JP2000255969A - 吊り下げ式天井走行搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吊り下げ式天井走行搬送台車において、
被搬送物を保持機構の誤動作により被搬送物を脱落させ
る危険性があった。 【解決手段】 吊り下げ式天井走行搬送台車９におい
て、被搬送物４を保持する吊り下げ式天井走行搬送台車
９のグリップ部の爪２ａに、被搬送物の在荷を確認する
押しボタンスイッチ３を設ける。このスイッチ３は、被
搬送物がグリップ部２にあるときは、押下されるように
配置されている。このスイッチ３は、吊り下げ式天井走
行搬送台車９のグリップ部２を開閉するアクチュエータ
の電源回路につながっており、スイッチ３が押下された
状態では、グリップ部２を開閉するアクチュエータへの
電力の供給が遮断される。このため、グリップ部２が被
搬送物を保持した状態では、たとえグリップ部２の開閉
を制御する制御器に異常が発生しても、誤動作によりグ
リップ部２を開くことが無くなり、被搬送物の落下を防
止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場におけ
るウェーハ収納容器等の被搬送物を対象とする吊り下げ
式天井走行搬送台車の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、半導体製造においては、ウェーハ
を搬送する場合、図３に示すようなウェーハ収納容器４
にウェーハを収納し、ウェーハ収納容器単位で搬送また
は保管する場合が多い。このウェーハ収納容器４を、天
井に敷設されたレールに沿って走行する吊り下げ式天井
走行搬送台車により搬送する装置があり、その構成の概
要を図２に示す。即ち、図２に示す吊り下げ式天井走行
搬送台車９は、ベルト７の巻き下げにより昇降台１を降
下させ、予め定めた距離に達すれば、昇降台１のグリッ
プ部２の爪２ａがウェーハ収納容器４上部にあるフラン
ジ５をチャックする。次に、昇降台１を上昇させ、ウェ
ーハ収納容器４が巻き上げられた状態で吊り下げ式天井
走行搬送台車９に保持され、その後、走行搬送される。

【０００３】前記吊り下げ式天井走行搬送台車９の昇降
台１には、グリップ開閉の為の開閉機構（図示せず）を
備えるが、巻き上げの途中での誤った操作等の原因によ
り、グリップ部２が開いてウェーハ収納容器４が落下す
ることがないように、光センサ等のセンサを備えること
により常に図３に示すウェーハ収納容器４の在荷を確認
しており、ウェーハ収納容器４が検知された状態におい
ては、グリップ部２は開かないようにしている。

【０００４】即ち、従来のものでは前記センサによりウ
ェーハ収納容器４を巻き上げまたは巻き下げしていると
きは、昇降台１のグリップ部２が開かないような、ソフ
トウェアを備えてインタロックが掛けられるようにして
いた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のウェーハ収納容器４の落下を防止するインタロック
の構成では、センサ自身、あるいは制御回路に故障、停
電等の異常が発生した場合、機構的なインタロックは取
られていないため、何らかの原因で開閉回路が働き、あ
るいはグリップ部が緩み、開放状態と同等な形をとり、
ウェーハ収納容器４がグリップ部２より落下し、その結
果、中のウェーハに損傷を与える恐れがあった。そこ
で、センサまたは制御回路の在荷監視装置の故障時にお
いても、ウェーハ収納容器が脱落しないようにすること
が求められいた。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するもので、請求項１に係る吊り下げ式天井走行搬送台
車は、被搬送物を保持するグリップ部の爪と、上記グリ
ップ部を開閉する駆動機構と、この駆動機構に電源を供
給する電源回路と、被搬送物荷重により押圧される１個
または複数個の押しボタンスイッチを上記爪に備えて、
上記押しボタンスイッチの作動により上記電源回路を遮
断するように構成した。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図１に示す一実施
の形態に基づき図２も参照して説明する。なお、従来の
技術で説明した符号は、そのまま説明なく使用する。

【０００８】図１は本発明の吊り下げ式天井走行搬送台
車の昇降部の構成を一部切り欠いた斜視図、図２は、吊
り下げ式天井走行搬送台車の外観図である。これら各図
において、グリップ部２の爪２ａに、グリップ部２を開
閉するモータ６の電源回路を遮断できる在荷検知用の押
しボタンスイッチ３を設ける。押しボタンスイッチ３
は、押しボタン部３ａ、グリップ部２の爪２ａを貫通す
るロッド３ｂ、電源回路の接点の入り切りを行う接点３
ｃから成るノーマルクローズ型のスイッチである。即
ち、開放状態でモータ６の電源回路を接続し、押下状態
でモータ６の電源回路を遮断する。グリップ部２がウェ
ーハ収納容器４を保持する前、空荷の状態では、接点３
ｃは開放状態にあり、制御回路８によりグリップ部２の
開閉は自由にできる。前記グリップ部２がウェーハ収納
容器４をチャックした後、持ち上げると、ウェーハ収納
容器４の荷重により、グリップ部２の爪２ａの前記押し
ボタン部３ａは押し下げられる。そのことにより、ロッ
ド３ｂが押し下げられ、接点３ｃが開き、グリップ部２
の爪２ａを開閉するモータ６の電力供給は遮断される。
このため、制御回路８自体の破損等いかなる不測の事態
が発生しても、グリップ部２は閉じられたままの状態を
維持し、ウェーハ収納容器４は、落下しない。

【０００９】上記のように、グリップ部２がウェーハ収
納容器４をチャックした状態を図４に示す。この状態で
ウェーハ収納容器４を持ち上げ、吊り下げ式天井走行搬
送台車９の搬送機能を用いてウェーハ収納容器４が目標
の位置まで搬送され、目標の位置に置かれることによ
り、グリップ部２の爪２ａはウェーハ収納容器４からの
荷重の係止が解かれる。このことにより、グリップ部２
の爪２ａに設置されている押しボタン部３ａが開放状態
になり、接点３ｃが閉じ、電源回路が復帰し、グリップ
部２の爪２ａは制御回路８の指令にゆだねられることと
なり、グリップ部２を開くことができる。

【００１０】また、グリップ部２の爪２ａがウェーハ収
納容器４を保持した状態で、ウェーハ収納容器４を取り
出す必要に迫られた場合でも、作業者がウェーハ収納容
器４を下から支え、グリップ部２の爪２ａにウェーハ収
納容器４の重量が掛からないようにすることにより押し
ボタンスイッチ３は自動復帰し、モータ６を駆動するこ
とによりグリップ部２を開放させることが可能となる。
なお、上記の実施の形態では、押しボタンスイッチをグ
リップ部に１個設けた場合を示したが、クリップ部の両
側の爪に複数個のスイッチを設けるようにするとスイッ
チの信頼性が向上できる。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明により制御
系の不具合時においても、被搬送物を落下させない吊り
下げ式天井走行搬送台車が可能となる。また、グリップ
部の爪がウェーハ収納容器を保持した状態で、ウェーハ
収納容器を取り出す必要に迫られた場合でも、作業者が
必要に応じて、ロックを解除できるから、搬送中に制御
系の故障により被搬送物を開放したいときには、制御系
が故障から復旧する前の任意の時に被搬送物を吊り下げ
式天井走行搬送台車から取り外すことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の吊り下げ式天井走行搬送台車の昇降部
の構成を一部切り欠いた斜視図である。

【図２】吊り下げ式天井走行搬送台車の外観図である。

【図３】ウェーハを保管／搬送するときに用いる容器の
外観図である。

【図４】前記収納容器を保持している状態における昇降
部の外観図である。

【符号の説明】

１ 昇降台 ２ グリップ部 ２ａ グリップ部の爪 ３ 在荷検知用の押しボタンスイッチ ３ａ 押しボタン部 ３ｂ スイッチのロッド ３ｃ スイッチの接点 ４ ウェーハ収納容器（被搬送物） ５ ウェーハ収納容器のフランジ ６ モータ ７ グリップ部昇降用ベルト ８ 制御回路 ９ 吊り下げ式天井走行搬送台車

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 35/00 Ｂ６５Ｇ 35/00 Ｂ 49/07 49/07 Ｚ Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｒ Ｆターム(参考） 3F004 AA02 AB01 AE03 AG01 AG09 AJ01 EA21 NA02 3F022 AA08 CC02 EE05 JJ08 KK11 3F061 BA03 BB08 BD04 BE12 BF07 DD03 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 EE02 GG06 MM04 MM09

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送物を吊り下げ保持し搬送する吊り
   下げ式天井走行搬送台車において、 被搬送物を保持するグリップ爪部と、このグリップ爪部
   を開閉する駆動機構と、この駆動機構に電源を供給する
   電源回路と、被搬送物荷重により押圧される上記グリッ
   プ爪部に設置した１個または複数個の押しボタンスイッ
   チとを備え、 上記押しボタンスイッチの作動により上記電源回路を遮
   断するようにしたことを特徴する吊り下げ式天井走行搬
   送台車。