JP2000256857A - ガスマニフォールドの脱着用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマチャンバのガスマニフォールドの取
り外しを容易にする治具を提供する。 【解決手段】 本脱着用治具４０は、第１の板部材４２
と、第２の板部材４４と、第３の板部材４６と、第３の
板部材４６を褶動自在に貫通して、第１及び第２の板部
材を連結する２本の連結棒４８Ａ、Ｂとを備える。第１
及び第２の板部材とは、相互に平行に設けられ、同じ長
方形の板部材である。連結棒は、第１及び第２の板部材
の長手方向縁部５０、５１の両角部の近傍同士をそれぞ
れ連結する。第３の板部材４６は、ゴム板で形成され
た、第１及び第２の板部材と同じ長方形の板部材であっ
て、第１及び第２の板部材の間に配置され、長手方向縁
部５２の両角部の近傍に設けれた貫通孔に２本の連結棒
を褶動自在に貫通させる。第２及び第３の板部材の長手
方向縁部には、把手５８が設けられている。第１の板部
材には離隔して２個のネジ孔５４が設けられ、ネジ孔５
４には、それぞれ、先端が第３の板部材４６に接触する
ネジ５６がネジ込まれている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマＣＶＤ装
置のプラズマチャンバへのガス導入部としてプラズマチ
ャンバ外側に取り付けられたガスマニフォールドの脱着
用治具に関し、更に詳細には、ガスマニフォールドの内
部配管等に損傷を与えないようにして、ガスマニフォー
ルドを容易に脱着できるようにした、ガスマニフォール
ドの脱着用治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プラズマＣＶＤ装置は、半導体装置の製
造過程で、プラズマＣＶＤ法によりＳｉ₃ Ｎ₄ 膜、Ｓｉ
Ｏ₂ 膜等のＣＶＤ膜をウエハ上に成膜する際に、使用さ
れる装置であって、半導体装置の製造工場で最も高い使
用頻度で使用される装置の一つである。プラズマＣＶＤ
装置は、ウエハを載置するウエハステージを内部に有
し、ウエハ上にプラズマを生成させるプラズマチャンバ
を備え、プラズマチャンバ内に反応ガスを導入し、プラ
ズマを形成させると共にウエハ上にＣＶＤ膜を成膜させ
る。

【０００３】プラズマＣＶＤ装置では、ＣＶＤ膜を成膜
する際に、ＣＶＤ膜がウエハ上に堆積すると共に、ＣＶ
Ｄ膜の生成に伴う副生反応の反応生成物がチャンバ側壁
等に付着、堆積する。そのために、チャンバ側壁等に堆
積した反応生成物を除去することが必要になる。また、
プラズマＣＶＤ装置をオーバーホールしてプラズマチャ
ンバを始めとする各部品を点検、清掃することが必要に
なる。そのために、定期的に又は随時に、プラズマＣＶ
Ｄ装置を分解し、プラズマチャンバを開放する分解作業
を行っている。プラズマチャンバの分解では、注意を要
する作業の一つとして、外部からの配管とプラズマチャ
ンバとを接続するガスマニフォールドの取り外しがあ
る。

【０００４】ここで、図３から図５を参照して、ガスマ
ニフォールドの取り付け機構を主にしてプラズマＣＶＤ
装置の外側構造を説明する。図３はプラズマＣＶＤ装置
の全体の外観斜視図、図４はプラズマチャンバの上部を
覆うガスマニフォールド及びガスボックスの展開分解
図、及び図５はプラズマチャンバの内部を示す斜視図で
ある。プラズマＣＶＤ装置１０は、図３に示すように、
プラズマチャンバ１２を備え、プラズマチャンバ１２に
は、プラズマチャンバ１２へのガスの分散機構であっ
て、かつプラズマチャンバ１２の蓋体として機能するガ
スボックス１４、反応ガス及びキャリアガスをプラズマ
チャンバ１２内に導入するためにガスボックス１４に取
り付けられたガスマニフォールド１６、プラズマチャン
バ１２内を排気するために真空吸引装置（図示せず）に
プラズマチャンバ１２を接続する排気管１８、冷却水配
管２０等が取り付けてある。ガスボックス１４は、クラ
ンプフランジ２２によってプラズマチャンバ１２に固定
されている。

【０００５】ガスマニフォールド１６は、外部の配管
（図示せず）とガスボックス１４とを接続する部品であ
って、外部配管に接続する配管接続口１３を有するブロ
ック状のガスボックス取り付け部１５を有し、図４に示
すように、ガスボックス１４に取り付けられている。ガ
スボックス１４は、その下部に、多数の貫通孔を有する
ガス分散板２６が第１のＯ−リング２４を介して取り付
けられている。更に、ガスボックス１４は、第２のＯ−
リング２８、絶縁リング３０、第３のＯ−リング３２、
及びリッドプレート３４を介してプラズマチャンバ１２
の上部開口を蓋するように取り付けられている。プラズ
マチャンバ１２からガスボックス１４を取り外すと、図
５に示すように、プラズマチャンバ１２の内部が現れ
る。

【０００６】プラズマＣＶＤ装置の分解に際し、ガスボ
ックス１４からガスマニフォールド１６を取り外すに
は、従来は、先ず、クランプフランジ２２を取り外し、
次いで、ガスボックス１４から手で図６に示すガスマニ
フォールド１６の取り付け部１５及び曲がり部１７を掴
んで取り外している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、現実には、ガ
スマニフォールド１６を取り外す際、ガスマニフォール
ド１６がそれほど大きくなく、また掴み難い形状をして
いるために、ガスマニフォールド１６を手又は工具で掴
み難く、取り外すときに、ガスマニフォールド１６自体
或いはそれに接続している配管等を破損させてしまうこ
とが多かった。また、ガスマニフォールド１６或いは配
管等を破損させないように注意して、ガスマニフォール
ド１６を取り外すために、その取り外し作業に時間がか
かり、プラズマＣＶＤ装置の分解に長時間を要するとい
う問題があって、作業能率が低かった。従って、半導体
装置の製造現場では、ガスマニフォールドを取り外し易
くする治具を開発することが望まれていた。

【０００８】そこで、本発明の目的は、ガスマニフォー
ルドの取り外しを容易にする治具を提供することであ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るガスマニフォールドの脱着用治具は、
プラズマＣＶＤ装置のプラズマチャンバへのガス導入部
としてプラズマチャンバ外側に取り付けられたガスマニ
フォールドの脱着用治具であって、相互に平行に設けら
れ、実質的に同形かつ同寸法の長方形の第１及び第２の
板部材と、第１及び第２の板部材の長手方向縁部の両角
部の対向する近傍同士をそれぞれ相互に連結する２本の
連結棒と、第１の板部材と第２の板部材の間に配置され
た板部材であって、長手方向縁部の両角部の近傍に設け
れた貫通孔に２本の連結棒を褶動自在に貫通させ、かつ
第１及び第２の板部材と実質的に同形かつ同寸法の長方
形の第３の板部材と、第１の板部材に設けられたネジ孔
にネジ込まれて、先端が第３の板部材に接触するネジ
と、第２の板部材と第３の板部材の連結棒側の長手方向
縁部にそれぞれ設けられた把手とを備えることを特徴と
している。

【００１０】本発明に係るガスマニフォールドの脱着用
治具を使うには、先ず、第２の板部材と第３の板部材と
の間にガスマニフォールドのブロック状チャンバ取り付
け部を挟み、次いで第１の板部材の外方からネジをネジ
孔を介してねじ込み、第３の板部材を押圧して第２の板
部材に対して接近させることにより、第２の板部材と第
３の板部材との間でガスマニフォールドのブロック状チ
ャンバ取り付け部を挟持し、把手を手で掴んで上方に治
具を持ち上げる。

【００１１】好適には、第２の板部材と第３の板部材と
が、摩擦係数の高いゴム板で形成されている。摩擦抵抗
の多いゴム系の材質で板部材を形成することにより、ガ
スマニフォールドの取り付け部を強固に挟持することが
できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、添付図面を参照して、実
施形態例に基づいて本発明をより詳細に説明する。実施形態例 本実施形態例は、本発明に係るガスマニフォールドの脱
着用治具の実施形態の一例であって、図１は本実施形態
例のガスマニフォールドの脱着用治具の斜視図である。
本実施形態例のガスマニフォールドの脱着用治具４０
（以下、簡単に治具４０と言う）は、前述したプラズマ
ＣＶＤ装置１０のプラズマチャンバ１２へのガス導入部
として、プラズマチャンバ外側に取り付けられたガスマ
ニフォールド１６の脱着用治具である。治具４０は、図
１に示すように、第１の板部材４２と、第２の板部材４
４と、第３の板部材４６と、第３の板部材４６に設けた
貫通孔を褶動自在に貫通して、第１の板部材４２と第２
の板部材４４とを連結する２本の連結棒４８Ａ、Ｂとか
ら構成されている。

【００１３】第１の板部材４２と第２の板部材４４と
は、相互に平行に設けられ、同形かつ同寸法の長方形の
板部材である。連結棒４８Ａ、Ｂは、第１の板部材４２
及び第２の板部材４４の長手方向縁部５０、５１の両角
部の近傍同士をそれぞれ連結する。第３の板部材４６
は、第１の板部材４２と第２の板部材４４の間に配置さ
れた板部材であって、長手方向縁部５２の両角部の近傍
に設けれた貫通孔５３Ａ、Ｂに２本の連結棒４８Ａ、Ｂ
を褶動自在に貫通させ、かつ第１及び第２の板部材４
２、４４と実質的に同形かつ同寸法の長方形の板部材で
ある。第２の板部材４４と第３の板部材４６とは、摩擦
係数の高いゴム板で形成されている。

【００１４】第２の板部材の長手方向縁部５１及び第３
の板部材の長手方向縁部５２には、それぞれ、把手５８
が設けられている。第１の板部材４２には離隔して２個
のネジ孔５４が設けられ、ネジ孔５４には、それぞれ、
先端が第３の板部材４６に接触するネジ５６がネジ込ま
れている。

【００１５】ガスマニフォールド１６を取り外す際に
は、治具４０の第２の板部材４４と第３の板部材４６と
の間にガスマニフォールド１６の図２に示すブロック状
チャンバ取り付け部１５を挟む。次いで、第１の板部材
４２の外方からネジ５６をネジ孔５４を介してねじ込
み、第３の板部材４６を押圧して第２の板部材４４に対
して接近させることにより、第２の板部材４４と第３の
板部材４６との間でガスマニフォールド１６のブロック
状チャンバ取り付け部１５を挟持する。そして、把手５
８を両手で握り、上方に持ち上げると、容易にガスマニ
フォールド１６をプラズマチャンバ１２から脱着させる
ことができる。

【００１６】本実施形態例の治具４０を用いることによ
り、ガスマニフォールド１６の脱着が容易となり、脱着
に要する時間が従来より短縮できる。本実施形態例の治
具４０と同じ構成の治具を試作し、脱着試験を行ったと
ころ、例えば従来５分程度要していた作業が、脱着試験
では、１分で脱着できた。また、本実施形態例では、ガ
スマニフォルド１４を挟む第２の板部材４２及び第３の
板部材４６に、固定し易いようにゴム系の材質を使用し
ているので、挟持が強固であって、脱着に際し、ガスマ
ニフォールド１６の取り付け部１５に対して第２の板部
材４２及び第３の板部材４６が滑って持ち上げ難いよう
なことはない。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、ガスマニフォールドの
ブロック状チャンバ取り付け部を挟む第２の板部材と第
３の板部材とを備え、第１の板部材の外方からネジをネ
ジ孔を介してねじ込み、第３の板部材を押圧して第２の
板部材に対して接近させることにより、第２の板部材と
第３の板部材との間でガスマニフォールドのブロック状
チャンバ取り付け部を挟持し、把手を手で掴んで上方に
治具を持ち上げる。本発明に係るガスマニフォールドの
脱着用治具を使えば、ガスマニフォールドの脱着が容易
になり、脱着に要する時間が短縮でき、また、ガスマニ
フォールドの配管部分に触れることが無いので、従来の
ように、配管を破損することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例のガスマニフォールドの脱着用治具
の斜視図である。

【図２】ガスマニフォールドの脱着用治具で挟持する取
り付け部を表示する斜視図である。

【図３】プラズマＣＶＤ装置の全体の外観斜視図であ
る。

【図４】プラズマチャンバの上部を覆うガスマニフォー
ルド及びガスボックスの展開分解図である。

【図５】プラズマチャンバの内部を示す斜視図である。

【図６】ガスマニフォールドを脱着する際、手で掴むガ
スマニフォールドの部分を表示する斜視図である。

【符号の説明】

１０……プラズマＣＶＤ装置、１２……プラズマチャン
バ、１４……ガスボックス、１３……配管接続口、１５
……取り付け部、１６……ガスマニフォールド、１７…
…曲がり部、１８……排気管、２０……冷却水配管、２
２……クランプフランジ、２４……第１のＯ−リング、
２６……ガス分散板、２８……第２のＯ−リング、３０
……絶縁リング、３２……第３のＯ−リング、３４……
リッドプレート、４０……実施形態例のガスマニフォー
ルドの脱着用治具、４２……第１の板部材、４４……第
２の板部材、４６……第３の板部材、４８Ａ、Ｂ……連
結棒、５０……第１の板部材の長手方向縁部、５１……
第２の板部材の長手方向縁部、５２……第３の板部材の
長手方向縁部、５３……貫通孔、５４……ネジ孔、５６
……ネジ、５８……把手。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラズマＣＶＤ装置のプラズマチャンバ
   へのガス導入部としてプラズマチャンバ外側に取り付け
   られたガスマニフォールドの脱着用治具であって、 相互に平行に設けられ、実質的に同形かつ同寸法の長方
   形の第１及び第２の板部材と、 第１及び第２の板部材の長手方向縁部の両角部の対向す
   る近傍同士をそれぞれ相互に連結する２本の連結棒と、 第１の板部材と第２の板部材の間に配置された板部材で
   あって、長手方向縁部の両角部の近傍に設けれた貫通孔
   に２本の連結棒を褶動自在に貫通させ、かつ第１及び第
   ２の板部材と実質的に同形かつ同寸法の長方形の第３の
   板部材と、 第１の板部材に設けられたネジ孔にネジ込まれて、先端
   が第３の板部材に接触するネジと、 第２の板部材と第３の板部材の連結棒側の長手方向縁部
   にそれぞれ設けられた把手とを備えることを特徴とする
   ガスマニフォールドの脱着用治具。
2. 【請求項２】 第２の板部材と第３の板部材とが、摩擦
   係数の高いゴム板で形成されていることを特徴とする請
   求項１に記載のガスマニフォールドの脱着用治具。