を保持するためのウェハホルダを示した斜視図で
ある。特に、図１２は、第１チューブ保持具１側から見
た図であり、図１４は、第２チューブ保持具２側から見
た図である。ウェハホルダ１４０は、第２チューブ保持
具２のガイドロッド９１に対して揺動支持されるもので
あり、そのガイドロッド９１にはめ込まれる揺動管１４
２を備えたベース板１４１に、固定板１４３及び開閉板
１４５とが両面に設けられている。固定板１４３はベー
ス板１４１に対して第１チューブ保持具１側に固定さ
れ、両板の間にはウェハ６が通る不図示の溝が形成され
ている。固定板１４３には、２箇所において上方に突き
出し、ウェハ６の上方へのズレを防止する返しを備えた
ズレ止め１４３ａ，１４３ｂが形成されている。
【００３８】開閉板１４５は、下部にて軸支され、更に
その軸支部分の下方側で付勢部材によって付勢されて、
上方が固定板１４３に対して当接・離間、即ち開閉する
よう設けられている。開閉板１４５には、固定板１４３
のズレ止め１４３ａの位置に対応して電極１４６ａ，１
４６ｂが設けられ、このウェハホルダ１４０内に装填さ
れたウェハ６の抵抗体端子に接触して通電するよう構成
されている。また、開閉板１４５には、固定板１４３の
他方のズレ止め１４３ｂに対応するように押圧片１４５
ｂが形成されている。更に、開閉板１４５の外面には、
ウェハ６の進入方向に沿って平行に一本の凸ライン１４
５ｓが形成されている。また、ベース板１４１には、ウ
ェハ６を固定板１４３側に押し付けて位置決めするため
の位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃが設け
られ、最後尾の板バネ１４７ａに重なるように後退防止
用板バネ１４８が設けられている。位置決用板バネ１４
７ａ，１４７ｂ，１４７ｃは、ウェハホルダ１４０内に
装填されたウェハ６の高さのほぼ中間で前後３箇所を押
さえるように配置され、後退防止用板バネ１４８は、通
り過ぎたウェハ６の退路を断つための返シ１４８ａが形
成されている。
その軸支部分の下方側で付勢部材によって付勢されて、
上方が固定板１４３に対して当接・離間、即ち開閉する
よう設けられている。開閉板１４５には、固定板１４３
のズレ止め１４３ａの位置に対応して電極１４６ａ，１
４６ｂが設けられ、このウェハホルダ１４０内に装填さ
れたウェハ６の抵抗体端子に接触して通電するよう構成
されている。また、開閉板１４５には、固定板１４３の
他方のズレ止め１４３ｂに対応するように押圧片１４５
ｂが形成されている。更に、開閉板１４５の外面には、
ウェハ６の進入方向に沿って平行に一本の凸ライン１４
５ｓが形成されている。また、ベース板１４１には、ウ
ェハ６を固定板１４３側に押し付けて位置決めするため
の位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃが設け
られ、最後尾の板バネ１４７ａに重なるように後退防止
用板バネ１４８が設けられている。位置決用板バネ１４
７ａ，１４７ｂ，１４７ｃは、ウェハホルダ１４０内に
装填されたウェハ６の高さのほぼ中間で前後３箇所を押
さえるように配置され、後退防止用板バネ１４８は、通
り過ぎたウェハ６の退路を断つための返シ１４８ａが形
成されている。
【００３９】ところで、チューブの切断及び接続を適切
に行うためには、第１チューブ保持具１と第２チューブ
保持具２とに保持されたチューブ７，８に対してウェハ
６を直交させる必要から、ウェハホルダ１４０がその直
交面上をぶれることなく揺動する必要がある。そのた
め、本実施の形態では、ベース２１０に直接固定される
固定クランプボディ８３の側壁８５（図１０参照）を基
準面とし、ウェハホルダ１４０がその基準面を滑って揺
動動作を行うように構成されている。そこで、ウェハホ
ルダ１４０は、揺動管１４２の端面１４２Ａ、位置決用
板バネ１４７ｃが取り付けられた取付ブロック１５１の
端面１５１Ａ、そして先端部に固定された摺動管１５２
の端面１５２Ａが同一平面上に形成されている。
に行うためには、第１チューブ保持具１と第２チューブ
保持具２とに保持されたチューブ７，８に対してウェハ
６を直交させる必要から、ウェハホルダ１４０がその直
交面上をぶれることなく揺動する必要がある。そのた
め、本実施の形態では、ベース２１０に直接固定される
固定クランプボディ８３の側壁８５（図１０参照）を基
準面とし、ウェハホルダ１４０がその基準面を滑って揺
動動作を行うように構成されている。そこで、ウェハホ
ルダ１４０は、揺動管１４２の端面１４２Ａ、位置決用
板バネ１４７ｃが取り付けられた取付ブロック１５１の
端面１５１Ａ、そして先端部に固定された摺動管１５２
の端面１５２Ａが同一平面上に形成されている。
【００４０】そして、このようなウェハホルダ１４０
は、第１チューブ保持具１とともに第２チューブ保持具
２のガイドロッド９１にはめ込まれ、第１チューブ保持
具１との間に配設されたスプリング１５３（図２参照）
によって、第２チューブ保持具２側へ付勢されている。
そのため、ウェハホルダ１４０の前記各端面１４２Ａ，
１５１Ａ，１５２Ａは、常に固定クランプボディ８３の
側壁８５（基準面）に押し付けられる。この状態でウェ
ハホルダ１４０に装填されたウェハ６は、チューブに対
して直交している。また、ウェハホルダ１４０には、こ
れら端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａ側には、ベース
板１４１に固定された軸にローラベアリング１５５が軸
支されている。図示しないが、ウェハホルダ１４０は、
このローラベアリング１５５が固定クランプボディ８３
（図１０参照）内に進入し、駆動カム９２に形成された
切断用カム面９４における偏心カム面９４ａの頂部に載
せられた状態で取り付けられる。
は、第１チューブ保持具１とともに第２チューブ保持具
２のガイドロッド９１にはめ込まれ、第１チューブ保持
具１との間に配設されたスプリング１５３（図２参照）
によって、第２チューブ保持具２側へ付勢されている。
そのため、ウェハホルダ１４０の前記各端面１４２Ａ，
１５１Ａ，１５２Ａは、常に固定クランプボディ８３の
側壁８５（基準面）に押し付けられる。この状態でウェ
ハホルダ１４０に装填されたウェハ６は、チューブに対
して直交している。また、ウェハホルダ１４０には、こ
れら端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａ側には、ベース
板１４１に固定された軸にローラベアリング１５５が軸
支されている。図示しないが、ウェハホルダ１４０は、
このローラベアリング１５５が固定クランプボディ８３
（図１０参照）内に進入し、駆動カム９２に形成された
切断用カム面９４における偏心カム面９４ａの頂部に載
せられた状態で取り付けられる。
【００４１】次に、ウェハホルダ１４０にウェハ６を送
り込むためのウェハ送り機構について説明する。ウェハ
６は、図１及び図２に示すウェハカセット１６０内に複
数枚が重ねて収納され、送りライン上に押し出された１
枚のウェハ６が、その送りラインに沿って移動する送り
コマ１６１によって矢印Ｘ方向（図２参照）に押し出さ
れるよう構成されている。送りコマ１６１は、先端部に
ウェハ６の厚さ分の段差による爪部１６１ａが形成さ
れ、スライダ１６２と一体に形成されている。スライダ
１６２は、ベース２１０上に固定された支持壁１８１，
１８２間に掛け渡して固定されたガイドロッド１７１に
摺動支持されている。
り込むためのウェハ送り機構について説明する。ウェハ
６は、図１及び図２に示すウェハカセット１６０内に複
数枚が重ねて収納され、送りライン上に押し出された１
枚のウェハ６が、その送りラインに沿って移動する送り
コマ１６１によって矢印Ｘ方向（図２参照）に押し出さ
れるよう構成されている。送りコマ１６１は、先端部に
ウェハ６の厚さ分の段差による爪部１６１ａが形成さ
れ、スライダ１６２と一体に形成されている。スライダ
１６２は、ベース２１０上に固定された支持壁１８１，
１８２間に掛け渡して固定されたガイドロッド１７１に
摺動支持されている。
【００４２】また、支持壁１８１，１８２には、ガイド
ロッド１７１と平行に掛け渡された雄ネジ１７２が回転
自在に支持されている。そして、スライダ１６２と一体
的に形成された雌ネジブロック１６３にボールを保持し
た雌ネジが形成され、雄ネジ１７２に螺合してボールネ
ジが構成されている。雄ネジ１７２には、支持壁１８２
側端部に伝達ギヤ１７３が固定されている。そして、支
持壁１８２には、外側からステッピングモータ５取り付
けられ、その支持壁１８２を貫いたモータ軸に固定され
た駆動ギヤ１７４と、伝達ギヤ１７３とが噛み合ってい
る。
ロッド１７１と平行に掛け渡された雄ネジ１７２が回転
自在に支持されている。そして、スライダ１６２と一体
的に形成された雌ネジブロック１６３にボールを保持し
た雌ネジが形成され、雄ネジ１７２に螺合してボールネ
ジが構成されている。雄ネジ１７２には、支持壁１８２
側端部に伝達ギヤ１７３が固定されている。そして、支
持壁１８２には、外側からステッピングモータ５取り付
けられ、その支持壁１８２を貫いたモータ軸に固定され
た駆動ギヤ１７４と、伝達ギヤ１７３とが噛み合ってい
る。
【００４３】更に、雌ネジブロック１６３の上面には、
上下に板材２枚が重ねて取り付けられたマーカ１６５，
１６６が設けられている。一方、支持壁１８１，１８２
には、図２に示すように制御基板１８３が固定され、そ
の制御基板１８３には待機検出センサ１８５と送り検出
センサ１８６とが設けられている。待機検出センサ１８
５は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の待
機位置を検出するセンサであり、送り検出センサ１８６
は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の送り
位置を検出するセンサである。マーカ１６６，１６７
は、その検出対象部分である先端の開き具合を調節でき
るように雌ネジブロック１６３に対して軸支されてい
る。また、ガイドロッド１７１には、スライダ１６２の
オーバーランを防止するストッパ１７５，１７６が、そ
れぞれ支持壁１８１，１８２に当てられて嵌合されてい
る。
上下に板材２枚が重ねて取り付けられたマーカ１６５，
１６６が設けられている。一方、支持壁１８１，１８２
には、図２に示すように制御基板１８３が固定され、そ
の制御基板１８３には待機検出センサ１８５と送り検出
センサ１８６とが設けられている。待機検出センサ１８
５は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の待
機位置を検出するセンサであり、送り検出センサ１８６
は、マーカ１６５の位置によって送りコマ１６１の送り
位置を検出するセンサである。マーカ１６６，１６７
は、その検出対象部分である先端の開き具合を調節でき
るように雌ネジブロック１６３に対して軸支されてい
る。また、ガイドロッド１７１には、スライダ１６２の
オーバーランを防止するストッパ１７５，１７６が、そ
れぞれ支持壁１８１，１８２に当てられて嵌合されてい
る。
【００４４】更に、スライダ１６２には、送りコマ１６
１の下方から支持アーム１６８が突設され、支持アーム
１６８の先端には更にピン１６９が突設されている。一
方、支持壁１８２と第２チューブ保持具２の固定クラン
プブロック８１とに、角柱形状の梁１９１がガイドロッ
ド１７１に平行に掛け渡されている。梁１９１は、角部
に段差を付けたレール１９２が形成され、そのレール１
９２上に角柱形状の操作ロッド１９５が載せられてい
る。この操作ロッド１９５には、裏面に縦方向に沿って
ガイド溝１９５ａが形成され、レール１９２に突設され
た案内ピン１９３にはめられている。そして、スライダ
１６２から突設された支持アーム１６８の先端が、この
操作ロッド１９１の後端部に横から当てられ、その支持
アーム１６８先端のピン１６９が、操作ロッド１９１に
軽くはめ込まれている。
１の下方から支持アーム１６８が突設され、支持アーム
１６８の先端には更にピン１６９が突設されている。一
方、支持壁１８２と第２チューブ保持具２の固定クラン
プブロック８１とに、角柱形状の梁１９１がガイドロッ
ド１７１に平行に掛け渡されている。梁１９１は、角部
に段差を付けたレール１９２が形成され、そのレール１
９２上に角柱形状の操作ロッド１９５が載せられてい
る。この操作ロッド１９５には、裏面に縦方向に沿って
ガイド溝１９５ａが形成され、レール１９２に突設され
た案内ピン１９３にはめられている。そして、スライダ
１６２から突設された支持アーム１６８の先端が、この
操作ロッド１９１の後端部に横から当てられ、その支持
アーム１６８先端のピン１６９が、操作ロッド１９１に
軽くはめ込まれている。
【００４５】次に、以上のような構成からなるチューブ
接続装置のチューブ接続動作について説明する。このチ
ューブ接続装置は、固定クランプ１１，８１及び可動ク
ランプ１２，８２の上部が外に出るようにして不図示の
カバーによって全体が覆われている。そのため、図１に
示すように可動クランプ１２，８２を上に開けば、固定
クランプ１１，８１の上面が現れ、チューブ７，８のセ
ットが可能な状態となる。そこで、使用者は、２本のチ
ューブ７，８（図２参照）を上下に重ねるようにしてチ
ューブガイド４０，１００へはめ込む。このとき、チュ
ーブガイド４０のガイド爪４２，４２（図７参照）及び
チューブガイド１００のガイド爪１０１，１０１（図１
１参照）の間隔は、チューブ７，８の外径に合わせてあ
るため、チューブ７，８は、その中心軸が上下に重なる
ように配置される。
接続装置のチューブ接続動作について説明する。このチ
ューブ接続装置は、固定クランプ１１，８１及び可動ク
ランプ１２，８２の上部が外に出るようにして不図示の
カバーによって全体が覆われている。そのため、図１に
示すように可動クランプ１２，８２を上に開けば、固定
クランプ１１，８１の上面が現れ、チューブ７，８のセ
ットが可能な状態となる。そこで、使用者は、２本のチ
ューブ７，８（図２参照）を上下に重ねるようにしてチ
ューブガイド４０，１００へはめ込む。このとき、チュ
ーブガイド４０のガイド爪４２，４２（図７参照）及び
チューブガイド１００のガイド爪１０１，１０１（図１
１参照）の間隔は、チューブ７，８の外径に合わせてあ
るため、チューブ７，８は、その中心軸が上下に重なる
ように配置される。
【００４６】チューブガイド１００にはめ込まれたチュ
ーブ７，８は、ガイド爪１０１，１０１の突起１０１
ａ，１０１ａによって引っかけられて、そこから抜け出
すことはない。そのため、チューブは、その弾性力によ
ってガイド溝１０３の底面から突き出たプランジャ１０
４を押し下げるようにしてはめ込まれる（図１１参
照）。従って、プランジャ１０４がスプリング１０５の
付勢力に抗して下方に押し下げられると、マグネット１
０６の移動が不図示のセンサによって検出され、その信
号が制御側へと送られる。
ーブ７，８は、ガイド爪１０１，１０１の突起１０１
ａ，１０１ａによって引っかけられて、そこから抜け出
すことはない。そのため、チューブは、その弾性力によ
ってガイド溝１０３の底面から突き出たプランジャ１０
４を押し下げるようにしてはめ込まれる（図１１参
照）。従って、プランジャ１０４がスプリング１０５の
付勢力に抗して下方に押し下げられると、マグネット１
０６の移動が不図示のセンサによって検出され、その信
号が制御側へと送られる。
【００４７】続いて、使用者は、チューブ７，８をセッ
トした後、図１に示す状態のチューブ接続装置をバック
ル１２０を持って可動クランプ１２，８２を閉じる。即
ち、可動クランプ１２，８２を固定クランプ１１，８１
へと重ね、これらによってチューブ７，８を上下に保持
してクランプさせる。バックル１２０は、バックル１２
５と一体的に形成されているため、把持板１２１（図１
２参照）を持って操作することによって、両方の可動ク
ランプ１２，８２を一緒に閉じることができる。そし
て、可動クランプ１２，８２が固定クランプ１１，８１
に重ねられた状態（図９及び図１１参照）でバックル１
２０を回転させれば、顎部１２３，１２７が固定クラン
プ１１，８１のベアリング２８，９０に引っかけられて
ロック状態になる。
トした後、図１に示す状態のチューブ接続装置をバック
ル１２０を持って可動クランプ１２，８２を閉じる。即
ち、可動クランプ１２，８２を固定クランプ１１，８１
へと重ね、これらによってチューブ７，８を上下に保持
してクランプさせる。バックル１２０は、バックル１２
５と一体的に形成されているため、把持板１２１（図１
２参照）を持って操作することによって、両方の可動ク
ランプ１２，８２を一緒に閉じることができる。そし
て、可動クランプ１２，８２が固定クランプ１１，８１
に重ねられた状態（図９及び図１１参照）でバックル１
２０を回転させれば、顎部１２３，１２７が固定クラン
プ１１，８１のベアリング２８，９０に引っかけられて
ロック状態になる。
【００４８】このような使用者が行う、チューブ７，８
のセット、及びバックル１２０にるロックの動作によっ
て、チューブ接続装置においては、チューブセット確
認、及びクランプローター３０のロック解除が行われ
る。先ず、使用者がバックル１２０，１２５をロックさ
せると、バックル１２０の押圧突片１２４が、図１１に
示すリミットスイッチ２０１をＯＮさせる。そこで、こ
のリミットスイッチ２０１のＯＮ信号と、先にプランジ
ャ１０４の移動によって検出された検出信号とが比較さ
れ、チューブ７，８の有無が確認される。従って、制御
側では、チューブ７，８がセットされていない状態でリ
ミットスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、
チューブのセット不良或いはチューブ無しであるため、
そのことを確認して音声などによって使用者に知らせ
る。一方、チューブ７，８がセットされた状態でリミッ
トスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、次の
チューブ接続開始の信号を待つ。
のセット、及びバックル１２０にるロックの動作によっ
て、チューブ接続装置においては、チューブセット確
認、及びクランプローター３０のロック解除が行われ
る。先ず、使用者がバックル１２０，１２５をロックさ
せると、バックル１２０の押圧突片１２４が、図１１に
示すリミットスイッチ２０１をＯＮさせる。そこで、こ
のリミットスイッチ２０１のＯＮ信号と、先にプランジ
ャ１０４の移動によって検出された検出信号とが比較さ
れ、チューブ７，８の有無が確認される。従って、制御
側では、チューブ７，８がセットされていない状態でリ
ミットスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、
チューブのセット不良或いはチューブ無しであるため、
そのことを確認して音声などによって使用者に知らせ
る。一方、チューブ７，８がセットされた状態でリミッ
トスイッチ２０１のＯＮ信号が入力されたならば、次の
チューブ接続開始の信号を待つ。
【００４９】また、チューブ接続装置の駆動が開始され
た後には、可動クランプ１２，８２が誤って開けられな
いようにする必要がある。チューブ７，８のクランプが
解かれて、チューブの保持ができなくなるからである。
そのため、リミットスイッチ２０１のＯＮ信号によっ
て、図１０に示すソレノイド２０２が通電され、プラン
ジャ２０３が上昇する。これにより、図１１に示す状態
で、押圧突片１２４の開方向への軌道上にプランジャ２
０３が飛び出し、バックル１２０自体の回動を不能と
し、その結果、可動クランプ１２，８２の開きが防止さ
れる。
た後には、可動クランプ１２，８２が誤って開けられな
いようにする必要がある。チューブ７，８のクランプが
解かれて、チューブの保持ができなくなるからである。
そのため、リミットスイッチ２０１のＯＮ信号によっ
て、図１０に示すソレノイド２０２が通電され、プラン
ジャ２０３が上昇する。これにより、図１１に示す状態
で、押圧突片１２４の開方向への軌道上にプランジャ２
０３が飛び出し、バックル１２０自体の回動を不能と
し、その結果、可動クランプ１２，８２の開きが防止さ
れる。
【００５０】次に、可動クランプ１２，８２が固定クラ
ンプ１１，８１に重ねられると、固定クランプ１１，８
１に突設された位置決突起２１，８９が中空の可動クラ
ンプ１２，８２内に進入し（図９及び図１１参照）、横
方向に隙間無く嵌合する。そのため、横ズレが防止され
て、正確な位置で固定クランプ１１，８１と可動クラン
プ１２，８２とが重ね合わされる。このとき、第１チュ
ーブ保持具１側では、図９に示すように可動クランプ１
２側に進入した位置決突起２１によって板バネ７１が押
し退けられる。そのため、位置決突起２１の押圧力によ
って板バネ７１が撓められて変形し、その変形によって
係合片７２が後退して、クランプローター３０のロック
溝３７ｂから外される。
ンプ１１，８１に重ねられると、固定クランプ１１，８
１に突設された位置決突起２１，８９が中空の可動クラ
ンプ１２，８２内に進入し（図９及び図１１参照）、横
方向に隙間無く嵌合する。そのため、横ズレが防止され
て、正確な位置で固定クランプ１１，８１と可動クラン
プ１２，８２とが重ね合わされる。このとき、第１チュ
ーブ保持具１側では、図９に示すように可動クランプ１
２側に進入した位置決突起２１によって板バネ７１が押
し退けられる。そのため、位置決突起２１の押圧力によ
って板バネ７１が撓められて変形し、その変形によって
係合片７２が後退して、クランプローター３０のロック
溝３７ｂから外される。
【００５１】次いで、使用者がバックル１２５をロック
させると、その押圧突片１２８が、固定クランプ１１か
ら飛び出しているクランク板６６（図９に破線で示す）
を中へ押し込むように作用する。すると、クランク板６
６がピン６８ｂを支点に回転し、他端がスライド板６５
の引っ掛け部６５ｑを押す。そのため、スライド板６５
は、スプリング６７の付勢力に抗してスライドし、係合
部６５ｐが後退してクランプローター３０のロック溝３
７ａから外される。これによって、クランプローター３
０（ローター片３１，３２）がフリーとなっての回転が
可能となる。
させると、その押圧突片１２８が、固定クランプ１１か
ら飛び出しているクランク板６６（図９に破線で示す）
を中へ押し込むように作用する。すると、クランク板６
６がピン６８ｂを支点に回転し、他端がスライド板６５
の引っ掛け部６５ｑを押す。そのため、スライド板６５
は、スプリング６７の付勢力に抗してスライドし、係合
部６５ｐが後退してクランプローター３０のロック溝３
７ａから外される。これによって、クランプローター３
０（ローター片３１，３２）がフリーとなっての回転が
可能となる。
【００５２】そこで、チューブ７，８が正確にクランプ
され、スタートスイッチの入力待機状態となっているチ
ューブ接続装置に、使用者からスタートスイッチが入力
されれると、装置の各機構が駆動してチューブの切断及
び接続が実行される。その際、先ずウェハ６の交換が行
われる。ウェハ６は、一回のチューブ接続毎に一枚が使
用され、先に使用された使用済みウェハ６は、ウェハホ
ルダ１４０（図１参照）内に残されたままとなっている
からである。そのため、スタートスイッチが入力されれ
ると、先ず次の動作によってウェハ６の交換が行われる
（図１及び図２参照）。
され、スタートスイッチの入力待機状態となっているチ
ューブ接続装置に、使用者からスタートスイッチが入力
されれると、装置の各機構が駆動してチューブの切断及
び接続が実行される。その際、先ずウェハ６の交換が行
われる。ウェハ６は、一回のチューブ接続毎に一枚が使
用され、先に使用された使用済みウェハ６は、ウェハホ
ルダ１４０（図１参照）内に残されたままとなっている
からである。そのため、スタートスイッチが入力されれ
ると、先ず次の動作によってウェハ６の交換が行われる
（図１及び図２参照）。
【００５３】使用者によってスタートスイッチが入力さ
れると、ステッピングモータ５が駆動し、その回転出力
が、駆動ギヤ１７４及び伝達ギヤ１７３を介してボール
ネジを構成する雄ネジ１７２へと伝達される。そのた
め、雄ネジ１７２が回転し、これに螺合した雌ネジの雌
ネジブロック１６３が軸方向に移動することとなる。雌
ネジブロック１６３は、スライダ１６２によって回転止
めされているため回転することはない。従って、ステッ
ピングモータ５の駆動によって、スライダ１６２がガイ
ドロッド１７１を軸方向に摺動し、このスライダ１６２
の移動にともなって、送りコマ１６１及び操作ロッド１
９５が同方向に移動することとなる。Ｘ方向に送られた
送りコマ１６１は、先端の爪部１６１ａがウェハ６の後
端を引っかけて前方へ押し出し、ウェハカセット１６０
からは一枚のウェハ６だけが抜き取られる。送りコマ１
６１によって押し出されたウェハ６は、起立した状態の
ままＸ方向へ送られ、ウェハホルダ１４０内の溝へと送
られる。
れると、ステッピングモータ５が駆動し、その回転出力
が、駆動ギヤ１７４及び伝達ギヤ１７３を介してボール
ネジを構成する雄ネジ１７２へと伝達される。そのた
め、雄ネジ１７２が回転し、これに螺合した雌ネジの雌
ネジブロック１６３が軸方向に移動することとなる。雌
ネジブロック１６３は、スライダ１６２によって回転止
めされているため回転することはない。従って、ステッ
ピングモータ５の駆動によって、スライダ１６２がガイ
ドロッド１７１を軸方向に摺動し、このスライダ１６２
の移動にともなって、送りコマ１６１及び操作ロッド１
９５が同方向に移動することとなる。Ｘ方向に送られた
送りコマ１６１は、先端の爪部１６１ａがウェハ６の後
端を引っかけて前方へ押し出し、ウェハカセット１６０
からは一枚のウェハ６だけが抜き取られる。送りコマ１
６１によって押し出されたウェハ６は、起立した状態の
ままＸ方向へ送られ、ウェハホルダ１４０内の溝へと送
られる。
【００５４】スライダ１６２のＸ方向への移動は、送り
コマ１６１によるウェハ６の送り出しとともに、操作ロ
ッド１９５によるウェハホルダ１４０の開閉動作をも行
わせる。スライダ１６２がＸ方向へ移動すると、支持ア
ーム１６８の先端でピン支持された操作ロッド１９５も
同様にＸ方向へレール１９２上をスライドする。このと
き、操作ロッド１９５は、レール１９２上の案内ピン１
９３にガイド溝１９５ａがはまっているため、レール１
９２から脱落することなく直線的に移動する。そして、
Ｘ方向へとレール１９２上をスライドした操作ロッド１
９５は、その先端が第２チューブ保持具の固定クランプ
８１とウェハホルダ１４０との間へと進入する。操作ロ
ッド１９５は、スライダ１６２によって送りコマ１６１
の移動と同期しているため、ウェハ６がウェハホルダ１
４０へ挿入されるのに合わせて、当該ウェハホルダ１４
０の開閉を行う。
コマ１６１によるウェハ６の送り出しとともに、操作ロ
ッド１９５によるウェハホルダ１４０の開閉動作をも行
わせる。スライダ１６２がＸ方向へ移動すると、支持ア
ーム１６８の先端でピン支持された操作ロッド１９５も
同様にＸ方向へレール１９２上をスライドする。このと
き、操作ロッド１９５は、レール１９２上の案内ピン１
９３にガイド溝１９５ａがはまっているため、レール１
９２から脱落することなく直線的に移動する。そして、
Ｘ方向へとレール１９２上をスライドした操作ロッド１
９５は、その先端が第２チューブ保持具の固定クランプ
８１とウェハホルダ１４０との間へと進入する。操作ロ
ッド１９５は、スライダ１６２によって送りコマ１６１
の移動と同期しているため、ウェハ６がウェハホルダ１
４０へ挿入されるのに合わせて、当該ウェハホルダ１４
０の開閉を行う。
【００５５】ウェハ６の送りに合わせてＸ方向に前進す
る操作ロッド１９５の直進上には、ウェハホルダ１４０
の開閉板１４５に形成された凸ライン１４５ｓ（図１５
参照）が位置している。そこで、直進した操作ロッド１
９５は、開閉板１４５の横をすり抜け突設された凸ライ
ン１４５ｓと当たる。しかし、操作ロッド１９５先端と
凸ライン１４５ｓ端部とは、ともに傾斜して形成されて
いるので、操作ロッド１９５が突き当たることなく、そ
の前進が開閉弁１４５に横方向の押圧力を作用させる。
そのため、開閉板１４５は、凸ライン１４５ｓが形成さ
れた下側が固定板１４３側に押され、上側が固定板１４
３から離れるよう揺動して開状態となる。その後、開閉
板１４３は、凸ライン１４５ｓを滑って前進する操作ロ
ッド１９５に下側が押さえられ、開状態が維持される。
従って、ウェハ６は、この開閉板１４３の開動作に合わ
せてウェハホルダ１４０内に送り込まれ、その後ウェハ
６が定位置に配置されるまで開状態が維持されることと
なる。
る操作ロッド１９５の直進上には、ウェハホルダ１４０
の開閉板１４５に形成された凸ライン１４５ｓ（図１５
参照）が位置している。そこで、直進した操作ロッド１
９５は、開閉板１４５の横をすり抜け突設された凸ライ
ン１４５ｓと当たる。しかし、操作ロッド１９５先端と
凸ライン１４５ｓ端部とは、ともに傾斜して形成されて
いるので、操作ロッド１９５が突き当たることなく、そ
の前進が開閉弁１４５に横方向の押圧力を作用させる。
そのため、開閉板１４５は、凸ライン１４５ｓが形成さ
れた下側が固定板１４３側に押され、上側が固定板１４
３から離れるよう揺動して開状態となる。その後、開閉
板１４３は、凸ライン１４５ｓを滑って前進する操作ロ
ッド１９５に下側が押さえられ、開状態が維持される。
従って、ウェハ６は、この開閉板１４３の開動作に合わ
せてウェハホルダ１４０内に送り込まれ、その後ウェハ
６が定位置に配置されるまで開状態が維持されることと
なる。
【００５６】ウェハホルダ１４０内に配置されるウェハ
６の位置は、送りコマ１６１の停止位置によって調整さ
れる。その送りコマ１６１は、図２に示すように、マー
カ１６７が一体的に移動し、そのマーカ１６７の移動が
送り検出センサ１８６によって検出される。即ち、マー
カ１６７が送り検出センサ１８６の検出位置にまで移動
したときの送りコマ１６１の位置が、ウェハホルダ１４
０内におけるウェハ６の定位置となる。そこで、マーカ
１６７が送りコマ１６１と一体になってＸ方向へ移動
し、それが送り検出センサ１８６によって検出される
と、その送り検出センサ１８６からの検出信号が制御側
に送られ、ステッピングモータ５には逆回転の駆動制御
が行われる。
６の位置は、送りコマ１６１の停止位置によって調整さ
れる。その送りコマ１６１は、図２に示すように、マー
カ１６７が一体的に移動し、そのマーカ１６７の移動が
送り検出センサ１８６によって検出される。即ち、マー
カ１６７が送り検出センサ１８６の検出位置にまで移動
したときの送りコマ１６１の位置が、ウェハホルダ１４
０内におけるウェハ６の定位置となる。そこで、マーカ
１６７が送りコマ１６１と一体になってＸ方向へ移動
し、それが送り検出センサ１８６によって検出される
と、その送り検出センサ１８６からの検出信号が制御側
に送られ、ステッピングモータ５には逆回転の駆動制御
が行われる。
【００５７】そのため、雄ネジ１７２には逆回転が生
じ、雌ネジブロック１６３及びスライダ１６２が反Ｘ方
向に移動し、送りコマ１６１が後退するのでウェハ６の
みがウェハホルダ１４０内に残される。そして、図２に
示す位置まで戻ったところで、待機検出センサ１８５が
マーカ１６６を検出し、その検出信号が制御側に送られ
てステッピングモータ５の回転停止が制御される。この
ようにスライダ１６２等の移動位置は、待機検出センサ
１８５及び送り検出センサ１８６によって検出され、制
御される。そしてその移動位置は、制御基板１８３に固
定されたセンサ１８５，１８６に対し、マーカ１６６，
１６７の傾きを変えることによって、ウェハ６の定位置
やスライダ１６２等の待機位置の微調整を行うことがで
きる。
じ、雌ネジブロック１６３及びスライダ１６２が反Ｘ方
向に移動し、送りコマ１６１が後退するのでウェハ６の
みがウェハホルダ１４０内に残される。そして、図２に
示す位置まで戻ったところで、待機検出センサ１８５が
マーカ１６６を検出し、その検出信号が制御側に送られ
てステッピングモータ５の回転停止が制御される。この
ようにスライダ１６２等の移動位置は、待機検出センサ
１８５及び送り検出センサ１８６によって検出され、制
御される。そしてその移動位置は、制御基板１８３に固
定されたセンサ１８５，１８６に対し、マーカ１６６，
１６７の傾きを変えることによって、ウェハ６の定位置
やスライダ１６２等の待機位置の微調整を行うことがで
きる。
【００５８】戻って、ウェハホルダ１４０（図１４及び
図１５参照）内にウェハ６が挿入される場合、ウェハ６
はベース板１４１と固定板１４３との間の溝を滑って入
っていく。そして、その進路上には固定板１４３側に弾
性力によって押し付けられた位置決用板バネ１４７ａ，
１４７ｂ，１４７ｃが設けられているため、ウェハ６
は、その位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃ
によって固定板１４３に押し付けられながら進入し、前
述した定位置に配置される。一方、ウェハホルダ１４０
には使用済みウェハ６が装填されたままとなっている
が、当該使用済みウェハ６も位置決用板バネ１４７ａ，
１４７ｂ，１４７ｃによって固定板１４３へ押さえつけ
られている。そのため、厚さが数百μｍと薄いウェハ
６，６同士でも必ず端面同士が重なり合い、使用済みウ
ェハ６が新しいウェハ６によってウェハホルダ１４０か
ら押し出され、ウェハ６の交換が確実に行われる。
図１５参照）内にウェハ６が挿入される場合、ウェハ６
はベース板１４１と固定板１４３との間の溝を滑って入
っていく。そして、その進路上には固定板１４３側に弾
性力によって押し付けられた位置決用板バネ１４７ａ，
１４７ｂ，１４７ｃが設けられているため、ウェハ６
は、その位置決用板バネ１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃ
によって固定板１４３に押し付けられながら進入し、前
述した定位置に配置される。一方、ウェハホルダ１４０
には使用済みウェハ６が装填されたままとなっている
が、当該使用済みウェハ６も位置決用板バネ１４７ａ，
１４７ｂ，１４７ｃによって固定板１４３へ押さえつけ
られている。そのため、厚さが数百μｍと薄いウェハ
６，６同士でも必ず端面同士が重なり合い、使用済みウ
ェハ６が新しいウェハ６によってウェハホルダ１４０か
ら押し出され、ウェハ６の交換が確実に行われる。
【００５９】また、ウェハ６は、定位置にまで送られた
ところで、その後端が後退防止用板バネ１４８をすり抜
け、後退防止用板バネ１４８が固定板１４３に当てら
れ、その返シ１４８ａによってウェハ６の退路が断たれ
る。そのため、押し出された使用済みウェハ６を使用者
が取り出そうとした場合などに、誤って押してしまって
も新たなウェハ６が押し戻されることなく定位置に配置
される。そして、前述したようにスライダ１６２ととも
に操作ロッド１９５が後退すると、開閉板１４５は、そ
の押さえ込みから解放されて不図示の付勢部材によって
閉状態となる。そのため、開閉板１４５に設けられた電
極１４６ａ，１４６ｂがウェハ６の抵抗体端子に接触
し、通電された抵抗体が加熱してウェハ６の昇温（約３
００℃）が行われる。
ところで、その後端が後退防止用板バネ１４８をすり抜
け、後退防止用板バネ１４８が固定板１４３に当てら
れ、その返シ１４８ａによってウェハ６の退路が断たれ
る。そのため、押し出された使用済みウェハ６を使用者
が取り出そうとした場合などに、誤って押してしまって
も新たなウェハ６が押し戻されることなく定位置に配置
される。そして、前述したようにスライダ１６２ととも
に操作ロッド１９５が後退すると、開閉板１４５は、そ
の押さえ込みから解放されて不図示の付勢部材によって
閉状態となる。そのため、開閉板１４５に設けられた電
極１４６ａ，１４６ｂがウェハ６の抵抗体端子に接触
し、通電された抵抗体が加熱してウェハ６の昇温（約３
００℃）が行われる。
【００６０】そして、ウェハ６の十分な昇温に続いてチ
ューブ７，８の切断が行われる。チューブ７，８の切断
は、ウェハホルダ１４０の揺動によってウェハ６を上昇
させ、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２
によってクランプされたチューブ７，８にウェハ６を直
交させる。このようなウェハホルダ１４０の揺動は、ス
テッピングモータ４（図２参照）の回転を駆動カム９２
（図１０参照）に伝達することによって行われる。そこ
で、ステッピングモータ４の起動によって、その回転出
力がモータ軸４ａに固定された駆動ギヤ９６から減速ギ
ヤ９５へ伝達され、その減速ギヤ９５と一体に形成され
た駆動カム９２に回転が与えられる。そして、駆動カム
９２が回転すれば、ローラベアリング１５５が載せられ
た切断用カム９４の頂部の高さが変化する。その場合、
ウェハホルダ１４０は、駆動カム９２によって押し上げ
られて上昇し、また駆動カム９２に従って下降すること
となる。
ューブ７，８の切断が行われる。チューブ７，８の切断
は、ウェハホルダ１４０の揺動によってウェハ６を上昇
させ、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２
によってクランプされたチューブ７，８にウェハ６を直
交させる。このようなウェハホルダ１４０の揺動は、ス
テッピングモータ４（図２参照）の回転を駆動カム９２
（図１０参照）に伝達することによって行われる。そこ
で、ステッピングモータ４の起動によって、その回転出
力がモータ軸４ａに固定された駆動ギヤ９６から減速ギ
ヤ９５へ伝達され、その減速ギヤ９５と一体に形成され
た駆動カム９２に回転が与えられる。そして、駆動カム
９２が回転すれば、ローラベアリング１５５が載せられ
た切断用カム９４の頂部の高さが変化する。その場合、
ウェハホルダ１４０は、駆動カム９２によって押し上げ
られて上昇し、また駆動カム９２に従って下降すること
となる。
【００６１】ウェハホルダ１４０は、図２に示すよう
に、その揺動管１４２部分がスプリング１５３によって
固定クランプ８１に押し当てられている。従って、その
揺動管１４２の端面１４２Ａと同一平面上にある取付ブ
ロック１５１の端面１５１Ａ及び摺動管１５２の端面１
５２Ａが固定クランプ８１の側壁８５（基準面）に押し
当てられている。そして、前述したように駆動カム９２
が回転することによって、ウェハホルダ１４０は、揺動
管１４２を中心にした上方への揺動動作が行われる。そ
の際、各端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａが、固定ク
ランプボディの側壁８５（図１０参照）を摺動するた
め、ウェハホルダ１４０がぶれることはなく、ウェハ６
がチューブ７，８に対して直交方向に移動することとな
る。なお、基準面である側壁８５には、各端面１４２
Ａ，１５１Ａ，１５２Ａの摺動領域に摺動抵抗を抑える
ためのスライドテープ（不図示）が貼られているため、
ウェハホルダ１４０の揺動動作は円滑に行われる。
に、その揺動管１４２部分がスプリング１５３によって
固定クランプ８１に押し当てられている。従って、その
揺動管１４２の端面１４２Ａと同一平面上にある取付ブ
ロック１５１の端面１５１Ａ及び摺動管１５２の端面１
５２Ａが固定クランプ８１の側壁８５（基準面）に押し
当てられている。そして、前述したように駆動カム９２
が回転することによって、ウェハホルダ１４０は、揺動
管１４２を中心にした上方への揺動動作が行われる。そ
の際、各端面１４２Ａ，１５１Ａ，１５２Ａが、固定ク
ランプボディの側壁８５（図１０参照）を摺動するた
め、ウェハホルダ１４０がぶれることはなく、ウェハ６
がチューブ７，８に対して直交方向に移動することとな
る。なお、基準面である側壁８５には、各端面１４２
Ａ，１５１Ａ，１５２Ａの摺動領域に摺動抵抗を抑える
ためのスライドテープ（不図示）が貼られているため、
ウェハホルダ１４０の揺動動作は円滑に行われる。
【００６２】そこで、第１チューブ保持具１及び第２チ
ューブ保持具２によってクランプされたチューブ７，８
は、ウェハ６によって下方から切り込まれ、加熱された
ウェハ６の当てられた部分が溶融し、切断される。ここ
に、図１６は、チューブ切断時のウェハ６の位置を示し
た図である。加熱されたウェハ６は、その切断辺（上
辺）がチューブ７，８に対して下方から当てられ、揺動
するウェハホルダ１４０によってチューブ７，８に対し
て斜めにスライドするように切り進められる。従って、
チューブ７，８を切断するウェハ６の切断辺の当接部分
が切断する過程でずれるため、ウェハ６における切断部
分の熱量が保たれる。
ューブ保持具２によってクランプされたチューブ７，８
は、ウェハ６によって下方から切り込まれ、加熱された
ウェハ６の当てられた部分が溶融し、切断される。ここ
に、図１６は、チューブ切断時のウェハ６の位置を示し
た図である。加熱されたウェハ６は、その切断辺（上
辺）がチューブ７，８に対して下方から当てられ、揺動
するウェハホルダ１４０によってチューブ７，８に対し
て斜めにスライドするように切り進められる。従って、
チューブ７，８を切断するウェハ６の切断辺の当接部分
が切断する過程でずれるため、ウェハ６における切断部
分の熱量が保たれる。
【００６３】即ち、チューブ７，８は、切断後に溶着し
て接続されるものであるため、チューブ切断面が十分な
溶融状態になければならない。一方、切断時にはチュー
ブ７，８の溶融によってウェハ６の熱が奪われてしま
う。また、ウェハ６は、それ自体が薄く蓄熱能力がな
い。そのため、ウェハ６の切断が切断辺の一部分で行わ
れると当該部分の温度低下が著しく、切断面を十分に溶
融させることができなくなる。そこで、前述したように
切断辺がスライドすれば、チューブ７，８を切断する部
分がずれるため、当該切断部分の温度をチューブを溶融
させるのに十分なある一定温度以上に保つことができ、
チューブ切断面を接続に十分な溶融状態にすることがで
きる。
て接続されるものであるため、チューブ切断面が十分な
溶融状態になければならない。一方、切断時にはチュー
ブ７，８の溶融によってウェハ６の熱が奪われてしま
う。また、ウェハ６は、それ自体が薄く蓄熱能力がな
い。そのため、ウェハ６の切断が切断辺の一部分で行わ
れると当該部分の温度低下が著しく、切断面を十分に溶
融させることができなくなる。そこで、前述したように
切断辺がスライドすれば、チューブ７，８を切断する部
分がずれるため、当該切断部分の温度をチューブを溶融
させるのに十分なある一定温度以上に保つことができ、
チューブ切断面を接続に十分な溶融状態にすることがで
きる。
【００６４】ウェハ６によるチューブ７，８の切断及び
接続は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具
２によって押し潰されたチューブ７，８の閉塞部分（図
１３参照）で行われる。固定クランプ１１，８１に可動
クランプ１２，８２が重ねられると、チューブガイド４
０，１００（図１参照）に支持されたチューブ７，８
は、第１チューブ保持具１では、クランプローター３０
の閉塞部３３ｂ，３３ｂ（図３参照）によって、また第
２チューブ保持具２では、固定クランプボディ８３の保
持溝９８（図１０）と可動クランプボディ１１０の閉塞
部１１４（図１２参照）とによって、図１３に示すよう
にクランプされる。従って、第１チューブ保持具１及び
第２チューブ保持具２の間には、円筒形状のチューブ
７，８が扁平形状になって管内が密着した部分が現れ
る。当該部分がウェハ６によって切断され、また接続さ
れる部分である。
接続は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具
２によって押し潰されたチューブ７，８の閉塞部分（図
１３参照）で行われる。固定クランプ１１，８１に可動
クランプ１２，８２が重ねられると、チューブガイド４
０，１００（図１参照）に支持されたチューブ７，８
は、第１チューブ保持具１では、クランプローター３０
の閉塞部３３ｂ，３３ｂ（図３参照）によって、また第
２チューブ保持具２では、固定クランプボディ８３の保
持溝９８（図１０）と可動クランプボディ１１０の閉塞
部１１４（図１２参照）とによって、図１３に示すよう
にクランプされる。従って、第１チューブ保持具１及び
第２チューブ保持具２の間には、円筒形状のチューブ
７，８が扁平形状になって管内が密着した部分が現れ
る。当該部分がウェハ６によって切断され、また接続さ
れる部分である。
【００６５】そこで、ウェハホルダ１４０の揺動によっ
てウェハ６が上昇して図１６に示すようにチューブ７，
８が切断される。チューブ７，８は予めクランプされて
潰されて、管内の液が切断部分からクランプ時に押し流
されているので、切断時には切断部から流れ出ることも
ない。チューブ切断時、チューブ７，８の切断部分は樹
脂が溶融又は軟化した高温の状態であるため、その切断
面がウェハ６に気密に接触しているため、続いて行われ
るチューブ切断面の接続までの間、チューブ７，８内部
が大気に触れることなく無菌状態が維持される。
てウェハ６が上昇して図１６に示すようにチューブ７，
８が切断される。チューブ７，８は予めクランプされて
潰されて、管内の液が切断部分からクランプ時に押し流
されているので、切断時には切断部から流れ出ることも
ない。チューブ切断時、チューブ７，８の切断部分は樹
脂が溶融又は軟化した高温の状態であるため、その切断
面がウェハ６に気密に接触しているため、続いて行われ
るチューブ切断面の接続までの間、チューブ７，８内部
が大気に触れることなく無菌状態が維持される。
【００６６】次いで、ウェハ６によって切り離されたチ
ューブ７，８は、第１チューブ保持具１でクランプされ
た部分の反転がクランプローター３０の回転によって行
われる。そこで、ウェハ６が十分上昇したところでステ
ッピングモータ４の駆動は停止し、続くステッピングモ
ータ３（図２参照）の駆動によってクランプローター３
０に回転が与えられる。ステッピングモータ３の回転
は、図９に示すように、そのモータ軸３ａの駆動ギヤ６
１からアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３を介して
クランプローター３０へと伝達される。そこで、クラン
プローター３０は、ローター片３１，３２が図９に示す
１個の回転体となって回転する。クランプローター３０
は、ステッピングモータ３によってローター片３１，３
２が固定クランプ１１と可動クランプ１２とで入れ替わ
るように１８０゜の回転が与えられる。従って、図２４
に示す場合と同様に上下に重ねてクランプされた２本の
チューブ７ａ，８ａは、その位置が上下反転することと
なる。
ューブ７，８は、第１チューブ保持具１でクランプされ
た部分の反転がクランプローター３０の回転によって行
われる。そこで、ウェハ６が十分上昇したところでステ
ッピングモータ４の駆動は停止し、続くステッピングモ
ータ３（図２参照）の駆動によってクランプローター３
０に回転が与えられる。ステッピングモータ３の回転
は、図９に示すように、そのモータ軸３ａの駆動ギヤ６
１からアクセスギヤ６２及びドライブギヤ６３を介して
クランプローター３０へと伝達される。そこで、クラン
プローター３０は、ローター片３１，３２が図９に示す
１個の回転体となって回転する。クランプローター３０
は、ステッピングモータ３によってローター片３１，３
２が固定クランプ１１と可動クランプ１２とで入れ替わ
るように１８０゜の回転が与えられる。従って、図２４
に示す場合と同様に上下に重ねてクランプされた２本の
チューブ７ａ，８ａは、その位置が上下反転することと
なる。
【００６７】このとき、クランプローター３０は、同一
円周上に等間隔で配置されたローラ２０…，５５…によ
って回転支持され、仮想の回転軸を中心にした正確な回
転を行うこととなる。チューブ７ａ，８ａは、その回転
軸上に接触面が重ねられるようにクランプされているた
め、クランプローター３０が反転してローター片３１，
３２の位置が入れ替わったときには、当該接触面は回転
軸上に位置し、チューブ７ａ，８ａの切断面は反転前の
位置に正確に重ねられることとなる。
円周上に等間隔で配置されたローラ２０…，５５…によ
って回転支持され、仮想の回転軸を中心にした正確な回
転を行うこととなる。チューブ７ａ，８ａは、その回転
軸上に接触面が重ねられるようにクランプされているた
め、クランプローター３０が反転してローター片３１，
３２の位置が入れ替わったときには、当該接触面は回転
軸上に位置し、チューブ７ａ，８ａの切断面は反転前の
位置に正確に重ねられることとなる。
【００６８】ここで、チューブ７ａ，８ａが反転すると
きのチューブガイド４０について説明する。図１７は、
チューブガイド４０を示した側面図である。クランプロ
ーター３０の回転前は、図１７（ａ）に示すように、チ
ューブ７ａ，８ａが上下に重ねられ、ガイド爪４２，４
２によって両側から挟み込まれている。そして、クラン
プローター３０に伴ってチューブ７ａ，８ａも回転し、
クランプローター３０が９０゜回転したところでチュー
ブ７ａ，８ａの配置が図１７（ｂ）に示すように横向き
になり、更に９０゜回転したところでチューブ７ａ，８
ａ（かっこ）が上下反転して、図１７（ａ）に示すよう
に上下に配置される。このように、チューブ７ａ，８ａ
が上下入れ替わる途中、２本のチューブ７ａ，８ａの横
幅は回転に伴って広がるが、チューブガイド４０は、チ
ューブ７ａ，８ａの幅方向の広がりによってスプリング
４３，４３（図７参照）が縮められてガイド爪４２，４
２が外側へ押し広げられる。従って、チューブガイド４
０は、チューブ７ａ，８ａを上下に確実に保持するとと
もに、チューブ反転時には外側に逃げて、反転動作を円
滑に行わせる。
きのチューブガイド４０について説明する。図１７は、
チューブガイド４０を示した側面図である。クランプロ
ーター３０の回転前は、図１７（ａ）に示すように、チ
ューブ７ａ，８ａが上下に重ねられ、ガイド爪４２，４
２によって両側から挟み込まれている。そして、クラン
プローター３０に伴ってチューブ７ａ，８ａも回転し、
クランプローター３０が９０゜回転したところでチュー
ブ７ａ，８ａの配置が図１７（ｂ）に示すように横向き
になり、更に９０゜回転したところでチューブ７ａ，８
ａ（かっこ）が上下反転して、図１７（ａ）に示すよう
に上下に配置される。このように、チューブ７ａ，８ａ
が上下入れ替わる途中、２本のチューブ７ａ，８ａの横
幅は回転に伴って広がるが、チューブガイド４０は、チ
ューブ７ａ，８ａの幅方向の広がりによってスプリング
４３，４３（図７参照）が縮められてガイド爪４２，４
２が外側へ押し広げられる。従って、チューブガイド４
０は、チューブ７ａ，８ａを上下に確実に保持するとと
もに、チューブ反転時には外側に逃げて、反転動作を円
滑に行わせる。
【００６９】上下が反転したチューブ７ａ，８ａの切断
面は、切断直後と同様に、第２チューブ保持具２側でク
ランプされたチューブ７ｂ，８ｂ（図２４参照）の切断
面とウェハ６を挟んで同一位置に配置される。そこで、
続いてウェハ６が降ろされ、切断面同士が軸方向に押し
当てられれば、切断されたチューブ７，８は、切断端面
が溶着しそれぞれ１本のチューブ９，１０（図２５参
照）となる。その際、先ずクランプローター３０を反転
させたステッピングモータ３が停止し、続いて再度ステ
ッピングモータ４が起動する。そのため、駆動カム９２
（図１０参照）が回転し、ローラベアリング１５５（図
１５参照）が載せられた切断用カム９４の頂部の高さが
下がり、それに従ってウェハホルダ１４０は下降する。
よって、ウェハ６も下降してチューブ７，８から抜き取
られる。その際、ウェハ６と溶融したチューブ切断面と
の接触抵抗が大きいため、ウェハ６がウェハホルダ１４
０から抜けないようにズレ止め１４３ａ，１４３ｂによ
って引っかけられて、ウェハ６の抜けが防止されてい
る。
面は、切断直後と同様に、第２チューブ保持具２側でク
ランプされたチューブ７ｂ，８ｂ（図２４参照）の切断
面とウェハ６を挟んで同一位置に配置される。そこで、
続いてウェハ６が降ろされ、切断面同士が軸方向に押し
当てられれば、切断されたチューブ７，８は、切断端面
が溶着しそれぞれ１本のチューブ９，１０（図２５参
照）となる。その際、先ずクランプローター３０を反転
させたステッピングモータ３が停止し、続いて再度ステ
ッピングモータ４が起動する。そのため、駆動カム９２
（図１０参照）が回転し、ローラベアリング１５５（図
１５参照）が載せられた切断用カム９４の頂部の高さが
下がり、それに従ってウェハホルダ１４０は下降する。
よって、ウェハ６も下降してチューブ７，８から抜き取
られる。その際、ウェハ６と溶融したチューブ切断面と
の接触抵抗が大きいため、ウェハ６がウェハホルダ１４
０から抜けないようにズレ止め１４３ａ，１４３ｂによ
って引っかけられて、ウェハ６の抜けが防止されてい
る。
【００７０】また、ウェハホルダ１４０を下降させる駆
動カム９２は、その切断用カム９４と第１チューブ保持
具１を移動させるスライド用カム面９３とが一体に形成
されている。そのため、下降してチューブ７，８からの
ウェハ６の抜き取りと、第１チューブ保持具１の第２チ
ューブ保持具２へのスライドが一義的に行われ、チュー
ブの切断面同士が所定のタイミングで軸方向に押し当て
られる。第１チューブ保持具１は、スプリング１３１に
よって常時付勢され（図１参照）、押圧アーム２４のロ
ーラベアリング２５（図６参照）が、駆動カム９２のス
ライド用カム９３（図１０参照）に当接されている。そ
のため、駆動カム９２の回転によってウェハホルダ１４
０が上昇した段階では、ローラベアリング２５はスライ
ド用カム９３の平面部分を転動し、第１チューブ保持具
１は第２チューブ保持具２との間隔を一定に保たれてい
る。そして、ウェハ６がチューブ７，８から抜き取られ
るタイミングで、ローラベアリング２５がスライド用カ
ム９３の傾斜したスライドカム面９３ａに入り込んで転
動する。
動カム９２は、その切断用カム９４と第１チューブ保持
具１を移動させるスライド用カム面９３とが一体に形成
されている。そのため、下降してチューブ７，８からの
ウェハ６の抜き取りと、第１チューブ保持具１の第２チ
ューブ保持具２へのスライドが一義的に行われ、チュー
ブの切断面同士が所定のタイミングで軸方向に押し当て
られる。第１チューブ保持具１は、スプリング１３１に
よって常時付勢され（図１参照）、押圧アーム２４のロ
ーラベアリング２５（図６参照）が、駆動カム９２のス
ライド用カム９３（図１０参照）に当接されている。そ
のため、駆動カム９２の回転によってウェハホルダ１４
０が上昇した段階では、ローラベアリング２５はスライ
ド用カム９３の平面部分を転動し、第１チューブ保持具
１は第２チューブ保持具２との間隔を一定に保たれてい
る。そして、ウェハ６がチューブ７，８から抜き取られ
るタイミングで、ローラベアリング２５がスライド用カ
ム９３の傾斜したスライドカム面９３ａに入り込んで転
動する。
【００７１】そのため、第１チューブ保持具は、スプリ
ング１３１の付勢力によって第２チューブ保持具２側へ
と押し出され、スライド管２２がガイドロッド８８を摺
動し、ガイドローラ２３がガイドブロック２９を転動し
て、平行移動を行う。よって、第１チューブ保持具１
は、スライド用カム９３における平面部分とスライドカ
ム面９３ａとの差分だけ第２チューブ保持具２へと寄せ
られることとなるが、その量は僅かである。これは、チ
ューブ７，８の切断代分（ウェハ６の厚さ分）だけ移動
させて、チューブの切断面同士を押し当てるからであ
る。そして、切断されて反転したチューブ７，８は、そ
の切断面同士が押し当てられることによって溶着接続さ
れ、図２５に示すように、交互に入れ替えられた２本の
チューブ９，１０が形成される。
ング１３１の付勢力によって第２チューブ保持具２側へ
と押し出され、スライド管２２がガイドロッド８８を摺
動し、ガイドローラ２３がガイドブロック２９を転動し
て、平行移動を行う。よって、第１チューブ保持具１
は、スライド用カム９３における平面部分とスライドカ
ム面９３ａとの差分だけ第２チューブ保持具２へと寄せ
られることとなるが、その量は僅かである。これは、チ
ューブ７，８の切断代分（ウェハ６の厚さ分）だけ移動
させて、チューブの切断面同士を押し当てるからであ
る。そして、切断されて反転したチューブ７，８は、そ
の切断面同士が押し当てられることによって溶着接続さ
れ、図２５に示すように、交互に入れ替えられた２本の
チューブ９，１０が形成される。
【００７２】そして、ウェハホルダ１４０の下降完了
を、固定クランプ２２に取り付けられたリミットスイッ
チ２０５によって検出する。その検出によって、ソレノ
イド２０２のプランジャ２０３が下降し、バックル１２
０，１２５の取り外しが可能となる。そこで、使用者
は、バックル１２０，１２５を外し、可動クランプ１
２，８２を開いてチューブ９，１０の取り出しを行う。
寄せられた第１チューブ保持具１は、次のチューブ接続
動作が行われるまでそのままの位置にとどまっており、
スイッチが入れられると、第２チューブ保持具２の固定
クランプ８１に設けられたプランジャ１０４（図１１参
照）によってチューブが無いことが検出され、その検出
によってステッピングモータ−４が起動して、駆動カム
９２の回転を調節し、第１チューブ保持具１の位置を第
２チューブ保持具２から離す。
を、固定クランプ２２に取り付けられたリミットスイッ
チ２０５によって検出する。その検出によって、ソレノ
イド２０２のプランジャ２０３が下降し、バックル１２
０，１２５の取り外しが可能となる。そこで、使用者
は、バックル１２０，１２５を外し、可動クランプ１
２，８２を開いてチューブ９，１０の取り出しを行う。
寄せられた第１チューブ保持具１は、次のチューブ接続
動作が行われるまでそのままの位置にとどまっており、
スイッチが入れられると、第２チューブ保持具２の固定
クランプ８１に設けられたプランジャ１０４（図１１参
照）によってチューブが無いことが検出され、その検出
によってステッピングモータ−４が起動して、駆動カム
９２の回転を調節し、第１チューブ保持具１の位置を第
２チューブ保持具２から離す。
【００７３】なお、バックル１２０，１２５を外し、可
動クランプ１２，８２が開けられることによってロータ
ー片３１，３２が再びロックされる（図９参照）。先
ず、使用者がバックル１２５を外すと、その押圧突片１
２８が回動してクランク板６６が解放され、そのクラン
ク板６６を介してスライドが制限されていたスライド板
６５のスライドが可能となる。そのため、スプリング６
７の付勢力によってスライド板６５がクランプローター
３０側へスライドし、その係合部６５ｐがロック溝３７
ａへと入り込む。一方、図１に示すように可動クランプ
１２を開けると、その可動クランプ１２内に入り込んで
いた位置決突起２１が相対的に外れる。そのため、板バ
ネ７１がフリーになり、その弾性によって係合片７２が
押し出されてクランプローター３０のロック溝３７ｂへ
と入り込む。よって、可動クランプ１２が開けられた後
も、ローター片３１，３２は、前述したチューブ反転の
際の状態（図９に示す状態）でロックされる。
動クランプ１２，８２が開けられることによってロータ
ー片３１，３２が再びロックされる（図９参照）。先
ず、使用者がバックル１２５を外すと、その押圧突片１
２８が回動してクランク板６６が解放され、そのクラン
ク板６６を介してスライドが制限されていたスライド板
６５のスライドが可能となる。そのため、スプリング６
７の付勢力によってスライド板６５がクランプローター
３０側へスライドし、その係合部６５ｐがロック溝３７
ａへと入り込む。一方、図１に示すように可動クランプ
１２を開けると、その可動クランプ１２内に入り込んで
いた位置決突起２１が相対的に外れる。そのため、板バ
ネ７１がフリーになり、その弾性によって係合片７２が
押し出されてクランプローター３０のロック溝３７ｂへ
と入り込む。よって、可動クランプ１２が開けられた後
も、ローター片３１，３２は、前述したチューブ反転の
際の状態（図９に示す状態）でロックされる。
【００７４】次に、以上のようなチューブ接続動作を行
うチューブ接続装置の動作制御について説明する。図１
８に、チューブ接続装置のブロック図を示す。制御部５
００は、チューブ接続装置の動作制御の実行をつかさど
るものであり、かかる制御部５００には、電源部５０
１、モーター駆動部５０４、表示パネル部５０５、操作
パネル部５０６、音声合成部５０７、メンテナンス部５
０８、ＬＳ入力部５０９、ウエハー入力部５１０、サー
ミスタ検出部５１１、温度検出部５１２などが接続され
ている。
うチューブ接続装置の動作制御について説明する。図１
８に、チューブ接続装置のブロック図を示す。制御部５
００は、チューブ接続装置の動作制御の実行をつかさど
るものであり、かかる制御部５００には、電源部５０
１、モーター駆動部５０４、表示パネル部５０５、操作
パネル部５０６、音声合成部５０７、メンテナンス部５
０８、ＬＳ入力部５０９、ウエハー入力部５１０、サー
ミスタ検出部５１１、温度検出部５１２などが接続され
ている。
【００７５】電源部５０１は、操作パネル部５０６の電
源スイッチ（図示せず）に接続されるとともに、ＡＣア
ダプタ５０２とバッテリー５０３にも接続される。バッ
テリー５０３は、ＡＣアダプタ５０２に接続するコンセ
ントが近くにない場合や、チューブ接続動作中に停電し
た場合などの予備電源として有効なものである。
源スイッチ（図示せず）に接続されるとともに、ＡＣア
ダプタ５０２とバッテリー５０３にも接続される。バッ
テリー５０３は、ＡＣアダプタ５０２に接続するコンセ
ントが近くにない場合や、チューブ接続動作中に停電し
た場合などの予備電源として有効なものである。
【００７６】モーター駆動部５０４とは、ステッピング
モータ３，４，５や排気ファン（図示せず）である。上
述したように、ステッピングモータ３は、クランプロー
ター３０を構成するローター片３１，３２が固定クラン
プ１１と可動クランプ１２とで入れ替わるように１８０
゜の回転を与えるものであり、かかるクランプローター
３０の回転制御は制御部５００により行われる。このと
き、制御部５００は、クランプローター３０の回転運動
の始点を出すための原点出し動作を、可動クランプ１
２，８２と固定クランプ１１，８１がチューブ７，８を
クランプして保持した都度行っている。そこで、ここで
は、クランプローター３０の回転運動の始点を出すため
の原点出し動作の方法について説明する。
モータ３，４，５や排気ファン（図示せず）である。上
述したように、ステッピングモータ３は、クランプロー
ター３０を構成するローター片３１，３２が固定クラン
プ１１と可動クランプ１２とで入れ替わるように１８０
゜の回転を与えるものであり、かかるクランプローター
３０の回転制御は制御部５００により行われる。このと
き、制御部５００は、クランプローター３０の回転運動
の始点を出すための原点出し動作を、可動クランプ１
２，８２と固定クランプ１１，８１がチューブ７，８を
クランプして保持した都度行っている。そこで、ここで
は、クランプローター３０の回転運動の始点を出すため
の原点出し動作の方法について説明する。
【００７７】クランプローター３０の回転運動の始点を
出すための原点出し動作では、図１９に示すエンコーダ
板６００と、図示しない２個の光センサを使用してい
る。図１９に示すように、エンコーダ板６００は、白色
の本体６０１上に黒色部分６０２が印刷されたものであ
り、ステッピングモータ３のモータ軸３ａ（図９参照）
に取り付けられる。このとき、エンコーダ板６００は、
クランプローター３０の位置がその回転運動の始点にあ
るときに、図１９に示すように、基準線ＣＬ１（垂線）
に対して対称となるように取り付けられる。さらに、図
示しない２個の光センサは、クランプローター３０の位
置がその回転運動の始点にあるとき（エンコーダ板６０
０が図１９の状態にあるとき）に、図１９の検出点６０
３，６０４のそれぞれを検出するような位置に取り付け
られる。尚、説明の便宜上、以後、検出点６０３を検出
するような位置に取り付けられた光センサを「センサ
１」と、また、検出点６０４を検出するような位置に取
り付けられた光センサを「センサ２」と呼ぶ。
出すための原点出し動作では、図１９に示すエンコーダ
板６００と、図示しない２個の光センサを使用してい
る。図１９に示すように、エンコーダ板６００は、白色
の本体６０１上に黒色部分６０２が印刷されたものであ
り、ステッピングモータ３のモータ軸３ａ（図９参照）
に取り付けられる。このとき、エンコーダ板６００は、
クランプローター３０の位置がその回転運動の始点にあ
るときに、図１９に示すように、基準線ＣＬ１（垂線）
に対して対称となるように取り付けられる。さらに、図
示しない２個の光センサは、クランプローター３０の位
置がその回転運動の始点にあるとき（エンコーダ板６０
０が図１９の状態にあるとき）に、図１９の検出点６０
３，６０４のそれぞれを検出するような位置に取り付け
られる。尚、説明の便宜上、以後、検出点６０３を検出
するような位置に取り付けられた光センサを「センサ
１」と、また、検出点６０４を検出するような位置に取
り付けられた光センサを「センサ２」と呼ぶ。
【００７８】従って、図１９に示すエンコーダ板６００
を時計回り（クランプローター３０の回転時と同じ方
向）に回転させた場合、「センサ１」と「センサ２」の
出力波形の論理積（ＡＮＤ）は、図２０に示すような方
形波になるので、かかる方形波の中心線ＣＬ２が図１９
の基準線ＣＬ１に該当することになる。よって、エンコ
ーダ板６００を反時計回りさせて、「センサ１」の出力
波形が瞬時に落ち込む位置を把握するとともに（図２０
のＳＴＥＰ１）、エンコーダ板６００を時計回りさせ
て、「センサ２」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把
握した後に（図２０のＳＴＥＰ２）、この両者の中間位
置にまでエンコーダ板６００を反時計回りさせることに
より（図２０のＳＴＥＰ３）、エンコーダ板６００を図
１９に示す状態にすることができ、クランプローター３
０の回転運動の始点を出すための原点出し動作を行うこ
とが可能となる。
を時計回り（クランプローター３０の回転時と同じ方
向）に回転させた場合、「センサ１」と「センサ２」の
出力波形の論理積（ＡＮＤ）は、図２０に示すような方
形波になるので、かかる方形波の中心線ＣＬ２が図１９
の基準線ＣＬ１に該当することになる。よって、エンコ
ーダ板６００を反時計回りさせて、「センサ１」の出力
波形が瞬時に落ち込む位置を把握するとともに（図２０
のＳＴＥＰ１）、エンコーダ板６００を時計回りさせ
て、「センサ２」の出力波形が瞬時に落ち込む位置を把
握した後に（図２０のＳＴＥＰ２）、この両者の中間位
置にまでエンコーダ板６００を反時計回りさせることに
より（図２０のＳＴＥＰ３）、エンコーダ板６００を図
１９に示す状態にすることができ、クランプローター３
０の回転運動の始点を出すための原点出し動作を行うこ
とが可能となる。
【００７９】これにより、「センサ１」と「センサ２」
が温度特性、劣化、汚れ等により出力幅が変化しても、
クランプローター３０の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を精度良く行うことができる。また、独立し
た「センサ１」と「センサ２」の出力波形の論理積（Ａ
ＮＤ）を求めることにより、クランプローター３０の回
転運動の始点を出すための原点出し動作を行っているの
で、「センサ１」と「センサ２」の出力波形の幅が狭く
なっても確実に得ることができ、ステッピングモータ３
の脱調を検出することができる。
が温度特性、劣化、汚れ等により出力幅が変化しても、
クランプローター３０の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を精度良く行うことができる。また、独立し
た「センサ１」と「センサ２」の出力波形の論理積（Ａ
ＮＤ）を求めることにより、クランプローター３０の回
転運動の始点を出すための原点出し動作を行っているの
で、「センサ１」と「センサ２」の出力波形の幅が狭く
なっても確実に得ることができ、ステッピングモータ３
の脱調を検出することができる。
【００８０】特に、本実施の形態のチューブ接続装置で
は、チューブを切断するウェハ６が約３００℃まで昇温
されることもあり、これなどによって、「センサ１」と
「センサ２」が温度特性、劣化、汚れ等により出力幅が
変化するおそれがあり、さらに、エンコーダ板６００の
半径は装置のコンパクト化によって小さくなっているの
で、「センサ１」と「センサ２」の出力波形の幅は比較
的狭くなっていることから、このような方法で、クラン
プローター３０の回転運動の始点を出すための原点出し
動作を行うことは大変に有効である。尚、クランプロー
ター３０の回転運動の始点を出すための原点出し動作
は、接続不良の防止やバッテリー５０３の消費電力の節
約の観点などから、クランプローター３０の回転を開始
する直前が望ましい。
は、チューブを切断するウェハ６が約３００℃まで昇温
されることもあり、これなどによって、「センサ１」と
「センサ２」が温度特性、劣化、汚れ等により出力幅が
変化するおそれがあり、さらに、エンコーダ板６００の
半径は装置のコンパクト化によって小さくなっているの
で、「センサ１」と「センサ２」の出力波形の幅は比較
的狭くなっていることから、このような方法で、クラン
プローター３０の回転運動の始点を出すための原点出し
動作を行うことは大変に有効である。尚、クランプロー
ター３０の回転運動の始点を出すための原点出し動作
は、接続不良の防止やバッテリー５０３の消費電力の節
約の観点などから、クランプローター３０の回転を開始
する直前が望ましい。
【００８１】図１８に戻り、モーター駆動部５０４の１
つであるステッピングモータ４は、ウェハホルダ１４０
の揺動によってウェハ６を上昇又は下降させるための駆
動源である。上述したように、ウェハ６の上昇又は下降
は、ステッピングモータ４のモータ軸４ａに取り付けら
れた駆動ギヤ９６などで回転する駆動カム９２（が有し
た偏心形状の切断用カム９４）によって行われる。さら
に、かかる駆動カム９２（が有した円形状のスライド用
カム９３）などによって、第１チューブ保持具１と第２
チューブ保持具２の当接・離間が行われている。従っ
て、チューブ７，８からのウェハ６の抜き取り（下降）
と、第１チューブ保持具１の第２チューブ保持具２への
スライドとを、駆動カム９２を介して、所定のタイミン
グで行うことができる。
つであるステッピングモータ４は、ウェハホルダ１４０
の揺動によってウェハ６を上昇又は下降させるための駆
動源である。上述したように、ウェハ６の上昇又は下降
は、ステッピングモータ４のモータ軸４ａに取り付けら
れた駆動ギヤ９６などで回転する駆動カム９２（が有し
た偏心形状の切断用カム９４）によって行われる。さら
に、かかる駆動カム９２（が有した円形状のスライド用
カム９３）などによって、第１チューブ保持具１と第２
チューブ保持具２の当接・離間が行われている。従っ
て、チューブ７，８からのウェハ６の抜き取り（下降）
と、第１チューブ保持具１の第２チューブ保持具２への
スライドとを、駆動カム９２を介して、所定のタイミン
グで行うことができる。
【００８２】また、モーター駆動部５０４の１つである
ステッピングモータ５は、そのモータ軸に固定された駆
動ギヤ１７４や伝達ギヤ１７３などによって、ウェハホ
ルダ１４０にウェハ６を送り込んでいる。これらのモー
ター駆動部５０４であるステッピングモータ３，４、５
や排気ファン（図示せず）の動作タイミングは、上述し
た接続動作が行われるように、制御部５００によって制
御される。
ステッピングモータ５は、そのモータ軸に固定された駆
動ギヤ１７４や伝達ギヤ１７３などによって、ウェハホ
ルダ１４０にウェハ６を送り込んでいる。これらのモー
ター駆動部５０４であるステッピングモータ３，４、５
や排気ファン（図示せず）の動作タイミングは、上述し
た接続動作が行われるように、制御部５００によって制
御される。
【００８３】また、音声合成部５０７は、図２１や図２
２の表に従って、各接続動作における音声信号をスピー
カー（図示せず）を介して発するものである。例えば、
操作パネル部５０６の操作スイッチ（図示せず）をオン
にすると、「チューブをセットしカバーを閉じてくださ
い。」との音声（フレーズ）が一回発声され、そのまま
の状態が継続すると、１分間隔でその音声（フレーズ）
が繰り返される（図２１参照）。但し、音声（フレー
ズ）は、操作パネル部５０６の外部切替スイッチ（図示
せず）によって、発声されないようにすることができ、
このときは、図２１や図２２の表に従って、各種類のブ
サーが発せられる。尚、図２１や図２２の表の内容は、
ＲＯＭ（図示しない）の各アドレスにおいて記憶されて
いる。
２の表に従って、各接続動作における音声信号をスピー
カー（図示せず）を介して発するものである。例えば、
操作パネル部５０６の操作スイッチ（図示せず）をオン
にすると、「チューブをセットしカバーを閉じてくださ
い。」との音声（フレーズ）が一回発声され、そのまま
の状態が継続すると、１分間隔でその音声（フレーズ）
が繰り返される（図２１参照）。但し、音声（フレー
ズ）は、操作パネル部５０６の外部切替スイッチ（図示
せず）によって、発声されないようにすることができ、
このときは、図２１や図２２の表に従って、各種類のブ
サーが発せられる。尚、図２１や図２２の表の内容は、
ＲＯＭ（図示しない）の各アドレスにおいて記憶されて
いる。
【００８４】また、ウエハー入力部５１０は、ウェハ６
の不足検出やウェハ６の無し検出を行うものである。ウ
ェハ６の不足検出については、図示しない光反射型のウ
ェハ検出センサを用いて、非接触式にてウェハ６の残量
を検出している。具体的には、ウェハ６の枚数に比例す
るウェハ検出センサの出力をアナログ電圧出力として入
力し、ソフトウエアコンパレートすることによって行っ
ている。従って、あるコンパレートレベルを基準にし
て、ウェハ６の不足を知ることができる。尚、アナログ
電圧出力の勾配は、ボリュームにより変化させることが
できるので、ウェハ検出センサの特性によるばらつきを
調整することができる。また、ウェハ６の不足検出につ
いては、かかるアナログ電圧出力を電気的にコンパレー
トして、ＨＩ−ＬＯ出力とすることによって行ってい
る。従って、あるコンパレートしきい値を基準にして、
ウェハ６が無いことを知ることができる。尚、コンパレ
ートしきい値は、ボリュームにより変化させることがで
きるので、ウェハ検出センサの特性によるばらつきを調
整することができる。これにより、従来の接触式による
欠点を解消することができる。
の不足検出やウェハ６の無し検出を行うものである。ウ
ェハ６の不足検出については、図示しない光反射型のウ
ェハ検出センサを用いて、非接触式にてウェハ６の残量
を検出している。具体的には、ウェハ６の枚数に比例す
るウェハ検出センサの出力をアナログ電圧出力として入
力し、ソフトウエアコンパレートすることによって行っ
ている。従って、あるコンパレートレベルを基準にし
て、ウェハ６の不足を知ることができる。尚、アナログ
電圧出力の勾配は、ボリュームにより変化させることが
できるので、ウェハ検出センサの特性によるばらつきを
調整することができる。また、ウェハ６の不足検出につ
いては、かかるアナログ電圧出力を電気的にコンパレー
トして、ＨＩ−ＬＯ出力とすることによって行ってい
る。従って、あるコンパレートしきい値を基準にして、
ウェハ６が無いことを知ることができる。尚、コンパレ
ートしきい値は、ボリュームにより変化させることがで
きるので、ウェハ検出センサの特性によるばらつきを調
整することができる。これにより、従来の接触式による
欠点を解消することができる。
【００８５】また、サーミスタ検出部５１１は、ウエハ
ホルダ１４０の温度を検知・制御することによってウェ
ハ６の温度の検知・制御を行うものである。上述したよ
うに、チューブ７，８を溶融・切断するために、ウェハ
６は約３００℃に昇温される。このとき、ウェハ６の液
濡れが著しいと、約３００℃にまでに昇温させるのに支
障が生じるので、ウェハ６の温度は種々の方法で検知・
制御されている。
ホルダ１４０の温度を検知・制御することによってウェ
ハ６の温度の検知・制御を行うものである。上述したよ
うに、チューブ７，８を溶融・切断するために、ウェハ
６は約３００℃に昇温される。このとき、ウェハ６の液
濡れが著しいと、約３００℃にまでに昇温させるのに支
障が生じるので、ウェハ６の温度は種々の方法で検知・
制御されている。
【００８６】例えば、ウェハ６の昇温時においては、
０．５秒毎にウェハ６の抵抗値変化率をサンプリングし
ており、昇温２秒〜４秒、昇温２．５秒〜４．５秒、昇
温３秒〜５秒のいずれの時間間隔においても、ウェハ６
の抵抗値変化率が５％以上増大していれば、ウェハ６の
昇温は正常であると判断し、ウェハ６の抵抗値変化率の
増加が５％未満であれば、ウェハ６の昇温に異常がある
と判断する（以下、「ウェハ６の液濡れがある」とい
う）。尚、ウェハ６の抵抗値については室温の違いによ
って変化することから、ウェハ６の抵抗値変化率も室温
に左右されて、ウェハ６の昇温時の状態を正確に判断で
きないおそれがある。そこで、この現象を防止するため
に、温度検出部５１２（図１８参照）により読み込んだ
室温に基づいて、ウェハ６の抵抗値の初期値の補正を行
っている。具体的には、室温２５℃を基準にしたウェハ
６の抵抗値の温度特性係数を用いて補正している。
０．５秒毎にウェハ６の抵抗値変化率をサンプリングし
ており、昇温２秒〜４秒、昇温２．５秒〜４．５秒、昇
温３秒〜５秒のいずれの時間間隔においても、ウェハ６
の抵抗値変化率が５％以上増大していれば、ウェハ６の
昇温は正常であると判断し、ウェハ６の抵抗値変化率の
増加が５％未満であれば、ウェハ６の昇温に異常がある
と判断する（以下、「ウェハ６の液濡れがある」とい
う）。尚、ウェハ６の抵抗値については室温の違いによ
って変化することから、ウェハ６の抵抗値変化率も室温
に左右されて、ウェハ６の昇温時の状態を正確に判断で
きないおそれがある。そこで、この現象を防止するため
に、温度検出部５１２（図１８参照）により読み込んだ
室温に基づいて、ウェハ６の抵抗値の初期値の補正を行
っている。具体的には、室温２５℃を基準にしたウェハ
６の抵抗値の温度特性係数を用いて補正している。
【００８７】また、ウェハ６の昇温時においては、昇温
開始から特定時間までのウェハ６の抵抗値変化率が１４
２％以下であるときでも、「ウェハ６の液濡れがある」
と判断している。さらに、ウェハ６の抵抗値変化率が１
４２％より大きくても、１５０％以下であるときは、か
かるチェック時点から昇温終了まで、ウェハ６の昇温時
に使用する電力を２０Ｗから２７Ｗまでにアップしてい
る。かかる定電力制御は、ＰＷＭ Ｄｕｔｙを変更する
ことによって行っている。
開始から特定時間までのウェハ６の抵抗値変化率が１４
２％以下であるときでも、「ウェハ６の液濡れがある」
と判断している。さらに、ウェハ６の抵抗値変化率が１
４２％より大きくても、１５０％以下であるときは、か
かるチェック時点から昇温終了まで、ウェハ６の昇温時
に使用する電力を２０Ｗから２７Ｗまでにアップしてい
る。かかる定電力制御は、ＰＷＭ Ｄｕｔｙを変更する
ことによって行っている。
【００８８】そして、ウェハ６の昇温時に使用する電力
が２７Ｗまでにアップされた後は、昇温終了までにウェ
ハ６の抵抗値変化率が一度でも１５０％以上になれば、
ウェハ６の昇温は正常に戻ったと判断する。尚、昇温開
始から特定時間までのウェハ６の抵抗値変化率が１５０
％より大きいときは、ウェハ６の昇温は正常であると判
断されるので、ウェハ６の昇温時に使用する電力は２０
Ｗのままである。また、特定時間は、温度検出部５１２
（図１８参照）により読み込んだ室温に基づいて決定さ
れており、具体的には、室温が１０℃のときは５．８８
秒であり、室温が２５℃のときは５．５６秒であり、室
温が４０℃のときは５．２３秒である。
が２７Ｗまでにアップされた後は、昇温終了までにウェ
ハ６の抵抗値変化率が一度でも１５０％以上になれば、
ウェハ６の昇温は正常に戻ったと判断する。尚、昇温開
始から特定時間までのウェハ６の抵抗値変化率が１５０
％より大きいときは、ウェハ６の昇温は正常であると判
断されるので、ウェハ６の昇温時に使用する電力は２０
Ｗのままである。また、特定時間は、温度検出部５１２
（図１８参照）により読み込んだ室温に基づいて決定さ
れており、具体的には、室温が１０℃のときは５．８８
秒であり、室温が２５℃のときは５．５６秒であり、室
温が４０℃のときは５．２３秒である。
【００８９】以上詳細に説明したように、本実施の形態
のチューブ接続装置では、クランプローター３０を回転
させて第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２
に保持されたチューブ７，８の異なる切断面同士を溶着
して接続するに際し、クランプローター３０を構成する
ローター片３１，３２の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を、光センサ（図示せず）である「センサ
１」及び「センサ２」とエンコーダ板６００を介して、
クランプローター３０を回転させる前に行っており、ク
ランプローター３０を構成するローター片３１，３２が
基準状態からずれているときに、クランプローター３０
を回転させても、チューブ７，８の切断面同士がずれて
接続不良が生じることはなくなるので、チューブの接続
を確実に行うことができる。
のチューブ接続装置では、クランプローター３０を回転
させて第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２
に保持されたチューブ７，８の異なる切断面同士を溶着
して接続するに際し、クランプローター３０を構成する
ローター片３１，３２の回転運動の始点を出すための原
点出し動作を、光センサ（図示せず）である「センサ
１」及び「センサ２」とエンコーダ板６００を介して、
クランプローター３０を回転させる前に行っており、ク
ランプローター３０を構成するローター片３１，３２が
基準状態からずれているときに、クランプローター３０
を回転させても、チューブ７，８の切断面同士がずれて
接続不良が生じることはなくなるので、チューブの接続
を確実に行うことができる。
【００９０】また、クランプローター３０を回転させて
第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２に保持
されたチューブ７，８の異なる切断面同士を溶着して接
続するに際し、クランプローター３０を構成するロータ
ー片３１，３２の回転運動の始点を出すための原点出し
動作を、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具
２でチューブ７，８を保持した状態で都度行うことか
ら、クランプローター３０を回転させる毎に、チューブ
の接続を確実に行うことができる。
第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２に保持
されたチューブ７，８の異なる切断面同士を溶着して接
続するに際し、クランプローター３０を構成するロータ
ー片３１，３２の回転運動の始点を出すための原点出し
動作を、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具
２でチューブ７，８を保持した状態で都度行うことか
ら、クランプローター３０を回転させる毎に、チューブ
の接続を確実に行うことができる。
【００９１】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、本実施の形態のチューブ接続装置
では、図１９、図２０に示すような方法で、クランプロ
ーター３０を構成するローター片３１，３２の回転運動
の始点を出すための原点出し動作を行っていたが、ステ
ッピングモータ３を使用した原点出し動作であれば、ど
のような方法であってもよい。
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、本実施の形態のチューブ接続装置
では、図１９、図２０に示すような方法で、クランプロ
ーター３０を構成するローター片３１，３２の回転運動
の始点を出すための原点出し動作を行っていたが、ステ
ッピングモータ３を使用した原点出し動作であれば、ど
のような方法であってもよい。
【００９２】
【発明の効果】本発明のチューブ接続装置では、クラン
プ部材を回転させて第１チューブ保持具及び第２チュー
ブ保持具に保持されたチューブの異なる切断面同士を溶
着して接続するに際し、クランプ部材の回転運動の始点
を出すための原点出し動作を、クランプ部材を回転させ
る前に行っており、クランプ部材が基準状態からずれて
いるときに、クランプ部材を回転させても、チューブの
切断面同士がずれて接続不良が生じることはなくなるの
で、チューブの接続を確実に行うことができる。
プ部材を回転させて第１チューブ保持具及び第２チュー
ブ保持具に保持されたチューブの異なる切断面同士を溶
着して接続するに際し、クランプ部材の回転運動の始点
を出すための原点出し動作を、クランプ部材を回転させ
る前に行っており、クランプ部材が基準状態からずれて
いるときに、クランプ部材を回転させても、チューブの
切断面同士がずれて接続不良が生じることはなくなるの
で、チューブの接続を確実に行うことができる。
【００９３】また、クランプ部材を回転させて第１チュ
ーブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュー
ブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、クラ
ンプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具でチュ
ーブを保持した状態で都度行うことから、クランプ部材
を回転させる毎に、チューブの接続を確実に行うことが
できる。
ーブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュー
ブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、クラ
ンプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具でチュ
ーブを保持した状態で都度行うことから、クランプ部材
を回転させる毎に、チューブの接続を確実に行うことが
できる。
【００９４】また、クランプ部材を回転させて第１チュ
ーブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュー
ブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、クラ
ンプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、光センサとエンコーダ板を介して、クランプ部材を
回転させる前に行っており、クランプ部材が基準状態か
らずれているときに、クランプ部材を回転させても、チ
ューブの切断面同士がずれて接続不良が生じることはな
くなるので、チューブの接続を確実に行うことができ
る。
ーブ保持具及び第２チューブ保持具に保持されたチュー
ブの異なる切断面同士を溶着して接続するに際し、クラ
ンプ部材の回転運動の始点を出すための原点出し動作
を、光センサとエンコーダ板を介して、クランプ部材を
回転させる前に行っており、クランプ部材が基準状態か
らずれているときに、クランプ部材を回転させても、チ
ューブの切断面同士がずれて接続不良が生じることはな
くなるので、チューブの接続を確実に行うことができ
る。
【図１】本発明のチューブ接続装置の一実施の形態にお
ける内部機構の斜視図である。
ける内部機構の斜視図である。
【図２】本発明のチューブ接続装置の一実施の形態にお
ける内部機構の平面図である。
ける内部機構の平面図である。
【図３】クランプローターを示した斜視図である。
【図４】図３におけるローター片のＡ方向断面図であ
る。
る。
【図５】固定クランプボディを示す斜視図である。
【図６】固定クランプボディ１３の平面図である。
【図７】ボディカバー１４への取付面側を示したチュー
ブガイド４０の斜視図である。
ブガイド４０の斜視図である。
【図８】第１チューブ保持具１の可動クランプ１２を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図９】第１チューブ保持具１を示した断面図である。
【図１０】第２チューブ保持具２の固定クランプ８１の
外観斜視図である。
外観斜視図である。
【図１１】第２チューブ保持具２の固定クランプボディ
８３の側面図である。
８３の側面図である。
【図１２】固定クランプ８１及びバックル１１１を示し
た斜視図である。
た斜視図である。
【図１３】第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持
具２を図１のＣ方向から示した正面図である。
具２を図１のＣ方向から示した正面図である。
【図１４】第１チューブ保持具１側から見たウェハホル
ダを示した斜視図である。
ダを示した斜視図である。
【図１５】第２チューブ保持具２側から見たウェハホル
ダを示した斜視図である。
ダを示した斜視図である。
【図１６】チューブ切断時のウェハ６の位置を示した図
である。
である。
【図１７】チューブガイド４０を示した側面図である。
【図１８】本発明のチューブ接続装置のブロック図であ
る。
る。
【図１９】エンコーダ板の平面図である。
【図２０】原点出し動作の方法を説明するための図であ
る。
る。
【図２１】本発明のチューブ接続装置の音声メッセージ
を示した図である。
を示した図である。
【図２２】本発明のチューブ接続装置の音声メッセージ
を示した図である。
を示した図である。
【図２３】従来のチューブ接続装置のチューブクランプ
部を示した斜視図である。
部を示した斜視図である。
【図２４】チューブの切断・反転時の状態を示した図で
ある。
ある。
【図２５】接続チューブを示した図である。
【図２６】従来のチューブ接続装置における反転機構の
一部を示した図である。
一部を示した図である。
１ 第１チューブ保持具 ２ 第２チューブ保持具 １１，８１ 固定クランプ １２，８２ 可動クランプ ３０ クランプローター ３１，３２ ローター片
フロントページの続き (72)発明者 柳川 正史 愛知県春日井市堀の内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 (72)発明者 南谷 岳志 愛知県春日井市堀の内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 (72)発明者 佐野 弘明 山梨県中巨摩郡昭和町築地新居1727番地の １ テルモ株式会社内 (72)発明者 仲田 成邦 静岡県富士宮市三園平818 テルモ株式会 社内 Ｆターム(参考） 4C066 BB01 CC01 FF10 GG20 JJ10 4C077 AA06 BB01 DD27 DD30
Claims (3)
- 【請求項１】 一対の保持部材によって複数の可撓性の
チューブを保持する第１チューブ保持具及び第２チュー
ブ保持具が、その一方又は両方に当該チューブを保持す
る回転自在な回転対称形状に分割された一対のクランプ
部材を備え、前記第１チューブ保持具と第２チューブ保
持具との間を移動する加熱された切断板によってチュー
ブを溶融して切断した後、前記クランプ部材を回転させ
て第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具に保持さ
れたチューブの異なる切断面同士を溶着して接続するチ
ューブ接続装置において、 前記クランプ部材の回転運動の始点を出すための原点出
し動作を、前記クランプ部材を回転させる前に行うこと
を特徴とするチューブ接続装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載するチューブ接続装置に
おいて、 前記原点出し動作を前記チューブを保持した状態で都度
行うことを特徴とするチューブ接続装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載するチュー
ブ接続装置において、 前記クランプ部材の回転をステッピングモータで行うと
ともに、前記クランプ部材の回転前の原点出し動作を光
センサとエンコーダ板を介して行うことを特徴とするチ
ューブ接続装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12119899A JP2000308687A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | チューブ接続装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12119899A JP2000308687A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | チューブ接続装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000308687A true JP2000308687A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14805302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12119899A Pending JP2000308687A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | チューブ接続装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000308687A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013146355A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013146402A (ja) * | 2012-01-19 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013146356A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013150671A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
-
1999
- 1999-04-28 JP JP12119899A patent/JP2000308687A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013146355A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013146356A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013146402A (ja) * | 2012-01-19 | 2013-08-01 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
| JP2013150671A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Terumo Corp | 無菌接合装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040107 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060403 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061220 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070320 |