JP2000294614A - 物品移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置・速度制御用のパルス生成回路を不要と
してモータ制御系の構成を簡単化し、且つ昇降速度を上
昇してサイクルタイムを短縮化することができる物品移
載装置を提供する。 【構成】 昇降可能且つ水平動可能な物品載置台７を備
え、ステーションＡ，Ｂ間で半導体カセット１の移載を
行う物品移載装置において、物品載置台７の昇降用の駆
動源である誘導モータ８と、その誘導モータ８の出力軸
９に同軸上に直接取り付けられた円板状の慣性体２１
と、誘導モータ８をＯＮ・ＯＦＦ制御するコントローラ
２７とを備えた。コントローラ２７はブレーキ回路２８
を有し、物品載置台７が上端位置にあることを検出する
上端センサ１７と、荷降ろし位置にあることを検出する
荷降ろしセンサ１８と、荷掬い位置にあることを検出す
る荷掬いセンサ１９と、下端位置にあることを検出する
下端センサ２０との検出信号に基づいて誘導モータ８の
回転駆動を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品載置台上の物
品を駆動モータの回転駆動により昇降させる物品移載装
置に関し、更に詳しくは、複数枚の半導体ウェハを収容
した半導体カセットを複数のステーション間で向きを変
えて或いはそのままの向きで移載する物品移載装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウェハの製造工場では、エ
ッチング・はく離、露光、投入前洗浄、洗浄・成膜、検
査等の各処理装置間を、天井走行車又は床上無人搬送車
等の搬送手段で連結し、各処理が終了した製品を搬送手
段を用いて自動的に次の工程に送るようになっている。
搬送手段と各処理装置との間には適宜ストッカ（クリー
ンデポ）が配置され、必要に応じて製品を格納するよう
になっている。

【０００３】複数の格納棚を備えたストッカは入出庫装
置を備えており、該入出庫装置により格納棚と入出庫ス
テーションとの間で製品を入出庫するようになってい
る。例えば、各処理装置は移載ロボットを備えており、
前記ストッカの入出庫ステーションと移載ロボットの移
載ステーションとの間に、両ステーション間で製品を移
載する物品移載装置が配置されている。この物品移載装
置は、製品を載置する物品載置台と、昇降用モータを含
む昇降機構と、水平移動用モータを含む水平移動機構と
を備えており、製品を持ち上げた後、必要に応じて向き
を変更しながら水平動させて、一方のステーションから
他方のステーションに製品を移載するようになってい
る。

【０００４】そして、物品移載装置の昇降用モータ及び
水平移動用モータには、パルス電力に対応して回転する
ステッピングモータが使用されていた。ステッピングモ
ータは、入力したパルス数に比例して回転角が変位し、
入力周波数に比例して回転速度が変位するという特性を
持っている。従って、急激な加減速による振動で製品が
損傷しないように、位置・速度制御用のパルス生成回路
を用いて入力パルスを制御することにより、所定の加減
速度で物品載置台を昇降及び水平移動させていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
物品移載装置でのステーション間の移載にかかるサイク
ルタイムを短縮するため、特に昇降サイクルを短縮化す
る必要が生じてきた。昇降サイクルを短縮化するために
は、昇降時の最高速度を向上させる必要があるが、ステ
ッピングモータは最高回転数近くでのトルクが低いとい
う特性を有しているので、昇降速度を向上させようとす
ると、ステッピングモータを大型化する必要がある或い
は脱調の可能性が高くなるという問題があった。また、
ステッピングモータを使用する場合、位置・速度制御用
のパルス生成回路が必要となり、制御系を含む昇降手段
が複雑化するという問題があった。

【０００６】本発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、位置・速度制御用のパルス生成回路を不要としてモ
ータ制御系の構成を簡単化し、且つ昇降速度を上昇して
サイクルタイムを短縮化することができる物品移載装置
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、昇降可能な物品載置台を備
えた物品移載装置において、物品載置台を昇降させるた
めの駆動軸に慣性体を取り付けたことを特徴とするもの
である。この発明では、物品載置台を昇降させるための
駆動軸に慣性体を取り付けたので、慣性体が駆動軸が駆
動する際の錘りとして作用し、複雑な制御回路を用いて
厳密な加減速制御を行うことなしに、単なるＯＮ・ＯＦ
Ｆ制御のみで、物品載置台の起動時及び停止時の加減速
度を緩やかなものにできる。

【０００８】請求項２記載の発明は、物品載置台を昇降
させるための駆動源である駆動モータの出力軸に前記慣
性体を取り付けたものである。この発明では、駆動モー
タの出力軸に慣性体を取り付けたので、即ち伸縮やすべ
りがある駆動伝達機構を介することなく、慣性体を駆動
源の出力軸に直接的に取り付けたので、起動時や停止時
における物品載置台の昇降方向の振動を効果的に抑制す
ることができる。

【０００９】請求項３記載の発明は、前記駆動モータは
誘導モータである。この発明では、物品載置台の昇降用
の駆動源として誘導モータを使用するので、高速回転時
にも大きなトルクを得ることができ、前記のように駆動
軸に慣性体を取り付けた場合でも、物品載置台の昇降ス
ピードを上昇してサイクルタイムを短縮化することがで
きる。

【００１０】請求項４記載の発明は、物品載置台が下端
位置にあることを検出する下端センサと、物品載置台が
荷掬いを行う直前位置にあることを検出する荷掬いセン
サと、物品載置台が荷降ろしを行う直前位置にあること
を検出する荷降ろしセンサと、物品載置台が上端位置に
あることを検出する上端センサと、各センサの検出信号
に基づいて誘導モータの回転駆動を制御するコントロー
ラとを備えたものである。この発明では、物品載置台の
下端到達は下端センサにより検出でき、荷掬いを行う直
前位置（荷掬い位置）への到達は荷掬いセンサにより検
出でき、荷降ろしを行う直前位置（荷降ろし位置）への
到達は荷降ろしセンサにより検出でき、上端位置への到
達は上端センサにより検出できる。物品載置台を複数の
ステーション間で水平移動させる場合、物品を載置した
物品載置台が上端位置にある状態で水平動可能となり、
物品を載置していない物品載置台が下端位置にある状態
で水平動可能となる。各センサの検出信号に基づいて誘
導モータの回転駆動を制御するので、ＯＮ・ＯＦＦ制御
のみで正確な昇降位置の制御が行える。

【００１１】請求項５記載の発明は、複数のステーショ
ン間で駆動モータ及び物品載置台を水平動させる水平移
動手段を備えたものである。この発明では、昇降用の駆
動モータ（誘導モータ）及び水平移動手段の作動を組み
合わせることにより、複数のステーション間で物品を移
載することができる。

【００１２】請求項６記載の発明は、前記物品は複数枚
のウェハを収容した半導体カセットであるものとする。

【００１３】

【実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面を用い
て説明するが、本発明の趣旨を越えない限り、何ら本実
施の形態に限定されるものではない。図１は本実施の形
態に係る物品移載装置を示す側面断面図であり、図２は
図１の物品移載装置のII−II線断面図であり、図３は各
動作のタイムチャートを示す説明図、図４は誘導モータ
のトルク−回転数特性を示す説明図である。

【００１４】上述したように、物品移載装置は、複数の
処理装置が配置された半導体ウェハの製造工場におい
て、ストッカ（クリーンルーム用自動倉庫）と各処理装
置との間に設置されるものである。複数枚のウェハが収
容された半導体カセット１は、ストッカ側のステーショ
ンＡと、処理装置側のステーションＢとの間で移載され
る。処理装置で所定の処理を行うために、ストッカから
半導体カセット１を出庫する際、入出庫装置により格納
棚から半導体カセット１が取り出され、ストッカの入出
庫ステーションＡに移載される。そして、物品移載装置
により処理装置側の移載ステーションＢに移載された半
導体カセット１は、処理装置が備えている移載ロボット
等により取り出される。

【００１５】また、処理装置での処理が終了し、ストッ
カに半導体カセット１を入庫する際、移載ロボット等に
より半導体カセット１が移載ステーションＢに移載さ
れ、物品移載装置によりストッカの入出庫ステーション
Ａに移載される。そして、ストッカの入出庫装置によ
り、入出庫ステーションＡの半導体カセット１が格納棚
に格納される。尚、半導体カセット１の上部には支持部
２が形成されており、該支持部２を掬い上げることによ
り、入出庫装置或いは移載ロボット等を用いて半導体カ
セット１を持ち上げることができる。

【００１６】物品移載装置は、基枠４内において左右方
向（図２の左右方向）に延びるレール５に沿って水平動
自在な移動枠６を備えている。物品載置台７を昇降させ
る駆動源である誘導モータ８は、移動枠６の上面に下向
きに（出力軸９が下方に突出するように）固着されてい
る。この誘導モータ８を回転駆動することにより、駆動
伝達機構を介して、半導体カセット１が載置される物品
載置台７を昇降させることができる。

【００１７】誘導モータ８は、固定子巻線に流れる交流
電流によって発生する回転磁界と、ロータ部に発生する
誘導電流との相互作用によって回転力が生ずるものであ
る。その誘導モータ８のトルクと回転数との関係は図３
に示すような特性となる。図３において、トルクが零と
なる回転数Ｎ１は同期速度であり、電源周波数とポール
数（磁極数）により規定される。例えば、電源周波数が
６０Ｈｚ、ポール数が４極であれば、同期速度は１８０
０ｒｐｍとなる。実際には、誘導モータ８の出力軸９
は、同期速度から負荷に応じたすべり分だけ低い回転速
度で回転する。図３から分かるように、誘導モータ８は
高速回転時にも高いトルクを有するものである。

【００１８】誘導モータ８の駆動伝達機構は、出力軸９
に同軸上に取り付けられたプーリー１０と、出力軸９と
平行に配置されたボールネジ（昇降軸）１１と、ボール
ネジ１１の下端に取り付けられたプーリー１２と、両プ
ーリー１０，１２間に掛け渡されたベルト１３とを備え
ている。即ち、誘導モータ８の出力軸９と所定間隔をお
いて平行に配置されたボールネジ１１との間には、プー
リー１０，１２及びベルト１３より構成される駆動伝達
機構が配置されている。尚、誘導モータ８の出力軸９と
同軸上に取り付けられたプーリー１０の径は、ボールネ
ジ１１と同軸上に取り付けられたプーリー１２の径より
大きくなっている。このような構成により、誘導モータ
８（出力軸９）が回転駆動すると、プーリー１０，ベル
ト１３，プーリー１２を介してボールネジ１１が回転す
るようになっている。

【００１９】ボールネジ１１には昇降部材１４が噛み合
っており、ボールネジ１１が回転すると昇降部材１４が
昇降するようになっている。昇降部材１４の上方には支
持シャフト１５を介して物品載置台７が取り付けられ、
ボールネジ１１の正逆回転に伴って、昇降部材１４，支
持シャフト１５及び物品載置台７が上昇又は下降するよ
うになっている。

【００２０】昇降部材１４は、移動枠６の上面に取り付
けられた支持枠１６内を昇降する。支持枠１６の内面に
は、昇降部材１４が所定の高さにあることを検出する複
数のセンサ１７，１８，１９，２０が設置されている。
これらのセンサは例えば光学式センサを使用することが
でき、上方から順に、上端センサ１７，荷降ろしセンサ
１８，荷掬いセンサ１９，下端センサ２０となってい
る。上端センサ１７が昇降部材１４を検出している時
（図１の状態）、物品載置台７は最上端位置にある。荷
降ろしセンサ１８が昇降部材１４を検出している時、物
品載置台７は荷降ろしを行う直前位置（荷降ろし位置）
にある。物品載置台７が荷降ろし位置にある時、物品載
置台７の物品載置面（上面）は基枠４側の移載面（基枠
４の上面）よりやや高い位置にある。尚、荷降ろしと
は、物品載置台７が移載面（基枠４の上面）を越えて下
降することにより、物品載置台７上の半導体カセット１
が移載面に移載されることを言う。

【００２１】荷掬いセンサ１９が昇降部材１４を検出し
ている時、物品載置台７は荷掬いを行う直前位置（荷掬
い位置）にある。物品載置台７が荷掬い位置にある時、
物品載置台７の物品載置面（上面）は基枠４側の移載面
（基枠４の上面）よりやや低い位置にある。尚、荷掬い
とは、物品載置台７が移載面（基枠４の上面）を越えて
上昇することにより、物品載置台７上の半導体カセット
１を掬い上げることを言う。下端センサ２０が昇降部材
１４を検出している時、物品載置台７は最下端位置にあ
る。

【００２２】誘導モータ８の出力軸９には、プーリー１
０の下側に位置するようにして、円板状の慣性体２１が
直接的に取り付けられている。出力軸９に慣性体２１を
取り付けたことにより、誘導モータ８の加減速時におい
て、慣性体２１が錘りとして作用し、その加減速度を緩
やかにして物品載置台７の昇降方向の振動を抑制するこ
とができる。

【００２３】次に、物品載置台７の水平動について説明
する。物品載置台７の水平移動手段は、基枠４内の左右
一方の端部に鉛直上向きに設置された水平動用モータ２
２と、モータ２２の出力軸２３に取り付けられたプーリ
ー２４と、基枠４内の左右他方の端部に設置されたプー
リー２５と、両プーリー２４，２５間に水平に掛け渡さ
れたベルト２６とを備えている。水平動用モータ２２は
ステッピングモータが使用され、図示しないパルス生成
回路を用いて所定のパルスを生成することにより、特別
にセンサを設けることなく、物品載置台７の所望の位置
・速度制御を可能としている。このような構成により、
モータ２２が回転すると、出力軸２３及びプーリー２４
を介してベルト２６が走行駆動することにより、物品載
置台７の昇降機構を搭載した移動枠６がレール５に沿っ
て左右方向に水平動するようになっている。

【００２４】物品載置台７の昇降用の駆動源である誘導
モータ８は、ブレーキ回路２８を備えたコントローラ２
７により制御される。コントローラ２７は、各センサ１
７〜２０の検出信号に基づいて、電源２９からの電源供
給（制御指令）をＯＮ・ＯＦＦすることにより誘導モー
タ８を駆動・停止させる。電源供給がＯＮすると誘導モ
ータ８は回転し、電源供給がＯＦＦすると、所定時間経
過後ブレーキ回路２８による電子ブレーキ作用が働くよ
うになっている。尚、この電源ＯＦＦからブレーキ（電
子ブレーキ）作用までの遅延時間は任意に設定可能であ
り、負荷に応じて予め好ましい値に設定することができ
る。このように、電源供給がＯＦＦした後、所定の遅延
時間経過後にブレーキを作用させることにより、急激な
減速による物品載置台７の振動をより確実に防止するこ
とができる。また、コントローラ２７はパルス生成回路
（図示略）を有し、前記水平移動用の水平動用モータ２
２に対するパルス電力の供給も行う。

【００２５】次に、図３のタイムチャートを用いて、物
品移載装置の移載動作について説明する。物品移載装置
は、ステーションＡにおいて、半導体カセット１を載置
していない物品載置台７が最下端位置から最上端位置ま
で上昇する過程で半導体カセット１を掬い上げ、その状
態でステーションＢまで水平動した後、最上端位置から
最下端位置まで下降する過程で半導体カセット１を基枠
６側に移載する。このような動作により、ステーション
Ａにある半導体カセット１をステーションＢに移載する
ことができる。ステーションＢに移載した後は、物品載
置台７が最下端位置にある状態でステーションＡまで水
平動し、その後上記と同様の動作により次の半導体カセ
ット１の移載が行える。

【００２６】まず、物品載置台７がステーションＡの最
下端位置にあるとする。この時、下端センサ２０はＯＮ
している（図３（ｃ）参照）。コントローラ２７により
制御指令がＯＮされると（図３（ａ）参照）、物品載置
台７は上昇を開始する（図３（ｂ）参照）。上昇開始
後、直ちに下端センサ２０はＯＦＦとなる（図３（ｃ）
参照）。物品載置台７の上昇中において、荷掬いセンサ
１９がＯＮすると（図３（ｄ）参照）、制御指令はＯＦ
Ｆとなり（図３（ａ）参照）、所定の遅延時間経過後、
ブレーキ回路２８により誘導モータ８にブレーキを作用
させて、物品載置台７の上昇は一瞬だけ停止される（図
３（ｄ）参照）。この時、物品載置台７は、基枠６上に
ある半導体カセット１下面に近接した荷掬い位置にあ
る。

【００２７】所定時間経過後、再び制御指令がＯＮする
と（図３（ａ）参照）、物品載置台７は上昇を再開する
（図３（ｂ）参照）。上昇再開後、直ちに荷掬いが行わ
れるとともに、荷掬いセンサ１９はＯＦＦとなる（図３
（ｄ）参照）。物品載置台７の上昇中において、上端セ
ンサ１７がＯＮすると（図３（ｅ）参照）、制御指令は
ＯＦＦとなり（図３（ａ）参照）、所定の遅延時間経過
後、ブレーキ回路２８により誘導モータ８にブレーキを
作用させて、物品載置台７の上昇は停止される（図３
（ｂ）参照）。このように、物品載置台７が最下端位置
から上昇を開始した後、最上端位置に到達するまでの時
間が上昇サイクルとなる。コントローラ２７は、物品載
置台７が最上端位置で停止中に、水平動用モータ２２を
回転駆動して物品載置台７をステーションＢの位置まで
水平動させる。

【００２８】その後、物品載置台７がステーションＢの
最上端位置にある状態で制御指令がＯＮすると（図３
（ａ）参照）、下降を開始する（図３（ｂ）参照）。下
降開始後、直ちに上端センサ１７はＯＦＦとなる（図３
（ｅ）参照）。物品載置台７が下降中において、荷降ろ
しセンサ１８がＯＮすると（図３（ｆ）参照）、制御指
令はＯＦＦとなり（図３（ａ）参照）、所定の遅延時間
経過後、ブレーキ回路２８により誘導モータ８にブレー
キを作用させて、物品載置台７の下降は一瞬だけ停止さ
れる（図３（ｂ）参照）。この時、物品載置台７は、基
枠６の移載面に近接した荷降ろし位置にある。

【００２９】所定時間経過後、再び制御指令がＯＮする
と（図３（ａ）参照）、物品載置台７は下降を再開する
（図３（ｂ）参照）。下降再開後、直ちに荷降ろしが行
われるとともに、荷降ろしセンサ１８がＯＦＦとなる
（図３（ｆ）参照）。物品載置台７の下降中において、
下端センサ２０がＯＮすると（図３（ｃ）参照）、制御
指令はＯＦＦとなり（図３（ａ）参照）、所定の遅延時
間経過後、ブレーキ回路２８により誘導モータ８にブレ
ーキを作用させて、物品載置台７の下降が停止される
（図３（ｂ）参照）。このように、物品載置台７が最上
端位置から下降を開始した後、最下端位置に到達するま
での時間が下降サイクルとなる。コントローラ２７は、
物品載置台７が最下端位置で停止中に、水平動用モータ
２２を回転駆動して物品載置台７をステーションＡの位
置まで水平動させる。

【００３０】物品載置台７を荷掬い位置で一瞬停止した
後、再加速して荷掬いを行い、物品載置台７を荷降ろし
位置で一瞬停止した後、再加速して荷降ろしを行うの
で、荷掬い時及び荷降ろし時の衝撃を抑制することがで
きる。

【００３１】図３（ｇ）に本実施の形態に係る物品移載
装置における昇降時の半導体カセット１の上下方向の振
動量、図３（ｈ）に慣性体２１が無い状態での上下方向
の振動量を示す。図３に示す測定結果は、半導体カセッ
ト１に振動センサを取り付けて測定したものである。図
３（ｈ）に示すように、慣性体２１が無い場合、半導体
カセット１を載置した状態での物品載置台７の加減速
時、即ち、荷掬い時（ａ部分）、最上端位置での停止時
（ｂ部分）、最上端位置からの下降開始時（ｃ部分）、
荷降ろし位置への停止時（ｄ部分）、荷降ろし時（ｅ部
分）の振動量が大きくなっている。それに対して、図３
（ｇ）に示すように、本実施の形態に係る物品移載装置
では、ａ部分〜ｅ部分の全てにおいて振動量がさほど大
きくならない。従って、加減速時の振動により、半導体
カセット１内のウェハが損傷するのを防止できる。

【００３２】このように、本実施の形態では、昇降用の
誘導モータ８の出力軸９に慣性体２１を取り付けたの
で、物品載置台７の加減速時の加減速度が緩やかにな
り、半導体カセット１を載置した物品載置台７の振動を
抑制することができる。即ち、ベルト１３等の駆動伝達
機構を介することなく、誘導モータ８の出力軸９に直接
同軸上に慣性体２１を取り付けたので、ベルト１３の伸
縮或いはベルト１３及びプーリー１０，１２間のすべり
等を介することなく、誘導モータ８の加減速時の振動を
直接的且つ効果的に抑制することができる。

【００３３】尚、本実施の形態では、ステーションＡか
らステーションＢの間で物品載置台７が水平動する際
に、平面的な向きの変更は行われないようにしたが、移
載装置に適合するために、水平移動中に水平方向に所定
角度だけ回転（向き変更）するようにしてもよい。

【００３４】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されるので、
以下のような効果を奏する。請求項１記載の発明によれ
ば、物品載置台を昇降させるための駆動軸に慣性体を取
り付けたので、簡単な制御構成により、物品載置台の起
動時及び停止時において、加減速度を緩やかなものにし
て昇降方向の振動を抑制し、物品載置台上の物品を確実
に保護することができる。

【００３５】請求項２記載の発明によれば、駆動源の出
力軸と同軸上に慣性体を取り付けたので、即ち伸縮やす
べりがある駆動伝達機構を介することなく、駆動源の出
力軸に直接的に取り付けたので、起動時や停止時におけ
る物品載置台の昇降方向の振動を最も効果的に抑制する
ことができる。

【００３６】請求項３記載の発明によれば、物品載置台
の昇降用の駆動源として誘導モータを使用するので、高
速回転時にも大きなトルクを得ることができる。従っ
て、前記のように駆動軸に慣性体を取り付けて加減速度
を緩やかにするとともに、慣性体を取り付けた場合で
も、物品載置台の昇降スピードを上昇してサイクルタイ
ムを短縮化することができる。

【００３７】請求項４記載の発明によれば、各センサの
検出信号に基づいて昇降位置の正確な制御が行える。荷
掬いセンサを設けたので、荷掬いを行う直前位置で物品
載置台を一旦停止或いは減速した後に荷掬いを行うこと
ができ、荷掬い時の衝撃から物品を保護することができ
る。また、荷降ろしセンサを設けたので、荷降ろしを行
う直前位置で物品載置台を一旦停止或いは減速した後に
荷降ろしを行うことができ、荷降ろし時の衝撃から物品
を保護することができる。

【００３８】請求項５記載の発明によれば、複数のステ
ーション間で駆動モータ及び物品載置台を水平動させる
水平移動手段を備えたので、昇降用の誘導モータと水平
移動手段との作動を組み合わせることにより複数のステ
ーション間で物品を移載することができる。

【００３９】請求項６記載の発明によれば、前記物品は
特に振動に弱い複数枚のウェハを収容した半導体カセッ
トであるので、振動抑制による保護という点から特に有
効に作用するものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態に係る物品移載装置を示す側面断
面図である。

【図２】図１の物品移載装置のII−II線断面図である。

【図３】各動作のタイムチャートを示す説明図である。

【図４】昇降用の誘導モータのトルク−回転数特性を示
す説明図である。

【符号の説明】

Ａ，Ｂ…ステーション、１…半導体カセット、６…移動
枠、７…物品載置台、８…誘導モータ（昇降用）、９…
出力軸、１１…ボールネジ、１４…昇降部材、１５…支
持シャフト、１６…支持枠、１７…上端センサ、１８…
荷降ろしセンサ、１９…荷掬いセンサ、２０…下端セン
サ、２１…慣性体、２２…水平動用モータ、２３…出力
軸、２７…コントローラ、２８…ブレーキ回路、２９…
電源

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 昇降可能な物品載置台を備えた物品移載
   装置において、物品載置台を昇降させるための駆動軸に
   慣性体を取り付けたことを特徴とする物品移載装置。
2. 【請求項２】 物品載置台を昇降させるための駆動源で
   ある駆動モータの出力軸に前記慣性体を取り付けた請求
   項１記載の物品移載装置。
3. 【請求項３】 前記駆動モータは誘導モータである請求
   項２記載の物品移載装置。
4. 【請求項４】 物品載置台が下端位置にあることを検出
   する下端センサと、物品載置台が荷掬いを行う直前位置
   にあることを検出する荷掬いセンサと、物品載置台が荷
   降ろしを行う直前位置にあることを検出する荷降ろしセ
   ンサと、物品載置台が上端位置にあることを検出する上
   端センサと、各センサの検出信号に基づいて誘導モータ
   の回転駆動を制御するコントローラとを備えた請求項３
   記載の物品移載装置。
5. 【請求項５】 複数のステーション間で駆動モータ及び
   物品載置台を水平動させる水平移動手段を備えた請求項
   ２〜４のいずれかに記載の物品移載装置。
6. 【請求項６】 前記物品は複数枚のウェハを収容した半
   導体カセットである請求項１〜５のいずれかに記載の物
   品移載装置。