JP2000296486A - 部品装着装置及びこれに用いられる装着機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置を小型化にして部品装着作業時間の短縮
化及び部品装着作業の効率化を図る。 【解決手段】 所定の配列方向に配列された複数の装着
機構５、５、・・・に対して相対的に所定の移動方向へ
移動する被装着物４、４、・・・に該複数の装着機構に
よって部品を装着する部品装着装置１において、装着機
構を所定の平面内で動作される平面機構として設け、複
数の装着機構が配列された上記所定の配列方向を上記移
動方向に沿う方向とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は部品装着装置及びこ
れに用いられる装着機構に関する。詳しくは、回路基板
等の被装着物に電子部品等の部品を装着する部品装着装
置及びこれに用いられる装着機構に関する技術分野であ
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、回路基板等を製造するために基
板に電子部品を装着する部品装着装置がある。

【０００３】このような部品装着装置の従来のものの一
例を図３１に示す。

【０００４】部品装着装置ａは支持台ｂの隅部から立設
された支柱ｃ、ｃ、・・・にＸテーブルｄとＹテーブル
ｅとが設けられ、ＹテーブルｅがＸテーブルｄに対して
Ｙ方向に移動自在に支持されている。そして、Ｙテーブ
ルｅにはヘッドｆがＸ方向に移動自在に支持されると共
にヘッドｆの下端部に設けられたノズルｇがヘッドｆに
対してＺ方向に移動自在に支持されている。

【０００５】支持台ｂ上には基板配置部ｈと部品収納部
ｉとが設けられ、基板配置部ｈに基板ｊ、ｊ、ｊが配置
されている。そして、部品収納部ｉには所要の電子部品
が収納されている。

【０００６】しかして、ＹテーブルｅがＸテーブルｄに
対してＹ方向へ移動されると共にヘッドｆがＹテーブル
ｅに対してＸ方向に移動されヘッドｆが部品収納部ｉの
上方における所定の位置で停止されると、ヘッドｆが下
降されてノズルｇによって部品収納部ｉに収納された所
望の電子部品が吸着されて取り出される。そして、ヘッ
ドｆが上昇しＹテーブルｅがＸテーブルｄに対して移動
されると共にヘッドｆがＹテーブルｅに対して移動され
ることにより、ヘッドｆが基板ｊの上方における所定の
位置で停止され、次いで、ノズルｇが下降されることに
より基板ｊの所定の装着位置にノズルｇに吸着されてい
た電子部品が装着される。

【０００７】そして、上記したＹテーブルｅの移動、ヘ
ッドｆの移動、ノズルｇによる電子部品の吸着による取
出及び基板ｊへの電子部品の装着が繰り返し為され、一
の基板ｊへの所要の電子部品の装着が全て為されること
により、別の基板ｊへの電子部品の装着が開始される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、携帯電話に
代表されるような近年の電子機器の急速な普及に伴い、
これらの電子機器に組み込まれる回路基板の生産性の向
上が急務の問題とされている。従って、回路基板の生産
性の向上を図るために、部品装着装置の一層の高速化を
図る必要がある。

【０００９】そこで、一のヘッドｆを３次元方向へ移動
させて電子部品を装着する従来の部品装着装置ａのよう
な場合には、高速化を実現するために高い機構剛性を確
保する観点から装置の大型化が図られている。

【００１０】ところが、装置を大型化すると、慣性力の
上昇に伴って動作時間が長くなってしまうため、装置の
大型化によるこれ以上の高速化を実現することが不可能
な状況となっている。

【００１１】そこで、本発明部品装着装置及びこれに用
いられる装着機構は、上記した問題点を克服し、装置の
小型化による部品装着作業時間の短縮化及び部品装着作
業の効率化を図ることを課題とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明部品装着装置は、
上記した課題を解決するために、所定の配列方向に配列
された複数の装着機構に対して相対的に所定の移動方向
へ移動される被装着物に該複数の装着機構によって部品
を装着する部品装着装置において、装着機構を所定の平
面内で動作する平面機構として設け、複数の装着機構が
配列された上記所定の配列方向を上記移動方向に沿う方
向としたものである。

【００１３】従って、本発明部品装着装置にあっては、
当該部品装着装置の小型化が図られる。

【００１４】また、別の本発明部品装着装置は、上記し
た課題を解決するために、装着機構を所定の平面内で動
作される平面機構として設け、各装着機構を、該複数の
装着機構によって被装着物の全ての被装着部への部品の
装着が為される位置に配置したものである。

【００１５】従って、別の本発明部品装着装置にあって
は、部品装着作業の高速化が図られる。

【００１６】さらに、本発明装着機構は、所定の平面内
で動作される平面機構として設けられた装着機構におい
て、平面機構として４つの略直線状のリンクが４つの連
結点を介して枠状を為すように連結された部分を有する
平行四節機構を用いたものである。

【００１７】従って、本発明装着機構にあっては、機構
の小型化、動作の適正化及び高速化が図られる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明部品装着装置の実
施の形態について添付図面を参照して説明する。

【００１９】尚、以下に示した実施の形態は、本発明を
基板に電子部品を装着する部品装着装置及び該部品装着
装置に用いられる装着機構に適用したものである。ま
た、本明細書において方向を示すときは、各図における
ＸＹＺの３方向によって説明する。

【００２０】部品装着装置１は部品実装機構２と搬送機
構３とを備え（図１参照）、部品実装機構２は電子部品
を被装着物である基板４の所定の装着位置に装着するた
めの機構であり、また、搬送機構３は基板４をＹ方向
（移動方向）へ搬送するための機構である。

【００２１】部品実装機構２はＹ方向に一定の間隔を以
って配列された複数の装着機構５、５、・・・と該装着
機構５、５、・・・をそれぞれ動作させるための第１の
アクチュエータ６、６、・・・及び第２のアクチュエー
タ７、７、・・・とを有している（図１及び図２参
照）。

【００２２】装着機構５はＸＺ平面内で動作される平面
機構として設けられ、４つの節点を有する平行四節機構
としての機能を有する。尚、一般に、直線状の４つのリ
ンクが４つの節点を介して平行四辺形状に連結された部
分を平行四節連鎖と言い、該平行四節連鎖を利用した平
行クランク形機構及びパンタグラフ機構を平行四節形ロ
ボット機構（平行四節機構）と称する。そして、装着機
構５は、例えば、ポリプロピレン材料で射出成形によっ
て一体に形成されている（図２参照）。

【００２３】一般に、高分子材料の中でもポリプロピレ
ンは、大きな歪みを得られると共に成形性が良好である
ため、装着機構５の材料としてポリプロピレンを用いる
ことにより、装着機構５の良好な動作状態の確保及び成
形性の向上を図ることができる。

【００２４】装着機構５は、略直線状の４つのリンク
８、９、１０、１１が各節点として機能する薄肉ヒンジ
１２、１３、１４、１５を介して連結されている。そし
て、薄肉ヒンジ１２、１３、１４、１５は、それぞれ弾
性域を越える歪を生じさせることで大きな角度変位を得
ることのできる所謂大変形ヒンジとして形成されてい
る。

【００２５】第１のリンク８と第２のリンク９とはＺ１
方向へ凸の２等辺三角形の各斜辺を形成するように薄肉
ヒンジ１２を介して連結されている。第１のリンク８の
第２のリンク９と連結されていない側の端部８ａはＺ２
方向へ延びるように屈曲され、第１のアクチュエータ６
と連結され該第１のアクチュエータ６によってＸ方向へ
の変位入力が付与される変位入力部として形成されてい
る。また、第２のリンク９の第１のリンク８と連結され
ていない側の端部９ａはＺ２方向へ延びるように屈曲さ
れ、該端部９ａに部品取出部１６が取り付けられている
（図１参照）。

【００２６】第１のリンク８と平行に位置する第３のリ
ンク１０と第２のリンク９と平行に位置する第４のリン
ク１１とは薄肉ヒンジ１４を介して連結されている。そ
して、薄肉ヒンジ１４は第２のアクチュエータ７と連結
され、該第２のアクチュエータ７によって薄肉ヒンジ１
４へＺ方向への変位入力が付与される。

【００２７】薄肉ヒンジ１４は他の薄肉ヒンジ１２、１
３、１５と異なり、第１のヒンジ部１４ａと第２のヒン
ジ部１４ｂとから成る（図２に拡大して示す。）。第１
のヒンジ部１４ａは第４のリンク１１の一端部と第２の
アクチュエータ７の先端部とを連結し、第２のヒンジ部
１４ｂは第３のリンク１０の一端部と第２のアクチュエ
ータ７の先端部とを連結している。

【００２８】第３のリンク１０の第４のリンク１１と連
結されていない側の端部は、薄肉ヒンジ１３を介して第
２のリンク９の薄肉ヒンジ１２寄りの部分に連結され、
第１のリンク８と第３のリンク１０とは常に平行な状態
で動作される。また、第４のリンク１１の第３のリンク
１０と連結されていない側の端部は、薄肉ヒンジ１５を
介して第１のリンク８の変位入力部８ａ寄りの部分に連
結され、第２のリンク９と第４のリンク１１とは常に平
行な状態で動作される。従って、第１のリンク８と第２
のリンク９の各一部及び第３のリンク１０と第４のリン
ク１１とによって平行四辺形（平行四節連鎖）が形成さ
れ、装着機構５は常時この平行四辺形を保持した状態で
第１のアクチュエータ６、第２のアクチュエータ７によ
って動作される。

【００２９】薄肉ヒンジ１２、１３、１５及び薄肉ヒン
ジ１４の第１のヒンジ部１４ａ、第２のヒンジ部１４ｂ
は、図３に示すように、各リンク８、９、１０、１１の
厚み方向における一方に寄った状態で形成され、例え
ば、図３に示す長さｌが２００μｍとされ、厚さｔが１
８０μｍとされている。従って、ｔ／ｌで表されるアス
ペクト比は１８０／２００＝０．９と非常に大きくされ
ている。このようにアスペクト比を大きくすることによ
り、薄肉ヒンジ１２、１３、１４、１５が屈曲されたと
きの回動中心（節点）の変位誤差を小さくすることがで
き、図２に示す点Ａ又は点Ｆへの入力変位に対する点Ｅ
への出力変位の誤差を小さくすることができる。

【００３０】第１のアクチュエータ６及び第２のアクチ
ュエータ７はそれぞれ支持壁１７にＸ方向、Ｚ方向へ移
動自在に支持され、第１のアクチュエータ６はＸ方向へ
移動して変位入力部８ａにＸ方向への変位入力を付与
し、第２のアクチュエータ７はＺ方向へ移動して薄肉ヒ
ンジ１４にＺ方向への変位入力を付与する役割を果た
す。従って、薄肉ヒンジ１４は、変位入力部としての機
能をも有する。

【００３１】第２のアクチュエータ７が固定された状態
で第１のアクチュエータ６がＸ１方向へ移動されると、
薄肉ヒンジ１２及び薄肉ヒンジ１４が屈曲され、端部９
ａがＸ２方向へ変位する（図４参照）。また、第２のア
クチュエータ７が固定された状態で第１のアクチュエー
タ６がＸ２方向へ移動されると、薄肉ヒンジ１３及び薄
肉ヒンジ１５が屈曲され、端部９ａがＸ１方向へ変位す
る（図５参照）。

【００３２】一方、第１のアクチュエータ６が固定され
た状態で第２のアクチュエータ７がＺ１方向へ移動され
ると、薄肉ヒンジ１３及び薄肉ヒンジ１５が屈曲され、
端部９ａがＺ１方向へ変位する（図６参照）。また、第
１のアクチュエータ６が固定された状態で第２のアクチ
ュエータ７がＺ２方向へ移動されると、薄肉ヒンジ１４
及び薄肉ヒンジ１６が屈曲され、端部９ａがＺ２方向へ
変位する（図７参照）。

【００３３】搬送機構３は支持壁１７よりＸ１側に配置
され、搬送ベルト１８と搬送ローラ１９、１９、・・・
とを備えている（図１参照）。そして、搬送ベルト１８
上の所定の位置に基板４、４、・・・が配置され、搬送
ローラ１９、１９、・・・が回転することにより搬送ベ
ルト１８が送られ基板４、４、・・・がＹ方向へ移動さ
れるようになっている。

【００３４】上記のように、装着機構５が第１のアクチ
ュエータ６及び第２のアクチュエータ７によってＸＺ平
面内において動作される。従って、第１のアクチュエー
タ６及び第２のアクチュエータ７から装着機構５に適宜
に変位入力を付与することにより、該装着機構５がＸＺ
平面内において動作されて端部９ａが変位され、該端部
９ａに取り付けられた部品取出部１６が所要の位置に移
動される。そして、部品取出部１６を所要の位置に移動
させることにより、部品取出部１６によって図示しない
部品収納部から電子部品を吸着等により取り出し、搬送
ベルト１８によってＹ方向へ送られる基板４の所定の装
着位置に取り出した電子部品を装着する。尚、部品取出
部１６による部品収納部からの電子部品の取出は、吸着
に限らず、例えば、電子部品を把持するようにしてもよ
い。

【００３５】この電子部品の取り出し及び基板４への装
着を各装着機構５、５、・・・によって所定のプログラ
ムに基づいて行うことにより、送られる全ての基板４、
４、・・・の各装着位置に電子部品の装着が為される。

【００３６】上記したように、部品装着装置１にあって
は、第１のアクチュエータ６によって部品取出部１６を
Ｘ方向へ移動させると共に第２のアクチュエータ７によ
って部品取出部をＺ方向へ移動させるようにしている。

【００３７】従って、第１のアクチュエータ６と第２の
アクチュエータ７によって装着機構５がそれぞれ異なる
方向へ動作されるため、装着機構５の動作制御が複雑と
ならず該装着機構５の動作の適正化を図ることができ
る。

【００３８】また、第１のアクチュエータ６と第２のア
クチュエータ７からの変位出力が、それぞれ装着機構５
の異なる部分に付与されるため、第１のアクチュエータ
６と第２のアクチュエータ７とを異なる位置に配置する
ことにより第１のアクチュエータ６と第２のアクチュエ
ータ７との干渉を防止することができる、また、配置ス
ペースの自由度の向上により、用い得るアクチュエータ
の選択の自由度の向上を図ることができる。

【００３９】以下に、本発明者が行った試験の内容及び
結果について説明する（図８乃至図２６参照）。尚、試
験に用いた装着機構についての各条件は以下の（１）乃
至（５）の通りである。

【００４０】（１）動作領域（図２に点線で示す領域）
をＸ方向Ｓｘ５０ｍｍ、Ｚ方向Ｓｚ４０ｍｍと定め、動
作領域の境界における薄肉ヒンジの角度変位が４５°と
なるように各部の寸法を決定した。

【００４１】（２）変位拡大率（入力変位の量に対する
出力変位の量）は、Ｘ方向が４倍、Ｚ方向が５倍であ
る。

【００４２】（３）薄肉ヒンジは、長さｌが２００μ
ｍ、厚さｔが６０μｍから２６０μｍまでのものを用い
た。

【００４３】（４）各リンクの厚さ及び幅は５ｍｍであ
り、装着機構の寸法は、図２に示すＬ１＝１００ｍｍ、
Ｌ２＝２０ｍｍ、Ｈ＝５０ｍｍとした。

【００４４】（５）装着機構の材料は、高分子材料の中
でも特に大きな歪を得ることができ、成形の容易なポリ
プロピレン材料を用いた。

【００４５】先ず、装着機構（平行四節機構）の疲労試
験について説明する。尚、以下の説明における点Ａ乃至
点Ｆは図２の各点を示し、点ＡはＸ方向の変位入力が付
与されるＸ方向入力点、点Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｆはそれぞれ薄
肉ヒンジの屈曲支点、点Ｅは変位入力が為され変位され
る出力点（第２のリンクの先端）、また、点ＦはＺ方向
の変位入力が為されるＺ方向入力点、点Ｆ１は第４のリ
ンクとＺ方向への変位入力を付与するアクチュエータと
の連結点、点Ｆ２は第３のリンクとＺ方向への変位入力
を付与するアクチュエータとの連結点である。

【００４６】疲労試験は、振動発生機により点Ａに振幅
７．５ｍｍの正弦波状の変位入力（振動）を与え、点
Ａ、点Ｅ、点Ｆの変位をレーザ変位計により測定して行
った。また、入力した加振周波数と各点（ヒンジ部）が
破断するまでの繰り返し数との関係を求めた。尚、加振
周波数の設定は、入力変位の波形をオシロスコープで観
察し、振動発生機のモータへの入力電圧を調節すること
により行った。

【００４７】加振周波数と各点が破断するまでの繰り返
し数との関係を図８乃至図１０に示す。図８乃至図１０
は、ヒンジ部の厚さによってＧｒｏｕｐをＡ、Ｂ、Ｃの
３Ｇｒｏｕｐに分け、Ｎｏ．１からＮｏ．１７までのヒ
ンジ部の厚みの異なる１７種類の装着機構について測定
した結果を示している。

【００４８】尚、図８乃至図１０中、破断繰り返し数１
００とあるのは、高い加振周波数で測定を行ったためヒ
ンジ部の破断が短い時間で発生し正確な測定ができず、
破断したと推定される数として１００としたものであ
る。また、図８乃至図１０中、破断繰り返し数及び破断
ヒンジ部の欄で「−」とされているのは、１０の６乗回
の繰り返しにおいても破断しなかったことを示してい
る。

【００４９】図１１乃至図１４は入出力変位の応答波形
を示すものである。

【００５０】図１１及び図１２は、図１０に示すＮｏ．
１６（ヒンジ厚さ２２５μｍ）の装着機構について測定
した結果であり、繰り返し数１０の６乗回においてもヒ
ンジ部の破断は生じず、繰り返し数１０回と１０の６乗
回とで入出力波形に変化が見られなかった。

【００５１】一方、図１３及び図１４は、図９に示すＮ
ｏ．８（ヒンジ厚さ１１５μｍ）の装着機構について測
定した結果であり、繰り返し数３００００回において出
力波形に乱れが生じ、３０６００回の繰り返し数で点Ｄ
が破断した。この破断は、繰り返しの振動により、ヒン
ジ部（点Ｄ）が伸びたことによるものと考察される。

【００５２】尚、ヒンジ部が破断した装着機構（ＮＯ．
１、３、４、５、７、８、１１、１２、１３、１４）に
おいては、全て上記したような出力波形の乱れが確認さ
れた。

【００５３】図１５乃至図１７は、入力変位の加振周波
数と破断までの繰り返し数との関係を示す。

【００５４】図１５、図１６及び図１７は、それぞれＧ
ｒｏｕｐＡ、ＧｒｏｕｐＢ、ＧｒｏｕｐＣについて測定
した結果を示すものである。尚、図中、「→」で示すプ
ロットは、１０の６乗回の繰り返し数においてもヒンジ
部に破断が生じなかったことを示している。

【００５５】図１５乃至図１７に示す測定結果から、各
Ｇｒｏｕｐについて１０の６乗回の繰り返し数の使用に
耐え得る加振周波数を求めた。この使用に耐え得る加振
周波数は、ＧｒｏｕｐＡでは１５Ｈｚ、ＧｒｏｕｐＢで
は１７．５Ｈｚ、ＧｒｏｕｐＣでは、２０Ｈｚであった
（各図に点線で示す周波数の値）。従って、ヒンジ部の
厚さが大きくなれば、高速での使用に耐え得るという結
果が得られた。

【００５６】上記の測定結果により、ヒンジ部の破断
は、各リンクの慣性力によってヒンジ部に生じる繰り返
し応力による疲労破壊であると考察される。

【００５７】図１８は、Ｎｏ．１からＮｏ．１６の各装
着機構の点Ｄについて、疲労限度と破断までの繰り返し
数との関係を示す。

【００５８】このように図１８は、各装着機構の点Ｄに
ついて、疲労限度と破断までの繰り返し数との関係を示
しているが、図８乃至図１０に示すように、ヒンジ部の
破断はＮｏ．１３を除いて全て点Ｄで生じていることか
ら、リンクの慣性力により点Ｄに生じる応力の最大値
（疲労限度）と破断に至るまでの繰り返し数との関係を
求めることとしたものである。尚、リンクの慣性力によ
り点Ｄに生じる応力は、回転対偶から成る同じ装着機構
（平行四節機構）を同じ条件で動作させるときに、対偶
部（点Ｄ）に伝達される力をヒンジ部の断面積で除する
ことにより算出した。図中、「→」で示すプロットは、
１０の６乗回の繰り返し数においてもヒンジ部（点Ｄ）
に破断が生じなかったことを示している。

【００５９】図１８に示す測定結果より、疲労限度は
２．１ＭＰａであった。ポリプロピレンの引張強さを３
３ＭＰａとすれば、測定結果により算出される疲労限度
比は６．４％である。通常、高分子材料の疲労限度比が
１０％乃至５０％であることから考えると、この疲労試
験におけるヒンジ部の破断は、曲げによりクラックが発
生したときに繰り返し応力が作用したことによるもので
あると考察される。

【００６０】次に、装着機構（平行四節機構）の入出力
変位特性の測定試験について説明する。尚、この測定試
験においては、各ヒンジ部について、長さｌを２００μ
ｍ、厚さｔを１８０μｍに形成した装着機構を用いた。

【００６１】入出力変位特性の測定試験は、２つのリニ
アステッピングモータによりＸ方向、Ｚ方向それぞれに
変位入力を付与し、点ＥをＣＣＤカメラで撮影して画像
処理装置により点Ｅの出力変位を測定することにより行
った。尚、変位入力のために用いたステッピングモータ
は、ステップ分解能１０．２μｍのものであり、出力変
位の測定分解能は１０μｍである。そして、ステッピン
グモータによる入力変位は、図１９に示すように、Ｘ軸
上、Ｚ軸上及び動作領域（図２に示すＳｘ−Ｓｚの範
囲）の境界上に沿って１ｍｍ間隔で付与した。

【００６２】図２０乃至図２２は、点Ｆを固定し点Ａに
のみ変位入力を付与した場合の出力変位誤差（点Ｅの変
位誤差）を示す。

【００６３】図２０は点ＦのＺ方向における位置が０ｍ
ｍ（基準点）の場合、図２１は点ＦのＺ方向における位
置が基準点からＺ１側４ｍｍ（＋４ｍｍ）である場合、
図２２は点ＦのＺ方向における位置が基準点からＺ２側
４ｍｍ（−４ｍｍ）である場合についての測定結果を示
すものである。

【００６４】一方、図２３乃至図２５は、点Ａを固定し
点Ｆにのみ変位入力を付与した場合の出力変位誤差（点
Ｅの変位誤差）を示す。

【００６５】図２３は点ＡのＸ方向における位置が０ｍ
ｍ（基準点）の場合、図２４は点ＡのＸ方向における位
置が基準点からＸ１側６．２５ｍｍ（＋６．２５ｍｍ）
である場合、図２５は点ＡのＸ方向における位置が基準
点からＸ２側６．２５ｍｍ（−６．２５ｍｍ）である場
合についての測定結果を示すものである。

【００６６】尚、変位誤差は、装着機構を理想的な機構
として考えた場合に出力変位を付与した場合の点Ｅの位
置、即ち、点Ｅの位置の理論値からのずれである。図
中、「●」で示す誤差の絶対値は、Ｘ方向における誤差
「○」とＺ方向における誤差「△」との差を絶対値で表
わしたものである。

【００６７】また、図２０乃至図２５中、各変位（横
軸）に対してそれぞれＸ方向における変位誤差「○」と
Ｚ方向における変位誤差「△」とを２つづつ測定してい
るが、これは基準位置（各図の横軸の変位０ｍｍの位
置）から「＋」方向又は「−」方向へ順に測定を行い境
界領域まで達した後、再び基準位置に向かって「−」方
向又は「＋」方向へ順に測定を行っていることによる。
そして、この「＋」方向と「−」方向の各変位における
２つの測定点の差がヒステリシス誤差として算出され
る。

【００６８】図２０乃至図２５に示す測定値より、Ｘ方
向、Ｚ方向とも変位拡大率（入力変位の量に対する出力
変位の量）が設計値より僅かに低いこと、変位誤差はヒ
ンジ部における角度変位が大きくなる動作領域の境界付
近で大きくなること等の結果が得られた。また、出力変
位誤差は最大３４０μｍであり、ヒステリシス誤差は最
大１３０μｍであった。

【００６９】図２６は、部品の装着作業を想定してリン
クを基準点（点ＥがＸ方向、Ｚ方向とも０ｍｍの位置）
を中心にして繰り返し往復させ、点Ｅの移動軌跡を表わ
した図であり（図中、太線が移動軌跡を表わす。）、繰
り返しの往復によって点Ｅの位置繰り返し精度を測定し
た。測定は、１５回行い、−側の端点である点Ｅ１の位
置繰り返し精度は±９μｍ、＋側の端点である点Ｅ２の
位置繰り返し精度は±１１μｍであった。

【００７０】従来から用いられている部品装着装置にお
いては、通常、位置決め精度（位置繰り返し精度）が±
１００μｍであることを考えると、今回の測定結果であ
る位置繰り返し精度±９μｍ、±１１μｍという値は、
極めて精度が高いという結果が得られた。

【００７１】また、試験に用いた装着機構を実際の装着
作業に使用する場合を考察すると、例えば、装着する電
子部品が０．５ｇｆであると仮定すると、ヒンジ部の疲
労限度から算出して装着機構で保持した電子部品を基板
上に搬送するまでの時間は約０．１秒となる。そして、
電子部品の検出、認識、保持、回転、装着、不良品の排
出等に必要とされる時間をそれぞれ従来の部品装着装置
と同じ約０．１秒とすると、当該装着機構によって電子
部品を装着するために必要とされる時間は約０．８秒と
なる。

【００７２】従って、装着機構を８台以上配列して同時
作業を行うことにより現状の高速の部品装着装置と同等
以上の生産量を確保することが可能である。

【００７３】さらに、試験に用いた装着機構は、現状の
部品装着装置のヘッド（ロータリーヘッド）に対して
０．１％以下の空間しか占有せず、複数の装着機構を配
列した場合でも現状の部品装着装置に比し十分に小型化
された部品装着装置を提供することが可能である。

【００７４】以上に記載した通り、部品装着装置１にあ
っては、装着機構５、５、・・・が平面機構として設け
られ基板４、４、・・・の移動方向に沿って配列されて
いるため、各装着機構５、５、・・・が非常に小型であ
ることから部品装着装置１全体の小型化を図ることがで
きると共に装置の小型化による部品装着作業時間の短縮
化及び部品装着作業の効率化を図ることができる。ま
た、装置の小型化によるスペース効率の向上をも図るこ
とができる。

【００７５】また、装着機構５、５、・・・の動作がＸ
Ｚ平面内であり、その面方向が基板４、４、・・・の移
動方向（Ｙ方向）と直交する。従って、装着機構５、
５、・・・の制御が行い易いと共に装着機構５、５、・
・・の配置スペースが小さく、部品装着作業の適正化及
び効率化を図ることができると共に部品装着装置１の一
層の小型化を図ることができる。

【００７６】さらに、装着機構５、５、・・・が平行四
節機構として設けられているため、装着機構５、５、・
・・の制御が非常に容易であると共に動作精度が高いこ
とから、部品装着作業の一層の適正化及び効率化を図る
ことができる。

【００７７】加えて、平行四節機構を一体に形成したそ
の連結点として薄肉ヒンジ１２、１３、１４、１５を形
成しているため、部品点数の低減を図ることができると
共に機構の簡素化を図ることができる。また、連結点に
ベアリング等の騒音を発生する部材を用いないため、動
作時の騒音の防止をも図ることができる。

【００７８】尚、一般に、大変形ヒンジは、上記したよ
うに、弾性域を越える歪を生じさせることで大きな角度
変位を得ることができ、また、アスペクト比が大きいた
め動作中の回動中心の位置精度が高い。従って、薄肉ヒ
ンジ１２、１３、１４、１５を大変形ヒンジとして形成
することにより、動作の適正化及び動作の安定性の向上
を図ることができる。

【００７９】図２７乃至図３０は装着機構５、５、・・
・の姿勢又は配置位置を変更した各部品装着装置１Ａ、
１Ｂ、１Ｃ、１Ｄを示すものである。尚、図２７乃至図
３０に示す各部品装着装置１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄにつ
いては、上記した部品装着装置１の装着機構５が用いら
れているため、各部品装着装置１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ
についての装着機構５の説明については省略する。

【００８０】図２７は、部品装着装置１と異なり、第１
のリンク８がＸ軸方向に延びると共に第２のリンク９が
Ｚ軸方向に延びるようにして設けられた部品装着装置１
Ａを示すものである。そして、部品装着装置１Ａは、装
着機構５、５、・・・が基板４、４、・・・の移動方向
であるＹ方向に沿って配列されている。

【００８１】図２８は、基板が円周方向に移動される場
合に用いられる部品装着装置１Ａを示すものである。部
品装着装置１Ｂは、装着機構５、５、・・・が基板の移
動方向に沿って円周方向に配列され、放射方向に延びる
ようにして配置されている。尚、図中の矢印は、基板の
移動する方向を示している。

【００８２】図２９は、部品装着装置１Ｂと同様に基板
が円周方向に移動される場合に用いられる部品装着装置
１Ｃを示すものである。部品装着装置１Ｂは、装着機構
５、５、・・・が基板の移動方向に沿って円周方向に配
列され、基板の移動方向における接線方向に延びるよう
にして配置されている。

【００８３】図３０は、移動されてくる基板４の全ての
被装着部への部品の装着が可能なように複数の装着機構
５、５、・・・が配置された部品装着装置１Ｄを示すも
のである。部品装着装置１Ｄは、移動されてくる基板４
をＸＺ平面内で動作される複数の装着機構５、５、・・
・が周りから取り囲むようにして配置されている。

【００８４】従って、部品装着装置１Ｄにあっては、装
着機構５、５、・・・がＸＺ平面内で動作される平面機
構として設けられているため、各装着機構５、５、・・
・が非常に小型であり部品装着装置１Ｄ全体の小型化を
図ることができると共に装置の小型化によるスペース効
率の向上を図ることができる。また、複数の装着機構
５、５、・・・の同時作業により、部品装着作業時間の
短縮化及び部品装着作業の効率化を図ることができる。

【００８５】尚、上記した部品装着装置１、１Ａ、１
Ｂ、１Ｃ、１Ｄにあっては、平行四節機構である装着機
構を用いているが、例えば、装着機構は、直線状の４つ
のリンクによって形成された部分が平行四辺形状でな
く、任意の形状を有する多角形であるような機構を用い
ることも可能である。

【００８６】また、節点の数も４つに限られることな
く、異なる数の節点を有する機構を用いることも可能で
ある。

【００８７】尚、上記した実施の形態において示した各
部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明の実施を行
うに際しての具体化のほんの一例を示したものにすぎ
ず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈
されることがあってはならないものである。

【００８８】

【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明部品装着装置は、所定の配列方向に配列され
た複数の装着機構に対して相対的に所定の移動方向へ移
動する被装着物に該複数の装着機構によって部品を装着
する部品装着装置であって、装着機構が所定の平面内で
動作される平面機構として設けられ、複数の装着機構が
配列された上記所定の配列方向が上記移動方向に沿う方
向であることを特徴とする。

【００８９】従って、装着機構が平面機構として設けら
れ被装着物の移動方向に沿って配列されているため、各
装着機構が非常に小型であることから部品装着装置全体
の小型化を図ることができると共に装置の小型化による
部品装着作業時間の短縮化及び部品装着作業の効率化を
図ることができる。

【００９０】また、装置の小型化によるスペース効率の
向上をも図ることができる。

【００９１】請求項２に記載した発明にあっては、上記
所定の平面の面方向が上記移動方向と直交する方向であ
るので、装着機構の制御が行い易いと共に装着機構の配
置スペースが小さく、部品装着作業の適正化及び効率化
を図ることができると共に部品装着装置の一層の小型化
を図ることができる。

【００９２】請求項３及び請求項４に記載した発明にあ
っては、上記装着機構として、４つの略直線状のリンク
が４つの連結点を介して枠状を為すように連結された部
分を有する平行四節機構を用いたので、装着機構の制御
が非常に容易であると共に動作精度が高いことから、部
品装着作業の一層の適正化及び効率化を図ることができ
る。

【００９３】請求項５及び請求項６に記載した発明にあ
っては、上記平行四節機構を一体に形成し上記連結点と
して薄肉ヒンジを形成したので、部品点数の低減を図る
ことができると共に機構の簡素化を図ることができる。

【００９４】また、連結点にベアリング等の騒音を発生
する部材を用いないため、動作時の騒音の防止をも図る
ことができる。

【００９５】請求項７及び請求項８に記載した発明にあ
っては、上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジであるので、動
作の適正化及び動作の安定性の向上を図ることができ
る。

【００９６】請求項９乃至請求項１１に記載した発明に
あっては、上記平面機構をポリプロピレン材料によって
形成したので、平面機構の良好な動作状態の確保及び成
形性の向上を図ることができる。

【００９７】また、別の本発明部品装着装置は、複数の
装着機構によって被装着物に部品を装着する部品装着装
置であって、装着機構が所定の平面内で動作される平面
機構として設けられ、各装着機構が、該複数の装着機構
によって被装着物の全ての被装着部への部品の装着が為
される位置に配置されたことを特徴とする。

【００９８】従って、装着機構が平面機構として設けら
れているため、各装着機構が非常に小型化となると共に
装置の小型化による配置スペースの効率の向上を図るこ
とができる。

【００９９】また、複数の装着機構の同時作業により、
部品装着作業時間の短縮化及び部品装着作業の効率化を
図ることができる。

【０１００】請求項１３に記載した発明にあっては、上
記部品が被装着物の被装着面に装着され、上記所定の平
面の面方向が被装着面の面方向と直交する方向であり、
複数の装着機構を被装着面の面方向に沿って配列したの
で、装着機構の制御が行いと共に装着機構の配置スペー
スが小さく、部品装着作業の適正化及び効率化を図るこ
とができると共に部品装着装置の一層の小型化を図るこ
とができる。

【０１０１】請求項１４及び請求項１５に記載した発明
にあっては、上記装着機構として、４つの略直線状のリ
ンクが４つの連結点を介して枠状を為すように連結され
た部分を有する平行四節機構を用いたので、装着機構の
制御が非常に容易であると共に動作精度が高いことか
ら、部品装着作業の一層の適正化及び効率化を図ること
ができる。

【０１０２】請求項１６及び請求項１７に記載した発明
にあっては、上記平行四節機構を所定の方向に延び連結
点を介して連結された略直線状の複数のリンクによって
一体に形成し、上記連結点として薄肉ヒンジを形成した
ので、部品点数の低減を図ることができると共に機構の
簡素化を図ることができる。

【０１０３】また、連結点にベアリング等の騒音を発生
する部材を用いないため、動作時の騒音の防止をも図る
ことができる。

【０１０４】請求項１８及び請求項１９に記載した発明
にあっては、上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジであるの
で、動作の適正化及び動作の安定性の向上を図ることが
できる。

【０１０５】請求項２０乃至請求項２２に記載した発明
にあっては、上記平面機構をポリプロピレン材料によっ
て形成したので、平面機構の良好な動作状態の確保及び
成形性の向上を図ることができる。

【０１０６】さらに、本発明装着機構は、所定の平面内
で動作される平面機構として設けられると共に被装着物
に部品を装着する部品装着装置に用いられる装着機構で
あって、上記平面機構として４つの略直線状のリンクが
４つの連結点を介して枠状を為すように連結された部分
を有する平行四節機構を用いたので、制御が非常に容易
であると共に動作精度が高いことから、部品装着作業の
適正化及び効率化を図ることができる。

【０１０７】請求項２４に記載した発明にあっては、上
記平行四節機構を一体に形成し上記連結点として薄肉ヒ
ンジを形成したので、部品点数の低減を図ることができ
ると共に機構の簡素化を図ることができる。

【０１０８】また、連結点にベアリング等の騒音を発生
する部材を用いないため、動作時の騒音の防止をも図る
ことができる。

【０１０９】請求項２５に記載した発明にあっては、上
記薄肉ヒンジが大変形ヒンジであるので、動作の適正化
及び動作の安定性の向上を図ることができる。

【０１１０】請求項２６及び請求項２７に記載した発明
にあっては、上記平行四節機構をポリプロピレン材料に
よって形成したので、良好な動作状態の確保及び成形性
の向上を図ることができる。

【０１１１】請求項２８乃至請求項３１に記載した発明
にあっては、上記平行四節機構は被装着物に装着する部
品を保持するための保持部を有すると共に第１のアクチ
ュエータと第２のアクチュエータとによって動作され、
第１のアクチュエータによって保持部を上記所定の平面
内における第１の方向へ移動させると共に第２のアクチ
ュエータによって保持部を所定の平面内における第１の
方向と直交する第２の方向へ移動させるようにしたの
で、平行四節機構が第１のアクチュエータ６と第２のア
クチュエータ７によってそれぞれ異なる方向へ動作され
るため、平行四節機構の動作制御が複雑とならず該平行
四節機構の動作の適正化を図ることができる。

【０１１２】請求項３２及び請求項３３に記載した発明
にあっては、上記第１のアクチュエータと第２のアクチ
ュエータからの出力が、それぞれ平行四節機構の異なる
部分に為されるようにしたので、第１のアクチュエータ
と第２のアクチュエータとの干渉を防止することができ
ると共に配置スペースの自由度の向上により用い得るア
クチュエータの選択の自由度の向上を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明部品装着装置の実施の形態を示す概略斜
視図である。

【図２】装着機構とアクチュエータを示す側面図であ
る。

【図３】薄肉ヒンジを示す拡大側面図である。

【図４】図５乃至図７と共に装着機構の動作を説明する
ための図であり、本図は第１のアクチュエータからＸ１
方向への出力変位が付与された状態を示す概念図であ
る。

【図５】第１のアクチュエータからＸ２方向への出力変
位が付与された状態を示す概念図である。

【図６】第２のアクチュエータからＺ１方向への出力変
位が付与された状態を示す概念図である。

【図７】第２のアクチュエータからＺ２方向への出力変
位が付与された状態を示す概念図である。

【図８】図９乃至図２６と共に試験データを示すもので
あり、本図はＧｒｏｕｐＡにおける加振周波数と破断繰
り返し数との関係を示す図表である。

【図９】ＧｒｏｕｐＢにおける加振周波数と破断繰り返
し数との関係を示す図表である。

【図１０】ＧｒｏｕｐＣにおける加振周波数と破断繰り
返し数との関係を示す図表である。

【図１１】Ｎｏ．１６の装着機構について、繰り返し数
１０回／秒における入出力変位の応答波形を示すグラフ
図である。

【図１２】Ｎｏ．１６の装着機構について、繰り返し数
１０の６乗回／秒における入出力変位の応答波形を示す
グラフ図である。

【図１３】Ｎｏ．８の装着機構について、繰り返し数１
０回／秒における入出力変位の応答波形を示すグラフ図
である。

【図１４】Ｎｏ．８の装着機構について、繰り返し数３
００００回／秒における入出力変位の応答波形を示すグ
ラフ図である。

【図１５】ＧｒｏｕｐＡにおける加振周波数と破断繰り
返し数との関係を示すグラフ図である。

【図１６】ＧｒｏｕｐＢにおける加振周波数と破断繰り
返し数との関係を示すグラフ図である。

【図１７】ＧｒｏｕｐＣにおける加振周波数と破断繰り
返し数との関係を示すグラフ図である。

【図１８】疲労限度と点Ｄの破断までの繰り返し数との
関係を示すグラフ図である。

【図１９】ステッピングモータによる入力変位を示すグ
ラフ図である。

【図２０】点ＦのＺ方向における位置が０ｍｍの場合の
点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２１】点ＦのＺ方向における位置が＋４ｍｍの場合
の点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２２】点ＦのＺ方向における位置が−４ｍｍの場合
の点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２３】点ＡのＸ方向における位置が０ｍｍの場合の
点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２４】点ＡのＸ方向における位置が＋６．２５ｍｍ
の場合の点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２５】点ＡのＸ方向における位置が−６．２５ｍｍ
の場合の点Ｅの変位誤差を示すグラフ図である。

【図２６】リンクを基準点を中心にして繰り返し往復さ
せ、点Ｅの移動軌跡を表わした図である。

【図２７】装着機構の姿勢を変化させた状態で配置した
部品装着装置を示す概念図である。

【図２８】複数の装着機構を円周方向に配列し放射方向
に延びるようにして配置した部品装着装置を示す概念図
である。

【図２９】複数の装着機構を円周方向に配列し接線方向
に延びるようにして配置した部品装着装置を示す概念図
である。

【図３０】複数の装着機構を移動されてくる基板に対し
て周りから取り囲むようにして配置した部品装着装置を
示す概念図である。

【図３１】従来の部品装着装置を示す概略斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…部品装着装置、４…基板（被装着物）、５…装着機
構（平面機構、平行四節機構）、６…第１のアクチュエ
ータ、７…第２のアクチュエータ、８…第１のリンク
（リンク）、９…第２のリンク（リンク）、９ａ…端部
（保持部）、１０…第３のリンク（リンク）、１１…第
４のリンク（リンク）、１２…薄肉ヒンジ、１３…薄肉
ヒンジ、１４…薄肉ヒンジ、１５…薄肉ヒンジ、１Ａ…
部品装着装置、１Ｂ…部品装着装置、１Ｃ…部品装着装
置、１Ｄ…部品装着装置

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年６月２日（１９９９．６．２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１８

【補正方法】変更

【補正内容】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F060 AA07 EA01 EA05 EB13 EC13 GC00 3F061 CA01 DB06 5E313 AA01 AA11 CC09 CD06 DD12 EE01 EE02 EE23 EE24 FF24 FF28 FG02

Claims (33)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の配列方向に配列された複数の装着
   機構に対して相対的に所定の移動方向へ移動する被装着
   物に該複数の装着機構によって部品を装着する部品装着
   装置であって、 装着機構が所定の平面内で動作される平面機構として設
   けられ、 複数の装着機構が配列された上記所定の配列方向が上記
   移動方向に沿う方向であることを特徴とする部品装着装
   置。
2. 【請求項２】 上記所定の平面の面方向が上記移動方向
   と直交する方向であることを特徴とする請求項１に記載
   の部品装着装置。
3. 【請求項３】 上記装着機構として、４つの略直線状の
   リンクが４つの連結点を介して枠状を為すように連結さ
   れた部分を有する平行四節機構を用いたことを特徴とす
   る請求項１に記載の部品装着装置。
4. 【請求項４】 上記装着機構として、４つの略直線状の
   リンクが４つの連結点を介して枠状を為すように連結さ
   れた部分を有する平行四節機構を用いたことを特徴とす
   る請求項２に記載の部品装着装置。
5. 【請求項５】 上記平行四節機構を一体に形成し上記連
   結点として薄肉ヒンジを形成したことを特徴とする請求
   項３に記載の部品装着装置。
6. 【請求項６】 上記平行四節機構を一体に形成し上記連
   結点として薄肉ヒンジを形成したことを特徴とする請求
   項４に記載の部品装着装置。
7. 【請求項７】 上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジであるこ
   とを特徴とする請求項５に記載の部品装着装置。
8. 【請求項８】 上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジであるこ
   とを特徴とする請求項６に記載の部品装着装置。
9. 【請求項９】 上記平面機構をポリプロピレン材料によ
   って形成したことを特徴とする請求項１に記載の部品装
   着装置。
10. 【請求項１０】 上記平面機構をポリプロピレン材料に
    よって形成したことを特徴とする請求項７に記載の部品
    装着装置。
11. 【請求項１１】 上記平面機構をポリプロピレン材料に
    よって形成したことを特徴とする請求項８に記載の部品
    装着装置。
12. 【請求項１２】 複数の装着機構によって被装着物に部
    品を装着する部品装着装置であって、 装着機構が所定の平面内で動作される平面機構として設
    けられ、 各装着機構が、該複数の装着機構によって被装着物の全
    ての被装着部への部品の装着が為される位置に配置され
    たことを特徴とする部品装着装置。
13. 【請求項１３】 上記部品が被装着物の被装着面に装着
    され、 上記所定の平面の面方向が被装着面の面方向と直交する
    方向であり、 複数の装着機構を被装着面の面方向に沿って配列したこ
    とを特徴とする請求項１２に記載の部品装着装置。
14. 【請求項１４】 上記装着機構として、４つの略直線状
    のリンクが４つの連結点を介して枠状を為すように連結
    された部分を有する平行四節機構を用いたことを特徴と
    する請求項１２に記載の部品装着装置。
15. 【請求項１５】 上記装着機構として、４つの略直線状
    のリンクが４つの連結点を介して枠状を為すように連結
    された部分を有する平行四節機構を用いたことを特徴と
    する請求項１３に記載の部品装着装置。
16. 【請求項１６】 上記平行四節機構を所定の方向に延び
    連結点を介して連結された略直線状の複数のリンクによ
    って一体に形成し、 上記連結点として薄肉ヒンジを形成したことを特徴とす
    る請求項１４に記載の部品装着装置。
17. 【請求項１７】 上記平行四節機構を所定の方向に延び
    連結点を介して連結された略直線状の複数のリンクによ
    って一体に形成し、 上記連結点に薄肉ヒンジを形成したことを特徴とする請
    求項１５に記載の部品装着装置。
18. 【請求項１８】 上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジである
    ことを特徴と４る請求項１６に記載の部品装着装置。
19. 【請求項１９】 上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジである
    ことを特徴とする請求項１７に記載の部品装着装置。
20. 【請求項２０】 上記平面機構をポリプロピレン材料に
    よって形成したことを特徴とする請求項１２に記載の部
    品装着装置。
21. 【請求項２１】 上記平面機構をポリプロピレン材料に
    よって形成したことを特徴とする請求項１８に記載の部
    品装着装置。
22. 【請求項２２】 上記平面機構をポリプロピレン材料に
    よって形成したことを特徴とする請求項１９に記載の部
    品装着装置。
23. 【請求項２３】 所定の平面内で動作される平面機構と
    して設けられると共に被装着物に部品を装着する部品装
    着装置に用いられる装着機構であって、 上記平面機構として４つの略直線状のリンクが４つの連
    結点を介して枠状を為すように連結された部分を有する
    平行四節機構を用いたことを特徴とする装着機構。
24. 【請求項２４】 上記平行四節機構を一体に形成し上記
    連結点として薄肉ヒンジを形成したことを特徴とする請
    求項２３に記載の装着機構。
25. 【請求項２５】 上記薄肉ヒンジが大変形ヒンジである
    ことを特徴とする請求項２４に記載の装着機構。
26. 【請求項２６】 上記平行四節機構をポリプロピレン材
    料によって形成したことを特徴とする請求項２３に記載
    の装着機構。
27. 【請求項２７】 上記平行四節機構をポリプロピレン材
    料によって形成したことを特徴とする請求項２５に記載
    の装着機構。
28. 【請求項２８】 上記平行四節機構は被装着物に装着す
    る部品を保持するための保持部を有すると共に第１のア
    クチュエータと第２のアクチュエータとによって動作さ
    れ、 第１のアクチュエータによって保持部を上記所定の平面
    内における第１の方向へ移動させると共に第２のアクチ
    ュエータによって保持部を所定の平面内における第１の
    方向と直交する第２の方向へ移動させるようにしたこと
    を特徴とする請求項２３に記載の装着機構。
29. 【請求項２９】 上記平行四節機構は被装着物に装着す
    る部品を保持するための保持部を有すると共に第１のア
    クチュエータと第２のアクチュエータとによって動作さ
    れ、 第１のアクチュエータによって保持部を上記所定の平面
    内における第１の方向へ移動させると共に第２のアクチ
    ュエータによって保持部を所定の平面内における第１の
    方向と直交する第２の方向へ移動させるようにしたこと
    を特徴とする請求項２４に記載の装着機構。
30. 【請求項３０】 上記平行四節機構は被装着物に装着す
    る部品を保持するための保持部を有すると共に第１のア
    クチュエータと第２のアクチュエータとによって動作さ
    れ、 第１のアクチュエータによって保持部を上記所定の平面
    内における第１の方向へ移動させると共に第２のアクチ
    ュエータによって保持部を所定の平面内における第１の
    方向と直交する第２の方向へ移動させるようにしたこと
    を特徴とする請求項２６に記載の装着機構。
31. 【請求項３１】 上記平行四節機構は被装着物に装着す
    る部品を保持するための保持部を有すると共に第１のア
    クチュエータと第２のアクチュエータとによって動作さ
    れ、 第１のアクチュエータによって保持部を上記所定の平面
    内における第１の方向へ移動させると共に第２のアクチ
    ュエータによって保持部を所定の平面内における第１の
    方向と直交する第２の方向へ移動させるようにしたこと
    を特徴とする請求項２７に記載の装着機構。
32. 【請求項３２】 上記第１のアクチュエータと第２のア
    クチュエータからの出力が、それぞれ平行四節機構の異
    なる部分に為されるようにしたことを特徴とする請求項
    ２８に記載の装着機構。
33. 【請求項３３】 上記第１のアクチュエータと第２のア
    クチュエータからの出力が、それぞれ平行四節機構の異
    なる部分に為されるようにしたことを特徴とする請求項
    ２９に記載の装着機構。