JP2000286331A

JP2000286331A - ウエハ支持部材

Info

Publication number: JP2000286331A
Application number: JP9178399A
Authority: JP
Inventors: Koichi Nagasaki; 浩一長崎
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-03-31
Filing date: 1999-03-31
Publication date: 2000-10-13

Abstract

(57)【要約】【課題】ウエハ支持部材１の温度を正確に応答性良く測
定できるようにする。【解決手段】ウエハＷの載置面３を備えた板状セラミッ
ク体２中に、ＷとＲｅの体積比がＷ：Ｒｅ＝９４：６〜
９７：３である合金からなる抵抗体６ａと、ＷとＲｅの
体積比がＷ：Ｒｅ＝７３：２７〜７６：２４である合金
からなる抵抗体６ｂを先端で接合して構成した熱電対６
を埋設してウエハ支持部材１を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＶＤ、ＣＶＤ、
スパッタリング等の成膜装置やエッチング装置におい
て、ウエハを保持するウエハ支持部材に関するものであ
り、特に、半導体製造装置用として好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程において、
半導体ウエハ（以下、ウエハと称す）に薄膜を形成する
ＰＶＤ、ＣＶＤ、スパッタリング等の成膜装置やウエハ
に微細加工を施すドライエッチング装置には、ウエハを
保持するために静電チャックやサセプタの如きウエハ支
持部材が使用されている。

【０００３】この種のウエハ支持部材は、ウエハと略同
径をした円盤状をなし、ウエハの載置面を有する板状セ
ラミック体からなるものや、上記板状セラミック体中に
少なくとも１層の内部電極を埋設してなり、上記内部電
極を、載置面上に載せたウエハを静電吸着力によって吸
着保持する静電吸着用電極として用いたものや、載置面
上に載せたウエハを直接加熱するためのヒータ用電極と
して用いたもの、さらには載置面の上方に設置された別
の電極との間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電
極として用いたものがあった。

【０００４】また、これらのウエハ支持部材は、ディポ
ジッション用ガス、エッチング用ガス、クリーニング用
ガスとして腐食性の高いハロゲンガス雰囲気下で用いら
れ、さらにはこのハロゲンガス雰囲気下でプラズマに曝
されることもあるため、板状セラミック体を形成する材
質として耐食性、耐プラズマ性に優れた材質により形成
することが要求されており、近年、アルミナセラミック
スや窒化アルミニウム質セラミックスにより形成するこ
とが提案されている（特開平６−１５１３３２号公報参
照）。

【０００５】ところで、ウエハに精度の高い成膜処理や
エッチング処理を施すには、ウエハ支持部材の載置面上
に保持するウエハの全面が所望の一定温度に保たれてい
ることが重要であるため、ウエハ支持部材の温度を測定
することで間接的に載置面上のウエハ温度を測定するこ
とが行われている。

【０００６】ウエハ支持部材の温度を測定する手段とし
ては、板状セラミック体の載置面を除く他の表面に下穴
を設け、この下穴中に熱電対をネジ止めにて固定した
り、熱電対の熱接点をガラス接合して固定するようにし
たもの（特開平６−１７６８５５号公報、特開平７−１
０４２１５号公報参照）や、板状セラミック体中に１つ
の抵抗体膜を内蔵し、温度変化による抵抗値の変化を基
に温度を算出するようにしたもの（特開平２−５６４４
３号公報参照）がそれぞれ提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平６−
１７６８５５号公報に開示されている、熱電対を板状セ
ラミック体中にねじ止めにて固定する手段では、板状セ
ラミック体と熱電対との接触が点又は線接触となり、こ
の接触部での熱抵抗が極めて大きくなり易く、特に高真
空中では、熱伝導媒体に乏しく、輻射しか期待できない
ため、ねじ止めにて締結された熱電対によってウエハ支
持部材の実際の温度を正確に測温することは難しいもの
であった。

【０００８】また、特開平７−１０４２１５号公報に開
示されている、熱電対を板状セラミック体中にガラス接
合にて固定する手段では、熱電対と板状セラミック体と
の間に介在するガラスの熱伝導性が良くないために伝熱
抵抗となり、変化する板状セラミック体の温度を追従性
良く測温することができないといった課題があった。し
かも、ガラスは熱電対と板状セラミック体との間に発生
する熱応力を緩和することができず破損し易く、また、
ガラスはハロゲンガスに対する耐食性や耐プラズマ性が
低く、５００℃以上の高温下では軟化するといった不都
合があるため、ハロゲンガスやプラズマに曝される状況
下や５００℃以上の温度下では実用に供するものではな
かった。

【０００９】さらに、特開平６−１７６８５５号公報や
特開平７−１０４２１５号公報に開示されている手段で
は、いずれもウエハの正確な温度を測定するために熱電
対をできるだけ載置面近傍に設置する必要があるが、こ
の場合、下穴を載置面近傍まで穿孔しなければならない
ことから、板状セラミック体の強度劣化を招くととも
に、熱応力などによって板状セラミック体が破損し易く
なるといった課題もあった。

【００１０】一方、特開平２−５６４４３号公報に開示
されている、板状セラミック体中に１つの抵抗体膜を内
蔵し、その抵抗値の変化から温度を算出する手段では、
抵抗体膜が板状セラミック体中に埋設されているため、
ハロゲンガスや大気によって腐食や酸化などの悪影響を
受けることがないものの、外部に極めて高精度の安定化
電源を用意し、抵抗体膜に流れる電流値を正確に計測し
たうえで、予め特別に得た抵抗温度係数（ＴＣＲ）のデ
ータを基に演算して温度換算しなければならないため、
熱電対とは異なる大掛かりで高価な専用の測定装置が必
要になるといった不都合があった。

【００１１】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、ウエハの載置面を有する板状セラミック体中
に、異なる抵抗温度係数を有する２つの抵抗体を先端で
接合して構成した熱電対を埋設してウエハ支持部材を形
成したことを特徴とする。

【００１２】また、本発明は、上記ウエハ支持部材を構
成する板状セラミック体を、アルミナセラミックス又は
窒化アルミニウム質セラミックスにより形成するととも
に、上記２つの抵抗体をＷとＲｅの合金により形成し、
一方の抵抗体はＷとＲｅの体積比をＷ：Ｒｅ＝９４：６
〜９７：３とし、他方の抵抗体はＷとＲｅの体積比を
Ｗ：Ｒｅ＝７３：２７〜７６：２４としたことを特徴と
する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。

【００１４】図１（ａ）は本発明のウエハ支持部材の一
例を示す斜視図、図１（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図
である。

【００１５】このウエハ支持部材は、ヒータ内蔵型静電
チャックと呼ばれるもので、円盤状をした板状セラミッ
ク体２からなり、一方の主面をウエハＷの載置面３とす
るとともに、板状セラミック体２中の載置面３側には、
図２（ａ）に示すような、半円状をした２枚の電極４
ａ，４ｂを円を構成するように配置した静電吸着用電極
としての内部電極４を、他方の主面側には、図３（ａ）
に示すような、径の異なる円弧状電極５ａと径方向に隣
り合う円弧状電極５ａ同士を接続する線状電極５ｂとで
略同心円を構成するように配置したヒータ用電極として
の内部電極５をそれぞれ埋設するとともに、上記内部電
極４，５間には、図４に示すような、異なる抵抗値温度
係数を有する２つの抵抗体６ａ，６ｂを先端で接合して
構成した熱電対６を埋設してある。

【００１６】即ち、熱電対６は、抵抗温度係数の異なる
２種類の抵抗体６ａ，６ｂの先端同士を接触させて閉じ
たゼーベック回路を作り、その接点（熱接点）を熱する
と、起電力が生じるという原理に基づいて構成されてい
るもので、本発明はこの熱電対６を板状セラミック体２
中に直接埋設したことを特徴とする。

【００１７】なお、図１中、７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂは
それぞれ内部電極４，５と電気的に接続される外部端
子、９ａ，９ｂは２つの抵抗体６ａ，６ｂとそれぞれ電
気的に接続される外部端子であり、これらの外部端子７
ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂは板状セラミック体
２の他方の主面に開口する下穴にロウ付け等の手段によ
って接合されている。

【００１８】そして、このウエハ支持部材１の載置面３
に成膜処理やエッチング処理を施すウエハＷを載せ、外
部端子７ａ，７ｂを介して内部電極４に通電すると、誘
電分極によるクーロン力や微少な漏れ電流によるジョン
ソン・ラーベック力などの静電吸着力を発現させ、ウエ
ハＷを載置面３上に吸着固定することができ、また外部
端子８ａ，８ｂを介して内部電極５に通電して発熱させ
ることにより、載置面３上に吸着固定されたウエハＷを
所定の温度に加熱するようになっている。

【００１９】そして、本発明によれば、板状セラミック
体２内に熱電対６を埋設してあることから、ウエハ支持
部材１の温度を追従性良く正確に検知できるため、測温
ズレや応答ラグを解消することができる。また、劣化し
やすい熱電対６の先端（熱接点）が外気雰囲気に曝され
ることがないため、ハロゲンガスによって腐食したり、
大気によって酸化されることがなく、長期間にわたり安
定して精度の高い測定を実現することができる。

【００２０】ところで、このようなウエハ支持部材１を
構成する板状セラミック体２としては、アルミナ、窒化
珪素、サイアロン、窒化アルミニウムを主成分とするセ
ラミックスを用いることができ、これらの中でも耐食性
や耐プラズマ性の点でアルミナや窒化アルミニウムを主
成分とするセラミックス、特にアルミナあるいは窒化ア
ルミニムを９９．５重量％以上含有する高純度のセラミ
ックスが良く、さらにウエハＷを均熱化する観点から窒
化アルミニウムを主成分とするセラミックスが好適であ
る。

【００２１】また、静電吸着用電極やヒータ用電極をな
す内部電極４，５としては、板状セラミック体２との熱
膨張差ができるだけ近似したものが良く、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、炭化タングステン（Ｗ
Ｃ）、窒化チタン（ＴｉＣ）、窒化チタン（ＴｉＮ）等
の高融点金属を用いることができ、板状セラミック体２
を形成するセラミックスの熱膨張係数に合わせて適宜選
択すれば良い。

【００２２】なお、板状セラミック体２中に埋設する内
部電極４，５の形態としては特に限定するものではな
く、線材、膜、箔等のいずれであっても構わない。ま
た、内部電極４のパターン形状は図２（ａ）に示すもの
だけに限定するものではなく、他のパターン形状とし
て、図２（ｂ）に示すような扇状の電極４ｃ〜４ｆを円
を構成するように配置したものや図２（ｃ）に示すよう
な径の異なるリング状をした電極４ｇ〜４ｉを同心円状
に配置したものなど、載置面３上に載せたウエハＷの形
状や大きさに合わせて均一に吸着固定できるパターン形
状とすれば良く、内部電極５のパターン形状についても
図３（ａ）に示すものだけに限定するものではなく、図
３（ｂ）に示すように渦巻き状のパターン形状を有する
ものなど載置面３上に載せたウエハＷの形状や大きさに
合わせてウエハの全面をほぼ均一に加熱できるようなパ
ターン形状とすれば良い。

【００２３】さらに、熱電対６を形成する、異なる抵抗
値温度係数を有する２つの抵抗体６ａ，６ｂとしては、
タングステン（Ｗ）とレニウム（Ｒｅ）を含む合金を用
いることができる。この合金は、熱電対６を形成する材
質としてＪＩＳ等の工業規格で定められたものではない
が、３０００℃以上の融点を有することから板状セラミ
ック体２を形成するセラミックスと同時に焼成すること
ができるとともに、起電力が大きいため、市販されてい
る熱電対の温度測定に用いられている計器をそのまま適
用することができる。

【００２４】具体的には、一方の抵抗体６ａを、タング
ステン（Ｗ）とレニウム（Ｒｅ）の体積比がＷ：Ｒｅ＝
９４：６〜９７：３である合金により形成し、かつ他方
の抵抗体６ｂを、タングステン（Ｗ）とレニウム（Ｒ
ｅ）の体積比がＷ：Ｒｅ＝７３：２７〜７６：２４であ
る合金により形成することが好ましく、各抵抗体６ａ，
６ｂを構成するＷ−Ｒｅ合金のＷとＲｅの体積比を上記
範囲とすることで、精度の高い測定を実現することがで
きる。

【００２５】なお、図４では抵抗体６ａ，６ｂの形態を
膜としたものを示したが、線材や箔からなるものであっ
ても良いことは言うまでもない。また、抵抗体６ａ，６
ｂの材質としては、タングステン（Ｗ）とレニウム（Ｒ
ｅ）を含む合金だけに限定されるものではなく、白金と
ロジウムを含む合金やニッケルとクロムを含む合金、あ
るいは（ＪＩＳＣ１６０２）で規格されている合金
等、測定精度を高める観点から起電力が大きく、異なる
抵抗温度係数が得られ、板状セラミック体２を形成する
セラミックスの焼成温度に耐え得る高融点のものであっ
て、かつ市販の計器で使える合金であれば良い。

【００２６】また、熱電対６を形成するにあたり、各抵
抗体６ａ，６ｂの長さや線幅等は自由に設定することが
可能であるが、測定精度を高める観点から線幅ｄは０.
５〜３ｍｍ、長さｌ／線幅ｄの比率（ｌ／ｄ）は５０〜
３００とすることが好ましい。特に、線幅ｄが０．５ｍ
ｍより小さくなると製作が難しく、長さｌと線幅ｄの比
率（ｌ／ｄ）が５０より小さくなると測定誤差が大きく
なりすぎる。

【００２７】さらに、熱電対６への外部端子９ａ，９ｂ
は、測定精度を保つ観点から抵抗体６ａ，６ｂと同材質
により形成することが必要である。ただし、ウエハ支持
部材１の温度が１００℃以下の低温である場合には、外
部端子９ａ，９ｂとして補償導線（ＪＩＳＣ１６１
０）で定められているニッケルやクロム等の合金を用い
てもかまわない。

【００２８】また、本発明によれば、熱電対６を板状セ
ラミック体２中のさまざまな位置に埋設することができ
るが、一つの熱電対６にてウエハ支持部材１の温度を測
定する場合、熱電対６の熱接点（先端）を、板状セラミ
ック体２中の載置面３側でかつ中心位置に設置するよう
にすれば良い。勿論、ウエハ支持部材１全体の温度分布
を把握したい場合には、板状セラミック体２の径方向や
厚み方向に複数の熱電対６を埋設することもできる。

【００２９】さらに、他の応用例として、板状セラミッ
ク体２中に、２つの熱電対６を厚み方向に距離を設けて
埋設し、数１からウエハ支持部材１内を通過する熱量を
求め、この通過熱量に対し、例えばプラズマ等の入熱を
一致するようにすることで、ウエハＷの温度を一定に保
つようにすることもできる。

【００３０】数１通過熱量Ｑ（ワット）＝λ／Ｘ×Ｓ×△ＴＸ；２つの熱接点の間隔（ｍ） λ；板状セラミック体の熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）Ｓ；板状セラミック体における載置面の面積（ｍ²） △Ｔ；２つの熱接点間の温度差（Ｋ）ところで、このようなウエハ支持部材１を製作するに
は、前述したセラミック粉末に溶媒やバインダーを混ぜ
て複数枚のセラミックグリーンシートを作製し、内部電
極４，５となる金属ペーストを、各セラミックグリーン
シート上に図２（ａ）及び図３（ａ）のパターン形状と
なるように印刷するとともに、熱電対６を構成する抵抗
体６ａ，６ｂとなる金属ペーストを、さらに別のセラミ
ックグリーンシートに図４のパターン形状となるように
印刷したあと、これらを積み重ね、さらに残りのセラミ
ックグリーンシートを積み重ねてセラミック積層体を形
成するか、あるいは前述したセラミック粉末に溶媒やバ
インダーを混ぜた原料粉末を、加圧成形にて図２（ａ）
に示す内部電極４と図３（ａ）に示す内部電極５及び図
４に示す熱電対６をそれぞれ埋設してなるセラミック成
形体を形成する。

【００３１】しかるのち、これらセラミック積層体やセ
ラミック成形体に切削加工を施して円盤状としたあと、
各種セラミックスを焼結させることができる温度にて焼
成することで円盤状をなし、内部に図２（ａ）に示す内
部電極４と図３（ａ）に示す内部電極５及び図４に示す
熱電対６をそれぞれ埋設してなる板状セラミック体２を
製作する。

【００３２】次に、内部電極４が埋設されている側の主
面に研磨加工を施して載置面３を形成するとともに、載
置面３と反対側の主面に各内部電極４，５及び熱電対６
と連通する下穴を設け、これらの下穴に外部端子７ａ，
７ｂ，８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂをろう付け接合すること
により得ることができる。

【００３３】以上のように、図１ではウエハ支持部材１
として静電吸着用電極としての内部電極４とヒータ用電
極としての内部電極５をそれぞれ埋設した例を示した
が、本発明は図１に示すウエハ支持部材１についてのみ
限定されるものではなく、ウエハの載置面を有する板状
セラミック体中に熱電対を埋設してなるウエハ支持部材
に適用することができる。

【００３４】

【実施例】（実験例１）ここで、熱電対を埋設した本発
明のウエハ支持部材と、熱電対を別途接合したウエハ支
持部材を製作し、各ウエハ支持部材を加熱した時の測温
ズレと追従性について調べる実験を行った。

【００３５】本実験にあたり、ウエハ支持部材として図
１に示すようなヒータ内蔵型静電チャックを製作した。

【００３６】まず、平均粒子径１. ２μｍ程度で、かつ
不純物としてＳｉを１０００ｐｐｍ以下の範囲で含む純
度９９％以上のＡｌＮ粉末にバインダーと溶媒を添加混
合して泥しょうを作製し、ドクターブレード法にて厚さ
０. ４ｍｍのセラミックグリーンシートを複数枚得た。

【００３７】また、比表面積（ＢＥＴ）が２ｍ²／ｇ以
上のＴｉＮ粉末とＡｌＮ粉末を混合して粘度調整したペ
ーストを作り、１枚のセラミックグリーンシート上に図
２（ａ）に示すパターン形状となるように印刷するとと
もに、別の１枚のセラミックグリーンシート上に図３
（ａ）に示すパターン形状となるように印刷した。

【００３８】さらに、本発明にあたっては、比表面積
（ＢＥＴ）が２ｍ²／ｇ以上のＷ粉末とＲｅ粉末を、体
積比でＷ：Ｒｅ＝９６：４の割合で混合したペースト
と、体積比でＷ：Ｒｅ＝７４：２６の割合で混合したペ
ーストを、さらに別の１枚のセラミックグリーンシート
上に図４に示すパターン形状となるように印刷した。な
お、図４に示すパターン形状は、ペーストの収縮度合い
を考慮して、後述する焼結後の寸法が線幅ｄ＝２ｍｍ、
長さｌ＝１００ｍｍとなるように調整した。

【００３９】そして、本発明のものにあっては、図２
（ａ）、図４、図３（ａ）のパターンが印刷されたセラ
ミックグリーンシートをこの順序で積層し、従来のもの
にあっては、図２（ａ）、図３（ａ）のパターンが印刷
されたセラミックグリーンシートをこの順序で積層する
とともに、さらに残りのセラミックグリーンシートをそ
れぞれ重ねて８０℃、５０Ｋｇ／ｃｍ²の圧力で熱圧着
することによりセラミック積層体とし、切削加工を施し
て円盤状に形成した。この時、いずれのセラミック積層
体も同じ大きさとし、また、図２（ａ）及び図３（ａ）
のパターンが埋設されている位置も同じ位置となるよう
に設定した。

【００４０】しかるのち、これらのセラミック積層体
を、真空雰囲気下にて２０００℃の温度で焼成すること
により、外径８インチ、厚み１０ｍｍの窒化アルミニウ
ム質セラミックスからなり、図２（ａ）のパターン形状
を有する静電吸着用電極としての内部電極４と、図３
（ａ）のパターン形状を有するヒータ用電極としての内
部電極５をそれぞれ埋設した板状セラミック体２を製作
した。なお、窒化アルミニウム質セラミックスの組成を
調べたところ、窒化アルミニウムの純度が９９．８％で
あり、また熱伝導率を測定したところ１００Ｗ／ｍ・Ｋ
であった。

【００４１】次に、内部電極４が埋設されている側の板
状セラミック体２の主面を研磨して載置面３を形成する
とともに、載置面３と反対側に各内部電極４，５と連通
する下穴を設け、この下穴にＦｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金（コ
バール）からなる外部端子７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂを銀
ろうを用いてロウ付け接合することにより電気的に接続
し、各ウエハ支持部材１を製作した。

【００４２】なお、熱電対６を埋設した本発明のウエハ
支持部材１にあっては、外部端子９ａ，９ｂに抵抗体６
ａ，６ｂと同材質のＷ−Ｒｅ合金を用い、外部端子７
ａ，７ｂ，８ａ，８ｂと同様の方法にて接続し、従来の
ウエハ支持部材１においては、板状セラミック体２の載
置面３と反対側の主面に下穴を設け、この下穴に市販の
熱電対をねじ止めしたものと、市販の熱電対をガラス付
けしたものを用意した。市販の熱電対は、ＪＩＳ０．５
級（ＪＩＳＲ１６０２）で定められたＫ型熱電対を用
いた。

【００４３】そして、各ウエハ支持部材１を内径５００
ｍｍ、高さ２００ｍｍの円筒状をした真空容器内に収
め、ヒータ用電極をなす内部電極５を発熱させてウエハ
支持部材１を５００℃まで１０分で昇温させるととも
に、さらに５００℃で１０分間保持した時の各温度での
熱電対の温度を基準温度と比較することにより、温度ズ
レと追従性を調べた。

【００４４】ただし、基準温度とは、ウエハ支持部材１
の真の温度のことであり、ウエハ支持部材１の載置面３
に放射率が既知（ε＝０．９４）の耐熱黒体塗料を塗布
し、この黒体化処理した載置面３に対して、予め校正し
ておいた、１３μｍの波長帯を測定域に持つ放射温度計
を用いて測定した値を用いた。

【００４５】結果は表１に示す通りである。

【００４６】

【表１】

【００４７】この結果、本発明のウエハ支持部材１を用
いれば、応答性良く正確な温度を測定できることが判
る。

【００４８】（実施例２）次に、本発明のウエハ支持部
材１において、抵抗体６ａ，６ｂを形成するＷとＲｅの
比率を異ならせた熱電対６を埋設し、実施例１と同様の
条件にてウエハ支持部材１を５００℃まで加熱し、この
時の基準温度と熱電対６による温度との測温ズレの割合
を比較した。

【００４９】結果は表２に示す通りである。

【００５０】

【表２】

【００５１】この結果、一方の抵抗体６ａがＷとＲｅを
体積比でＷ：Ｒｅ＝９４〜９７：６〜３の割合で含み、
他方の抵抗体６ｂがＷとＲｅを体積比でＷ：Ｒｅ＝７３
〜７６：２７〜２４の割合で含んでいるものを組み合わ
せた熱電対６を埋設したものは、基準温度との温度差を
５％以内に抑えることができ、優れた測定精度が得られ
ることが確認できた。

【００５２】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ウエハ
の載置面を有する板状セラミック体中に、異なる抵抗温
度係数を有する２つの抵抗体、例えばＷとＲｅの体積比
がＷ：Ｒｅ＝９４：６〜９７：３である合金からなる抵
抗体と、ＷとＲｅの体積比がＷ：Ｒｅ＝７３：２７〜７
６：２４である合金からなる抵抗体を一端で結合して構
成した熱電対を埋設してウエハ支持部材を構成したこと
から、ウエハ支持部材の温度を追従性良く正確に検知で
きる。かくして、本発明のウエハ支持部材を成膜装置や
エッチング装置に用いれば、ウエハに精度の高い成膜処
理やエッチング処理を施すことができる。しかも、熱電
対が直接外部雰囲気に曝されることがないため、ハロゲ
ンガスによって腐食したり、大気によって酸化されるこ
とがなく、長期間にわたり安定して精度の高い測定を実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明のウエハ支持部材の一例を示す
斜視図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。

【図２】（ａ）〜（ｃ）は静電吸着用電極をなす内部電
極のさまざまなパターン形状を示す平面図である。

【図３】（ａ）（ｂ）はヒータ用電極をなす内部電極の
さまざまなパターン形状を示す平面図である。

【図４】熱電対のパターン形状を示す平面図である。

【符号の説明】

１：ウエハ支持部材２：板状セラミック体３：載置
面４：静電吸着用電極をなす内部電極５：ヒータ用電極
をなす内部電極６：熱電対６ａ，６ｂ：抵抗体７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ：外部端子Ｗ：ウエハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハの載置面を有する板状セラミック体
中に、異なる抵抗温度係数を有する２つの抵抗体を先端
で接合して構成した熱電対を埋設したことを特徴とする
ウエハ支持部材。
【請求項２】上記板状セラミック体をアルミナセラミッ
クス又は窒化アルミニウム質セラミックスにより形成す
るとともに、上記２つの抵抗体をＷとＲｅの合金により
形成してなり、一方の抵抗体はＷとＲｅの体積比がＷ：
Ｒｅ＝９４：６〜９７：３であるとともに、他方の抵抗
体はＷとＲｅの体積比がＷ：Ｒｅ＝７３：２７〜７６：
２４であることを特徴とする請求項１に記載のウエハ支
持部材。