JP2000277544A - ペレットボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペレットボンディング装置において、装置構
成を簡易にしながらウエハの管理表示を検出可能とし、
周辺作業性を向上すること。 【解決手段】 ペレットボンディング装置１０におい
て、ウエハ６、ウエハシート７又はウエハリング５に付
されている当該ウエハ６の管理表示Ｎを、ウエハステー
ジ１１に付帯してあるペレット位置検出カメラ２０によ
り検出可能とするもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はペレットボンディン
グ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ等の電子部品を製造するた
めのペレットボンディング装置は、半導体ペレット毎に
分割されたウエハが貼り付けられたウエハシートをウエ
ハリングに保持し、このウエハリングをウエハステージ
に支持し、ウエハステージに対して相対移動するペレッ
ト取出装置によりウエハシート上の半導体ペレットを順
に取出してボンディングに供することとしている。

【０００３】このとき、従来のペレットボンディング装
置では、ウエハの製造番号等の管理データに対応する表
示（管理表示）をバーコードの形式でウエハシート等に
付しておき、ウエハステージに付帯したバーコードリー
ダ（バーコード読取専用カメラ）によってそのバーコー
ドを読取り、この読取り結果に対応する管理データに対
し、予め登録してある当該ウエハの品種品質データをフ
ロッピディスク等から読み込み、この品種品質データに
基づいてボンディング動作を制御するものとしている。

【０００４】尚、ペレットボンディング装置は、ウエハ
ステージに支持したウエハリングが保持するウエハシー
ト上のペレットを取出す際に、ウエハ（ペレット）の回
転方向の位置ずれを検出するとともに、各ペレットのＸ
Ｙ方向位置を検出するためのペレット位置検出カメラを
ウエハステージに付帯してある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、ウエハステージにペレット位置検出カメラとバ
ーコードリーダの両方を付帯するものであるため、装置
構成が複雑化するとともに、大型となるバーコードリー
ダがメンテナンス等の作業の邪魔になり周辺作業性を阻
害する。

【０００６】本発明の課題は、ペレットボンディング装
置において、装置構成を簡易にしながらウエハの管理表
示を検出可能とし、周辺作業性を向上することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ペレッ
ト毎に分割されたウエハが貼り付けられたウエハシート
をウエハリングに保持し、このウエハリングをウエハス
テージに支持し、ウエハステージに対して相対移動する
ペレット取出装置によりウエハシート上の半導体ペレッ
トを順に取出してボンディングに供するペレットボンデ
ィング装置において、ウエハ、ウエハシート又はウエハ
リングに付されている当該ウエハの管理表示を、ウエハ
ステージに付帯してあるペレット位置検出カメラにより
検出可能としてなるようにしたものである。

【０００８】

【作用】本発明によれば、下記、の作用がある。 ウエハの位置（ウエハの回転方向位置、各ペレットの
ＸＹ方向位置等）を検出するためにウエハステージに付
帯してあるペレット位置検出カメラを、ウエハ、ウエハ
シート又はウエハリングに付されている当該ウエハの製
造番号等の管理データに対応する表示（管理表示）の検
出のためにも兼用する。従って、装置構成を簡易にしな
がらウエハの管理表示を検出できる。

【０００９】ウエハステージに、ウエハの管理表示を
読取るために専用とされるバーコードーリーダの如くを
付帯しないから、ウエハステージの周辺での機器の配置
を整然とし、メンテナンス等の周辺作業性を容易にす
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係るペレットボン
ディング装置の一例を示す模式図、図２は図１に示すペ
レットボンディング装置のブロック図である。ペレット
ボンディング装置１０は、図１に示す如く、リードフレ
ーム１の搭載部２に半導体ペレット３を搭載してボンデ
ィングするものであり、ウエハステージ１１、ペレット
取出装置１２、ペレット位置修正装置１３、ボンディン
グヘッド１４、リードフレーム搬送装置１５を有して構
成される。

【００１１】ウエハステージ１１は、ＸＹテーブルに載
置されており、ウエハリングユニット４を装着される。
ウエハリングユニット４は、半導体ペレット３毎に分割
されたウエハ６が貼付けられたウエハシート７をウエハ
リング５に保持したものである。

【００１２】このとき、ウエハステージ１１は、カメラ
２０を付帯し、このカメラ２０により、ウエハ６の回転
方向の位置ずれを検出するとともに、各ペレット３のＸ
Ｙ方向位置を検出する。そして、ウエハステージ１１
は、これらの検出結果に基づいて、ウエハ６の回転方向
の位置ずれを修正するとともに、各ペレット３をペレッ
ト取出装置１２の後述する吸着ノズル２２によるペレッ
ト取出位置に位置決めする。

【００１３】ペレット取出し装置１２は、ウエハステー
ジ１１に対して相対移動するペレットトランスファ２１
を備え、このペレットトランスファ２１の吸着ノズル２
２によりウエハシート７上のペレット３を順に吸着して
取出し、このペレット３をペレット位置修正装置１３に
移載する。

【００１４】ペレット位置修正装置１３は、ペレットト
ランスファ２１により取出された半導体ペレット３を載
置する回転テーブル２３と、回転テーブル２３上の半導
体ペレット３の位置を検出するカメラ２４を備え、半導
体ペレット３の位置を修正する。

【００１５】ボンディングヘッド１４は、ＸＹテーブル
に載置されており、ペレット位置修正装置１３で位置修
正された半導体ペレット３を吸着する吸着ノズル２５を
備え、この半導体ペレット３をリードフレーム搬送装置
１５のガイドレール２６に沿って搬送されるリードフレ
ーム１の搭載部２に搭載し、接着剤等を用いてボンディ
ングする。

【００１６】尚、ペレットボンディング装置１０は、演
算処理器１６により、図２に示す如く、上述のウエハス
テージ１１、ペレット取出装置１２、ペレット位置修正
装置１３、ボンディングヘッド１４、リードフレーム搬
送装置１５を制御し、リードフレーム１の長手方向（搬
送装置１５による搬送方向）に一定間隔（ピッチ）で備
える複数の搭載部２のそれぞれをボンディングヘッド１
４によるボンディング作業位置に間欠的に位置付け、そ
れらの搭載部２に順次半導体ペレット３を搭載してボン
ディングする。

【００１７】然るに、ペレットボンディング１０に供給
されるウエハリングユニット４にあっては、ウエハ６の
製造番号等の管理データに対応する表示（管理表示Ｎ）
をバーコード、文字又は図形等の形式で、ウエハリング
５、ウエハ６又はウエハシート７のいずれかに付されて
おり、この管理表示Ｎを以下の如くに検出処理される
（図２）。

【００１８】(1) あらかじめ記憶された管理表示Ｎの位
置情報に基づいてＸＹテーブルが移動し、これに伴いウ
エハステージ１１も移動して、管理表示Ｎを含む領域を
ウエハステージ１１に付帯している前述したペレット位
置決め用のカメラ２０の視野内に位置付ける。そして、
このカメラ２０により、ウエハステージ１１に装着され
たウエハリングユニット４内のウエハ６の管理表示Ｎを
検出する。

【００１９】(2) カメラ２０が撮像したウエハ６の管理
表示Ｎの画像を画像処理装置３０により処理し、この画
像データをこれに対応する管理データ（製造番号等）に
変換する。この管理データへの変換作業は、画像処理装
置３０において行なっても良く、或いは演算処理器１６
により行なっても良い。

【００２０】(3) 演算処理器１６はウエハ６の上述(2)
の管理データに対し予め登録されている当該ウエハ６の
品種品質データを、フロッピディスクドライバ３１の駆
動によりフロッピディスクから読み込み、この品種品質
データに基づいて当該ウエハ６のペレット３を用いるボ
ンディング動作を制御する。

【００２１】具体的には、ウエハ６の製造番号等の管理
データに対する当該ウエハ６の品種品質データは、当該
ウエハ６のペレット３の品種、各ペレット３の品質の等
級（Ａランク、Ｂランク…）、当該ウエハ６における不
良ペレットの位置等である。そして、演算処理器１６
は、当該ウエハ６の品種品質データを得て、ウエハステ
ージ１１に装着されたウエハ６を構成している各ペレッ
ト３の品種に対応するサイズ、位置決め用マークの位置
等を認識し、これらの認識結果をウエハステージ１１の
駆動データ等として用いてウエハ６上の各ペレット３の
位置検出等を行なうこと、不良ペレットについてはその
ペレットを飛ばしてペレット取出装置１２によるペレッ
ト取出動作を行なうようにすること、１つの製品を複数
のペレットで構成するマルチペレットＩＣの構成ペレッ
トとして同一等級のペレットを集めるように各ペレット
３の取出し、ボンディング順を定めること等の、ボンデ
ィング動作の各種制御にそれらの品種品質データを供す
る。

【００２２】従って、本実施形態によれば以下の作用が
ある。 ウエハ６の位置（ウエハ６の回転方向位置、各ペレッ
ト３のＸＹ方向位置等）を検出するためにウエハステー
ジ１１に付帯してあるペレット位置検出カメラ２０を、
ウエハ６、ウエハシート７又はウエハリング５に付され
ている当該ウエハ６の製造番号等の管理データに対応す
る表示（管理表示Ｎ）の検出のためにも兼用する。従っ
て、装置構成を簡易にしながらウエハ６の管理表示Ｎを
検出できる。

【００２３】ウエハステージ１１に、ウエハ６の管理
表示Ｎを読取るために専用とされるバーコードーリーダ
の如くを付帯しないから、ウエハステージ１１の周辺で
の機器の配置を整然とし、メンテナンス等の周辺作業性
を容易にする。

【００２４】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限
られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の
設計の変更等があっても本発明に含まれる。

【００２５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ペレット
ボンディング装置において、装置構成を簡易にしながら
ウエハの管理表示を検出可能とし、周辺作業性を向上で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係るペレットボンディング装置
の一例を示す模式図である。

【図２】図２は図１に示すペレットボンディング装置の
ブロック図である。

【符号の説明】

３ ペレット ５ ウエハリング ６ ウエハ ７ ウエハシート １０ ペレットボンディング装置 １１ ウエハステージ １２ ペレット取出装置 ２０ ペレット位置検出カメラ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ペレット毎に分割されたウエハが
   貼り付けられたウエハシートをウエハリングに保持し、
   このウエハリングをウエハステージに支持し、ウエハス
   テージに対して相対移動するペレット取出装置によりウ
   エハシート上の半導体ペレットを順に取出してボンディ
   ングに供するペレットボンディング装置において、ウエ
   ハ、ウエハシート又はウエハリングに付されている当該
   ウエハの管理表示を、ウエハステージに付帯してあるペ
   レット位置検出カメラにより検出可能としてなることを
   特徴とするペレットボンディング装置。
2. 【請求項２】 前記ペレット位置検出カメラによる管理
   表示の検出が、ペレットの位置検出に先立って行なわれ
   ることを特徴とするペレットボンディング装置。
3. 【請求項３】 前記ウエハステージがＸＹテーブルに載
   置され、このＸＹテーブルを移動させることで管理表示
   をペレット位置検出カメラの視野内に位置させることを
   特徴とするペレットボンディング装置。