JP2000275554A - 液体移動型光スイッチ - Google Patents
液体移動型光スイッチInfo
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- JP2000275554A JP2000275554A JP11080090A JP8009099A JP2000275554A JP 2000275554 A JP2000275554 A JP 2000275554A JP 11080090 A JP11080090 A JP 11080090A JP 8009099 A JP8009099 A JP 8009099A JP 2000275554 A JP2000275554 A JP 2000275554A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 信頼性に優れた液体移動型光スイッチを提供
する。 【解決手段】 発熱手段が凹部１０２、１０３の中に形
成されているので、光導波路基板１００に蓋１１０を接
合する際に蓋１１０が発熱手段に接触せず、光導波路基
板１００自体の最上部に蓋１１０が接合される。また凹
部１０２、１０３は光路切換用溝１０１から所定の距離
だけ離れた位置に形成されているので、光路切換用溝１
０１の周囲は完全に光導波路基板１００と蓋１１０とで
密閉される。その結果、光導波路基板１００の平坦化が
必要なくなり、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省略でき、
製造上の利点が生じると共に信頼性が向上する。
する。 【解決手段】 発熱手段が凹部１０２、１０３の中に形
成されているので、光導波路基板１００に蓋１１０を接
合する際に蓋１１０が発熱手段に接触せず、光導波路基
板１００自体の最上部に蓋１１０が接合される。また凹
部１０２、１０３は光路切換用溝１０１から所定の距離
だけ離れた位置に形成されているので、光路切換用溝１
０１の周囲は完全に光導波路基板１００と蓋１１０とで
密閉される。その結果、光導波路基板１００の平坦化が
必要なくなり、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省略でき、
製造上の利点が生じると共に信頼性が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ通信用
の光スイッチに関し、特に熱毛細管力を利用した液体移
動型光スイッチに関する。
の光スイッチに関し、特に熱毛細管力を利用した液体移
動型光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、交差する光導波路の交差部
に、光導波路と所定の角度をなす溝を形成し、光を反射
或いは透過させる方法が提案されている（例えば、Bist
atable optical switching using electrochemically g
enerated bubbles,Optics letters/Vol 15,No 24/Decem
ber 15,1990 ）。
に、光導波路と所定の角度をなす溝を形成し、光を反射
或いは透過させる方法が提案されている（例えば、Bist
atable optical switching using electrochemically g
enerated bubbles,Optics letters/Vol 15,No 24/Decem
ber 15,1990 ）。
【０００３】また、光導波路の交差部に形成された溝内
の液体を、液体（屈折率整合液）の熱毛細管力によって
移動させることにより、光を反射或いは透過させる「光
スイッチ」が提案されている（特開平９−１３３９３２
号公報）。
の液体を、液体（屈折率整合液）の熱毛細管力によって
移動させることにより、光を反射或いは透過させる「光
スイッチ」が提案されている（特開平９−１３３９３２
号公報）。
【０００４】図３は従来の液体移動型光スイッチの透視
図である。
図である。
【０００５】同図に示すように光導波路基板２１には光
導波路２４ｉと光導波路２４ｏとが同一光軸上に形成さ
れ、光導波路２３ｉと光導波路２３ｏとが同一光軸上に
形成されている。これら二つの光軸は同一平面上で交差
するように配置されている。管路２５は光軸の交点を通
る壁面を有し、その壁面は管路の中に空気が存在する時
に光導波路２３ｉを伝搬してきた光が管路壁面で全反射
されて光導波路２４ｏに入射するような角度になってい
る。
導波路２４ｉと光導波路２４ｏとが同一光軸上に形成さ
れ、光導波路２３ｉと光導波路２３ｏとが同一光軸上に
形成されている。これら二つの光軸は同一平面上で交差
するように配置されている。管路２５は光軸の交点を通
る壁面を有し、その壁面は管路の中に空気が存在する時
に光導波路２３ｉを伝搬してきた光が管路壁面で全反射
されて光導波路２４ｏに入射するような角度になってい
る。
【０００６】管路２５の両端は光導波路２３ｉ、２３
ｏ、２４ｉ、２４ｏと交差しない別の管路２６に接続さ
れて環状管路を形成し、その環状管路の中に光導波路２
３ｉ、２３ｏ、２４ｉ、２４ｏと略等しい屈折率を有す
る屈折率整合液２９と空気とが封入され、蓋２２によっ
て気密封止されている。管路２５の近傍には二つのヒー
タ２７ａ、２７ｂが配置されており、これらのヒータ２
７ａ、２７ｂのうちいずれか一方を発熱させることによ
り、屈折率整合液２９と気体との界面張力が変化し、毛
細管現象の釣り合いが崩れることによって屈折率整合液
２９を移動させるようになっている。
ｏ、２４ｉ、２４ｏと交差しない別の管路２６に接続さ
れて環状管路を形成し、その環状管路の中に光導波路２
３ｉ、２３ｏ、２４ｉ、２４ｏと略等しい屈折率を有す
る屈折率整合液２９と空気とが封入され、蓋２２によっ
て気密封止されている。管路２５の近傍には二つのヒー
タ２７ａ、２７ｂが配置されており、これらのヒータ２
７ａ、２７ｂのうちいずれか一方を発熱させることによ
り、屈折率整合液２９と気体との界面張力が変化し、毛
細管現象の釣り合いが崩れることによって屈折率整合液
２９を移動させるようになっている。
【０００７】管路２５に封入された屈折率整合液２９が
光軸の交点付近にある場合は、光導波路２３ｉを伝搬し
てきた光は屈折率整合液２９を透過して光導波路２３ｏ
に入射する。また、光軸付近に空気が存在する場合は、
光導波路２３ｉを伝搬してきた光は管路壁面で全反射さ
れて光導波路２４ｏに入射する。
光軸の交点付近にある場合は、光導波路２３ｉを伝搬し
てきた光は屈折率整合液２９を透過して光導波路２３ｏ
に入射する。また、光軸付近に空気が存在する場合は、
光導波路２３ｉを伝搬してきた光は管路壁面で全反射さ
れて光導波路２４ｏに入射する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図３に示した光スイッ
チにおいては、ヒータと電気配線用薄膜の堆積、並びに
ヒータと電気配線用パターン加工、さらに絶縁膜堆積、
並びにその表面研磨等、幾多のプロセスが必要であり、
より簡便な構造が求められていた。
チにおいては、ヒータと電気配線用薄膜の堆積、並びに
ヒータと電気配線用パターン加工、さらに絶縁膜堆積、
並びにその表面研磨等、幾多のプロセスが必要であり、
より簡便な構造が求められていた。
【０００９】また、図３に示した光スイッチの蓋２２を
光半導体基板２１に接合して管路２５、２６を気密封止
するには、光導波路基板２１の蓋２２と接する面に１０
ｎｍオーダーの平坦さが要求される。
光半導体基板２１に接合して管路２５、２６を気密封止
するには、光導波路基板２１の蓋２２と接する面に１０
ｎｍオーダーの平坦さが要求される。
【００１０】しかしながら、ヒータ２７ａ、２７ｂと電
気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃとは光導波路基板２１の
表面に形成する必要があるため、それらの厚さによって
生じる段差を解消し、なおかつ平坦さを確保するには、
ヒータ２７ａ、２７ｂと電気配線２８ａ、２８ｂ、２８
ｃとを形成した後、絶縁膜で覆い、さらにその表面を研
磨しなければならない。
気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃとは光導波路基板２１の
表面に形成する必要があるため、それらの厚さによって
生じる段差を解消し、なおかつ平坦さを確保するには、
ヒータ２７ａ、２７ｂと電気配線２８ａ、２８ｂ、２８
ｃとを形成した後、絶縁膜で覆い、さらにその表面を研
磨しなければならない。
【００１１】具体的には、ＳｉＯ2 等の絶縁膜は、スパ
ッタ法、ＣＶＤ法、真空蒸着法等で成膜した後、熱処理
を行わないと応力が残存したり組織が緻密でなくなるた
め、機械的、化学的強度が低くなる。従来提案されてい
る構造の光スイッチではヒータ２７ａ、２７ｂや電気配
線２８ａ、２８ｂ、２８ｃの材料が熱の影響を免れない
ために十分な熱処理ができない。さらに、ヒータ２７
ａ、２７ｂや電気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃの材料
は、絶縁物と弾性率が異なるため、ヒータ２７ａ、２７
ｂや電気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃが埋め込まれてい
る部分とその他の部分とでは研磨の際に絶縁物が受ける
加工歪みが異なる。その結果としてヒータ及び配線の縁
に沿って研磨速度が局所的に速くなり凹みが生じる。
ッタ法、ＣＶＤ法、真空蒸着法等で成膜した後、熱処理
を行わないと応力が残存したり組織が緻密でなくなるた
め、機械的、化学的強度が低くなる。従来提案されてい
る構造の光スイッチではヒータ２７ａ、２７ｂや電気配
線２８ａ、２８ｂ、２８ｃの材料が熱の影響を免れない
ために十分な熱処理ができない。さらに、ヒータ２７
ａ、２７ｂや電気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃの材料
は、絶縁物と弾性率が異なるため、ヒータ２７ａ、２７
ｂや電気配線２８ａ、２８ｂ、２８ｃが埋め込まれてい
る部分とその他の部分とでは研磨の際に絶縁物が受ける
加工歪みが異なる。その結果としてヒータ及び配線の縁
に沿って研磨速度が局所的に速くなり凹みが生じる。
【００１２】この凹みを研磨の条件だけで実用上十分な
レベルに小さくするには加工歪みを極力小さくする必要
があり、それはすなわち研磨速度の極端な低下をまねく
等実用性に乏しいことが問題として残る。またこの研磨
した絶縁膜表面の仕上がり具合が、液体の封入状態を支
配し、結果的に光スイッチの動作の再現性、信頼性を左
右していた。
レベルに小さくするには加工歪みを極力小さくする必要
があり、それはすなわち研磨速度の極端な低下をまねく
等実用性に乏しいことが問題として残る。またこの研磨
した絶縁膜表面の仕上がり具合が、液体の封入状態を支
配し、結果的に光スイッチの動作の再現性、信頼性を左
右していた。
【００１３】以上のように、従来に提案された光スイッ
チ構造を実現するには、多くのプロセスが必要であり、
かつ極めて高度なプロセスが必要であった。
チ構造を実現するには、多くのプロセスが必要であり、
かつ極めて高度なプロセスが必要であった。
【００１４】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、信頼性に優れた液体移動型光スイッチを提供するこ
とにある。
し、信頼性に優れた液体移動型光スイッチを提供するこ
とにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液体移動型光スイッチは、互いに交差しない
ｍ本の光導波路及び互いに交差しないｎ本の光導波路が
互いに交差する光導波路基板と、光導波路の各交差部に
形成され、光導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有
する光路切換用溝と、光路切換用溝内に一定の量だけ注
入され光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折
率整合液と、光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、光導波路基板上に接合され光路切換用溝に注入され
た屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた液体移動
型光スイッチにおいて、光路切換用溝の周囲から所定の
距離だけ離れた位置に形成された凹部の底面に、凹部の
深さより薄い発熱手段を形成し、発熱手段の凹部が光路
切換用溝に接しないようにして、光路切換用溝が基板表
面の高さにより取り囲まれる構造としたものである。
に本発明の液体移動型光スイッチは、互いに交差しない
ｍ本の光導波路及び互いに交差しないｎ本の光導波路が
互いに交差する光導波路基板と、光導波路の各交差部に
形成され、光導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有
する光路切換用溝と、光路切換用溝内に一定の量だけ注
入され光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折
率整合液と、光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、光導波路基板上に接合され光路切換用溝に注入され
た屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた液体移動
型光スイッチにおいて、光路切換用溝の周囲から所定の
距離だけ離れた位置に形成された凹部の底面に、凹部の
深さより薄い発熱手段を形成し、発熱手段の凹部が光路
切換用溝に接しないようにして、光路切換用溝が基板表
面の高さにより取り囲まれる構造としたものである。
【００１６】上記構成に加え本発明の液体移動型光スイ
ッチは、蓋の材質を多成分ガラスとし、光路切換用溝の
周囲にＳｉを成膜し、蓋と光導波路基板とを接合する接
合手段として陽極接合を用いるのが好ましい。
ッチは、蓋の材質を多成分ガラスとし、光路切換用溝の
周囲にＳｉを成膜し、蓋と光導波路基板とを接合する接
合手段として陽極接合を用いるのが好ましい。
【００１７】本発明によれば、発熱手段が導波路基板表
面よりも低い位置に形成されているので、光導波路基板
に蓋を接合する際に蓋表面が発熱手段には接触せず、光
導波路基板表面に蓋が接合される。また発熱手段である
凹部は光路切換用溝から所定の距離だけ離れた位置に形
成されているので、光路切換用溝の周囲は完全に光導波
路基板と蓋とで密閉される。その結果、光導波路基板の
平坦化が必要なくなり、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省
略でき、製造上の利点が生じると共に信頼性が向上す
る。
面よりも低い位置に形成されているので、光導波路基板
に蓋を接合する際に蓋表面が発熱手段には接触せず、光
導波路基板表面に蓋が接合される。また発熱手段である
凹部は光路切換用溝から所定の距離だけ離れた位置に形
成されているので、光路切換用溝の周囲は完全に光導波
路基板と蓋とで密閉される。その結果、光導波路基板の
平坦化が必要なくなり、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省
略でき、製造上の利点が生じると共に信頼性が向上す
る。
【００１８】また、光導波路基板の最上部をＳｉとする
ことで、多成分ガラスからなる蓋を陽極接合で光導波路
基板に接合できるようになるが、特に光導波路が石英系
である場合、Ｓｉと石英系材料とは接着性が非常によい
ため、蓋が発熱手段や絶縁膜を介して接合された場合に
比べて信頼性が著しく向上する。
ことで、多成分ガラスからなる蓋を陽極接合で光導波路
基板に接合できるようになるが、特に光導波路が石英系
である場合、Ｓｉと石英系材料とは接着性が非常によい
ため、蓋が発熱手段や絶縁膜を介して接合された場合に
比べて信頼性が著しく向上する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００２０】図１は本発明の液体移動型光スイッチの一
実施の形態を示す部分透視図である。
実施の形態を示す部分透視図である。
【００２１】１００は２本の光導波路（図示せず）が互
いに交差する光導波路基板であり、光導波路の交差部に
光路切換用溝１０１が形成されている。光路切換用溝１
０１内には、光導波路と屈折率の等しい屈折率整合液が
一定量だけ封入されている。光路切換用溝１０１から所
定の距離だけ離れた位置に略コの字形状の凹部１０２
と、略Ｖ字形状の凹部１０３とが共に光路切換用溝１０
１を臨むように形成されている。両凹部１０２、１０３
の底面の光路切換用溝１０１側には、凹部１０２、１０
３の深さより薄いヒータ１０４、１０５がそれぞれ形成
されている。凹部１０２、１０３の残りの底面にはヒー
タ１０４、１０５に接続され凹部１０２、１０３の深さ
より薄い電気配線１０６、１０７、１０８、１０９がそ
れぞれ形成されている。これらヒータ１０４、１０５と
電気配線１０６、１０７、１０８、１０９とで発熱手段
が構成されている。
いに交差する光導波路基板であり、光導波路の交差部に
光路切換用溝１０１が形成されている。光路切換用溝１
０１内には、光導波路と屈折率の等しい屈折率整合液が
一定量だけ封入されている。光路切換用溝１０１から所
定の距離だけ離れた位置に略コの字形状の凹部１０２
と、略Ｖ字形状の凹部１０３とが共に光路切換用溝１０
１を臨むように形成されている。両凹部１０２、１０３
の底面の光路切換用溝１０１側には、凹部１０２、１０
３の深さより薄いヒータ１０４、１０５がそれぞれ形成
されている。凹部１０２、１０３の残りの底面にはヒー
タ１０４、１０５に接続され凹部１０２、１０３の深さ
より薄い電気配線１０６、１０７、１０８、１０９がそ
れぞれ形成されている。これらヒータ１０４、１０５と
電気配線１０６、１０７、１０８、１０９とで発熱手段
が構成されている。
【００２２】光路切換用溝１０１、ヒータ１０４、１０
５及び電気配線１０６、１０７、１０８、１０９の一部
は、光導波路基板１００に接合された蓋１１０で覆われ
ており、光導波路基板１００の蓋１１０の外側には四つ
の電気配線１０６、１０７、１０８、１０９が露出して
おり、外部回路に接続できるようになっている。
５及び電気配線１０６、１０７、１０８、１０９の一部
は、光導波路基板１００に接合された蓋１１０で覆われ
ており、光導波路基板１００の蓋１１０の外側には四つ
の電気配線１０６、１０７、１０８、１０９が露出して
おり、外部回路に接続できるようになっている。
【００２３】このような光スイッチにおいて、ヒータ１
０４、１０５及び電気配線１０６、１０７、１０８、１
０９はいずれも凹部１０２、１０３の中に形成されてい
るので、光導波路基板１００と蓋１１０とを接合する際
に障害になることはなく、光路切換用溝１０１の周囲は
完全に光導波路基板１００と蓋１１０とで密閉される。
その結果、光導波路基板１００の平坦化が必要なくな
り、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省略でき、製造上の利
点が生じると共に信頼性が向上する。
０４、１０５及び電気配線１０６、１０７、１０８、１
０９はいずれも凹部１０２、１０３の中に形成されてい
るので、光導波路基板１００と蓋１１０とを接合する際
に障害になることはなく、光路切換用溝１０１の周囲は
完全に光導波路基板１００と蓋１１０とで密閉される。
その結果、光導波路基板１００の平坦化が必要なくな
り、絶縁膜の成膜と研磨工程とを省略でき、製造上の利
点が生じると共に信頼性が向上する。
【００２４】また、光導波路基板１００の最上部をＳｉ
とすることで、多成分ガラスからなる蓋１１０を陽極接
合で光導波路基板１００に接合できるようになるが、特
に光導波路が石英系である場合、Ｓｉと石英系材料とは
接着性が非常によいため、蓋１１０が発熱手段や絶縁膜
を介して接合された場合に比べて信頼性が著しく向上す
る。
とすることで、多成分ガラスからなる蓋１１０を陽極接
合で光導波路基板１００に接合できるようになるが、特
に光導波路が石英系である場合、Ｓｉと石英系材料とは
接着性が非常によいため、蓋１１０が発熱手段や絶縁膜
を介して接合された場合に比べて信頼性が著しく向上す
る。
【００２５】尚、ヒータ１０４、１０５と光路切換用溝
１０１との間の距離は、ヒータ１０４、１０５の熱が光
路切換用溝１０１に達することができ、かつ、光路切換
用溝１０１を気密封止するのに十分な幅を確保できるよ
うに設計されているのが好ましい。
１０１との間の距離は、ヒータ１０４、１０５の熱が光
路切換用溝１０１に達することができ、かつ、光路切換
用溝１０１を気密封止するのに十分な幅を確保できるよ
うに設計されているのが好ましい。
【００２６】本実施の形態では２本の光導波路が交差す
る交差部に液体移動型光スイッチを形成した場合で説明
したが、これに限定されず、互いに交差しないｍ（ｍ≧
１）本の光導波路及び互いに交差しないｎ（ｎ≧１）本
の光導波路が互いに交差する光導波路基板の各交差部に
液体移動型光スイッチを形成してｍ×ｎマトリックス構
造の光スイッチを構成してもよい。
る交差部に液体移動型光スイッチを形成した場合で説明
したが、これに限定されず、互いに交差しないｍ（ｍ≧
１）本の光導波路及び互いに交差しないｎ（ｎ≧１）本
の光導波路が互いに交差する光導波路基板の各交差部に
液体移動型光スイッチを形成してｍ×ｎマトリックス構
造の光スイッチを構成してもよい。
【００２７】図２（ａ）〜（ｆ）は図１に示した本発明
の液体移動型光スイッチを製造するための製造工程図で
ある。
の液体移動型光スイッチを製造するための製造工程図で
ある。
【００２８】Ｓｉ基板２００上に互いに交差するコア２
０１を有するクラッド２０２を形成して光導波路とする
（図２（ａ））。
０１を有するクラッド２０２を形成して光導波路とする
（図２（ａ））。
【００２９】クラッド２０２の表面にＳｉ膜２０３を成
膜する（図２（ｂ））。
膜する（図２（ｂ））。
【００３０】Ｓｉ膜２０３の上にフォトレジスト２０４
をコートする（図２（ｃ））。
をコートする（図２（ｃ））。
【００３１】エッチングによりＳｉ膜２０３及びクラッ
ド２０２のヒータが形成される位置に凹部１０２（１０
３）を開ける（図２（ｄ））。
ド２０２のヒータが形成される位置に凹部１０２（１０
３）を開ける（図２（ｄ））。
【００３２】同フォトレジスト２０４をそのまま用いて
ヒータ用の導電膜１０４ａを成膜し、リフトオフ法でヒ
ータ１０４（１０５）を凹部１０２（１０３）の中に形
成する（図２（ｅ））。
ヒータ用の導電膜１０４ａを成膜し、リフトオフ法でヒ
ータ１０４（１０５）を凹部１０２（１０３）の中に形
成する（図２（ｅ））。
【００３３】他のフォトレジストを用いてエッチングに
より、Ｓｉ膜２０３及びクラッド２０２に光路切換用溝
１０１を形成する（図２（ｆ））。
より、Ｓｉ膜２０３及びクラッド２０２に光路切換用溝
１０１を形成する（図２（ｆ））。
【００３４】以上のようにして得られた光導波路基板１
００の光路切換用溝１０１内に屈折率整合液を注入した
後、光路切換用溝１０１、ヒータ１０４（１０５）及び
電気配線１０６〜１０９の一部を覆うように蓋（図示せ
ず）を光導波路基板１００に接合することにより液体移
動型光スイッチが得られる。
００の光路切換用溝１０１内に屈折率整合液を注入した
後、光路切換用溝１０１、ヒータ１０４（１０５）及び
電気配線１０６〜１０９の一部を覆うように蓋（図示せ
ず）を光導波路基板１００に接合することにより液体移
動型光スイッチが得られる。
【００３５】以上の製造工程では凹部１０２、１０３の
形成と、リフトオフの際に同一のフォトレジスト２０４
を使用するので、単にリフトオフでヒータ１０４（１０
５）を形成する場合に比べて工程数はエッチング１回分
しか増加しない。
形成と、リフトオフの際に同一のフォトレジスト２０４
を使用するので、単にリフトオフでヒータ１０４（１０
５）を形成する場合に比べて工程数はエッチング１回分
しか増加しない。
【００３６】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３７】信頼性に優れた液体移動型光スイッチの提
供を実現することができる。
供を実現することができる。
【図１】本発明の液体移動型光スイッチの一実施の形態
を示す部分透視図である。
を示す部分透視図である。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は図１に示した本発明の液体移
動型光スイッチを製造するための製造工程図である。
動型光スイッチを製造するための製造工程図である。
【図３】従来の液体移動型光スイッチの透視図である。
１００ 光導波路基板 １０１ 光路切換用溝 １０２、１０３ 凹部 １１０ 蓋
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 大 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 堀江 誠 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 岡野 広明 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 佐藤 誠 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 下川 房男 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 堀口 正治 東京都渋谷区桜丘町20番１号 エヌティテ ィエレクトロニクス株式会社内 Ｆターム(参考） 2H041 AA14 AA16 AB18 AB32 AC07 2K002 AB04 BA06
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに交差しないｍ本の光導波路及び互
いに交差しないｎ本の光導波路が互いに交差する光導波
路基板と、上記光導波路の各交差部に形成され、上記光
導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有する光路切換
用溝と、該光路切換用溝内に一定の量だけ注入され上記
光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折率整合
液と、上記光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、上記光導波路基板上に接合され上記光路切換用溝に
注入された屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた
液体移動型光スイッチにおいて、上記光路切換用溝の周
囲から所定の距離だけ離れた位置に形成された凹部の底
面に、該凹部の深さより薄い発熱手段を形成し、該発熱
手段の凹部は光路切換用溝に接しないようにして、光路
切換用溝が基板表面の高さにより取り囲まれたことを特
徴とする液体移動型光スイッチ。 - 【請求項２】 上記蓋の材質を多成分ガラスとし、上記
光路切換用溝の周囲にＳｉを成膜し、上記蓋と上記光導
波路基板とを接合する接合手段として陽極接合を用いた
請求項１に記載の液体移動型光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08009099A JP3566878B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08009099A JP3566878B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275554A true JP2000275554A (ja) | 2000-10-06 |
| JP3566878B2 JP3566878B2 (ja) | 2004-09-15 |
Family
ID=13708513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08009099A Expired - Fee Related JP3566878B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3566878B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6895139B2 (en) | 2003-04-15 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Bistable thermopneumatic optical switch |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP08009099A patent/JP3566878B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6895139B2 (en) | 2003-04-15 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Bistable thermopneumatic optical switch |
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|---|---|
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