JP2000275063A - 光電式エンコーダ - Google Patents
光電式エンコーダInfo
- Publication number
- JP2000275063A JP2000275063A JP11085546A JP8554699A JP2000275063A JP 2000275063 A JP2000275063 A JP 2000275063A JP 11085546 A JP11085546 A JP 11085546A JP 8554699 A JP8554699 A JP 8554699A JP 2000275063 A JP2000275063 A JP 2000275063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- light
- origin
- origin detection
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低ノイズで正確な原点検出を行うことを可能
とした原点検出方式を採用した光電式エンコーダを提供
する。 【解決手段】 スケール1には、第1トラックに光学格
子13、第2トラックの原点位置に原点検出用パターン
14が形成される。変位センサ2には、光照射するLE
D21,22、光学格子13からの光を受光して変位信
号を出力する受光素子25及び、原点検出パターン14
からの光を受光して原点検出信号を出力するための受光
素子26を有する。変位センサ2には、第2トラックを
照射するための照射窓24が形成され、スケール1上の
原点検出用パターン14は不等間隔の格子により構成さ
れ、受光素子26の受光面には、原点位置で原点検出用
パターン14からの全光束を受光するように、原点検出
用パターン14の格子間隔を比例的に拡大してなる不等
間隔の受光窓251〜254が形成されている。
とした原点検出方式を採用した光電式エンコーダを提供
する。 【解決手段】 スケール1には、第1トラックに光学格
子13、第2トラックの原点位置に原点検出用パターン
14が形成される。変位センサ2には、光照射するLE
D21,22、光学格子13からの光を受光して変位信
号を出力する受光素子25及び、原点検出パターン14
からの光を受光して原点検出信号を出力するための受光
素子26を有する。変位センサ2には、第2トラックを
照射するための照射窓24が形成され、スケール1上の
原点検出用パターン14は不等間隔の格子により構成さ
れ、受光素子26の受光面には、原点位置で原点検出用
パターン14からの全光束を受光するように、原点検出
用パターン14の格子間隔を比例的に拡大してなる不等
間隔の受光窓251〜254が形成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光電式エンコー
ダに係り、特に原点検出方式の改良に関する。
ダに係り、特に原点検出方式の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】光電式エンコーダにおいて、原点検出信
号を発生させるためには、簡単にはスケール上に原点検
出マークを形成し、これを検出することが行われる。セ
ンサ部には原点検出マークに対応する受光スリットを設
けて、原点位置で原点検出マークからの光がこの受光ス
リットに入るようにすればよい。
号を発生させるためには、簡単にはスケール上に原点検
出マークを形成し、これを検出することが行われる。セ
ンサ部には原点検出マークに対応する受光スリットを設
けて、原点位置で原点検出マークからの光がこの受光ス
リットに入るようにすればよい。
【0003】上述の原点検出方式の場合、S/Nのよい
原点検出信号を得るためには、原点検出用の受光素子に
入る入射光量を大きくすることが必要である。そしてそ
のためには、原点検出マークや受光窓の幅をある程度以
上大きくすることが必要となる。しかし、原点検出マー
クや受光窓の幅を大きくすると、検出される原点位置の
正確性が損なわれる。
原点検出信号を得るためには、原点検出用の受光素子に
入る入射光量を大きくすることが必要である。そしてそ
のためには、原点検出マークや受光窓の幅をある程度以
上大きくすることが必要となる。しかし、原点検出マー
クや受光窓の幅を大きくすると、検出される原点位置の
正確性が損なわれる。
【0004】光電式エンコーダにおける別の原点検出方
式として、メインスケール上に不等間隔の格子からなる
原点検出パターンを形成し、これに対向するインデック
ススケール上に同じ原点検出パターンを形成して、両原
点検出パターンの一致検出を行う方式も知られている。
この方式は、平行光源を用いた幾何光学式のエンコーダ
の場合であって、メインスケールとインデックススケー
ルがごく近接して配置される場合には有効であるが、拡
散光源を用いた場合や、回折の影響が問題となる微細ス
ケールピッチの場合には、原点検出のノイズが大きくな
る。
式として、メインスケール上に不等間隔の格子からなる
原点検出パターンを形成し、これに対向するインデック
ススケール上に同じ原点検出パターンを形成して、両原
点検出パターンの一致検出を行う方式も知られている。
この方式は、平行光源を用いた幾何光学式のエンコーダ
の場合であって、メインスケールとインデックススケー
ルがごく近接して配置される場合には有効であるが、拡
散光源を用いた場合や、回折の影響が問題となる微細ス
ケールピッチの場合には、原点検出のノイズが大きくな
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
光電式エンコーダにおける原点検出方式は、低ノイズで
正確な原点検出を行うには問題があった。この発明は、
低ノイズで正確な原点検出を行うことを可能とした原点
検出方式を採用した光電式エンコーダを提供することを
目的としている。
光電式エンコーダにおける原点検出方式は、低ノイズで
正確な原点検出を行うには問題があった。この発明は、
低ノイズで正確な原点検出を行うことを可能とした原点
検出方式を採用した光電式エンコーダを提供することを
目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光電式エ
ンコーダは、第1トラックに光学格子が形成され、第1
トラックと平行する第2トラックの設定された原点位置
に原点検出用パターンが形成されたスケールと、このス
ケールに対して前記測定軸方向に相対移動可能に配置さ
れて前記スケールに光照射する光源、前記光学格子から
の光を受光して変位信号を出力する第1の受光素子及
び、前記原点検出パターンからの光を受光して原点検出
信号を出力するための第2の受光素子を有する変位セン
サとを備え、前記変位センサには前記第2トラックを照
射するための測定軸方向に見たときに実質的に点光源と
なる照射窓が形成され、前記スケール上の原点検出用パ
ターンは、不等間隔の格子により構成され、前記第2の
受光素子の受光面には、原点位置で前記原点検出用パタ
ーンからの全光束を受光するように前記原点検出用パタ
ーンの格子間隔を比例的に拡大してなる不等間隔の受光
窓が形成されていることを特徴とする。
ンコーダは、第1トラックに光学格子が形成され、第1
トラックと平行する第2トラックの設定された原点位置
に原点検出用パターンが形成されたスケールと、このス
ケールに対して前記測定軸方向に相対移動可能に配置さ
れて前記スケールに光照射する光源、前記光学格子から
の光を受光して変位信号を出力する第1の受光素子及
び、前記原点検出パターンからの光を受光して原点検出
信号を出力するための第2の受光素子を有する変位セン
サとを備え、前記変位センサには前記第2トラックを照
射するための測定軸方向に見たときに実質的に点光源と
なる照射窓が形成され、前記スケール上の原点検出用パ
ターンは、不等間隔の格子により構成され、前記第2の
受光素子の受光面には、原点位置で前記原点検出用パタ
ーンからの全光束を受光するように前記原点検出用パタ
ーンの格子間隔を比例的に拡大してなる不等間隔の受光
窓が形成されていることを特徴とする。
【0007】この発明においては、スケール上の原点検
出用パターンを不等間隔の格子とし、これを照射するた
めの照射窓を、測定軸方向に見たときに実質的に点光源
となるようにし、且つ原点検出の受光側には、原点位置
で原点検出用パターンからの全光束を受光するように原
点検出用パターンの格子間隔を比例的に拡大してなる不
等間隔の受光窓を形成している。これにより、照射窓や
原点検出用パターンの個々の格子幅を大きくすることな
く、原点検出用信号のための受光光量を大きいものとす
ることができる。従って、低ノイズでしかも正確な原点
検出が可能になる。
出用パターンを不等間隔の格子とし、これを照射するた
めの照射窓を、測定軸方向に見たときに実質的に点光源
となるようにし、且つ原点検出の受光側には、原点位置
で原点検出用パターンからの全光束を受光するように原
点検出用パターンの格子間隔を比例的に拡大してなる不
等間隔の受光窓を形成している。これにより、照射窓や
原点検出用パターンの個々の格子幅を大きくすることな
く、原点検出用信号のための受光光量を大きいものとす
ることができる。従って、低ノイズでしかも正確な原点
検出が可能になる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図1は、この発明の実施の形態に
よる反射型の光電式エンコーダの構成を示し、図2はそ
の原点検出部に着目した断面構造を示している。この光
電式エンコーダは、スケール1と、これに対向して測定
軸x方向に相対移動可能に配置された変位センサ2とか
ら構成されている。
の実施例を説明する。図1は、この発明の実施の形態に
よる反射型の光電式エンコーダの構成を示し、図2はそ
の原点検出部に着目した断面構造を示している。この光
電式エンコーダは、スケール1と、これに対向して測定
軸x方向に相対移動可能に配置された変位センサ2とか
ら構成されている。
【0009】スケール1は反射型スケールであって、ス
ケール基板10の第1トラック11に所定ピッチの光学
格子13が形成されている。スケール基板10の第1ト
ラック11と平行する第2トラック12の原点位置に原
点検出パターン14が形成されている。原点検出パター
ン14は、不等間隔の格子により、具体的には図2に示
すように、不等間隔の複数本の反射格子141〜144
により構成されている。
ケール基板10の第1トラック11に所定ピッチの光学
格子13が形成されている。スケール基板10の第1ト
ラック11と平行する第2トラック12の原点位置に原
点検出パターン14が形成されている。原点検出パター
ン14は、不等間隔の格子により、具体的には図2に示
すように、不等間隔の複数本の反射格子141〜144
により構成されている。
【0010】変位センサ2には、センサ基板20上に、
それぞれ変位検出用光源、原点検出用光源であるLED
21、LED22が設けられ、また変位検出用受光素子
25と原点検出用受光素子26が搭載されている。変位
検出用LED21からの光は、インデックス格子23を
介してスケール1に照射され、光学格子13からの反射
光が受光素子25により受光される。原点検出用LED
22からの光は、スリット状の照射窓24を介してスケ
ール1に照射され、原点位置では原点検出用パターン1
4からの反射光が受光素子26に受光されるようになっ
ている。照射窓24は、測定軸x方向に見たときに、ス
ケール1に対して実質的に点光源となるスリット幅を持
つものとする。
それぞれ変位検出用光源、原点検出用光源であるLED
21、LED22が設けられ、また変位検出用受光素子
25と原点検出用受光素子26が搭載されている。変位
検出用LED21からの光は、インデックス格子23を
介してスケール1に照射され、光学格子13からの反射
光が受光素子25により受光される。原点検出用LED
22からの光は、スリット状の照射窓24を介してスケ
ール1に照射され、原点位置では原点検出用パターン1
4からの反射光が受光素子26に受光されるようになっ
ている。照射窓24は、測定軸x方向に見たときに、ス
ケール1に対して実質的に点光源となるスリット幅を持
つものとする。
【0011】変位検出用受光素子25は例えば、4相の
変位検出信号を出力する受光素子アレイにより構成され
ている。原点検出用受光素子26は、図2に示すように
この実施の形態の場合一つの受光接合261が形成され
ており、その受光接合261に対向してセンサ基板20
には、原点検出用パターン14に対応する不等間隔のス
リット状の受光窓25(251〜254)が形成されて
いる。
変位検出信号を出力する受光素子アレイにより構成され
ている。原点検出用受光素子26は、図2に示すように
この実施の形態の場合一つの受光接合261が形成され
ており、その受光接合261に対向してセンサ基板20
には、原点検出用パターン14に対応する不等間隔のス
リット状の受光窓25(251〜254)が形成されて
いる。
【0012】ここで、図2に示したように、原点検出用
パターン14の不等間隔反射格子141〜144の間隔
をそれぞれ、D1,D2,D3としたとき、原点検出用
受光部の受光窓251〜254の間隔は、所定の比例係
数をkとして、kD1,kD2,kD3に設定されてい
る。即ち、間隔D1,D2,D3を比例的に拡大した間
隔に設定されている。比例係数kは、光源からスケール
1の原点検出パターン14までの光路長に対する、光源
からスケールの原点検出パターンを経て受光窓までの光
路長の比であり、要するに、照射窓24を介して原点検
出パターン14を照射して得られる複数の反射光束が、
原点位置においては全て受光窓25に受光されるよう
に、設定されている。具体的にこの実施の形態の反射型
エンコーダの場合には、k=2である。
パターン14の不等間隔反射格子141〜144の間隔
をそれぞれ、D1,D2,D3としたとき、原点検出用
受光部の受光窓251〜254の間隔は、所定の比例係
数をkとして、kD1,kD2,kD3に設定されてい
る。即ち、間隔D1,D2,D3を比例的に拡大した間
隔に設定されている。比例係数kは、光源からスケール
1の原点検出パターン14までの光路長に対する、光源
からスケールの原点検出パターンを経て受光窓までの光
路長の比であり、要するに、照射窓24を介して原点検
出パターン14を照射して得られる複数の反射光束が、
原点位置においては全て受光窓25に受光されるよう
に、設定されている。具体的にこの実施の形態の反射型
エンコーダの場合には、k=2である。
【0013】原点位置からずれた位置においても、原点
検出パターン14のいずれかの反射格子からの反射光
が、受光窓25のいずれかに受光されることがある。し
かし、原点検出パターン14からの全光束が受光される
のは原点位置のみとなるように、原点検出用パターン1
4の不等間隔を設定することにより、原点位置のみで受
光素子26には大きな受光信号が得られることになる。
即ち、受光素子26の出力信号を所定のしきい値で検出
することにより、原点信号を得ることができる。
検出パターン14のいずれかの反射格子からの反射光
が、受光窓25のいずれかに受光されることがある。し
かし、原点検出パターン14からの全光束が受光される
のは原点位置のみとなるように、原点検出用パターン1
4の不等間隔を設定することにより、原点位置のみで受
光素子26には大きな受光信号が得られることになる。
即ち、受光素子26の出力信号を所定のしきい値で検出
することにより、原点信号を得ることができる。
【0014】この実施の形態によると、原点検出用パタ
ーンとして不等間隔の格子を用いて、それらの反射光束
が原点位置で全て受光されるようにすることで、原点検
出の受光光量は大きなものとなる。しかも、原点検出パ
ターン14を構成する個々の格子の幅を小さく設定すれ
ば、原点検出の誤差範囲は十分小さいものとなる。
ーンとして不等間隔の格子を用いて、それらの反射光束
が原点位置で全て受光されるようにすることで、原点検
出の受光光量は大きなものとなる。しかも、原点検出パ
ターン14を構成する個々の格子の幅を小さく設定すれ
ば、原点検出の誤差範囲は十分小さいものとなる。
【0015】図3は、別の実施の形態による光電式エン
コーダの平面図である。先の実施の形態と対応する部分
には先の実施の形態と同じ符号を付して詳細な説明は省
く。この実施の形態では、変位センサ2側の光源を一つ
のLED21のみとして、これを変位検出用及び原点検
出用として兼用している。
コーダの平面図である。先の実施の形態と対応する部分
には先の実施の形態と同じ符号を付して詳細な説明は省
く。この実施の形態では、変位センサ2側の光源を一つ
のLED21のみとして、これを変位検出用及び原点検
出用として兼用している。
【0016】図4は、図3の実施の形態を変形した実施
の形態による光電式エンコーダの平面図である。ここで
も、先の実施の形態と対応する部分には先の実施の形態
と同じ符号を付して詳細な説明は省く。先の実施の形態
では、光源と受光部を測定軸x方向に配列したのに対
し、この実施の形態ではこれらを測定軸xと直交する方
向に配置している。それ以外は図3の実施の形態と変わ
らない。
の形態による光電式エンコーダの平面図である。ここで
も、先の実施の形態と対応する部分には先の実施の形態
と同じ符号を付して詳細な説明は省く。先の実施の形態
では、光源と受光部を測定軸x方向に配列したのに対
し、この実施の形態ではこれらを測定軸xと直交する方
向に配置している。それ以外は図3の実施の形態と変わ
らない。
【0017】図5は、この発明を透過型の光電式エンコ
ーダに適用した実施の形態について、原点検出部の構成
を、図2に対応させて示している。この場合、スケール
1は透過型スケールである。従って、原点検出用パター
ン14は、不等間隔の透過格子161〜164により構
成される。原点検出用受光素子26は、先の実施の形態
と基本的に同様の不等間隔の受光窓251〜254を有
する。この実施の形態によっても、先の実施の形態と同
様の効果が得られる。
ーダに適用した実施の形態について、原点検出部の構成
を、図2に対応させて示している。この場合、スケール
1は透過型スケールである。従って、原点検出用パター
ン14は、不等間隔の透過格子161〜164により構
成される。原点検出用受光素子26は、先の実施の形態
と基本的に同様の不等間隔の受光窓251〜254を有
する。この実施の形態によっても、先の実施の形態と同
様の効果が得られる。
【0018】図6は、原点検出用受光素子26の別の構
成例を示す。ここまでの実施の形態では、原点検出用受
光素子26は、複数の受光窓をカバーする一つの受光接
合を持つものしたが、この実施の形態では受光窓251
〜254にそれぞれ対応して受光接合61〜64が形成
されている。但し、これらの受光接合61〜64から得
られる出力は合算されて原点検出用信号として処理され
る。この様に、受光素子26の受光接合を複数の受光窓
251〜254に対応する部分のみに形成した受光素子
アレイ構成とすることにより、一つの受光接合を用いた
場合に比べて、無用なノイズが少なくなる。
成例を示す。ここまでの実施の形態では、原点検出用受
光素子26は、複数の受光窓をカバーする一つの受光接
合を持つものしたが、この実施の形態では受光窓251
〜254にそれぞれ対応して受光接合61〜64が形成
されている。但し、これらの受光接合61〜64から得
られる出力は合算されて原点検出用信号として処理され
る。この様に、受光素子26の受光接合を複数の受光窓
251〜254に対応する部分のみに形成した受光素子
アレイ構成とすることにより、一つの受光接合を用いた
場合に比べて、無用なノイズが少なくなる。
【0019】図7は更に別の原点検出用受光素子26の
構成例である。この受光素子26はガラス等の基板を用
いて、アモルファスシリコン等の薄膜による受光ダイオ
ード71〜74を形成したものである。この場合、受光
ダイオード71〜74がそのまま受光窓になるから、格
別の受光窓形成は要らない。
構成例である。この受光素子26はガラス等の基板を用
いて、アモルファスシリコン等の薄膜による受光ダイオ
ード71〜74を形成したものである。この場合、受光
ダイオード71〜74がそのまま受光窓になるから、格
別の受光窓形成は要らない。
【0020】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、低
ノイズで正確な原点検出を行うことを可能とした原点検
出方式を採用した光電式エンコーダを提供することがで
きる。
ノイズで正確な原点検出を行うことを可能とした原点検
出方式を採用した光電式エンコーダを提供することがで
きる。
【図1】 この発明の実施の形態による光電式エンコー
ダの構成を示す図である。
ダの構成を示す図である。
【図2】 同実施の形態の原点検出部の構成を示す図で
ある。
ある。
【図3】 他の実施の形態による光電式エンコーダの平
面図である。
面図である。
【図4】 他の実施の形態による光電式エンコーダの平
面図である。
面図である。
【図5】 他の実施の形態による光電式エンコーダの構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図6】 他の実施の形態による原点検出用受光素子の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図7】 他の実施の形態による原点検出用受光素子の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
1…スケール、2…変位センサ、13…光学格子、14
…原点検出用パターン、21,22…LED、24…照
射窓、25,26…受光素子、141〜144…反射格
子、251〜254…受光窓。
…原点検出用パターン、21,22…LED、24…照
射窓、25,26…受光素子、141〜144…反射格
子、251〜254…受光窓。
Claims (3)
- 【請求項1】 第1トラックに光学格子が形成され、第
1トラックと平行する第2トラックの設定された原点位
置に原点検出用パターンが形成されたスケールと、 このスケールに対して前記測定軸方向に相対移動可能に
配置されて前記スケールに光照射する光源、前記光学格
子からの光を受光して変位信号を出力する第1の受光素
子及び、前記原点検出パターンからの光を受光して原点
検出信号を出力するための第2の受光素子を有する変位
センサとを備え、 前記変位センサには前記第2トラックを照射するための
測定軸方向に見たときに実質的に点光源となる照射窓が
形成され、 前記スケール上の原点検出用パターンは、不等間隔の格
子により構成され、 前記第2の受光素子の受光面には、原点位置で前記原点
検出用パターンからの全光束を受光するように前記原点
検出用パターンの格子間隔を比例的に拡大してなる不等
間隔の受光窓が形成されていることを特徴とする光電式
エンコーダ。 - 【請求項2】 前記第2の受光素子は、前記不等間隔の
受光窓の範囲をカバーする一つの受光接合を有すること
を特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。 - 【請求項3】 前記第2の受光素子は、前記不等間隔の
受光窓に対応する複数の受光接合を有することを特徴と
する請求項1記載の光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11085546A JP2000275063A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 光電式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11085546A JP2000275063A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 光電式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000275063A true JP2000275063A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13861861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11085546A Pending JP2000275063A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 光電式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000275063A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8130427B2 (en) | 2005-05-25 | 2012-03-06 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for generating origin signal of encoder |
WO2013026266A1 (zh) * | 2011-08-23 | 2013-02-28 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 双光源光栅尺 |
JP2016102708A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
-
1999
- 1999-03-29 JP JP11085546A patent/JP2000275063A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8130427B2 (en) | 2005-05-25 | 2012-03-06 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for generating origin signal of encoder |
WO2013026266A1 (zh) * | 2011-08-23 | 2013-02-28 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 双光源光栅尺 |
JP2016102708A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7129475B2 (en) | Photoelectric encoder and method of manufacturing scales | |
US4677293A (en) | Photoelectric measuring system | |
US7002137B2 (en) | Reference point talbot encoder | |
JPH0131127B2 (ja) | ||
US6472658B2 (en) | Photoelectric position measuring system that optimizes modulation of a scanning device and the intensity of a reference mark signal | |
JPH06258102A (ja) | 測定装置 | |
JP4360762B2 (ja) | 光学式エンコーダ装置 | |
US4025197A (en) | Novel technique for spot position measurement | |
JPH06229781A (ja) | 変位測定装置 | |
JP2003166856A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2562479B2 (ja) | 反射式xyエンコーダ | |
US7161139B2 (en) | Position-measuring system and method for operating a position-measuring system | |
JP3722949B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JPH09113213A (ja) | 高調波信号成分を濾波する装置 | |
JPH08178613A (ja) | 干渉計用光検出器 | |
JP2000275063A (ja) | 光電式エンコーダ | |
KR101434925B1 (ko) | 정점 검출 장치 및 변위 측정 장치 | |
JP2000321097A (ja) | 光学式エンコーダ | |
KR0165222B1 (ko) | X-y스테이지의 수직방향 변위 측정장치 | |
JP7474186B2 (ja) | 光電式ロータリエンコーダ | |
JP3049302B2 (ja) | 光学式変位検出器 | |
US11353583B2 (en) | Optical position-measurement device with varying focal length along a transverse direction | |
US20040090677A1 (en) | Material measure in the form of an amplitude grating, as well as a position measuring system | |
JP2000121388A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH07270121A (ja) | 位置センサ |