JP2000298014A - 形状測定装置の測定原点探索方法 - Google Patents
形状測定装置の測定原点探索方法Info
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- JP2000298014A JP2000298014A JP11107666A JP10766699A JP2000298014A JP 2000298014 A JP2000298014 A JP 2000298014A JP 11107666 A JP11107666 A JP 11107666A JP 10766699 A JP10766699 A JP 10766699A JP 2000298014 A JP2000298014 A JP 2000298014A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】触針子プローブを接触式としたものにおい
て、触針子先端部分と被測定物との接触点座標を推定
し、この接触点座標から被測定物の端面座標を自動で推
定すること、若しくは人間が容易に端面位置を判断でき
る構成を提供すること。 【解決手段】先端の断面形状が円弧形状を有する触針子
と、触針子を被測走面に接触走査させるための走査機構
と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デー
タの演算処理手段とを備えた触針式形状測定機におい
て、演算処理手段が、測定された座標データから被測定
物の端面の座標を推定する端面座標推定部を備えること
により、自動で端面を推定するようにしたこと。 端面
座標推定部は、複数の座標データと、触針子先端半径か
ら接触点の座標を推定する接触点座標推定部と、推定さ
れた接触点座標の密度を演算する密度演算部を備えるよ
うにすることも可能である。
て、触針子先端部分と被測定物との接触点座標を推定
し、この接触点座標から被測定物の端面座標を自動で推
定すること、若しくは人間が容易に端面位置を判断でき
る構成を提供すること。 【解決手段】先端の断面形状が円弧形状を有する触針子
と、触針子を被測走面に接触走査させるための走査機構
と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デー
タの演算処理手段とを備えた触針式形状測定機におい
て、演算処理手段が、測定された座標データから被測定
物の端面の座標を推定する端面座標推定部を備えること
により、自動で端面を推定するようにしたこと。 端面
座標推定部は、複数の座標データと、触針子先端半径か
ら接触点の座標を推定する接触点座標推定部と、推定さ
れた接触点座標の密度を演算する密度演算部を備えるよ
うにすることも可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ等の光学部品の
形状測定に用いられる接触式の触針子プローブに関する
もので被測定物の端面の座標を容易に推定できるもので
あり、サブμｍオーダの測定精度を有する形状測定装置
にも利用可能なものである。
形状測定に用いられる接触式の触針子プローブに関する
もので被測定物の端面の座標を容易に推定できるもので
あり、サブμｍオーダの測定精度を有する形状測定装置
にも利用可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズ形状を高精度に評価する用
途に、プローブでレンズ面を走査し、形状を測定する装
置が多用されている。このようなプローブ走査による形
状測定装置を用いて、レンズの２次元断面形状を測定す
るに際しては、まず測定原点を定める必要がある。なぜ
測定原点を定める必要があるかを説明するために、例と
して凸レンズ測定の流れを以下に紹介する。まず第１ス
テップでは、レンズ頂点の位置を何らかの方法で探索し
てそこを測定原点と定める。次に第２ステップでは測定
原点を通る経路をプローブで走査し、走査経路の座標デ
ータをレーザ測定器などを使って測定する、最後に第３
ステップでは、座標データを数値解析し、曲率半径や表
面形状のうねりなどを評価する。ここでもし、測定原点
を定める第１ステップを行なわないとすると、測定原点
の位置が不明であるため頂点を通る正しい走査経路を設
定することができず、結果として得られる曲率半径の値
は、頂点を通って測定した場合よりも小さな値となり、
レンズ形状の正しい評価ができなくなってしまう。従っ
て、測定を始める前には、測定原点を定める作業がどう
しても必要となるのである。
途に、プローブでレンズ面を走査し、形状を測定する装
置が多用されている。このようなプローブ走査による形
状測定装置を用いて、レンズの２次元断面形状を測定す
るに際しては、まず測定原点を定める必要がある。なぜ
測定原点を定める必要があるかを説明するために、例と
して凸レンズ測定の流れを以下に紹介する。まず第１ス
テップでは、レンズ頂点の位置を何らかの方法で探索し
てそこを測定原点と定める。次に第２ステップでは測定
原点を通る経路をプローブで走査し、走査経路の座標デ
ータをレーザ測定器などを使って測定する、最後に第３
ステップでは、座標データを数値解析し、曲率半径や表
面形状のうねりなどを評価する。ここでもし、測定原点
を定める第１ステップを行なわないとすると、測定原点
の位置が不明であるため頂点を通る正しい走査経路を設
定することができず、結果として得られる曲率半径の値
は、頂点を通って測定した場合よりも小さな値となり、
レンズ形状の正しい評価ができなくなってしまう。従っ
て、測定を始める前には、測定原点を定める作業がどう
しても必要となるのである。
【０００３】次に、測定原点の探索方法に関する従来例
を説明する。これは例えば、特開平２−２５４３０６号
公報に開示された方法であり、まず頂点付近でＸ−Ｚ断
面における２点の座標を測定し、２点の座標からＲ既知
の条件のもとに仮頂点のＸ座標を推定し、次に、仮頂点
を通るＹ−Ｚ断面上の２点の座標を測定し、同様の方法
により推定した頂点座標を測定原点とするものである。
しかしながら、この方法では、レンズ曲率半径Ｒが大き
いほど、また、測定する２点間の距離が短いほど、頂点
の座標を正確に推定できなくなるといった問題があっ
た。具体的には、測定対象物がレーザプリンタなどの光
学系に用いられる走査レンズのように長尺レンズの場合
には、短手方向の頂点座標が正確に定まらないという問
題があった。
を説明する。これは例えば、特開平２−２５４３０６号
公報に開示された方法であり、まず頂点付近でＸ−Ｚ断
面における２点の座標を測定し、２点の座標からＲ既知
の条件のもとに仮頂点のＸ座標を推定し、次に、仮頂点
を通るＹ−Ｚ断面上の２点の座標を測定し、同様の方法
により推定した頂点座標を測定原点とするものである。
しかしながら、この方法では、レンズ曲率半径Ｒが大き
いほど、また、測定する２点間の距離が短いほど、頂点
の座標を正確に推定できなくなるといった問題があっ
た。具体的には、測定対象物がレーザプリンタなどの光
学系に用いられる走査レンズのように長尺レンズの場合
には、短手方向の頂点座標が正確に定まらないという問
題があった。
【０００４】この問題を解決する手段として、測定距離
を十分に権保できない短手方向の頂点については、レン
ズ端面の座標を探索し、端面から何ｍｍというように端
面基準で座標原点を定める方法が考えられる。集光レン
ズで直径１μｍ程度に絞った光をプローブとして用いる
場合には、端面探索は比較的容易である。つまり、端面
を越えた瞬間に反射光が失われることを利用して、反射
光が失われた瞬間の位置をレンズ端面とみなすことがで
きるからである。ところが、接触式プローブを用いる場
合、特にプローブ先端半径が１ｍｍもあるような場合に
は、端面探索は容易でない。なぜならば、測定される座
標データ点列はプローブ先端球の中心の軌跡であり、従
って座標先端半径が大きいと、図１に示すように、座標
データ点列にはシャープなエッジが現れないからであ
る。
を十分に権保できない短手方向の頂点については、レン
ズ端面の座標を探索し、端面から何ｍｍというように端
面基準で座標原点を定める方法が考えられる。集光レン
ズで直径１μｍ程度に絞った光をプローブとして用いる
場合には、端面探索は比較的容易である。つまり、端面
を越えた瞬間に反射光が失われることを利用して、反射
光が失われた瞬間の位置をレンズ端面とみなすことがで
きるからである。ところが、接触式プローブを用いる場
合、特にプローブ先端半径が１ｍｍもあるような場合に
は、端面探索は容易でない。なぜならば、測定される座
標データ点列はプローブ先端球の中心の軌跡であり、従
って座標先端半径が大きいと、図１に示すように、座標
データ点列にはシャープなエッジが現れないからであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、触針子プロ
ーブを接触式としたものにおいて、触針子先端部分と被
測定物との接触点座標を推定し、この接触点座標から被
測定物の端面座標を自動で推定すること、若しくは人間
が容易に端面位置を判断できる構成を提供することを、
その課題とするものである。
ーブを接触式としたものにおいて、触針子先端部分と被
測定物との接触点座標を推定し、この接触点座標から被
測定物の端面座標を自動で推定すること、若しくは人間
が容易に端面位置を判断できる構成を提供することを、
その課題とするものである。
【０００６】
【課題解決のために講じた手段】上記課題解決のために
講じた手段は、先端の断面形状が円弧形状を有する触針
子と、触針子を被測走面に接触走査させるための走査機
構と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デ
ータの演算処理手段とを備えた触針式形状測定機におい
て、演算処理手段が、測定された座標データから被測定
物の端面の座標を推定する端面座標推定部を備えること
により、自動で端面を推定するようにしたことである。
端面座標推定部は、複数の座標データと、触針子先端半
径から接触点の座標を推定する接触点座標推定部と、推
定された接触点座標の密度を演算する密度演算部を備え
るようにすることも可能である。上記課題解決のために
講じた別の手段は、先端の断面形状が円弧形状を有する
触針子と、触針子を被測定面に接触走査させるための走
査機構と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数
値データの演算処理手段と、図形データの出力手段とを
備えた触針式形状測定機において、演算処理手段が、複
数の座標データと、触針子先端半径から接触点の座標を
推定する接触点座標推定部と、推定された接触、点座標
の数値データを、２次元座標平面上に分布する図形デー
タに変換する処理部とを備え、前記図形データを図形デ
ータの出力手段に出力することにより、人間が容易に端
面位置を判断できるようにしたことである。また上記課
題解決のために講じた別の手段は、先端の断面形状が円
弧形状を有する触針子と、触針子を被測定面に接触走査
させるための走査機構と、走査軌跡の座標データを測定
する手段と、数値データの演算処理手段と、図形データ
の出力手段とを備えた触針式形状測定機において、演算
処理手段が、各座標データを中心とし触針子先端半径に
相当する円弧データを演算する円弧演算部と、前記円弧
を表わす数値データを、２次元座標平面上の図形データ
に変換する処理部とを備え、前記図形データを図形デー
タの出力手段に出力することにより、人間が容易に端面
位置を判断できるようにしたことである。
講じた手段は、先端の断面形状が円弧形状を有する触針
子と、触針子を被測走面に接触走査させるための走査機
構と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デ
ータの演算処理手段とを備えた触針式形状測定機におい
て、演算処理手段が、測定された座標データから被測定
物の端面の座標を推定する端面座標推定部を備えること
により、自動で端面を推定するようにしたことである。
端面座標推定部は、複数の座標データと、触針子先端半
径から接触点の座標を推定する接触点座標推定部と、推
定された接触点座標の密度を演算する密度演算部を備え
るようにすることも可能である。上記課題解決のために
講じた別の手段は、先端の断面形状が円弧形状を有する
触針子と、触針子を被測定面に接触走査させるための走
査機構と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数
値データの演算処理手段と、図形データの出力手段とを
備えた触針式形状測定機において、演算処理手段が、複
数の座標データと、触針子先端半径から接触点の座標を
推定する接触点座標推定部と、推定された接触、点座標
の数値データを、２次元座標平面上に分布する図形デー
タに変換する処理部とを備え、前記図形データを図形デ
ータの出力手段に出力することにより、人間が容易に端
面位置を判断できるようにしたことである。また上記課
題解決のために講じた別の手段は、先端の断面形状が円
弧形状を有する触針子と、触針子を被測定面に接触走査
させるための走査機構と、走査軌跡の座標データを測定
する手段と、数値データの演算処理手段と、図形データ
の出力手段とを備えた触針式形状測定機において、演算
処理手段が、各座標データを中心とし触針子先端半径に
相当する円弧データを演算する円弧演算部と、前記円弧
を表わす数値データを、２次元座標平面上の図形データ
に変換する処理部とを備え、前記図形データを図形デー
タの出力手段に出力することにより、人間が容易に端面
位置を判断できるようにしたことである。
【０００７】
【作用】接触点推定および端部推定を自動で行なう部位
を設けたので、ｍｍオーダーの先端半径を有する接触式
プローブを用いた形状測定装置であっても、レンズ端部
を精度よく検出することができる。また、人間が端面の
位置を容易に判断し、読み取ることができるような図形
データを出力するので、ｍｍオーダーの先端半径を有す
る接触式プローブを用いた形状測定装置であっても、人
間が容易に端面位置を判断できるようになる。
を設けたので、ｍｍオーダーの先端半径を有する接触式
プローブを用いた形状測定装置であっても、レンズ端部
を精度よく検出することができる。また、人間が端面の
位置を容易に判断し、読み取ることができるような図形
データを出力するので、ｍｍオーダーの先端半径を有す
る接触式プローブを用いた形状測定装置であっても、人
間が容易に端面位置を判断できるようになる。
【０００８】まず人間が端面の位置を容易に判断し、読
み取ることができるような図形データを出力する方法に
ついて説明する。図１は、先端半径１ｍｍのプローブを
用いて端面部を走査したときに測定される座標点列デー
タであり、個々の座標点はプローブ先端球の中心位置を
示している。ここで、個々の座標点にＰ１〜Ｐ１４の記
号を付与することとする。まず、隣接する２個の座標点
から、プローブ先端の接触点推定を行なう。Ｐ１及びＰ
２の座標を、それぞれ（Ｘ１，Ｚ１）（Ｘ２，Ｚ２）と
し、プローブ先端半径をｒとすると、法線ベクトルは
（Ｚ２−Ｚ１，Ｘ２−Ｘ１）、したがって、座標点Ｐ
１，Ｐ２から推定される接触点Ｑ１の座標（ＸＱ１，Ｚ
Ｑ１）は、 ＸＱ１＝ｒ（Ｚ２−Ｚ１）／｛（Ｘ２−Ｘ１）２ ＋
（Ｚ２−Ｚ１）２ ｝０ ．５ ＺＱ１＝ｒ（Ｘ２−Ｘ１）／｛（Ｘ２−Ｘ１）２ ＋
（Ｚ２−Ｚ１）２ ｝０ ．５ （（Ｘ１，Ｚ１）を原点とした場合）
み取ることができるような図形データを出力する方法に
ついて説明する。図１は、先端半径１ｍｍのプローブを
用いて端面部を走査したときに測定される座標点列デー
タであり、個々の座標点はプローブ先端球の中心位置を
示している。ここで、個々の座標点にＰ１〜Ｐ１４の記
号を付与することとする。まず、隣接する２個の座標点
から、プローブ先端の接触点推定を行なう。Ｐ１及びＰ
２の座標を、それぞれ（Ｘ１，Ｚ１）（Ｘ２，Ｚ２）と
し、プローブ先端半径をｒとすると、法線ベクトルは
（Ｚ２−Ｚ１，Ｘ２−Ｘ１）、したがって、座標点Ｐ
１，Ｐ２から推定される接触点Ｑ１の座標（ＸＱ１，Ｚ
Ｑ１）は、 ＸＱ１＝ｒ（Ｚ２−Ｚ１）／｛（Ｘ２−Ｘ１）２ ＋
（Ｚ２−Ｚ１）２ ｝０ ．５ ＺＱ１＝ｒ（Ｘ２−Ｘ１）／｛（Ｘ２−Ｘ１）２ ＋
（Ｚ２−Ｚ１）２ ｝０ ．５ （（Ｘ１，Ｚ１）を原点とした場合）
【０００９】以下、同様にして、Ｑ２〜Ｑ１３までの座
標が導かれる。図２は、Ｑ１からＱ１３までをプロット
したグラフである。Ｑ８からＱ１３まではほぼ１点で重
なっており、重なり合った位置、つまり最も推定接触点
の密度が高い位置が求めるべき端部である。従って、図
２のようなグラフを表示器に表示しさえすれば、さらに
は、表示器にカ一ソルとカーソルの位置を表示し、カー
ソルを任意の位置に移動できるようにしさえすれば、容
易に端部座標を読み取ることができる。
標が導かれる。図２は、Ｑ１からＱ１３までをプロット
したグラフである。Ｑ８からＱ１３まではほぼ１点で重
なっており、重なり合った位置、つまり最も推定接触点
の密度が高い位置が求めるべき端部である。従って、図
２のようなグラフを表示器に表示しさえすれば、さらに
は、表示器にカ一ソルとカーソルの位置を表示し、カー
ソルを任意の位置に移動できるようにしさえすれば、容
易に端部座標を読み取ることができる。
【００１０】図４は図１の各座標点にプローブ半径に相
当する円弧を重ね描きしたものである。図４のグラフを
表示器に表示し、さらに、表示器にカ一ソルとカ一ソル
の位置を表示し、カ一ソルを任意の位置に移動できるの
で、容易に端部座標を読み取ることができる。
当する円弧を重ね描きしたものである。図４のグラフを
表示器に表示し、さらに、表示器にカ一ソルとカ一ソル
の位置を表示し、カ一ソルを任意の位置に移動できるの
で、容易に端部座標を読み取ることができる。
【００１１】レンズ端面の位置を、測定データから自動
で推定する方法について説明する。接触点の座標の求め
方は前述の通りであるが、ここから更に端部を自動検出
するには、以下のようにする。便宜上、端部のＸ座標の
みの探索とすると、図３に示すようにＸ歴標を微小区間
に分割し、各区間に含まれる推定接触点の個数をカウン
トする。そして最もカウント数の多い区間の中央値を端
部座標と定めることで端部の自動検出が可能となる。な
お、図３は説明をしやすくするために区間分割の幅をか
なり広くとってあるが、実際には例えば５０μｍ程度に
すればよい。また図１〜図３は説明のために用いたもの
であり、実際のプロセスは演算処理装置の内部で行われ
る。さらにまた、説明では接触点の推定に隣接する２個
の座標点を用いる例を示しているが、本発明はこれに限
られるものではなく、例えば、図１に示した点列を数式
で表現し、数式の微分値を基に各点における法線ベクト
ルを算出するようにすることもできる、
で推定する方法について説明する。接触点の座標の求め
方は前述の通りであるが、ここから更に端部を自動検出
するには、以下のようにする。便宜上、端部のＸ座標の
みの探索とすると、図３に示すようにＸ歴標を微小区間
に分割し、各区間に含まれる推定接触点の個数をカウン
トする。そして最もカウント数の多い区間の中央値を端
部座標と定めることで端部の自動検出が可能となる。な
お、図３は説明をしやすくするために区間分割の幅をか
なり広くとってあるが、実際には例えば５０μｍ程度に
すればよい。また図１〜図３は説明のために用いたもの
であり、実際のプロセスは演算処理装置の内部で行われ
る。さらにまた、説明では接触点の推定に隣接する２個
の座標点を用いる例を示しているが、本発明はこれに限
られるものではなく、例えば、図１に示した点列を数式
で表現し、数式の微分値を基に各点における法線ベクト
ルを算出するようにすることもできる、
【００１２】
【発明の効果】本発明は、接触点推定および端部推定を
自動的に行なうので、ｍｍオーダーの先端半径を有する
接触式プローブを用いているにもかかわらず、レンズ端
部を自動的に精度よく容易に検出できるので、端面基準
で測定原点を定めることができる。また、読み取りが容
易な図形データを出力するので、ｍｍオーダーの先端半
径を有する接触式プローブを用いた形状測定装置であっ
ても、人間がレンズ端部の位置を容易に判断でき、ま
た、精度よく検出できるので、端面基準で測定原点を定
めることができる。このように本発明はｍｍオーダーの
先端半径を有する接触式プローブを採用したものである
にもかかわらず、サブμｍオーダの測定精度が要求され
る形状測定装置にも有効に利用できるものである。
自動的に行なうので、ｍｍオーダーの先端半径を有する
接触式プローブを用いているにもかかわらず、レンズ端
部を自動的に精度よく容易に検出できるので、端面基準
で測定原点を定めることができる。また、読み取りが容
易な図形データを出力するので、ｍｍオーダーの先端半
径を有する接触式プローブを用いた形状測定装置であっ
ても、人間がレンズ端部の位置を容易に判断でき、ま
た、精度よく検出できるので、端面基準で測定原点を定
めることができる。このように本発明はｍｍオーダーの
先端半径を有する接触式プローブを採用したものである
にもかかわらず、サブμｍオーダの測定精度が要求され
る形状測定装置にも有効に利用できるものである。
【図１】は端面走査時のプローブ先端球中心位置を表す
グラフである。
グラフである。
【図２】は接触点を表すグラフである。
【図３】はＸ座標を微笑区間に分割したグラフである。
【図４】はプローブ半径に相当する円弧を重ね書きした
グラフである。
グラフである。
Claims (4)
- 【請求項１】先端の断面形状が円弧形状を有する触針子
と、触針子を被測走面に接触走査させるための走査機構
と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デー
タの演算処理手段とを備えた触針式形状測定機におい
て、 演算処理手段が、測定された座標データから被測定物の
端面の座標を推定する端面座標推定部を備えることを特
徴とする触針式形状測定機。 - 【請求項２】端面座標推定部は、複数の座標データと、
触針子先端半径から、接触点の座標を推定する接触点座
標推定部と、推定された接触点座標の密度を演算する密
度演算部を備えることを特徴とする請求項１記載の触針
式形状測定機。 - 【請求項３】先端の断面形状が円弧形状を有する触針子
と、触針子を被測定面に接触走査させるための走査機構
と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デー
タの演算処理手段と、図形データの出力手段とを備えた
触針式形状測定機において、 演算処理手段が、複数の座標データと、触針子先端半径
から、接触点の座標を推定する接触点座標推定部と、推
定された接触、点座標の数値データを、２次元座標平面
上に分布する図形データに変換する処理部とを備え、前
記図形データを図形データの出カ手段に出力することを
特徴とする触針式形状測定機。 - 【請求項４】先端の断面形状が円弧形状を有する触針子
と、触針子を被測定面に接触走査させるための走査機構
と、走査軌跡の座標データを測定する手段と、数値デー
タの演算処理手段と、図形データの出力手段とを備えた
触針式形状測定機において、 演算処理手段が、各座標データを中心とし触針子先端半
径に相当する円弧データを演算する円弧演算部と、前記
円弧を表わす数値データを、２次元座標平面上の図形デ
ータに変換する処理部とを備え、前記図形データを図形
データの出力手段に出力することを特徴とする触針式形
状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11107666A JP2000298014A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 形状測定装置の測定原点探索方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11107666A JP2000298014A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 形状測定装置の測定原点探索方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000298014A true JP2000298014A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14464939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11107666A Pending JP2000298014A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 形状測定装置の測定原点探索方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000298014A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121918A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置、形状測定方法及び形状測定プログラム |
| JP2010210560A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Mitsutoyo Corp | 形状測定機、及び形状測定方法 |
| CN102207731A (zh) * | 2010-03-30 | 2011-10-05 | 发那科株式会社 | 具有工件的测量基准点设定功能的机床 |
| GB2499662A (en) * | 2012-02-27 | 2013-08-28 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement apparatus and method |
-
1999
- 1999-04-15 JP JP11107666A patent/JP2000298014A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009121918A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置、形状測定方法及び形状測定プログラム |
| JP2010210560A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Mitsutoyo Corp | 形状測定機、及び形状測定方法 |
| CN102207731A (zh) * | 2010-03-30 | 2011-10-05 | 发那科株式会社 | 具有工件的测量基准点设定功能的机床 |
| GB2499662A (en) * | 2012-02-27 | 2013-08-28 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement apparatus and method |
| GB2499662B (en) * | 2012-02-27 | 2018-09-26 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement apparatus and method |
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