JP2000286487A - レーザ光発生装置 - Google Patents
レーザ光発生装置Info
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- JP2000286487A JP2000286487A JP11093563A JP9356399A JP2000286487A JP 2000286487 A JP2000286487 A JP 2000286487A JP 11093563 A JP11093563 A JP 11093563A JP 9356399 A JP9356399 A JP 9356399A JP 2000286487 A JP2000286487 A JP 2000286487A
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- optical resonator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定に且つ確実に制御ループの引き込み動作
を行い、所定の光共振器長を高い精度で維持することが
できるようにする。 【解決手段】 レーザ光源１から出射されたレーザ光を
電気光学位相変調器２により位相変調して光共振器３に
入射し、ロッキング回路６により、上記光共振器３によ
り反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変
調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる
誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変さ
せる位置決め素子８を帰還制御して、上記光共振器３の
共振器長を周波数同期ロックし、入射されたレーザ光を
波長変換素子４により波長変換して、高次のレーザ光を
上記光共振器３から取り出す。制御装置７は、上記ロッ
キング回路６により上記位置決め素子８を帰還制御する
制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み
時に漸増させる。
を行い、所定の光共振器長を高い精度で維持することが
できるようにする。 【解決手段】 レーザ光源１から出射されたレーザ光を
電気光学位相変調器２により位相変調して光共振器３に
入射し、ロッキング回路６により、上記光共振器３によ
り反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変
調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる
誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変さ
せる位置決め素子８を帰還制御して、上記光共振器３の
共振器長を周波数同期ロックし、入射されたレーザ光を
波長変換素子４により波長変換して、高次のレーザ光を
上記光共振器３から取り出す。制御装置７は、上記ロッ
キング回路６により上記位置決め素子８を帰還制御する
制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み
時に漸増させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源からの
出射光を基にしてより短波長のレーザ光を発生するレー
ザ光発生装置に関する。
出射光を基にしてより短波長のレーザ光を発生するレー
ザ光発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、短波長のレーザ光を発生する
ための方法として、例えばレーザ光源の出力光を外部光
共振器に結合・共振させ、その共振器内部に配置された
波長変換素子により入力光の半分の波長の出力光を発生
させる光第２高調波発生（ＳＨＧ）を利用する方法が知
られている。
ための方法として、例えばレーザ光源の出力光を外部光
共振器に結合・共振させ、その共振器内部に配置された
波長変換素子により入力光の半分の波長の出力光を発生
させる光第２高調波発生（ＳＨＧ）を利用する方法が知
られている。
【０００３】例えば、図５に概略構成を示すように、可
視光ないしは近赤外線を発生するレーザ光源１１、内部
に波長変換素子１３が配置された光共振器１２、この光
共振器１２を所定の共振器長にロッキングするドレバー
ロッキング回路１５、ドレバーロッキングに用いる電気
光学位相変調器１６及び光検出素子１８などから構成さ
れた連続発振紫外線レーザ光発生装置が提案されてい
る。
視光ないしは近赤外線を発生するレーザ光源１１、内部
に波長変換素子１３が配置された光共振器１２、この光
共振器１２を所定の共振器長にロッキングするドレバー
ロッキング回路１５、ドレバーロッキングに用いる電気
光学位相変調器１６及び光検出素子１８などから構成さ
れた連続発振紫外線レーザ光発生装置が提案されてい
る。
【０００４】この連続発振紫外線レーザ光発生装置は、
レーザ光源１１から光共振器１２に入射される波長５３
２ｎｍのグリーンレーザ光を上記光共振器１２内に配置
された波長変換素子１３によって２６６ｎｍの紫外線レ
ーザ光に波長変換して、光共振器１２から２６６ｎｍの
紫外線レーザ光を取り出すようになっている。
レーザ光源１１から光共振器１２に入射される波長５３
２ｎｍのグリーンレーザ光を上記光共振器１２内に配置
された波長変換素子１３によって２６６ｎｍの紫外線レ
ーザ光に波長変換して、光共振器１２から２６６ｎｍの
紫外線レーザ光を取り出すようになっている。
【０００５】上記光共振器１２は、４つのミラーＭ１〜
Ｍ４より構成され、電磁位置決め素子（ＶＣＭ）１７の
駆動によりミラーＭ１を微少移動させて、共振器長を微
少変化させることができるようになっている。このよう
な構成の光共振器１２は、共振器長を制御することによ
って、ある特定の周波数の光のみ、この光共振器１２内
に引き込み、それ以外の周波数の光は上記ミラーＭ１に
よって反射するように動作する。
Ｍ４より構成され、電磁位置決め素子（ＶＣＭ）１７の
駆動によりミラーＭ１を微少移動させて、共振器長を微
少変化させることができるようになっている。このよう
な構成の光共振器１２は、共振器長を制御することによ
って、ある特定の周波数の光のみ、この光共振器１２内
に引き込み、それ以外の周波数の光は上記ミラーＭ１に
よって反射するように動作する。
【０００６】図６は、この光共振器１３の反射率特性を
示す。横軸は入射光の周波数、縦軸は反射率である。こ
のように、共振周波数ｆｒの光に対しては反射率は０％
で、それ以外の光に対しては反射率はほぼ１００％であ
る。共振周波数ｆｒは外部共振器の光路長によって決定
される。透過し得る周波数の幅Δｆｒは、各々のミラー
の反射率によって決まる。
示す。横軸は入射光の周波数、縦軸は反射率である。こ
のように、共振周波数ｆｒの光に対しては反射率は０％
で、それ以外の光に対しては反射率はほぼ１００％であ
る。共振周波数ｆｒは外部共振器の光路長によって決定
される。透過し得る周波数の幅Δｆｒは、各々のミラー
の反射率によって決まる。
【０００７】一方、レーザ光源１１から光共振器１２に
導入される入射レーザ光の周波数ｆＬは、図７に示すよ
うに、或る一定の広がりΔｆＬをもって分布している。
しかしながら、このΔｆＬはΔｆｒに比べて十分小さ
い。
導入される入射レーザ光の周波数ｆＬは、図７に示すよ
うに、或る一定の広がりΔｆＬをもって分布している。
しかしながら、このΔｆＬはΔｆｒに比べて十分小さ
い。
【０００８】ドレバーロッキングでは、光共振器１２か
らの反射光をフォトダイオード等の光検出素子１８によ
り検出する。この光検出素子１８により検出される反射
光強度は、図６で示す光共振器１２の反射率と、図７で
示すレーザの周波数との掛け算によって得られる。例え
ば、ミラーＭ１の位置を移動して、共振周波数ｆｒを図
８（ａ）で示すように、例えばＡの位置からＥの位置ま
で変化させたとする。このとき、反射光強度は図８
（ｃ）のように変化する。ミラーＭ１の位置を反射光強
度が０となる点（図８のＣ位置）に固定すれば、共振周
波数ｆｒとレーザ周波数が一致し、入射レーザ光が光共
振器１２内に引き込まれる。
らの反射光をフォトダイオード等の光検出素子１８によ
り検出する。この光検出素子１８により検出される反射
光強度は、図６で示す光共振器１２の反射率と、図７で
示すレーザの周波数との掛け算によって得られる。例え
ば、ミラーＭ１の位置を移動して、共振周波数ｆｒを図
８（ａ）で示すように、例えばＡの位置からＥの位置ま
で変化させたとする。このとき、反射光強度は図８
（ｃ）のように変化する。ミラーＭ１の位置を反射光強
度が０となる点（図８のＣ位置）に固定すれば、共振周
波数ｆｒとレーザ周波数が一致し、入射レーザ光が光共
振器１２内に引き込まれる。
【０００９】ところが、現実には入射レーザ光の周波数
は、上述したように時々刻々揺らいでいるため、実際に
はレーザの周波数ｆＬと共振周波数ｆｒのずれを検出し
て、絶えずミラーＭ１の位置を追随させなければならな
い。このためには、上述した反射光強度が０となる位置
を検出するだけでは不十分である。なぜなら、反射光強
度を検出するだけでは、ｆｒとｆＬがずれたとき、ｆｒ
＜ｆＬなのか（図８のＢ位置）、ｆｒ＞ｆＬなのか（図
８のＤ位置）を区別することができないためである（ｆ
ｒ＝ｆＬなる点を中心として偶関数）。
は、上述したように時々刻々揺らいでいるため、実際に
はレーザの周波数ｆＬと共振周波数ｆｒのずれを検出し
て、絶えずミラーＭ１の位置を追随させなければならな
い。このためには、上述した反射光強度が０となる位置
を検出するだけでは不十分である。なぜなら、反射光強
度を検出するだけでは、ｆｒとｆＬがずれたとき、ｆｒ
＜ｆＬなのか（図８のＢ位置）、ｆｒ＞ｆＬなのか（図
８のＤ位置）を区別することができないためである（ｆ
ｒ＝ｆＬなる点を中心として偶関数）。
【００１０】そこで、ｆｒ＞ｆＬとｆｒ＜ｆＬの場合
で、正負が反転するようなエラー信号を発生させ、その
信号を用いて共振周波数ｆｒをレーザ周波数ｆＬに同調
させるサーボを行う必要がある。そのために、位相変調
器１６によりレーザ光に位相変調を行い、レーザ光の周
波数にサイドバンドを発生させる手法をとる。周波数ｆ
ｍで位相変調を行うと、レーザの周波数に加え、図９で
示すように、周波数ｆＬ±ｆｍにサイドバンドが発生す
る。
で、正負が反転するようなエラー信号を発生させ、その
信号を用いて共振周波数ｆｒをレーザ周波数ｆＬに同調
させるサーボを行う必要がある。そのために、位相変調
器１６によりレーザ光に位相変調を行い、レーザ光の周
波数にサイドバンドを発生させる手法をとる。周波数ｆ
ｍで位相変調を行うと、レーザの周波数に加え、図９で
示すように、周波数ｆＬ±ｆｍにサイドバンドが発生す
る。
【００１１】次に、このサイドバンドが発生したレーザ
光を光共振器１２に入射したときの反射光より、エラー
信号を発生させる原理を図１０の反射光強度スペクトル
図を参照して以下に説明する。光共振器１２からの反射
光は、周波数ｆＬ−ｆｍ，ｆＬ，ｆＬ＋ｆｍの３つの成
分からなる（図１０のＩ−ｂ〜ＩＩＩ−ｂ）。この反射
光を光検出素子１８で検出すると、以下の３つの成分の
信号電流が測定される。
光を光共振器１２に入射したときの反射光より、エラー
信号を発生させる原理を図１０の反射光強度スペクトル
図を参照して以下に説明する。光共振器１２からの反射
光は、周波数ｆＬ−ｆｍ，ｆＬ，ｆＬ＋ｆｍの３つの成
分からなる（図１０のＩ−ｂ〜ＩＩＩ−ｂ）。この反射
光を光検出素子１８で検出すると、以下の３つの成分の
信号電流が測定される。
【００１２】１．直流の反射光強度成分ＩＤＣ２．周波
数ｆＬおよびｆＬ−ｆｍの２つの光の差周波による周波
数ｆｍのビート信号（振幅Ａ）ＩＡＣ１、ＩＡＣ１＝Ａ
ｅｘｐ〔−ｉ２πｆｍｔ〕３．周波数ｆＬおよびｆＬ＋
ｆｍの２つの光の差周波による周波数ｆｍのビート信号
（振幅Ｂ）ＩＡＣ２、ＩＡＣ２＝Ｂｅｘｐ〔ｉ２πｆｍ
ｔ〕
数ｆＬおよびｆＬ−ｆｍの２つの光の差周波による周波
数ｆｍのビート信号（振幅Ａ）ＩＡＣ１、ＩＡＣ１＝Ａ
ｅｘｐ〔−ｉ２πｆｍｔ〕３．周波数ｆＬおよびｆＬ＋
ｆｍの２つの光の差周波による周波数ｆｍのビート信号
（振幅Ｂ）ＩＡＣ２、ＩＡＣ２＝Ｂｅｘｐ〔ｉ２πｆｍ
ｔ〕
【００１３】いま、ミラーＭ１を移動して図１０のＩ−
ａからＩＩＩ−ａで示すように、光共振器２の共振周波
数をレーザ周波数前後で変化させると、反射光のスペク
トルはＩ−ａのときＩ−ｂのように、ＩＩ−ａのときＩ
Ｉ−ｂのように、ＩＩＩ−ａのときＩＩＩ−ｂで示すよ
うに変化する。すなわち、共振周波数がレーザ周波数と
一致する前後で、周波数ｆＬ−ｆｍの光強度と周波数ｆ
Ｌ＋ｆｍの光強度の大小が反転する。このことから、２
つのビート信号ＩＡＣ１およびＩＡＣ２の強度Ａおよび
Ｂの大小も共振点付近で反転することが分かる。そして
この強度ＡおよびＢの大小関係が反転する点を検出して
その位置にミラーＭ１を合わせることにより共振周波数
とレーザ周波数を一致させる。
ａからＩＩＩ−ａで示すように、光共振器２の共振周波
数をレーザ周波数前後で変化させると、反射光のスペク
トルはＩ−ａのときＩ−ｂのように、ＩＩ−ａのときＩ
Ｉ−ｂのように、ＩＩＩ−ａのときＩＩＩ−ｂで示すよ
うに変化する。すなわち、共振周波数がレーザ周波数と
一致する前後で、周波数ｆＬ−ｆｍの光強度と周波数ｆ
Ｌ＋ｆｍの光強度の大小が反転する。このことから、２
つのビート信号ＩＡＣ１およびＩＡＣ２の強度Ａおよび
Ｂの大小も共振点付近で反転することが分かる。そして
この強度ＡおよびＢの大小関係が反転する点を検出して
その位置にミラーＭ１を合わせることにより共振周波数
とレーザ周波数を一致させる。
【００１４】これら強度ＡおよびＢの大小の判定には、
光検出素子１８からの交流信号ＩＡＣの位相遅延量を利
用する。ＩＡＣはＩＡＣ１とＩＡＣ２の線形結合とな
り、ＡとＢの比に対応して位相遅延量φをもつ。
光検出素子１８からの交流信号ＩＡＣの位相遅延量を利
用する。ＩＡＣはＩＡＣ１とＩＡＣ２の線形結合とな
り、ＡとＢの比に対応して位相遅延量φをもつ。
【００１５】ＩＡＣ＝Ａｅｘｐ〔−ｉ２πｆｍｔ〕＋Ｂ
ｅｘｐ〔ｉ２πｆｍｔ〕＝Ｃｅｘｐｉ（２πｆｍｔ＋
φ）このφは、ｆｒ＝ｆＬとなる点を中心とした奇関数
となるので、エラー信号とすることができる。そこでφ
をロックイン検出して、その信号によりミラーＭ１の位
置制御を行う電磁位置決め素子１７にサーボをかけるこ
とにより、光共振周器１２の共振器長すなわち共振周波
数を入射レーザ光の周波数に一致させ、このレーザ光を
共振器内部に効率よく引き込む。図１１にこのエラー信
号（図１１中曲線Ｓ）の一例を示す。
ｅｘｐ〔ｉ２πｆｍｔ〕＝Ｃｅｘｐｉ（２πｆｍｔ＋
φ）このφは、ｆｒ＝ｆＬとなる点を中心とした奇関数
となるので、エラー信号とすることができる。そこでφ
をロックイン検出して、その信号によりミラーＭ１の位
置制御を行う電磁位置決め素子１７にサーボをかけるこ
とにより、光共振周器１２の共振器長すなわち共振周波
数を入射レーザ光の周波数に一致させ、このレーザ光を
共振器内部に効率よく引き込む。図１１にこのエラー信
号（図１１中曲線Ｓ）の一例を示す。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、紫外線レー
ザ光発生装置における光共振器のミラーの位置決めに
は、数オングストロームのオーダーの位置決め精度が必
要であり、そのために、光共振器の可動ミラーの位置を
電磁位置決め素子により帰還制御するサーボ系は、広帯
域（ユニティゲイン２０ｋＨｚ以上）かつ高ゲイン（Ｄ
Ｃ付近のゲイン９０ｄｂ以上）のものが要求される。ま
た、同期検波信号をの誤差信号の検出範囲も同様に数オ
ングストロームの幅となる。
ザ光発生装置における光共振器のミラーの位置決めに
は、数オングストロームのオーダーの位置決め精度が必
要であり、そのために、光共振器の可動ミラーの位置を
電磁位置決め素子により帰還制御するサーボ系は、広帯
域（ユニティゲイン２０ｋＨｚ以上）かつ高ゲイン（Ｄ
Ｃ付近のゲイン９０ｄｂ以上）のものが要求される。ま
た、同期検波信号をの誤差信号の検出範囲も同様に数オ
ングストロームの幅となる。
【００１７】そこで、従来の紫外線レーザ光発生装置で
は、必要な位置決め精度を保ちサーボロックが外れるこ
とのないように、光共振器の光学系を支持するベース板
に線膨張率が極めて小さいインバー材等の材料を使用す
る必要があり、コスト高となっていた。また、上記光共
振器の可動ミラーの位置を電磁位置決め素子により帰還
制御するサーボ系では、サーボロックしていない状態か
らロック状態へ遷移する場合に、高ゲインのために安定
してサーボがかからないことがあった。さらに、ロック
した後に、外部からの振動などでロックが外れた場合
に、自動的に再ロックすることが困難であった。
は、必要な位置決め精度を保ちサーボロックが外れるこ
とのないように、光共振器の光学系を支持するベース板
に線膨張率が極めて小さいインバー材等の材料を使用す
る必要があり、コスト高となっていた。また、上記光共
振器の可動ミラーの位置を電磁位置決め素子により帰還
制御するサーボ系では、サーボロックしていない状態か
らロック状態へ遷移する場合に、高ゲインのために安定
してサーボがかからないことがあった。さらに、ロック
した後に、外部からの振動などでロックが外れた場合
に、自動的に再ロックすることが困難であった。
【００１８】そこで、本発明の目的は、安定に且つ確実
に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長
を高い精度で維持することができるようにしたレーザ光
発生装置を提供することにある。
に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長
を高い精度で維持することができるようにしたレーザ光
発生装置を提供することにある。
【００１９】また、本発明の他の目的は、外部からの振
動などでロックが外れた場合に、自動的に再ロックし
て、所定の光共振器長を高い精度で維持することができ
るようにしたレーザ光発生装置を提供することにある。
動などでロックが外れた場合に、自動的に再ロックし
て、所定の光共振器長を高い精度で維持することができ
るようにしたレーザ光発生装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光を出
射するレーザ光源と、内部に波長変換素子が配置され、
上記レーザ光源から入射されたレーザ光を上記波長変換
素子により波長変換して高次のレーザ光を取り出す光共
振器と、上記第レーザ光源から上記光共振器に入射され
るレーザ光の入射光路中に配置され、上記光共振器に入
射されるレーザ光を位相変調する電気光学位相変調器
と、上記光共振器により反射されたレーザ光の検出信号
を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波す
ることにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振
器の共振器長を可変させる共振器長可変駆動素子を帰還
制御して、上記光共振器の共振器長を周波数同期ロック
するロッキング回路と、上記ロッキング回路により上記
共振器長可変駆動素子を帰還制御する制御ループのルー
プゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる制
御装置とを備えることを特徴とする。
射するレーザ光源と、内部に波長変換素子が配置され、
上記レーザ光源から入射されたレーザ光を上記波長変換
素子により波長変換して高次のレーザ光を取り出す光共
振器と、上記第レーザ光源から上記光共振器に入射され
るレーザ光の入射光路中に配置され、上記光共振器に入
射されるレーザ光を位相変調する電気光学位相変調器
と、上記光共振器により反射されたレーザ光の検出信号
を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波す
ることにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振
器の共振器長を可変させる共振器長可変駆動素子を帰還
制御して、上記光共振器の共振器長を周波数同期ロック
するロッキング回路と、上記ロッキング回路により上記
共振器長可変駆動素子を帰還制御する制御ループのルー
プゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる制
御装置とを備えることを特徴とする。
【００２１】本発明に係るレーザ光発生装置において、
上記制御装置は、例えば、上記制御ループの引き込み時
に、上記ループゲインとともに位相補償定数を可変する
ようにしてもよい。また、上記制御装置は、上記制御ル
ープのロック状態において、外乱に応じたオフセットを
上記誤差信号に与えるようにすることもできる。さら
に、上記制御装置は、上記光共振器から取り出されるレ
ーザ光の光量に基づいて上記制御ループのロック判定を
行い、上記周波数同期ロックが外れたときに、上記制御
ループの再引き込みを行うようにすることもできる。
上記制御装置は、例えば、上記制御ループの引き込み時
に、上記ループゲインとともに位相補償定数を可変する
ようにしてもよい。また、上記制御装置は、上記制御ル
ープのロック状態において、外乱に応じたオフセットを
上記誤差信号に与えるようにすることもできる。さら
に、上記制御装置は、上記光共振器から取り出されるレ
ーザ光の光量に基づいて上記制御ループのロック判定を
行い、上記周波数同期ロックが外れたときに、上記制御
ループの再引き込みを行うようにすることもできる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】本発明は、例えば図１に示すような構成の
紫外線レーザ光発生装置に適用される。
紫外線レーザ光発生装置に適用される。
【００２４】この紫外線レーザ光発生装置は、グリーン
レーザ光を出射するレーザ光源１、上記レーザ光源１か
らグリーンレーザ光が入射される電気光学位相変調器
２、レーザ光源１からグリーンレーザ光が上記電気光学
位相変調器２を介して入射される光共振器３、上記光共
振器３によるグリーンレーザ光の反射光を検出する光検
出器５、上記光検出器５による検出信号に基づいて、上
記光共振器３の共振器長を可変制御して所定の共振器長
にロッキングするロッキング回路６、上記ロッキング回
路６の動作を制御する制御装置７等から構成されてい
る。
レーザ光を出射するレーザ光源１、上記レーザ光源１か
らグリーンレーザ光が入射される電気光学位相変調器
２、レーザ光源１からグリーンレーザ光が上記電気光学
位相変調器２を介して入射される光共振器３、上記光共
振器３によるグリーンレーザ光の反射光を検出する光検
出器５、上記光検出器５による検出信号に基づいて、上
記光共振器３の共振器長を可変制御して所定の共振器長
にロッキングするロッキング回路６、上記ロッキング回
路６の動作を制御する制御装置７等から構成されてい
る。
【００２５】上記レーザ光源１は、レーザ媒質として例
えばＮｄ：ＹＡＧレーザーを用いた半導体レーザにより
得られる波長１０６４ｎｍのレーザー光を第２高調波発
生（ＳＨＧ）素子により波長変換して得られる波長５３
２ｎｍのグリーンレーザー光を出射するようになってい
る。そして、このレーザ光源１から光共振器３に入射さ
れるグリーンレーザー光の入射光路中に電気光学位相変
調器２が設けられている。
えばＮｄ：ＹＡＧレーザーを用いた半導体レーザにより
得られる波長１０６４ｎｍのレーザー光を第２高調波発
生（ＳＨＧ）素子により波長変換して得られる波長５３
２ｎｍのグリーンレーザー光を出射するようになってい
る。そして、このレーザ光源１から光共振器３に入射さ
れるグリーンレーザー光の入射光路中に電気光学位相変
調器２が設けられている。
【００２６】上記電気光学位相変調器２は、ロッキング
回路６に備えられている正弦波発生振器６Ａから供給さ
れる単一周波数例えば１０ＭＨｚの位相変調信号によ
り、上記レーザ光源１から入射されるグリーンレーザー
光を位相変調する。この電気光学位相変調器２により位
相変調されたグリーンレーザー光が光共振器３に入射さ
れる。
回路６に備えられている正弦波発生振器６Ａから供給さ
れる単一周波数例えば１０ＭＨｚの位相変調信号によ
り、上記レーザ光源１から入射されるグリーンレーザー
光を位相変調する。この電気光学位相変調器２により位
相変調されたグリーンレーザー光が光共振器３に入射さ
れる。
【００２７】上記光共振器３は、４つのミラーＭ１〜Ｍ
４より構成されており、内部に波長変換素子４が設置さ
れている。この光共振器３は、レーザ光源１から入射さ
れる波長５３２ｎｍのグリーンレーザ光ＬＧを上記波長
変換素子４によって２６６ｎｍの紫外線レーザ光ＬＵＶ
に波長変換して、紫外線レーザ光ＬＵＶを出射する。こ
の光共振器３のミラーＭ２は、共振器長を微少変化させ
るための可動ミラーであって、電磁位置決め素子（ＶＣ
Ｍ）８の駆動により上記ミラーＭ２が微少移動されるよ
うになっている。上記電磁位置決め素子８は、ロッキン
グ回路６によりサーボ制御されるようになっている。こ
の光共振器３は、共振器長を制御することによって、あ
る特定の周波数の光のみを内部に引き込み、それ以外の
周波数の光は上記ミラーＭ１によって反射するように動
作する。
４より構成されており、内部に波長変換素子４が設置さ
れている。この光共振器３は、レーザ光源１から入射さ
れる波長５３２ｎｍのグリーンレーザ光ＬＧを上記波長
変換素子４によって２６６ｎｍの紫外線レーザ光ＬＵＶ
に波長変換して、紫外線レーザ光ＬＵＶを出射する。こ
の光共振器３のミラーＭ２は、共振器長を微少変化させ
るための可動ミラーであって、電磁位置決め素子（ＶＣ
Ｍ）８の駆動により上記ミラーＭ２が微少移動されるよ
うになっている。上記電磁位置決め素子８は、ロッキン
グ回路６によりサーボ制御されるようになっている。こ
の光共振器３は、共振器長を制御することによって、あ
る特定の周波数の光のみを内部に引き込み、それ以外の
周波数の光は上記ミラーＭ１によって反射するように動
作する。
【００２８】上記光検出器５は、上記光共振器３のミラ
ーＭ１によって反射されたグリーンレーザー光ＬＧを検
出し、グリーンレーザー光ＬＧの光量に応じて信号レベ
ルが変化する検出信号ＳＤのＡＣ成分をロッキング回路
６に供給し、また、上記検出信号ＳＤのＤＣ成分を制御
装置７に供給するようになっている。
ーＭ１によって反射されたグリーンレーザー光ＬＧを検
出し、グリーンレーザー光ＬＧの光量に応じて信号レベ
ルが変化する検出信号ＳＤのＡＣ成分をロッキング回路
６に供給し、また、上記検出信号ＳＤのＤＣ成分を制御
装置７に供給するようになっている。
【００２９】上記ロッキング回路６は、１０ＭＨｚの単
一周波数で発振する正弦波発生器６Ａ、上記光検出器５
から検出信号ＳＤが供給される同期検波器６Ｂ、この同
期検波器６Ｂによる検波信号ＤＥＴが誤差信号として供
給される可変利得増幅器６Ｃ、この可変利得増幅器６Ｃ
により増幅された誤差信号がスイッチ６Ｄを介して供給
される信号混合器６Ｅなどからなる。
一周波数で発振する正弦波発生器６Ａ、上記光検出器５
から検出信号ＳＤが供給される同期検波器６Ｂ、この同
期検波器６Ｂによる検波信号ＤＥＴが誤差信号として供
給される可変利得増幅器６Ｃ、この可変利得増幅器６Ｃ
により増幅された誤差信号がスイッチ６Ｄを介して供給
される信号混合器６Ｅなどからなる。
【００３０】上記正弦波発生器６Ａは、１０ＭＨｚの位
相変調信号を上記電気光学位相変調器２と同期検波器６
Ｂに供給する。そして、上記同期検波器６Ｂは、上記光
検出器５から供給される検出信号のＡＣ成分を上記位相
変調信号で同期検波し、その検波信号を誤差信号として
可変利得増幅器６Ｃに供給する。上記可変利得増幅器６
Ｃは、上記誤差信号を増幅してスイッチ６Ｄを介して信
号混合器６Ｅに供給する。この可変利得増幅器６Ｃは、
制御装置７により利得や位相補償特性が可変制御され
る。また、上記スイッチ６Ｄは、上記制御装置７により
開閉制御される。さらに、上記信号混合器６Ｅは、上記
制御装置７からオフセット除去用のリファレンス信号Ｒ
ＥＦが供給されるようになっており、上記可変利得増幅
器６Ｃからスイッチ６Ｄを介して供給される誤差信号に
上記リファレンス信号ＲＥＦを混合する。
相変調信号を上記電気光学位相変調器２と同期検波器６
Ｂに供給する。そして、上記同期検波器６Ｂは、上記光
検出器５から供給される検出信号のＡＣ成分を上記位相
変調信号で同期検波し、その検波信号を誤差信号として
可変利得増幅器６Ｃに供給する。上記可変利得増幅器６
Ｃは、上記誤差信号を増幅してスイッチ６Ｄを介して信
号混合器６Ｅに供給する。この可変利得増幅器６Ｃは、
制御装置７により利得や位相補償特性が可変制御され
る。また、上記スイッチ６Ｄは、上記制御装置７により
開閉制御される。さらに、上記信号混合器６Ｅは、上記
制御装置７からオフセット除去用のリファレンス信号Ｒ
ＥＦが供給されるようになっており、上記可変利得増幅
器６Ｃからスイッチ６Ｄを介して供給される誤差信号に
上記リファレンス信号ＲＥＦを混合する。
【００３１】このような構成のロッキング回路６は、上
記信号混合器６Ｅによる出力信号で上記光共振器３の電
磁位置決め素子８を駆動して、グリーンレーザー光ＬＧ
のみを内部に引き込み、それ以外の周波数の光は上記ミ
ラーＭ１によって反射するように、上記光共振器３の共
振器長を制御するドレバーロッキング回路である。
記信号混合器６Ｅによる出力信号で上記光共振器３の電
磁位置決め素子８を駆動して、グリーンレーザー光ＬＧ
のみを内部に引き込み、それ以外の周波数の光は上記ミ
ラーＭ１によって反射するように、上記光共振器３の共
振器長を制御するドレバーロッキング回路である。
【００３２】そして、上記制御装置７は、上記光検出器
５から供給される検出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベル
を監視しながら、上記ロッキング回路６の上記可変利得
増幅器６Ｃ、スイッチ６Ｄ及び信号混合器６Ｅを図２の
タイミングチャートに示すように制御して、サーボロッ
クするためのシーケンスを行う。
５から供給される検出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベル
を監視しながら、上記ロッキング回路６の上記可変利得
増幅器６Ｃ、スイッチ６Ｄ及び信号混合器６Ｅを図２の
タイミングチャートに示すように制御して、サーボロッ
クするためのシーケンスを行う。
【００３３】ここでは、図２の（Ａ）に示すようにサー
ボオンするためのトリガー信号ＴＲＧがタイミングｔ１
１でトリガーオンしたとする。
ボオンするためのトリガー信号ＴＲＧがタイミングｔ１
１でトリガーオンしたとする。
【００３４】上記制御装置７は、ロッキング回路６のス
イッチ６Ｄを開成させた状態で、上記光共振器３のモー
ドロック長にあう検波波形を検出するために、ロッキン
グ回路６の信号混合器６Ｅに図２の（Ｂ）に示すような
オフセット除去用のリファレンス信号ＲＥＦを供給し、
上記光共振器３の電磁位置決め素子８を駆動して、上記
光共振器３のミラーＭ２を移動させることにより、上記
光検出器５により得られる図２の（Ｃ）に示すような検
出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベルを監視する。
イッチ６Ｄを開成させた状態で、上記光共振器３のモー
ドロック長にあう検波波形を検出するために、ロッキン
グ回路６の信号混合器６Ｅに図２の（Ｂ）に示すような
オフセット除去用のリファレンス信号ＲＥＦを供給し、
上記光共振器３の電磁位置決め素子８を駆動して、上記
光共振器３のミラーＭ２を移動させることにより、上記
光検出器５により得られる図２の（Ｃ）に示すような検
出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベルを監視する。
【００３５】そして、上記制御装置７は、上記検出信号
ＳＤのＤＣ成分の信号レベルと閾値ＬＳを比較してお
り、図２の（Ｄ）に示すように上記ＤＣ成分の信号レベ
ルが閾値ＬＳまで低下した時点ｔ１２で立ち上がると、
その時点ｔ１２から所定時間Ｔｏ経過した時点ｔ１４で
図２の（Ｅ）に示すように立ち上がるサーボループ閉成
信号を発生し、上記ロッキング回路６のスイッチ６Ｄを
閉成させる。その後、ｔ１５からｔ１６まで引き込み期
間Ｔｐ中に制御ループのループゲインを漸増させる図２
の（Ｆ）に示すようなゲイン制御信号ＧＣと、上記ルー
プゲインの漸増とともにサーボ帯域を徐々に広げる図２
の（Ｇ）に示すような位相補償特性制御信号ＰＣを発生
し、上記可変利得増幅器６Ｃの利得と位相補償特性を制
御して、上記引き込み期間Ｔｐ中に制御ループのの引き
込みを行い、サーボロック状態にさせる。
ＳＤのＤＣ成分の信号レベルと閾値ＬＳを比較してお
り、図２の（Ｄ）に示すように上記ＤＣ成分の信号レベ
ルが閾値ＬＳまで低下した時点ｔ１２で立ち上がると、
その時点ｔ１２から所定時間Ｔｏ経過した時点ｔ１４で
図２の（Ｅ）に示すように立ち上がるサーボループ閉成
信号を発生し、上記ロッキング回路６のスイッチ６Ｄを
閉成させる。その後、ｔ１５からｔ１６まで引き込み期
間Ｔｐ中に制御ループのループゲインを漸増させる図２
の（Ｆ）に示すようなゲイン制御信号ＧＣと、上記ルー
プゲインの漸増とともにサーボ帯域を徐々に広げる図２
の（Ｇ）に示すような位相補償特性制御信号ＰＣを発生
し、上記可変利得増幅器６Ｃの利得と位相補償特性を制
御して、上記引き込み期間Ｔｐ中に制御ループのの引き
込みを行い、サーボロック状態にさせる。
【００３６】このように上記制御ループの引き込み動作
時に、ループゲインを漸増させるように制御することに
よって、上記引き込み動作を安定且つ確実に行うことが
できる。
時に、ループゲインを漸増させるように制御することに
よって、上記引き込み動作を安定且つ確実に行うことが
できる。
【００３７】なお、上記ループゲインや位相補償特性
は、制御対象に応じて時間と共に変化化させる量を変え
ることにより、上記制御ループの引き込み動作をより安
定且つ確実に行うことができる。
は、制御対象に応じて時間と共に変化化させる量を変え
ることにより、上記制御ループの引き込み動作をより安
定且つ確実に行うことができる。
【００３８】サーボロックが安定してかかっている状態
では、上記光共振器３に比較的遅い周期（１Ｈｚ以下）
の振動や温度変化による外乱が加わった場合、サーボの
かかる帯域範囲の外乱であればサーボロックは外れない
が、上記帯域範囲を超える外乱があるとサーボロックが
外れてしまうので、上記制御装置７は、次のような制御
動作を行う。
では、上記光共振器３に比較的遅い周期（１Ｈｚ以下）
の振動や温度変化による外乱が加わった場合、サーボの
かかる帯域範囲の外乱であればサーボロックは外れない
が、上記帯域範囲を超える外乱があるとサーボロックが
外れてしまうので、上記制御装置７は、次のような制御
動作を行う。
【００３９】すなわち、図３に示すように、振動や温度
変化による外乱要素の絶対量をＡとし、サーボエラー量
をＢとすると、光共振器３のサーボゲインは９０ｄｂ程
度あり非常に高いので、サーボエラー量ＳＥは外乱要素
の絶対量ＮＡにほとんど誤差なく追従し、外乱要素の絶
対量ＮＡとサーボエラー量ＳＥとが比例関係にある。そ
して、サーボエラー量ＳＥの値は、上記光検出器５の検
出信号ＳＤのＤＣ成分として読み取ることができる。
変化による外乱要素の絶対量をＡとし、サーボエラー量
をＢとすると、光共振器３のサーボゲインは９０ｄｂ程
度あり非常に高いので、サーボエラー量ＳＥは外乱要素
の絶対量ＮＡにほとんど誤差なく追従し、外乱要素の絶
対量ＮＡとサーボエラー量ＳＥとが比例関係にある。そ
して、サーボエラー量ＳＥの値は、上記光検出器５の検
出信号ＳＤのＤＣ成分として読み取ることができる。
【００４０】そこで、上記制御装置７は、図３に示すよ
うに、サーボエラー量ＳＥとエラー信号補正量ＥＣとの
差ＤＩＦ＝ＳＥ−ＥＣが一定値となるようなエラー信号
補正量ＥＣを上記オフセット除去用のリファレンス信号
ＲＥＦとして上記ロッキング回路６の信号混合器６Ｅに
供給する。これにより、温度変化、光共振器３のベース
板の線膨張による歪みなどの外乱要素の絶対量ＮＡの影
響をなくし、光共振器３のサーボに対するエラー量を一
定にし、安定したサーボをかけることができる。
うに、サーボエラー量ＳＥとエラー信号補正量ＥＣとの
差ＤＩＦ＝ＳＥ−ＥＣが一定値となるようなエラー信号
補正量ＥＣを上記オフセット除去用のリファレンス信号
ＲＥＦとして上記ロッキング回路６の信号混合器６Ｅに
供給する。これにより、温度変化、光共振器３のベース
板の線膨張による歪みなどの外乱要素の絶対量ＮＡの影
響をなくし、光共振器３のサーボに対するエラー量を一
定にし、安定したサーボをかけることができる。
【００４１】なお、振動や温度変化による外乱要素の絶
対量ＳＥが図４に示すように時間に対して変化する場合
も同様に、図４に示すようなエラー信号補正量ＥＣをオ
フセット除去用のリファレンス信号ＲＥＦとして上記ロ
ッキング回路６の信号混合器６Ｅに供給することによ
り、外乱要素の絶対量ＮＡとエラー信号補正量ＥＣとの
差ＤＩＦ＝ＮＡ−ＥＣの値を一定にすることができ、時
間とともに変化する外乱要素の絶対量Ｅの影響をなく
し、光共振器３のサーボに対するエラー量を一定にし、
安定したサーボをかけることができる。
対量ＳＥが図４に示すように時間に対して変化する場合
も同様に、図４に示すようなエラー信号補正量ＥＣをオ
フセット除去用のリファレンス信号ＲＥＦとして上記ロ
ッキング回路６の信号混合器６Ｅに供給することによ
り、外乱要素の絶対量ＮＡとエラー信号補正量ＥＣとの
差ＤＩＦ＝ＮＡ−ＥＣの値を一定にすることができ、時
間とともに変化する外乱要素の絶対量Ｅの影響をなく
し、光共振器３のサーボに対するエラー量を一定にし、
安定したサーボをかけることができる。
【００４２】また、外乱により制御ループのサーボロッ
クが外れてしまった場合には、上記光検出器５の検出信
号のＤＣ成分が上昇するので、上記制御装置７は、上記
光検出器５の検出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベルを監
視しており、上記ＤＣ成分の信号レベルが所定の閾値よ
り上昇したときには、サーボロックが外れたと判断し
て、サーボの再引き込みを自動的に行う。
クが外れてしまった場合には、上記光検出器５の検出信
号のＤＣ成分が上昇するので、上記制御装置７は、上記
光検出器５の検出信号ＳＤのＤＣ成分の信号レベルを監
視しており、上記ＤＣ成分の信号レベルが所定の閾値よ
り上昇したときには、サーボロックが外れたと判断し
て、サーボの再引き込みを自動的に行う。
【００４３】
【発明の効果】本発明に係るレーザ光発生装置では、ロ
ッキング回路により共振器長可変駆動素子を帰還制御す
る制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込
み時に漸増させる制御装置を備えることにより、安定に
且つ確実に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光
共振器長を高い精度で維持することができる。
ッキング回路により共振器長可変駆動素子を帰還制御す
る制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込
み時に漸増させる制御装置を備えることにより、安定に
且つ確実に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光
共振器長を高い精度で維持することができる。
【００４４】本発明に係るレーザ光発生装置において、
上記制御装置は、例えば、上記制御ループの引き込み時
に、上記ループゲインとともに位相補償定数を可変する
ようにことにより、安定に且つ確実に制御ループの引き
込み動作を行うことができる。また、上記制御装置は、
上記制御ループのロック状態において、外乱に応じたオ
フセットを上記誤差信号に与えるようにすることによっ
て、温度変化、光共振器のベース板の線膨張による歪み
などの外乱要素の影響をなくし、光共振器のサーボに対
するエラー量を一定にし、安定したサーボをかけること
ができる。さらに、上記制御装置は、上記光共振器から
取り出されるレーザ光の光量に基づいて上記制御ループ
のロック判定を行い、上記周波数同期ロックが外れたと
きに、上記制御ループの再引き込みを行うようにするこ
ともできる。
上記制御装置は、例えば、上記制御ループの引き込み時
に、上記ループゲインとともに位相補償定数を可変する
ようにことにより、安定に且つ確実に制御ループの引き
込み動作を行うことができる。また、上記制御装置は、
上記制御ループのロック状態において、外乱に応じたオ
フセットを上記誤差信号に与えるようにすることによっ
て、温度変化、光共振器のベース板の線膨張による歪み
などの外乱要素の影響をなくし、光共振器のサーボに対
するエラー量を一定にし、安定したサーボをかけること
ができる。さらに、上記制御装置は、上記光共振器から
取り出されるレーザ光の光量に基づいて上記制御ループ
のロック判定を行い、上記周波数同期ロックが外れたと
きに、上記制御ループの再引き込みを行うようにするこ
ともできる。
【００４５】このように、本発明によれば、温度変化、
光共振器のベース板の線膨張による歪みなどの外乱要素
の影響をなくし、安定したサーボをかけ、必要な位置決
め精度を保ちサーボロックが外れることのないようにす
ることができるので、光共振器の光学系を支持するベー
ス板に線膨張率が極めて小さいインバー材等のコストの
高い材料を使用する必要がなく、アルミニウムやステン
レススチールなどのベース材でも対応することが可能に
なる。
光共振器のベース板の線膨張による歪みなどの外乱要素
の影響をなくし、安定したサーボをかけ、必要な位置決
め精度を保ちサーボロックが外れることのないようにす
ることができるので、光共振器の光学系を支持するベー
ス板に線膨張率が極めて小さいインバー材等のコストの
高い材料を使用する必要がなく、アルミニウムやステン
レススチールなどのベース材でも対応することが可能に
なる。
【００４６】従って、本発明によれば、安定に且つ確実
に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長
を高い精度で維持することができるようにしたレーザ光
発生装置を提供することができる。
に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長
を高い精度で維持することができるようにしたレーザ光
発生装置を提供することができる。
【００４７】また、本発明によれば、外部からの振動な
どでロックが外れた場合に、自動的に再ロックして、所
定の光共振器長を高い精度で維持することができるよう
にしたレーザ光発生装置を提供することができる。
どでロックが外れた場合に、自動的に再ロックして、所
定の光共振器長を高い精度で維持することができるよう
にしたレーザ光発生装置を提供することができる。
【図１】本発明を適用したレーザ光発生装置の構成を模
式的に示す図である。
式的に示す図である。
【図２】上記レーザ光発生装置における制御ループの引
き込み動作を示すタイミングチャートである。
き込み動作を示すタイミングチャートである。
【図３】上記レーザ光発生装置における振動や温度変化
による外乱要素に対する制御を説明するための図であ
る。
による外乱要素に対する制御を説明するための図であ
る。
【図４】上記レーザ光発生装置における時間とともに変
化する外乱要素に対する制御を説明するための図であ
る。
化する外乱要素に対する制御を説明するための図であ
る。
【図５】 従来の連続発振紫外線レーザー光発生装置の
構成図である。
構成図である。
【図６】光共振器の反射率特性曲線図である。
【図７】レーザーの周波数スペクトル図である。
【図８】光共振器のミラーの移動による反射光強度の変
化を説明するための図である。
化を説明するための図である。
【図９】位相変調されたレーザー光の周波数スペクトル
図である。
図である。
【図１０】位相変調時の反射光強度のスペクトル図であ
る。
る。
【図１１】エラー信号を示す図である。
１ レーザ光源、２ 電気光学位相変調器、３ 光共振
器、４ 波長変換素子、５ 光検出器、６ ロッキング
回路、６Ａ 正弦波発生器、６Ｂ 同期検波器、６Ｃ
可変利得増幅器、６Ｄ スイッチ、６Ｅ 信号混合器、
７ 制御装置、８ 位置決め素子、Ｍ１〜Ｍ ミラー
器、４ 波長変換素子、５ 光検出器、６ ロッキング
回路、６Ａ 正弦波発生器、６Ｂ 同期検波器、６Ｃ
可変利得増幅器、６Ｄ スイッチ、６Ｅ 信号混合器、
７ 制御装置、８ 位置決め素子、Ｍ１〜Ｍ ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 直哉 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5F072 AB02 HH02 HH05 JJ20 KK05 KK12 LL02 MM03 QQ02 RR05
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光を出射するレーザ光源と、内部
に波長変換素子が配置され、上記レーザ光源から入射さ
れたレーザ光を上記波長変換素子により波長変換して高
次のレーザ光を取り出す光共振器と、上記レーザ光源か
ら上記光共振器に入射されるレーザ光の入射光路中に配
置され、上記光共振器に入射されるレーザ光を位相変調
する電気光学位相変調器と、上記光共振器により反射さ
れたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変調器の位
相変調信号で同期検波することにより得られる誤差信号
に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変させる共振
器長可変駆動素子を帰還制御して、上記光共振器の共振
器長を周波数同期ロックするロッキング回路と、上記ロ
ッキング回路により上記共振器長可変駆動素子を帰還制
御する制御ループのループゲインを上記制御ループの引
き込み時に漸増させる制御装置とを備えるレーザ光発生
装置。 - 【請求項２】 上記制御装置は、上記制御ループの引き
込み時に、上記ループゲインとともに位相補償定数を可
変することを特徴とする請求項１記載のレーザ光発生装
置。 - 【請求項３】 上記制御装置は、上記制御ループのロッ
ク状態において、外乱に応じたオフセットを上記誤差信
号に与えることを特徴とする請求項１記載のレーザ光発
生装置。 - 【請求項４】 上記制御装置は、上記光共振器から取り
出されるレーザ光の光量に基づいて上記制御ループのロ
ック判定を行い、上記周波数同期ロックが外れたとき
に、上記制御ループの再引き込みを行うことを特徴とす
る請求項１記載のレーザ光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11093563A JP2000286487A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11093563A JP2000286487A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | レーザ光発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000286487A true JP2000286487A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14085729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11093563A Pending JP2000286487A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000286487A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049584A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Sony Corp | レーザ光発生装置 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP11093563A patent/JP2000286487A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049584A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Sony Corp | レーザ光発生装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A02 | Decision of refusal |
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