JP2000264781A - 単結晶製造用ユニットのハンドリング治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶引き上げ装置を構成する各種の円筒形
や環状のユニットを運搬などする際の作業性を簡略化す
る。 【解決手段】 本体１は単結晶引き上げ装置を構成する
各種の円筒形や環状のユニットを支持するために環状に
形成され、その径は被支持ユニットの内径より小さくな
るように形成されている。本体１の上面の適宜位置に
は、被支持ユニットを支持するために複数の支持部材３
が本体１の半径方向にスライド可能なようにガイド部材
４を介して取り付けられている。ユニットを運搬などす
る場合には治具をクレーンにより吊り下げて、円筒形や
環状の被支持ユニット１０の内側面に沿って下面まで下
降させ、次いで支持部材３を本体１より水平方向外側に
移動してその先端３ａを被支持ユニット１０の下に入り
込ませ、支持部材３をビス６により固定した後にクレー
ンにより吊り上げる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶引き上げ装
置を構成する各種の円筒形や環状のユニットをハンドリ
ングするための単結晶製造用ユニットのハンドリング治
具に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、引上げＣＺ（Czochralski）法
による単結晶製造装置では、高耐圧気密チャンバ内を１
０torr程度に減圧して新鮮なＡｒ（アルゴン）ガスを流
すとともに、チャンバ内の下方に設けられた石英ルツボ
内の多結晶を加熱して溶融し、この溶融液の表面に種結
晶を上から浸漬し、種結晶と石英ルツボを回転、上下移
動させながら種結晶を引き上げることにより、種結晶の
下に上端が突出した円錐形の上部コーン部と、円柱形の
ボディ部と下端が突出した円錐形の下部コーン部より成
る単結晶（いわゆるインゴット）を成長させるように構
成されている。

【０００３】このような単結晶製造装置を構成する各種
のユニット（パーツ）は、インゴット自体が円柱形であ
るので、これを周りから囲むように円筒形や環状である
ことが多い。また、これらのユニットは、１本のインゴ
ットを製造する毎に分解されてチャンバから出し入れさ
れて再使用されるものが多く、使い捨てとなるユニット
は、石英ルツボのように少数である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年では、
インゴットが大口径化し、そのため石英ルツボも同様に
大口径化している。したがって、単結晶製造装置を構成
する各種のユニットも大口径化、高重量化し、また、こ
れらのユニットには把持部のような係止部材が設けられ
ていないので、これを運搬などする作業を簡略化する必
要がある。また、チャンバ内で使用されるユニットは、
高温下で使用されるので材質がもろい場合が多く、この
場合には運搬時に破損しないように注意を払う必要があ
る。

【０００５】本発明は上記の問題点に鑑み、単結晶引き
上げ装置を構成する各種の円筒形や環状のユニットを運
搬などする際の作業性を簡略化することができる単結晶
製造用ホットゾーンユニットのハンドリング治具を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、単結晶引き上げ装置を構成する各種の円筒
形や環状のユニットの内部空間に挿入可能な本体に対し
て、半径方向に移動可能であって、半径外方向に移動し
たとき前記ユニットの底面を支持するよう構成された複
数の支持部材を設けたものである。すなわち本発明によ
れば、単結晶引き上げ装置を構成する各種の円筒形や環
状のユニットをハンドリングするための単結晶製造用ユ
ニットのハンドリング治具であって、前記ユニットの内
部空間に挿入可能な本体と、前記本体が前記ユニットの
内部空間に挿入されたとき、前記ユニットの半径方向に
移動可能な状態で前記本体に取り付けられた複数の支持
部材とを、備えた単結晶製造用ユニットのハンドリング
治具が提供される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る単結晶製造用
ホットゾーンユニットのハンドリング治具の一実施形態
を示す平面図、図２は図１のユニット支持構造を詳しく
示す側面図、図３は図１のハンドリング治具の使用状態
を示す側面図である。

【０００８】図１〜図３において、このハンドリング治
具の本体１は、単結晶引き上げ装置を構成する各種の円
筒形や環状のユニット（以下、被支持ユニット）を支持
するために環状に形成され、その径は被支持ユニットの
内径より小さくなるように形成される。また、本体１の
水平方向の幅は垂直方向の厚さより長く形成され、その
上面の適宜位置には、クレーンにより吊り上げるために
複数のフック２が取り付けられている。

【０００９】また、本体１の上面の適宜位置には、被支
持ユニットを支持するために複数の支持部材３が本体１
の半径方向にスライド可能なようにガイド部材４を介し
て取り付けられている。支持部材３は本体１の半径方向
に長い板状に形成され、先端３ａが本体１より外側に位
置するときに、本体１より径が大きい被支持ユニットを
支持するように構成されている。先端３ａの上面には、
被支持ユニットを載せたときに被支持ユニットを保護す
るために、例えばカーボンのような保護部材５が貼り付
けられ、また、支持部材３の後端３ｂは、作業員がスラ
イドさせやすいように、また、ガイド部材４から抜け落
ちないように上方向に折り曲げられている。

【００１０】また、支持部材３が半径方向に移動しない
ように固定するために、ガイド部材４にはビス６が取り
付けられ、また、支持部材３にはビス６の先端が係合す
る溝（図示省略）が形成されている。これらの本体１、
支持部材３、ガイド部材４などは例えばステンレスで形
成され、ガイド部材４は本体１に対して溶接されて固定
される。

【００１１】このような構成において、被支持ユニット
を運搬などする場合には、図３に示すように治具を図示
省略のクレーンにより吊り下げて、円筒形や環状の被支
持ユニット１０の内側面に沿って下面まで下降させ、次
いで支持部材３を本体１より水平方向外側に移動してそ
の先端３ａを被支持ユニット１０の下に入り込ませる。
そして、支持部材３をビス６により固定した後にクレー
ンにより吊り上げる。

【００１２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、単
結晶引き上げ装置を構成する各種の円筒形や環状のユニ
ットの内径より外径が小さい環状又は円形の本体に対し
て、半径方向に移動可能であって先端が前記ユニットの
底面を支持する複数の支持部材を設けたので、単結晶引
き上げ装置を構成する各種の円筒形や環状のユニットを
運搬などする際の作業性を簡略化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る単結晶製造用ホットゾーンユニッ
トのハンドリング治具の一実施形態を示す平面図であ
る。

【図２】図１のユニット支持構造を詳しく示す側面図で
ある。

【図３】図１のハンドリング治具の使用状態を示す側面
図である。

【符号の説明】

１ 本体 ２ フック ３ 支持部材 ４ ガイド部材 ５ 保護部材 ６ ビス（固定する手段）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 単結晶引き上げ装置を構成する各種の円
   筒形や環状のユニットをハンドリングするための単結晶
   製造用ユニットのハンドリング治具であって、 前記ユニットの内部空間に挿入可能な本体と、 前記本体が前記ユニットの内部空間に挿入されたとき、
   前記ユニットの半径方向に移動可能な状態で前記本体に
   取り付けられた複数の支持部材とを、 備えた単結晶製造用ユニットのハンドリング治具。
2. 【請求項２】 前記本体の外径が前記ユニットの内径よ
   り小さく、かつ前記本体が環状又は円筒形である請求項
   １記載の単結晶製造用ユニットのハンドリング治具。
3. 【請求項３】 前記支持部材が前記本体に取り付けられ
   たガイド部材によりスライド可能に取り付けられている
   請求項１記載の単結晶製造用ユニットのハンドリング治
   具。
4. 【請求項４】 前記ガイド部材に前記支持部材を固定す
   る手段が設けられている請求項１記載の単結晶製造用ユ
   ニットのハンドリング治具。
5. 【請求項５】 前記本体を吊り下げ手段により吊り下げ
   るためのフックが前記本体に設けられている請求項１記
   載の単結晶製造用ユニットのハンドリング治具。