JP2000271116A - 超音波探触子 - Google Patents

超音波探触子

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JP2000271116A
JP2000271116A JP11078019A JP7801999A JP2000271116A JP 2000271116 A JP2000271116 A JP 2000271116A JP 11078019 A JP11078019 A JP 11078019A JP 7801999 A JP7801999 A JP 7801999A JP 2000271116 A JP2000271116 A JP 2000271116A
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center
piezoelectric
ultrasonic
piezoelectric vibrator
vibrator
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JP11078019A
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English (en)
Inventor
Toru Watanabe
徹 渡辺
Moriyuki Ishikawa
盛之 石川
Takemi Aso
剛己 麻生
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Aloka Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波探触子の振動子の長辺方向のフォーカ
スの向上を図る。 【解決手段】 圧電振動子52に当接するバッキング材
54の表面に多数の溝70を設ける。当該表面上での溝
70の開口面積の密度は、長辺方向の中心に向かうほど
大きくなるように構成する。これにより、中心に向かう
ほど、バッキング材54のダンピング効果が弱くなり超
音波の吸収作用も弱くなる。その結果、中心ほど、音響
パワーが被検体側へ振り向けられる。一方、端部に行く
ほどバッキング材54への吸収が大きい。よって、超音
波ビームのサイドローブが低減しメインビームのパワー
が強まり、振動子の長辺方向のビーム幅が狭められる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波探触子に関
し、特にその分解能の改善に関する。
【0002】
【従来の技術】電子走査方式を採用する超音波診断装置
においては、微小な短冊形の圧電振動子を多数配列した
アレイ型の振動子部を有した電子走査アレイ探触子が用
いられている。
【0003】図2は、従来のリニアアレイ探触子の概略
の構造を示す模式的な斜視図である。この従来のリニア
アレイ探触子においては、複数の圧電振動子2がアレイ
方向に整列してバッキング材(背面負荷材)4上に固定
されている。
【0004】各圧電振動子2は短冊形の平面形状を有
し、隣り合う各圧電振動子は互いの長辺を向き合わせて
平行に配列される。個々の圧電振動子2は、圧電セラミ
ックス等の材質からなる圧電体8の表面、裏面にそれぞ
れ正電極10及び負電極12が設けられた構造を有して
いる。これら正電極10、負電極12には、リード線
(図示せず。)が接続され、これらリード線を介して圧
電振動子2に電圧パルスを印加することにより、圧電体
8が振動して振動子アレイの前面に位置する被検体へ超
音波が放射される。一方、被検体で反射した超音波が振
動子アレイの前面に入射すると、その超音波に共振した
圧電体8がその振動による歪みに応じた電圧を生じ、こ
れが正電極10と負電極12との間の電圧信号として取
り出される。
【0005】バッキング材4は、ゴムなどの材質で構成
され圧電振動子2の背面を支え、圧電振動子2の振動を
ダンピングして、不要な超音波を吸収し、探触子が、尾
曳きの少ない短いパルス信号を送受できるようにする働
きを有する。
【0006】さて、圧電振動子2から発生される超音波
ビームは完全な線状に形成されるのではなく、ある幅を
もって形成される。また、メインビームだけでなく、そ
れよりも強度は弱いが所望の方向以外へ放射されるサイ
ドローブが生じる。圧電振動子2の長辺に直交する振動
子アレイの走査方向については電子フォーカスにより所
望の方向に良好にビームを絞ることができるが、圧電振
動子2の長辺方向(エレベーション方向)は、電子フォ
ーカスが行われないため、この方向の解像度が低いとい
う問題があった。
【0007】この問題への対策として、従来、圧電振動
子2の前面には音響整合層14を介して音響レンズ16
が設けられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】エレベーション方向の
ビーム幅の抑制は、音響レンズ16だけでは必ずしも十
分でないという問題があった。
【0009】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたもので、サイドローブを抑制し振動子のエレベーシ
ョン方向のビーム幅を一層絞り、解像度の向上が図られ
る超音波探触子を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係る超音波探触
子は、背面負荷材の圧電振動子との当接面に、互いに平
行であって前記圧電振動子の配列方向に延びた複数の溝
が設けられ、前記当接面上での前記溝の開口面積密度
は、前記圧電振動子の配列方向と直交する方向(長辺方
向)の中心に向かって単調に増加することを特徴とする
ものである。
【0011】本発明によれば、背面負荷材が圧電振動子
に当接する面積が圧電振動子の長辺方向の端部から中心
に向かうに従い小さくなるのに応じて、背面負荷の効果
も小さくなる。つまり、中心寄りほど背面負荷材の超音
波の吸収作用が弱まり、その反対に端部寄りほど吸収作
用が強くなる。この背面負荷材による吸収作用の空間的
変調に応じて、中央部の前面への音響パワーの集中度合
いが高まる。すなわち、本発明による超音波ビームの分
布においては、サイドローブが抑制され、一方、圧電振
動子の法線方向へのメインビーム成分が強まる。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る超音波探触子
の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【0013】図1は、本発明に係るリニアアレイ探触子
の概略の構造を示す図であり、アレイ方向から見た模式
的な正面図である。このリニアアレイ探触子において
は、圧電振動子52で構成される振動子部がバッキング
材54上に設けられる。
【0014】振動子部は、図2に示す従来の探触子と同
様、多数の圧電振動子52が一次元的(図1における紙
面垂直方向)に配列されたアレイ構造である。圧電振動
子52は互いに独立に駆動し得るように構成される。こ
の圧電振動子52の相互の分離は、例えば、従来同様、
当初一体の圧電体58、正電極60及び負電極62の積
層体をバッキング材54の上に形成したのち、当該積層
体をアレイ方向と直交する方向にスライスすることによ
り実現することができ、矩形形状の各圧電振動子52は
隣接する圧電振動子52と長辺を向き合わせて互いに平
行に配置される。
【0015】圧電体58は、例えばPZTといった圧電
セラミックス板を用いて構成される。また、正電極6
0、負電極62は、例えば圧電体58の両面にそれぞれ
スパッタ法で数千オングストロームの厚さの金属膜を付
着することにより形成される。
【0016】これら正電極60、負電極62には、リー
ド線(図示せず。)が接続され、これらリード線を介し
て圧電振動子52に電圧パルスを印加することにより、
圧電体58が振動して振動子アレイの前面に位置する被
検体へ超音波が放射される。一方、被検体で反射した超
音波が振動子アレイの前面に入射すると、その超音波に
共振した圧電体58ではその振動による歪みに応じた電
圧が生じ、これが正電極60と負電極62との間の電圧
信号として取り出される。
【0017】振動子部の前面には従来同様、被検体とな
る生体との音響インピーダンスの整合を図るための音響
整合層64を介して、超音波ビームの収束を図るための
音響レンズ66が設けられ、被検体である生体との音響
的な結合の向上と、エレベーション方向のビームフォー
カスが図られている。
【0018】本探触子の特徴は、バッキング材54の圧
電振動子52に当接される側の表面に多数の溝70が設
けられている点にある。この溝70は互いに平行であっ
てそれぞれアレイ方向に延びるように設けられる。各溝
70は同一の幅を有するが、隣接する溝70の間隔は、
圧電振動子52の長辺方向の中心に向かって小さくな
る。これにより、バッキング材54の表面における溝7
0の開口面積の密度は、エレベーション方向の中心に向
かって単調に増加する。なお、ここではその開口面積の
密度関数が基本的に圧電振動子52のエレベーション方
向の中心に関し対称となるように、溝70が配置され
る。これにより、圧電振動子52のエレベーション方向
の中心ほど、バッキング材54が圧電振動子52に当接
する面積が減少し、圧電振動子52に対するダンピング
の効果が弱まる。
【0019】具体的に述べれば、圧電体58は上述した
ように圧電セラミックス等の材質で構成され、比較的大
きな音響インピーダンスZ0を有する。一方、バッキン
グ材54は、従来同様、ゴムなどの材質で構成され、圧
電体58より小さな音響インピーダンスZBを有してい
るが、本探触子では内部に空気(一般的なZBに比し空
気の音響インピーダンスは小さい。)を有した溝70が
設けられることにより、圧電振動子52から見える実効
的な音響インピーダンスZeffは、ZBより小さくなる。
その低減の程度はエレベーション方向に関する中心から
の距離xに依存し、よって、Zeffはxの関数である。
具体的には、Zeffは中心に向かって単調に減少し、|
x1|<|x2|なる任意の2つの距離x1、x2に対し、
Zeff(x1)<Zeff(x2)≦ZB<Z0という関係が成り立
つ。
【0020】このように、開口面積の密度がエレベーシ
ョン方向の中心に向かって大きくなるように溝70を設
けることにより、バッキング材54の実効的な音響イン
ピーダンスZeffが中心に近づくほど低くなる。これに
より、端部においては超音波は背面のバッキング材54
へ吸収されやすいが、中央部に向かうほど背面へ吸収さ
れにくくなるため、超音波ビームの分布においては、サ
イドローブが抑制され、一方、圧電振動子の中心からそ
の法線方向へ向かうメインビーム成分の相対強度が強ま
る。このようにして、本探触子では、エレベーション方
向の中心に垂直な方向への指向性が強化され、エレベー
ション方向のフォーカスが改善される。
【0021】なお、上述のようにZeffが中心に向かっ
て低減する関係が得られる限り、溝70は空気の代わり
に他の物質で充填されていても構わない。例えば、その
ような充填物質は、ZBより小さい音響インピーダンス
を有する物質である。
【0022】溝70は、バッキング材54に圧電振動子
52を固着する前に、ダイシングソウ等によって、バッ
キング材54の表面に形成される。
【0023】上述の例は、各溝70の幅は同一とし、そ
の間隔を端部で大きく、中心部で小さくしたものである
が、開口面積密度が中心に向かって増加する他の形態も
可能である。例えば、溝の幅を中心に近いものほど大き
くすれば溝の間隔が一定である場合でも、同様の効果が
得られる。
【0024】
【発明の効果】本発明の超音波探触子によれば、圧電振
動子に当接されるバッキング材の表面に設ける溝によっ
て、圧電振動子からバッキング材を見たときの実効的な
音響インピーダンスをエレベーション方向の中心ほど低
くすることにより、中央部に向かうほど超音波は背面へ
吸収されにくく中央部領域で音響パワーの前方への振り
向けがより多く行われ、超音波ビームのエレベーション
方向の指向性を高めることができるという効果が得られ
る。バッキング材への溝の形成は機械的に行うことがで
き、溝の幅や間隔を調整することによって実効的な音響
インピーダンスを容易に可変できる。したがって、バッ
キング材に溝を形成することによるエレベーション方向
のフォーカス改善の実現はバッキング材の材質を変える
ことによる場合に比べて容易であるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態であるリニアアレイ探触子
の概略の構造を示す模式的な正面図である。
【図2】 従来のリニアアレイ探触子の概略の構造を示
す模式的な斜視図である。
【符号の説明】 52 圧電振動子、54 バッキング材、64 音響整
合層、58 圧電体、60 正電極、62 負電極、6
6 音響レンズ、70 溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 麻生 剛己 東京都三鷹市牟礼6丁目22番1号 アロカ 株式会社内 Fターム(参考) 4C301 EE01 EE07 EE20 GB04 GB20 GB22 GB27 HH23

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれ短冊形であり互いの長辺を向き
    合わせて平行に配列される複数の圧電振動子と、前記圧
    電振動子の被検体に接する側と反対側の面に当接した背
    面負荷材とを有する超音波探触子において、 前記背面負荷材の前記圧電振動子との当接面には、互い
    に平行であって前記圧電振動子の配列方向に延びた複数
    の溝が設けられ、 前記当接面上での前記溝の開口面積密度は、前記圧電振
    動子の配列方向と直交する方向の中心に向かって単調に
    増加すること、 を特徴とする超音波探触子。
JP11078019A 1999-03-23 1999-03-23 超音波探触子 Pending JP2000271116A (ja)

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