JP2000298141A5

JP2000298141A5 -

Info

Publication number: JP2000298141A5
Application number: JP1999108024A
Authority: JP
Filing date: 1999-04-15
Publication date: 2005-08-11
Anticipated expiration: 2019-04-15

Description

ベース２２は、円形の開口３２を中央に有する。フレーム３０は、前後方向（図４において左右の方向）に間隔をおいた一対の下部フレーム３４と、下方に開放するコ字状の上部フレーム３６とを備える。両下部フレーム３４は、開口３２の上方の空間が両者の間に入るように、ベース２２に配置されている。上部フレーム３６は、一方の下部フレーム３４の上部にシャフト３８により枢軸運動可能に連結されている。
The base 22 has a circular opening 32 in the center. The frame 30 includes a pair of lower frames 34 spaced in the front-rear direction (left-right directions in FIG. 4) and a U-shaped upper frame 36 that opens downward. Both lower frames 34 are arranged on the base 22 so that the space above the opening 32 is between them. The upper frame 36 is pivotally movably connected to the upper part of one lower frame 34 by a shaft 38.

リンクアーム９８は、上下方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に押圧板４４の下面に組み付けられており、また結合用リング９２に設けられたピン９３と、ピン９３が滑動可能に係合するようにリンクアーム９８に形成された長穴９５とにより、結合用リング９２に係合されている。
The link arm 98 is assembled on the lower surface of the pressing plate 44 so as to be rotatable around an axis extending in the vertical direction, and the pin 93 provided on the coupling ring 92 and the pin 93 are slidably engaged with each other. It is engaged with the coupling ring 92 by an elongated hole 95 formed in the link arm 98 so as to fit.

先ず、押圧板４４が駆動機構４６により図４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続器７０及び中継器７２は、図１４（Ａ）に示す位置から図１４（Ｂ）に示す位置に移動される。すなわち、接続器７０及び中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除かれると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に移動される。
First, the pressing plate 44 is displaced by the drive mechanism 46 to the position shown by the dotted line in FIG. As a result, the connector 70 and the repeater 72 are moved from the position shown in FIG. 14 (A) to the position shown in FIG. 14 (B). That is, the connector 70 and the repeater 72 are removed from the card holder 114 and moved to a position that does not interfere with the insertion and removal of the slide tray 120.

次いで、押圧板４４が駆動機構４６により図４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続器７０はプローブカード１２と共にカードホルダ１１４に受けられているが、中継器７２は、図１６（Ａ）に示す位置から図１６（Ｂ）に示す位置に移動される。すなわち、中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除かれると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に移動される。
Next, the pressing plate 44 is displaced by the drive mechanism 46 to the position shown by the dotted line in FIG. As a result, the connector 70 is received by the card holder 114 together with the probe card 12, but the repeater 72 is moved from the position shown in FIG. 16 (A) to the position shown in FIG. 16 (B). That is, the repeater 72 is removed from the card holder 114 and moved to a position that does not interfere with the loading and unloading of the slide tray 120.

次いで、使用済みのプローブカード１２及び接続器７０がカードホルダ１１４から取り出され、その代わりに同種の他のプローブカード及び対応する接続器がカードホルダ１１４に配置される。
The used probe card 12 and connector 70 are then removed from the card holder 114, and instead another probe card of the same type and the corresponding connector are placed in the card holder 114.

上記実施例においては、接続器と中継器とにより接続装置を形成して、中継器を各種のプローブカードに共通に用いているが、接続装置をプローブカードの種類毎に用意してもよい。この場合、接続器及び中継器の機能を備えた接続装置とされる。 In the above embodiment, the connecting device is formed by the connector and the repeater, and the repeater is commonly used for various probe cards. However, the connecting device may be prepared for each type of probe card. In this case, it is a connecting device having the functions of a connector and a repeater.

Claims

The frame is a lower frame arranged on the base at intervals in the left-right direction, and an upper frame arranged on the lower frame in order to form the space in cooperation with the lower frame, and the pressing body is formed. The card holder is provided with an upper frame that supports and opens the space upward, and the card holder is arranged on the base frame with a part thereof positioned at the second opening, and the lower frame. The inspection device according to any one of claims 2 to 8, wherein the space can be entered and exited through an open portion to the front.